JP2002048936A - 光伝導ファイバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】捩じれを防止するように構成された光伝導ファ
イバーを提供すること。 【解決手段】投光ファイバー３と受光ファイバー５とを
同一軸心上に配置し、中間位置の少なくとも１か所で分
離する。分離した一方の単体光伝導ファイバー２Ａの投
光ファイバー３Ａには、先端部が受光ファイバー５Ａの
先端部より突出した突出部３ａを形成し、他方の単体光
伝導ファイバー２Ｂの受光ファイバー５Ｂの基端部に
は、投光ファイバー３Ｂを内部に引き込んで凹部５ｂを
形成している。一方の単体光伝導ファイバー２Ａの投光
ファイバー３Ａの突出部３ａを他方の単体光伝導ファイ
バー２Ｂの受光ファイバー５Ｂの凹部５ａに僅かな隙間
Ｓを有して連結することによって、光伝導ファイバー１
を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、投光ファイバー
と受光ファイバーとが同一軸心上に配設された光伝導フ
ァイバーに関し、また、回動軸を有する構造体における
回動軸を挿通するように構成された光伝導ファイバーに
関し、さらには、基板を搬送するために回動可能に連結
されたアームを有して構成されるロボットに装着され、
基板を検出するため該回動軸を挿通して配線される光伝
導ファイバーに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウェハやガラス等の基板を搬送す
るために設置されたロボットには、カセットに収納され
た基板の有無を検出するセンサが装着されている。この
センサはロボット内を挿通して配線される光伝導ファイ
バーとして形成されている。この光伝導ファイバーは、
投光ファイバーと受光ファイバーとが並列して配置され
投光ファイバーの先端投光部から基板の側面部に光を投
射して、反射された光を受光ファイバーで感知すること
によって、基板の有無を検出していた。

【０００３】一方、前記基板は、上下に多段に配置され
た支持部を有するカセット内に収納され、また、カセッ
ト内の基板を順次取り出して搬送するロボットは、カセ
ット内に配置された基板を保持するハンドと、ハンドに
連結され基板をカセット内から直線的に移動させる屈伸
可能なアーム体と、を有して構成されていた。

【０００４】ロボット内に配線されている光伝導ファイ
バーは、その一端をロボットの機台内に配置されたセン
サアンプに接続し、各アームを連結する複数の回動軸を
挿通しながら他端をロボットのハンドに支持されて基板
と対向する位置に配置させている。

【０００５】しかし、基板を搬送するロボットは、基板
をロボットの周囲に設置された各加工ステージに搬送す
るために、アーム体やハンドを機台に対して回動させる
ことが多いことから、回動軸内を挿通する光伝導ファイ
バーは、回動軸内で捩じれを発生させることとなってい
た。

【０００６】そのためにロボット内に配線される従来の
光伝導ファイバーは、捩じれに強いプラスティックファ
イバーで形成されたケーブルが使用されていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、半導体
ウェハの製造においては、高温環境下や高真空・超高真
空チャンバー内で各種の加工が行なわれることが多く、
ロボットにおいても高温環境下や高真空・超高真空チャ
ンバー内で対応できるように構成しなければならなくな
ってきた。従来から使用されているプラスティックファ
イバーでは耐熱性が低く、またガスを発生させやすいこ
とから、光伝導ファイバーは、耐熱性が高くガスを発生
しないグラスファイバーで形成されたケーブルを使用す
ることが望まれていた。しかし、グラスファイバーは、
捩じれに弱いため、回動の多いロボットでは損傷しやす
いことから使用することができなかった。

【０００８】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、グラスファイバーで形成されたケーブルを使用で
きるように、捩じれを発生させずにロボットに装着でき
る光伝導ファイバーを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明にかかわる光伝導
ファイバーでは、上記の課題を解決するために、以下の
ように構成するものである。すなわち、同一軸心上に配
設された投光ファイバーと受光ファイバーとを有する光
伝導ファイバーであって、前記光伝導ファイバーが、中
間位置の少なくとも１か所において二体に分離され、二
体に分離された各単一光伝導ファイバーが、一方の単一
光伝導ファイバーの投光ファイバーと他方の単一光伝導
ファイバーの受光ファイバーとを非接触の状態で連結す
るように構成されていることを特徴とするものである。

【００１０】また、本発明に係わる光伝導ファイバー
は、同一軸心上に配設された投光ファイバーと受光ファ
イバーとを有するものであって、前記光伝導ファイバー
が、回動軸内を挿通するとともに、前記回動軸内または
前記回動軸付近において二体に分離され、二体に分離さ
れた各単一光伝導ファイバーが、一方の単一光伝導ファ
イバーの投光ファイバーと他方の単一光伝導ファイバー
の受光ファイバーとを非接触の状態で連結するように構
成されていることを特徴とするものである。

【００１１】さらに、本発明に係わる光伝導ファイバー
は、同一軸心上に配設された投光ファイバーと受光ファ
イバーとを有するものであって、前記光伝導ファイバー
は、機台上に配置されて回動軸で連結される少なくとも
２個のアームを有して構成されるロボットに装着される
とともに、前記ロボットで搬送される基板を検出できる
ように前記ロボット内に配線され、前記光伝導ファイバ
ーが、前記回動軸内を挿通するとともに、前記回動軸内
または前記回動軸付近において二体に分離されてそれぞ
れ各アームに装着され、二体に分離された各単一光伝導
ファイバーが、一方の単一光伝導ファイバーの投光ファ
イバーと他方の単一光伝導ファイバーの受光ファイバー
とを非接触の状態で連結するように構成されていること
を特徴とするものである。

【００１２】好ましくは、分離されたそれぞれの単一光
伝導ファイバーが、それぞれ対向する位置において、前
記各アームまたは前記機台に、取付部材を介して支持さ
れていればよい。

【００１３】

【発明の効果】本発明の光伝導ファイバーは、二体に分
離された各単一光伝導ファイバーが、一方の投光ファイ
バーと他方の受光ファイバーとを非接触の状態で連結し
ていることから、一方の単一光伝導ファイバーが装着さ
れている部材により軸心に対して回動することがあって
も、その回動は他方の単一光伝導ファイバーに伝達され
ず、分離された位置において捩じれを発生させることは
ない。しかも分離された各単一光伝導ファイバーにおけ
る、各投光ファイバー間と各受光ファイバー間との分離
された距離は、一方の投光ファイバーと他方の受光ファ
イバーとが対向する位置において極めて接近させること
ができることから、分離部位においても各投光ファイバ
ー間及び各受光ファイバー間で光の伝達を妨げることな
くそのセンサ能力を低下させるものではない。

【００１４】また、本発明の光伝導ファイバーを回動軸
内に挿通して配置させる場合、回動軸で回動する際に発
生する光伝導ファイバーの捩じれは、回動軸内あるいは
回動軸付近で二分割されることによって防止される。つ
まり、一方の単一光伝導ファイバーが回動軸とともに回
動しても、一方の単一光伝導ファイバーの投光ファイバ
ーあるいは受光ファイバーのいずれかが、非接触の状態
で連結されている他方の単一光伝導ファイバーの受光フ
ァイバーあるいは投光ファイバーの周りを回動するだけ
なので、他方の単一光伝導ファイバーは、一方の単一光
伝導ファイバーの回動に伴って回動されることはない。

【００１５】さらに、本発明の光伝導ファイバーを、基
板搬送するロボット内に装着する場合、光伝導ファイバ
ーは、ロボットの機台から屈伸可能な複数のアームを挿
通して配線されている。複数のアームは基板を搬送する
ために、光伝導ファイバーとともに回動軸を中心に回動
されることから、光伝導ファイバーの捩じれを発生しや
すい。しかし、この捩じれは、回動軸内あるいは回動軸
付近で二分割されることによって防止される。つまり、
一方の単一光伝導ファイバーがアームの回動により回動
しても、一方の単一光伝導ファイバーの投光ファイバー
あるいは受光ファイバーのいずれかが、非接触の状態で
連結されている他方のアームあるいは機台に支持された
単一光伝導ファイバーの受光ファイバーあるいは投光フ
ァイバーの周りを回動するだけなので、他方の単一光伝
導ファイバーは、一方の単一光伝導ファイバーの回動に
伴って回動されることはない。従って、捩じれに対して
弱いグラスファイバーを使用して高温環境下や高真空チ
ャンバー内に光伝導ファイバーを配置させることが可能
となる。

【００１６】また、分離された各単一光伝導ファイバー
が、各アームまたは機台に、取付部材で支持されている
ことから、分離された各単一伝導ファイバーが非接触で
連結されていても、それぞれの単一光伝導ファイバーは
取付部材で固定され、各単一光伝導ファイバー間での受
光・投光を確実に行なうことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。本形態の光伝導ファイバー１は、
図１〜２に示すように、投光ファイバー３と受光ファイ
バー５とを同一軸心上で二重に配置し、中間位置の少な
くとも１か所以上において分離させ、分離された複数の
単一光伝導ファイバー２を遊嵌状態で連結することによ
って構成されている。

【００１８】投光ファイバー３と受光ファイバー５と
は、いずれか一方が内側または外側に配置されてもよい
が、実施形態では、投光ファイバー３を内側に配置させ
受光ファイバー５を外側に配置させるものとする。従っ
て、内側に配置された投光ファイバー３は丸棒状に形成
され、外側に配置された受光ファイバー５は円筒状に形
成される。そして、いずれも可撓性を有して形成されて
いる。また、この投光ファイバー３と受光ファイバー５
とは、グラスファイバーで形成されることが、高温環境
下や高真空チャンバー内で使用ために好適であるが、も
ちろんプラスティックファイバー、または光伝導ファイ
バーとしてのその他の適宜な材質のファイバーで形成さ
れていてもよい。

【００１９】分離位置においては、一方の単一光伝導フ
ァイバー２Ａの投光ファイバー３Ａが、受光ファイバー
５Ａの端面より突出して形成され、他方の単一光伝導フ
ァイバー２Ｂの投光ファイバー３Ｂは、一方の投光ファ
イバー３Ａと対向する面において他方の受光ファイバー
５Ｂの端面より内部に引き込まれている。そして、一方
の投光ファイバー３Ａの突出部３ａが、他方の受光ファ
イバー５Ｂの凹部５ａに僅かな隙間Ｓを有して嵌入する
（遊嵌）ことにより、両単一光伝導ファイバー２Ａ、２
Ｂが回動可能に連結されることとなる。この際、投光フ
ァイバー３Ａの突出部３ａと受光ファイバー５Ｂの凹部
５ａとが遊嵌状態、つまり非接触で連結されていること
によって、投光ファイバー３Ａと受光ファイバー５Ｂと
の擦れ合うことがないことから、発塵や損傷を防止する
ことができる。

【００２０】従って、分離位置においては、一方の単一
光伝導ファイバー２Ａが軸心に沿って回動しても、他方
の単一光伝導ファイバー２Ｂは、投光ファイバー３Ａの
突出部３ａと遊嵌状態で連結している受光ファイバー５
Ｂの凹部５ａが突出部３ａの回りを回動するだけのこと
から、一方の単一光伝導ファイバー２Ａの回動を他方の
単一光伝導ファイバー２Ｂに伝達することがない。

【００２１】なお、各単一光伝導ファイバーの突出部と
凹部を逆にして連結してもよい。つまり、単一光伝導フ
ァイバー２Ｂ側の投光ファイバー３Ｂを突出させて、単
一光伝導ファイバー２Ａ側の受光ファイバー５Ａに形成
する凹部に僅かな隙間を有して嵌入させてもよい。

【００２２】そして、各単一光伝導ファイバー２（２
Ａ、２Ｂ）の対向する端部には、被装着部材に装着する
ための取付フランジ７（７Ａ、７Ｂ）がそれぞれの受光
ファイバー５Ａ、５Ｂの外周面に装着するように配置さ
れている。

【００２３】なお、分離位置における各単一光伝導ファ
イバー２Ａ、２Ｂ間の隙間（投光ファイバー３Ａ、３Ｂ
間及び受光ファイバー５Ａ、５Ｂ間の隙間）は、投光フ
ァイバー３または受光ファイバー５内を伝導する光が各
単一光伝導ファイバー２Ａ、２Ｂ間で投光及び受光でき
る範囲で形成される。従って、光伝導ファイバー１はそ
のセンサ能力を低下させることはない。

【００２４】次に、図３に示すように、上記の光伝導フ
ァイバー１を、基板搬送用ロボットに装着させた場合の
説明をする。ロボットは、基板を図示しない収納ステー
ジから加工ステージに搬送するように構成されて、機台
上を旋回可能に配置されるハンドを有して構成されるも
のであれば、本形態の光伝導ファイバー１を好適に装着
することができる。

【００２５】図３に示すロボット１０は、半導体のウェ
ハ等の基板Ｗを搬送するのに好適に使用されているロボ
ットの一形態を示すものであり、機台１１と、機台１１
に対して回動軸１３を介して回動可能に配置される第１
アーム１２と、第１アーム１２の先端で第１アーム１２
に対して回動軸１５を介して回動可能に配置される第２
アーム１４と、第２アーム１４の先端で第２アーム１２
に対して回動軸１７を介して回動可能に配置される第３
アームとしてのハンド１６と、を有して構成されてい
る。

【００２６】第１アーム１２は、機台１１内に配置され
た第１モータ２１により回動駆動され、第１アーム１２
内には、機台１１内に配置された第２モータ２２で回動
駆動されるプーリ２３が配置されている。プーリ２３に
はベルト２５が巻装され、ベルト２５は、さらに第２ア
ーム１４と回動軸１５を介して連結された小プーリ２４
に巻装されてプーリ２３の回動を第２アーム１４に伝達
している。

【００２７】第２アーム１４内には、第１アーム１２に
支持されたプーリ２６が配置され、プーリ２６にはベル
ト２８が巻装され、ベルト２８は、さらにハンド１６と
回動軸１７を介して連結された大プーリ２７に巻装され
てプーリ２６の回動をハンド１６伝達している。

【００２８】光伝導ファイバー１は、一端が、機台１１
内に配置されたセンサアンプ９に接続され、第１アーム
１２の回動軸１３、第２アーム１４の回動軸１５、ハン
ド１６の回動軸１７を挿通して、他端が、ハンド１６に
保持された基板Ｗに対向する位置にハンド１６上に支持
される。

【００２９】この際、光伝導ファイバー１は、各回動軸
内を通過した位置でそれぞれ分離されて単一光伝導部材
２として各アーム内に配置される。回動軸１３内を挿通
するプーリ軸２３ａ内を挿通した第１の単一光伝導ファ
イバー２Ａは、先端部をプーリ２３に取付フランジ７Ａ
を介して支持され、第１アーム１２に基端部を取付フラ
ンジ７Ｂを介して支持される第２の単一光伝導ファイバ
ー２Ｂと対向して配置される。分離された位置において
は、第１の単一光伝導ファイバー２Ａにおける突出した
投光ファイバー３Ａの突出部３ａが、第２の単一光伝導
ファイバー２Ｂにおける受光ファイバー５Ｂの凹部５ａ
に僅かな隙間Ｓを有して嵌入されて、それぞれ非接触状
態で連結されている。

【００３０】第２の単一光伝導ファイバー２Ｂの先端部
は、第１アーム１２からプーリ２６を挿通して、先端部
をプーリ２６に取付フランジ７Ｂを介して支持するよう
に配置され、基端部を第２アーム１４に取付フランジ７
Ｃを介して支持される第３の単一光伝導ファイバー２Ｃ
と対向して配置される。分離された位置においては、第
２の単一光伝導ファイバー２Ｂにおける突出した投光フ
ァイバー３Ｂの突出部３ａが、第３の単一光伝導ファイ
バー２Ｃにおける受光ファイバー５Ｃの凹部５ａに僅か
な隙間Ｓを有して嵌入されて、それぞれ非接触状態で連
結されている。

【００３１】第３の単一光伝導ファイバー２Ｃの先端部
は、第２アーム１４からプーリ支持軸２９を挿通して、
先端部をプーリ支持軸２９に取付フランジ７Ｃを介して
支持するように配置され、基端部をハンド１６に取付フ
ランジ７Ｄを介して支持される第４の単一光伝導ファイ
バー２Ｄと対向して配置される。分離された位置におい
ては、第３の単一光伝導ファイバー２Ｃにおける突出し
た投光ファイバー３Ｃの突出部３ａが、第４の単一光伝
導ファイバー２Ｄにおける受光ファイバー５Ｄの凹部５
ａに僅かな隙間Ｓを有して嵌入されて、それぞれ非接触
状態で連結されている。

【００３２】そして、第４単一光伝導ファイバー２Ｄの
他端は、ハンド１６上におけるワークＷと対向する位置
に取付フランジ７Ｄを介して支持される。

【００３３】上記のように構成されたロボット１０は、
基板Ｗを図示しないカセットステージから取り出して、
基板Ｗを直線的に移動させるために、第１アーム１２は
機台１１に対して回動軸１３と共に回動し、第２アーム
１４は第１アーム１２に対して回動軸１５と共に回動
し、ハンド１６は第２アーム１４に対して回動軸１７と
共に回動することとなる。

【００３４】この際、第１のモータ２１の駆動で第１ア
ーム１２が機台１１に対して回動すると、第２の単一光
伝導ファイバー２Ｂの受光ファイバー５Ｂが、第１アー
ム１２と共に第１の単一光伝導ファイバー２Ａの投光フ
ァイバー３Ａの突出部３ａの回りを回動する。

【００３５】一方、プーリ２３は第２のモータ２２によ
って回動してベルト２５、小プーリ２４を介して第２ア
ーム１４を第１アーム１２に対して回動させる。プーリ
２３の回動と共に第１の単一光伝導ファイバー２Ａも第
２の単一光伝導ファイバー２Ｂに対して回動することと
なるが、第２の単一光伝導ファイバー２Ｂの受光ファイ
バー５Ｂが、遊嵌した状態で支持されている第１の単一
光伝導ファイバー２Ａの投光ファイバー３Ａの突出部３
ａの回りを回動することから、第２の単一光伝導ファイ
バー２Ｂにはその回動を伝達しない。従って、第１の単
一光伝導ファイバー２Ａと第２の単一伝導ファイバー２
Ｂとの間には捩じれが生じない。

【００３６】同様に、第２の単一光伝導ファイバー２Ｂ
と第３の単一光伝導ファイバー２Ｃ、第３の単一光伝導
ファイバー２Ｃと第４の単一光伝導ファイバー２Ｄとの
間にも捩じれは生じないこととなる。

【００３７】そして、センサアンプ９から第１の単一光
伝導ファイバー２Ａ、第２の単一光伝導ファイバー２
Ｂ、第３の単一光伝導ファイバー２Ｃ、第４の単一光伝
導ファイバー２Ｄの各投光ファイバー３を通って投射さ
れた光は、投射された位置にワークＷが存在すれば、そ
の光は反射されて受光ファイバー５で感知することがで
き、第４の単一光伝導ファイバー２Ｄ、第３の単一光伝
導ファイバー２Ｃ、第２の単一光伝導ファイバー２Ｂ、
第１の単一光伝導ファイバー２Ａを通ってセンサアンプ
９に伝達され、図示しない制御装置にその信号が送られ
る。

【００３８】なお、分離された各位置において、各単一
光伝導ファイバー２間の隙間の寸法が、投光・受光に影
響のないように設定されていることから、センサアンプ
９と第４の単一光伝導ファイバー２Ｄの先端との間の光
の伝導はスムーズに行なわれる。

【００３９】上記のように、本形態の光伝導ファイバー
１は、中間位置の少なくとも１か所に、二体に分離され
た各単一光伝導ファイバー２が、一方の投光ファイバー
３と他方の受光ファイバー５とを遊嵌した状態で連結し
ていることから、一方の単一光伝導ファイバー２が装着
されている部材により軸心に対して回動することがあっ
ても、その回動は遊嵌した状態で支持されている他方の
単一光伝導ファイバー２に伝達されず分離された位置に
おいて捩じられることはない。しかも分離された各単一
光伝導ファイバー２における、各投光ファイバー３間と
各受光ファイバー５間との分離された距離は、一方の投
光ファイバー３と他方の受光ファイバー５とが対向する
位置において極めて接近させることができることから、
分離部位においても各投光ファイバー３間と各受光ファ
イバー５間との光の伝達を妨げることなくそのセンサ能
力を低下させるものではない。

【００４０】また、光伝導ファイバー１を回動軸内に挿
通して配置させる場合、回動軸で回動する際に発生する
光伝導ファイバー１の捩じれは、回動軸内あるいは回動
軸付近で二分割されることによって防止される。つま
り、一方の単一光伝導ファイバー２が回動軸とともに回
動しても、一方の単一光伝導ファイバー２の投光ファイ
バー３あるいは受光ファイバー５のいずれかが、遊嵌し
た状態で支持されている他方の単一光伝導ファイバー２
の受光ファイバー３あるいは投光ファイバー５の周りを
回動するだけなので、他方の単一光伝導ファイバー２
は、一方の単一光伝導ファイバー２の回動に伴って回動
されることはない。

【００４１】さらに、この光伝導ファイバー１を、基板
搬送するロボット１０内に装着する場合、光伝導ファイ
バー１は、ロボット１０の機台１１から屈伸可能な第１
アーム１２、第２アーム１４、ハンド１６を挿通して配
線されている。第１アーム１２、第２アーム１４、ハン
ド１６は基板Ｗを搬送するために、光伝導ファイバー１
とともにそれぞれ回動軸を中心に回動されることから、
光伝導ファイバー１に捩じれを発生させやすい。しか
し、この捩じれは、回動軸内あるいは回動軸付近で二分
割されることによって防止される。つまり、一方の単一
光伝導ファイバー２が一方のアーム（第１アーム１２、
第２アーム１４、ハンド１６）の回動により回動して
も、一方の単一光伝導ファイバー２の投光ファイバー３
あるいは受光ファイバー５のいずれかが、遊嵌した状態
で支持されている他方のアーム（第１アーム１２、第２
アーム１４、ハンド１６）あるいは機台１に支持された
単一光伝導ファイバー２の受光ファイバー５あるいは投
光ファイバー３の周りを回動するだけなので、他方の単
一光伝導ファイバー２は、一方の単一光伝導ファイバー
２の回動に伴って回動されることはない。従って、捩じ
れに対して弱いグラスファーバーを使用して高温環境下
や高真空チャンバー内に光伝導ファイバーを配置させる
ことが可能となる。

【００４２】また、分離された各単一光伝導ファイバ２
ーが、上記各アームまたは機台１１に、取付フランジ７
で支持されていることから、分離された各単一伝導ファ
イバー２が非接触で連結されていても、それぞれの単一
光伝導ファイバー２は取付フランジ７で固定され、各単
一光伝導ファイバー２間での受光・投光を確実に行なう
ことができる。

【００４３】なお、上記の光伝導ファイバーは、基板を
搬送するロボット以外の装置においても、捩じれを発生
するように装着されているものであれば、他の装置に装
着しても十分にその効果を達成できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一形態による分離された光伝導ファイ
バーを示す要部断面図である

【図２】同要部斜視図である。

【図３】図１における光伝導ファイバーをロボットに装
着した状態を示す簡略断面図である。

【符号の説明】

１…光伝導ファイバー ２…単一光伝導ファイバー ３…投光ファイバー ５…受光ファイバー ７…取付フランジ １０…ロボット １１…機台 １２…第１アーム １３…回動軸 １４…第２アーム １５…回動軸 １６…ハンド １７…回動軸 Ｗ…基板 Ｓ…隙間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H037 AA04 BA33 CA06 DA04 DA06 4E352 AA08 AA11 BB12 BB19 CC04 DD04 DR03 DR25 DR40 GG02 GG20 5F031 CA02 FA01 FA07 GA02 GA36 GA43 GA47 JA02 JA06 JA22 LA13 PA11 PA26

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同一軸心上に配設された投光ファイバー
   と受光ファイバーとを有する光伝導ファイバーであっ
   て、 前記光伝導ファイバーが、中間位置の少なくとも１か所
   において二体に分離され、二体に分離された各単一光伝
   導ファイバーが、一方の単一光伝導ファイバーの投光フ
   ァイバーと他方の単一光伝導ファイバーの受光ファイバ
   ーとを非接触の状態で連結するように構成されているこ
   とを特徴とする光伝導ファイバー。
2. 【請求項２】 同一軸心上に配設された投光ファイバー
   と受光ファイバーとを有する光伝導ファイバーであっ
   て、 前記光伝導ファイバーが、回動軸内を挿通するととも
   に、前記回動軸内または前記回動軸付近において二体に
   分離され、二体に分離された各単一光伝導ファイバー
   が、一方の単一光伝導ファイバーの投光ファイバーと他
   方の単一光伝導ファイバーの受光ファイバーとを非接触
   の状態で連結するように構成されていることを特徴とす
   る光伝導ファイバー。
3. 【請求項３】 同一軸心上に配設された投光ファイバー
   と受光ファイバーとを有する光伝導ファイバーであっ
   て、 前記光伝導ファイバーは、機台上に配置されて回動軸で
   連結される少なくとも２個のアームを有して構成される
   ロボットに装着されるとともに、前記ロボットで搬送さ
   れる基板を検出できるように前記ロボット内に配線さ
   れ、 前記光伝導ファイバーが、前記回動軸内を挿通するとと
   もに、前記回動軸内または前記回動軸付近において二体
   に分離されてそれぞれ各アームに装着され、二体に分離
   された各単一光伝導ファイバーが、一方の単一光伝導フ
   ァイバーの投光ファイバーと他方の単一光伝導ファイバ
   ーの受光ファイバーとを非接触の状態で連結するように
   構成されていることを特徴とする光伝導ファイバー。
4. 【請求項４】 分離されたそれぞれの単一光伝導ファイ
   バーは、それぞれ対向する位置において、前記各アーム
   または前記機台に、取付部材を介して支持されているこ
   とを特徴とする請求項３記載の光伝導ファイバー。