JP2002043334A - Frame feeder - Google Patents

Frame feeder

Info

Publication number
JP2002043334A
JP2002043334A JP2000220721A JP2000220721A JP2002043334A JP 2002043334 A JP2002043334 A JP 2002043334A JP 2000220721 A JP2000220721 A JP 2000220721A JP 2000220721 A JP2000220721 A JP 2000220721A JP 2002043334 A JP2002043334 A JP 2002043334A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
frame
upper plate
holding mechanism
packet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000220721A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4425437B2 (en
Inventor
Yuichi Kishi
勇一 岸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Heavy Industries Ltd filed Critical Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority to JP2000220721A priority Critical patent/JP4425437B2/en
Publication of JP2002043334A publication Critical patent/JP2002043334A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4425437B2 publication Critical patent/JP4425437B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a frame feeder which can take out a lead frame surely from a frame packet and can feed the lead frame to the opposite machine. SOLUTION: In a frame feeder 100 for feeding only the lead frame 118 in a frame packet 102 constituted by clamping the lead frame 118 between upper and lower plates 114, 116 to the opposite machine, the frame packet 102 is mounted on a mounting table 120, the upper plate 114 is pushed upward by means of a pusher and removed while being clamped by a clamp mechanism 124. Furthermore, the clamp mechanism 124 is provided with a downward protrusion 156 which descends to urge the lead frame 118 downward and the mounting table 120 is provided with a movable retaining mechanism 136 projectable to the vicinity of the upper surface and the edge 118a of the lead frame 118.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームが
下側プレート及び上側プレートに挟持されて構成される
フレームパケットにおける上側プレートを取り除いて、
リードフレームのみを樹脂封止装置等の相手機械に供給
するフレーム供給装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a frame packet in which a lead frame is sandwiched between a lower plate and an upper plate.
The present invention relates to a frame supply device that supplies only a lead frame to a partner machine such as a resin sealing device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、樹脂封止装置にリードフレームを
供給するフレーム供給装置は、複数のリードフレーム
を、その間に中間紙を挿入することでマガジンに積層状
態で収容し、そこから順にリードフレームだけを取り出
して供給するものである。なお、ここでいうリードフレ
ームとは、鉄、銅、ステンレスでできたリードフレーム
以外にも樹脂でできたサブストレートの概念を含んでい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, a frame supply device for supplying a lead frame to a resin sealing device accommodates a plurality of lead frames in a stacked state in a magazine by inserting an intermediate paper therebetween, and sequentially leads the lead frames from there. Only take out and supply. Here, the lead frame includes the concept of a substrate made of resin in addition to a lead frame made of iron, copper, and stainless steel.

【0003】図13を参照して、この種のフレーム供給
装置28について説明する。
[0003] Referring to FIG. 13, this type of frame supply device 28 will be described.

【0004】このフレーム供給装置28は、マガジン5
4内に積層状態で収容されたリードフレーム55を段階
的に押し上げる昇降機57と、この昇降機57によって
押し上げられた最上段のリードフレーム55を取り出す
ピックアップ機構64と、このピックアップ機構64に
よって搬送されたリードフレーム55を搬送し、樹脂封
止装置(図示省略)に直接供給する搬送コンベア70
と、を備える。
[0004] This frame supply device 28 is a magazine 5
4, an elevator 57 that pushes up the lead frames 55 stored in a stacked state, a pickup mechanism 64 that takes out the uppermost lead frame 55 pushed up by the elevator 57, and a lead conveyed by the pickup mechanism 64. Conveyor 70 that conveys frame 55 and directly supplies it to resin sealing device (not shown)
And.

【0005】昇降機57は、一対の鉛直方向のガイドシ
ャフト60と、このガイドシャフト60の間に同方向に
配設されるボールネジ軸61と、ガイドシャフト60に
案内されると共にボールネジ軸61と螺合して昇降自在
とされる突き上げ板62と、を備えて構成され、この突
き上げ板62が、マガジン54内の最下段のリードフレ
ーム55を下から支持するようになっている。
The elevator 57 has a pair of vertical guide shafts 60, a ball screw shaft 61 disposed in the same direction between the guide shafts 60, and is guided by the guide shafts 60 and screwed with the ball screw shafts 61. And a push-up plate 62 which can be moved up and down. The push-up plate 62 supports the lowermost lead frame 55 in the magazine 54 from below.

【0006】又ピックアップ機構59は、リードフレー
ム55を吸着するための吸着パッド63aが複数配設さ
れた吸着板63と、この吸着板63を水平移動(横移
動)自在に支持する水平駆動ユニット64と、この水平
移動ユニット64を介して吸着板63を上下動(昇降)
自在に支持する上下駆動ユニット65と、を備える。
The pickup mechanism 59 includes a suction plate 63 on which a plurality of suction pads 63a for sucking the lead frame 55 are provided, and a horizontal drive unit 64 for supporting the suction plate 63 so as to be able to move horizontally (laterally). The suction plate 63 is vertically moved (elevated and lowered) via the horizontal moving unit 64.
And an upper and lower drive unit 65 that is freely supported.

【0007】次にフレーム供給装置28の作用について
説明する。
Next, the operation of the frame supply device 28 will be described.

【0008】先ず、昇降機57の駆動によってボールネ
ジ軸61が回転し、突き上げ板62がリードフレーム5
5を段階的に押し上げる。最上段のリードフレーム55
がマガジン54の上端に達すると、ピックアップ機構5
9の駆動によって吸着板63がマガジン54の上方に移
動し、更に下降して最上段のリードフレーム55を吸着
・保持する。この吸着板63は、一旦上昇して横方向に
移動し、搬送コンベア70上にリードフレーム55を載
置する。搬送コンベア70は、リードフレーム55を樹
脂封止装置(フレーム供給装置28にとっては相手機
械)に搬送・供給する。以降は、この流れを繰り返すよ
うにして、1枚ずつリードフレームを樹脂封止装置に順
次供給する。
First, the ball screw shaft 61 is rotated by the driving of the elevator 57, and the push-up plate 62 is moved to the lead frame 5.
Push up 5 step by step. The top lead frame 55
When the pickup reaches the upper end of the magazine 54, the pickup mechanism 5
By the drive of No. 9, the suction plate 63 is moved above the magazine 54, and is further lowered to suck and hold the uppermost lead frame 55. The suction plate 63 once rises and moves laterally, and places the lead frame 55 on the conveyor 70. The transport conveyor 70 transports and supplies the lead frame 55 to a resin sealing device (a counterpart machine for the frame supply device 28). Thereafter, by repeating this flow, the lead frames are sequentially supplied one by one to the resin sealing device.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】近年、リードフレーム
におけるピン数が増大してリード自体が細くなってお
り、リードフレームの更なる薄肉化が進んでいる。この
ため、上記の従来例のように、リードフレーム55を裸
のままでマガジン54に収容し、吸着板63によって直
接取り出すと、リードが損傷したり、リードフレームに
折れ等が生じる可能性がある。又、リードフレームがフ
ィルム状に構成されるので、その取り扱いが大変困難と
なってきている。
In recent years, the number of pins in a lead frame has increased and the lead itself has become thinner, and the lead frame has been further reduced in thickness. For this reason, when the lead frame 55 is housed in the magazine 54 with the lead frame 55 naked and taken out directly by the suction plate 63 as in the above-described conventional example, the lead may be damaged or the lead frame may be broken. . Further, since the lead frame is formed in the shape of a film, it is very difficult to handle the lead frame.

【0010】そこで、図14に示されるように、リード
フレーム55を下側プレート80及び上側プレート82
によって挟持して、全体として剛性の高いフレームパケ
ット84として取り扱うという案が浮上してきている。
このようにすれば、マガジン内にフレームパケット84
を積層した場合でも、リードフレーム55自体が互いに
接触することが回避できる。
Therefore, as shown in FIG. 14, the lead frame 55 is connected to the lower plate 80 and the upper plate 82.
There is a proposal that the frame packet 84 is held as a whole and handled as a frame packet 84 having high rigidity as a whole.
In this way, the frame packet 84 in the magazine
Can be prevented from contacting each other even when the lead frames 55 are stacked.

【0011】又、マガジンから取り出す際に吸着板等の
吸着機構によってリードフレームを取り扱わなくても、
下側プレート80又は上側プレート82を把持したり、
これらを押出機構等によって押出したりして、マガジン
からフレームパケット84を取り出したりする事が出来
るようになる。
In addition, when the lead frame is not handled by a suction mechanism such as a suction plate when the lead frame is taken out from the magazine,
By gripping the lower plate 80 or the upper plate 82,
These can be extruded by an extrusion mechanism or the like, so that the frame packet 84 can be taken out of the magazine.

【0012】そのような利点を有する一方で、樹脂封止
装置等の相手機械に供給しなければならないのは、リー
ドフレーム55だけである。従って、相手機械にリード
フレームを供給する前の工程で、下側プレート80及び
上側プレート82を除去する作業が必要不可欠となる。
しかしながら、現時点において本発明者の知る限りで
は、下側プレート80及び上側プレート82を除去し、
確実に樹脂封止装置に供給することが出来るフレーム供
給装置は存在していない。というのも、(薄肉化され
た)リードフレーム55とプレート80、82とが静電
気で吸着したり、リードフレーム55自体が柔らかくて
変形しやすいといった障害要因が複雑に絡み合ってお
り、容易にプレートを除去し、且つ確実にリードフレー
ム55のみを供給することが出来ないからである。又、
リードフレーム55から上側プレート82を除去する
と、リードフレーム55が薄肉のため反り上り状態にな
り、その状態のままで吸着板によって取り出すと、リー
ドフレーム55が損傷する可能性がある。
While having such an advantage, only the lead frame 55 has to be supplied to a counterpart machine such as a resin sealing device. Therefore, an operation of removing the lower plate 80 and the upper plate 82 is indispensable in a process before supplying the lead frame to the partner machine.
However, to the present inventor's knowledge, the lower plate 80 and the upper plate 82 have been removed,
There is no frame supply device capable of reliably supplying the resin sealing device. This is because the (thinned) lead frame 55 and the plates 80 and 82 are intricately entangled with obstacles such as electrostatic attraction and the lead frame 55 itself is soft and easily deformed, so that the plate can be easily attached. This is because it is not possible to remove and reliably supply only the lead frame 55. or,
When the upper plate 82 is removed from the lead frame 55, the lead frame 55 is warped up due to its thinness. If the lead plate 55 is taken out by the suction plate in this state, the lead frame 55 may be damaged.

【0013】本発明者は上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、プレートを確実に除去してリードフレームの
みを相手機械に確実に供給可能として、フレームパケッ
トとしてのリードフレームの取り扱いを実現することを
目的としている。
The inventor of the present invention has been made in view of the above problems, and realizes handling of a lead frame as a frame packet by reliably removing a plate and reliably supplying only a lead frame to a partner machine. It is intended to be.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、リードフレー
ムが下側プレート及び上側プレートに挟持されて構成さ
れるフレームパケットにおける該上側プレートを取り除
き、前記リードフレームのみを相手機械に供給するフレ
ーム供給装置において、前記フレームパケットが載置さ
れる載置テーブルと、該載置テーブルに設けられて前記
上側プレートを上方に突き上げるプッシャと、該載置テ
ーブルの上方に昇降自在に配設され、下降して前記上側
プレートを挟持し且つ上昇して該上側プレートを取り除
く挟持機構と、を備え、前記挟持機構には、本体側と共
に下降して前記リードフレームを下方に付勢することで
該リードフレームと前記上側プレートとを離反させる下
方突起が設けられると共に、前記載置テーブルには、前
記下方突起によって下方に付勢された前記リードフレー
ムの上面且つ端縁近傍に突出可能な可動押さえ機構が設
けられ、前記挟持機構が前記上側プレートを挟持し上昇
した後にも、該可動押さえ機構によって前記リードフレ
ームの反り返りが抑止されるようしたことにより上記目
的を達成するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, there is provided a frame supplying apparatus for removing an upper plate in a frame packet formed by sandwiching a lead frame between a lower plate and an upper plate, and supplying only the lead frame to a counterpart machine. In the apparatus, a mounting table on which the frame packet is mounted, a pusher provided on the mounting table to push the upper plate upward, and disposed to be able to move up and down above the mounting table, and to be lowered A clamping mechanism that clamps the upper plate and removes the upper plate by lifting the upper plate, wherein the clamping mechanism is moved down together with the main body side to urge the lead frame downward, and A lower projection for separating the upper plate from the upper plate is provided, and the placing table is provided on the placing table by the lower projection. A movable holding mechanism is provided on the upper surface and near the edge of the lead frame which is urged downward, and even after the holding mechanism holds the upper plate and rises, the movable holding mechanism holds the lead frame. The above object is achieved by suppressing warping.

【0015】このフレーム供給装置によれば、リードフ
レームと密着している上側プレートが一旦プッシャによ
って持ち上げられ、その間に挟持機構によって上側プレ
ートのみを挟持する。その際、静電気等によってリード
フレームも上側プレートに追従して持ち上げられてしま
い、上側プレートと同時に挟持してしまう可能性を有す
るが、下降してくる(或いは既に下降している)挟持機
構に設けられる下方突起によりリードフレームが押し下
げられ、上側プレートと離反されるようになっている。
つまり、下降するという挟持動作を利用してリードフレ
ームを離反させるという極めて合理的な構成である。
According to this frame supply device, the upper plate that is in close contact with the lead frame is once lifted by the pusher, and only the upper plate is clamped by the clamping mechanism during that time. At this time, the lead frame may be lifted following the upper plate due to static electricity or the like, and may be pinched at the same time as the upper plate. However, the lead frame is provided in the lowering (or already lowered) holding mechanism. The lead frame is pushed down by the lower projection to be separated from the upper plate.
That is, this is an extremely rational configuration in which the lead frame is separated using the holding operation of descending.

【0016】挟持機構(本体側)と一体となって下方突
起が上昇すると、リードフレームに対する下方の付勢力
が開放されてしまうが、下方突起によってリードフレー
ムが下方に付勢されている間に、載置テーブル側の可動
押さえ機構によってリードフレームの端縁を保持するの
で、付勢力開放後であってもリードフレームの姿勢が安
定する。
When the lower projection rises integrally with the holding mechanism (main body side), the lower urging force against the lead frame is released. However, while the lower projection is urging the lead frame downward, Since the edge of the lead frame is held by the movable holding mechanism on the mounting table side, the posture of the lead frame is stabilized even after the urging force is released.

【0017】特に、薄肉化されてきているリードフレー
ムは端縁に「反り上がり」が発生しやすく、一旦反り上
がって湾曲すると非常に姿勢が不安定となる。この場
合、例えば吸着パッドによってリードフレームを吸着・
搬送する場合に、確実に吸着できなかったり吸着姿勢が
乱れたりする。
In particular, a thinned lead frame tends to "warp" at its edge, and once bent and curved, the posture becomes very unstable. In this case, for example, the lead frame is sucked and
When transporting, the suction cannot be performed reliably or the suction attitude is disturbed.

【0018】しかし本フレーム供給装置では、少なくと
も上記可動押さえ機構によってリードフレームが押さえ
られている間は上記「反り上がり」の問題が生じること
が防止され、この間を利用して確実に相手機械(例えば
樹脂封止装置)にリードフレームを供給することが出来
る。これは、挟持機構の下方突起と可動押さえ機構を、
極めて合理的な思想の下で協働させた結果であるといえ
る。
However, in the present frame supply device, the problem of "warping" is prevented from occurring at least while the lead frame is being pressed by the movable pressing mechanism. (Resin sealing device). This is because the lower projection of the clamping mechanism and the movable holding mechanism
It can be said that this is the result of working together under extremely rational ideas.

【0019】特に、上記可動押さえ機構は、前記載置テ
ーブルに水平方向に揺動自在に設けられ、前記リードフ
レームの上面且つ端縁に対して外部から進退自在とされ
た可動アームと、該可動アームを揺動させる駆動装置
と、を備えるようにすることが好ましい。
In particular, the movable holding mechanism is provided on the placing table so as to be swingable in a horizontal direction, and is movable from the outside with respect to an upper surface and an edge of the lead frame. And a driving device for swinging the arm.

【0020】このようにすれば、単純な構成で確実にリ
ードフレームの端縁を押さえることが出来るようにな
る。
With this configuration, the edge of the lead frame can be reliably held down with a simple configuration.

【0021】又、上記の前記フレームパケットにおける
上側プレートには前記挟持機構の前記下方突起が貫通可
能な開口が形成され、該開口を介して該下方突起が前記
リードフレームを下方に付勢するようにすることが好ま
しい。
An opening is formed in the upper plate of the frame packet so that the lower protrusion of the holding mechanism can pass therethrough, and the lower protrusion urges the lead frame downward through the opening. Is preferable.

【0022】このようにすれば、上側プレートはリード
フレームの周囲等を確実に保護出来ると共に、下側突起
を利用して自身(上側プレート)とリードフレームとを
容易に離反させることが出来るようになる。又、この開
口を適当な位置に形成するようにすれば、上側プレート
とリードフレームとの接触面積を減少させることが出来
るので、リードフレームとの不必要な接触状態を低減す
ることにつながる。なお、この開口の数、形状、配置等
については何等限定されるものではない。
In this way, the upper plate can reliably protect the periphery of the lead frame and the like, and can easily separate itself (the upper plate) from the lead frame by using the lower projection. Become. Also, by forming this opening at an appropriate position, the contact area between the upper plate and the lead frame can be reduced, which leads to a reduction in unnecessary contact with the lead frame. The number, shape, arrangement, and the like of the openings are not limited at all.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下図面を参照しながら本発明の
実施の形態の例について詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0024】図1に、本発明の実施形態に係るフレーム
供給装置100が組み込まれたフレーム搬送・供給シス
テム90の全体構成を示す。
FIG. 1 shows the overall configuration of a frame transport / supply system 90 in which a frame supply device 100 according to an embodiment of the present invention is incorporated.

【0025】フレーム搬送・供給システム90は、フレ
ームパケット102が積層状に収容されたマガジン10
4から、押出装置106(全体の図示省略)によって該
フレームパケット102を押出して取り出すフレーム取
り出し装置108と、この取り出されたフレームパケッ
ト102が載置され、180度水平方向に回転してこの
フレームパケット102の先端・後端を入れ替えるター
ンテーブル機構110と、このターンテーブル機構11
0が備える引き出しアーム112によって前方に引き出
されたフレームパケット102を取り込み、リードフレ
ームのみを樹脂封止装置(図示省略)に供給するフレー
ム供給装置100と、を備える。なお、上記のフレーム
取り出し機構108及びターンテーブル機構110につ
いては、本発明と直接関係がないためここでの詳細な説
明は省略する。
The frame transport / supply system 90 includes a magazine 10 in which the frame packets 102 are stacked.
4, a frame extracting device 108 for extruding and extracting the frame packet 102 by an extruding device 106 (a whole illustration is omitted), and the extracted frame packet 102 is placed and rotated 180 degrees in the horizontal direction to rotate the frame packet. A turntable mechanism 110 for exchanging the front end and the rear end of the turntable 102;
And a frame supply device 100 that takes in the frame packet 102 drawn forward by the drawer arm 112 included in the frame supply device 100 and supplies only the lead frame to a resin sealing device (not shown). Since the frame take-out mechanism 108 and the turntable mechanism 110 are not directly related to the present invention, detailed description thereof will be omitted.

【0026】フレームパケット102は、図2に拡大し
て示されるように、上側プレート114及び下側プレー
ト116と、これらのプレート114、116によって
挟持されるリードフレーム118と、を備える。リード
フレーム118における長手方向Xに延在する両端縁1
18a近傍には、係合孔118bが、その端縁118a
に沿って複数形されており、下側プレート116に形成
されるピン116bと係合可能となっている。これは、
リードフレーム118と下側プレート116とが互いに
水平方向にずれないようにするためである。
The frame packet 102 includes an upper plate 114 and a lower plate 116, and a lead frame 118 sandwiched between the plates 114 and 116, as shown in an enlarged view in FIG. Both ends 1 extending in the longitudinal direction X of the lead frame 118
In the vicinity of 18a, an engaging hole 118b has an edge 118a.
Along with a pin 116b formed on the lower plate 116. this is,
This is to prevent the lead frame 118 and the lower plate 116 from shifting from each other in the horizontal direction.

【0027】下側プレート116は、リードフレーム1
18よりも領域S分だけ長手方向Xに長く構成されてお
り、幅方向Yに延在する両端縁116a近傍には、プッ
シャ用開口116cが形成されている(プッシャ等につ
いては後で詳細に説明する)。なお、下側プレート11
6の中央領域には複数の窓116dが形成されている
が、これは、リードフレーム118との接触面積を低減
させることによりリードフレーム118の損傷を防止す
るためである。
The lower plate 116 is used for the lead frame 1.
The pusher opening 116c is formed in the vicinity of both end edges 116a extending in the width direction Y by the region S longer than the area S by 18. The pusher opening 116c will be described later in detail. Do). The lower plate 11
A plurality of windows 116d are formed in the central region of No. 6 in order to prevent the lead frame 118 from being damaged by reducing the contact area with the lead frame 118.

【0028】上側プレート114は下側プレート116
と略同等の大きさであり、格子状に部材が残存するよう
にして複数の開口114aが形成されている。これは、
リードフレーム118との接触面積を低減させる機能を
有するが、その他に、挟持機構における下側突起が貫通
するために利用される(詳細は後述する)。又、リード
フレーム118と全く同様に、上側プレート114にお
ける長手方向Xに延在する両端縁114b近傍には、係
合孔114cが複数形されており、下側プレート116
のピン116bと係合するようになっている。なお、上
側及び下側プレート114、116は金属製の部材で構
成されているが、勿論プラスチック等の樹脂やその他の
材料によって構成しても構わない。
The upper plate 114 is a lower plate 116
A plurality of openings 114a are formed so that the members remain in a lattice shape. this is,
It has the function of reducing the contact area with the lead frame 118, but is also used for penetrating the lower projection of the holding mechanism (details will be described later). In the same manner as the lead frame 118, a plurality of engagement holes 114c are formed near both ends 114b of the upper plate 114 extending in the longitudinal direction X.
And the pin 116b. The upper and lower plates 114 and 116 are made of metal members, but may be made of resin such as plastic or other materials.

【0029】図1に戻って、フレーム供給装置100
は、ターンテーブル機構110から引き出されたフレー
ムパケット102が載置される載置テーブル120と、
この載置テーブル120の下方に設けられ、上記のフレ
ームパケット102の上側プレート114のみを上方に
突き上げるプッシャ機構134と、載置テーブル120
の上方に昇降自在に配設され、下降して上側プレート1
14を挟持し、更に挟持状態で上昇して上側プレート1
14を取り除く挟持機構124と、を備える。
Returning to FIG. 1, the frame supply device 100
A mounting table 120 on which the frame packet 102 pulled out from the turntable mechanism 110 is mounted;
A pusher mechanism 134 provided below the mounting table 120 and pushing up only the upper plate 114 of the frame packet 102;
The upper plate 1 is arranged to be able to move up and down,
14 and further raised in the sandwiched state to raise the upper plate 1
And a holding mechanism 124 that removes 14.

【0030】この挟持機構124は、特に図示しないX
−Yロボットによって水平移動自在に保持されており、
取り除いた上側プレート114を上側プレートストッカ
126に投入・蓄積する。載置テーブル120の上方に
は吸着搬送装置130が移動自在に設けられており、リ
ードフレーム118のみを吸着・取り出して樹脂封止装
置に供給する。なお、挟持機構124は下側プレート1
16も挟持可能となっており、リードフレーム118の
みが取り出されて載置テーブル120に残された下側プ
レート116を挟持・搬出して下側プレートストッカ1
28に投入・蓄積するようになっている。
The holding mechanism 124 is provided with an X (not shown).
-The robot is horizontally movable by a Y robot,
The removed upper plate 114 is loaded and accumulated in the upper plate stocker 126. Above the mounting table 120, a suction conveyance device 130 is movably provided. Only the lead frame 118 is suctioned and taken out and supplied to the resin sealing device. In addition, the holding mechanism 124 is the lower plate 1
16 can also be clamped, and only the lead frame 118 is taken out, and the lower plate 116 left on the mounting table 120 is clamped and carried out, and the lower plate stocker 1 is removed.
28 and stored.

【0031】次に、挟持機構124及び載置テーブル1
20等の詳細な構成について説明する。
Next, the holding mechanism 124 and the placing table 1
A detailed configuration such as 20 will be described.

【0032】図3の上面図及び図4の断面図に示される
ように、載置テーブル120は、(2つの)フレームパ
ケット102が載置されるテーブル132と、このテー
ブル132の下方に配置されるプッシャ機構134と、
テーブル102に設置される可動押さえ機構136と、
を備える。
As shown in the top view of FIG. 3 and the cross-sectional view of FIG. 4, the mounting table 120 includes a table 132 on which the (two) frame packets 102 are mounted, and a table 132 below the table 132. Pusher mechanism 134,
A movable holding mechanism 136 installed on the table 102,
Is provided.

【0033】テーブル132には、矢印A方向に搬送さ
れるフレームパケット102が挿入・位置決めされる2
つの凹部138が形成される。この凹部138は、フレ
ームパケット102における下側プレート116の輪郭
と同等の大きさに形成される第1段部138aと、この
第1段部138aの下側且つ第1段部138aよりも小
さく形成される第2段部138bと、を備えており、フ
レームパケット102を第1段部138aに位置決めし
た状態で、第2段部138bにより下側に空間が形成さ
れるようになっている。又テーブル132には、この第
2段部138bと連続するように切欠凹部138cが形
成されており、(後述する)挟持機構120の挟持対が
この切欠凹部138cを介して下側プレート116の下
面に挿入可能になっているテーブル132の下方に配設
されるプッシャ機構134は、上方に凸となるプッシャ
針140と、プッシャ針140の下方を支持してプッシ
ャ針140を鉛直方向に往復運動させるシリンダ142
と、を備える。プッシャ針140が下方状態(引き状
態)の場合には、プッシャ針140の先端140aはテ
ーブル132から離隔し、上方状態(突出状態)の場合
には、先端140aがテーブル132の開口138dを
貫通してテーブル132の上方に突出する。
In the table 132, the frame packet 102 carried in the direction of arrow A is inserted and positioned.
One recess 138 is formed. The recess 138 is formed with a first step 138 a having the same size as the contour of the lower plate 116 in the frame packet 102, and is formed below the first step 138 a and smaller than the first step 138 a. A second step 138b, and a space is formed below the second step 138b with the frame packet 102 positioned on the first step 138a. The table 132 is formed with a notch recess 138c so as to be continuous with the second step portion 138b, and a holding pair of a holding mechanism 120 (described later) is connected to the lower surface of the lower plate 116 via the notch recess 138c. A pusher mechanism 134 disposed below a table 132 that can be inserted into the pusher needle 140 and a pusher needle 140 projecting upward and supporting the lower part of the pusher needle 140 to reciprocate the pusher needle 140 in the vertical direction. Cylinder 142
And. When the pusher needle 140 is in the lower state (pulled state), the tip 140a of the pusher needle 140 is separated from the table 132, and when the pusher needle 140 is in the upper state (projected state), the tip 140a passes through the opening 138d of the table 132. And protrudes above the table 132.

【0034】可動押さえ機構136は、テーブル132
の上面に水平方向に揺動自在に設けられる可動アーム1
44と、この可動アーム144を揺動させる回転アクチ
ュエータ146と、を備える。従って、可動アーム14
4は、リードフレーム118の上面における両端縁11
8a近傍に対して、外部から進退自在となっている。
The movable holding mechanism 136 includes a table 132
Arm 1 that is provided on the upper surface of the robot so as to be swingable in the horizontal direction.
44, and a rotary actuator 146 for swinging the movable arm 144. Therefore, the movable arm 14
4 are both end edges 11 on the upper surface of the lead frame 118;
With respect to the vicinity of 8a, it can move forward and backward from outside.

【0035】次に、挟持機構124について詳細に説明
する。
Next, the holding mechanism 124 will be described in detail.

【0036】図5〜図8に示されるように、挟持機構1
24は、水平方向に移動自在且つ昇降自在のベース14
8と、このベース148の下方に設けられ、フレームパ
ケット102の上側プレート114を挟持可能な第1挟
持対150と、ベース148の下方に同様に設けられ、
下側プレート116を挟持可能な第2挟持対152と、
ベース148の下方に設けられ、このベース148が下
降した際に載置テーブル120の凹部138(図5の2
点鎖線参照)に当接して鉛直方向に位置決めするストッ
パ154と、ベース148の下方に設けられ、このベー
ス148と共に下降してリードフレーム118を下方に
付勢し、リードフレーム118と上側プレート114と
を離反させる下方突起156と、を備える。
As shown in FIGS. 5 to 8, the holding mechanism 1
Reference numeral 24 denotes a base 14 that is movable in the horizontal direction and that can be moved up and down.
8, a first holding pair 150 provided below the base 148 and capable of holding the upper plate 114 of the frame packet 102, and similarly provided below the base 148,
A second holding pair 152 capable of holding the lower plate 116,
5 is provided below the base 148, and when the base 148 is lowered, the concave portion 138 (2 in FIG.
A stopper 154 that abuts with the base frame 148 and abuts on the base frame 148 to urge the lead frame 118 downward. And a lower protrusion 156 that separates them.

【0037】第1及び第2挟持対150、152は、シ
リンダ等の駆動によって開閉自在とされ(点線参照)、
上側及び下側プレート114、116を挟持・開放可能
となっている。なお、第1挟持対150よりも、第2挟
持対152の方が下方に位置している。
The first and second holding pairs 150 and 152 can be opened and closed by driving a cylinder or the like (see dotted lines).
The upper and lower plates 114 and 116 can be held and opened. The second holding pair 152 is located below the first holding pair 150.

【0038】下方突起156は、図5に示されるよう
に、1つのフレームパケット102に対して長手方向X
に等間隔で計6個配設されており、又、各下方突起15
6は、図7に示されるように下方側で幅方向Yに枝分か
れして3つの突端156aが形成されている。この各突
端156aは、図2で示した上側プレートの開口114
cの一部(図2:領域P参照)を貫通することで、リー
ドフレーム118だけを下方に付勢することが出来る。
As shown in FIG. 5, the lower protrusion 156 is provided in the longitudinal direction X with respect to one frame packet 102.
6 are arranged at equal intervals on each of the lower projections 15.
7, three protruding ends 156a are formed to be branched in the width direction Y on the lower side as shown in FIG. Each of the protruding ends 156a is connected to the opening 114 of the upper plate shown in FIG.
By penetrating a part of c (see FIG. 2: region P), only the lead frame 118 can be urged downward.

【0039】次に、フレーム供給装置100の作用につ
いて、挟持機構124と載置テーブル120の作用を中
心に説明する。
Next, the operation of the frame supply device 100 will be described focusing on the operation of the holding mechanism 124 and the mounting table 120.

【0040】図9に示されるように、載置テーブル12
0(におけるテーブル138)にフレームパケット10
2が載置されると、図10に示されるように、挟持機構
124が載置テーブル120の上方に移動して更に下降
する。その際、第1挟持対150及び第2挟持対152
が共に「開」状態とされており、フレームパケット10
2と衝突しないようになっている。
As shown in FIG. 9, the placing table 12
0 (table 138 at) in the frame packet 10
When 2 is placed, as shown in FIG. 10, the holding mechanism 124 moves above the placement table 120 and further descends. At this time, the first clamping pair 150 and the second clamping pair 152
Are both in the “open” state, and the frame packet 10
It does not collide with 2.

【0041】挟持機構124がストッパ154(図示省
略)を利用して位置決めされた後、図11に示されるよ
うに、プッシャ機構134におけるプッシャ針140が
上昇し、下側プレート116のプッシャ用開口116c
を貫通して上側プレート114のみを押し上げる。その
際、リードフレーム118も静電気等によって上側プレ
ート114に追従しようとするが、このリードフレーム
118は下方突起156によって下方に付勢されている
ので(上側から支持されていると考えることも可能であ
る)、上側プレート114から離反させられる。
After the holding mechanism 124 is positioned using the stopper 154 (not shown), as shown in FIG. 11, the pusher needle 140 of the pusher mechanism 134 is raised, and the pusher opening 116c of the lower plate 116 is moved.
And only the upper plate 114 is pushed up. At this time, the lead frame 118 also attempts to follow the upper plate 114 due to static electricity or the like, but since the lead frame 118 is urged downward by the lower protrusion 156 (it can be considered that the lead frame 118 is supported from above. A), and is separated from the upper plate 114.

【0042】リードフレーム118が下方突起156に
よって付勢されている間、つまり、挟持機構124が上
昇してしまう前に、可動押さえ機構136の可動アーム
144が回転し、リードフレーム118の上面且つ両端
縁118a近傍に延在して該リードフレーム118を押
さえる。従って、後に、上側プレート114を除去する
ために挟持機構124が上昇した際にも、可動押さえ機
構136(可動アーム144)によってリードフレーム
114の反り返り等が抑止されるようになっている。
While the lead frame 118 is being urged by the lower protrusion 156, that is, before the holding mechanism 124 is raised, the movable arm 144 of the movable holding mechanism 136 rotates, and the upper surface and both ends of the lead frame 118 are rotated. The lead frame 118 extends near the edge 118a to hold the lead frame 118. Accordingly, even when the holding mechanism 124 is lifted to remove the upper plate 114 later, the warp or the like of the lead frame 114 is suppressed by the movable holding mechanism 136 (movable arm 144).

【0043】その後特に図示しないが、吸着搬送装置1
30が載置テーブル120の上方に移動し、吸着パッド
等によってリードフレーム118のみを取り出し、樹脂
封止装置等の相手機械に搬出する。
Thereafter, although not particularly shown, the suction transfer device 1
30 moves above the mounting table 120, takes out only the lead frame 118 by a suction pad or the like, and carries it out to a partner machine such as a resin sealing device.

【0044】リードフレーム118が搬出された後は、
図12に示されるように、挟持機構124が再び載置テ
ーブル120の上方に移動して更に下降する。第2挟持
対152は、テーブル132に形成される切欠凹部13
8cを介して下側プレート116の裏側(下面側)に挿
入され、この上側プレート116を挟持して搬出する。
After the lead frame 118 is carried out,
As shown in FIG. 12, the holding mechanism 124 moves again above the mounting table 120 and further descends. The second holding pair 152 is formed with the notch recess 13 formed in the table 132.
8c, it is inserted into the back side (lower side) of the lower plate 116, and the upper plate 116 is sandwiched and carried out.

【0045】以上の工程が繰り返されることで、フレー
ムパケット102におけるリードフレーム118のみが
順次相手機械に供給される。
By repeating the above steps, only the lead frame 118 in the frame packet 102 is sequentially supplied to the partner machine.

【0046】このフレーム供給装置100によれば、上
側プレート114がプッシャによって持ち上げられる際
に、リードフレーム118が上側プレート114から離
反されるようになっている。従って、静電気等によって
リードフレームが上側プレートに吸着される場合であっ
ても、確実に両者を分離することが出来る。
According to the frame supply device 100, when the upper plate 114 is lifted by the pusher, the lead frame 118 is separated from the upper plate 114. Therefore, even when the lead frame is attracted to the upper plate due to static electricity or the like, both can be reliably separated.

【0047】これは、挟持機構124の必須の動作であ
る「下降動作」を合理的に利用して、下方突起156に
よってリードフレーム118を付勢する構成にしたから
である。
This is because the lead frame 118 is urged by the lower protrusion 156 by rationally utilizing the "down operation" which is an essential operation of the holding mechanism 124.

【0048】更に、挟持機構(本体側)124と一体と
なって下方突起が上昇する前に、載置テーブル120側
の可動押さえ機構136によって、リードフレーム11
8の端縁を抑えるようになっている。挟持機構124の
搬出動作中でもリードフレーム118の姿勢が極めて安
定するので、その結果、上記のように吸着搬送装置13
0等によって確実にリードフレーム118だけを搬出す
ることが出来るようになる。特に、薄肉化されてきてい
るリードフレーム118は端縁に「反り上がり」が発生
しやすく、一旦反り上がって湾曲すると非常に姿勢が不
安定となるが、その反り返りがテーブル132上におい
て常に抑止される。これは、挟持機構124の下方突起
156と可動押さえ機構136を、極めて合理的な思想
の下で協働させた結果である。
Further, before the lower protrusion is raised integrally with the holding mechanism (main body side) 124, the lead frame 11 is moved by the movable holding mechanism 136 on the mounting table 120 side.
The edge of 8 is suppressed. Since the posture of the lead frame 118 is extremely stable even during the unloading operation of the holding mechanism 124, as a result, as described above,
By using 0 or the like, only the lead frame 118 can be reliably carried out. In particular, the lead frame 118, which has been reduced in thickness, is liable to "warp" at its edge, and once warped up and bent, the posture becomes very unstable. You. This is a result of cooperating the lower protrusion 156 of the holding mechanism 124 and the movable holding mechanism 136 under an extremely rational concept.

【0049】又、上側プレート114に形成される開口
114aを利用して、下方突起156がリードフレーム
118を下方に付勢する構造であるので、上側プレート
114はリードフレーム118の周囲等を確実に保護出
来ると共に、簡潔な構造でリードフレーム118を容易
に離反させることが出来る。又、開口114aによって
リードフレーム118との接触面積が減少するので、リ
ードフレーム118の損傷等が防止される。
Further, since the lower projection 156 urges the lead frame 118 downward by utilizing the opening 114a formed in the upper plate 114, the upper plate 114 securely covers the periphery of the lead frame 118 and the like. The lead frame 118 can be separated easily with a simple structure while being protected. Further, since the area of contact with the lead frame 118 is reduced by the opening 114a, damage to the lead frame 118 is prevented.

【0050】なお、本実施形態におけるフレーム供給装
置100では、2個のフレームパケット102を一組と
して取り扱う場合に限って示したが、本発明はそれに限
定されず、1個のフレームパケット102だけを取り扱
っても、又は3以上のフレームパケットを同時に取り扱
うようにしても構わない。又、可動押さえ機構136の
構成は本実施形態に限定されず、リードフレーム118
の端縁に外側から突出して押さえ込む構造であればどの
ようなものでも構わない。更に、可動押さえ機構136
によって押さえる場所はリードフレーム118の反り返
りの癖等を考慮して適宜設定すればよく、長手方向の端
縁以外にも、幅方向に沿った端縁を押さえても構わな
い。
Although the frame supply apparatus 100 according to the present embodiment has been described only in the case where two frame packets 102 are handled as one set, the present invention is not limited to this, and only one frame packet 102 is used. It may be handled or three or more frame packets may be handled simultaneously. Further, the configuration of the movable holding mechanism 136 is not limited to the present embodiment, and the lead frame 118
Any structure may be used as long as it protrudes from the outside to the edge and is pressed down. Further, the movable holding mechanism 136
The position to be held down may be appropriately set in consideration of the warpage of the lead frame 118 and the like, and an edge along the width direction other than the edge in the longitudinal direction may be pressed.

【0051】更に、プッシャ機構134の押し上げタイ
ミングと、挟持機構124の下降タイミングとの関係
は、本実施形態に限定されない。即ち、プッシャ機構1
34で上側プレート114を押し上げた「後」に、挟持
機構124を下降させてもよく、又、「同時」に動作さ
せても構わない。
Further, the relationship between the timing of pushing up the pusher mechanism 134 and the timing of lowering the holding mechanism 124 is not limited to the present embodiment. That is, the pusher mechanism 1
The holding mechanism 124 may be lowered “after” the upper plate 114 is pushed up at 34, or may be operated “simultaneously”.

【0052】又、ここでは1つの実施形態を示したが、
本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば今回示した形態
以外の各種実施形態も存在する。なお、明細書全文に表
れてくる部材の形容(機能・形状)はあくまで例示であ
って、これらの記載に限定されるものではない。
Although one embodiment has been described here,
There are various embodiments other than the embodiment shown here without departing from the gist of the present invention. The descriptions (functions / shapes) of the members appearing in the entire text of the specification are merely examples, and the present invention is not limited to these descriptions.

【0053】[0053]

【発明の効果】本発明によれば、フレームパケットとし
てリードフレームを取り扱う際に、リードフレームだけ
を確実に取り出して供給することが出来るようになる。
According to the present invention, when a lead frame is handled as a frame packet, only the lead frame can be reliably taken out and supplied.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態に係るフレーム供給装置が適
用されたフレーム搬送・供給システムを示す全体斜視図
FIG. 1 is an overall perspective view showing a frame transport / supply system to which a frame supply device according to an embodiment of the present invention is applied.

【図2】同フレーム供給装置に利用されるフレームパケ
ットの構成をしめす分解斜視図
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a configuration of a frame packet used in the frame supply device.

【図3】同フレーム供給装置における載置テーブルを拡
大して示す上面図
FIG. 3 is an enlarged top view showing a mounting table in the frame supply device.

【図4】図3のIV−IV断面図FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV of FIG. 3;

【図5】同フレーム供給装置における挟持機構を拡大し
て示す正面図
FIG. 5 is an enlarged front view showing a holding mechanism in the frame supply device.

【図6】図5のVI−VI断面図6 is a sectional view taken along line VI-VI of FIG.

【図7】図5のVII−VII断面図FIG. 7 is a sectional view taken along line VII-VII of FIG. 5;

【図8】図5のVIII−VIII断面図8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in FIG.

【図9】同フレーム供給装置におけるリードフレーム供
給動作(NO.1)を示す拡大断面図
FIG. 9 is an enlarged sectional view showing a lead frame supply operation (NO. 1) in the frame supply device.

【図10】同フレーム供給装置におけるリードフレーム
供給動作(NO.2)を示す拡大断面図
FIG. 10 is an enlarged sectional view showing a lead frame supply operation (NO. 2) in the frame supply device.

【図11】同フレーム供給装置におけるリードフレーム
供給動作(NO.3)を示す拡大断面図
FIG. 11 is an enlarged sectional view showing a lead frame supply operation (NO. 3) in the frame supply device.

【図12】同フレーム供給装置におけるリードフレーム
供給動作(NO.4)を示す拡大断面図
FIG. 12 is an enlarged sectional view showing a lead frame supply operation (NO. 4) in the frame supply device.

【図13】従来のリードフレームを供給する流れをしめ
す全体斜視図
FIG. 13 is an overall perspective view showing a flow of supplying a conventional lead frame.

【図14】フレームパケット式のリードフレームを示す
概念図
FIG. 14 is a conceptual diagram showing a frame packet type lead frame.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100…フレーム供給装置 102…フレームパケット 114…上側プレート 116…下側プレート 118…リードフレーム 118a…端縁 120…載置テーブル 124…挟持機構 132…テーブル 134…プッシャ機構 156…下方突起 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Frame supply apparatus 102 ... Frame packet 114 ... Upper plate 116 ... Lower plate 118 ... Lead frame 118a ... Edge 120 ... Mounting table 124 ... Holding mechanism 132 ... Table 134 ... Pusher mechanism 156 ... Lower projection

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】リードフレームが下側プレート及び上側プ
レートに挟持されて構成されるフレームパケットにおけ
る該上側プレートを取り除き、前記リードフレームのみ
を相手機械に供給するフレーム供給装置において、 前記フレームパケットが載置される載置テーブルと、 該載置テーブルに設けられて前記上側プレートを上方に
突き上げるプッシャと、 該載置テーブルの上方に昇降自在に配設され、下降して
前記上側プレートを挟持し且つ上昇して該上側プレート
を取り除く挟持機構と、を備え、 前記挟持機構には、本体側と共に下降して前記リードフ
レームを下方に付勢することで該リードフレームと前記
上側プレートとを離反させる下方突起が設けられると共
に、 前記載置テーブルには、前記下方突起によって下方に付
勢された前記リードフレームの上面且つ端縁近傍に突出
可能な可動押さえ機構が設けられ、 前記挟持機構が前記上側プレートを挟持し上昇した後に
も、該可動押さえ機構によって前記リードフレームの反
り返りが抑止されるようなっていることを特徴とするフ
レーム供給装置。
1. A frame supply device for removing an upper plate from a frame packet formed by sandwiching a lead frame between a lower plate and an upper plate, and supplying only the lead frame to a counterpart machine, wherein the frame packet is mounted. A placing table to be placed, a pusher provided on the placing table to push up the upper plate, and a pusher arranged to be able to move up and down above the placing table, to descend and clamp the upper plate; A holding mechanism for lifting the upper plate to remove the upper plate, wherein the holding mechanism is moved downward together with the main body to urge the lead frame downward to separate the lead frame from the upper plate. A projection is provided, and the placing table is urged downward by the downward projection. A movable holding mechanism is provided on the upper surface of the lead frame and in the vicinity of the edge thereof, and the warp of the lead frame is suppressed by the movable holding mechanism even after the holding mechanism holds the upper plate and rises. A frame supply device.
【請求項2】請求項1において、 前記可動押さえ機構が、 前記載置テーブルに水平方向に揺動自在に設けられ、前
記リードフレームの上面且つ端縁に対して外部から進退
自在とされた可動アームと、該可動アームを揺動させる
駆動装置と、を備えることを特徴とするフレーム供給装
置。
2. The movable holding mechanism according to claim 1, wherein the movable holding mechanism is provided on the mounting table so as to be swingable in a horizontal direction, and is movable from the outside with respect to an upper surface and an edge of the lead frame. A frame supply device comprising: an arm; and a drive device for swinging the movable arm.
【請求項3】請求項1又は2において、 前記フレームパケットにおける前記上側プレートには、
前記挟持機構の前記下方突起が貫通可能な開口が形成さ
れ、該開口を介して該下方突起が前記リードフレームを
下方に付勢することを特徴とするフレーム供給装置。
3. The frame according to claim 1, wherein the upper plate in the frame packet includes:
An opening through which the lower protrusion of the holding mechanism can pass is formed, and the lower protrusion urges the lead frame downward through the opening.
JP2000220721A 2000-07-21 2000-07-21 Frame feeder Expired - Fee Related JP4425437B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000220721A JP4425437B2 (en) 2000-07-21 2000-07-21 Frame feeder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000220721A JP4425437B2 (en) 2000-07-21 2000-07-21 Frame feeder

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002043334A true JP2002043334A (en) 2002-02-08
JP4425437B2 JP4425437B2 (en) 2010-03-03

Family

ID=18715276

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000220721A Expired - Fee Related JP4425437B2 (en) 2000-07-21 2000-07-21 Frame feeder

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4425437B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP4425437B2 (en) 2010-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI390671B (en) Rectangular substrate dividing apparatus
JP5488966B2 (en) Ejector
JP2000232080A (en) Workpiece to be processed dividing system, and pellet- shifting apparatus
JP2014011416A (en) Pickup device and method for semiconductor chip
JP5041504B2 (en) Semiconductor substrate transfer apparatus and semiconductor substrate transfer method
JP4425437B2 (en) Frame feeder
KR102567088B1 (en) Detape apparatus for an optical alignment machine
JP2003118859A (en) Device and method for extracting flexible tabular body
JP4369298B2 (en) DIE PICKUP DEVICE AND DIE PICKUP METHOD
JP3013848B1 (en) Handling unit for transporting large substrate devices
JP4585496B2 (en) Semiconductor chip mounting equipment
JP2551733B2 (en) Lead frame holding device
KR101479766B1 (en) Plazma cleaning Apparatus for manufactring semiconductor package
JP4157755B2 (en) Work alignment method
JP4254980B2 (en) Wafer transfer equipment
JP2012216641A (en) Wafer housing cassette and carrying method
JP3909597B2 (en) Board loading / unloading device
JPH10258947A (en) Spacer feeder
JP2019064816A (en) Work-piece transfer device and work-piece transfer method
JP2878469B2 (en) Work unloading device
JP2624862B2 (en) Lead frame separation device
JP2021194767A (en) Dummy separator for cell division substrate and cell divider equipped with the same
JP2003318518A (en) Film board transfer mechanism and plasma cleaning unit equipped therewith
JP2014011184A (en) Chip transporting system and chip tray
JP3899790B2 (en) Arrangement transshipment device for thin plate workpieces

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061212

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091208

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091209

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131218

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees