JP2002031767A - 光スイッチ - Google Patents
光スイッチInfo
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- JP2002031767A JP2002031767A JP2000221066A JP2000221066A JP2002031767A JP 2002031767 A JP2002031767 A JP 2002031767A JP 2000221066 A JP2000221066 A JP 2000221066A JP 2000221066 A JP2000221066 A JP 2000221066A JP 2002031767 A JP2002031767 A JP 2002031767A
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- small mirror
- optical switch
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- small
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非閉塞型で多入力多出力化でき、小型集積化
できる光スイッチを提供する。 【解決手段】 マイクロマシニング技術で小型ミラー２
０と軸状支持部２１、２２と基板２５とを一体化するこ
とにより、非閉塞型で小型集積化された光スイッチが得
られる。小型ミラー２０を駆動手段で回動させる際に軸
状支持部２１、２２がトーションバーとして機能するの
で、駆動手段の回動力と軸状支持部２１、２２の捩じれ
力とのバランスを取って小型ミラー２０の角度を制御す
ることにより光信号を切替えることができる。小型ミラ
ー２０、軸状支持部２１、２２及び駆動手段が複数個形
成された一対の基板２５、３１を互いに対向するように
配置し、両基板２５、３１の近傍に複数の入出力光ファ
イバを配置することにより非閉塞型の多入力多出力の光
スイッチを実現することができる。
できる光スイッチを提供する。 【解決手段】 マイクロマシニング技術で小型ミラー２
０と軸状支持部２１、２２と基板２５とを一体化するこ
とにより、非閉塞型で小型集積化された光スイッチが得
られる。小型ミラー２０を駆動手段で回動させる際に軸
状支持部２１、２２がトーションバーとして機能するの
で、駆動手段の回動力と軸状支持部２１、２２の捩じれ
力とのバランスを取って小型ミラー２０の角度を制御す
ることにより光信号を切替えることができる。小型ミラ
ー２０、軸状支持部２１、２２及び駆動手段が複数個形
成された一対の基板２５、３１を互いに対向するように
配置し、両基板２５、３１の近傍に複数の入出力光ファ
イバを配置することにより非閉塞型の多入力多出力の光
スイッチを実現することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光スイッチに関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】通信技術の高度化に伴い、光部品の送受
信部の高速化が進められている。この高速化に伴い、信
号の送信先を高速に切替える光スイッチの開発も盛んに
行われている。現在、インターフェイスの速度領域が１
０Ｇｂｐｓ以上に入り、光スイッチは、複数のルーター
やスイッチと伝送装置とをメッシュ状に接続するための
「光クロスコネクト」や、リング状の光ファイバから特
定波長の光信号を取り出したり挿入したりするための
「ＡＤＭ（ａｄｄ−ｄｒｏｐ ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅ
ｒ）」に向けての開発が中心となっている。また、高速
化と共に設置場所の制約等から小型高密度なスイッチ
で、かつ、低価格であることも要求されている。
信部の高速化が進められている。この高速化に伴い、信
号の送信先を高速に切替える光スイッチの開発も盛んに
行われている。現在、インターフェイスの速度領域が１
０Ｇｂｐｓ以上に入り、光スイッチは、複数のルーター
やスイッチと伝送装置とをメッシュ状に接続するための
「光クロスコネクト」や、リング状の光ファイバから特
定波長の光信号を取り出したり挿入したりするための
「ＡＤＭ（ａｄｄ−ｄｒｏｐ ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅ
ｒ）」に向けての開発が中心となっている。また、高速
化と共に設置場所の制約等から小型高密度なスイッチ
で、かつ、低価格であることも要求されている。
【０００３】この光スイッチは、様々な方式が提案され
ている。
ている。
【０００４】図４は従来の光スイッチからアクチュエー
タを除去した状態を示す外観斜視図である。図５
（ａ）、（ｂ）は図４に示した光スイッチの動作説明図
である。
タを除去した状態を示す外観斜視図である。図５
（ａ）、（ｂ）は図４に示した光スイッチの動作説明図
である。
【０００５】図４及び図５（ａ）、（ｂ）に示す光スイ
ッチ１は、基板２と、基板２上に載置され固定側光ファ
イバ３、４にそれぞれ接続された２つの導波路５、６を
有する導波路ブロック７と、基板８上に一部が固定され
先端部が自由端である１本の移動側光ファイバ９と、移
動側光ファイバ９の先端部に取付けられた駆動ブロック
１０と、移動側光ファイバ９のコア９ａが導波路５、６
のコアに対向するように保持すると共に基板２、８の幅
方向（矢印１１方向）に移動可能に案内するガイドピン
１２、１３と、駆動ブロック１０上に設けられたヨーク
１４と、ヨーク１４に対向するように設けられた略Ｅ字
形状のヨーク１５と、ヨーク１５の中央部に設けられた
永久磁石１６と、ヨーク１５の両側部に設けられたソレ
ノイド１７、１８とで構成された１×２の光スイッチで
ある。
ッチ１は、基板２と、基板２上に載置され固定側光ファ
イバ３、４にそれぞれ接続された２つの導波路５、６を
有する導波路ブロック７と、基板８上に一部が固定され
先端部が自由端である１本の移動側光ファイバ９と、移
動側光ファイバ９の先端部に取付けられた駆動ブロック
１０と、移動側光ファイバ９のコア９ａが導波路５、６
のコアに対向するように保持すると共に基板２、８の幅
方向（矢印１１方向）に移動可能に案内するガイドピン
１２、１３と、駆動ブロック１０上に設けられたヨーク
１４と、ヨーク１４に対向するように設けられた略Ｅ字
形状のヨーク１５と、ヨーク１５の中央部に設けられた
永久磁石１６と、ヨーク１５の両側部に設けられたソレ
ノイド１７、１８とで構成された１×２の光スイッチで
ある。
【０００６】この光スイッチ１が動作すると、図５
（ａ）に示すように永久磁石１６の磁束Ｂ１が図の左側
のヨーク１５から駆動ブロック１０のヨーク１４を通る
ループを形成し、駆動ブロック１０が磁力により左側に
吸引される。この状態から左側のソレノイド１７に磁束
Ｂ１を打ち消すように逆方向の磁束Ｂ２が形成されるよ
うに電流を流すことにより、左側のヨーク１５での磁力
が略キャンセルされる。
（ａ）に示すように永久磁石１６の磁束Ｂ１が図の左側
のヨーク１５から駆動ブロック１０のヨーク１４を通る
ループを形成し、駆動ブロック１０が磁力により左側に
吸引される。この状態から左側のソレノイド１７に磁束
Ｂ１を打ち消すように逆方向の磁束Ｂ２が形成されるよ
うに電流を流すことにより、左側のヨーク１５での磁力
が略キャンセルされる。
【０００７】次に図５（ｂ）に示すように、右側のソレ
ノイドコイル１８に永久磁石１６から駆動ブロック１０
へとかかる方向の磁束Ｂ３と同方向の磁束Ｂ４を加える
と、永久磁石１６の磁束が強められ、磁力により駆動ブ
ロック１０が右側に吸引される。
ノイドコイル１８に永久磁石１６から駆動ブロック１０
へとかかる方向の磁束Ｂ３と同方向の磁束Ｂ４を加える
と、永久磁石１６の磁束が強められ、磁力により駆動ブ
ロック１０が右側に吸引される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、光ス
イッチには小型高密度で多入力多出力（Ｎ×Ｍ）な低価
格なものが要求されている。また、任意の入出力線が他
の接続状態に依存せずに接続できる非閉塞型のスイッチ
が好ましいとされている。上述した従来の光スイッチを
複数用いて、例えば第一の光スイッチの出力ポートを第
二の光スイッチの入力ポートに接続し、第二の出力ポー
トを第三の光スイッチの入力ポートに接続し、以下順次
接続するようなカスケード接続を行えば多入力多出力化
することはできるが、この場合には接続部が多くなるた
め接続損失が大きくなり、かつ、構成要素が増えるた
め、構成寸法も大きくなり、価格も高価になるという問
題がある。また、構造上、任意の入出力線が他の接続状
態に依存する閉塞型の光スイッチであるという問題があ
った。
イッチには小型高密度で多入力多出力（Ｎ×Ｍ）な低価
格なものが要求されている。また、任意の入出力線が他
の接続状態に依存せずに接続できる非閉塞型のスイッチ
が好ましいとされている。上述した従来の光スイッチを
複数用いて、例えば第一の光スイッチの出力ポートを第
二の光スイッチの入力ポートに接続し、第二の出力ポー
トを第三の光スイッチの入力ポートに接続し、以下順次
接続するようなカスケード接続を行えば多入力多出力化
することはできるが、この場合には接続部が多くなるた
め接続損失が大きくなり、かつ、構成要素が増えるた
め、構成寸法も大きくなり、価格も高価になるという問
題がある。また、構造上、任意の入出力線が他の接続状
態に依存する閉塞型の光スイッチであるという問題があ
った。
【０００９】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、非閉塞型で多入力多出力化でき、小型集積化できる
光スイッチを提供することにある。
し、非閉塞型で多入力多出力化でき、小型集積化できる
光スイッチを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光スイッチは、基板と、基板上に形成された
小型ミラーと、マイクロマシニング技術により小型ミラ
ーの対向する縁部に一対の軸状支持部が残るように小型
ミラーの周囲に形成された貫通孔と、小型ミラーに光を
入射させる入力光ファイバと、小型ミラーを軸状支持部
を中心として回動させることにより反射光路を変える駆
動手段と、駆動手段により光路の切り換えられた光を出
力する出力光ファイバとを備えたものである。
に本発明の光スイッチは、基板と、基板上に形成された
小型ミラーと、マイクロマシニング技術により小型ミラ
ーの対向する縁部に一対の軸状支持部が残るように小型
ミラーの周囲に形成された貫通孔と、小型ミラーに光を
入射させる入力光ファイバと、小型ミラーを軸状支持部
を中心として回動させることにより反射光路を変える駆
動手段と、駆動手段により光路の切り換えられた光を出
力する出力光ファイバとを備えたものである。
【００１１】上記構成に加え本発明の光スイッチは、小
型ミラー、軸状支持部及び駆動手段が複数個形成され、
互いに対向するように配置された一対の基板と、基板の
近傍に配置された複数の入出力光ファイバとを有しても
よい。
型ミラー、軸状支持部及び駆動手段が複数個形成され、
互いに対向するように配置された一対の基板と、基板の
近傍に配置された複数の入出力光ファイバとを有しても
よい。
【００１２】上記構成に加え本発明の光スイッチの駆動
手段は、小型ミラーの近傍に配置されコイルに磁場を与
える磁石と、小型ミラーの外周部に設けられ電流が流れ
ると発生する力で小型ミラーを回動させるコイルとで構
成されているのが好ましい。
手段は、小型ミラーの近傍に配置されコイルに磁場を与
える磁石と、小型ミラーの外周部に設けられ電流が流れ
ると発生する力で小型ミラーを回動させるコイルとで構
成されているのが好ましい。
【００１３】上記構成に加え本発明の光スイッチの小型
ミラーの近傍に配置され複数の凹部が形成された櫛型の
ラッチと、ラッチを移動させて凹部が小型ミラーに嵌合
することにより、小型ミラーを所定の角度位置に保持す
るアクチュエータとを有するのが好ましい。
ミラーの近傍に配置され複数の凹部が形成された櫛型の
ラッチと、ラッチを移動させて凹部が小型ミラーに嵌合
することにより、小型ミラーを所定の角度位置に保持す
るアクチュエータとを有するのが好ましい。
【００１４】上記構成に加え本発明の光スイッチのアク
チュエータは、小型ミラーに嵌合可能な凹部が形成され
たラッチ上のバイメタルと、バイメタルを加熱するヒー
タとで構成されているのが好ましい。
チュエータは、小型ミラーに嵌合可能な凹部が形成され
たラッチ上のバイメタルと、バイメタルを加熱するヒー
タとで構成されているのが好ましい。
【００１５】本発明によれば、マイクロマシニング技術
で小型ミラーと軸状支持部と基板とを一体化することに
より、非閉塞型で小型集積化された光スイッチが得られ
る。すなわち、小型ミラーを駆動手段で回動させる際に
軸状支持部がトーションバーとして機能するので、駆動
手段の回動力とトーションバーの捩じれ力とのバランス
を取って小型ミラーの角度を制御することにより光信号
を切替えることができる。この結果、従来のようなヨー
ク、ソレノイド、ガイドピン等が不要となり、非閉塞型
で小型集積化することができる。また、ラッチにより小
型ミラーの角度を保持することができるので、切替え光
路の安定性が向上する。さらに、小型ミラー、軸状支持
部及び駆動手段が複数個形成された一対の基板を互いに
対向するように配置し、両基板の近傍に複数の入出力光
ファイバを配置することにより非閉塞型の多入力多出力
の光スイッチを実現することができる。
で小型ミラーと軸状支持部と基板とを一体化することに
より、非閉塞型で小型集積化された光スイッチが得られ
る。すなわち、小型ミラーを駆動手段で回動させる際に
軸状支持部がトーションバーとして機能するので、駆動
手段の回動力とトーションバーの捩じれ力とのバランス
を取って小型ミラーの角度を制御することにより光信号
を切替えることができる。この結果、従来のようなヨー
ク、ソレノイド、ガイドピン等が不要となり、非閉塞型
で小型集積化することができる。また、ラッチにより小
型ミラーの角度を保持することができるので、切替え光
路の安定性が向上する。さらに、小型ミラー、軸状支持
部及び駆動手段が複数個形成された一対の基板を互いに
対向するように配置し、両基板の近傍に複数の入出力光
ファイバを配置することにより非閉塞型の多入力多出力
の光スイッチを実現することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００１７】図１（ａ）は本発明の光スイッチの一実施
の形態を示す平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）の
Ａ−Ａ線断面図である。但し、図１（ｂ）では入出力光
ファイバはコアのみ示されている。
の形態を示す平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）の
Ａ−Ａ線断面図である。但し、図１（ｂ）では入出力光
ファイバはコアのみ示されている。
【００１８】複数（図では４つであるが限定されな
い。）の小型ミラー２０と、マイクロマシニングの微細
加工技術により各小型ミラー２０の対向する縁部（図１
（ｂ）では上下）に一対の軸状支持部２１、２２がそれ
ぞれ残るように各小型ミラー２０の外周部に形成された
コの字形状の貫通孔２３、２４とが形成されたＳｉ基板
からなるミラーベース２５と、ミラーベース２５と同様
な小型ミラー２６と、軸状支持部２７、２８と、貫通孔
とが形成されたＳｉ基板からなるミラーベース３１とが
平行、かつ小型ミラー２０、２６同士が対向するように
Ｓｉ基板３２上に垂直に取付けられている。
い。）の小型ミラー２０と、マイクロマシニングの微細
加工技術により各小型ミラー２０の対向する縁部（図１
（ｂ）では上下）に一対の軸状支持部２１、２２がそれ
ぞれ残るように各小型ミラー２０の外周部に形成された
コの字形状の貫通孔２３、２４とが形成されたＳｉ基板
からなるミラーベース２５と、ミラーベース２５と同様
な小型ミラー２６と、軸状支持部２７、２８と、貫通孔
とが形成されたＳｉ基板からなるミラーベース３１とが
平行、かつ小型ミラー２０、２６同士が対向するように
Ｓｉ基板３２上に垂直に取付けられている。
【００１９】各小型ミラー２０、２６の外周部には微細
コイル３３がそれぞれ設けられている。これら２列に配
列されたミラーベース２５、３１の両側に、４心のファ
イバブロックにマイクロレンズアレイをそれぞれ接着し
た光入力ポート３４と光出力ポート３５とが、平行、か
つ、小型ミラー２０、２６に対して斜めになるように配
置されアライメントされている。
コイル３３がそれぞれ設けられている。これら２列に配
列されたミラーベース２５、３１の両側に、４心のファ
イバブロックにマイクロレンズアレイをそれぞれ接着し
た光入力ポート３４と光出力ポート３５とが、平行、か
つ、小型ミラー２０、２６に対して斜めになるように配
置されアライメントされている。
【００２０】さらに、Ｓｉ基板３２上には小型ミラー２
０、２６の列と平行な磁場がかかるように複数（図では
２個であるが限定されない。）の永久磁石３６、３７が
配置されている。これら微細コイル３３と、永久磁石３
６、３７とで駆動手段が構成されている。
０、２６の列と平行な磁場がかかるように複数（図では
２個であるが限定されない。）の永久磁石３６、３７が
配置されている。これら微細コイル３３と、永久磁石３
６、３７とで駆動手段が構成されている。
【００２１】小型ミラー２０、２６を自己保持するため
のラッチ３８、３９が小型ミラー２０、２６とＳｉ基板
３２との間に配置されている。
のラッチ３８、３９が小型ミラー２０、２６とＳｉ基板
３２との間に配置されている。
【００２２】なお、４０、４１はミラーベース２５、３
１をＳｉ基板３２上に保持する止め具である。
１をＳｉ基板３２上に保持する止め具である。
【００２３】このような光スイッチ４２のスイッチング
は、光入力ポート３４からの光を、小型ミラー２０の角
度を調整することにより対向する側の小型ミラー２６の
いずれかに反射させ光出力ポート３５へ平行に結合させ
ることで行う（このときのスイッチ光路は矢印Ｌ１線で
ある。）。
は、光入力ポート３４からの光を、小型ミラー２０の角
度を調整することにより対向する側の小型ミラー２６の
いずれかに反射させ光出力ポート３５へ平行に結合させ
ることで行う（このときのスイッチ光路は矢印Ｌ１線で
ある。）。
【００２４】光入出力ポート３４、３５と小型ミラー２
０、２６との位置関係は、光入力ポート３４の光軸延長
線上にそれぞれ小型ミラー２０の回動中心軸（軸状支持
部２１、２２を通る中心線）が存在し、小型ミラー２０
と対向して平行に配列された側の小型ミラー２６の回動
中心軸（軸状支持部２７、２８を通る中心線）も光出力
ポート３５の光軸延長線上に存在するようになってい
る。また、光入力ポート３４からの光信号を受けた小型
ミラー２０と、その小型ミラー２０からの反射光を受け
る小型ミラー２６は常に平行な角度を保つようになって
いる。
０、２６との位置関係は、光入力ポート３４の光軸延長
線上にそれぞれ小型ミラー２０の回動中心軸（軸状支持
部２１、２２を通る中心線）が存在し、小型ミラー２０
と対向して平行に配列された側の小型ミラー２６の回動
中心軸（軸状支持部２７、２８を通る中心線）も光出力
ポート３５の光軸延長線上に存在するようになってい
る。また、光入力ポート３４からの光信号を受けた小型
ミラー２０と、その小型ミラー２０からの反射光を受け
る小型ミラー２６は常に平行な角度を保つようになって
いる。
【００２５】図２は図１に示した光スイッチの動作原理
の説明図である。
の説明図である。
【００２６】図２に示す小型ミラー２０は、ミラーベー
ス２５に二つの軸状支持部（トーションバー）２１、２
２で支持されている。ミラー面には金が蒸着されてい
る。小型ミラー２０の外周部に形成された微細コイル３
３は、磁束密度Ｂの磁界中において、微細コイル３３に
電流ｉを流すことにより力ｄＦ（ｄＦ＝ｉ［ｄｌ，
Ｂ］、但し、ｄｌは微細コイル３３の磁界と垂直な部分
の長さとする。）が生じて矢印４３方向に回動してトー
ションバー２１、２２が捩じれるが、トーションバー２
１、２２に発生する捩じれを戻す力との釣り合いで小型
ミラー２０の角度制御が行われる。小型ミラー２０の微
細コイル３３が形成する平面と磁場とが平行のときに力
ｄＦが最大となるので、ミラーベース２５は磁場と平行
な関係にあるのが好ましい。なお、Ｌ２は入力光を示
す。
ス２５に二つの軸状支持部（トーションバー）２１、２
２で支持されている。ミラー面には金が蒸着されてい
る。小型ミラー２０の外周部に形成された微細コイル３
３は、磁束密度Ｂの磁界中において、微細コイル３３に
電流ｉを流すことにより力ｄＦ（ｄＦ＝ｉ［ｄｌ，
Ｂ］、但し、ｄｌは微細コイル３３の磁界と垂直な部分
の長さとする。）が生じて矢印４３方向に回動してトー
ションバー２１、２２が捩じれるが、トーションバー２
１、２２に発生する捩じれを戻す力との釣り合いで小型
ミラー２０の角度制御が行われる。小型ミラー２０の微
細コイル３３が形成する平面と磁場とが平行のときに力
ｄＦが最大となるので、ミラーベース２５は磁場と平行
な関係にあるのが好ましい。なお、Ｌ２は入力光を示
す。
【００２７】図３は図１に示した光スイッチの保持機能
についての説明図である。
についての説明図である。
【００２８】先端（図では上端）に複数の矩形状の凹部
４４を有するラッチ部にはバイメタル４５と、バイメタ
ル４５に取付けられたヒータ４６とでラッチ３８のアク
チュエータ４７が構成されている。
４４を有するラッチ部にはバイメタル４５と、バイメタ
ル４５に取付けられたヒータ４６とでラッチ３８のアク
チュエータ４７が構成されている。
【００２９】このアクチュエータ４７のヒータ４６に通
電してバイメタル４５を加熱することにより、バイメタ
ル４５が変形してラッチ部を矢印４８方向（小型ミラー
２０側）に上げ、小型ミラー２０に凹部４４を嵌合させ
ることで小型ミラー２０を固定保持することができる。
ヒータ４６の通電加熱を停止することにより、バイメタ
ル４５は元の形状に戻り、凹部４４が矢印４９方向に小
型ミラー２０からはずれて固定保持状態が解除される。
電してバイメタル４５を加熱することにより、バイメタ
ル４５が変形してラッチ部を矢印４８方向（小型ミラー
２０側）に上げ、小型ミラー２０に凹部４４を嵌合させ
ることで小型ミラー２０を固定保持することができる。
ヒータ４６の通電加熱を停止することにより、バイメタ
ル４５は元の形状に戻り、凹部４４が矢印４９方向に小
型ミラー２０からはずれて固定保持状態が解除される。
【００３０】ここで、４×４の閉塞型光スイッチを試作
したところ、小型ミラーの角度を制御することで光線路
の切替えができることを確認した。
したところ、小型ミラーの角度を制御することで光線路
の切替えができることを確認した。
【００３１】なお、本実施の形態では小型ミラーが矩形
の場合で説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、円形、楕円形、多角形であってもよい。
の場合で説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、円形、楕円形、多角形であってもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３３】非閉塞型で多入力多出力化でき、小型集積
化できる光スイッチの提供を実現できる。
化できる光スイッチの提供を実現できる。
【図１】（ａ）は本発明の光スイッチの一実施の形態を
示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図で
ある。
示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図で
ある。
【図２】図１に示した光スイッチの動作原理の説明図で
ある。
ある。
【図３】図１に示した光スイッチの保持機能についての
説明図である。
説明図である。
【図４】従来の光スイッチからアクチュエータを除去し
た状態を示す外観斜視図であるる。
た状態を示す外観斜視図であるる。
【図５】（ａ）、（ｂ）は図４に示した光スイッチの動
作説明図である。
作説明図である。
２０、２６ 小型ミラー ２１、２２ 軸状支持部（トーションバー） ２５、３１、ミラーベース（基板） ３２ Ｓｉ基板 ３３ 微細コイル ３４ 光入力ポート ３５ 光出力ポート ３６、３７ 永久磁石 ３８、３９ ラッチ
フロントページの続き (72)発明者 江刺 正喜 宮城県仙台市太白区八木山南１丁目11番地 ９ Ｆターム(参考） 2H041 AA16 AB14 AC05 AZ03
Claims (5)
- 【請求項１】 基板と、該基板上に形成された小型ミラ
ーと、マイクロマシニング技術により上記小型ミラーの
対向する縁部に一対の軸状支持部が残るように上記小型
ミラーの周囲に形成された貫通孔と、上記小型ミラーに
光を入射させる入力光ファイバと、上記小型ミラーを上
記軸状支持部を中心として回動させることにより反射光
路を変える駆動手段と、該駆動手段により光路の切り換
えられた光を出力する出力光ファイバとを備えたことを
特徴とする光スイッチ。 - 【請求項２】 上記小型ミラー、上記軸状支持部及び上
記駆動手段が複数個形成され、互いに対向するように配
置された一対の基板と、該基板の近傍に配置された複数
の入出力光ファイバとを有する請求項１に記載の光スイ
ッチ。 - 【請求項３】 上記駆動手段は、上記小型ミラーの近傍
に配置され上記コイルに磁場を与える磁石と、上記小型
ミラーの外周部に設けられ電流が流れると発生する力で
上記小型ミラーを回動させるコイルとで構成されている
請求項１または２に記載の光スイッチ。 - 【請求項４】 上記小型ミラーの近傍に配置され複数の
凹部が形成された櫛型のラッチと、該ラッチを移動させ
て上記凹部が上記小型ミラーに嵌合することにより、上
記小型ミラーを所定の角度位置に保持するアクチュエー
タとを有する請求項１から３のいずれかに記載の光スイ
ッチ。 - 【請求項５】 上記アクチュエータは、上記小型ミラー
に嵌合可能な凹部が形成されたラッチ上のバイメタル
と、該バイメタルを加熱するヒータとで構成されている
請求項１から４のいずれかに記載の光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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