JP2001523052A - 電解溶液中で作動可能な圧電アクチュエーター - Google Patents
電解溶液中で作動可能な圧電アクチュエーターInfo
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Abstract
Description
で作動可能な圧電ベンダー(bender)に関する。
通に利用されている。一般的に、ベンダーのような圧電アクチュエーターは、一
般的には金属である、伝導電極間に積み重ねられたピエゾセラミック材料(例え
ば、ジルコン酸チタン酸鉛のように)の層から作られる。そして、ピエゾセラミ
ック材料の層を越えて電界を創造するために電位が加えられている。
ゾセラミック材料の層での流体による腐食や化学的攻撃を防ぐために、流体から
隔離されている。水に侵された圧電ベンダーのある失敗モードは、セラミック層
を通して、金属樹脂状結晶が増加し、その結果として伝導層とともにショートす
ることである。たとえこのベンダーが遮蔽されていても、水は遮蔽材と侵食的に
相互作用をして、それが圧電ベンダーの絶縁破壊の原因になるかもしれない。
ターの構成の開発が望まれている。
に向けられている。圧電アクチュエーターは、第1と第2の電気的なリード線(
lead)、圧電素子を囲む伝導層、そして、圧電素子を囲む流体から実質的に不浸
透性のシール(seal)を持つ。この発明の別の実施の形態では、伝導層と実質的
に不浸透性のシールは電気的に接地され、伝導層は第1と第2の電気的リード線
のうちの一つと連結されている。さらに別の実施の形態では、伝導層と実質的な
不浸透性のシールは単一材料により提供され、そして、伝導層は実質的に不浸透
性のシールによって囲まれている。
ーターが提供され、流体中でそのアクチュエーターは、外部と内部に電極を持つ
圧電素子を含み、その外部の電極は電気的に接地されている。圧電アクチュエー
ターは、また、圧電素子を囲むシールを持ち、そのシールは、流体に対し実質的
に不浸透性である。その外部電極は電気的に接地され得る。
ュエーターを活性化する方法が提供される。その方法は、圧電アクチュエーター
の外部に電気的に導電性のコーティングを設けるステップ、流体に対し実質的に
不浸透なシールによって、流体から電気的に導電性のコーティングを遮蔽するス
テップ、及び第1と第2の電極間に電位を加えるステップを含んでいる。
る。図1Aに示すように、ベンダー10はリラックスして不活性のままである。
一方、図1Bは、活性化した、または曲げられた状態のベンダー10を示してい
る。この曲がりは、次に図2を参照して議論するように、ピエゾセラミック材料
の層に電界を加えることによって達成される。図2に示すように、ピエゾセラミ
ックのベンダー10は、交互のパターンで整列された多数の電極層11を差し込
まれたピエゾセラミック材料8からなる。電極層11は、伝導性の材料、典型的
には金属により作られる。これはピエゾセラミック材料8にとって従来からよく
知られている適用である。唯一の例としてここで示す電極層11のある配置では
、電極の上側グループ12は、電極の下側グループ14がそうであるように、ま
た、第3の電極になる内側グループもそうであるように、電気的に相互に連結さ
れる。内側グループ16から一つの電極が上側グループ12の各隣接電極と下側
グループ14の各隣接した2つの電極の間に配置されるように、その電極は差し
込まれている。電極の配置が示された圧電ベンダーの一例は、オランダのローモ
ンドでフィリップコンポーネントにより作られた、モデル番号P/N 9922 531 500
26のフィリップスベンダー(Phillips bender)である。前述したフィリップベ ンダーは、22個の活性圧電層を持っている。伝導性コンタクト120は、上側
グループ12のすべての電極と電気的に連結され、一方、伝導性コンタクト14
0は、下側グループ14のすべての電極と電気的に連結されている。同様に、伝
導性コンタクト160は、内側グループ16のすべての電極と電気的に連結れさ
れている。伝導性コンタクト120、140、及び160は、外部電気回路に対
してそれぞれの電極の接続を与えている。
配置された電極とそれぞれの層の外部に配置された電極によって、二重層として
構成されてよい。従って、この表現やいくらかの追加されたクレームで使われる
ように、“多層(multi-layer)”という言葉は、圧電材料の層の一つよりも多 くの層を含む。流体中で作動可能なアクチュエーターのために圧電材料の一層を
使用することは、同様に発明の範囲内のものである。
地され、コンタクト140は、どちらにしても電流制限用の直流抵抗器180を
経由して、60Vの電位あるいは接地と切り替えられるであろう。コンタクト1
40が接地されているとき、圧電ベンダー10は不活性の状態であり(図1A)
、ベンダー10は縦軸190と実質的に平行を保っている。コンタクト140が
60Vの電位と接続されているとき、圧電ベンダー10は活性化し、図1Bに示
されたように縦軸190との関係で曲がる。
、その流体は、ベンダー電極に加えられた電位のために電気分解されるかもしれ
ない。それゆえに、ベンダー中に発生する電界から圧電ベンダーの外部表面に直
接隣接する流体を遮蔽することが望ましい。
遮蔽を作るためにベンダー10の全体に設けられる。電気技術の分野で当業者に
知られているように、ファラデー遮蔽は、等電位面によって、伝導性の包囲内の
どんな電場発生源の効力からでもその外面を保護する伝導性の包囲である。従っ
て、伝導性のコーティング18内に加えられた電位のために伝導性のコーティン
グ18の外部の領域20内に電場は存在しない。適宜な堆積技術を用いて施され
た、いかなる伝導性のコーティング18も、本発明の範囲内にある。伝導性のコ
ーティング18は、好ましくは透過性がないものであり、どんな流体も伝導性の
コーティングにより囲まれた領域内に入ることができない。また、さらに、伝導
性のコーティング18は、同様に、伝導性のコーティングにより囲まれた領域内
への流体の進入を防ぐために、透過性がない材料のコーティングで囲まれていて
もよい。
材料である。上述のように、流体がファラデー遮蔽の内側領域に進入するのを防
ぐために、流体バリアの層、例えば、パリレン(parylene)のような疎水性成分
が、コーティング18の周囲に設けられ得る。
ピエゾ層の数を持つベンダー電極のあらゆる形状において、コンタクト160に
接続された最も外側の電極は、外部電極とそれを取り囲む媒体との間には他に電
極が存在しないという意味において、外部電極ということができる。従って、コ
ンタクト160を接地することによって、電気的に遮蔽することは、ベンダーの
2つの表面に関して達成される。しかしながら、周縁の電界は、まだ圧電ベンダ
ーの端から流体領域に漏れるかもしれない。
る。上述のように、図2で示される電極の上側グループ12、下側グループ14
、及び内側グループ16にそれぞれ接続されたコンタクト120、140、及び
160は、図示されるようにベンダーの集合の外部に示される。発明のもう一方
の実施の形態によれば、内部と上側グループの電極に連結されているコンタクト
160及び120は、それぞれ両方とも接地されている。従って、そのアクチュ
エーターの電極間に作られた電界は、周縁部の効力とは別に、デバイス内で終わ
る。かくて、取り囲む媒体は、アクチュエーター内で作られた場から効果的に遮
蔽されている。
って、コンタクト120と160は、圧電アクチュエーター外部全体をカバーす
るために広げられてもよい。これは、上述したように、デバイス全体を囲むファ
ラデー遮蔽を発生する効力を持つ。発明の一実施の形態によれば、手段はコンタ
クト120と160の共通の接地接続に関する電位を加えるために、コンタクト
140に連結されたリード線を引き出す手段が与えられる。アクチュエーター内
に発生した電界は記述される方法によって、囲む媒体から遮蔽されるので、媒体
の電気分解は除かれ、それによってデバイスの腐食量は減少する。
体の浸透から電界を遮蔽して、伝導性のコーティングの内部領域から流体を排除
することが重要である。結果として、実質的に不浸透性のコーティングが、遮蔽
の内部から流体を排除するために設けられる。発明の一実施の形態において、電
気的に導電性のコーティング18は、不浸透のコーティングとして振る舞う。ま
た、これに代わり、又は、これに加えて、流体バリアの層、例えば、パリレンの
ような疎水性成分は、さらに水漏れあるいは伝導性のコーティングの内部へ移動
を防ぐためにコーティング18として設けられ得るだろう。
の変更の可能性があることが理解されるであろう。特に、それぞれのコンタクト
は、ベンダー上に不浸透性の疎水性成分をコーティングすることが容易に行える
ように、例えば図3A〜Cに示されたベンダー10上の位置と違う位置に移動さ
れ得る。コーティングの成分あるいはコーティングの数の変更もまたなされ得る
。さらに、センサーとしての圧電素子の使用は、本発明の、そして付加されたク
レームの範囲内にある。
bender)の側面図である。 図1Bは、図1Aに示す圧電ベンダーが活性化されたときの側面図を示す図で
ある。
との連結を示す図である。
端面を示す図である。
Claims (11)
- 【請求項1】 流体中で作動可能な圧電アクチュエーターであって、 第1と第2の電気的リード線を持つ圧電素子と、 前記圧電素子を囲む伝導性の層と、 前記圧電素子を囲むシールとを備え、 そのシールは流体に対して実質的に不浸透性であることを特徴とする圧電アク
チュエーター。 - 【請求項2】 前記伝導性の層が電気的に接地されていることを特徴とする
請求項1記載の圧電アクチュエーター。 - 【請求項3】 前記伝導性の層は第1と第2の電気的リード線のうちの一つ
と電気的に連結されていることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ
ー。 - 【請求項4】 前記伝導性の層と実質的に不浸透性の前記シールは単一材料
で提供されていることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエーター。 - 【請求項5】 前記伝導性の層は実質的に不浸透性の前記シールで囲まれて
いることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエーター。 - 【請求項6】 流体中で作動可能な圧電アクチュエーターであって、 圧電素子と、 前記圧電素子の周りを電気的に遮蔽するための遮蔽手段と、 前記圧電素子を囲む流体から前記圧電素子を密封するための密封手段とを備え
ることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 【請求項7】 前記遮蔽手段と前記密封手段とが単一材料で提供されている
ことを特徴とする請求項6記載の圧電アクチュエーター。 - 【請求項8】 前記密封手段は、前記遮蔽手段を囲む流体から前記遮蔽手段
を密封していることを特徴とする請求項7記載の圧電アクチュエーター。 - 【請求項9】 流体中で作動可能な圧電アクチュエーターであって、 外部と内部の電極を持つ圧電素子と、 前記圧電素子を囲むシールとを備え、 そのシールは、流体に対し実質的に不浸透であることを特徴とする圧電アクチ
ュエーター。 - 【請求項10】 前記外部電極は電気的に接地されていることを特徴とする
請求項9記載の圧電アクチュエーター。 - 【請求項11】 前記第1と第2の電極を持つ圧電アクチュエーターを流体
中で作動して活性化するための方法であって、 (a)圧電アクチュエーターの外部に電気的に伝導性のコーティングを備え、 (b)流体に対し実質的に不浸透性のシールによって、流体から電気的に伝導
性のコーティングを遮蔽し、 (c)前記第1と第2の電極の間に電位を加えることを特徴とする圧電アクチ
ュエーターを活性化する方法。
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US6386053B1 (en) * | 1997-09-08 | 2002-05-14 | Ngk Insulators, Ltd. | Mass sensor and mass detection method |
EP1029374B1 (en) * | 1997-11-12 | 2004-02-25 | Deka Products Limited Partnership | Piezo-electric actuator operable in an electrolytic fluid |
DE19940346B4 (de) * | 1999-08-25 | 2018-03-22 | Continental Automotive Gmbh | Piezoaktor mit einer Anschlußvorrichtung |
WO2001048834A2 (de) * | 1999-12-23 | 2001-07-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelektrisches element |
US6653762B2 (en) * | 2000-04-19 | 2003-11-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric type electric acoustic converter |
DE10023310A1 (de) | 2000-05-15 | 2001-11-29 | Festo Ag & Co | Piezo-Biegewandler und Verwendung desselben |
DE10147666B4 (de) * | 2001-09-27 | 2011-03-10 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelement und Verfahren zur Herstellung eines Piezoelements |
US6791396B2 (en) * | 2001-10-24 | 2004-09-14 | Saifun Semiconductors Ltd. | Stack element circuit |
DE10224750A1 (de) | 2002-06-04 | 2003-12-24 | Fresenius Medical Care De Gmbh | Vorrichtung zur Behandlung einer medizinischen Flüssigkeit |
US6917544B2 (en) | 2002-07-10 | 2005-07-12 | Saifun Semiconductors Ltd. | Multiple use memory chip |
US7136304B2 (en) | 2002-10-29 | 2006-11-14 | Saifun Semiconductor Ltd | Method, system and circuit for programming a non-volatile memory array |
US20040151032A1 (en) * | 2003-01-30 | 2004-08-05 | Yan Polansky | High speed and low noise output buffer |
US7178004B2 (en) | 2003-01-31 | 2007-02-13 | Yan Polansky | Memory array programming circuit and a method for using the circuit |
US6885244B2 (en) | 2003-03-24 | 2005-04-26 | Saifun Semiconductors Ltd. | Operational amplifier with fast rise time |
US6906966B2 (en) | 2003-06-16 | 2005-06-14 | Saifun Semiconductors Ltd. | Fast discharge for program and verification |
US7050319B2 (en) * | 2003-12-03 | 2006-05-23 | Micron Technology, Inc. | Memory architecture and method of manufacture and operation thereof |
US7176728B2 (en) * | 2004-02-10 | 2007-02-13 | Saifun Semiconductors Ltd | High voltage low power driver |
US8339102B2 (en) * | 2004-02-10 | 2012-12-25 | Spansion Israel Ltd | System and method for regulating loading on an integrated circuit power supply |
US7652930B2 (en) | 2004-04-01 | 2010-01-26 | Saifun Semiconductors Ltd. | Method, circuit and system for erasing one or more non-volatile memory cells |
DE102004018224A1 (de) * | 2004-04-15 | 2005-11-03 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung mit piezoelektrischem Aktor |
US7190212B2 (en) * | 2004-06-08 | 2007-03-13 | Saifun Semiconductors Ltd | Power-up and BGREF circuitry |
US7187595B2 (en) * | 2004-06-08 | 2007-03-06 | Saifun Semiconductors Ltd. | Replenishment for internal voltage |
US7256438B2 (en) * | 2004-06-08 | 2007-08-14 | Saifun Semiconductors Ltd | MOS capacitor with reduced parasitic capacitance |
US7095655B2 (en) | 2004-08-12 | 2006-08-22 | Saifun Semiconductors Ltd. | Dynamic matching of signal path and reference path for sensing |
US7638850B2 (en) | 2004-10-14 | 2009-12-29 | Saifun Semiconductors Ltd. | Non-volatile memory structure and method of fabrication |
US7935074B2 (en) | 2005-02-28 | 2011-05-03 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Cassette system for peritoneal dialysis machine |
US20060195064A1 (en) * | 2005-02-28 | 2006-08-31 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Portable apparatus for peritoneal dialysis therapy |
US8053812B2 (en) | 2005-03-17 | 2011-11-08 | Spansion Israel Ltd | Contact in planar NROM technology |
DE102005024192A1 (de) * | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Siemens Ag | Piezoelektrischer Biegewandler mit Sensorelement zum Erfassen einer Auslenkung des Biegewandlers, Verfahren zum Erfassen der Auslenkung des Biegewandlers und Verwendung der erfassten Auslenkung |
US8400841B2 (en) | 2005-06-15 | 2013-03-19 | Spansion Israel Ltd. | Device to program adjacent storage cells of different NROM cells |
US8197231B2 (en) | 2005-07-13 | 2012-06-12 | Purity Solutions Llc | Diaphragm pump and related methods |
US7786512B2 (en) | 2005-07-18 | 2010-08-31 | Saifun Semiconductors Ltd. | Dense non-volatile memory array and method of fabrication |
US7668017B2 (en) | 2005-08-17 | 2010-02-23 | Saifun Semiconductors Ltd. | Method of erasing non-volatile memory cells |
US7808818B2 (en) | 2006-01-12 | 2010-10-05 | Saifun Semiconductors Ltd. | Secondary injection for NROM |
US7760554B2 (en) | 2006-02-21 | 2010-07-20 | Saifun Semiconductors Ltd. | NROM non-volatile memory and mode of operation |
US7692961B2 (en) | 2006-02-21 | 2010-04-06 | Saifun Semiconductors Ltd. | Method, circuit and device for disturb-control of programming nonvolatile memory cells by hot-hole injection (HHI) and by channel hot-electron (CHE) injection |
US8253452B2 (en) | 2006-02-21 | 2012-08-28 | Spansion Israel Ltd | Circuit and method for powering up an integrated circuit and an integrated circuit utilizing same |
US7701779B2 (en) | 2006-04-27 | 2010-04-20 | Sajfun Semiconductors Ltd. | Method for programming a reference cell |
US8870811B2 (en) * | 2006-08-31 | 2014-10-28 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Peritoneal dialysis systems and related methods |
US8926550B2 (en) * | 2006-08-31 | 2015-01-06 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Data communication system for peritoneal dialysis machine |
MX345516B (es) | 2007-05-29 | 2017-02-02 | Fresenius Medical Care Holdings Inc | Soluciones, dializados y metodos relacionados. |
US7892197B2 (en) | 2007-09-19 | 2011-02-22 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Automatic prime of an extracorporeal blood circuit |
US8192401B2 (en) | 2009-03-20 | 2012-06-05 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid pump systems and related components and methods |
JP2012533357A (ja) | 2009-07-15 | 2012-12-27 | フレゼニウス メディカル ケア ホールディングス インコーポレーテッド | 医療用流体カセットおよびその関連システムおよび方法 |
US8720913B2 (en) | 2009-08-11 | 2014-05-13 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Portable peritoneal dialysis carts and related systems |
DE102010053973A1 (de) | 2010-12-09 | 2012-06-14 | Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh | Medizinisches Gerät mit einer Heizung |
US9694125B2 (en) | 2010-12-20 | 2017-07-04 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid cassettes and related systems and methods |
US9624915B2 (en) | 2011-03-09 | 2017-04-18 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid delivery sets and related systems and methods |
CA2833537C (en) | 2011-04-21 | 2019-07-30 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Fastening mechanisms for medical fluid pumping systems and related devices and methods |
US9186449B2 (en) | 2011-11-01 | 2015-11-17 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Dialysis machine support assemblies and related systems and methods |
US9610392B2 (en) | 2012-06-08 | 2017-04-04 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid cassettes and related systems and methods |
US9500188B2 (en) | 2012-06-11 | 2016-11-22 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid cassettes and related systems and methods |
US9561323B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-02-07 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid cassette leak detection methods and devices |
US9597439B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-03-21 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid sensing and concentration determination using radio frequency energy and a magnetic field |
US9433718B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-06 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid system including radio frequency (RF) device within a magnetic assembly, and fluid cartridge body with one of multiple passageways disposed within the RF device, and specially configured cartridge gap accepting a portion of said RF device |
US9713664B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-07-25 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Nuclear magnetic resonance module for a dialysis machine |
US9772386B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-09-26 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Dialysis system with sample concentration determination device using magnet and radio frequency coil assemblies |
US9566377B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-02-14 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Medical fluid sensing and concentration determination in a fluid cartridge with multiple passageways, using a radio frequency device situated within a magnetic field |
US10117985B2 (en) | 2013-08-21 | 2018-11-06 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Determining a volume of medical fluid pumped into or out of a medical fluid cassette |
US10286135B2 (en) | 2014-03-28 | 2019-05-14 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Measuring conductivity of a medical fluid |
DE102016121587B4 (de) | 2016-11-10 | 2023-06-01 | Pi Ceramic Gmbh | Piezoelektrischer Antrieb, insbesondere für den Einsatz in feuchter Umgebung |
US11135345B2 (en) | 2017-05-10 | 2021-10-05 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | On demand dialysate mixing using concentrates |
US11504458B2 (en) | 2018-10-17 | 2022-11-22 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Ultrasonic authentication for dialysis |
EP4118401A4 (en) * | 2020-03-11 | 2024-04-10 | Analog Devices Inc | MEDICINE DISPENSING MONITORING SYSTEM |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01109781A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Koganei Seisakusho:Kk | 圧電素子 |
JPH03500113A (ja) * | 1988-05-23 | 1991-01-10 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | 電子回路を遮蔽しそれに電力を供給する遮蔽装置 |
JPH03273873A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-05 | Yoshikazu Matsui | レーリーモード弾性表面波によるアクチュエータ |
JPH05203067A (ja) * | 1991-10-25 | 1993-08-10 | Technology Partnership Ltd | 流体の流れを制御するための弁 |
JPH06291388A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波振動子とその製造方法 |
JPH0979408A (ja) * | 1995-09-19 | 1997-03-25 | Samii:Kk | 流量調節装置及びその製造方法 |
JPH10242539A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Konica Corp | 圧電素子を有するデバイスの製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2860265A (en) * | 1954-06-21 | 1958-11-11 | Bell Telephone Labor Inc | Ferroelectric device |
US3598506A (en) * | 1969-04-23 | 1971-08-10 | Physics Int Co | Electrostrictive actuator |
US3847662A (en) * | 1972-06-28 | 1974-11-12 | Dynamics Corp Massa Div | Apparatus and method for sonic cleaning of human teeth |
US4011474A (en) * | 1974-10-03 | 1977-03-08 | Pz Technology, Inc. | Piezoelectric stack insulation |
US4565942A (en) * | 1983-07-01 | 1986-01-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Energy trapped piezoelectric resonator liquid sensor |
JPS60104762A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-10 | Nippon Soken Inc | 電歪式アクチュエータ及びそれを用いた燃料噴射弁 |
JPS6146082A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 圧電アクチユエ−タ |
JPH01174278A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-10 | Misuzu Erii:Kk | インバータ |
US4933919A (en) * | 1989-05-18 | 1990-06-12 | Westinghouse Electric Corp. | Hydrophone |
CA2036779A1 (en) * | 1990-02-26 | 1991-08-27 | Akio Nagamune | In-furnace level meter and antenna therefor |
US6050679A (en) * | 1992-08-27 | 2000-04-18 | Hitachi Koki Imaging Solutions, Inc. | Ink jet printer transducer array with stacked or single flat plate element |
DE4318978C2 (de) * | 1993-06-08 | 1996-09-05 | Heidelberger Druckmasch Ag | Piezoelektrischer Aktuator |
US5355048A (en) * | 1993-07-21 | 1994-10-11 | Fsi International, Inc. | Megasonic transducer for cleaning substrate surfaces |
GB9318985D0 (en) * | 1993-09-14 | 1993-10-27 | Xaar Ltd | Passivation of ceramic piezoelectric ink jet print heads |
EP1029374B1 (en) * | 1997-11-12 | 2004-02-25 | Deka Products Limited Partnership | Piezo-electric actuator operable in an electrolytic fluid |
-
1998
- 1998-11-10 EP EP98957776A patent/EP1029374B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-11-10 US US09/188,942 patent/US6118207A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-11-10 DE DE69821969T patent/DE69821969T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-11-10 WO PCT/US1998/023955 patent/WO1999025033A1/en active IP Right Grant
- 1998-11-10 JP JP2000519933A patent/JP4527277B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-11-10 AT AT98957776T patent/ATE260512T1/de not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-06-28 US US09/605,927 patent/US6316864B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01109781A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Koganei Seisakusho:Kk | 圧電素子 |
JPH03500113A (ja) * | 1988-05-23 | 1991-01-10 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | 電子回路を遮蔽しそれに電力を供給する遮蔽装置 |
JPH03273873A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-05 | Yoshikazu Matsui | レーリーモード弾性表面波によるアクチュエータ |
JPH05203067A (ja) * | 1991-10-25 | 1993-08-10 | Technology Partnership Ltd | 流体の流れを制御するための弁 |
JPH06291388A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波振動子とその製造方法 |
JPH0979408A (ja) * | 1995-09-19 | 1997-03-25 | Samii:Kk | 流量調節装置及びその製造方法 |
JPH10242539A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Konica Corp | 圧電素子を有するデバイスの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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EP1029374B1 (en) | 2004-02-25 |
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