JP2001353660A - スラリの再生方法及び再生システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】良好なスライス効率を安定して維持することが
できるスラリの再生方法及び再生システムを提供するこ
と。 【解決手段】ワイヤソーのワイヤ列１１に供給したスラ
リから、第１デカンタ３１で再生使用可能な砥粒を分離
した後、第２デカンタ３２で再生可能な二次分離液と廃
棄する切屑とに分離する。第２デカンタ３２と調合タン
ク３０との間に、第２デカンタ３２側から脱泡装置５３
及び二次分離液の性状を測定する性状センサ３７を設
け、脱泡装置５３で二次分離液中から気泡を除去した
後、この性状センサ３７の信号に基づいてコントローラ
３９により第２デカンタ３２から排出される二次分離液
と分散液とを適宜、交換する。そして、調合タンク３０
で、第２デカンタ３２で分離した二次分離液又は分散液
と、第１デカンタ３１で分離した砥粒とを調合して、再
生スラリを生成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤソー等に
おいて使用されるスラリを管理するスラリ管理システム
におけるスラリの再生方法及び再生システムに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ワイヤソーにおいては、複数の
加工用ローラ間に１本のワイヤが所定ピッチで巻回され
ている。そして、このワイヤが走行されながら、ワイヤ
上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、この状態でワイ
ヤに対し被切削体が押し付け接触されて、その被切削体
がウエハ状に切断加工されるようになっている。

【０００３】この種のワイヤソーには、スラリを管理す
るためのスラリ管理システムが付設されている。このス
ラリ管理システムにおいては、調合タンク内で砥粒およ
び分散液が混合されてスラリが調製され、そのスラリが
ワイヤソーに供給されるようになっている。

【０００４】また、ワイヤソーで使用されたスラリは、
スラリ管理システムの分離回収機構に移送されて、その
分離回収機構の第１分離回収段階で、使用可能な砥粒と
一次分離液とに分離され、固形分として砥粒が回収され
る。さらに、第１分離回収段階で分離された一次分離液
は、分離回収機構の第２分離回収段階で、切屑などの不
純物と使用可能な二次分離液とに分離され、この二次分
離液が回収される。そして、回収された砥粒と二次分離
液（本発明の分散液に対応する）とが調合タンクに戻さ
れて、未使用の砥粒及び未使用の分散液と調合され、ワ
イヤソーに再び供給されて再使用される再生スラリが生
成される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、使用可能な
分散液と切屑等の微小な固形物との分離は、デカンタな
どの遠心分離機により行われるため、難しく、再生した
分離液中に切屑等の微小な固形物が混入する。微小な固
形物が混入すると、再生したスラリの性状、例えば比重
や粘度が変化する。この微小な固形物を含んだ分離液を
調合タンクで砥粒と調合しても、その比重や粘度は変化
したままであるため、調合して生成した再生スラリをワ
イヤソーのワイヤ群に供給すると、ワイヤソーのスライ
ス効率が不安定となるという問題があった。

【０００６】なお、特開平１１−３０９６７４号公報に
は、二次分離液の性状を測定するセンサが設けられ、こ
のセンサによって第２分離回収段階の分離効率を把握
し、効率よくスラリの分離回収ができるというスラリ管
理システムが開示されている。

【０００７】本発明は、上述の課題に鑑みてなされ、良
好なスライス効率を安定して維持することができるワイ
ヤソーに供給されるスラリの再生方法及びその再生シス
テムを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記問題
点を解決するために、請求項１に記載の発明は、分散液
に砥粒を分散してなり、ワイヤソーのワイヤ群に供給さ
れた使用済みスラリを、分離手段に移送して、そのスラ
リから、使用可能な砥粒を分離するとともに、切屑を除
去した分離液を分離し、この分離された使用可能な砥粒
と分離液とを調合タンクに導入し、未使用の砥粒または
未使用の分散液と調合して再生スラリを生成するスラリ
の再生方法において、前記切屑が除去された分離液の性
状に応じて、この分離液の全部又は一部を、未使用の分
散液と交換するようにしたものである。

【０００９】従って、調合タンクに導入されようとして
いる二次分離液の性状を測定できるので、その測定値に
応じて二次分離液と分散液とを交換することができる。
そのため、スラリの分散液と砥粒との比率を適正に維持
でき、良好なスライス効率を安定して維持することがで
きるとともに、無駄なく経済的に分離液と分散液とを交
換することができる。

【００１０】請求項２に記載の発明は、分散液に砥粒を
分散してなり、ワイヤソーのワイヤ群に供給された使用
済みスラリを回収する回収装置と、この回収装置によっ
て回収された使用済みスラリから、使用可能な前記砥粒
を分離する第１の分離手段と、この第１の分離手段で砥
粒が除かれた一次分離液から切屑を除去して、二次分離
液を分離する第２の分離手段と、分離された前記砥粒と
二次分離液とを調合して、再び前記ワイヤ群に供給する
ためのスラリを調合するようにした調合タンクとを具備
したスラリの再生システムにおいて、前記第２の分離手
段と調合タンクとの間の経路に、この二次分離液の性状
を測定するセンサを設けるとともに、該センサと前記第
２の分離手段との間に脱泡装置を設けたものである。

【００１１】従って、第２の分離手段で分離する際など
に発生した気泡が多量に二次分離液中に混在したとして
も、その二次分離液中の気泡を除去できる。従来では、
二次分離液中に気泡が混在していたために、比重や粘度
の測定値が実際とは異なって検出されることがあった
が、このようなセンサの計測誤差がほとんどなくなる。
そのため、二次分離液と分散液との交換をより適切に行
うことができる。従って、良好なスライス効率を安定し
て維持することができるとともに、無駄なく経済的に分
離液と分散液とを交換することができる。

【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
のスラリの再生システムにおいて、前記脱泡装置は、分
離液が流通する大気に臨む長い通路を有するものであ
る。従って、大気に臨む長い通路を分散液が通過する
で、分散液中に混在している気泡が自然に除去される。
そのため、簡単な構成で、二次分離液中の気泡を除去す
ることができる。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
のスラリの再生システムにおいて、前記脱泡装置は、交
互に前記板部材が列設して前記通路が形成されている槽
であるものである。従って、大気に臨む長い通路が、槽
の内部で蛇行して形成される。そのため、大気に臨む長
い通路を、簡単な構成で、かつコンパクトに形成するこ
とができる。

【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項２に記載
のスラリの再生システムにおいて、前記脱泡装置は、前
記密閉可能な脱泡タンクと、この脱泡タンク内を減圧す
る真空ポンプとを備えているものである。従って、密閉
した脱泡タンクを真空引きすることで、二次分離液から
気泡が強制的に除去される。自然に脱泡する場合に比べ
短時間で気泡を除去することができるので、二次分離液
の性状を即座に把握することができる。

【００１５】請求項６に記載の発明は、請求項２〜５の
何れかに記載のスラリの再生システムにおいて、前記セ
ンサが、粘度及び比重の少なくとも１つを検出するセン
サであるものである。従って、二次分離液中の気泡を除
去することによって、センサの誤作動がほとんどなくな
り、二次分離液の性状をより的確に測定することができ
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】（第１実施の形態）以下、本発明
を具体化したスラリの再生システムの第１の実施形態を
図１及び図２に従って説明する。

【００１７】本実施の形態において、三角形領域を形成
する３本の加工用ローラ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に
は、一本のワイヤを所定ピッチで連続して巻き回したワ
イヤ群としてのワイヤ列１１が、互いに並行に張設され
ている。被切削体１６は２本のローラ１２ａ、１２ｂ間
に形成されたワイヤ列１１の水平面の上方側に配置さ
れ、ワイヤ列１１に向かうように下降される。

【００１８】スラリ供給ノズル１３は、ワイヤ列１１の
上方に配置され、ワイヤ列１１と被切削体１６との間に
スラリを供給するようになっている。ローラ１２ａ〜１
２ｃにより形成された三角形領域の内部には、スラリを
受け止めるための受槽１４が設けられている。この受槽
１４にはスラリ槽１５が接続され、このスラリ槽１５の
内部には撹拌機１５ａが配設されている。

【００１９】スラリ槽１５には、調合タンク３０にて調
合された再生スラリが、この調合タンク３０に供給され
るための管路４７と、スラリ槽１５のスラリをスラリ供
給ノズル１３に供給するための供給管１９と、スラリを
後述の回収槽２２に排出するための排出管路２０とが接
続されている。管路４７には、ポンプ５５及びバルブ４
８が配設され、供給管１９にはポンプ１８及びバルブ１
７が配設され、排出管路２０にはポンプ５６及びバルブ
２４が配設されている。なお、バルブ４８，１７，２４
は、コントローラ１０によって開閉制御される。

【００２０】図２に示されている回収槽２２には、複数
（図では１つだけ示されている）のワイヤソーからの排
出管路２０が接続されており、使用済みのスラリが回収
される。回収槽２２は、管路２３を介して第１の分離手
段としての第１デカンタ３１に接続されており、この管
路２３には、バルブ５０とポンプ２５とが配設されてい
る。

【００２１】第１デカンタ３１は、スクリュー４０と、
大きな粒子を排出する固形物排出口４１と、微小粒子が
混在している分離液を排出する液排出口４２とを有して
いる。そのため、この第１デカンタ３１は、スクリュー
４０の回転により生じた遠心力を用いて、その使用済み
スラリを固形成分である使用可能な砥粒と、微小粒子が
混在している一次分離液とに分離して、それぞれを固形
物排出口４１又は液排出口４２から排出させる。

【００２２】液排出口４２から排出され、微小粒子が混
在している一次分離液は、管路２６を介して第２の分離
手段としての第２デカンタ３２に導入される。この第２
デカンタ３２は、第１デカンタ３１と同様な構造をして
おり、第２デカンタ３２のスクリュー４０を回転させる
ことにより、第１デカンタ３１から導入され、微小粒子
が混在している一次分離液を、固形成分である微小粒子
と二次分離液とに分離する。分離された微小粒子は、廃
棄管路２９を介して廃棄タンク５１内に廃棄される。

【００２３】第２デカンタ３２の液排出口４２は、管路
３５ａ，３５ｂを介して管路２７に接続されている。こ
の管路３５ａ，３５ｂ間には、脱泡装置５３が設けられ
ているとともに、管路３５ｂには、ポンプ３６、性状セ
ンサ３７、切換バルブ３３が設けられている。

【００２４】本実施の形態における脱泡装置５３は、上
方が大気に臨んだ槽である。この槽の側壁下部には、管
路３５ａの出口側が接続され、これと対向する側壁の近
傍の底面には管路３５ｂが接続されている。脱泡装置５
３内には、上側板部材６４と下側板部材６５とが交互に
配置されて、蛇行通路が形成されている。これにより、
管路３５ａからの二次分離液は、脱泡装置５３内を蛇行
して流通し、脱泡装置５３の下部の管路３５ｂに至る。

【００２５】性状センサ３７は、比重計又は粘度計であ
り、第２デカンタ３２で分離され脱泡装置５３を通過し
た二次分離液の性状、すなわち比重又は粘度を測定す
る。この性状センサ３７の出力信号は、コントローラ３
９に供給される。切換バルブ３３は、通常、第２デカン
タ３２からの二次分離液が調合タンク３０に供給される
切換状態にあるが、二次分離液を廃棄させるために管路
３５ｂを遮断し、第２デカンタ３２の液排出口４２と廃
棄管路５２とを連通させる状態に切り換えられる。

【００２６】未使用の分散液が収容されたタンク４３
は、管路４９を介して調合タンク３０に接続されてい
る。管路４９には、タンク４３側からポンプ４５、切換
バルブ３４が配設されている。切換バルブ３４は、切換
バルブ３３と連動して切り換わり、通常連通している管
路４９を遮断し、管路３５ｂ及び管路２７を介してタン
ク４３からの分散液を調合タンク３０に供給する。な
お、切換バルブ３３，３４及びポンプ４５は、コントロ
ーラ３９の信号により作動される。

【００２７】調合タンク３０には、第１デカンタ３１で
分離された砥粒が、管路２７を介して導入されるととも
に、第２デカンタ３２で分離された二次分離液が管路３
５ａ，３５ｂ及び管路２７を介して供給される。また、
調合タンク３０には、図示しないホッパから未使用の砥
粒が供給されるが、この未使用の砥粒の供給量は、調合
タンク３０に設けられた図示しない比重計の出力信号に
基づいて制御される。従って、調合タンク３０では、未
使用の砥粒と、管路２７を介して供給された再利用の砥
粒と、管路３５ｂを介して供給された二次分離液と、管
路４９を介して供給された未使用の分散液とが調合され
る。なお、調合タンク３０は、攪拌機３０ａを有してお
り、この攪拌機３０ａによって、均一に砥粒が分散され
て調合が行われるようにスラリが攪拌される。

【００２８】調合タンク３０で調合された再生スラリ
は、管路５７を介して供給槽５８に供給され、ここから
各々のワイヤソーの管路４７へと配給される。次に、本
実施の形態の作用について説明するが、本実施の形態で
用いられるスラリは、ポリエチレングリコールなどの水
可溶性からなる分散液に、例えば５〜３０μｍの粒径の
砥粒を分散させて成る。

【００２９】ワイヤソーにおいて、被切削体１６の切断
加工が開始されると、スラリがワイヤソー内で循環され
て、ワイヤソーのワイヤ列１１上に供給される。ワイヤ
列１１に供給された使用済みスラリは、受槽１４に受け
止められた後、スラリ槽１５に至る。このスラリ槽１５
では、図示しないフィルタによって、砥粒よりも大きな
切屑が除去される。その後、スラリ槽１５中の使用済み
スラリは、回収槽２２内へ定期的に回収され、その回収
量に対応するように、調合タンク３０からスラリ槽１５
内に管路４７を介して再生スラリが供給される。

【００３０】回収槽２２に至った使用済みスラリは、管
路２３を介して第１デカンタ３１に搬送され、ここで、
使用可能な砥粒と、この砥粒よりも微小の固形物を含む
一次分離液とに分離される。そして、分離された砥粒
は、管路２７を介して調合タンク３０に至るとともに、
分離された一次分離液は、管路２６を介して第２デカン
タ３２に至る。第２デカンタ３２に至った一次分離液
は、微小粒子と再生可能な二次分離液とに分けられ、微
小粒子は廃棄管路２９を介して廃棄されるとともに、使
用可能な二次分離液は、管路３５ａを介して脱泡装置５
３に供給される。

【００３１】脱泡装置５３に至った二次分離液は、脱泡
装置５３の通路３８を通過しながら、上方の大気に気泡
が放出され、管路３５ｂに至るころには、二次分離液中
の気泡がほとんどすべて除去される。そして、脱泡装置
５３から排出された二次分離液は、ポンプ３６により加
圧されて管路３５ｂを流れ、性状センサ３７に至り、性
状センサ３７でその性状が測定された後、切換バルブ３
３を介して調合タンク３０に供給される。調合タンク３
０では、二次分離液が、第１デカンタ３１で分離された
砥粒や未使用の砥粒及び未使用の分散液と調合されて、
管路４７を介して、各スラリ槽１５へと供給される。

【００３２】前記性状センサ３７からの信号に基づい
て、二次分離液の性状が所定範囲（例えば比重１．０〜
１．０５あるいは粘度５０ｃｐから１２０ｃｐ）外の性
状を示したときには、コントローラ３９が切換バルブ３
３，３４及びポンプ４５に信号を供給し、切換バルブ３
３，３４を切り換えるとともに、ポンプ４５を稼動させ
る。これにより、第２デカンタ３２により分離された二
次分離液は廃棄されるとともに、未使用の分散液がタン
ク４３から調合タンク３０へと供給される。そして、調
合タンク３０では、新規な砥粒と、第１デカンタ３１で
回収された砥粒と、未使用の分散液とが調合されて、各
スラリ槽１５へと供給される。

【００３３】そして、性状センサ３７から二次分離液の
性状が所定の範囲内となったとコントローラ３９が判別
した場合には、コントローラが切換バルブ３３，３４を
戻すとともに及びポンプ４５を停止させ、再び第２デカ
ンタ３２から排出される二次分離液を調合タンク３０に
供給する。その後も、切換バルブ３３，３４の切り換え
及びポンプ４５の稼動を、性状センサ３７からの信号に
応じて切り換える。

【００３４】上記実施形態のスラリの再生方法及び再生
システムによれば、以下のような特徴を得ることができ
る。 （ａ）本実施の形態では、第２デカンタ３２で分離され
た二次分離液の性状を測定する性状センサ３７を設け、
この性状センサ３７からの信号により、二次分離液と未
使用の分散液とを交換するようにした。そのため、良好
な性状の再生スラリをほとんど常に生成することがで
き、安定したスライス効率を維持した状態で、ワイヤソ
ーを稼動させることができる。

【００３５】（ｂ）本実施の形態では、第２デカンタ３
２と調合タンク３０と間の管路３５ｂに性状センサ３７
を設けるとともに、第２デカンタ３２と性状センサ３７
との間に脱泡装置５３を設けた。そのため、第２デカン
タ３２で分離する際などに混入した気泡が、性状センサ
３７に至るまでに除去される。従って、二次分離液中に
気泡が含まれていたために生じた性状センサ３７の誤作
動がなくなり、計測誤差がなくなる。従って、より適切
に、二次分離液と分散液とを交換することができる。

【００３６】（ｃ）また、上記実施の形態では、切換バ
ルブ３３を介して二次分離液を廃棄するとともに、切換
バルブ３４を切り換えて、未使用の分散液を管路３５
ｂ，２７を介して調合タンク３０に供給するようにし
た。そのため、管路３５ｂ，２７には、二次分離液又は
未使用の分散液が流れるので、管路２７の内面に砥粒な
どが付着するのを極力、防止することができる。

【００３７】（ｄ）本実施の形態では、脱泡装置５３
は、上側及び下側板部材６４，６５を交互に配置して形
成された大気に臨む長い通路３８を有する槽として構成
した。そのため、コンパクトな簡単な構造で、二次分離
液から気泡を除去することができる。

【００３８】（第２の実施形態）以下、本発明を具体化
したスラリの再生システムの第２の実施形態を図３に従
って説明する。なお、第２の実施形態は、第１の実施形
態の脱泡装置５３を脱泡装置５４に変更したものであ
り、上記第１の実施形態と同一の部分については、同一
の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

【００３９】本実施の形態における脱泡装置５４は、並
列配置された２つの脱泡タンク６６を備え、その脱泡タ
ンク６６の下方に開閉バルブ６７が設けられているとと
もに、両脱泡タンク６６と第２デカンタ３２との間に開
閉バルブ６８がそれぞれ設けられている。また、脱泡タ
ンク６６の上方には、管路３５ａとエア管路６０とが接
続されている。第２デカンタ３２の液排出口４２から供
給される二次分離液は、この管路３５ａを介して脱泡タ
ンク６６に供給される。また、脱泡タンク６６は、この
エア管路６０を介して真空ポンプ６１に接続されてい
る。エア管路６０には、開閉バルブ５９が設けられてい
るとともに、エア管路６０の圧力を測定する圧力センサ
６２が設けられている。また、脱泡タンク６６と性状セ
ンサ３７との間には、貯蔵槽６３が設けられ、脱泡タン
ク６６で気泡が取り除かれた二次分離液を一時貯蔵す
る。

【００４０】本実施の形態においても、上記第１の実施
の形態とほぼ同様な作用を行われるが、上記第１の実施
の形態とは、その脱泡の仕方が異なるので、この部分に
ついて次に説明する。第２デカンタ３２で分離された二
次分離液が、脱泡装置５４の一方の脱泡タンク６６に導
かれる。そして、それに付属している一方の開閉バルブ
６７が閉じられ、かつエア管路６０に設けられた開閉バ
ルブ６８が開いている状態にある。脱泡タンク６６に供
給された二次分離液が所定量となると、開閉バルブ６８
が閉じるとともに、開閉バルブ５９が開かれる。そし
て、圧力センサ６２でエア管路６０内の圧力を監視しな
がら、真空ポンプ６１を稼動させ、脱泡タンク６６内を
減圧する。このため、脱泡タンク６６内の二次分離液中
に混在していた気泡は、二次分離液から除去される。そ
して、所定時間後に、真空ポンプ６１が停止され、開閉
バルブ５９が閉められるとともに、開閉バルブ６７が開
かれ、気泡を除去した二次分離液が貯蔵槽６３に供給さ
れる。

【００４１】本実施の形態では、２つの脱泡タンク６６
を交互に使用する。すなわち、一方の脱泡タンク６６
で、その開閉バルブ６７，６８がそれぞれ閉鎖又は開放
した状態となって、二次分離液が供給又は排出されてい
る場合に、他方の脱泡タンク６６では、開閉バルブ６
７，６８がそれぞれ開放又は閉鎖した状態で、その内部
の減圧が行われている。

【００４２】貯蔵槽６３に至った二次分離液は、ポンプ
３６により加圧されて、管路３５ｂを流通し、性状セン
サ３７を通過して、調合タンク３０に供給され、上記第
１実施の形態で説明した作用と同様な作用が行われる。

【００４３】従って、第２の実施形態によれば、前記第
１の実施形態に記載の（ａ）〜（ｃ）の効果に加えて、
次の効果を得ることができる。 （ｅ）第２の実施の形態では、脱泡装置５４が、真空ポ
ンプ６１によって減圧できる密閉可能な脱泡タンク６６
により構成されるようにした。従って、密閉した脱泡タ
ンクを減圧することで、二次分離液から気泡が強制的に
除去される。このため、自然に脱泡するよりも短時間で
気泡を除去することができ、二次分離液の性状を、より
即座に、かつ誤差なく把握することができる。

【００４４】（ｆ）第２の実施形態では、脱泡タンク６
６を２つ設け、脱泡タンク６６を交互に減圧するように
した。減圧の際には、脱泡タンク６６に二次分離液を密
封した状態で行わなければならないが、本実施例では、
一方の脱泡タンク６６で二次分離液を密封している場合
に、他方の脱泡タンク６６で二次分離液を貯蔵槽６３へ
と供給することができる。従って、二次分離液の脱泡を
ほとんど連続して行うことができる。また、貯蔵槽６３
を設けたので、脱泡タンク６６内を減圧して二次分離液
から気泡を除去している場合であっても、管路３５ｂに
は、二次分離液を流すことができ、性状センサ３７は、
二次分離液の性状を常に測定することができる。

【００４５】（変更例）なお、本実施形態は以下のよう
に変更してもよい。 ・上記第１の実施の形態では、上側及び下側板部材６
４，６５を設けることによって、大気に臨んだ長い通路
３８を有する脱泡装置５３をコンパクトに設けたが、大
気に臨んだ長い通路であれば、単に長い寸法（横長）の
樋を回収装置としてもよい。この場合、構造がより簡単
になる。

【００４６】・上記実施の形態では、第２デカンタ３２
で分離した二次分離液を廃棄すると同時に、未使用のス
ラリを調合タンク３０に供給するように構成した。これ
に対し、スラリの性状が所定値でない場合には、第２デ
カンタ３２を稼動させずに、第１デカンタ３１から砥粒
が除去された一次分離液を捨てて、これの代わりに、未
使用の分散液を調合タンク３０に供給するようにしても
よい。

【００４７】・上記実施の形態では、使用済みスラリか
ら、使用可能な砥粒及び二次分離液を分離するには、第
１及び第２デカンタ３１，３２を用いたが、これらの代
わりに、サイクロンやフィルタを用いるようにしてもよ
い。

【００４８】・性状センサ３７には、温度計も付設し
て、二次分離液の温度を管理することもできる。 ・上記実施の形態では、調合タンク３０に比重計４６を
設けて、この比重計４６の値に基づいて砥粒と分離液又
は未使用の砥粒と分散液とを調合するようにした。比重
計４６の代わりに粘度計を設け、この値に基づいて砥粒
と分離液又は未使用の砥粒と分散液とを調合するように
してもよいし、比重計４６と併用して粘度計を用いて、
調合するようにしてもよい。

【００４９】次に上記実施形態及び別例から把握できる
請求項に記載した以外の技術的思想について、それらの
効果とともに以下に記載する。 （１）分散液に砥粒を分散してなり、ワイヤソーのワイ
ヤ列に供給された使用済みスラリを回収する回収装置
と、この回収装置によって回収された使用済みスラリか
ら、使用可能な前記砥粒を分離する第１の分離手段と、
この第１の分離手段で砥粒が除かれた一次分離液から切
屑を除去して、二次分離液を分離する第２の分離手段
と、前記第２の分離手段と調合タンクとの間の経路に設
けられ、この二次分離液の性状を測定するセンサと、二
次分離液の一部又は全部と分散液とを交換する交換手段
と、分離された前記砥粒と二次分離液又は分散液とを調
合して、再び前記ワイヤ群に供給するためのスラリを調
合するようにした調合タンクとを具備したスラリの再生
システムにおいて、前記センサからの信号に応じて、前
記交換手段を作動させる制御手段を設けたことを特徴と
するスラリの再生システム。

【００５０】従って、リアルタイムで二次分離液の性状
を測定でき、最適なときに二次分離液と分散液を交換す
ることができる。そのため、高いスライス効率を安定し
て得ることができるとともに、二次分離液と分散液とを
無駄なく経済的に交換することができる。また、制御手
段によって二次分離液と分散液とを交換することができ
るので、スラリの再生システムを無人化で稼動すること
ができる。

【００５１】（２）前記第２の分離手段と前記センサと
の間に、脱泡装置を設けた前記（１）項に記載のスラリ
の再生システム。従って、前記（１）項に記載の効果に
加えて、第２の分離手段で分離する際などに発生した気
泡が多量に二次分離液中に混在したとしても、その二次
分離液中の気泡を除去できるので、センサの計測誤差が
ほとんどなくなる。そのため、二次分離液と分散液とを
より適切に交換することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施形態におけるワイヤソー及びその関
連機構の要部を示す構成図。

【図２】第１の実施の形態における再生システムを示す
構成図。

【図３】第２の実施の形態における再生システムを示す
構成図。

【符号の説明】

１１…ワイヤ列、２２…回収装置としての回収槽、３０
…調合タンク、３１…第１の分離手段としての第１デカ
ンタ、３２…第２の分離手段としての第２デカンタ、３
５ａ，３５ｂ…経路としての管路、３７…センサとして
の性状センサ、３８…通路、５３，５４…脱泡装置、５
７…脱泡タンク、６１…真空ポンプ、６４…板部材とし
ての上側板部材、６５…板部材としての下側板部材。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横川 和人 神奈川県横須賀市神明町１番地 株式会社 日平トヤマ技術センター内 Ｆターム(参考） 3C047 FF06 GG14 GG15 GG17 GG18 4D011 AA03 AA05 AA16 AB07

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 分散液に砥粒を分散してなり、ワイヤソ
   ーのワイヤ群に供給された使用済みスラリを、分離手段
   に移送して、そのスラリから、使用可能な砥粒を分離す
   るとともに、切屑を除去した分離液を分離し、この分離
   された使用可能な砥粒と分離液とを調合タンクに導入
   し、未使用の砥粒または未使用の分散液と調合して再生
   スラリを生成するスラリの再生方法において、 前記切屑が除去された分離液の性状に応じて、この分離
   液の全部又は一部を、未使用の分散液と交換するように
   したことを特徴とするスラリの再生方法。
2. 【請求項２】 分散液に砥粒を分散してなり、ワイヤソ
   ーのワイヤ群に供給された使用済みスラリを回収する回
   収装置と、 この回収装置によって回収された使用済みスラリから、
   使用可能な前記砥粒を分離する第１の分離手段と、 この第１の分離手段で砥粒が除かれた一次分離液から切
   屑を除去して、二次分離液を分離する第２の分離手段
   と、 分離された前記砥粒と二次分離液とを調合して、再び前
   記ワイヤ群に供給するためのスラリを調合するようにし
   た調合タンクとを具備したスラリの再生システムにおい
   て、 前記第２の分離手段と調合タンクとの間の経路に、この
   二次分離液の性状を測定するセンサを設けるとともに、 該センサと前記第２の分離手段との間に脱泡装置を設け
   たことを特徴とするスラリの再生システム。
3. 【請求項３】 前記脱泡装置は、分離液が流通する大気
   に臨む長い通路を有する請求項２に記載のスラリの再生
   システム。
4. 【請求項４】 前記脱泡装置は、交互に前記板部材が
   列設して前記通路が形成されている槽である請求項３に
   記載のスラリの再生システム。
5. 【請求項５】 前記脱泡装置は、前記密閉可能な脱泡タ
   ンクと、この脱泡タンク内を減圧する真空ポンプとを備
   えている請求項２に記載のスラリの再生システム。
6. 【請求項６】 前記センサが、粘度及び比重の少なくと
   も１つを検出するセンサである請求項２〜５の何れかに
   記載のスラリの再生システム。