JP2002043403A - シート保管箱 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 デバイスシートを保管するに際してデバイス
シートを乾燥させる手間を必要とせず、作業量を大幅に
低減することができる。 【解決手段】 シート保管箱１は、単一のデバイスシー
トＷ２を収納するためのシート収納室Ｃを平面内の複数
位置に配置したものであり、各シート収納室Ｃは上方へ
開放するとともに、液流通口１５，１８が設けられてい
る。各シート収納室Ｃの底壁は下方へ膨出させてあり、
積み重ねた際に上段に位置するシート保管箱１の各膨出
部が、下段に位置するシート保管箱１の各シート収納室
の開放口に嵌合してこれらを閉鎖する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はデバイスシートを保
管するためのシート保管箱に関する。

【０００２】

【従来の技術】薄膜磁気ヘッド等の薄膜デバイスを製造
する場合には、セラミックウエハ上に分離層を介して所
要材料の薄膜を多数積層してデバイス層とし、これを剥
離して薄膜デバイスとする。この場合、例えば薄膜磁気
ヘッドの製造工程では、水洗等の後工程での処理を効率
的に行なえるように、上記デバイス層Ｗ１を図 ８に示
すように、多数のデバイス素子が部分的に繋がって一体
となった複数のデバイスシートＷ２に区画して、各デバ
イスシートＷ２毎にウエハＷから剥離し分離する（リリ
ース）ようにしている。リリースされた各デバイスシー
トＷ２は洗浄籠内に集めて水洗浄し、デバイスシート毎
に給水紙で包んでＮ2ブローにより乾燥させた後、次処
理の開始までプラスチックケース内等に積層して保管し
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の保
管方法では、真空ピンセット等を使用して、デバイスシ
ートを一枚づつ乾燥させてケース内に積層する必要があ
るため、作業に手間取るという問題があった。

【０００４】そこで、本発明はこのような課題を解決す
るもので、デバイスシートを保管するに際してデバイス
シートを乾燥させる手間を必要とせず、作業量を大幅に
低減することができるシート保管箱を提供することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本第１発明のシート保管箱は、液流通口（１５，１
６，１８）が設けられ上方へ開放する、単一のデバイス
シート（Ｗ２）を収納するためのシート収納室（Ｃ）を
平面内の複数位置に配置したものである。

【０００６】本第１発明においては、シート保管箱の、
液流通口を設けた各シート収納室内にそれぞれ単一のデ
バイスシートを収納するようにしたから、従来のように
各デバイスシートを乾燥させて積層収納する手間を要し
ない。そして、シート保管箱をアルコール液等の保存液
中に浸漬すれば、液流通口を経て各シート収納室内に保
存液が供給されて、デバイスシートを、乾燥ムラを生じ
ることなく保管することができる。なお、デバイスシー
トの乾燥が必要になった場合には、シート保管箱を保存
液から引き上げると各シート収納室内の保存液は液流通
口から流出する。その後、シート保管箱をＮ2乾燥炉等
に入れることにより複数枚のデバイスシートを効率的に
乾燥させることができる。

【０００７】本第２発明では、上記各シート収納室
（Ｃ）の底壁を下方へ膨出させて、積み重ねた際に上段
に位置するシート保管箱（１Ａ，１Ｂ）の各シート収納
室（Ｃ）の底壁（１４）が、下段に位置するシート保管
箱（１Ｂ，１Ｃ）の各シート収納室（Ｃ）の開放口に嵌
合して、上段に位置するシート保管箱（１Ａ，１Ｂ）が
位置決めされるとともに前記下段に位置するシート保管
箱（１Ｂ，１Ｃ）が閉鎖されるようにする。

【０００８】本第２発明においては、上段に位置するシ
ート保管箱の各シート収納室の底壁が、下段に位置する
シート保管箱の各シート収納室の開放口に嵌合して上段
に位置するシート保管箱が位置決めされるから、各シー
ト収納室内にデバイスシートを収納した複数のシート保
管箱を一体に積み重ねることができ、さらに効率的な保
管作業が可能となる。また、下段のシート保管箱の、各
シート収納室の開放口が上段のシート保管箱の底壁によ
って閉鎖されるから、シート収納室からのデバイスシー
トの脱出が確実に防止される。

【０００９】本第３発明では、シート保管箱（１）に、
吊り部材（６）の先端（６３）を係止する係止部（３
４）を形成する。

【００１０】本第３発明においては、吊り部材によって
吊り下げた状態でシート保管箱を容易に保存液中等に浸
漬することができる。この場合、積み重ねた最下段のシ
ート保管箱を吊り上げれば、積み重ねた複数のシート保
管箱を同時に吊り上げることができる。

【００１１】なお、上記カッコ内の符号は、後述する実
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１はシート保管箱１を上方から
見た平面図、図２はシート保管箱１を下方から見た平面
図である。また、図３はシート保管箱１を図１のＸ方向
から見た側面図、図４はシート保管箱１を図１のＹ方向
から見た側面図である。

【００１３】シート保管箱１は四角形の外周壁１１（図
１）を有する上方へ開放する容器体で、テフロン（登録
商標）樹脂材により成形されている。容器体内には縦横
各二枚づつのテフロン樹脂製仕切板２１，２２が直交す
るようにそれぞれ等間隔で平行に配設されて、中心部を
除く外周の８箇所に矩形のシート収納室Ｃが形成されて
いる。これらシート収納室Ｃの内径は各デバイスシート
Ｗ２（図８）を収納できる大きさとしてある。なお、仕
切板２１，２２の両端は外周壁１１の内面に形成された
溝１２内に嵌着され、仕切板２１，２２の下端は容器体
の底壁内面に形成された溝１３（図３、図４）内に嵌着
されて、各シート収納室Ｃ間が隙を生じることなく区画
されている。

【００１４】容器体の底壁外面は各シート収納室Ｃに対
応してこれよりやや小さい略四角形の領域が下方へ膨出
している。そして、この膨出部１４（図２〜図４）内を
貫通して各シート収納室Ｃの底面へ開口する各４個の大
径円形の液流通口１５と、これらの中心に小径円形の液
流通口１６が形成されている。また、縦横の各仕切板２
１，２２が交差する部分にも、底壁を貫通して四分円部
分が各シート収納室Ｃへ開口する液流通口１７（図１、
図２）が形成されている。さらに、外周壁１１と仕切板
２１，２２には、各シート収納室Ｃに面する部分の中央
にこれら収納室Ｃの底面に至る角形の切欠きが形成され
て、それぞれ液流通口１８となっている。

【００１５】各シート収納室Ｃには底面に近接した上方
位置にテフロン樹脂製の円形受け棒２４が平行に配設し
てあり（図１、図３、図４）、各受け棒２４は両端が外
周壁１１と容器体内の仕切板２１、２２に貫通支持され
ている。容器体の中心部は、仕切板２１、２２に区画さ
れた四角形空間よりやや小さい円形の領域が上方へ膨出
してボス部３１となっており、ボス部３１にはこれを貫
通して容器体の下面に至る挿通口３２が形成されてい
る。挿通口３２は円形の中心部３２１とその径方向対称
位置に形成された矩形部３２２とからなる。挿通口３２
の下面側開口周縁には、径方向の対称位置にストッパ凸
部３３が形成されるとともに（図２〜図４）、これらス
トッパ凸部３３に隣接して上記矩形部３２２と９０度離
れた位置に矩形の係止凹部３４が形成されている。

【００１６】図５に示すような蓋体４が設けられ、この
蓋体４はシート保管箱１のような仕切板２１、２２によ
るシート収納室Ｃが形成されていない点を除いて、シー
ト保管箱１と同一形状および構造である。すなわち、シ
ート保管箱１の各シート収納室Ｃに対応してこれよりや
や小さい略四角形の領域が下方へ膨出しており、各膨出
部４１に既にシート保管箱１で説明したような上下に貫
通する円形の液流通口４１が形成されている。そして、
蓋体４の中心部にはシート保管箱１の挿通口（図１の符
号３２）と同様の中心部と矩形部を有する挿通口４３が
貫通形成されている。挿通口４３の下面側開口周縁には
径方向の対称位置にストッパ凸部４４が形成されるとと
もに、これらストッパ凸部４４に隣接して上記矩形部４
３１と９０度離れた位置に矩形の係止凹部４５が形成さ
れている。

【００１７】このような構造のシート保管箱１には各シ
ート収納室Ｃ（図１の左下）内へ図１の鎖線で示すよう
に各１枚のデバイスシートＷ２が収納されて平行な受け
棒２４によって支持される。円形の受け棒２４によって
最小接触面積でデバイスシートＷ２を支持したことによ
り、デバイスシートＷ２を乾燥する際の乾燥ムラの発生
を防止することができる。シート収納室Ｃ内へデバイス
シートＷ２を挿置する際には例えば図７に示すような、
先端に平行な棒状腕部５１を設けた移送治具５を使用す
ると良く、腕部５１上に支持したデバイスシートＷ２を
シート収納室Ｃ内の受け棒２４に載せた後、液流通口１
８から腕部５１を引き出す。

【００１８】各シート収納室Ｃ内へそれぞれデバイスシ
ートＷ２を収納したシート保管箱１は、図６に示すよう
に積み重ねることができる。すなわち、下段のシート保
管箱１Ｂ，１Ｃの、各シート収納室Ｃの開放口に上段の
シート保管箱１Ａ，１Ｂの底壁膨出部１４を嵌合させ
る。これにより、下段のシート保管箱１Ｂ，１Ｃに対し
て上段のシート保管箱１Ａ，１Ｂが位置決めされるとと
もに、シート保管箱１Ｂ，１Ｃの開放口が閉鎖されてデ
バイスシートＷ２がシート収納室Ｃから脱出するのが防
止される。このようにして積み重ねられたシート保管箱
のうち最上段のもの１Ａには蓋体４が被せられる。蓋体
４の底壁膨出部４１は最上段のシート保管箱１Ａの、各
シート収納室Ｃの開放口に嵌合してこれらを閉鎖し、デ
バイスシートＷ２がシート収納室Ｃから脱出するのが防
止される。

【００１９】吊り部材６は図６に示すように、丸棒体６
１の一端に直交する取手部６２を取り付けたもので、下
端には径方向の対称位置に矩形の突起部６３が突出形成
されている。吊り部材６の突起部６３を蓋体４およびシ
ート保管箱１Ａ〜１Ｃの各挿通口３２の矩形部３２２
（図１）に一致させてこれらを最下段のシート保管箱１
Ｃまで通し、当該シート保管箱１Ｃ下面のストッパ凸部
３３（図２）に当るまで９０度旋回させて突起部６３を
係止凹部３４に嵌合させることにより、積み重ねられた
シート保管箱１Ａ〜１Ｃを一体に上方へ吊り上げること
ができる。

【００２０】このようにしてデバイスシートＷ２を収納
し積み重ねたシート保管箱１Ａ〜１Ｃを、吊り部材６で
一体に吊った状態で例えば保管用アルコール液中に浸漬
すると、シート保管箱１Ａ〜１Ｃの各シート収納室Ｃ内
へ液流通口１５，１６，１８を経てアルコール液が供給
され、次処理が開始されるまでの間、乾燥による残存不
純物の析出を生じることなくデバイスシートＷ２を保管
することができる。また、デバイスシートＷ２の乾燥が
必要になった場合には、シート保管箱１Ａ〜１Ｃをアル
コール液中から引き上げると、各シート収納室Ｃから液
流通口１５，１６，１８を経てアルコール液が排出され
る。その後、積み重ねた状態で一体に真空ないしＮ2乾
燥炉に入れることにより効率的な乾燥作業を行なうこと
ができる。なお、乾燥に限らず、その後の作業を、積み
重ねた、あるいは単独のシート保管箱毎に効率的に遂行
することができる。

【００２１】

【発明の効果】以上のように、本発明のシート保管箱に
よれば、デバイスシートを保管するに際してデバイスシ
ートを乾燥させる手間を必要としないから、作業量を大
幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】シート保管箱を上方から見た平面図である。

【図２】シート保管箱を下方から見た平面図である。

【図３】シート保管箱を図１のＸ方向から見た側面図で
ある。

【図４】シート保管箱を図１のＹ方向から見た側面図で
ある。

【図５】蓋体の側面図である。

【図６】シート保管箱を積層した状態の部分断面側面図
である。

【図７】移送治具の斜視図である。

【図８】ウエハの平面図である。

【符号の説明】

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…シート保管箱、１４…底壁膨出
部、１５，１８…液流通口、３４…係止凹部、６…吊り
部材、６３…突起部、Ｃ…シート収納室、Ｗ２…デバイ
スシート。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D033 DA01 DA22 5F031 CA02 DA08 EA02 EA11 EA19 EA20 FA03 MA23 MA24 PA30

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液流通口が設けられ上方へ開放する、単
   一のデバイスシートを収納するためのシート収納室を平
   面内の複数位置に配置したシート保管箱。
2. 【請求項２】 前記各シート収納室の底壁を下方へ膨出
   させて、積み重ねた際に上段に位置するシート保管箱の
   各シート収納室の底壁が、下段に位置するシート保管箱
   の各シート収納室の開放口に嵌合して、前記上段に位置
   するシート保管箱が位置決めされるとともに前記下段に
   位置するシート保管箱が閉鎖されるようになした請求項
   １に記載のシート保管箱。
3. 【請求項３】 前記シート保管箱には吊り部材の先端を
   係止する係止部を形成した請求項１又は２に記載のシー
   ト保管箱。