JP2002055284A - 顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査する装置および走査顕微鏡の照明装置 - Google Patents
顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査する装置および走査顕微鏡の照明装置Info
- Publication number
- JP2002055284A JP2002055284A JP2001183690A JP2001183690A JP2002055284A JP 2002055284 A JP2002055284 A JP 2002055284A JP 2001183690 A JP2001183690 A JP 2001183690A JP 2001183690 A JP2001183690 A JP 2001183690A JP 2002055284 A JP2002055284 A JP 2002055284A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- laser
- scanning microscope
- optical element
- microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02295—Microstructured optical fibre
- G02B6/02314—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
- G02B6/02342—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by cladding features, i.e. light confining region
- G02B6/02376—Longitudinal variation along fibre axis direction, e.g. tapered holes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0056—Optical details of the image generation based on optical coherence, e.g. phase-contrast arrangements, interference arrangements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0064—Optical details of the image generation multi-spectral or wavelength-selective arrangements, e.g. wavelength fan-out, chromatic profiling
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/008—Details of detection or image processing, including general computer control
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1225—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths comprising photonic band-gap structures or photonic lattices
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/255—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
- G02B6/2552—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding reshaping or reforming of light guides for coupling using thermal heating, e.g. tapering, forming of a lens on light guide ends
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02295—Microstructured optical fibre
- G02B6/02314—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
- G02B6/02342—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by cladding features, i.e. light confining region
- G02B6/02366—Single ring of structures, e.g. "air clad"
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02295—Microstructured optical fibre
- G02B6/02314—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
- G02B6/02342—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by cladding features, i.e. light confining region
- G02B6/02371—Cross section of longitudinal structures is non-circular
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/16—Solid materials
- H01S3/1601—Solid materials characterised by an active (lasing) ion
- H01S3/162—Solid materials characterised by an active (lasing) ion transition metal
- H01S3/1625—Solid materials characterised by an active (lasing) ion transition metal titanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/16—Solid materials
- H01S3/163—Solid materials characterised by a crystal matrix
- H01S3/1631—Solid materials characterised by a crystal matrix aluminate
- H01S3/1636—Al2O3 (Sapphire)
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
囲を使用できる走査顕微鏡の照明装置を提供する。 【解決手段】レーザー(1)と光学的手段(12)の間
に、レーザー(1)によって生じた光を、最初の通過時
にスペクトル拡散させる光学要素(3)を設ける。
Description
を走査顕微鏡で検査する装置に関する。特に本発明は、
顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査する装置におい
て、走査顕微鏡が、レーザーと、レーザーによって生じ
た光を被検査対象物である試料に結像させる光学的手段
とを備えた前記装置に関する。走査顕微鏡は共焦点顕微
鏡として構成されていてもよい。さらに本発明は、走査
顕微鏡の照明装置に関するものである。
る。このため、光源としてレーザーを使用することが多
い。たとえば、欧州特許第0495930号公報に記載
の「マルチバンド蛍光用共焦点顕微鏡システム」では、
複数のレーザー光線を放出するレーザーを1個配置する
ことが知られている。しかし最近では主に混合ガスレー
ザー、特にArKrレーザーが使用される。
使用される。" Confocal Microscope "なる発明の名称の
米国特許第5161053号公報から知られている共焦
点顕微鏡では、外部の光源の光はガラスファイバーによ
り顕微鏡の光路へ伝送され、ガラスファイバーの端部が
点光源として用いられるため、機械的な絞りを必要とし
ない。
ているため、マルチラインを同時に励起するには、複数
個のレーザーの光を1つの照明光路に統合せねばならな
い。マルチラインとして通常用いられるガスレーザーは
非常に構成が複雑で、高価である。さらに保守が頻繁に
必要であり、顕微鏡への多くの適用例において継続使用
が難しい。
チラインレーザーを使用せずに、複数のスペクトル線で
の試料検査を可能にする走査顕微鏡を提供することであ
る。
可能であった他のスペクトル範囲を使用できる走査顕微
鏡の照明装置を提供することである。
顕微鏡においては、レーザーと、レーザーによって生じ
た光を被検査対象物である試料に結像させる光学的手段
とを備えた、顕微プレパラートを検査するための走査顕
微鏡において、レーザーと光学的手段の間に、レーザー
によって生じた光を、最初の通過時にスペクトル拡散さ
せる(spektral verbreitern)光学要素が設けられている
ことを特徴とするものである。
を有するレーザーを備えた走査顕微鏡の照明装置におい
て、光出口穴に、フォトニックバンドギャップ材からな
る光学要素が取り付けられていることを特徴とするもの
である。
要素の利点は、ファイバーの光学的に非線形的な構成に
より、短いレーザーパルスが拡散され、よってスペクト
ル幅の広い、連続的な光スペクトルが生じることであ
る。「フォトバンドギャップ材」とは、微細構造の透明
な材料である。主に種々の誘電体をつなぎ合わせること
により、得られた結晶に光子用のバンド構造が刻設され
る。このバンド構造は、半導体の電子バンド構造に類似
している。
現される。光ファイバーは、構造化を考慮して配置され
たガラス管またはガラスブロックから引き抜くことによ
って製造できる。光ファイバーには特殊な構造が存在す
る。すなわち、繊維方向に小さなカニューレが自由に存
在し、これらのカニューレはほぼ2−3μmの間隔で、
径は約1μmであり、ほとんど空気で充填されている。フ
ァイバーの中心にはカニューレは存在しない。この種の
ファイバーは「photon crystall fibers」、「holey fi
bers」、「microstructured fibers」として知られてい
る。
範囲全体にわたって連続的なスペクトル分布を得るため
に使用できる。このため、短パルスレーザーが光ファイバ
ーにカップリングされる。光ファイバーが光学的に非線
形な構成であるので、レーザーの周波数スペクトルが拡
散する。スペクトル幅の広い、連続的な光スペクトルが生
じる。
は、多数の微小光学構造要素から構成され、これらの微小
光学構造要素は少なくとも2つの異なる光学密度を有し
ている。特に有利な実施形態では、光学要素は第1の領
域と第2の領域を有し、第1の領域は均質な構造を持
ち、第2の領域内には、微小光学構造要素からなる顕微
構造が形成されている。さらに、第1の領域が第2の領
域を取り囲んでいるのが有利である。微小光学構造要素
は、有利にはカニューレ、細条片、ハニカム体、管片または
中空空間である。
たガラス材またはプラスチック材と中空空間からなって
いる。特に有利な変形実施形態では、光学要素はフォト
ニックバンドギャップ材からなり、光ファイバーとして
構成されている。この場合、光ファイバーの端部でのレー
ザー光線の逆反射を抑制する光ダイオードをレーザーと
光ファイバーの間に設けるのが有利である。
態によれば、光学要素として、ファイバーコアを備えた
従来の光ファイバーが使用され、この光ファイバーは少
なくとも一部に沿って先細り部を有している。この種の
光ファイバーは、いわゆるテーパーファイバーとして知
られている。有利には、光ファイバーが全体で1mの長さ
で、30mmないし90mmの長さで先細り部を有している
のがよい。ファイバーの径は、有利な構成では、先細り
部の領域外では150μm、この領域でのファイバーコ
アの径はほぼ8μmである。先細り部の領域でのファイバ
ーの径はほぼ2μmに縮小されている。これに対応して、
ファイバーコアの径はナノメータの範囲である。
し、光パワーを安定させる手段を組み込む必要がある。そ
れゆえ、このようなファイバーレーザーを、電子光学的に
調整可能なフィルタ(AOTF)、音響光学的または電子光
学的検出器(AOD)および音響光学的または電子光学的
ビームスプリッター(AOBS)と組み合わせるのが有利で
ある。これらは波長を選択するためにも、検出光を絞る
ためにも使用することができる(本出願人による出願、
ドイツ連邦共和国特許公開第19906757A1号公
報「光学装置」を参照)。
出口端部を点光源として利用でき、これにより励起絞り
を使用せずに済む。この種の構成においては、ファイバ
ー自体を部分的に反射性を持つようにコーティングし
て、この部分反射部が共振器エンドミラーを形成するよ
うにするのが特に有利である。
する装置が設けられている。たとえば、光パワーを安定さ
せるための制御ループを組み込んでよく、制御ループは
顕微鏡の光路内で光パワーを測定し、たとえばポンプ光
パワーを変化させることにより、或いは音響光学的また
は電子光学的要素を用いて、試料照明光パワーを一定に
保持する。この目的のため、LCD減衰器を使用してもよい。
置は、複数のスペクトル範囲を照明用に提供するように
構成されている。走査顕微鏡の照明装置であるレーザー
の光出口端部には光学要素が固定されている。この光学
要素はフォトニックバンドギャップ材からなっている。
さらにフォトニックバンドギャップ材は光ファイバーと
して構成されていてよい。
図面を用いて詳細に説明する。図1は共焦点顕微鏡を示
すもので、光学要素3を、パルスレーザー1から発生し
たレーザーパルスの伝播に使用する。レーザーパルス1
はパルス化されたレーザー光線2を決定し、パルス化さ
れたレーザー光線2は光学要素3によって案内される。
光学要素3はフォトニックバンドギャップ材である。光
学要素3からはスペクトル広帯域照明光4が出力され、
照明光4は第1の光学系5によって照明ピンホール6に
結像され、その後ビームスプリッター7に当たる。スペ
クトル広帯域照明光4はビームスプリッター7から、平
行光線4aを生じさせる第2の光学系8に達し、平行光
線4aはスキャンミラー9に当たる。スキャンミラー9の
下流側には複数の光学系10と11が配置され、これら
の光学系は平行光線4aを整形する。平行光線4aは対物
レンズ12に達し、対物レンズ12によって試料13に
結像する。試料から反射または送出した光は観察光路4b
を決定する。観察光路4bの光は再び第2の光学系8を通
過し、検出器15の前に着座している検出ピンホール1
4に結像する。光学要素3により、試料13の検査に必
要なレーザー光を所望のスペクトルに応じて生じさせる
ことが可能である。
は、照明ピンホール6が設けられていない。図1の構成
要素と一致する構成要素にはすべて同じ符号が付してあ
る。この実施形態では、第1の光学系5の代わりにAOTF
(acousto optical tunable filter)16が使用され、AO
TF16は対応するAOTF制御器17に接続されている。光
学要素3は広帯域照明光4を生じさせることができるの
で、波長を選択し、光パワーを安定させる手段を設ける
必要がある。有利には、音響光学的または電子光学的に
調整可能なフィルタ(AOTF)を、音響光学的または電子
光学的検出器(AOD)および音響光学的または電子光学
的ビームスプリッター(AOBS)と組み合わせるのがよ
い。音響光学的または電子光学的検出器(AOD)および音
響光学的または電子光学的ビームスプリッター(AOBS)
は波長を選択するためにも、検出光を絞るためにも使用
することができる。さらにAOTF16には、照明光のうち
使用されなかった成分を捕獲して、走査顕微鏡を不必要
に妨害しないようにするビームパン18が付設されてい
る。
である。この実施形態では、光学要素3の代わりに光フ
ァイバー20が使用される。光ファイバー20はフォト
ニックバンドギャップ材からなっている。パルスレーザ
ー1によりパルス化されたレーザー光線2は、光学系1
9を介して光ファイバー20の入口端20aにカップリ
ングされる。光ファイバー20はフォトニックバンドギ
ャップ材からなっているので、出口端20bからはスペ
クトル拡散されたレーザーパルスが放出され、光学系2
1を介してデカップリングされる。スペクトル拡散され
たレーザーパルスが照明ピンホール6に当たる前に、ス
ペクトルフィルタリングを行なう。このため複数個のカ
ラーフィルタ24がレボルバー23上に配置されてい
る。モータ22によりレボルバー23を回転させること
ができるので、適当なカラーフィルタ24を光路内へ挿
入させることができる。カラーフィルタ24を直線的に
配置してもよく、この場合カラーフィルタ24は直線運
動により照明光路50内へ移動する。照明ピンホール6
の後の照明光路50は図1の光路に対応している。すで
に図1で述べたように、ビームスプリッター7は光をス
キャンミラー9へ誘導する。光の一部はビームスプリッ
ター7を通過し、損失光路50aを決定する。光のこの成
分は観察または測定のために損失したものである。この
理由から損失光路50a内には検出器25が設けられ、
検出器25は損失光を決定し、これから、ケーブル30
により電子制御器26へ誘導される電子量を求める。電
子制御器26は他のケーブル32を介してパルスレーザ
ー1に接続されている。電子制御器26はケーブル32
を介してパルスレーザー1の強度を制御し、すなわち試
料13に常に一定の光パワーが当たるように制御する。
たとえば、光パワーを安定させるための制御ループを設
けて、顕微鏡の光路内の光パワーを寄生的に測定し、た
とえばポンプ光パワーを変化させることにより、或いは
音響光学的または電子光学的要素を用いて、試料照明光
パワーを一定に保持するようにしてよい。このためにLCD
減衰器を使用してもよい。
る。この実施形態では、光学要素3は従来の光ファイバ
ー51からなっており、その外径は125μmで、ファ
イバーコア52を備えている。ファイバーコア52の内
径は6μmである。300mmの長さの先細り部53の領域
において光ファイバー51の外径は1.8μmに縮小さ
れている。この領域でのファイバーコア52の径はマイ
クロメートルの数分の一にすぎない。
る。光学要素3はフォトニックバンドギャップ材からな
り、特殊なハニカム状微細構造54を有している。図示
したハニカム構造は、広帯域光の生成に特に適してい
る。内側のカニューレ55の径は約1.9μmである。内
側のカニューレ55はガラス細条片56によって取り囲
まれている。ガラス細条片56はハニカム状の中空空間
57を形成している。これらの微小光学構造要素は協働
して第2の領域58を形成しており、第2の領域58
は、ガラス被覆部として実施されている第1の領域59
によって取り囲まれている。
したが、本願の特許請求の範囲の権利保護範囲を逸脱す
ることなく、種々の変更および改変を行なってもよいこ
とは言うまでもない。
図である。
ある。
る。
r) 17 AOTF制御器 18 ビームパン 19 光学系 20 光ファイバー 20a 光ファイバーの入口端 20b 光ファイバーの出口端 21 光学系 22 モータ 23 レボルバー 24 カラーフィルタ 25 検出器 26 電子制御器 30 ケーブル 32 ケーブル 50 照明光路 50a 損失光路 51 光ファイバー 52 ファイバーコア 54 ハニカム状微細構造 55 カニューレ 56 ガラス細条片 57 中空空間 58 第2の領域 59 第1の領域
Claims (6)
- 【請求項1】レーザー(1)と、レーザー(1)によっ
て生じた光を被検査対象物である試料(13)に結像さ
せる光学的手段(12)とを備えた、顕微プレパラート
を検査するための走査顕微鏡において、 レーザー(1)と光学的手段(12)の間に、レーザー
(1)によって生じた光を、最初の通過時にスペクトル
拡散させる光学要素(3,20)が設けられていること
を特徴とする走査顕微鏡。 - 【請求項2】光学要素(3,20)がフォトニックバン
ドギャップ材からなっていることを特徴とする、請求項
1に記載の走査顕微鏡。 - 【請求項3】光学要素(3,20)が、先細り部(5
3)を有する光ファイバー(23)として構成されてい
ることを特徴とする、請求項1に記載の走査顕微鏡。 - 【請求項4】光学要素(3,20)の下流側に、少なく
とも1つの波長または少なくとも1つの波長範囲の光を
減衰および(または)絞るための手段(16,18およ
び(または)23,24)が配置されていることを特徴
とする、請求項1から3までのいずれか一つに記載の走
査顕微鏡。 - 【請求項5】光出口穴を有するレーザー(1)を備えた
走査顕微鏡の照明装置において、 光出口穴に、フォトニックバンドギャップ材からなる光
学要素(3,20)が取り付けられていることを特徴と
する照明装置。 - 【請求項6】光学要素(3,20)が光ファイバー(2
0)として構成され、先細り部を有していることを特徴
とする、請求項5に記載の照明装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10030013 | 2000-06-17 | ||
DE10115509A DE10115509A1 (de) | 2000-06-17 | 2001-03-29 | Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop |
DE10115509:3 | 2001-03-29 | ||
DE10030013:8 | 2001-03-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002055284A true JP2002055284A (ja) | 2002-02-20 |
JP4560243B2 JP4560243B2 (ja) | 2010-10-13 |
Family
ID=26006134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001183690A Expired - Lifetime JP4560243B2 (ja) | 2000-06-17 | 2001-06-18 | 顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査する装置構造および走査顕微鏡のための照明装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6888674B1 (ja) |
EP (1) | EP1164400B1 (ja) |
JP (1) | JP4560243B2 (ja) |
DE (1) | DE20122783U1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004333579A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Olympus Corp | レーザ走査顕微鏡 |
JP2006503283A (ja) * | 2002-10-16 | 2006-01-26 | パーキンエルマー・シンガポール・プライベート・リミテッド | 画像化に関する改善 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7215468B2 (en) * | 2003-07-29 | 2007-05-08 | Olympus Corporation | Confocal microscope |
DE10340964A1 (de) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Lichtquelle mit einem mikrostrukturierten optischen Element |
DE102004026931B3 (de) * | 2004-06-01 | 2005-12-22 | Schott Ag | Breitbandige Lichtquelle, welche ein breitbandiges Spektrum aufweist, und ein Kurzkohärenz-Meßgerät, das eine derartige Lichtquelle aufweist |
US7133590B2 (en) * | 2005-03-17 | 2006-11-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | IR supercontinuum source |
DE102005059338A1 (de) * | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Untersuchung von Proben |
DE102006039083A1 (de) * | 2006-08-17 | 2008-02-21 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Durchstimmbare Beleuchtungsquelle |
DE102007002203A1 (de) | 2007-01-16 | 2008-07-17 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Beleuchtungsvorrichtung und Beleuchtungsverfahren |
DE102009048710B4 (de) * | 2009-10-08 | 2020-04-02 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Lasersystem für ein Mikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Lasersystems für ein Mikroskop |
WO2011046896A1 (en) * | 2009-10-13 | 2011-04-21 | Intelligent Imaging Innovations, Inc. | Supercontinuum laser source for full-field confocal microscopy, spim and tirf |
US20110144745A1 (en) * | 2009-12-11 | 2011-06-16 | Martin Michael Mcculloch | Ophthalmic endoillumination system |
US8840541B2 (en) | 2010-02-25 | 2014-09-23 | Apollo Endosurgery, Inc. | Pressure sensing gastric banding system |
JP5445407B2 (ja) * | 2010-09-08 | 2014-03-19 | 横河電機株式会社 | 生体情報測定装置 |
DE102011106916B4 (de) | 2011-07-08 | 2021-10-28 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Konfokales Auflicht-Rastermikroskop, Verfahren und Programm zum Betrieb eines solchen Mikroskops |
CN116075755A (zh) * | 2020-08-08 | 2023-05-05 | 维林光电公司 | 多芯纤维及其制造和使用方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH043426U (ja) * | 1990-04-23 | 1992-01-13 | ||
JPH08211296A (ja) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Shimadzu Corp | 共焦点走査型光学顕微鏡 |
WO1999000685A1 (en) * | 1997-06-26 | 1999-01-07 | The Secretary Of State For Defence | Single mode optical fibre |
JPH11500832A (ja) * | 1995-12-12 | 1999-01-19 | スペクトラル ダイアグノスティック リミテッド | 生物学研究、医療診断および治療用の分光生物撮像法、蛍光交配方法および細胞分類方法 |
JPH11174332A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Nikon Corp | レーザ顕微鏡 |
WO1999042884A1 (de) * | 1998-02-19 | 1999-08-26 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Optische anordnung mit spektral selektivem element |
JPH11284260A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-10-15 | Imra America Inc | 制御可能な多波長出力をもつ超短パルス光源 |
JPH11326775A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-11-26 | Olympus Optical Co Ltd | 多光子励起レ―ザ顕微鏡 |
JP2000035400A (ja) * | 1998-07-04 | 2000-02-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 共焦点顕微鏡による検査方法およびそのシステム構成 |
JP2000047117A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-02-18 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Aotfを備えたレ―ザ―走査式顕微鏡 |
WO2000013839A1 (de) * | 1998-09-08 | 2000-03-16 | Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft | Laserstrahlungsquelle |
Family Cites Families (73)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3720822A (en) | 1971-01-29 | 1973-03-13 | Xenotech Inc | Xenon photography light |
US4011403A (en) | 1976-03-30 | 1977-03-08 | Northwestern University | Fiber optic laser illuminators |
US4063106A (en) * | 1977-04-25 | 1977-12-13 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Optical fiber Raman oscillator |
US4632100A (en) * | 1985-08-29 | 1986-12-30 | Marlowe E. Goble | Suture anchor assembly |
CA1325537C (en) | 1988-08-01 | 1993-12-28 | Timothy Peter Dabbs | Confocal microscope |
US5034613A (en) | 1989-11-14 | 1991-07-23 | Cornell Research Foundation, Inc. | Two-photon laser microscopy |
US5127730A (en) | 1990-08-10 | 1992-07-07 | Regents Of The University Of Minnesota | Multi-color laser scanning confocal imaging system |
US5272330A (en) | 1990-11-19 | 1993-12-21 | At&T Bell Laboratories | Near field scanning optical microscope having a tapered waveguide |
US5286970A (en) | 1990-11-19 | 1994-02-15 | At&T Bell Laboratories | Near field optical microscopic examination of a biological specimen |
US5286971A (en) | 1990-11-19 | 1994-02-15 | At&T Bell Laboratories | Data recording using a near field optical probe |
US5155792A (en) | 1991-06-27 | 1992-10-13 | Hughes Aircraft Company | Low index of refraction optical fiber with tubular core and/or cladding |
JP2777505B2 (ja) | 1992-07-29 | 1998-07-16 | 株式会社日立製作所 | 自動分析電子顕微鏡および分析評価方法 |
US5283433A (en) | 1992-10-05 | 1994-02-01 | The Regents Of The University Of California | Scanning confocal microscope providing a continuous display |
US5394268A (en) | 1993-02-05 | 1995-02-28 | Carnegie Mellon University | Field synthesis and optical subsectioning for standing wave microscopy |
US5302135A (en) * | 1993-02-09 | 1994-04-12 | Lee Feng Jui | Electrical plug |
US5500000A (en) * | 1993-07-01 | 1996-03-19 | United States Surgical Corporation | Soft tissue repair system and method |
US5764845A (en) | 1993-08-03 | 1998-06-09 | Fujitsu Limited | Light guide device, light source device, and liquid crystal display device |
US5537247A (en) | 1994-03-15 | 1996-07-16 | Technical Instrument Company | Single aperture confocal imaging system |
DE4414940C2 (de) | 1994-04-28 | 1998-07-02 | Pekka Haenninen | Lumineszenz-Rastermikroskop mit zwei Photonen Anregung |
WO1996006377A1 (de) | 1994-08-25 | 1996-02-29 | Leica Lasertechnik Gmbh | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop |
DE4446185C2 (de) | 1994-08-25 | 1997-03-27 | Leica Lasertechnik | Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-Scanmikroskop |
US5541613A (en) * | 1994-11-03 | 1996-07-30 | Hughes Aircraft Company, Hughes Electronics | Efficient broadband antenna system using photonic bandgap crystals |
US5784152A (en) | 1995-03-16 | 1998-07-21 | Bio-Rad Laboratories | Tunable excitation and/or tunable detection microplate reader |
US5861984A (en) | 1995-03-31 | 1999-01-19 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Confocal scanning microscope and beamsplitter therefor |
US6102947A (en) * | 1995-07-20 | 2000-08-15 | Gordon; Leonard | Splint with flexible body for repair of tendons or ligaments and method |
KR100209608B1 (ko) | 1995-09-15 | 1999-07-15 | 구자홍 | 광 출력검지 장치 |
US5802236A (en) | 1997-02-14 | 1998-09-01 | Lucent Technologies Inc. | Article comprising a micro-structured optical fiber, and method of making such fiber |
DE19622359B4 (de) * | 1996-06-04 | 2007-11-22 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang |
US6005709A (en) * | 1996-06-05 | 1999-12-21 | Marine Biological Laboratory | Microscope system for using transmitted light to observe living organisms |
US6002522A (en) | 1996-06-11 | 1999-12-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical functional element comprising photonic crystal |
US6666892B2 (en) * | 1996-08-23 | 2003-12-23 | Cook Biotech Incorporated | Multi-formed collagenous biomaterial medical device |
CZ54899A3 (cs) * | 1996-08-23 | 1999-08-11 | Cook Biotech, Incorporated | Štěpová protéza, materiály s ní spojené a způsoby její výroby |
US5862287A (en) | 1996-12-13 | 1999-01-19 | Imra America, Inc. | Apparatus and method for delivery of dispersion compensated ultrashort optical pulses with high peak power |
DE19758748C2 (de) * | 1997-01-27 | 2003-07-31 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laser-Scanning-Mikroskop |
US5796477A (en) | 1997-02-27 | 1998-08-18 | Trustees Of Boston University | Entangled-photon microscopy, spectroscopy, and display |
US5995281A (en) * | 1997-04-09 | 1999-11-30 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Device for coupling the radiation of short-pulse lasers in an optical beam path of a microscope |
US6108127A (en) | 1997-05-15 | 2000-08-22 | 3M Innovative Properties Company | High resolution confocal microscope |
EP0886174A3 (en) | 1997-06-18 | 2001-03-07 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | White optical pulse source and applications |
US5973316A (en) | 1997-07-08 | 1999-10-26 | Nec Research Institute, Inc. | Sub-wavelength aperture arrays with enhanced light transmission |
US6356088B1 (en) | 1997-08-01 | 2002-03-12 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Highly compact laser scanning microscope with integrated short-pulse laser |
US5967653A (en) | 1997-08-06 | 1999-10-19 | Miller; Jack V. | Light projector with parabolic transition format coupler |
US6068648A (en) * | 1998-01-26 | 2000-05-30 | Orthodyne, Inc. | Tissue anchoring system and method |
DE19906757B4 (de) * | 1998-02-19 | 2004-07-15 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Mikroskop |
US6404966B1 (en) | 1998-05-07 | 2002-06-11 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical fiber |
DE19829954A1 (de) | 1998-07-04 | 2000-01-05 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Strahlteiler in einem Laser-Scanning-Mikroskop |
KR100328291B1 (ko) | 1998-07-14 | 2002-08-08 | 노베라 옵틱스 인코포레이티드 | 능동제어된파장별이득을갖는광증폭기및변화가능한출력스펙트럼을갖는광섬유광원 |
DE19835068A1 (de) * | 1998-08-04 | 2000-02-10 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Mikroskop, insbesondere Laser-Scanning-Mikroskop |
JP2000199855A (ja) | 1998-11-02 | 2000-07-18 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡装置 |
US6243522B1 (en) | 1998-12-21 | 2001-06-05 | Corning Incorporated | Photonic crystal fiber |
GB9903918D0 (en) * | 1999-02-19 | 1999-04-14 | Univ Bath | Improvements in and relating to photonic crystal fibres |
US6424665B1 (en) | 1999-04-30 | 2002-07-23 | The Regents Of The University Of California | Ultra-bright source of polarization-entangled photons |
US6097870A (en) | 1999-05-17 | 2000-08-01 | Lucent Technologies Inc. | Article utilizing optical waveguides with anomalous dispersion at vis-nir wavelenghts |
US6252665B1 (en) | 1999-05-20 | 2001-06-26 | California Institute Of Technology | Lithography using quantum entangled particles |
US6236779B1 (en) * | 1999-05-24 | 2001-05-22 | Spectra Physics Lasers, Inc. | Photonic crystal fiber system for sub-picosecond pulses |
GB0010950D0 (en) * | 2000-05-05 | 2000-06-28 | Univ Bath | A nonlinear optical device |
US6885683B1 (en) * | 2000-05-23 | 2005-04-26 | Imra America, Inc. | Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source |
US6592571B1 (en) * | 2000-05-24 | 2003-07-15 | Medtronic, Inc. | Drug pump with suture loops flush to outer surface |
EP1164401B1 (de) * | 2000-06-17 | 2005-03-09 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Verschränkte-Photonen-Mikroskop |
EP1164402B1 (de) | 2000-06-17 | 2010-04-28 | Leica Microsystems CMS GmbH | Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauelement für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung |
DK1186929T4 (da) | 2000-06-17 | 2010-01-25 | Leica Microsystems | Arrangement til undersøgelse af mikroskopiske præparater med et scanningsmikroskop |
US6898367B2 (en) | 2000-06-17 | 2005-05-24 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Method and instrument for microscopy |
DE20122791U1 (de) * | 2000-06-17 | 2007-11-29 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Scanmikroskop |
EP1164406B1 (de) * | 2000-06-17 | 2019-04-17 | Leica Microsystems CMS GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts |
DE20122782U1 (de) * | 2000-06-17 | 2007-11-15 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Beleuchtungseinrichtung |
US6514784B1 (en) | 2000-09-01 | 2003-02-04 | National Research Council Of Canada | Laser-induced bandgap shifting for photonic device integration |
US6658183B1 (en) * | 2000-10-20 | 2003-12-02 | Lucent Technologies Inc. | Process for fabricating tapered microstructured fiber system and resultant system |
US6369928B1 (en) | 2000-11-01 | 2002-04-09 | Optical Biopsy Technologies, Inc. | Fiber-coupled, angled-dual-illumination-axis confocal scanning microscopes for performing reflective and two-photon fluorescence imaging |
US6599310B2 (en) * | 2001-06-29 | 2003-07-29 | Quill Medical, Inc. | Suture method |
DE10139754B4 (de) | 2001-08-13 | 2004-07-08 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Beleuchtungsverfahren für ein Scanmikroskop und Scanmikroskop |
US6721476B2 (en) | 2001-12-03 | 2004-04-13 | Honeywell International Inc. | Optical demultiplexer based on three-dimensionally periodic photonic crystals |
US6755868B2 (en) * | 2002-03-22 | 2004-06-29 | Ethicon, Inc. | Hernia repair device |
EP1545285B1 (en) * | 2002-08-02 | 2010-11-10 | C.R. Bard, Inc. | Self anchoring sling and introducer system |
US6773450B2 (en) * | 2002-08-09 | 2004-08-10 | Quill Medical, Inc. | Suture anchor and method |
-
2001
- 2001-03-29 DE DE20122783U patent/DE20122783U1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-01 EP EP01112880A patent/EP1164400B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-15 US US09/881,062 patent/US6888674B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-18 JP JP2001183690A patent/JP4560243B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-01-14 US US11/034,888 patent/US7123408B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2006
- 2006-10-13 US US11/580,065 patent/US20070035822A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH043426U (ja) * | 1990-04-23 | 1992-01-13 | ||
JPH08211296A (ja) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Shimadzu Corp | 共焦点走査型光学顕微鏡 |
JPH11500832A (ja) * | 1995-12-12 | 1999-01-19 | スペクトラル ダイアグノスティック リミテッド | 生物学研究、医療診断および治療用の分光生物撮像法、蛍光交配方法および細胞分類方法 |
WO1999000685A1 (en) * | 1997-06-26 | 1999-01-07 | The Secretary Of State For Defence | Single mode optical fibre |
JPH11284260A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-10-15 | Imra America Inc | 制御可能な多波長出力をもつ超短パルス光源 |
JPH11174332A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Nikon Corp | レーザ顕微鏡 |
WO1999042884A1 (de) * | 1998-02-19 | 1999-08-26 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Optische anordnung mit spektral selektivem element |
JPH11326775A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-11-26 | Olympus Optical Co Ltd | 多光子励起レ―ザ顕微鏡 |
JP2000047117A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-02-18 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Aotfを備えたレ―ザ―走査式顕微鏡 |
JP2000035400A (ja) * | 1998-07-04 | 2000-02-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 共焦点顕微鏡による検査方法およびそのシステム構成 |
WO2000013839A1 (de) * | 1998-09-08 | 2000-03-16 | Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft | Laserstrahlungsquelle |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006503283A (ja) * | 2002-10-16 | 2006-01-26 | パーキンエルマー・シンガポール・プライベート・リミテッド | 画像化に関する改善 |
JP4829499B2 (ja) * | 2002-10-16 | 2011-12-07 | パーキンエルマー・シンガポール・プライベート・リミテッド | 画像化に関する改善 |
US8289620B2 (en) | 2002-10-16 | 2012-10-16 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Imaging |
JP2004333579A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Olympus Corp | レーザ走査顕微鏡 |
US7130043B2 (en) | 2003-04-30 | 2006-10-31 | Olympus Corporation | Laser scanning microscope and indicator discriminating method |
JP4583723B2 (ja) * | 2003-04-30 | 2010-11-17 | オリンパス株式会社 | 試料を染色した蛍光試薬のレーザ走査顕微鏡を用いた判別方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1164400B1 (de) | 2008-09-03 |
JP4560243B2 (ja) | 2010-10-13 |
US6888674B1 (en) | 2005-05-03 |
US20070035822A1 (en) | 2007-02-15 |
DE20122783U1 (de) | 2007-11-15 |
US7123408B2 (en) | 2006-10-17 |
EP1164400A1 (de) | 2001-12-19 |
US20050122580A1 (en) | 2005-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7679822B2 (en) | Broadband laser illumination device for a scanning microscope with output stabilization | |
US7123408B2 (en) | Arrangement for examining microscopic preparations with a scanning microscope, and illumination device for a scanning microscope | |
US7466885B2 (en) | Light source comprising a plurality of microstructured optical elements | |
JP4533561B2 (ja) | 照明装置 | |
US6796699B2 (en) | Laser illuminator and method | |
US6567164B2 (en) | Entangled-photon microscope and confocal microscope | |
US7110645B2 (en) | Method and instrument for microscopy | |
JP4996793B2 (ja) | 走査顕微鏡 | |
JP5046442B2 (ja) | 走査顕微鏡で顕微プレパラートを検査するための装置 | |
US6806953B2 (en) | Method for fluorescence microscopy, and fluorescence microscope | |
US20060165359A1 (en) | Light source with a microstructured optica element and miroscope with a light source | |
McConnell et al. | Fast wavelength multiplexing of a white-light supercontinuum using a digital micromirror device for improved three-dimensional fluorescence microscopy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071030 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080129 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080201 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080228 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080304 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080328 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090515 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090520 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090616 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100423 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100428 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100525 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100528 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100713 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100726 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4560243 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130730 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |