JP2002057179A - ボール検査装置 - Google Patents
ボール検査装置Info
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- JP2002057179A JP2002057179A JP2000244203A JP2000244203A JP2002057179A JP 2002057179 A JP2002057179 A JP 2002057179A JP 2000244203 A JP2000244203 A JP 2000244203A JP 2000244203 A JP2000244203 A JP 2000244203A JP 2002057179 A JP2002057179 A JP 2002057179A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、検査領域をボール存在領域とボール
不存在領域とに区分し、ボール存在領域におけるボール
検査基準とボール不存在領域におけるボール検査基準と
を異ならせて設定し、広い範囲の検査領域で正確な検査
を可能とするボール検査装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、搭載
対象物へのボール搭載装置のボール検査装置に以下の手
段を採用する。第１に、ボール検査用の画像取込手段を
設ける。第２に、該画像取込手段での取込画像領域をボ
ール存在領域とボール不存在領域とに区分する。第３
に、ボール存在領域におけるボール検査基準とボール不
存在領域におけるボール検査基準とを異ならせて設定す
る。
不存在領域とに区分し、ボール存在領域におけるボール
検査基準とボール不存在領域におけるボール検査基準と
を異ならせて設定し、広い範囲の検査領域で正確な検査
を可能とするボール検査装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、搭載
対象物へのボール搭載装置のボール検査装置に以下の手
段を採用する。第１に、ボール検査用の画像取込手段を
設ける。第２に、該画像取込手段での取込画像領域をボ
ール存在領域とボール不存在領域とに区分する。第３
に、ボール存在領域におけるボール検査基準とボール不
存在領域におけるボール検査基準とを異ならせて設定す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボール搭載装置の
ボール検査装置に関するものであり、主としてウエハレ
ベル半田ボール搭載装置のボール吸着ヘッドの全体検査
を主眼に開発されたものである。
ボール検査装置に関するものであり、主としてウエハレ
ベル半田ボール搭載装置のボール吸着ヘッドの全体検査
を主眼に開発されたものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半田ボール搭載装置のボール検査
装置においては半田ボールが吸着又は搭載されている付
近の領域のみを検査していた。そのため領域外（検査外
領域を意味するが、本来半田ボールが存在してはいけな
い領域でボール不存在領域と称される領域である。）に
半田ボールが付着していても無視されていた。
装置においては半田ボールが吸着又は搭載されている付
近の領域のみを検査していた。そのため領域外（検査外
領域を意味するが、本来半田ボールが存在してはいけな
い領域でボール不存在領域と称される領域である。）に
半田ボールが付着していても無視されていた。
【０００３】しかし、吸着ヘッドの上記領域外に半田ボ
ールが付着している場合などには、作業中に該領域外付
着半田ボールがワーク（ウエハ）上に落ちて転がり、ワ
ークに不良を発生させる場合があった。
ールが付着している場合などには、作業中に該領域外付
着半田ボールがワーク（ウエハ）上に落ちて転がり、ワ
ークに不良を発生させる場合があった。
【０００４】そこで半田ボールが吸着されない領域の検
査も行う必要が生じるが、その場合には、次のような点
を考慮する必要がある。半田ボールが本来存在しない領
域、すなわち吸着ヘッドで言えば、素子がない領域に対
応する吸着ヘッドの領域は、基本的に半田ボール搭載に
関係のないエリアなので、傷やシミ等があっても半田ボ
ール搭載の障害にはならない。
査も行う必要が生じるが、その場合には、次のような点
を考慮する必要がある。半田ボールが本来存在しない領
域、すなわち吸着ヘッドで言えば、素子がない領域に対
応する吸着ヘッドの領域は、基本的に半田ボール搭載に
関係のないエリアなので、傷やシミ等があっても半田ボ
ール搭載の障害にはならない。
【０００５】従って、これらの傷やシミを見つけても半
田ボール搭載装置の稼働効率を上げるためには、異常と
しない必要がある。そこで傷やシミが半田ボール形状と
は似ていないことに着目し、ボール検査基準を異ならせ
て設定し、更に精度を向上させるため検査項目に真円度
及びサイズを加えて、この問題点を解消した。
田ボール搭載装置の稼働効率を上げるためには、異常と
しない必要がある。そこで傷やシミが半田ボール形状と
は似ていないことに着目し、ボール検査基準を異ならせ
て設定し、更に精度を向上させるため検査項目に真円度
及びサイズを加えて、この問題点を解消した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、検査領域を
ボール存在領域とボール不存在領域とに区分し、ボール
存在領域におけるボール検査基準とボール不存在領域に
おけるボール検査基準とを異ならせて設定し、広い範囲
の検査領域で正確な検査を可能とするボール検査装置を
提供することを目的とする。
ボール存在領域とボール不存在領域とに区分し、ボール
存在領域におけるボール検査基準とボール不存在領域に
おけるボール検査基準とを異ならせて設定し、広い範囲
の検査領域で正確な検査を可能とするボール検査装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、搭載対象物へのボール搭載装置のボール検
査装置に以下の手段を採用する。第１に、ボール検査用
の画像取込手段を設ける。第２に、該画像取込手段での
取込画像領域である検査領域にボール存在領域とボール
不存在領域とを設定する。第３に、ボール存在領域にお
けるボール検査基準とボール不存在領域におけるボール
検査基準とを異ならせて設定する。
決するため、搭載対象物へのボール搭載装置のボール検
査装置に以下の手段を採用する。第１に、ボール検査用
の画像取込手段を設ける。第２に、該画像取込手段での
取込画像領域である検査領域にボール存在領域とボール
不存在領域とを設定する。第３に、ボール存在領域にお
けるボール検査基準とボール不存在領域におけるボール
検査基準とを異ならせて設定する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実
施例に係るボール検査装置の概略を示す説明図であり、
ウエハレベルボールマウント装置の吸着ヘッド１への半
田ボール２の吸着検査で用いられる検査装置である。
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実
施例に係るボール検査装置の概略を示す説明図であり、
ウエハレベルボールマウント装置の吸着ヘッド１への半
田ボール２の吸着検査で用いられる検査装置である。
【０００９】吸着ヘッド１でのボール搭載対象物は、ウ
エハ、フレーム、基板等が考えられるが、本実施例では
ウエハである。
エハ、フレーム、基板等が考えられるが、本実施例では
ウエハである。
【００１０】検査装置には、吸着ヘッド１下方位置で、
ボールねじ１１とナット１２によりＹ軸方向（図１中前
後方向）に移動可能とされたラインセンサカメラ３が用
いられている。すなわち、本発明における吸着ヘッド１
の吸着半田ボール２の画像取込手段としてラインセンサ
カメラ３を用いるのである。
ボールねじ１１とナット１２によりＹ軸方向（図１中前
後方向）に移動可能とされたラインセンサカメラ３が用
いられている。すなわち、本発明における吸着ヘッド１
の吸着半田ボール２の画像取込手段としてラインセンサ
カメラ３を用いるのである。
【００１１】図１中１３は、レンズであり、１４は、照
明ライトである。尚、画像取込手段は、ラインセンサカ
メラ３に限定されるものではなく、２次元ＣＣＤカメラ
を用いることもできる。
明ライトである。尚、画像取込手段は、ラインセンサカ
メラ３に限定されるものではなく、２次元ＣＣＤカメラ
を用いることもできる。
【００１２】図２は、吸着ヘッド１のボール吸着面の概
略平面図であり、吸着ヘッド１は、ラインセンサカメラ
３の移動方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）
に移動可能とされている。図２のボール吸着面に多数存
在する方形図形は素子３１を示している。尚、図中上下
に４カ所ずつ計８カ所に存在するマークは基準マーク４
である。
略平面図であり、吸着ヘッド１は、ラインセンサカメラ
３の移動方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）
に移動可能とされている。図２のボール吸着面に多数存
在する方形図形は素子３１を示している。尚、図中上下
に４カ所ずつ計８カ所に存在するマークは基準マーク４
である。
【００１３】吸着ヘッド１に吸着された半田ボール２の
画像取り込みは、図２に示す４つのエリア（ボール存在
領域３４）、本来半田ボールが存在しない領域（ボール
不存在領域３５）とを数回に分割して行う。
画像取り込みは、図２に示す４つのエリア（ボール存在
領域３４）、本来半田ボールが存在しない領域（ボール
不存在領域３５）とを数回に分割して行う。
【００１４】図２は、ウエハレベルボール搭載装置の吸
着ヘッド１下面（ボール吸着面）の概略平面図であり、
吸着ヘッド１下面を、図３に示すように取込画像を、素
子がある領域に対応する吸着ヘッド１の領域（以下ボー
ル存在領域３４と称する）と、素子がない領域に対応す
る吸着ヘッド１の領域（以下ボール不存在領域３５と称
する）とに区分する。図３は、ボール存在領域３４とボ
ール不存在領域３５を示す説明図である。
着ヘッド１下面（ボール吸着面）の概略平面図であり、
吸着ヘッド１下面を、図３に示すように取込画像を、素
子がある領域に対応する吸着ヘッド１の領域（以下ボー
ル存在領域３４と称する）と、素子がない領域に対応す
る吸着ヘッド１の領域（以下ボール不存在領域３５と称
する）とに区分する。図３は、ボール存在領域３４とボ
ール不存在領域３５を示す説明図である。
【００１５】検査は、吸着ヘッド１上の対応素子単位で
実施し、吸着ヘッド１の予め登録された基準画像にボー
ル存在領域３４とボール不存在領域３５が設定されてお
り、取込画像と基準画像を基準マーク４を基に比較して
ボール存在領域３４とボール不存在領域３５とを判別す
る。
実施し、吸着ヘッド１の予め登録された基準画像にボー
ル存在領域３４とボール不存在領域３５が設定されてお
り、取込画像と基準画像を基準マーク４を基に比較して
ボール存在領域３４とボール不存在領域３５とを判別す
る。
【００１６】ボール存在領域３４の検査に用いるパラメ
ータの値（サイズ、真円度などのしきい値）と、ボール
不存在領域３５のパラメータの値を別々に設定できるよ
うにしている。すなわち、ボール存在領域３４における
ボール検査基準とボール不存在領域３５におけるボール
検査基準とを異ならせて設定することができるのであ
る。
ータの値（サイズ、真円度などのしきい値）と、ボール
不存在領域３５のパラメータの値を別々に設定できるよ
うにしている。すなわち、ボール存在領域３４における
ボール検査基準とボール不存在領域３５におけるボール
検査基準とを異ならせて設定することができるのであ
る。
【００１７】ボール存在領域３４ではゴミであっても、
半田ボールであっても検出し、ボール不存在領域３５で
は半田ボールと思われるもの以外はゴミや傷として無視
するのである。
半田ボールであっても検出し、ボール不存在領域３５で
は半田ボールと思われるもの以外はゴミや傷として無視
するのである。
【００１８】検査項目は、ボールサイズ、真円度、ボー
ルズレ量である。このうちボールサイズに関しては、最
小ボールサイズ、最大ボールサイズの２つのパラメータ
がある。
ルズレ量である。このうちボールサイズに関しては、最
小ボールサイズ、最大ボールサイズの２つのパラメータ
がある。
【００１９】ボールサイズ（ｒ）は、正規の半田ボール
の半径（予め設定された値で、照明を斜め下から当てる
ので理論値より少し小さい値となる。）と比較して検査
される。ボールサイズ（ｒ）＝周囲長／２πで計算され
る。他方、真円度は、（画像の周囲長）２／（４π＊画
像面積）で計算される。尚、画像の面積は、画素の面積
と画素数との積で求められる。
の半径（予め設定された値で、照明を斜め下から当てる
ので理論値より少し小さい値となる。）と比較して検査
される。ボールサイズ（ｒ）＝周囲長／２πで計算され
る。他方、真円度は、（画像の周囲長）２／（４π＊画
像面積）で計算される。尚、画像の面積は、画素の面積
と画素数との積で求められる。
【００２０】最小ボールサイズは、基準ボールサイズに
対する割合（％）で判断され、ボール存在領域３４で
は、しきい値８０に設定し、この設定値より小さいボー
ルサイズの画像はエラーと判断する。他方、ボール不存
在領域３５では、しきい値６０に設定し、この設定値よ
り大きいボールサイズの画像は半田ボールであると判断
する。
対する割合（％）で判断され、ボール存在領域３４で
は、しきい値８０に設定し、この設定値より小さいボー
ルサイズの画像はエラーと判断する。他方、ボール不存
在領域３５では、しきい値６０に設定し、この設定値よ
り大きいボールサイズの画像は半田ボールであると判断
する。
【００２１】最大ボールサイズも、基準ボールサイズに
対する割合（％）で判断され、ボール存在領域３４で
は、しきい値１２０に設定し、この設定値より大きいボ
ールサイズの画像はエラーと判断する。他方、ボール不
存在領域３５では、しきい値２００に設定し、この設定
値より小さいボールサイズ、すなわち２００パーセント
を超えない大きさの画像は、半田ボールであると判断す
る。
対する割合（％）で判断され、ボール存在領域３４で
は、しきい値１２０に設定し、この設定値より大きいボ
ールサイズの画像はエラーと判断する。他方、ボール不
存在領域３５では、しきい値２００に設定し、この設定
値より小さいボールサイズ、すなわち２００パーセント
を超えない大きさの画像は、半田ボールであると判断す
る。
【００２２】半田ボールの真円度に関しては、ボール存
在領域３４では、しきい値１．１に設定され、この設定
値より大きい真円度の画像はエラーとする。他方、ボー
ル不存在領域３５では、しきい値５に設定され、この設
定値より小さい真円度の画像は半田ボールであると判断
する。
在領域３４では、しきい値１．１に設定され、この設定
値より大きい真円度の画像はエラーとする。他方、ボー
ル不存在領域３５では、しきい値５に設定され、この設
定値より小さい真円度の画像は半田ボールであると判断
する。
【００２３】ボール存在領域３４の真円度のしきい値
は、これより大きい真円度の値を有する画像を検出する
のに使用する。ダブルボールエラー（正規の吸着穴に吸
着された半田ボールに別の半田ボールが付着している状
態）が、これに当たる。このしきい値はシビアに調整を
する必要がある。ボール不存在領域３５では真円度のし
きい値は、これより小さな値を有するものを検出するの
に使用する。
は、これより大きい真円度の値を有する画像を検出する
のに使用する。ダブルボールエラー（正規の吸着穴に吸
着された半田ボールに別の半田ボールが付着している状
態）が、これに当たる。このしきい値はシビアに調整を
する必要がある。ボール不存在領域３５では真円度のし
きい値は、これより小さな値を有するものを検出するの
に使用する。
【００２４】更に、ボールズレ量についても検査を行
う。この項目はボール存在領域３４もボール不存在領域
３５も同一のパラメータを使用して検査される。そし
て、ボールピッチの２分の１以上のボール位置ズレは、
エラーと判断される。
う。この項目はボール存在領域３４もボール不存在領域
３５も同一のパラメータを使用して検査される。そし
て、ボールピッチの２分の１以上のボール位置ズレは、
エラーと判断される。
【００２５】以上の説明は、吸着ヘッド１の吸着ボール
の画像取込手段を有する実施例に関するものであるが、
電子部品上に搭載された半田ボールの画像取込手段を有
する実施例も当然考えられ、かような場合であっても、
取込対象が異なるのみであって、同様の方法でボール検
査が行いうるものである。電子部品上に搭載された半田
ボールの画像取込の場合、取込画像は、素子がある領域
と素子がない領域とに区分されることになる。
の画像取込手段を有する実施例に関するものであるが、
電子部品上に搭載された半田ボールの画像取込手段を有
する実施例も当然考えられ、かような場合であっても、
取込対象が異なるのみであって、同様の方法でボール検
査が行いうるものである。電子部品上に搭載された半田
ボールの画像取込の場合、取込画像は、素子がある領域
と素子がない領域とに区分されることになる。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、第１に、画像取込手段での取
込画像領域である検査領域にボール存在領域とボール不
存在領域とを設定し、ボール不存在領域においてもボー
ル検査を行うボール検査装置としたので、広い範囲での
ゴミ、過多ボールの検査が行え、ボール不存在領域に付
着したボールがワーク（ウエハ）上に落ちて転がり、ワ
ークに不良を発生させる危険を防止できる等、過多ボー
ルやゴミ等に起因する不良品の発生を押さえることがで
きるボール検査装置となった。
込画像領域である検査領域にボール存在領域とボール不
存在領域とを設定し、ボール不存在領域においてもボー
ル検査を行うボール検査装置としたので、広い範囲での
ゴミ、過多ボールの検査が行え、ボール不存在領域に付
着したボールがワーク（ウエハ）上に落ちて転がり、ワ
ークに不良を発生させる危険を防止できる等、過多ボー
ルやゴミ等に起因する不良品の発生を押さえることがで
きるボール検査装置となった。
【００２７】第２に、本発明は、ボール存在領域におけ
るボール検査基準とボール不存在領域におけるボール検
査基準とを異ならせて設定するものであるので、ボール
不存在領域でのボール搭載の障害にならない傷やシミ等
を異常とせず、ボール搭載装置の稼働効率を上げること
ができるボール検査装置となった。
るボール検査基準とボール不存在領域におけるボール検
査基準とを異ならせて設定するものであるので、ボール
不存在領域でのボール搭載の障害にならない傷やシミ等
を異常とせず、ボール搭載装置の稼働効率を上げること
ができるボール検査装置となった。
【００２８】請求項４記載の発明の効果ではあるが、検
査項目が少なくともボールの真円度とサイズとを含むも
のであるので、ボール搭載の障害となる異常とボール搭
載の障害とならない傷やシミ等の識別が正確になり、検
査精度の向上したボール検査装置となった。
査項目が少なくともボールの真円度とサイズとを含むも
のであるので、ボール搭載の障害となる異常とボール搭
載の障害とならない傷やシミ等の識別が正確になり、検
査精度の向上したボール検査装置となった。
【図１】ボール検査装置の概略を示す説明図
【図２】吸着ヘッドのボール吸着面の概略平面図
【図３】ボール存在領域とボール不存在領域を示す説明
図
図
１．．．．吸着ヘッド ２．．．．半田ボール ３．．．．ラインセンサカメラ ４．．．．基準マーク １１．．．ボールねじ １２．．．ナット １３．．．レンズ １４．．．照明ライト ３１．．．素子 ３４．．．ボール存在領域 ３５．．．ボール不存在領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菱沼 繁 石川県金沢市大豆田本町甲58 澁谷工業株 式会社内 Ｆターム(参考） 5E319 BB04 CD51
Claims (4)
- 【請求項１】搭載対象物へのボール搭載装置のボール検
査装置において、ボール検査用の画像取込手段を設ける
と共に、該画像取込手段での取込画像領域である検査領
域にボール存在領域とボール不存在領域とを設定し、ボ
ール存在領域におけるボール検査基準とボール不存在領
域におけるボール検査基準とを異ならせて設定すること
を特徴とするボール検査装置。 - 【請求項２】搭載対象物へのボール搭載装置のボール検
査装置において、ボール検査用の画像取込手段を設ける
と共に、該画像取込手段での取込画像領域であるボール
搭載の検査領域に素子がある領域と素子がない領域とを
設定し、素子がある領域に対するボール検査の基準と素
子がない領域に対するボール検査の基準とを異ならせて
設定することを特徴とするボール検査装置。 - 【請求項３】搭載対象物へのボール搭載装置のボール検
査装置において、ボール検査用の画像取込手段を設ける
と共に、該画像取込手段での取込画像領域であるボール
吸着ヘッドの検査領域に、素子がある領域に対応する吸
着ヘッドの領域と、素子がない領域に対応する吸着ヘッ
ドの領域とを設定し、素子がある領域に対応する吸着ヘ
ッドの領域に対するボール検査の基準と素子がない領域
に対応する吸着ヘッドの領域に対するボール検査の基準
とを異ならせて設定することを特徴とするボール検査装
置。 - 【請求項４】検査項目が少なくともボールの真円度とサ
イズとを含むことを特徴とする請求項１、又は請求項
２、若しくは請求項３記載のボール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000244203A JP2002057179A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | ボール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000244203A JP2002057179A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | ボール検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002057179A true JP2002057179A (ja) | 2002-02-22 |
Family
ID=18734920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000244203A Pending JP2002057179A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | ボール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002057179A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006305634A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-09 | Shinka Jitsugyo Kk | 半田付け装置及びディスクドライブにおける半田付け方法 |
| WO2024189904A1 (ja) * | 2023-03-16 | 2024-09-19 | 株式会社Fuji | 対象物検出装置および対象物検出方法 |
-
2000
- 2000-08-11 JP JP2000244203A patent/JP2002057179A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006305634A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-09 | Shinka Jitsugyo Kk | 半田付け装置及びディスクドライブにおける半田付け方法 |
| WO2024189904A1 (ja) * | 2023-03-16 | 2024-09-19 | 株式会社Fuji | 対象物検出装置および対象物検出方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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|
| A977 | Report on retrieval |
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