JP2001503548A - 低質量の読取／書込ヘッドを支持するためのサスペンション - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ディスクドライブ内の相対的に運動する記憶媒体に隣接して読取／書込ヘッドを支持するための改良されたサスペンションが開示される。このサスペンション（４０）は、インライン回転式アクチュエータアームに装着され、幅が低減されており、側部レール（４８）と穴のあいた領域（４９）を有するロードビーム（４４）とを含む。このサスペンションは、特にねじれ動作モードにおいて改良されたモードの性能を示す。

Description

【発明の詳細な説明】 低質量の読取／書込ヘッドを支持するためのサスペンション設計 発明の分野 この発明は、一般に、ディスクドライブ内で相対的に運動する記録媒体に隣接 して読取／書込ヘッドを支持するためのサスペンションに関する。より特定的に は、ロードビームの端部に低質量のヘッドを支持するのに特に適したサスペンシ ョンであって、ロードビームの質量を低減しかつヘッドおよびサスペンションの 組合せの共鳴モード特性を向上させる修正されたジオメトリを有するサスペンシ ョンに関する。 発明の背景 より高性能の中央処理ユニット（ＣＰＵ）およびより高い帯域幅のバス構造が 開発されるに伴い、ディスクドライブの性能がコンピュータシステム全体の性能 における重要な限定要因となってきた。特定的には、電子記憶装置からデータに アクセスするためには数ナノ秒が必要なのに対し、ディスクドライブにおいては 数ミリ秒のオーダでデータアクセスの遅延が生じがちである。したがって、ディ スクドライブの記録表面のトラックからデータをより迅速に検索できるようにす るためアクチュエータのアクセス時間を減じることが必要である。 ディスクの回転軸に対しさまざまな異なった径方向の位置にデータトランスデ ューサを位置付け、よって、ディスクの各記録表面上の多くの同心円状のデータ 記憶トラックを規定するため、現在のディスクドライブは典型的には、回転する 剛体の記憶ディスクおよびヘッドポジショナを含む。このヘッドポジショナは典 型的にはアクチュエータと呼ばれる。当業界では多くのアクチュエータ構造が知 られているが、現在最も頻繁に用いられているのはインライン回転式アクチュエ ータである。これは構造が簡単であり性能が高く回転軸に対して質量バランスを とることができるためである。この質量バランスをとることができるという性能 はアクチュエータが振動から受ける影響を減じるために重要なものである。アク チュエータを動作させそれによってディスク表面にヘッドを位置付けるため閉ル ープサーボシステムが用いられる。ハードディスクドライブアクチュエータのサ ーボシステムは、サーボのサンプリング振動数またはそのエーリアシングした変 形（aliased variants）においてまたはそれらの近くでヘッド構造およびサスペ ンション構造の自然な機械的振動モードが生じないとき、サーボシステムがより 高性能となるような動的特性を有している。 この読取／書込トランスデューサは、単一または２つの構成要素からなる設計 であってよいが、典型的には、運動する媒体の表面から近距離のところにトラン スデューサを支持するための空気軸受作用をする表面を有するセラミックスライ ダ構造上に装着されている。エアベアリングスライダ（空気軸受作用をするスラ イダ）と読取／書込トランスデューサとのこの組合せはまた記録ヘッドとしても 知られている。ディスク表面から離してヘッドを支持するためエアベアリングス ライダを利用することにより、このヘッドは境界潤滑様式ではなくヘッド／ディ スクの界面において流体力学的潤滑様式で動作する。この流体力学的潤滑様式に よって、トランスデューサと媒体との間にさらに空間が生み出され、トランスデ ューサの効率が減じられる。しかしながら、両者が直接接触することが避けられ るために、ヘッドコンポーネントおよびディスクコンポーネントの信頼性が大き く向上する。ディスクドライブ業界は、アクチュエータアセンブリの運動する質 量を低減しトランスデューサがよりディスク表面近くで動作できるようにするた め、着実にスライダ構造の大きさおよび質量を減じてきた。トランスデューサが よりディスク表面近くで動作できるようになると、トランスデューサの効率が上 がることになり、すなわちトラックの密度が上げられる。 アクチュエータのアクセス時間を改良するためには、とりわけ、ディスクドラ イブ内のコンポーネントの望ましくなレベルでの振動を減じることが重要となる 。というのも、このような振動によってディスクドライブのサーボシステムが不 安定になりかねないからである。特定的には、サスペンションのロードビーム構 造の第１の振動のねじれモードにおける共鳴振動数か、典型的には、アクチュエ ータのシーク性能を限定する第１に出会う（すなわち最も低い振動数の）共鳴モ ードである。この第１の振動のねじれモードによって、達成可能なアクセス時間 か大きく限定されかねない。なぜならば、このねじれ振動によって、記憶ディス ク上のデータトラックに対して支持されるデータトランスデューサがトラック からずれるように運動するからである。このトラックからずれようとする運動に よってデータトラックの誤った読取または書込が生じないようにするため、ねじ れ振動の振幅が減衰できるよう整定時間が生じるので、データ転送の遅延が生じ 、サーボシステムの性能が制約される。 運動する構造たとえばサスペンションの質量を低減することによってシーク性 能を改良することもできよう。先行技術から公知であるように、サスペンション の質量を低減すると、この質量が減じられた構造の剛性が低くなりがちであり、 それによってこの構造の共鳴振動数に望ましくない低減が生じる。上述のように 、共鳴振動数の低減は、典型的にはサーボ性能に有害な影響をもたらす。したが って、特に第１の振動のねじれ（１Ｔ）モードにおいてよりよい共鳴振動数特性 を有する質量が低減されたサスペンション構造が必要なのである。 以下に説明するこの発明は、特に第１のねじれ共鳴モードに関してモードの性 能が改良されたロードビームを有しており、よって、高性能ディスクドライブア プリケーションにおいて使用するのに特に適しているインライン回転式アクチュ エータのための質量が低減されたサスペンションを提供する。 発明の概要 この発明によるサスペンションアセンブリは、著しく狭くなったロードビーム 構造を支持する先細りスプリング区分を組入れている。この発明は、先行技術の サスペンション設計に比べ実質的に優れた性能を有している。このサスペンショ ンの質量は著しく減じられているが、第１の横方向振動モードおよび第１の曲げ 振動モードなどの他のモードにおける性能を本質的に犠牲にすることなく、第１ のねじれモードにおける共鳴振動数がほぼ２倍となっている。 この発明の一般的な目的は、先行技術の限界および欠点を克服する、ディスク ドライブ内の読取／書込ヘッドを支持するための改良されたロードビーム構造を 備えた偏平なサスペンションを提供することである。 この発明のより特定的な目的は、先行技術によるサスペンションよりも第１の ねじれ共鳴振動数が高い、インライン回転式アクチュエータ内の超小型のスライ ダを支持するためのサスペンションを提供することである。 この発明のまたさらなる目的は、質量が低減されたサスペンションを提供する ことである。 この発明のまたさらなる目的は、改良された動的特徴を有する幅が減じられ穴 があいたロードビームを含むインラインの質量バランスがとられた回転式ボイス コイルアクチュエータアセンブリを提供することである。 この発明のこれらのおよび他の目的、利点、局面、および特徴は、添付の図面 に関連して提示される好ましい実施例の以下の詳細な説明を考慮するとより十分 に理解されるであろう。 図面の簡単な説明 図１Ａは、先行技術のピコスライダサスペンションの略平面図である。 図１Ｂは、図１Ａの切断線１Ｂ−１Ｂに沿ってとられた、図１Ａのサスペンシ ョンの断面図である。 図２は、先行技術のピコスライダサスペンションの略側面図である。 図３Ａは、この発明の好ましい実施例に従った上方向に反ったレールを有する ピコスライダサスペンションの略平面図である。 図３Ｂは、図３Ａの切断線３Ｂ−３Ｂに沿ってとられた、図３Ａのサスペンシ ョンの断面図である。 図４Ａは、この発明の別の好ましい実施例に従った、逆のレールを有するピコ スライダサスペンションの略平面図である。 図４Ｂは、図４Ａの切断線４Ｂ−４Ｂに沿ってとられた、図３Ａのサスペンシ ョンの断面図である。 図５Ａは、図１の先行技術のピコスライダサスペンションの振動数応答特性の グラフ表現である。 図５Ｂは、図３Ａおよび図３Ｂの先行技術のピコスライダサスペンションの周 波数応答特性のグラフ表現である。 図６は、「…」のグラフ表現であって、すなわち、ネガティブ・オフセットお よびバンプ図（Negative Offset and Bump plots）である。詳細な説明 図１Ａは、ディスク表面（図示せず）に隣接する３０％スライダ１５（「ピコ スライダ」としても公知である）を支持するための、先行技術の上方向に反った レールを有するサスペンション１０を示す。図示されたサスペンション１０は一 般に、「タイプ８」サスペンションとして公知であり、ピコスライダと共に使用 するよう適合されてきた。サスペンション１０は、（片持端部で）サスペンショ ンの装着区分２１に従来的に取付けられたベースプレート２０を含む。ベースプ レート２０は、最終的に、サスペンション１０をアクチュエータアーム（図示せ ず）にしっかりと装着するよう使用される。典型的に、ベースプレートはアクチ ュエータアーム上に据え込まれる。スプリング（または蝶番）区分２２は装着区 分２１に固定されて、装着区分２１とロードビーム２４を相互接続する。スプリ ング区分２２は、スプリング区分２２のばね定数を調整するために、１または複 数の空洞を含む。スプリング区分２２の厚さもまた、ばね定数を調整するために 変更が可能である。サスペンション２０は小さなツーリングホール２７を有し、 これは、サスペンションの正確な製造およびアセンブリを容易にするために使用 される。 ロードビーム２４は、ロードビームを補剛するために、両側に沿って上向きに 反ったレール２８の対を組み込む。レール２８の構成はビーム２４の共鳴振動数 に影響を及ぼすため、レール２８は、サスペンション２０の共鳴振動数を、サー ボのサンプリング振動数から引き離すことによって、サーボシステム性能を改良 するように設計することが可能である。明らかに、このロードビームは特に、共 鳴特性を改良する目的でスプリング区分の近くで広がるよう、先行技術の教示に 従って設計されている。ロードビーム２４の基端は、約 ｍｍ幅である。図 １Ｂは、上方向に反ったレール２８の（図１Ａの切断線１Ｂ−１Ｂに沿ってとら れた）断面図を示す。 ここで図２に移って、サスペンション１０はたわみ部２９を含む。たわみ部２ ９は、ジンバルを備え、ロードビーム２４の末端に取付けられて、ロードビーム に対してヘッド１５を相互接続しかつ旋回可能に支持する。スプリング区分２２ は随意、予め曲げられてもよく、それにより動作中、サスペンション１０がヘッ ド１５に対してディスク表面の方向に負荷力をかけながらも比較的真っ直ぐな状 態を保つようにし、したがって、原位置のサスペンション構造に必要とされるＺ 軸（高さ）のクリアランスを減じる。 図３Ａに示すように、この発明の好ましい実施例においては、サスペンション ４０は約２０〜３０ｍｍの（長手方向の）全長を有し、サスペンションの最も広 い領域においては約 ｍｍ程度の横幅を有する。このサスペンションの最も 広い領域は、装着区分４１とスプリング区分４２との接合部またはその近辺に位 置付けられることが好ましい。ロードビーム４４の基端は約 ｍｍの幅を有 する。［寸法に関する臨界性の説明］ 主要サスペンション本体部材は、約６０〜７５ミクロン程度の厚さを有する平 らなステンレス鋼板から化学的にエッチングされる。このエッチング操作によっ て、装着区分４１、（空洞４６を含む）スプリング区分４２、（ツーリングホー ル２７を含む）ロードビーム４４、およびレール４８を最終的に含む領域が規定 される。サスペンション４０をエッチングした後に、機械的形成操作を用いて、 ロードビーム構造４４の平らな領域にほぼ垂直な特徴、この場合、横方向に間隔 をおいて配された上方向に反ったレール４８の対が設けられる。典型的なレール 寸法は高さが０．２〜０．３ｍｍであり、幅がおよそ０．２〜０．５ｍｍである 。別個のベースプレート２０が従来の方法で製造され（たとえば、進行中のダイ 操作内で丸くされるまたは形成される）、接着またはスポット溶接等の従来の手 段でサスペンション４０に取付けられる。動作状態においては、ロードビーム４ ４の上面の平均高さはディスク表面から約 ｍｍを超えることはない。 従来のジンバル手段、たとえばたわみ部（図示せず）が、ロードビーム４４の 末端に固定される。但し、ジンバルは、たとえば化学的エッチングプロセスを介 して、ロードビーム４４と一体の部品として随意、形成されてもよい。好適なた わみ部は、典型的に、１．５×１０．０ｍｍ程度の平面寸法および２５〜３０ミ クロン程度の厚さを有する。このたわみ部はふつうエッチングで形成されて、た とえば接着またはスポット溶接等の従来の先行技術の手段を使用して、ロードビ ーム４４の下側に取付けられる。ロードボタン（図示せず）は随意、たわみ部上 に形成されるかまたはロードビーム４４の端部近辺に形成されて、ヘッド１５が その周辺でジンバルで支えられる点が構築される。最後に、読み書きヘッド１５ をたわみ部の下側に取付ける前に、サスペンション４０はスプリング区域４２内 で塑性により変形されるかまたは予め曲げられる。これにより、結果として得ら れるサスペンション４０がドライブ内に装填された際に、ロードビーム４４は、 ヘッド１５に対してディスク表面（図示せず）の方向に復原力を与えながらも低 姿勢を維持するよう、本質的に平らでディスク表面に対しほぼ平行な状態を保つ 。図３Ａに示される好ましい実施例においては、ロードビームはまた、ロードビ ームレール４８間に随意、均圧穴４９を含み、これはさらに、ロードビーム構造 の質量を減じる。 サスペンションの共鳴モード特性を改良するために、広げられたサスペンショ ン構造を用いるよう指示する先行技術の教示とは対照的に、本発明は、ベースプ レート幅よりも狭い最大幅を有するはるかに狭いロードビームを用いる。このロ ードビームは、少なくともロードビームの横方向の縁部分に沿って間隔をおいて 配されたレール構造を含むものである。驚くべきことに、ロードビームを大いに 狭めることは、ビームのモードの共鳴振動数を有害に変化させることはないよう であるが、ねじれモード共鳴振動数をはるかに増加させる。表１は、有限の構成 要素のモデリングの結果を示し、これは、それぞれ図１Ａのピコスライダ１０お よび図３Ａのピコスライダ４０の、それぞれのモードの共鳴振動数を表わす。 表１ また、先細りしたスプリングおよび狭いロードビーム構成によって、サスペン ションの質量が、およびしたがって、結果として得られるアクチュエータ構造の 慣性の極性モーメントが大いに減じられる結果となり、これは、シークタイムを 減じる。表２に、図１Ａのピコスライダ１０および図３Ａのピコスライダ４０の 質量をそれぞれ示す。 表２ ［表２］ 高い体積効率が主要な設計目標であるディスクドライブの応用において、サス ペンション内に逆のレールを有するロードビームおよび予め曲げられたスプリン グ区分を用いて、従来の上方向に反ったレールを有するサスペンション設計に比 べて必要とされるｚ軸のクリアランスを減じるようにすることも可能である。こ れは、ディスクとディスクの間隔をより狭くすることができる。このような状況 において、機械的サスペンション構造は、好適なモード性能を維持するために、 レールの深さはあまり修正されるべきではない。図４Ａは、ディスクとディスク との間に非常に狭い間隔を要求するドライブ内で使用するための、本発明の別の 好ましい実施例を示す。サスペンション５０は逆のレール５８と予め曲げられた 蝶番区分４２とを含み、これら双方はディスクとディスクとの間隔を改善するの に役立っている。この発明の下方向に反ったレールを有する実施例は、レール５ ８が、支持されるスライダ１５のジンバルと決して連結することのないように、 末端において付加的な幅（かつしたがって付加的な質量）を必要とするが、それ でも、先行技術の逆のレールを有するピコスライダ設計に比べて、モードの性能 および質量の減少という点ではるかに改善される。この下方向に反ったレールを 有する実施例において、空洞４９の寸法は重要であって、質量および半径方向の 空気の流れによって引き起こされる振動の双方を減じるよう注意深く制御されね ばならない。穴区域４９は、ロードビーム区域の ％を下回ってはならない。 ［図５に関するボードプロット（Bode Plot）の説明］ ［図６に関するＮＯＢ図の説明］ 要約すれば、本発明は、インライン回転式アクチュエータアセンブリ内で動作 する低質量スライダと共に使用するための、改良されたモード性能を有する質量 が減じられたサスペンション設計を提供する。この発明の教示に従ったサスペン ションは、改良されたモード性能を通じて、よりよいアクチュエータサーボシス テム性能を提供する。全体的な質量の減少とサーボシステム性能の改良との組合 せによって、先行技術のピコスライダ設計を組み込むドライブに比べて、改善さ れたシーク性能が提供される。したがって、この発明は、より高性能のディスク ドライブの設計および製造を容易にする。 本発明は現時点において好ましい実施例、すなわち、ピコスライダまたはサブ ピコスライダと共に使用されるよう最適化されたサスペンションについて記載さ れたが、当業者には明らかなように、この発明は、幾分大きめのスライダ、たと えばナノスライダ等と共に使用するよう設計されたサスペンションにも適用され 得る。したがって、この開示が限定を加えるものと解釈されてはならない。上の 開示を読まれることにより、当業者にはさまざまな代替例およひ修正例が確実に 明らかとなろう。したがって、添付の請求の範囲は、この発明の真の精神および 範囲内に包含されるすべての代替例および修正例を網羅するものと解釈されたい 。

【手続補正書】特許法第１８４条の４第４項 【提出日】平成８年６月２１日（１９９６．６．２１） 【補正内容】 請求の範囲 １．ディスクドライブ内で使用するためのインライン回転式アクチュエータアセ ンブリ上に読取／書込ヘッドを支持するための片持サスペンションであって、前 記サスペンションは、基端および末端を有し、 前記サスペンションの基端にある装着領域と、 装着領域に固定され、サスペンションをアクチュエータアセンブリに装着する ためのベースプレートと、 装着領域の末端に固定されたスプリング区分とを含み、前記スプリング区分は ほぼ台形であって、装着領域に隣接する幅が最大の領域と、前記スプリング区分 の末端にある幅が最小の領域とを有し、前記スプリング区分はサスペンションの 横方向側部に沿って配置される１対の横方向スプリング端縁を有し、前記サスペ ンションはさらに、 ロードビームの末端にある、読取／書込ヘッドを取付けるためのジンバル手段 を含む長細いほぼ平面状のロードビームを含み、前記ロードビームの基端は前記 スプリング区分の末端に接続され、前記ロードビームはサスペンションの横方向 側部に沿って１対の実質的に真っ直ぐな主要横方向端縁を有し、前記ロードビー ムの主要横方向端縁は各々横方向スプリング端縁の隣接する一方と鈍い外角をな す、サスペンション。 ２．前記ロードビームはさらに、前記ロードビームの各主要横方向端縁の少なく とも一部に沿って延びる１対の横方向に間隔をおいて位置付けられるレール部材 を含む、請求項１に記載のサスペンション。 ３．前記ロードビームはさらに、前記ロードビームの剛性を高めるための逆レー ル手段を含み、前記逆レール手段は前記ロードビームの各横方向端縁に沿って少 なくとも部分的に延びている、請求項１に記載のサスペンション。 ４．前記ロードビームはさらに、第１の区域を規定する外部境界と空洞を規定す る内部境界とを含み、前記内部境界は第１の区域の約２０％よりも大きい区域を 囲む、請求項３に記載のサスペンション。 ５．前記空洞はほぼ台形である、請求項４に記載のロードビーム。 ６．読取／書込ヘッドを支持するためのサスペンションであって、 ロードビームの基端から末端へ向かってサスペンションの中央長手軸に沿って 第１の率で萎んでいく、１対の実質的に真っ直ぐな主要横方向端縁を有する長細 いロードビームと、 ロードビームの基端に接続されたデルタ字形のスプリング区分とを含み、前記 デルタ字形のスプリングは第１の率よりも大きな率で長手軸に沿って萎んでいく １対の横方向スプリング端縁を有する、サスペンション。 ７．サスペンション全体の長さは、約２０ｍｍから３０ｍｍであり、スプリング 区分の最大幅は約６．０ｍｍであり、ロードビームの最大幅は約３．２ｍｍであ る、請求項６に記載のサスペンション。 ８．前記ロードビームはさらにロードビームの剛性を高めるための上方向に反っ たレール手段を含み、前記上方向に反ったレール手段はロードビームの各横方向 主要端縁に沿って少なくとも部分的に延びている、請求項６に記載のサスペンシ ョン。 ９．前記ロードビームはさらに、ロードビームの剛性を高めるための逆レール手 段を含み、前記逆レール手段はロードビームの各主要横方向端縁に沿って少なく とも部分的に延びている、請求項６に記載のサスペンション。 １０．前記１対の実質的に真っ直ぐな主要横方向端縁は第１の区域を規定する外 部境界を含み、前記ロードビームはさらに空洞を規定する内部境界を含み、前記 内部境界は第１の区域の約２５％よりも大きい区域を囲む、請求項９に記載のサ スペンション。 １１．前記空洞はほぼ台形である、請求項１０に記載のサスペンション。 １２．ハードディスクドライブのためのアクチュエータアセンブリ上に低質量の 磁気読取／書込ヘッドを支持するためのサスペンションであって、前記サスペン ションは中央長手軸に関し実質的に相互に対称であり、 前記サスペンションをアクチュエータアセンブリに装着するためのベースプレ ートと、 サスペンションの基端でベースプレートに固定された装着領域と、 ヘッドを支持するためのロードビームとを含み、前記ロードビームは前記サス ペンションの末端に位置付けられ、ロードビームの基端に隣接して幅が最大とな り、前記ロードビームは１対の実質的に真っ直ぐな主要横方向端縁を含み、主要 横方向端縁は各々中央長手軸と０度から１０度までの角度をなし、前記サスペン ションはさらに、 前記装着領域と前記ロードビームの基端とを相互接続するスプリング区分を含 み、前記スプリング区分はほぼ平面状であり幅が最大の領域および幅が最小の領 域を規定する１対の萎んでいく横方向スプリング端縁を有し、前記幅が最大の領 域は装着領域に隣接し、前記幅が最小な領域はロードビームに隣接し、 萎んでいく横方向スプリング端縁は各々中央長手軸と約２５度よりも大きい鋭 角をなす、サスペンション。 １３．前記ロードビームはさらに、ロードビームの各主要横方向端縁の少なくと も一部に沿って延びる１対の横方向に間隔をおいて位置付けられるレール部材を 含む、請求項１２に記載のサスペンション。 １４．前記サスペンション全体の長さは約２０ｍｍから３０ｍｍであり、前記ロ ードビームの最大幅は約３．２ｍｍである、請求項１３に記載のサスペンション 。 １５．読取／書込ヘッドを支持するためのサスペンションであって、 １対の実質的に真っ直ぐな萎んでいく主要横方向端縁を有し、ロードビームの 基端において幅が最大となり、読取／書込ヘッドの取付のための末端を有し、前 記実質的に真っ直ぐな主要横方向端縁は第１の内角を規定する、長細いロードビ ームと、 前記ロードビームの基端に取付けられたほぼ台形のスプリング区分とを含み、 前記スプリング区分はロードビームに向かって細くなっていく１対の横方向スプ リング端縁を有し、前記１対の横方向スプリング端縁の間の内角は第１の内角よ りも大きい、サスペンション。 １６．前記ロードビームは基端から末端に向かって実質的に線形に変化していく 幅を有する、請求項１５に記載のサスペンション。 １７．前記ロードビームはさらに、主要横方向端縁に沿った、ロードビームの剛 性を高めるためのフランジを含む、請求項１５に記載のサスペンション。 １８．前記ロードビームはさらに、主要横方向端縁に沿って位置付けられた、ロ ードビームの剛性を高めるためのレールを含む、請求項１５に記載のサスペンシ ョン。 １９．前記レールは上方向に反っている、請求項１８に記載のサスペンション。 ２０．前記レールは逆レールである、請求項１８に記載のサスペンション。 【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成８年１２月４日（１９９６．１２．４） 【補正内容】 低質量の読取／書込ヘッドを支持するためのサスペンション 発明の分野 この発明は、一般に、ディスクドライブ内で相対的に運動する記録媒体に隣接 して読取／書込ヘッドを支持するためのサスペンションに関する。より特定的に は、ロードビームの端部に低質量のヘッドを支持するのに特に適したサスペンシ ョンであって、ロードビームの質量を低減しかつヘッドおよびサスペンションの 組合せの共鳴モード特性を向上させる修正されたジオメトリを有するサスペンシ ョンに関する。 発明の背景 より高性能の中央処理ユニット（ＣＰＵ）およびより高い帯域幅のバス構造が 開発されるに伴い、ディスクドライブの性能がコンピュータシステム全体の性能 における重要な限定要因となってきた。特定的には、電子記憶装置からデータに アクセスするためには数ナノ秒が必要なのに対し、ディスクドライブにおいては 数ミリ秒のオーダでデータアクセスの遅延が生じがちである。したがって、ディ スクドライブの記録表面のトラックからデータをより迅速に検索できるようにす るためアクチュエータのアクセス時間を減じることが必要である。 ディスクの回転軸に対しさまざまな異なった径方向の位置にデータトランスデ ューサを位置付け、よって、ディスクの各記録表面上の多くの同心円状のデータ 記憶トラックを規定するため、現在のディスクドライブは典型的には、回転する 剛体の記憶ディスクおよびヘッドポジショナを含む。このヘッドポジショナは典 型的にはアクチュエータと呼ばれる。当業界では多くのアクチュエータ構造が知 られているが、現在最も頻繁に用いられているのはインライン回転式ボイスコイ ルアクチュエータである。これは構造が簡単であり性能が高く回転軸に対して質 量バランスをとることができるためである。この質量バランスをとることができ るという性能はアクチュエータが振動から受ける影響を減じるために重要なもの である。アクチュエータを動作させそれによってディスク表面にヘッドを位置付 けるため閉ループサーボシステムが用いられる。ハードディスクドライブアクチ ュエータのサーボシステムは、サーボのサンプリング振動数またはそのエーリア シングした変形（aliased variants）においてまたはそれらの近くでヘッド構造 およびサスペンション構造の自然な機械的振動モードが生じないとき、サーボシ ステムがより高性能となるような動的特性を有している。 この読取／書込トランスデューサは、単一または２つの構成要素からなる設計 であってよいが、典型的には、運動する媒体の表面から近距離のところにトラン スデューサを支持するための空気軸受作用をする表面を有するセラミックスライ ダ構造上に装着されている。エアベアリングスライダ（空気軸受作用をするスラ イダ）と読取／書込トランスデューサとのこの組合せはまた読取／書込ヘッドま たは記録ヘッドとしても知られている。 ディスク表面から離してヘッドを支持するためエアベアリングスライダを利用 することにより、このヘッドは境界潤滑様式ではなくヘッド／ディスクの界面に おいて流体力学的潤滑様式で動作する。この流体力学的潤滑様式によって、トラ ンスデューサと媒体との間にさらに空間が生み出され、トランスデューサの効率 が減じられる。しかしながら、両者が直接接触することが避けられるために、ヘ ッドコンポーネントおよびディスクコンポーネントの信頼性および耐用寿命が大 きく向上する。 ディスクドライブ業界は、アクチュエータアセンブリの運動する質量を低減し トランスデューサがよりディスク表面近くで動作できるようにするため、着実に スライダ構造の大きさおよび質量を減じてきた。トランスデューサがよりディス ク表面近くで動作できるようになると、トランスデューサの効率が上がることに なり、すなわちトラックの密度か上げられる。スライダの大きさ（したがってそ の質量）は、普通、いわゆる標準的１００％スライダ（ミニスライダ）に関して 特徴づけられる。したがって、７０％、５０％および３０％スライダ（それぞれ 、マイクロスライダ、ナノスライダ、およびピコスライダ）という語は、標準的 ミニスライダの長さ寸法に対して適用できるパーセンテージで測った長さ寸法を 有する、より最近の低質量スライダを指す。 アクチュエータのアクセス時間を改良するためには、とりわけ、ディスクドラ イブ内のコンポーネントの望ましくないレベルでの振動を減じることが重要とな る。というのも、このような振動によってディスクドライブのサーボシステムが 不安定になりかねないからである。特定的には、サスペンションのロードビーム 構造の第１の振動のねじれモードにおける共鳴振動数が、典型的には、アクチュ エータのシーク性能を限定する第１に出会う（すなわち最も低い振動数の）共鳴 モードである。この第１の振動のねじれモードによって、達成可能なアクセス時 間が大きく限定されかねない。なぜならば、このねじれ振動によって、サーボの 安定性に悪影響が生じ得、かつ記憶ディスク上のデータトラックに対して支持さ れるデータトランスデューサがトラックからずれるように運動するからである。 このトラックからずれようとする運動によってサーボシステムの帯域幅が限定さ れかねず、データトラックの誤った読取または書込が生じないようにするため、 ねじれ振動の振幅が減衰できるよう整定時間が生じるので、データ転送の遅延が 生じ得る。 運動する構造たとえばサスペンションの質量を低減することによってシーク性 能を改良することもできよう。先行技術から公知であるように、サスペンション の質量を低減すると、この質量が減じられた構造の剛性が低くなりがちであり、 それによってこの構造の共鳴振動数に望ましくない低減が生じる。上述のように 、共鳴振動数の低減は、典型的にはサーボ性能に有害な影響をもたらす。したが って、特に第１の振動のねじれ（１Ｔ）モードにおいてよりよい共鳴振動数特性 を有する質量が低減されたサスペンション構造が必要なのである。 以下に説明するこの発明は、特に第１のねじれ共鳴モードに関してモードの性 能が改良されたロードビームを有しており、よって、高性能ディスクドライブア プリケーションにおいて使用するのに特に適しているインライン回転式アクチュ エータのための質量が低減されたサスペンションを提供する。 発明の概要 この発明によるサスペンションアセンブリは、著しく狭くなったロードビーム 構造を支持する先細りスプリング区分を組入れている。この発明は、先行技術の サスペンション設計に比べ実質的に優れた性能を有している。このサスペンショ ンの質量は著しく減じられているが、第１の横方向振動モードおよび第１の曲げ 振動モードなどの他のモードにおいて比例した犠牲を生じることなく、第１のね じれモードにおける共鳴振動数がほぼ２倍となっている。 この発明の一般的な目的は、先行技術の限界および欠点を克服する、ディスク ドライブ内の低質量読取／書込ヘッドを支持するための改良されたロードビーム 構造を備えた偏平なサスペンションを提供することである。 この発明のより特定的な目的は、先行技術によるサスペンションよりも第１お よび第２のねじれ共鳴振動数が高い、インライン回転式アクチュエータ内の超小 型のスライダを支持するためのサスペンションを提供することである。 この発明のまたさらなる目的は、回転慣性が大きく低減され、質量が低減され たサスペンションを提供することである。 この発明のまたさらなる目的は、改良された動的特徴を有し、回転慣性が低減 され、幅が減じられ穴があいたロードビームを含み、改良されたシーク性能を提 供できる、インラインの質量バランスがとられた回転式ボイスコイルアクチュエ ータアセンブリを提供することである。 この発明のこれらのおよび他の目的、利点、局面、および特徴は、添付の図面 に関連して提示される好ましい実施例の以下の詳細な説明を考慮するとより十分 に理解されるであろう。 図面の簡単な説明 図１Ａは、先行技術のピコスライダサスペンションの略平面図である。 図１Ｂは、図１Ａの切断線１Ｂ−１Ｂに沿ってとられた、図１Ａのサスペンシ ョンの断面図である。 図２は、先行技術のピコスライダサスペンションの略側面図である。 図３Ａは、この発明の好ましい実施例に従った上方向に反ったレールを有する ピコスライダサスペンションの略平面図である。 図３Ｂは、図３Ａの切断線３Ｂ−３Ｂに沿ってとられた、図３Ａのサスペンシ ョンの断面図である。 図４は、図３Ａの上方向に反ったレールを有するピコスライダサスペンション の略側面図である。 図５Ａは、この発明の別の好ましい実施例に従った、逆のレールを有するピコ スライダサスペンションの略平面図である。 図５Ｂは、図５Ａの切断線５Ｂ−５Ｂに沿ってとられた、図３Ａのサスペンシ ョンの断面図である。 図６は、図５Ａの上向きに反ったレールを有するピコスライダサスペンション の略側面図である。 図７Ａおよび図７Ｂは、それぞれ、図１の先行技術のピコスライダサスペンシ ョンおよぴ図３のピコスライダサスペンションの、振動数応答特性の線図的表現 である。 詳細な説明 図１Ａは、ディスク表面（図示せず）に隣接する３０％スライダ１５（「ピコ スライダ」としても公知である）を支持するための、先行技術の上方向に反った レールを有するサスペンション１０を示す。図示されたサスペンション１０は一 般に、「タイプ８」サスペンションとして公知であり、ピコスライダと共に使用 するよう適合されてきた。 サスペンション１０は、（片持端部で）サスペンションの装着区分２１に従来 的に取付けられたベースプレート２０を含む。ベースプレート２０は、最終的に 、サスペンション１０をアクチュエータアーム（図示せず）にしっかりと装着す るよう使用される。典型的に、ベースプレートはアクチュエータアーム上に据え 込まれる。スプリング（または蝶番）区分２２は装着区分２１に固定されて、装 着区分２１をロードビーム２４と相互接続する。スプリング区分２２は、スプリ ング区分２２のばね定数を調整するために、１または複数の中央の空洞を規定し てもよい。スプリング区分２２の厚さもまた、ばね定数を調整するために変更が 可能である。サスペンション２０は小さなツーリングホール２７を有し、これは 、サスペンションの正確な製造およびアセンブリを容易にするために使用される 。 ロードビーム２４は、ロードビームの剛性を高めるために、その両側に沿って 上向きに反ったレール２８の対を組み込む。レール２８の構成はビーム２４の共 鳴振動数に影響を及ぼすため、レール２８は、サスペンション２０の共鳴振動数 を、とりわけ、サーボのサンプリング振動数から引き離すことによって、サーボ システム性能を改良するように設計することが可能である。明らかに、このロー ドビームは特に、共鳴特性を改良する目的でスプリング区分の近くで広がるよう 、先行技術の教示に従って設計されている。ロードビーム２４の基端は、約６． ２ｍｍ幅である。図１Ｂは、上方向に反ったレール２８の（図１Ａの切断線１Ｂ −１Ｂに沿ってとられた）断面図を示す。 ここで図２に移って、サスペンション１０はたわみ部２９を含む。たわみ部２ ９は、ジンバルを備え、ロードビーム２４の末端に取付けられて、ロードビーム に対してヘッド１５を相互接続しかつ旋回可能に支持する。スプリング区分２２ は随意、予め曲げられてもよく、それにより動作中、サスペンション１０がヘッ ド１５に対してディスク表面の方向に負荷力をかけながらも比較的真っ直ぐな状 態を保つようにし、したがって、原位置のサスペンション構造に必要とされるＺ 軸（高さ）のクリアランスが減じられる。 図３Ａに示すように、この発明の好ましい実施例においては、サスペンション ４０は約２０〜３０ｍｍの（長手方向の）全長を有し、サスペンションの最も広 い領域においては約６．０ｍｍ程度の横幅を有する。このサスペンションの最も 広い領域は、装着区分４１とスプリング区分４２との接合部（すなわち、装着区 分４１のベースプレート２０への末端の溶接取付点であって、これは、接合部を 有効に規定する）またはその近辺に位置付けられることが好ましい。 ロードビーム４４の基端は（レール４８を除いて）約３．２ｍｍの幅を有し、 末端に向かって狭まる。図示された実施例においては、ロードビームの横側は、 ロードビームの中央の長手方向の軸に対して、約１０度より小さい、好ましくは 約６度の角度をなす。ロードビームの（通常レールが終端する）基端および末端 の双方を先行技術のピコスライダ設計に比べて狭めることにより、ねじれ共鳴振 動数は増し、かつ、ヘッドおよびサスペンションシステムの質量および慣性は減 少する。しかし、そのような構造上の変化は、第１の横方向のモードの共鳴振動 数の望ましくない減少につながりやすい。この発明に従って、スプリング区分の 幅は、横方向の共鳴モードの共鳴振動数における上述の減少を相殺するために、 その基端において幅が広げられる。このように、ロードビームとスプリング区分 との相対幅寸法は、横方向モードにおいて十分な性能を維持しながらもはるかに 改良されたねじれモード性能を達成するのに重要である。スプリング区分の横側 は、ロードビームの横側に対して、約１５９度の鈍角をなす。 主要サスペンション本体部材は、約６０〜７５ミクロン程度の厚さを有する平 らなステンレス鋼板から化学的にエッチングされる。このエッチング操作によっ て、装着区分４１、（空洞４６を含む）スプリング区分４２、（ツーリングホー ル２７を含む）ロードビーム４４、およびレール４８を最終的に含む領域が規定 される。現時点においては化学的エッチングが最も好ましいが、他の形成方法、 たとえばスタンピング、イオンミリング、ミクロ機械加工等が用いられてもよい 。エッチングされたサスペンション本体部材は、長手方向の中央軸について実質 的に相互に対称であって、ロードビームの平面にほぼ直交する運動から生じるね じれ振動を減少または排除する。 サスペンション４０をエッチングした後に、機械的形成操作を用いて、ロード ビーム構造４４の平らな領域にほぼ垂直な特徴、この場合、横方向に間隔をおい て配された上方向に反ったレール４８の対が与えられる。レール４８は、図３Ｂ および図４にそれぞれ、断面図および側面図で示される。典型的なレール寸法は 高さが０．２〜０．３ｍｍであり、全体的な横方向の幅がおよそ０．０５ｍｍで ある。図示されたレール構造は特に製造が簡単であるが、付加的な剛性が求めら れる場合には、より複雑なＵ形、Ｖ形、または他のレール構造で置換えられても よい。別個のベースプレート２０が従来の方法で製造され（たとえば、進行中の ダイ操作内で丸くされるかまたは形成され）、接着またはスポット溶接等の従来 の手段でサスペンション４０に取付けられる。ベースプレートは約５．１ｍｍ幅 である。動作状態においては、ロードビーム４４の上面の平均高さはディスク表 面から約０．４３ｍｍを超えることはない。 従来のジンバル、たとえば（図３Ａ内の隠れた部分にある）たわみ部４５が、 ロードビーム４４の末端に固定される。但し、ジンバルは、たとえば化学的エッ チングプロセスを介して、ロードビーム４４と一体の部品として随意、形成され てもよい。好適なたわみ部は、典型的に、１．７×１０．０ｍｍ程度の平面寸法 および２５〜３０ミクロン程度の厚さを有する。このたわみ部は従来的にエッチ ングで形成されて、たとえば接着剤またはスポット溶接等の従来の先行技術の手 段を使用して、ロードビーム４４の下側に取付けられる。ロードボタン（図示せ ず）は典型的にたわみ部上に形成されるかまたは、随意、ロードビーム４４の端 部近辺に形成されて、ヘッド１５がその周辺でジンバルで支えられる点が構築さ れる。最後に、読み書きヘッド１５をたわみ部の下側に取付ける前に、サスペン ション４０はスプリング区域４２内で塑性により変形されるかまたは予め曲げら れる。これにより、結果として得られるサスペンション４０がドライブ内に装填 された際に、ロードビーム４４は、ヘッド１５に対してディスク表面（図示せず ）の方向に復原力を与えながらも低姿勢を維持するよう、本質的に平らでディス ク表面に対しほぼ平行な状態を保つようになる。図３Ａに示される好ましい実施 例においては、ロードビームはまた、ロードビームレール４８間に随意、均圧穴 ４９を含み、これはさらに、ロードビーム構造の質量を減じる。 ピコスライダのためのサスペンションの共鳴モード特性を改良するために、広 げられたロードビーム構造を用いるよう指示する先行技術の教示とは対照的に、 本発明は、ベースプレート幅よりも狭い最大幅を有するはるかに狭いロードビー ムを代わりに用いる。これは、少なくともロードビームの横方向の縁部分に沿っ て間隔をおいて配されたレール構造を含むものである。驚くべきことに、ロード ビームを大いに狭めることは、ビームの共鳴振動数を有害に変化させることはな く、（ここに開示されたようにスプリング区分が同時に広げられた場合には）ね じれモード共鳴振動数を大いに増加させる。第１の横方向の共鳴振動数は僅かに 減少するものの、当業者には理解されるように、結果として得られる横方向モー ドの応答は、達成可能なアクチュエータ性能を著しく制限するものではなく、反 対に、改良されたねじれモード応答は、達成可能なアクチュエータ性能を大いに 改善するものである。表１は、有限の構成要素のモデリングの結果を示し、これ は、それぞれ図１Ａのピコスライダ１０および図３Ａのピコスライダ４０の、そ れぞれのモードの共鳴振動数を表わす。 表１ また、先細りしたスプリングおよび狭いロードビーム構成によって、サスペン ションの質量が、およびしたがって、結果として得られるアクチュエータ構造の 慣性の極性モーメントが大いに減じられる結果となり、これは、シークタイムを 減じる。表２に、図１Ａのピコスライダ１０および図３Ａのピコスライダ４０の 質量および慣性をそれぞれ示す。表２の略語ＨＧＡは、ヘッド・ジンバルアセン ブリ（ＨＧＡ）を表わし、これは典型的に、ヘッド、たわみ部、スライダ、およ び時にヘッドにつながるワイヤを含む。慣性はＺ軸に対してとられ、このＺ軸は ベースプレートの中央の穴をベースプレートの主平面に直交する方向に貫通する ものと仮定する。ディスクドライブ内のアクチュエータ構造には通常複数のサス ペンションが装着されるため、実際の質量の減少は典型的に、この表に示すより はるかに大きい。さらに、アクチュエータは通常質量バランスがとられているた めに、このバランスするための質量が、同じ量だけ減じられ得る。これは、質量 の減少を有効に倍加する。また、サスペンションは回転式アクチュエータ構造の 末端に位置付けられるため、慣性効果は質量減少のみから考えられるよりもより 大きなファクタで減じられる。したがって、この発明に従ったサスペンションは 、実世界の応用において大いに改良されたアクチュエータ性能を提供するもので ある。 表２ 高い体積効率が主要な設計目標であるディスクドライブの応用において、サス ペンション内に逆のレールを有するロードビームおよび予め曲げられたスプリン グ区分を用いて、従来の上方向に反ったレールを有するサスペンション設計に比 べて必要とされるｚ軸のクリアランスを減じるようにすることも可能である。こ うすれば、ディスクとディスクの間隔をより狭くすることができる。このような 状況において、機械的サスペンション構造は、好適なモード性能を維持するため に、レールの深さはあまり修正するべきではない。図５Ａは、ディスクとディス クとの間に非常に狭い間隔を要求するドライブ内で使用するための、本発明の別 の好ましい実施例を示す。サスペンション５０は逆のレール５８と予め曲げられ た蝶番区分４２とを含み、これら双方はディスクとディスクとの間隔を改善する のに役立っている。この発明の下方向に反ったレールを有する実施例は、レール ５８が、支持されるスライダ１５のジンバルと決して連結することのないように 、末端において付加的な幅（かつしたがって付加的な質量）を必要とするが、そ れでも、先行技術の逆のレールを有するピコスライダ設計に比べて、モードの性 能および質量の減少という点ではるかに改善される。この下方向に反ったレール を有する実施例において、空洞４９の寸法は重要であって、質量および半径方向 の空気の流れによって引き起こされる振動の双方を減じるよう注意深く制御され ねばならない。穴区域４９は、ロードビーム区域の約２５％を下回ってはならな い。レール４８は、図５Ｂおよび図６に、それぞれ、断面図および側面図で示さ れる。 図７Ａおよび図７Ｂは、図１および図３のピコスライダサスペンションの振動 数応答特性を示す。これらの振動数対ゲインのグラフは、ボード（Ｂｏｄｅ）図 とも称される。このボード図は、有限の構成要素のモデリングを介して、図示さ れたサスペンションのそれぞれについて同じ仮定を用いることによって得られた 。但し、（図１Ａおよび図３Ａにおいて最もよく示される）ロードビームジオメ トりの重要なパラメータは、市販のピコスライダサスペンション（これは、先行 技術の教示に従ってモードの性能を改善するように、ジンバル構造の剛性を減じ かつロードビームを広げることによって３０％スライダと共に使用するよう適合 されたナノスライダサスペンションであると思われる）と、この発明の好ましい 実施例に従った（すなわち、狭められたロードビームおよび広げられたスプリン グ区分を有する）ピコスライダサスペンションとから、それぞれ、導き出された ものである。 図７Ａおよび図７Ｂのボード図はそれぞれ、１Ｔ、２Ｔ、３Ｔ、およびＳＷＡ Ｙ記号によって示される、存在する振動の同じモードを示し、これら記号は、そ れぞれ、振動の第１のねじれ、第２のねじれ、第３のねじれ、および第１の横方 向（すなわち揺れ）モードを表わす。図３のサスペンションは明らかに、はるか に高いねじれ共鳴振動数を有するが、第１の横方向の共鳴振動数は幾分低めであ る。しかし、この横方向の共鳴は、十分、受入可能なパラメータの範囲内である 。 明らかに、この発明に従って、ねじれ共鳴モードは、そのモードがアクチュ エータシステム共鳴モード（ベアリングモード、アームおよびコイル曲げモード 等の複雑な関数であって、演繹的に測定され得るものであり、また、典型的に、 振動数において、先行技術のサスペンション設計における第１のねじれモードの 共鳴振動数よりもはるかに高い）にほぼ一致する点まで（振動数を）増すことが 可能である。したがって、この発明の別の局而に従えば、単一のノッチフィルタ が、振動のアクチュエータシステムモードに加えてねじれモード振動の双方をノ ッチするのに使用可能である。 要約すれば、本発明は、インライン回転式アクチュエータアセンブリ内で動作 する低質量スライダと共に使用するための、改良されたモード性能を有する質量 が減じられたサスペンション設計を提供する。この発明の教示に従ったサスペン ションは、改良されたモード性能を通じて、よりよいアクチュエータサーボシス テム性能を提供する。全体的な質量の減少とサーボシステム性能の改良との組合 せによって、先行技術のピコスライダ設計を組み込むドライブに比べて、改善さ れたシーク性能が提供される。したがって、この発明は、より高性能のディスク ドライブの設計および製造を容易にする。 本発明は現時点において好ましい実施例、すなわち、ピコスライダまたはサブ ピコスライダと共に使用されるよう最適化されたサスペンションについて記載さ れたが、当業者には明らかなように、この発明は、幾分大きめのスライダ、たと えばナノスライダ等と共に使用するよう設計されたサスペンションにも適用され 得る。したがって、この開示が限定を加えるものと解釈されてはならない。上の 開示を読まれることにより、当業者にはさまざまな代替例および修正例が確実に 明らかとなろう。したがって、添付の請求の範囲は、この発明の真の精神および 範囲内に包含されるすべての代替例および修正例を網羅するものと解釈されたい 。 【図７】【手続補正書】 【提出日】平成９年１１月１４日（１９９７．１１．１４） 【補正内容】 【図７】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．アクチュエータアセンブリ上に磁気読取／書込ヘッドを支持するためのサス ペンションであって、前記サスペンションは、 アクチュエータアセンブリにサスペンションを装着するためのベースプレート を含み、前記ベースプレートはベースプレートの幅を規定し、前記サスペンショ ンはさらに、 ベースプレートに固定されサスペンションの基端に位置付けられる装着領域と 、 装着領域の末端に固定されるスプリング区分とを含み、前記スプリング区分は 、ほぼ平面状であり、幅が最大である領域および幅が最小である領域を規定する １対の拡がっていく横方向端縁を有し、幅が最大である領域は装着領域に隣接し て配置され、幅が最小である領域はスプリング区分の末端に配置され、前記サス ペンションはさらに、 ヘッドを支持するためのロードビームを含み、前記ロードビームは、スプリン グ区分の末端に固定され、最大の幅がベースプレートの幅よりも小さい、サスペ ンション。 ２．前記ロードビームはさらに、ロードビームの剛性を高めるための上方向に反 ったレール手段を含み、前記上方向に反ったレール手段は、ロードビームの各横 方向端縁に沿って少なくとも部分的に延びている、請求項１に記載のサスペンシ ョン。 ３．前記ロードビームはさらに、ロードビームの剛性を高めるための逆のレール 手段を含み、前記逆のレール手段は、ロードビームの各横方向端縁に沿って少な くとも部分的に延びている、請求項１に記載のサスペンション。 ４．前記ロードビームはさらに、第１の区域を規定する外部境界と空洞を規定す る内部境界とを含み、前記内部境界は第１の区域の約２０％よりも大きい区域を 囲む、請求項３に記載のサスペンション。 ５．前記空洞はほぼ台形である、請求項４に記載のロードビーム。 ６．ディスクドライブ内で使用するためのインライン回転式アクチュエータアセ ンブリのための改良された片持サスペンションであって、前記サスペンションは 基端および末端を有し、 基端にある装着領域と、 装着領域に固定され、アクチュエータアセンブリにサスペンションを装着する ためのベースプレートと、 装着領域の末端に固定されたスプリング区分とを含み、前記スプリング区分は ほぼ台形であり、装着領域に隣接する幅が最大の領域とスプリング区分の末端に ある幅が最小の領域とを有し、前記スプリング区分はサスペンションの側部に配 置された横方向端縁を有し、前記サスペンションはさらに、 スプリング区分の末端に固定された長細いほぼ平面状のロードビームを含み、 前記ロードビームの横方向端縁はサスペンションの側部に配置され、 前記ロードビームの前記横方向端縁は、サスペンションの側部のスプリング区 分の横方向端縁と鈍角をなす、サスペンション。 ７．前記ロードビームはさらに、ロードビームの各横方向端縁の少なくとも一部 に沿って延びる１対の横方向に間隔をおいて位置付けられたレール部材を含む、 請求項６に記載のサスペンション。 ８．サスペンションは、中央長手軸に関し実質的に相互に対称である、請求項７ に記載のサスペンション。 ９．アクチュエータアセンブリ上に磁気読取／書込ヘッドを支持するためのサス ペンションであって、前記サスペンションは、 サスペンションをアクチュエータアセンブリに装着するためのベースプレート と、 サスペンションの基端でベースプレートに固定される装着領域と、 ヘッドを支持するためのロードビームとを含み、前記ロードビームはサスペン ションの末端に位置付けられサスペンションの基端に隣接して幅が最大となり、 前記サスペンションはさらに、 装着領域とロードビームの基端とを相互接続するスプリング区分を含み、前記 スプリング区分は、ほぼ平面状であり、幅が最大の領域および幅が最小の領域を 規定する１対の拡がっていく横方向端縁を有し、前記幅が最大の領域は装着領域 に隣接し、前記幅が最小の領域はロードビームに隣接し、幅が最小の領域の幅は 、ロードビームの最大の輻に実質的に等しい、サスペンション。