JP2002005030A

JP2002005030A - ポンプ装置

Info

Publication number: JP2002005030A
Application number: JP2000181483A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Taniguchi; 繁谷口
Original assignee: Asahi Sunac Corp
Current assignee: Asahi Sunac Corp
Priority date: 2000-06-16
Filing date: 2000-06-16
Publication date: 2002-01-09
Anticipated expiration: 2020-06-16
Also published as: JP4481440B2

Abstract

(57)【要約】【課題】被搬送流体を脈動することなく圧送できるよ
うにする。【解決手段】第１および第２のポンプ２２および２３
は、ピストン２５の上方向への動きにより被搬送流体を
吸入口２６から吸入し、下方向への動きにより被搬送流
体を吐出口２７から吐出するもので、各吐出口２７から
吐出された被搬送流体はシャトルバルブ３１から送出さ
れてノズル３９に供給される。制御装置４７は、第１の
ポンプ２２のピストン２５が押出し終了間近位置となっ
たときに第２のポンプ２３のピストン２５の押出し動作
を開始させ、第２のポンプ２３のピストン２５の押出し
終了間近位置となったときに第１のポンプ２２のピスト
ン２５の押出し動作を開始させるように制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリンダおよびピ
ストンを有してなるポンプを２つ備えたポンプ装置に関
する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】例えばシリコンウェハ
や液晶パネルを洗浄する際に、流体圧送装置により被搬
送流体たる液体二炭化酸素をノズルに高圧力で供給し
て、このノズルから被洗浄物（シリコンウェハや液晶パ
ネル）に向けて噴射させ、その液体がノズルを出たとき
に断熱膨張してドライアイスの微粒子となって被洗浄物
に当たり、これを洗浄するようにしたものがある。

【０００３】ところで、従来の流体圧送装置としては、
図１２に示すポンプ１を用いる構成のものが知られてい
る。このポンプ１は、シリンダ２の内部にピストン３を
設けると共に、シリンダ２の先端部に吸入口４および吐
出口５を設け、吸入口４に逆止弁４ａを設けた構成とさ
れている。上記ピストン３は、駆動部６により押出し位
置Ｐ１と押出し終了位置Ｐ２との間で往復移動されるよ
うになっている。この駆動部６は、駆動部シリンダ７
と、駆動部ピストン８とから構成されている。前記ピス
トン２はその上端部が駆動部シリンダ７内に挿通され
て、前記駆動部ピストン８に連結されている。

【０００４】上記駆動部シリンダ７の下部のエア口７ａ
から圧縮空気が供給されると（上部のエア口７ｂは開
放）駆動部ピストン８が上昇してピストン３を押出し終
了位置Ｐ２から押出し位置Ｐ１へ移動させる。これによ
り、被搬送流体たる液体二酸化炭素を吸入口４からシリ
ンダ２内へ吸入する。そして、この押出し位置Ｐ１に
て、次に上部のエア口７ｂから圧縮空気が供給されると
（下部のエア口７ａは開放）と、駆動部ピストン８が下
降してピストン３を押出し位置Ｐ１から押出し終了位置
Ｐ２へ移動させる。これにより、被搬送流体たる液体二
酸化炭素が吐出口５から吐出され、図示しないノズルへ
の配管へと圧送されることになる。このように、液体二
酸化炭素を吸入し吐出することを繰り返して、順次、液
体二酸化炭素をノズルへと圧送するようになっている。
ところが、このものでは、ポンプ１よる圧送が連続的で
なく、ノズルからの吐出も断続的となってしまう問題が
あった。

【０００５】これを解決するものとして、図１３に示す
複動式のポンプ１１を用いたものもある。このポンプ１
１は、シリンダ１２内に、その内部を上下のポンプ室１
２ａ，１２ｂに区画するピストン１３を配置し、このピ
ストン１３に、上下のポンプ室１２ａ、１２ｂを連通さ
せる連通口１４を形成し、この連通口１４に逆止弁１４
ａを配置した構成となっている。上記ピストン１３はピ
ストンロッド１３ａに連結されており、このピストンロ
ッド１３ａは図示しない駆動部によって上下動されるも
のであり、これにてピストン１３が上下上位置Ｑ１と下
位置Ｑ２との間で往復移動されるようになっている。ま
た、シリンダ１２の下部のポンプ室１２ｂには逆止弁１
５ａを備えた吸入口１５が形成され、上部のポンプ室１
２ａには吐出口１６が形成されている。

【０００６】この図１３の状態では、ピストン１３が上
位置Ｑ１にあって、下ポンプ室１２ｂに液体二酸化炭素
が吸入された状態となっている。この状態からピストン
１３が下降されると、下ポンプ室１２ｂ内の液体二酸化
炭素が連通口１４を通して上部ポンプ室１２ａへ移動し
て吐出口１６から吐出し、図示しないノズルへと圧送す
る。また、ピストン１３が下位置Ｑ２から上昇される
と、上部のポンプ室１２ａ内の液体二酸化炭素が吐出口
１６から吐出されると共に、吸入口１５から液体二炭化
酸素が下ポンプ室１２ｂ内に吸入される。

【０００７】このように、ピストン１３が上昇および下
降のいずれにおいても被搬送流体たる二酸化炭素が圧送
される。しかし、この場合、ピストン１３が上死点（上
側の折り返し点）および下死点（下側の折り返し点）付
近となったときに、二酸化炭素の圧送が停止し、つま
り、圧送が脈動するといった問題がある。

【０００８】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、被搬送流体を連続的にしかも脈動
することなく圧送できるポンプ装置を提供するにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、シリ
ンダ内に往復移動されるピストンを有すると共に、この
ピストンを駆動する駆動部を有し、前記ピストンの一方
向への動きにより被搬送流体をシリンダ内に吸入口から
吸入し、他方向への動きにより被搬送流体を吐出口から
吐出する第１のポンプと、この第１のポンプと同様に構
成された第２のポンプと、これら第１のポンプおよび第
２のポンプの各駆動部を制御して前記各ピストンの動作
を制御する制御手段とを備え、この制御手段は、前記両
ポンプのうち一方のポンプのピストンの押出し動作が終
了する前に他方のポンプのピストンを押出し動作を開始
させ、且つ他方のポンプのピストンの押出し動作が終了
する前に一方のポンプのピストンを押出し動作を開始さ
せるようになっているところに特徴を有する。

【００１０】この請求項１の発明においては、第１のポ
ンプと第２のポンプとのうち、一方のポンプが押出し動
作終了間近となったときに、他方のポンプのピストンを
押出し動作を開始させるから、常時被搬送流体が圧送さ
れるようになり、被搬送流体を連続的にしかも脈動する
ことなく圧送できるようになる。

【００１１】請求項２の発明は、シリンダ内に往復移動
されるピストンを有すると共に、このピストンを駆動す
る駆動部を有し、前記ピストンの一方向への動きにより
被搬送流体をシリンダ内に吸入口から吸入し、他方向へ
の動きにより被搬送流体を吐出口から吐出する第１のポ
ンプと、この第１のポンプと同様に構成された第２のポ
ンプと、前記両ポンプの各吐出口に接続され、吐出圧の
高い方の吐出口から吐出される被搬送流体を送出するシ
ャトルバルブと、前記第１のポンプのピストンの押出し
開始位置、押出し終了位置、および押出し終了間近位置
を検出する第１の位置検出手段と、前記第２のポンプの
ピストンの押出し開始位置、押出し終了位置、および押
出し終了間近位置を検出する第２の位置検出手段と、前
記第１の位置検出手段から押出し終了間近位置検出信号
が入力されると第２のポンプに押出し動作を開始させ、
第１の位置検出手段から押出し終了位置検出信号が入力
されると第１のポンプのピストンを押出し開始位置に移
動させ、第２の位置検出手段からの押出し終了間近位置
検出信号が入力されると第１のポンプに押出し動作を開
始させ、第２の位置検出手段から押出し終了位置検出信
号が入力されると第２のポンプのピストンを押出し開始
位置に移動させるように制御する制御手段とを備えて構
成されている。

【００１２】この請求項２の発明においては、前記第１
のポンプのピストンが押出し終了間近位置となったこと
を第１の位置検出手段により検出し、これに基づいて第
２のポンプのピストンの押出し動作を開始させるから、
第１のポンプから第２のポンプへの押出し動作切替えを
確実に行なうことができ、第１のポンプから第２のポン
プへの押出し動作切替え時に一時的な圧送停止が発生せ
ず、また、第２のポンプのピストンの押出し終了間近位
置となったことを第２の位置検出手段により検出し、こ
れに基づいて第１のポンプのピストンの押出し動作を開
始させるから、第２のポンプから第１のポンプへの押出
し動作切替えを確実に行なうことができ、第２のポンプ
から第１のポンプへの押出し動作切替え時においても一
時的な圧送停止が発生せず、これによって、送出部から
は常に連続して且つ脈動なしで被搬送流体が送出される
ようになる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例につき図
１ないし図１１を参照しながら説明する。まず、図１に
はポンプ装置２１の概略構成を示している。このポンプ
装置２１において、まず第１のポンプ２２および第２の
ポンプ２３について説明する。これら両ポンプ２２およ
び２３は同一構成であるので、第１のポンプ２２を代表
して説明する。図２に示すように、この第１のポンプ２
２は、シリンダ２４の内部にピストン２５を往復移動可
能に設けると共に、シリンダ２４の先端部に、吸入口２
６および吐出口２７を有しており、この吸入口２６には
逆止弁２６ａを設けている。上記ピストン２５は、駆動
部２８により押出し開始位置Ｒ１と押出し終了位置Ｒ２
との間で往復移動されるようになっている。この駆動部
２８は、駆動部シリンダ２９と、駆動部ピストン３０と
から構成されている。前記ピストン２５はその上端部が
駆動部シリンダ２９内に挿通されて、前記駆動部ピスト
ン３０に連結されている。

【００１４】上記駆動部シリンダ２９の上下部には、エ
ア口２９ａ、２９ｂが設けられている。駆動部２９の駆
動部ピストン３０の受圧面はピストン２５の受圧面より
大きい構成で、駆動部２９の小さな駆動力で吐出口２７
から大きな吐出圧で被搬送流体を吐出し得る構成となっ
ている。

【００１５】前記エア口２９ａ、２９ｂには圧縮空気が
択一的に供給されるようになっており、下部のエア口２
９ｂに圧縮空気が供給されると（上部のエア口２９ａは
開放）駆動部ピストン３０が上昇してピストン２５が押
出し終了位置Ｒ２から押出し開始位置Ｒ１へ移動され、
これにて、被搬送流体が吸入口２６から吸入される。ま
た、上部のエア口２９ａに圧縮空気が供給されると（下
部のエア口２９ｂは開放）駆動部ピストン３０が下降し
てピストン２５が押出し開始位置Ｒ１から押出し終了位
置Ｒ２へ移動され、これにて、被搬送流体が吐出口２７
から吐出される。

【００１６】第２のポンプ２３において第１のポンプ２
２と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。第
１のポンプ２２および第２のポンプ２３の各吐出口２７
は、送出部たるシャトルバルブ３１の各接続口３１ａお
よび３１ｂに接続されている。このシャトルバルブ３１
は、接続口３１ａおよび３１ｂ間に、往復バルブ３２が
納められている。この往復バルブ３２により、接続口３
１ａおよび３１ｂのうち吐出圧が低い側の接続口を閉鎖
しつつ、各吐出口２７、２７から吐出される被搬送流体
を一つの送出口３１ｃから送出するようになっている。

【００１７】また、前記ピストン３０には、被検体とし
てのマグネット３４が埋設されている。そして、第１の
ポンプ２２には、上記マグネット３４とでそれぞれ第１
の位置検出手段を構成するそれぞれ磁気センサからなる
位置センサ３３ａ、３３ｂ、３３ｃが設けられている。
この位置センサ３３ａ、３３ｂ、３３ｃのうち、位置セ
ンサ３３ａはピストン２５における押出し開始位置Ｒ１
を検出すべく駆動部シリンダ２９に配設され、別の位置
センサ３３ｂはピストン２５の押出し終了位置Ｒ２を検
出すべく配設され、最後の位置センサ３３ｃはピストン
２５の押出し終了間近位置Ｒ３を検出すべく配設されて
いる。

【００１８】そして、第２のポンプ２３には、それぞれ
第２の位置検出手段に相当する３個の位置センサ３５
ａ、３５ｂ、３５ｃおよびマグネット３６が設けられて
いる。この位置センサ３５ａ、３５ｂ、３５ｃのうち、
位置センサ３５ａは第２のポンプ２３のピストン２５の
押出し開始位置Ｓ１を検出すべく配設され、別の位置セ
ンサ３５ｂは前記ピストン２５の押出し終了位置Ｓ２を
検出すべく配設され、最後の位置センサ３５ｃは前記ピ
ストン２５の押出し終了間近位置Ｓ３を検出すべく配設
されている。

【００１９】さて、図１において、上記第１のポンプ２
２および第２のポンプ２３の各吸入口２７は手動バルブ
３７を介して被搬送流体たる例えば液体二酸化炭素のボ
ンベ（図示せず）に接続されており、そして、各吐出部
２７に接続されたシャトルバルブ３１の送出口３１ｃ
は、自動バルブ３８を経てノズル３９に接続されてい
る。

【００２０】一方、第１のポンプ２２の駆動部２８のエ
ア口２９ａ、２９ｂは、電磁弁４０および電空レギュレ
ータ４１を介して手動バルブ４２の一端側に接続され、
また、第２のポンプ２３の駆動部２８のエア口２９ａ、
２９ｂは、電磁弁４３および電空レギュレータ４４を介
して同じく前記手動バルブ４２の一端側に接続されてい
る。そして、この手動バルブ４２の他端側はエアポンプ
４５に接続されている。また、自動バルブ３８はノズル
３９への被搬送流体の供給を実行・停止するためのもの
であり、これはこのポンプ装置２１とは別の制御部（ノ
ズル３９部分へ搬送される被洗浄物を搬送制御する搬送
制御部）からの指令に基づいてオンオフされるようにな
っている。また、前記シャトルバルブ３１には圧力セン
サ４６が設けられている。

【００２１】制御装置４７は、電磁弁４０、４３、電空
レギュレータ４１、４４を制御すると共に、圧力センサ
４６の圧力検出結果が入力されるようになっている。詳
述すると、制御装置４７は、ピストン３０を上方へ（ピ
ストン２５を押出し開始位置Ｒ１あるいはＳ１方向へ）
移動させるときには、電磁弁４０、４３を図３のように
切換え、ピストン３０を下方へ（ピストン２５を押出し
終了位置Ｒ２あるいはＳ２方向へ）移動させるときに
は、図４に示すように切替える。また、電空レギュレー
タ４１、４４はシリンダ３９への空気圧を調整するため
のものであり、制御装置４７は、前記圧力センサ４６の
入力を監視しながらこの電空レギュレータ４１、４４を
制御して空気圧を、動作圧力Ｅ［Ｐａ］と、待機圧力Ｓ
［Ｐａ］と、ピストン復帰用圧力Ｕ［Ｐａ］とに切替え
るようになっている。なお、各圧力の大小関係は、Ｅ＞
Ｓ＞Ｕとなっている。ただし、動作圧力Ｅ［Ｐａ］およ
び待機圧力Ｓ［Ｐａ］は、各ポンプ２２、２３の駆動部
ピストン３０を下方へ押出すように作用させる空気圧
〈上部のエアロ２９ａに供給される〉であり、これに対
して、ピストン復帰用圧力Ｕ［Ｐａ］は上記駆動部ピス
トン３０を上方へ戻すように作用させる空気圧〈下部の
エアロ２９ｂに供給される〉である。このような電磁弁
４０、４３の切替え制御と電空レギュレータ４１、４４
の圧力制御とにより、被搬送流体たる液体二酸化炭素を
ノズル３９へ供給制御するようにしている。なお、図６
には、各ポンプ２２、２３のシリンダ２４内の圧力の状
態を示している。

【００２２】しかして、その制御装置４７による具体的
な供給制御を図５を参照して説明すると共に、第１のポ
ンプ装置２２および第２のポンプ装置２３の動作状態お
よび圧力状態を図７ないし図１１および図６を参照しな
がら説明する。

【００２３】図５のフローチャートは、図示しない洗浄
制御部からのスタート信号Ｓｓ（図１参照）が制御装置
４７に与えられることによって実行開始されるようにな
っている。まず、ステップＶ１においては、電磁弁４０
を、第１のポンプ２２の駆動部２８の上部のエア口２９
ａへ圧縮空気を供給するモード（以下、「ポンプ２２上
供給モード」と称する）に切替え制御するとともに、電
磁弁４３を、第２のポンプ２３の駆動部２８の上部のエ
ア口２９ａへ圧縮空気を供給するモード（以下、「ポン
プ２３上供給モード」と称する）に切替え制御する。そ
して、ステップＶ２では、上記各エア口２９ａへの供給
空気圧を待機圧力Ｓにするように電空レギュレータ４
１、４４を制御する。これにより、ポンプ２２、２３は
図７に示す状態となる（この状態となるタイミングを図
６にＴａで示す）。

【００２４】なお、以下、電空レギュレータ４１を待機
圧力Ｓとする制御モードを「ポンプ２２圧力Ｓモード」
と称し、電空レギュレータ４４を待機圧力Ｓとする制御
モードを「ポンプ２３圧力Ｓモード」と称する。また、
同様に、電空レギュレータ４１を動作圧力Ｅとする制御
モードを「ポンプ２２圧力Ｅモード」と称し、電空レギ
ュレータ４４を動作圧力Ｅとする制御モードを「ポンプ
２３圧力Ｅモード」と称し、さらに、電空レギュレータ
４１をピストン復帰用圧力Ｕとする制御モードを「ポン
プ２２圧力Ｕモード」と称し、電空レギュレータ４４を
ピストン復帰用圧力Ｕとする制御モードを「ポンプ２３
圧力Ｕモード」と称する。

【００２５】上記ステップＶ２の後、自動バルブ３８が
オンされたことを示す信号Ｖon（図１参照）が入力され
たことを待つ（ステップＶ３）。ここで、被搬送物がノ
ズル３９部分に順次搬送される状態となると、自動バル
ブ３８が図示しない搬送側制御部によりオン状態とさ
れ、これと同時に上記バルブオン信号Ｖｏｎが制御装置
４７に入力されることになる。すると上述のステップＶ
３において「ＹＥＳ」と判断され、ステップＶ４に移行
する。このステップＶ４では、圧力モードをポンプ２２
圧力Ｅモードに変更する。これにより、第１のポンプ２
２の駆動ポンプ３０が押出し方向へ移動されて、ピスト
ン２５が押出し方向へ移動される。これにて、シリンダ
２４内の液体二酸化炭素が、吐出口２７を経てシャトル
バルブ３１の送出口３１ｃから送出され、自動バルブ３
８を経てノズル３９から被洗浄物へ吹き当てられる。な
お、このとき液体二酸化炭素はノズル３９から吐出され
たときに断熱膨張して微細なドライアイスとなって被洗
浄物へ吹き当てらて、この被洗浄物を洗浄する。

【００２６】この後、ステップＶ５に移行して、センサ
３３ｃから押出し終了間近位置Ｒ３を検出したことを待
つ。この検出前の状態（ピストン２５が押出し終了間近
位置Ｒ３に達する前の状態）での、両ポンプ２２、２３
の状態を図８に示し、この状態のタイミングを図６に符
号Ｔｂをもって示している。

【００２７】ステップＶ５において、上記押出し終了間
近位置Ｒ３が検出されると、ステップＶ６に移行して、
ポンプ２３圧力Ｅモードへ切替える。この後ステップＶ
７に移行して、ポンプ２２側のセンサ３３ｃにより押出
し終了位置Ｒ２が検出されるのを待ち、検出されると、
ステップＶ８に移行して、電磁弁４０を、第１のポンプ
２２の駆動部２８の下部のエア口２９ｂへ圧縮空気を供
給するモード（以下、「ポンプ２２下供給モード」と称
する）に切替え制御すると共に、空気圧をポンプ２２圧
力Ｕモードに変更する。

【００２８】なお、上記押出し終了位置Ｒ２の検出時点
では、図６に示すように、ポンプ２３は既に動作圧力Ｅ
にて押出し動作を開始している。またポンプ２２にピス
トン２５はステップＶ８での制御により押出し開始位置
Ｒ１方向へ比較的早い速度で昇する。また、図６の時点
Ｔｃ（図９の状態）では、ポンプ２２のシリンダ２４内
の圧力は「０」となる。

【００２９】次のステップＶ９に移行して、ポンプ２２
側の位置センサ３３ａが押出し開始位置Ｒ１を検出する
のを待って、ステップＶ１０に移行して、電磁弁４０を
ポンプ２２上供給モードに切替えると共に、ポンプ２２
圧力Ｓモードに切替える。この時点の状態を図１０に示
しており、図６では時点Ｔｄで示している。

【００３０】そして、次のステップＶ１１に移行してポ
ンプ２３側の位置センサ３５ｃが押出し終了間近位置Ｓ
３を検出するのを待ち、検出されると、ステップＶ１２
に移行して、電空レギュレータ４１をポンプ２２圧力Ｅ
モードに切替える。

【００３１】この後ステップＶ１３に移行して、ポンプ
２３側のセンサ３５ｃにより押出し終了位置Ｓ２が検出
されるのを待ち、検出されると、ステップＶ１４に移行
して、電磁弁４３を、第２のポンプ２３の駆動部２８の
下部のエア口２９ｂへ圧縮空気を供給するモード（以
下、「ポンプ２３下供給モード」と称する）に切替え制
御すると共に、電空レギュレータ４４をポンプ２３圧力
Ｕモードに変更する。

【００３２】なお、上記押出し終了位置Ｓ２の検出時点
では、図６に示すように、ポンプ２２は既に動作圧力Ｅ
にて押出し動作を開始している。またポンプ２３にピス
トン２５はステップＶ１４での制御により押出し開始位
置Ｓ１方向へ比較的早い速度で上昇する。この時点の状
態を図１１に示すと共に、図６では時点Ｔｅで示してい
る。

【００３３】次のステップＶ１５に移行して、ポンプ２
３側の位置センサ３５ａが押出し開始位置Ｓ１を検出す
るのを待って、ステップＶ１６に移行して、電磁弁４３
をポンプ２３上供給モードに切替えると共に、電空レギ
ュレータ４４をポンプ２３圧力Ｓモードに切替える。

【００３４】このように本実施例によれば、第１のポン
プ２２と第２のポンプ２３とのうち、一方のポンプが押
出し動作終了間近となったときに、他方のポンプのピス
トン２５の押出し動作を開始させるから、常時被搬送流
体が圧送されるようになり、もって、被搬送流体たる液
体二酸化炭素を連続的にしかも脈動することなく圧送で
きる。

【００３５】特に本実施例によれば、第１のポンプ２２
のピストン２５が押出し終了間近位置Ｒ３となったこと
を位置センサ３３ｃにより検出し、これに基づいて第２
のポンプ２３のピストン２５の押出し動作を開始させる
から、第１のポンプ２２から第２のポンプ２３への押出
し動作切替えを確実に行なうことができ、第１のポンプ
２２から第２のポンプ２３への押出し動作切替え時に一
時的な圧送停止が発生せず、また、第２のポンプ２３の
ピストン２５の押出し終了間近位置Ｓ３となったことを
位置センサ３５ｃにより検出し、これに基づいて第１の
ポンプ２２のピストン２５の押出し動作を開始させるか
ら、第２のポンプ２３から第１のポンプ２２への押出し
動作切替えを確実に行なうことができ、第２のポンプ２
３から第１のポンプ２２への押出し動作切替え時におい
ても一時的な圧送停止が発生せず、これによって、液体
二酸化炭素の供給での脈動を確実に防止できる。なお本
発明は、上述した実施例に限られず、例えば被搬送流体
は液体二酸化炭素に限られず、流体一般に適用できるも
のである。

【００３６】

【発明の効果】本発明は以上の説明から明らかなよう
に、第１のポンプと第２のポンプとのうち、一方のポン
プが押出し動作終了間近となったときに、他方のポンプ
のピストンを押出し動作を開始させるようにしたから、
被搬送流体を連続的にしかも脈動することなく圧送でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すポンプ装置の配管系統
図

【図２】ポンプおよびシャトルバルブの縦断正面図

【図３】電磁弁の一方の切替え状態を示す図

【図４】電磁弁の他方の切替え状態を示す図

【図５】制御装置の制御内容を示すフローチャート

【図６】各ポンプへの供給空気圧の変化の様子を示すタ
イムチャート

【図７】各ポンプおよびシャトルバルブの動作状態を示
す概略構成図

【図８】異なる動作状態の図７相当図

【図９】異なる動作状態の図７相当図

【図１０】異なる動作状態の図７相当図

【図１１】異なる動作状態の図７相当図

【図１２】従来例を示すポンプの縦断正面図

【図１３】異なる従来例を示すポンプの縦断正面図

【符号の説明】

２１はポンプ装置、２２は第１のポンプ、２３は第２の
ポンプ、２４はシリンダ、２５はピストン、２８は駆動
部、２９は駆動部シリンダ、３０は駆動部ピストン、３
１はシャトルバルブ（送出部）、３３ａ〜３３ｃは位置
センサ（第１の位置検出手段）、３４はマグネット、３
５ａ〜３５ｃは位置センサ（第１の位置検出手段）、３
６はマグネット、３９はノズル、３７は制御装置（制御
手段）を示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3H045 AA03 AA08 AA16 AA22 BA36 CA00 DA31 DA47 EA04 EA34 3H071 AA01 BB01 BB12 BB13 CC25 DD01 DD06 DD12 DD13 DD42 3H075 AA15 BB03 BB14 BB17 BB20 CC03 DA03 DA04 DA09 DA22 DB10 DB43 EE08 EE16 EE18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリンダ内に往復移動されるピストンを
有すると共に、このピストンを駆動する駆動部を有し、
前記ピストンの一方向への動きにより被搬送流体をシリ
ンダ内に吸入口から吸入し、他方向への動きにより被搬
送流体を吐出口から吐出する第１のポンプと、この第１のポンプと同様に構成された第２のポンプと、これら第１のポンプおよび第２のポンプの各駆動部を制
御して前記各ピストンの動作を制御する制御手段とを備
え、この制御手段は、前記両ポンプのうち一方のポンプのピ
ストンの押出し動作が終了する前に他方のポンプのピス
トンを押出し動作を開始させ、且つ他方のポンプのピス
トンの押出し動作が終了する前に一方のポンプのピスト
ンを押出し動作を開始させるようになっていることを特
徴とするポンプ装置。
【請求項２】シリンダ内に往復移動されるピストンを
有すると共に、このピストンを駆動する駆動部を有し、
前記ピストンの一方向への動きにより被搬送流体をシリ
ンダ内に吸入口から吸入し、他方向への動きにより被搬
送流体を吐出口から吐出する第１のポンプと、この第１のポンプと同様に構成された第２のポンプと、前記両ポンプの各吐出口に接続され、吐出圧の高い方の
吐出口から吐出される被搬送流体を送出するシャトルバ
ルブと、前記第１のポンプのピストンの押出し開始位置、押出し
終了位置、および押出し終了間近位置を検出する第１の
位置検出手段と、前記第２のポンプのピストンの押出し開始位置、押出し
終了位置、および押出し終了間近位置を検出する第２の
位置検出手段と、前記第１の位置検出手段から押出し終了間近位置検出信
号が入力されると第２のポンプに押出し動作を開始さ
せ、第１の位置検出手段から押出し終了位置検出信号が
入力されると第１のポンプのピストンを押出し開始位置
に移動させ、第２の位置検出手段からの押出し終了間近
位置検出信号が入力されると第１のポンプに押出し動作
を開始させ、第２の位置検出手段から押出し終了位置検
出信号が入力されると第２のポンプのピストンを押出し
開始位置に移動させるように制御する制御手段とを備え
てなるポンプ装置。