JP2002026683A - 水晶振動子 - Google Patents
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 title abstract description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 12
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 33
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002585 base Substances 0.000 description 10
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 9
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000006023 eutectic alloy Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003637 basic solution Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】温度変化及び経時変化による周波数変動特性を
良好とした水晶振動子を提供する。 【構成】ベースに設けられた金属材からなる一対のサポ
ータによって、引出電極の延出した水晶片４の両端外周
部を電気的・機械的に接続するとともに前記水晶片の主
面を前記ベースに対して水平方向に保持した水晶振動子
において、前記ベースに対する前記一対のサポータの各
支持端を直線的に結ぶ第1の直線と前記水晶片４の両端
外周部を保持する前記サポータの各保持端を直線的に結
ぶ第２の直線とを交差させた構成とする。
良好とした水晶振動子を提供する。 【構成】ベースに設けられた金属材からなる一対のサポ
ータによって、引出電極の延出した水晶片４の両端外周
部を電気的・機械的に接続するとともに前記水晶片の主
面を前記ベースに対して水平方向に保持した水晶振動子
において、前記ベースに対する前記一対のサポータの各
支持端を直線的に結ぶ第1の直線と前記水晶片４の両端
外周部を保持する前記サポータの各保持端を直線的に結
ぶ第２の直線とを交差させた構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はサポータによって水
晶片を保持した水晶振動子を産業上の技術分野とし、特
にサポータによる応力を回避して温度変化及び経時変化
による周波数変動特性を良好にした水晶振動子に関す
る。
晶片を保持した水晶振動子を産業上の技術分野とし、特
にサポータによる応力を回避して温度変化及び経時変化
による周波数変動特性を良好にした水晶振動子に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】（発明の背景）水晶振動子は周波数及び
時間の基準源として通信機器を含む各種の電子機器に広
く用いられている。このようなものの一つに、サポータ
３（ａｂ）によって水晶片４を保持し、高安定とした水
晶振動子がある。
時間の基準源として通信機器を含む各種の電子機器に広
く用いられている。このようなものの一つに、サポータ
３（ａｂ）によって水晶片４を保持し、高安定とした水
晶振動子がある。
【０００３】（従来技術の一例）第３図及び第４図は一
従来例を説明する図で、第３図は水晶振動子の断面図、
第４図はカバー２を除く平面図である。水晶振動子は、
金属ベース１と同カバー２からなる容器内に一対のサポ
ータ３（ａｂ）によって保持された水晶片４を密閉封入
してなる。金属ベース１はガラス５によって絶縁貫通し
た、一対のリード線（所謂気密端子）６（ａｂ）を有す
る。サポータ３（ａｂ）はＬ字状として垂直部を対向さ
せ、水平部が一対のリード線６（ａｂ）の先端にスポッ
ト溶接される。
従来例を説明する図で、第３図は水晶振動子の断面図、
第４図はカバー２を除く平面図である。水晶振動子は、
金属ベース１と同カバー２からなる容器内に一対のサポ
ータ３（ａｂ）によって保持された水晶片４を密閉封入
してなる。金属ベース１はガラス５によって絶縁貫通し
た、一対のリード線（所謂気密端子）６（ａｂ）を有す
る。サポータ３（ａｂ）はＬ字状として垂直部を対向さ
せ、水平部が一対のリード線６（ａｂ）の先端にスポッ
ト溶接される。
【０００４】水晶片４はＡＴカットからなる円板状とし
て両主面の励振電極７（ａｂ）から両端外周部の端面及
び反対面に引出電極８（ａｂ）を延出する（第５図）。
引出電極８（ａｂ）は応力感度特性を良好としたＺ’軸
から±３０度傾斜した方向とする。そして、両端外周部
の端面をサポータ３（ａｂ）の垂直部に当接し、熱圧着
によって電気的・機械的に接続するとともに、水晶片４
の主面を金属ベース１に対して水平方向に保持する。但
し、サポータ３（ａｂ）の垂直部には図示しない金（Ａ
U）及びゲルマ（Ｇe）の共晶合金とした金属箔が付着さ
れている。
て両主面の励振電極７（ａｂ）から両端外周部の端面及
び反対面に引出電極８（ａｂ）を延出する（第５図）。
引出電極８（ａｂ）は応力感度特性を良好としたＺ’軸
から±３０度傾斜した方向とする。そして、両端外周部
の端面をサポータ３（ａｂ）の垂直部に当接し、熱圧着
によって電気的・機械的に接続するとともに、水晶片４
の主面を金属ベース１に対して水平方向に保持する。但
し、サポータ３（ａｂ）の垂直部には図示しない金（Ａ
U）及びゲルマ（Ｇe）の共晶合金とした金属箔が付着さ
れている。
【０００５】このようなものでは、零感度とする両端外
周部を保持するので両端外周部からの応力に対して周波
数変化を小さくするとともに、両端外周部での端面を保
持するので主面の振動変位を阻害することなく振動特性
を良好にする。これらのことから、この種のものでは例
えば周波数温度特性を平坦にする恒温槽に水晶振動子を
収容して駆動される高安定用に特に採用される。
周部を保持するので両端外周部からの応力に対して周波
数変化を小さくするとともに、両端外周部での端面を保
持するので主面の振動変位を阻害することなく振動特性
を良好にする。これらのことから、この種のものでは例
えば周波数温度特性を平坦にする恒温槽に水晶振動子を
収容して駆動される高安定用に特に採用される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】（従来技術の問題点）
しかしながら、上記構成の水晶振動子では、各サポータ
３（ａｂ）のベースに対する支持端と水晶片４の保持端
とが、水晶片４の最大振動領域である中央部の直線上に
並ぶ。したがって、温度変化及び経時変化に伴うサポー
タ３（ａｂ）の伸縮方向が同一の直線上となり、伸縮力
が局所的に重畳して水晶片４に応力を発生し、周波数変
動の要因となっていた。
しかしながら、上記構成の水晶振動子では、各サポータ
３（ａｂ）のベースに対する支持端と水晶片４の保持端
とが、水晶片４の最大振動領域である中央部の直線上に
並ぶ。したがって、温度変化及び経時変化に伴うサポー
タ３（ａｂ）の伸縮方向が同一の直線上となり、伸縮力
が局所的に重畳して水晶片４に応力を発生し、周波数変
動の要因となっていた。
【０００７】特に、高安定用では周波数安定度はｐｐｂ
（１０−９）オーダが求められ、経時変化特性に問題が
あった。なお、零感度となる両端外周部を保持するもの
のサポータ３（ａｂ）は幅を持ち、零感度とする両端を
点的に保持するのではないので、応力による周波数変化
を生じる。
（１０−９）オーダが求められ、経時変化特性に問題が
あった。なお、零感度となる両端外周部を保持するもの
のサポータ３（ａｂ）は幅を持ち、零感度とする両端を
点的に保持するのではないので、応力による周波数変化
を生じる。
【０００８】（発明の目的）本発明は温度変化及び経時
変化による周波数変動特性を良好とした水晶振動子を提
供することを目的とする。
変化による周波数変動特性を良好とした水晶振動子を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、一対のサポー
タ３（ａｂ）の支持端を結ぶ第1の直線Ａ−Ａ‘と水晶
片４の引出電極８（ａｂ）の延出した両端外周部を結ぶ
第２の直線Ｂ−Ｂ’とを交差させたことを基本的な解決
手段とする。
タ３（ａｂ）の支持端を結ぶ第1の直線Ａ−Ａ‘と水晶
片４の引出電極８（ａｂ）の延出した両端外周部を結ぶ
第２の直線Ｂ−Ｂ’とを交差させたことを基本的な解決
手段とする。
【００１０】
【作用】本発明では、上記の手段により、サポータ３
（ａｂ）の伸縮方向が互いに異なり直線上ではなくなる
ので、応力が重畳しない。したがって、応力による周波
数変化を軽減する。以下、本発明の一実施例を説明す
る。
（ａｂ）の伸縮方向が互いに異なり直線上ではなくなる
ので、応力が重畳しない。したがって、応力による周波
数変化を軽減する。以下、本発明の一実施例を説明す
る。
【００１１】
【実施例】第１図及び第２図は本発明の一実施例を説明
する図で、第１図は水晶振動子のカバーを除く平面図、
第２図は一部図である。なお、前従来例図と同一部分に
は同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。水晶
振動子は、前述したように、一対のリード線６（ａｂ）
が絶縁貫通した金属ベース１とカバー２からなる容器内
に、励振電極７（ａｂ）から引出電極８（ａｂ）の延出
したＺ’軸から±３０度傾斜した両端外周部をＬ字状の
サポータ３（ａｂ）によって電気的・機械的に接続さ
れ、水平方向に保持された水晶片４を密閉封入してな
る。
する図で、第１図は水晶振動子のカバーを除く平面図、
第２図は一部図である。なお、前従来例図と同一部分に
は同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。水晶
振動子は、前述したように、一対のリード線６（ａｂ）
が絶縁貫通した金属ベース１とカバー２からなる容器内
に、励振電極７（ａｂ）から引出電極８（ａｂ）の延出
したＺ’軸から±３０度傾斜した両端外周部をＬ字状の
サポータ３（ａｂ）によって電気的・機械的に接続さ
れ、水平方向に保持された水晶片４を密閉封入してな
る。
【００１２】そして、この実施例では、Ｌ字状とした一
対のサポータ３（ａｂ）は、金属ベース１に対する支持
端から即ち水平部のリード線６（ａｂ）に対するスポッ
ト溶接部から互いに反対方向にずれた両端外周方向に延
出する。この例では、結果として、金属ベース１に対す
る各支持端を直線的に結ぶ第１の直線Ａ−Ａ‘と、水晶
片４の両端外周部を保持する各保持端を直線的に結ぶ第
２の直線Ｂ−Ｂ’とを３０度の角度で交差させてなる。
なお、サポータ３（ａｂ）の垂直部は水晶片４の外周に
対して接線方向に折曲される。
対のサポータ３（ａｂ）は、金属ベース１に対する支持
端から即ち水平部のリード線６（ａｂ）に対するスポッ
ト溶接部から互いに反対方向にずれた両端外周方向に延
出する。この例では、結果として、金属ベース１に対す
る各支持端を直線的に結ぶ第１の直線Ａ−Ａ‘と、水晶
片４の両端外周部を保持する各保持端を直線的に結ぶ第
２の直線Ｂ−Ｂ’とを３０度の角度で交差させてなる。
なお、サポータ３（ａｂ）の垂直部は水晶片４の外周に
対して接線方向に折曲される。
【００１３】このような構成であれば、温度変化及び経
時変化等による各サポータ３（ａｂ）の伸縮方向は同一
直線上とはならず、水晶片４の最大振動領域の中央部を
避けた両端方向となる。したがって、水晶片４に発生す
る応力は分散し、サポータ３（ａｂ）の伸縮による周波
数変動を抑圧する。これにより、特に、恒温槽を用いた
高安定用ではｐｐｂ（１０−９）オーダの高安定度を維
持でき、温度変化及び経時変化による周波数変動特性を
良好とする。
時変化等による各サポータ３（ａｂ）の伸縮方向は同一
直線上とはならず、水晶片４の最大振動領域の中央部を
避けた両端方向となる。したがって、水晶片４に発生す
る応力は分散し、サポータ３（ａｂ）の伸縮による周波
数変動を抑圧する。これにより、特に、恒温槽を用いた
高安定用ではｐｐｂ（１０−９）オーダの高安定度を維
持でき、温度変化及び経時変化による周波数変動特性を
良好とする。
【００１４】
【他の事項】上記実施例では高安定用の水晶振動子とし
て説明したが、一般用の水晶振動子にも適用できること
は勿論である。すなわち、共晶合金を用いた熱圧着とし
たが、例えば導電性接着剤によって主面を含む両端外周
部を保持したものにも適用できる。また、Ｚ’軸から±
３０度としたが、Ｘ軸方向の両端を保持したとしてもよ
い。但し、ｐｐｂオーダでの周波数変動が求められる高
安定用とした場合の効果が顕著となる。
て説明したが、一般用の水晶振動子にも適用できること
は勿論である。すなわち、共晶合金を用いた熱圧着とし
たが、例えば導電性接着剤によって主面を含む両端外周
部を保持したものにも適用できる。また、Ｚ’軸から±
３０度としたが、Ｘ軸方向の両端を保持したとしてもよ
い。但し、ｐｐｂオーダでの周波数変動が求められる高
安定用とした場合の効果が顕著となる。
【００１５】また、水晶片４はＡＴカットとしたが、応
力感度特性に優れたＳＣカット等であっても適用でき
る。さらに、金属ベース１を用いたが例えばセラミック
や樹脂等からなる表面実装用のベースに金属からなるサ
ポータを設けた場合の同様に適用できる。
力感度特性に優れたＳＣカット等であっても適用でき
る。さらに、金属ベース１を用いたが例えばセラミック
や樹脂等からなる表面実装用のベースに金属からなるサ
ポータを設けた場合の同様に適用できる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、一対のサポータの支持端を結
ぶ第1の直線と水晶片の引出電極の延出した両端外周部
を結ぶ第２の直線とを交差させたので、温度変化及び経
時変化による周波数変動特性を良好とした特性に優れた
水晶振動子を提供できる。
ぶ第1の直線と水晶片の引出電極の延出した両端外周部
を結ぶ第２の直線とを交差させたので、温度変化及び経
時変化による周波数変動特性を良好とした特性に優れた
水晶振動子を提供できる。
【図１】本発明の一実施例を説明する水晶振動子のカバ
ーを除く平面図である。
ーを除く平面図である。
【図２】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の一部
図である。
図である。
【図３】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。
【図４】従来例を説明する水晶振動子のカバーを除く平
面図である。
面図である。
【図５】従来例を説明する水晶片の平面図である。
１ 金属ベース、２ 金属カバー、３ サポータ、４
水晶片、５ ガラス、６ リード線、７ 励振電極、８
引出電極．
水晶片、５ ガラス、６ リード線、７ 励振電極、８
引出電極．
Claims (1)
- 【請求項１】ベースに設けられた金属材からなる一対の
サポータによって、引出電極の延出した水晶片４の両端
外周部を電気的・機械的に接続するとともに前記水晶片
の主面を前記ベースに対して水平方向に保持した水晶振
動子において、前記ベースに対する前記一対のサポータ
の各支持端を直線的に結ぶ第1の直線と前記水晶片４の
両端外周部を保持する前記サポータの各保持端を直線的
に結ぶ第２の直線とを交差させたことを特徴とする水晶
振動子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000203667A JP2002026683A (ja) | 2000-07-05 | 2000-07-05 | 水晶振動子 |
| US09/750,769 US6300707B1 (en) | 2000-07-05 | 2001-01-02 | Quartz crystal unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000203667A JP2002026683A (ja) | 2000-07-05 | 2000-07-05 | 水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002026683A true JP2002026683A (ja) | 2002-01-25 |
Family
ID=18701043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000203667A Pending JP2002026683A (ja) | 2000-07-05 | 2000-07-05 | 水晶振動子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6300707B1 (ja) |
| JP (1) | JP2002026683A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005348082A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3815772B2 (ja) * | 2001-08-20 | 2006-08-30 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
| US6984925B2 (en) * | 2002-05-28 | 2006-01-10 | Delaware Capital Formation, Inc | Low acceleration sensitivity mounting structures for crystal resonators |
| US7011887B2 (en) * | 2002-09-02 | 2006-03-14 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | IT-cut quartz crystal unit |
| JP4676285B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2011-04-27 | セイコーインスツル株式会社 | 表面実装型圧電振動子とその製造方法、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP2007212751A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 球状又は半球状の結晶体の製造方法及び球状ｓａｗデバイスの製造方法 |
| US8294332B2 (en) * | 2007-07-02 | 2012-10-23 | Schlumberger Technology Corporation | Pressure transducer |
| JP2009164673A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子用の金属ベース及びこれを用いた水晶振動子 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4803393A (en) * | 1986-07-31 | 1989-02-07 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator |
| US5004945A (en) * | 1988-09-26 | 1991-04-02 | Nippondenso Co., Ltd. | Piezoelectric type actuator |
| DE4445642A1 (de) * | 1994-12-21 | 1996-06-27 | Marco Systemanalyse Entw | Piezoaktuatorisches Antriebs- bzw. Verstellelement |
| DE19650900A1 (de) * | 1996-12-07 | 1998-06-10 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktuator |
-
2000
- 2000-07-05 JP JP2000203667A patent/JP2002026683A/ja active Pending
-
2001
- 2001-01-02 US US09/750,769 patent/US6300707B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005348082A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6300707B1 (en) | 2001-10-09 |
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