JP2002026346A - 太陽電池用バックカバー材兼用封止膜及び太陽電池 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 太陽電池用セルの裏面側保護部材を兼ねた封
止膜として用いられる太陽電池用バックカバー材兼用封
止膜であって、軽量かつ薄肉で防湿性、耐久性に優れ、
しかも絶縁性が高く、内部配線等の短絡やリーク電流の
問題がない太陽電池用バックカバー材兼用封止膜と、こ
の封止膜を裏面側保護部材を兼ねた封止膜として用い
た、高耐久性かつ高性能の太陽電池を提供する。 【解決手段】 太陽電池用セルの裏面側保護部材を兼ね
た封止膜において、２枚の耐熱、耐候性フィルム２，２
を防湿フィルム３を介して積層一体化してなる本体部４
と、この本体部４の一方の面に設けられた接着層５とを
有する太陽電池用バックカバー材兼用封止膜１。この太
陽電池用バックカバー材兼用封止膜１の透湿度は１．０
ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池用セルの
裏面側保護部材として用いられるバックカバー材を兼ね
た封止膜と、この封止膜を用いた太陽電池に係り、特
に、防湿性、耐久性に優れ、しかも絶縁性が高く、リー
ク電流の問題のない太陽電池用バックカバー材兼用封止
膜と、この封止膜を裏面側保護部材兼用封止膜として用
いた高耐久性かつ高性能の太陽電池に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、資源の有効利用や環境汚染の防止
等の面から、太陽光を直接電気エネルギーに変換する太
陽電池が注目され、開発が進められている。

【０００３】太陽電池は、一般に、図３に示す如く、受
光面側の表面側透明保護部材１１と裏面側保護部材（バ
ックカバー材）１２との間にエチレン−酢酸ビニル共重
合体（ＥＶＡ）フィルム１３Ａ，１３Ｂの封止膜によ
り、太陽電池用セル、即ち、シリコン等の発電素子１４
を封止した構成とされている。

【０００４】このような太陽電池１０は、ガラス基板等
の表面側透明保護部材１１、封止膜用ＥＶＡフィルム１
３Ａ、シリコン発電素子１４、封止膜用ＥＶＡフィルム
１３Ｂ及びバックカバー材１２をこの順で積層し、ＥＶ
Ａを加熱溶融して架橋硬化させることにより接着一体化
することで製造される。

【０００５】このような太陽電池のバックカバー材は、
太陽電池の軽量薄肉化の観点から、それ自体も軽量かつ
薄肉であることが要求されるが、更に、発電素子や配線
等の内部部品を外力、湿気等から保護するための耐久
性、防湿性が要求される。即ち、太陽電池は、通常屋外
に設置されることから、バックカバー材には、長期にわ
たる耐久性を有することに加えて、湿気ないし水の透過
による内部の発電素子や、導線、電極等の部品の発錆を
防止するべく、防湿性に優れることが極めて重要な要件
となる。

【０００６】従来、太陽電池のバックカバー材として
は、防湿層としてのアルミニウム、亜鉛めっき鉄等の金
属箔を２枚の樹脂フィルム間に挟んだ積層フィルムが設
けられている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属箔
を用いた従来のバックカバー材では、太陽電池に適用し
た場合、電流がリークする恐れがある。また、発電素子
や内部配線等の突起が樹脂フィルムを貫通することによ
り、金属箔と短絡する恐れもある。これらの問題と環境
面から、金属箔を用いる代わりに樹脂フィルムのみの積
層体が開発されたが、この積層フィルムでは防湿性が不
十分であった。

【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決し、太陽
電池用セルの裏面側保護部材を兼ねた封止膜として用い
られる太陽電池用バックカバー材兼用封止膜であって、
軽量かつ薄肉で防湿性、耐久性に優れ、しかも絶縁性が
高く、内部配線等の短絡やリーク電流の問題がない太陽
電池用バックカバー材兼用封止膜と、この封止膜を裏面
側保護部材を兼ねた封止膜として用いた、高耐久性かつ
高性能の太陽電池を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の太陽電池用バッ
クカバー材兼用封止膜は、太陽電池用セルの裏面側保護
部材を兼ねた封止膜において、２枚の耐熱、耐候性フィ
ルムを防湿フィルムを介して積層一体化してなる本体部
と、該本体部の一方の面に設けられた接着層とを有する
太陽電池用バックカバー材兼用封止膜であって、該封止
膜の透湿度が１．０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下であることを
特徴とする。

【００１０】本発明の太陽電池用バックカバー材兼用封
止膜は、積層フィルムよりなるため軽量かつ薄肉であ
る。しかも、透湿度１．０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下と、極
めて耐透湿性に優れるため、高い防湿性を得ることがで
きる上に、絶縁性であるため短絡やリーク電流の問題も
ない。

【００１１】本発明において、耐熱、耐候性フィルムと
防湿フィルムとは水添ポリブタジエン変性ウレタン系接
着剤で接着されていることが好ましい。

【００１２】また、防湿フィルムは、基材フィルムの表
面に無機酸化物の蒸着膜を形成したフィルムであって、
この無機酸化物が一般式ＳｉＯ_ｘにおいて、ｘ＝１．７
〜１．９の酸化ケイ素であり、蒸着膜の膜厚は２００〜
４００Åであることが好ましい。

【００１３】本発明の太陽電池は、表面側保護部材と裏
面側保護部材との間に太陽電池用セルを封止してなる太
陽電池において、該裏面側保護部材兼用封止膜として上
記本発明の太陽電池用バックカバー材兼用封止膜を用い
たものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。

【００１５】図１は本発明の太陽電池用バックカバー材
兼用封止膜の実施の形態を示す断面図、図２はこの太陽
電池用バックカバー材兼用封止膜を用いた本発明の太陽
電池の実施の形態を示す断面図である。

【００１６】図１に示す太陽電池用バックカバー材兼用
封止膜１は、２枚の耐熱、耐候性フィルム２，２間に防
湿フィルム３を介在させてこれらを積層一体化してなる
本体部４と、この本体部４の一方の面に設けられた接着
層５とを有する。

【００１７】太陽電池の裏面からの水分の浸入を阻止す
るための防湿フィルム３としては、基材フィルムにＣＶ
Ｄ（化学蒸着）、ＰＶＤ（反応蒸着）法等による、酸化
ケイ素等を主成分とする無機酸化物の蒸着膜を形成した
ものが用いられる。

【００１８】防湿層としての無機酸化物の蒸着膜を構成
する無機酸化物としては、酸化アルミニウムや酸化ケイ
素が用いられるが、湿熱条件下での耐久性に優れること
から、特に酸化ケイ素が好適である。

【００１９】なお、酸化ケイ素蒸着膜の組成はＳｉＯに
近い状態が一般的であるが、ＳｉＯ _ｘでｘ＝１．７未満
であると耐久試験等で次第に透湿度が低下し、ｘ＝１．
９を超えるものは生産性、コストの面から不利である。
従って、防湿層としての酸化ケイ素蒸着膜のＳｉＯ_ｘ組
成はｘ＝１．７〜１．９であることが望ましい。

【００２０】この蒸着膜の膜厚が薄過ぎると十分な防湿
性を得ることができず、厚過ぎてもそれ以上の防湿性の
改善効果は得られず、むしろクラックが入り易く、防湿
性が低下する可能性があることから、この膜厚は１００
〜５００Å、特に２００〜４００Åとすることが好まし
い。

【００２１】一方、防湿フィルムの支持体となる基材フ
ィルムとしては、太陽電池の作製時の熱や圧力条件に耐
え得る耐熱性フィルムであれば良く、特に制限はない
が、一般的には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）、４−フッ化エチレン−パークロロアルコキシ共重
合体（ＰＦＡ）、４−フッ化エチレン−６−フッ化プロ
ピレン共重合体（ＦＥＰ）、２−エチレン−４−フッ化
エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリ３−フッ化塩化エ
チレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤ
Ｆ）及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）等のフッ素樹脂フ
ィルムや、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の
ポリエステル、ポリカーボネート、ポリメチルメタアク
リレート（ＰＭＭＡ）、ポリアミド等の各種樹脂フィル
ムを用いることができる。この基材フィルムは、これら
の樹脂の２種以上を含むものであっても良く、また、２
枚以上のフィルムの積層フィルムであっても良い。基材
フィルムには、必要に応じて顔料、紫外線吸収剤等の各
種添加剤を含浸、塗布又は練り込みにより付与しても良
い。

【００２２】このような基材フィルムの厚さは、耐久
性、取り扱い性、薄膜化等の観点から５〜２００μｍ程
度であることが好ましい。

【００２３】このような防湿フィルム３を介在させて積
層一体化させることにより本体部４を構成する耐熱、耐
候性フィルム２は、防湿フィルム３の保護と、太陽電池
作製時の作業性の向上等の目的で設けられ、太陽電池作
製時の熱や圧力条件に耐え、特に接着層５と反対側の耐
熱、耐候性フィルム２としては、太陽電池組立時に最外
層となるため、長期にわたる屋外曝露条件下でも劣化し
ないものであることが望まれるが、通常、前述の基材フ
ィルムの材料として例示したものを用いることができ
る。この耐熱、耐候性フィルム２，２もまた、前述の基
材フィルムと同様、前述の樹脂の２種以上を含むもので
あっても良く、また、２枚以上のフィルムの積層フィル
ムであっても良い。また、耐熱、耐候性フィルムには、
必要に応じて顔料、紫外線吸収剤、カップリング剤等の
各種添加剤を含浸、塗布又は練り込みにより付与しても
良い。

【００２４】耐熱、耐候性フィルム２の色については特
に限定されないが、発電効率の向上のためには、白色系
が好ましく、家屋等に設置した際の外観の向上のために
は黒色又は各色の濃色が用いられる。

【００２５】このような耐熱、耐候性フィルム２の厚さ
は、耐久性、取り扱い性、薄膜化等の観点から５〜２０
０μｍ程度であることが好ましい。

【００２６】なお、２枚の耐熱、耐候性フィルム２，２
は必ずしも同材質である必要はなく異材質のものであっ
ても良い。

【００２７】特に、太陽電池の外面側となる耐熱、耐候
性フィルムには、耐候性に優れたフッ素樹脂フィルムを
用いるのが好ましく、内面側となる耐熱、耐候性フィル
ムには、顔料等を練り込んで反射性能を付与したフィル
ムを用いるのが好ましい。

【００２８】なお、本体部４は、実用的には、耐熱、耐
候性フィルム２と防湿フィルム３との間に接着剤６，６
を介してドライラミネーション法又はヒートプレス法等
の方法で接着一体化することにより製造される。

【００２９】このようなフィルムの積層時に使用される
接着剤としては、一般に、ポリエステル系又はポリエー
テル系等のウレタン接着剤が用いられるが、ポリエーテ
ル系のものは初期接着力が低く、耐熱性に劣り、また、
ポリエステル系では耐熱性は良好なものの耐湿熱性は低
いという欠点があった。これは、これらの接着成分が、
骨格中に−Ｏ−又は−Ｃ＝Ｏ−Ｏ−鎖を含むためであ
る。

【００３０】この欠点を解決するために、本発明では、
耐熱、耐候性フィルム２，２と防湿フィルム３との接着
に、好ましくは主鎖をブタジエン骨格とし、更に二重結
合の開裂による劣化を防止するため水添した、水添ポリ
ブタジエン変性ウレタン系接着剤を用いる。このもの
は、主鎖が−ＣＨ_２−となり従来品に比べ接着耐久性が
大幅に改善される。

【００３１】このような本体部４の一方の面に形成され
る接着層５は、太陽電池の発電素子、その他の内部部品
の封止と、緩衝材として機能するものであり、ガラス等
の表面側透明保護部材、ＩＴＯ等の金属酸化物導電膜や
シリコン発電素子との熱接着性に優れ、これらを容易に
接着して複合化できるものであれば良く、特に制限はな
いが、通常はＥＶＡ系樹脂、ＰＶＢ系樹脂などが用いら
れる。また、シリコン系、アクリル系、ブチル系、エポ
キシ系等の接着剤樹脂を使用しても良い。特に、作業性
やコストの面から、ＥＶＡ系樹脂が多用される。このＥ
ＶＡ系接着樹脂に用いられるＥＶＡ樹脂組成物の詳細は
後述の通りである。

【００３２】この接着層５の厚さは、０．１〜１ｍｍ程
度であることが好ましい。

【００３３】このような太陽電池用バックカバー材兼用
封止膜を用いて本発明の太陽電池を製造するには、図３
に示す従来の太陽電池のバックカバー材と封止用ＥＶＡ
フィルムの代りに本発明の太陽電池用バックカバー材兼
用封止膜を用いて封止を行えば良い。

【００３４】本発明の太陽電池１０Ａは、図２に示す如
く、本発明の太陽電池用バックカバー材兼用封止膜１、
シリコン発電素子１４等の太陽電池用セル、封止用ＥＶ
Ａフィルム１３Ａ及び表面側透明保護部材１１としての
ガラス板や高機能性積層フィルムの積層体を、常法に従
って、真空ラミネーターで温度１２０〜１５０℃、脱気
時間２〜１５分、プレス圧力０．５〜１ａｔｍ、プレス
時間８〜４５分で加熱加圧圧着することにより容易に製
造することができる。

【００３５】なお、本発明の太陽電池用バックカバー材
兼用封止膜及び太陽電池に用いられる封止用のＥＶＡ樹
脂組成物には、好ましくは耐候性の向上のために架橋剤
を配合して架橋構造を持たせるが、この架橋剤として
は、一般に、１００℃以上でラジカルを発生する有機過
酸化物が用いられ、特に、配合時の安定性を考慮に入れ
れば、半減期１０時間の分解温度が７０℃以上であるも
のが好ましい。このような有機過酸化物としては、例え
ば２，５−ジメチルヘキサン；２，５−ジハイドロパー
オキサイド；２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチ
ルパーオキシ）ヘキサン；３−ジ−ｔ−ブチルパーオキ
サイド；ｔ−ジクミルパーオキサイド；２，５−ジメチ
ル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキシン；ジ
クミルパーオキサイド；α，α’−ビス（ｔ−ブチルパ
ーオキシイソプロピル）ベンゼン；ｎ−ブチル−４，４
−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン；２，２−ビス
（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン；１，１−ビス（ｔ−
ブチルパーオキシ）シクロヘキサン；１，１−ビス（ｔ
−ブチルパーオキシ）３，３，５−トリメチルシクロヘ
キサン；ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート；ベンゾイ
ルパーオキサイド等を用いることができる。これらの有
機過酸化物の配合量は、一般にＥＶＡ樹脂１００重量部
に対して５重量部以下、好ましくは１〜３重量部であ
る。

【００３６】また、接着力向上の目的で、ＥＶＡ樹脂に
シランカップリング剤を添加することができる。この目
的に供されるシランカップリング剤としては公知のも
の、例えばγ−クロロプロピルトリメトキシシラン；ビ
ニルトリクロロシラン；ビニルトリエトキシシラン；ビ
ニル−トリス−（β−メトキシエトキシ）シラン；γ−
メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン；β−
（３，４−エトキシシクロヘキシル）エチルトリメトキ
シシラン；γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン；ビニルトリアセトキシシラン；γ−メルカプトプロ
ピルトリメトキシシラン；γ−アミノプロピルトリメト
キシシラン；Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン等を挙げることができる。こ
れらのシランカップリング剤の配合量は、一般にＥＶＡ
樹脂１００重量部に対して５重量部以下、好ましくは
０．１〜２重量部である。

【００３７】更に、ＥＶＡ樹脂のゲル分率を向上させ、
耐久性を向上するためにＥＶＡ樹脂に架橋助剤を添加す
ることができる。この目的に供される架橋助剤として
は、公知のものとしてトリアリルイソシアヌレート；ト
リアリルイソシアネート等の３官能の架橋助剤の他、Ｎ
Ｋエステル等の単官能の架橋助剤等も挙げることができ
る。これらの架橋助剤の配合量は、一般にＥＶＡ樹脂１
００重量部に対して１０重量部以下、好ましくは１〜５
重量部である。

【００３８】更に、ＥＶＡ樹脂の安定性を向上する目的
でハイドロキノン；ハイドロキノンモノメチルエーテ
ル；ｐ−ベンゾキノン；メチルハイドロキノンなどを添
加することができ、これらの配合量は、一般にＥＶＡ樹
脂１００重量部に対して５重量部以下である。

【００３９】更に、必要に応じ、上記以外に着色剤、紫
外線吸収剤、老化防止剤、変色防止剤等を添加すること
ができる。着色剤の例としては、金属酸化物、金属粉等
の無機顔料、アゾ系、フタロシアニン系、アヂ系、酸性
又は塩基染料系レーキ等の有機顔料がある。紫外線吸収
剤には、２−ヒドロキシ−４−オクトキシベンゾフェノ
ン；２−ヒドロキシ−４−メトキシ−５−スルフォベン
ゾフェノン等のベンゾフェノン系；２−（２’−ヒドロ
キシ−５−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール等のベ
ンゾトリアゾール系；フェニルサルシレート；ｐ−ｔ−
ブチルフェニルサルシレート等のヒンダートアミン系が
ある。老化防止剤としては、アミン系；フェノール系；
ビスフェニル系；ヒンダートアミン系があり、例えばジ
−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール；ビス（２，２，６，６
−テトラメチル−４−ピペラジル）セバケート等があ
る。

【００４０】また、本発明のバックカバー材兼用封止膜
は図３で示される単結晶Ｓｉや多結晶Ｓｉなどを用いた
いわゆるバルク太陽電池素子だけでなく、図４に示すよ
うなＳｉ系薄膜、II−VI化合物（ＣｄＴｅ）、カルコパ
ライト薄膜（ＣＩＳ）、有機半導体、その他各種薄膜太
陽電池２０にも同様の構造で適用することができ、更
に、これらの薄膜太陽電池の表面側透明保護部材として
ガラスの代わりに透明樹脂フィルムを用いた図５に示す
ようなフレキシブル太陽電池にも使用可能である。な
お、図４において、２１はガラス、２２は透明電極、２
３は薄膜半導体、２４は金属電極、２５は封止材、２６
はバックカバー材を示す。また、図５において、３１は
透明樹脂フィルム、３２は封止材、３３は薄膜太陽電池
素子、３４はフィルム基材、３５は封止材、３６はバッ
クカバー材を示す。

【００４１】

【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。

【００４２】実施例１，２ 一方の耐熱、耐候性フィルムとして白色顔料練り込みポ
リエステルフィルム（帝人デュポンフィルム（株）製
「Ｕ２」厚さ３８μｍ）を用い、他方の耐熱、耐候性フ
ィルムとしてＥＴＦＥフィルム（旭硝子（株）製「アフ
レックス」厚さ２１μｍ）を用い、これらの耐熱、耐候
性フィルム間に、厚さ１２μｍのＰＥＴフィルムの表面
に防湿層として厚さ２００ÅのＳｉＯ_ｘ（ｘ＝１．８）
の蒸着膜を形成してなる防湿フィルムを、表１に示す接
着剤で接着して一体化し、更に、ポリエステルフィルム
側に厚さ５０μｍのＥＶＡ接着層を形成して本発明の太
陽電池用バックカバー材兼用封止膜を製造した。

【００４３】得られた太陽電池用バックカバー材兼用封
止膜について、一般的な条件（６５℃、９５％ＲＨ）よ
りも過酷な、８５℃、９０％ＲＨの条件下に１０００時
間放置する耐久試験を行い、耐久試験後の透湿度をＭＯ
ＣＯＮ法（４０℃、９０％ＲＨ）により測定すると共
に、耐久試験前後の接着力をＴ型剥離試験により測定
し、結果を表１に示した。

【００４４】比較例１ 白色ＰＶＦフィルム（デュポン社製「テドラー」厚さ３
８μｍ）／透明ＰＥＴフィルム（帝人デュポンフィルム
社製「Ｓ−ＰＥＴ」厚さ５０μｍ）／白色ＰＶＦフィル
ム（デュポン社製「テドラー」厚さ３８μｍ）の積層フ
ィルムを実施例１と同様にして作成し、実施例１と同様
に耐透湿性と接着性の耐久試験を行い、結果を表１に示
した。

【００４５】比較例２，３ 実施例１において、耐熱、耐候性フィルムと防湿フィル
ムとの接着に表１に示す接着剤を用いたこと以外は同様
にして太陽電池用バックカバー材兼用封止膜を作製し、
同様に耐透湿性と接着性の耐久試験を行い、結果を表１
に示した。

【００４６】

【表１】

【００４７】表１より本発明の太陽電池用バックカバー
材兼用封止膜は、耐透湿性、接着性及びその耐久性に優
れることがわかる。

【００４８】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の太陽電池用
バックカバー材兼用封止膜は、軽量かつ薄肉で防湿性、
耐久性に優れ、短絡やリーク電流の問題もないため、こ
の太陽電池用バックカバー材兼用封止膜を太陽電池の裏
面側保護部材を兼ねる封止膜として用いることにより、
高防湿性で発錆の問題もなく、耐久性に優れ、短絡やリ
ーク電流による性能低下の問題もない高性能の太陽電池
を提供することができる。

【００４９】本発明の太陽電池は、本発明の太陽電池用
バックカバー材兼用封止膜を裏面側保護部材兼用封止膜
として用いたものであり、高性能で耐久性にも優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の太陽電池用バックカバー材兼用封止膜
の実施の形態を示す断面図である。

【図２】本発明の太陽電池の実施の形態を示す断面図で
ある。

【図３】従来の太陽電池を示す断面図である。

【図４】本発明のバックカバー材兼用封止膜が適用され
る太陽電池の一例を示す断面図である。

【図５】本発明のバックカバー材兼用封止膜が適用され
る太陽電池の他の例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 太陽電池用バックカバー材兼用封止膜 ２ 耐熱、耐候性フィルム ３ 防湿フィルム ４ 本体部 ５ 接着層 ６ 接着剤 １０，１０Ａ 太陽電池 １１ 表面側透明保護部材 １２ バックカバー材 １３Ａ，１３Ｂ 封止用ＥＶＡフィルム １４ シリコン発電素子

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 太陽電池用セルの裏面側保護部材を兼ね
   た封止膜において、２枚の耐熱、耐候性フィルムを防湿
   フィルムを介して積層一体化してなる本体部と、該本体
   部の一方の面に設けられた接着層とを有する太陽電池用
   バックカバー材兼用封止膜であって、 該封止膜の透湿度が１．０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下である
   ことを特徴とする太陽電池用バックカバー材兼用封止
   膜。
2. 【請求項２】 請求項１において、該耐熱、耐候性フィ
   ルムと防湿フィルムとが水添ポリブタジエン変性ウレタ
   ン系接着剤で接着されていることを特徴とする太陽電池
   用バックカバー材兼用封止膜。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、該防湿フィル
   ムは、基材フィルムの表面に無機酸化物の蒸着膜を形成
   したフィルムであることを特徴とする太陽電池用バック
   カバー材兼用封止膜。
4. 【請求項４】 請求項３において、該無機酸化物が一般
   式ＳｉＯ_ｘにおいて、ｘ＝１．７〜１．９の酸化ケイ素
   であることを特徴とする太陽電池用バックカバー材兼用
   封止膜。
5. 【請求項５】 請求項３又は４において、該無機酸化物
   の蒸着膜の膜厚が２００〜４００Åであることを特徴と
   する太陽電池用バックカバー材兼用封止膜。
6. 【請求項６】 表面側保護部材と裏面側保護部材との間
   に太陽電池用セルを封止してなる太陽電池において、該
   裏面側保護部材兼用封止膜として請求項１ないし５のい
   ずれか１項に記載される太陽電池用バックカバー材兼用
   封止膜を用いたことを特徴とする太陽電池。