JP2002009371A - レーザキャビティ - Google Patents
レーザキャビティInfo
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- JP2002009371A JP2002009371A JP2000185192A JP2000185192A JP2002009371A JP 2002009371 A JP2002009371 A JP 2002009371A JP 2000185192 A JP2000185192 A JP 2000185192A JP 2000185192 A JP2000185192 A JP 2000185192A JP 2002009371 A JP2002009371 A JP 2002009371A
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- rod
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ光の出力の安定化を図り得るレーザキ
ャビティを提供する。 【解決手段】 ＹＡＧロッド１と、ＹＡＧロッド１に励
起光を照射する励起光源２と、ＹＡＧロッド１の端部に
外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有するロッド
ホルダ３と、各ロッドホルダ３の大外径部に外接し且つ
ロッドホルダ３のＹＡＧロッド１嵌着端寄り部分を周方
向に取り囲む筒形状のスペーサ４と、両端部が各スペー
サ４に内接し且つＹＡＧロッド１を略全長にわたって周
方向に取り囲む長筒形状のフローチューブ５とを備え、
スペーサ４にフローチューブ５端部外周面全周に密着す
るシール部材１６を設けて、フローチューブ５の内方の
空間１４を流通する冷媒Ｓ１と外方の空間１５を流通す
る冷媒Ｓ２との混合を回避し、冷媒Ｓ１の温度を一定に
保つ。
ャビティを提供する。 【解決手段】 ＹＡＧロッド１と、ＹＡＧロッド１に励
起光を照射する励起光源２と、ＹＡＧロッド１の端部に
外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有するロッド
ホルダ３と、各ロッドホルダ３の大外径部に外接し且つ
ロッドホルダ３のＹＡＧロッド１嵌着端寄り部分を周方
向に取り囲む筒形状のスペーサ４と、両端部が各スペー
サ４に内接し且つＹＡＧロッド１を略全長にわたって周
方向に取り囲む長筒形状のフローチューブ５とを備え、
スペーサ４にフローチューブ５端部外周面全周に密着す
るシール部材１６を設けて、フローチューブ５の内方の
空間１４を流通する冷媒Ｓ１と外方の空間１５を流通す
る冷媒Ｓ２との混合を回避し、冷媒Ｓ１の温度を一定に
保つ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザキャビティに
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２乃至図４は従来のレーザキャビティ
の一例であり、このレーザキャビティは、略水平に配置
したＹＡＧロッド１と、該ＹＡＧロッド１の両側に平行
に配置した励起光源２と、ＹＡＧロッド１の各端部にそ
れぞれ外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有する
連続異径円筒形状のロッドホルダ３と、各ロッドホルダ
３の大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダ３のＹＡＧ
ロッド１嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のス
ペーサ４と、両端部が各スペーサ４に内接し且つＹＡＧ
ロッド１を略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状の
フローチューブ５と、スペーサ４が嵌入され且つ該スペ
ーサ４を介してロッドホルダ３を支持する前後のロッド
ホルダブロック６と、該ロッドホルダブロック６の両側
に接し且つ励起光源２両端近傍部分を周方向に取り囲む
流路ブロック７と、各ロッドホルダブロック６と流路ブ
ロック７とに接し且つＹＡＧロッド１及び左右の励起光
源２の長手方向中間部分を周方向に取り囲むリフレクタ
８と、これらの各構成部材を内装するボックス構造のキ
ャビティ本体９と、各ロッドホルダ３に接続され且つキ
ャビティ本体９を貫通して外部へ突出する光路筒１０と
を備えている。
の一例であり、このレーザキャビティは、略水平に配置
したＹＡＧロッド１と、該ＹＡＧロッド１の両側に平行
に配置した励起光源２と、ＹＡＧロッド１の各端部にそ
れぞれ外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有する
連続異径円筒形状のロッドホルダ３と、各ロッドホルダ
３の大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダ３のＹＡＧ
ロッド１嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のス
ペーサ４と、両端部が各スペーサ４に内接し且つＹＡＧ
ロッド１を略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状の
フローチューブ５と、スペーサ４が嵌入され且つ該スペ
ーサ４を介してロッドホルダ３を支持する前後のロッド
ホルダブロック６と、該ロッドホルダブロック６の両側
に接し且つ励起光源２両端近傍部分を周方向に取り囲む
流路ブロック７と、各ロッドホルダブロック６と流路ブ
ロック７とに接し且つＹＡＧロッド１及び左右の励起光
源２の長手方向中間部分を周方向に取り囲むリフレクタ
８と、これらの各構成部材を内装するボックス構造のキ
ャビティ本体９と、各ロッドホルダ３に接続され且つキ
ャビティ本体９を貫通して外部へ突出する光路筒１０と
を備えている。
【０００３】フローチューブ５は、励起光源２が発する
励起光がＹＡＧロッド１の外周面に入射するように、ガ
ラスによって形成されている。
励起光がＹＡＧロッド１の外周面に入射するように、ガ
ラスによって形成されている。
【０００４】各ロッドホルダブロック６及びスペーサ４
には、スペーサ４の内周面とロッドホルダ３の外周面の
間の空隙からキャビティ本体９の底面へ向かって延びる
流路１３が穿設されている。
には、スペーサ４の内周面とロッドホルダ３の外周面の
間の空隙からキャビティ本体９の底面へ向かって延びる
流路１３が穿設されている。
【０００５】流路ブロック７は、励起光源２の外周面下
側半分に空隙を隔てて対峙する下側ブロック７ａ、並び
に励起光源２の外周面上側半分に空隙を隔てて対峙する
上側ブロック７ｂで構成されている。
側半分に空隙を隔てて対峙する下側ブロック７ａ、並び
に励起光源２の外周面上側半分に空隙を隔てて対峙する
上側ブロック７ｂで構成されている。
【０００６】リフレクタ８は、ＹＡＧロッド１と励起光
源２の外周面下側半分に空隙を隔てて対峙する下側ブロ
ック８ａ、並びにＹＡＧロッド１と励起光源２の外周面
上側半分に空隙を隔てて対峙する上側ブロック８ｂで構
成され、ＹＡＧロッド１軸線方向に見て２つの楕円が重
なり合った閉断面形状の反射面Ｒを形成している。
源２の外周面下側半分に空隙を隔てて対峙する下側ブロ
ック８ａ、並びにＹＡＧロッド１と励起光源２の外周面
上側半分に空隙を隔てて対峙する上側ブロック８ｂで構
成され、ＹＡＧロッド１軸線方向に見て２つの楕円が重
なり合った閉断面形状の反射面Ｒを形成している。
【０００７】キャビティ本体９の底部には、各ロッドホ
ルダブロック６の流路１３に連なる２つの開口１１と、
各励起光源２の端部近傍を貫通する４つの開口１２とが
穿設されている。
ルダブロック６の流路１３に連なる２つの開口１１と、
各励起光源２の端部近傍を貫通する４つの開口１２とが
穿設されている。
【０００８】図２乃至図４に示すレーザキャビティで
は、励起光源２からＹＡＧロッド１へ励起光を照射する
と、ＹＡＧロッド１の両端部から波長１０６４ｎｍの光
が放出される。
は、励起光源２からＹＡＧロッド１へ励起光を照射する
と、ＹＡＧロッド１の両端部から波長１０６４ｎｍの光
が放出される。
【０００９】この波長１０６４ｎｍの光は、キャビティ
本体９の外部に配置され且つＹＡＧロッド１の一端に正
対するリアミラー、及びキャビティ本体９の外部に配置
され且つＹＡＧロッド１の他端に正対するフロントミラ
ーで構成される共振器（図示せず）により、ＹＡＧロッ
ド１への入出射を繰り返した後、フロントミラーから基
本波レーザ光として出射される。
本体９の外部に配置され且つＹＡＧロッド１の一端に正
対するリアミラー、及びキャビティ本体９の外部に配置
され且つＹＡＧロッド１の他端に正対するフロントミラ
ーで構成される共振器（図示せず）により、ＹＡＧロッ
ド１への入出射を繰り返した後、フロントミラーから基
本波レーザ光として出射される。
【００１０】基本波レーザ光の出射にあたっては、キャ
ビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している
開口１１，１２へ冷媒Ｓ１，Ｓ２を連続的に送給する。
ビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している
開口１１，１２へ冷媒Ｓ１，Ｓ２を連続的に送給する。
【００１１】開口１１に送給される冷媒Ｓ１は、ロッド
ホルダブロック６の流路１３、及びスペーサ４内周面と
ロッドホルダ３外周面の間の空隙を経て、フローチュー
ブ５内周面とＹＡＧロッド１外周面の間の空間１４へ流
入し、ＹＡＧロッド１を冷却する。
ホルダブロック６の流路１３、及びスペーサ４内周面と
ロッドホルダ３外周面の間の空隙を経て、フローチュー
ブ５内周面とＹＡＧロッド１外周面の間の空間１４へ流
入し、ＹＡＧロッド１を冷却する。
【００１２】ＹＡＧロッド１を冷却した冷媒Ｓ１は、Ｙ
ＡＧロッド１他端寄りのスペーサ４内周面とロッドホル
ダ３外周面の間の空隙、及びロッドホルダブロック６の
流路１３を経た後、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出する。
ＡＧロッド１他端寄りのスペーサ４内周面とロッドホル
ダ３外周面の間の空隙、及びロッドホルダブロック６の
流路１３を経た後、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出する。
【００１３】また、開口１２に送給される冷媒Ｓ２は、
流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、
リフレクタ８の反射面Ｒとフローチューブ５外周面の間
の空間１５に流入し、励起光源２を冷却する。
流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、
リフレクタ８の反射面Ｒとフローチューブ５外周面の間
の空間１５に流入し、励起光源２を冷却する。
【００１４】励起光源２を冷却した冷媒Ｓ２は、ＹＡＧ
ロッド１他端寄りの流路ブロック７と励起光源２外周面
の間の空隙を経て、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りに位置している開口１２から外部に流出する。
ロッド１他端寄りの流路ブロック７と励起光源２外周面
の間の空隙を経て、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りに位置している開口１２から外部に流出する。
【００１５】上記の冷媒Ｓ１，Ｓ２は、同一のポンプ
（図示せず）からキャビティ本体９のＹＡＧロッド１一
端寄りの開口１１，１２に対して送給される。
（図示せず）からキャビティ本体９のＹＡＧロッド１一
端寄りの開口１１，１２に対して送給される。
【００１６】また、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りの開口１１，１２から外部へ流出する冷媒Ｓ
１，Ｓ２は、熱交換器により除熱されて、前記のポンプ
へ流入する。
他端寄りの開口１１，１２から外部へ流出する冷媒Ｓ
１，Ｓ２は、熱交換器により除熱されて、前記のポンプ
へ流入する。
【００１７】更に、冷媒Ｓ１，Ｓ２には、励起光源２の
端子への通電が確保されるように、純水を用いている。
端子への通電が確保されるように、純水を用いている。
【００１８】このようなレーザキャビティを組み込んだ
固体レーザ発生装置により得られる基本波レーザ光の出
力の安定化を図るためには、ＹＡＧロッド１を冷却する
冷媒Ｓ１の温度を、たとえば、２５℃程度に一体に保つ
必要がある。
固体レーザ発生装置により得られる基本波レーザ光の出
力の安定化を図るためには、ＹＡＧロッド１を冷却する
冷媒Ｓ１の温度を、たとえば、２５℃程度に一体に保つ
必要がある。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図２乃至図
４に示すレーザキャビティにおいては、空間１４を流通
してＹＡＧロッド１を冷却すべき冷媒Ｓ１、及び空間１
５を流通して励起光源２を冷却すべき冷媒Ｓ２が、フロ
ーチューブ５端部外周面とスペーサ４の内周面との間隙
を介して混ざり合い、空間１４での冷媒Ｓ１の温度が高
くなる傾向を呈し、基本波レーザ光の出力が低下するこ
とがある。
４に示すレーザキャビティにおいては、空間１４を流通
してＹＡＧロッド１を冷却すべき冷媒Ｓ１、及び空間１
５を流通して励起光源２を冷却すべき冷媒Ｓ２が、フロ
ーチューブ５端部外周面とスペーサ４の内周面との間隙
を介して混ざり合い、空間１４での冷媒Ｓ１の温度が高
くなる傾向を呈し、基本波レーザ光の出力が低下するこ
とがある。
【００２０】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、レーザ光の出力の安定化を図り得るレーザキャビテ
ィを提供することを目的としている。
で、レーザ光の出力の安定化を図り得るレーザキャビテ
ィを提供することを目的としている。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１に記載のレーザキャビティでは、
固体レーザ媒質ロッドと、該固体レーザ媒質ロッドに対
して励起光を照射する励起光源と、固体レーザ媒質ロッ
ドの各端部に外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を
有するロッドホルダと、各ロッドホルダの大外径部に外
接し且つ当該ロッドホルダの固体レーザ媒質ロッド嵌着
端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサと、両
端部が各スペーサに内接し且つ固体レーザ媒質ロッドを
略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状のフローチュ
ーブとを備え、フローチューブ内方、並びに外方にそれ
ぞれ冷媒を流通させるようにしたレーザキャビティにお
いて、各スペーサのそれぞれにフローチューブ端部外周
面全周に密着するシール部材を設けている。
め、本発明の請求項１に記載のレーザキャビティでは、
固体レーザ媒質ロッドと、該固体レーザ媒質ロッドに対
して励起光を照射する励起光源と、固体レーザ媒質ロッ
ドの各端部に外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を
有するロッドホルダと、各ロッドホルダの大外径部に外
接し且つ当該ロッドホルダの固体レーザ媒質ロッド嵌着
端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサと、両
端部が各スペーサに内接し且つ固体レーザ媒質ロッドを
略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状のフローチュ
ーブとを備え、フローチューブ内方、並びに外方にそれ
ぞれ冷媒を流通させるようにしたレーザキャビティにお
いて、各スペーサのそれぞれにフローチューブ端部外周
面全周に密着するシール部材を設けている。
【００２２】本発明の請求項２に記載のレーザキャビテ
ィでは、本発明の請求項１に記載のレーザキャビティの
構成に加えて、フローチューブ内方へ冷媒を送給する第
１の冷媒供給源と、フローチューブ外方へ冷媒を送給す
る第２の冷媒供給源とを備えている。
ィでは、本発明の請求項１に記載のレーザキャビティの
構成に加えて、フローチューブ内方へ冷媒を送給する第
１の冷媒供給源と、フローチューブ外方へ冷媒を送給す
る第２の冷媒供給源とを備えている。
【００２３】本発明の請求項１あるいは請求項２に記載
のレーザキャビティのいずれにおいても、フローチュー
ブ端部外周面と各スペーサ内周面との間に介在させたシ
ール部材によりフローチューブ内方の冷媒流路とフロー
チューブ外方の冷媒流路との分離を図る。
のレーザキャビティのいずれにおいても、フローチュー
ブ端部外周面と各スペーサ内周面との間に介在させたシ
ール部材によりフローチューブ内方の冷媒流路とフロー
チューブ外方の冷媒流路との分離を図る。
【００２４】本発明の請求項２に記載のレーザキャビテ
ィにおいては、フローチューブ内方及び外方に、それぞ
れ異なる冷媒供給源から冷媒を送給させて、フローチュ
ーブ内方を流通する冷媒、並びにその供給源の熱負荷の
軽減を図る。
ィにおいては、フローチューブ内方及び外方に、それぞ
れ異なる冷媒供給源から冷媒を送給させて、フローチュ
ーブ内方を流通する冷媒、並びにその供給源の熱負荷の
軽減を図る。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例とともに説明する。
示例とともに説明する。
【００２６】図１は本発明のレーザキャビティの実施の
形態の一例であり、図中、図２乃至図４と同一の符号を
付した部分は同一物を表わしている。
形態の一例であり、図中、図２乃至図４と同一の符号を
付した部分は同一物を表わしている。
【００２７】このレーザキャビティでは、スペーサ４の
フローチューブ５嵌着部分に、当該フローチューブ５外
周面に密着する環状のシール部材１６を設け、更に、ロ
ッドホルダ３の大外径部に、スペーサ４内周面に密着す
る環状のシール部材１７を設けている。
フローチューブ５嵌着部分に、当該フローチューブ５外
周面に密着する環状のシール部材１６を設け、更に、ロ
ッドホルダ３の大外径部に、スペーサ４内周面に密着す
る環状のシール部材１７を設けている。
【００２８】また、フローチューブ５内方の空間１４に
冷媒Ｓ１を流通させるための第１の冷媒供給源２１、及
びリフレクタ８の反射面Ｒ（図４参照）とフローチュー
ブ５外周面の間の空間１５に冷媒Ｓ２を流通させるため
の第２の冷媒供給源２２を、キャビティ本体９（図３及
び図４参照）の外部に設置している。
冷媒Ｓ１を流通させるための第１の冷媒供給源２１、及
びリフレクタ８の反射面Ｒ（図４参照）とフローチュー
ブ５外周面の間の空間１５に冷媒Ｓ２を流通させるため
の第２の冷媒供給源２２を、キャビティ本体９（図３及
び図４参照）の外部に設置している。
【００２９】第１の冷媒供給源２１は、キャビティ本体
９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１１
（図３参照）へ冷媒Ｓ１を連続的に送給するポンプ２１
ａと、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位
置している開口１１から外部へ流出する冷媒Ｓ１を除熱
したうえ、ポンプ２１ａへ送給する熱交換器２１ｂとで
構成されている。
９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１１
（図３参照）へ冷媒Ｓ１を連続的に送給するポンプ２１
ａと、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位
置している開口１１から外部へ流出する冷媒Ｓ１を除熱
したうえ、ポンプ２１ａへ送給する熱交換器２１ｂとで
構成されている。
【００３０】第２の冷媒供給源２２は、キャビティ本体
９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１２
（図３参照）へ冷媒Ｓ２を連続的に送給するポンプ２２
ａと、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位
置している開口１２から外部へ流出する冷媒Ｓ２を除熱
したうえ、ポンプ２２ａへ送給する熱交換器２２ｂとで
構成されている。
９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１２
（図３参照）へ冷媒Ｓ２を連続的に送給するポンプ２２
ａと、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位
置している開口１２から外部へ流出する冷媒Ｓ２を除熱
したうえ、ポンプ２２ａへ送給する熱交換器２２ｂとで
構成されている。
【００３１】基本波レーザ光の出射にあたっては、第１
の冷媒供給源２１及び第２の冷媒供給源２２の双方を作
動させる。
の冷媒供給源２１及び第２の冷媒供給源２２の双方を作
動させる。
【００３２】ポンプ２１ａから送出される冷媒Ｓ１は、
キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置して
いる開口１１、ロッドホルダブロック６の流路１３、並
びにスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空
隙を経て、フローチューブ５内方の空間１４へ流入し、
ＹＡＧロッド１を冷却する。
キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置して
いる開口１１、ロッドホルダブロック６の流路１３、並
びにスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空
隙を経て、フローチューブ５内方の空間１４へ流入し、
ＹＡＧロッド１を冷却する。
【００３３】ＹＡＧロッド１を冷却した冷媒Ｓ１は、Ｙ
ＡＧロッド１他端寄りのスペーサ４内周面とロッドホル
ダ３外周面の間の空隙、及びロッドホルダブロック６の
流路１３を経た後、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出し、熱
交換器２１ｂにより除熱されたうえ、ポンプ２１ａに送
給される。
ＡＧロッド１他端寄りのスペーサ４内周面とロッドホル
ダ３外周面の間の空隙、及びロッドホルダブロック６の
流路１３を経た後、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出し、熱
交換器２１ｂにより除熱されたうえ、ポンプ２１ａに送
給される。
【００３４】ポンプ２２ａから送出される冷媒Ｓ２は、
キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置して
いる開口１２、並びに流路ブロック７と励起光源２外周
面の間の空隙を経て、リフレクタ８の反射面Ｒとフロー
チューブ５外周面の間の空間１５に流入し、励起光源２
を冷却する。
キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置して
いる開口１２、並びに流路ブロック７と励起光源２外周
面の間の空隙を経て、リフレクタ８の反射面Ｒとフロー
チューブ５外周面の間の空間１５に流入し、励起光源２
を冷却する。
【００３５】励起光源２を冷却した冷媒Ｓ２は、ＹＡＧ
ロッド１他端寄りの流路ブロック７と励起光源２外周面
の間の空隙を経て、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りに位置している開口１２から外部に流出し、熱
交換器２２ｂにより除熱されたうえ、ポンプ２２ａに送
給される。
ロッド１他端寄りの流路ブロック７と励起光源２外周面
の間の空隙を経て、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１
他端寄りに位置している開口１２から外部に流出し、熱
交換器２２ｂにより除熱されたうえ、ポンプ２２ａに送
給される。
【００３６】このとき、フローチューブ５端部外周面と
各スペーサ４内周面の間に介在するシール部材１６、並
びにロッドホルダ３の大外径部分外周面とスペーサ４内
周面の間に介在するシール部材１７により、フローチュ
ーブ５内方の空間１４と外方の空間１５が完全に分離さ
れているので、冷媒Ｓ１，Ｓ２が混ざり合わず、冷媒Ｓ
１の温度を一定に保たれ、基本波レーザ光の出力の安定
化が図られる。
各スペーサ４内周面の間に介在するシール部材１６、並
びにロッドホルダ３の大外径部分外周面とスペーサ４内
周面の間に介在するシール部材１７により、フローチュ
ーブ５内方の空間１４と外方の空間１５が完全に分離さ
れているので、冷媒Ｓ１，Ｓ２が混ざり合わず、冷媒Ｓ
１の温度を一定に保たれ、基本波レーザ光の出力の安定
化が図られる。
【００３７】また、空間１４での冷媒Ｓ１の温度上昇が
抑制され、冷媒Ｓ１及び第１の冷媒供給源２１の熱負荷
の軽減が図られる。
抑制され、冷媒Ｓ１及び第１の冷媒供給源２１の熱負荷
の軽減が図られる。
【００３８】更に、冷媒Ｓ１が励起光源２の端子に触れ
ないので、当該冷媒Ｓ１に純水以外のものを適用するこ
とが可能になる。
ないので、当該冷媒Ｓ１に純水以外のものを適用するこ
とが可能になる。
【００３９】なお、本発明のレーザキャビティは上述し
た実施の形態のみに限定されるものではなく、ＹＡＧロ
ッド以外の他の固体レーザ媒質ロッドを用いた構成とす
ること、過大な熱負荷が想定されない場合において、フ
ローチューブの内外の空間に単一の冷媒供給源から純水
を冷媒として送給させる構成とすること、その他、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において変更を加え得ること
は勿論である。
た実施の形態のみに限定されるものではなく、ＹＡＧロ
ッド以外の他の固体レーザ媒質ロッドを用いた構成とす
ること、過大な熱負荷が想定されない場合において、フ
ローチューブの内外の空間に単一の冷媒供給源から純水
を冷媒として送給させる構成とすること、その他、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において変更を加え得ること
は勿論である。
【００４０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のレーザキャ
ビティによれば、下記のような種々の優れた効果を奏し
得る。
ビティによれば、下記のような種々の優れた効果を奏し
得る。
【００４１】（１）本発明の請求項１あるいは請求項２
に記載のレーザキャビティのいずれにおいても、フロー
チューブ端部外周面と各スペーサ内周面との間にシール
部材を介在させ、フローチューブ内方を流通する冷媒と
フローチューブ外方を流通する冷媒が混ざり合わないよ
うにしているので、固体レーザ媒質ロッドを冷却するた
めの冷媒の温度を一定に保つことができ、よって、レー
ザ光の出力の安定化を図ることが可能になる。
に記載のレーザキャビティのいずれにおいても、フロー
チューブ端部外周面と各スペーサ内周面との間にシール
部材を介在させ、フローチューブ内方を流通する冷媒と
フローチューブ外方を流通する冷媒が混ざり合わないよ
うにしているので、固体レーザ媒質ロッドを冷却するた
めの冷媒の温度を一定に保つことができ、よって、レー
ザ光の出力の安定化を図ることが可能になる。
【００４２】（２）フローチューブの内外の冷媒流路が
完全に分離しているので、両流路に種類の異なる冷媒を
流通させることができる。
完全に分離しているので、両流路に種類の異なる冷媒を
流通させることができる。
【００４３】（３）本発明の請求項２に記載のレーザキ
ャビティにおいては、フローチューブ内方及び外方に、
それぞれ異なる冷媒供給源から冷媒を送給させているの
で、フローチューブ内方を流通する冷媒、並びにその供
給源の熱負荷の軽減を図ることができる。
ャビティにおいては、フローチューブ内方及び外方に、
それぞれ異なる冷媒供給源から冷媒を送給させているの
で、フローチューブ内方を流通する冷媒、並びにその供
給源の熱負荷の軽減を図ることができる。
【図１】本発明のレーザキャビティの実施の形態の一例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図２】従来のレーザキャビティの一例を示す平面図で
ある。
ある。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ矢視図である。
１ ＹＡＧロッド（固体レーザ媒質ロッド） ２ 励起光源 ３ ロッドホルダ ４ スペーサ ５ フローチューブ １６ シール部材 ２１ 第１の冷媒供給源 ２２ 第２の冷媒供給源 Ｓ１ 冷媒 Ｓ２ 冷媒
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山内 淑久 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 松坂 文夫 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 上原 実 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 Ｆターム(参考） 5F072 AB01 AK01 JJ05 TT01 TT05 TT15 TT17
Claims (2)
- 【請求項１】 固体レーザ媒質ロッドと、該固体レーザ
媒質ロッドに対して励起光を照射する励起光源と、固体
レーザ媒質ロッドの各端部に外嵌し且つ長手方向中間部
分に大外径部を有するロッドホルダと、各ロッドホルダ
の大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダの固体レーザ
媒質ロッド嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状の
スペーサと、両端部が各スペーサに内接し且つ固体レー
ザ媒質ロッドを略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形
状のフローチューブとを備え、フローチューブ内方、並
びに外方にそれぞれ冷媒を流通させるようにしたレーザ
キャビティにおいて、各スペーサのそれぞれにフローチ
ューブ端部外周面全周に密着するシール部材を設けたこ
とを特徴とするレーザキャビティ。 - 【請求項２】 フローチューブ内方へ冷媒を送給する第
１の冷媒供給源と、フローチューブ外方へ冷媒を送給す
る第２の冷媒供給源とを備えた請求項１に記載のレーザ
キャビティ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000185192A JP2002009371A (ja) | 2000-06-20 | 2000-06-20 | レーザキャビティ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000185192A JP2002009371A (ja) | 2000-06-20 | 2000-06-20 | レーザキャビティ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002009371A true JP2002009371A (ja) | 2002-01-11 |
Family
ID=18685545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000185192A Pending JP2002009371A (ja) | 2000-06-20 | 2000-06-20 | レーザキャビティ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002009371A (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5586177A (en) * | 1978-12-25 | 1980-06-28 | Toshiba Corp | Laser oscillation device |
| JPH01304790A (ja) * | 1988-06-02 | 1989-12-08 | Ofic Co | Ｙａｇレーザー発振装置 |
| JPH03178176A (ja) * | 1989-12-06 | 1991-08-02 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | レーザ装置 |
| JPH06224499A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザー発振装置 |
| JPH06237030A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザー発振装置 |
| JPH06268294A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザー発振装置 |
-
2000
- 2000-06-20 JP JP2000185192A patent/JP2002009371A/ja active Pending
Patent Citations (6)
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