JP2001349928A

JP2001349928A - 半導体試験システム

Info

Publication number: JP2001349928A
Application number: JP2000168704A
Authority: JP
Inventors: Mitsuo Hori; 光男堀; Hiroshi Araki; 洋荒木
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2000-06-06
Filing date: 2000-06-06
Publication date: 2001-12-21

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体デバイスの動作を効率的に検証するこ
とができる半導体試験システムを提供する。【解決手段】半導体試験システムは、シミュレータ
１、半導体試験装置２、データ変換装置３、波形表示装
置４を備える。この半導体試験システムにおいて、半導
体試験装置２は、半導体デバイス２５を試験し、試験に
関するデータをデータ変換装置３へ出力する。データ変
換装置３は、そのデータをＶＣＤ（Value Change Dump
）フォーマットに変換することにより、Ｃ−ＶＣＤデ
ータを生成する。一方、シミュレータ１は、半導体デバ
イス２５に対応するモデル１２の動作をシミュレーショ
ンし、シミュレーションに関するＶＣＤフォーマットの
データ（Ｓ−ＶＣＤデータ）を生成する。波形表示装置
４は、これらＣ−ＶＣＤデータおよびＳ−ＶＣＤデータ
によって表される波形を重ねて表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
動作を試験するために用いられる半導体試験システムに
関する。

【０００２】

【従来の技術】デジタルＬＳＩ等の半導体デバイスの設
計では、机上での論理的な設計の良否を確認するため
に、半導体デバイスのモデルの動作がシミュレーション
される。さらに、実際の半導体デバイスがモデルと同様
に動作するか否かを確認するために、モデルに基づいて
作成されたプロトタイプの半導体デバイスが試験され
る。

【０００３】半導体デバイスのモデルは、顧客等から与
えられる仕様を満足させるように、回路記述用言語（Ｈ
ＤＬ：Hardware Description Language）を用いて、例
えば、Verilog ＨＤＬやＶＨＤＬ等を用いて記述され
る。このモデルの動作は、シミュレータによってシミュ
レーションされる。シミュレータは、半導体デバイスの
モデルを記述した回路記述用言語の内容、および要求さ
れる仕様によって規定される入力データを用いて、出力
データを生成する。出力データが要求される仕様を満足
していないときには、デバッグが行われる。半導体デバ
イスのモデルは、このようにして、論理的な欠陥や信号
の入出力タイミングの不良が修正される。

【０００４】半導体デバイスのモデルから欠陥や不良が
取り除かれると、修正後の半導体デバイスのモデルに従
ってプロトタイプの半導体デバイスが製造される。プロ
トタイプの半導体デバイスは、半導体デバイスのモデル
と同様に、動作が検証される。具体的には、プロトタイ
プの半導体デバイスに対して、仕様で定められた入力デ
ータが半導体試験装置上で実際に入力され、その入力デ
ータに応じて出力する出力データが仕様を満たすか否か
が検証される。

【０００５】従来はこのような検証作業は、入出力波形
を所定の波形観測ツールを用いて画面上に表示させて要
求される仕様を満たしているか否かを調べたり、半導体
デバイスの各サイクル毎のパス／フェイルを示すログ情
報を出力してその内容を確認したりすることによって行
っていた。

【０００６】具体的には、波形観測ツールを用いること
により、入力データと出力データの時間的な変化の状態
が入出力波形として表示される。例えば、横軸が時間を
表し、縦軸がハイ／ローのレベルを表すようなグラフの
形式で入出力波形の表示が行われる。半導体デバイスの
動作全体について入出力波形を表示しようとすると、多
量のデータおよびそれらのデータを用いた多大な演算を
行う必要があるため、大規模な処理や多大な処理時間を
要することになる。そこで、従来の波形観測ツールで
は、小規模な処理でかつ迅速に入出力波形を表示するた
めに、入出力データのうち操作者が所望する特定部分の
みについて波形を表示することができる。したがって、
操作者の指示に従って、入出力データのうち、異常が発
生した箇所が含まれる一定の範囲内の波形を表示するこ
とができる。

【０００７】また、例えば、上述したログ情報には、出
力データＯＵＴ２６が試験サイクルｔｃ５のときに異常
であることを示す「ＯＵＴ２６のｔ５：ＦＡＩＬ」等の
詳細情報が含まれている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の検証方法では、半導体デバイスの不良箇所の特定や
解析、すなわち半導体デバイスの動作の検証が容易では
ないという問題があった。

【０００９】例えば、波形観測ツールを用いて半導体デ
バイスの入出力波形を表示させる方法では、仕様の詳細
内容に基づいて、この表示された入出力波形が正常なも
のであるか否かを判定する必要があるため、この判定に
膨大な時間を要するとともに、見落とし等が生じるおそ
れがある。特に、一度に、限られた範囲内の入出力波形
しか表示することができないため、複数の異常が散在す
る場合には、表示対象となる範囲の指定と、その範囲に
対応する入出力波形の表示処理とを交互に繰り返す必要
があり、異常箇所を見出すには多くの時間を要してい
た。

【００１０】また、ログ情報を出力する方法では、その
試験サイクルでフェイルとなったか否かがわかるだけで
あり、入出力データの変化のタイミング等がわからない
ため、操作者は、異常が発生した試験サイクルを取得す
ることができても、その試験サイクルについての詳細な
情報を取得することができず、その結果、異常箇所の原
因を検証することは困難である。

【００１１】また、上述した検証のために半導体デバイ
スに関連して得られるデータ（波形観測ツールで扱われ
るデータやログ情報を出力するためのデータ）は、汎用
性がないため、複数の利用者間で受け渡しを行う場合等
において不便であった。例えば、従来の波形観測ツール
は、半導体デバイスの入出力波形を表示するために用い
られるものであるため、全試験サイクルのデータを保存
しようとすると、表示内容を更新する毎にデータの保存
を指示する必要があり手間がかかる。また、このように
して保存したデータは、特定の波形観測ツールを用いな
ければその内容である入出力波形を表示することができ
ない。一般に、半導体試験装置に用いられている波形観
測ツールは、専用に開発される場合が多いため、この波
形観測ツールを用いて保存したデータは、汎用的な表示
装置や測定装置等で扱うことができない。ログ情報を出
力するためのデータについても同様であり、操作者がそ
の内容を見ることを目的に作成されるため、このデータ
を入手して他の表示装置や測定装置等で所定の処理を行
うような用途には適していない。

【００１２】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、半導体デバイスの動作を効
率的に検証することができる半導体試験システムを提供
することにある。また、本発明の他の目的は、半導体デ
バイスの動作の検証結果の受け渡しが容易な半導体試験
システムを提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の半導体試験システムは、半導体デバイ
スに対して所定の試験を行う試験装置と、この試験装置
による試験によって得られる第１のデータを汎用性のあ
るフォーマットを有する第２のデータに変換する変換装
置とを備えている。半導体デバイスに対して所定の試験
が行われて結果データが得られたときに、この結果デー
タに基づいて汎用性のあるデータが生成されるため、半
導体デバイスの動作の検証結果を他の表示装置、解析装
置等に受け渡すことが容易となる。

【００１４】また、半導体デバイスに対応するシミュレ
ーション用のモデルが回路記述用言語を用いて記述され
ている場合に、上述した変換装置によって得られる第２
のデータのフォーマットを、この回路記述用言語に対応
したシミュレータによって生成されるデータのフォーマ
ットに一致させることが望ましい。これにより、モデル
のシミュレーション結果を表すデータのフォーマット
と、半導体デバイスの試験結果を表すデータのフォーマ
ットとが同じとなることから、両データの比較が容易と
なり、半導体デバイスの動作の検証が容易となる。

【００１５】また、同じフォーマットを有するこれら２
つのデータのそれぞれに対応する２種類の波形を同一画
面に表示する表示装置を備えることが望ましい。同じ画
面内に表示された２種類の波形同士を比較することによ
り、実際に半導体デバイスに対して所定の試験を行った
結果と、対応するモデルに対してシミュレーションを行
った結果とを、波形を見るだけで比較することができ、
半導体デバイスが設計通りに動作しているか否かの検証
が容易になる。特に、上述した２種類の波形を重ねて表
示し、これらの波形の相違箇所を強調することにより、
上述した検証動作がさらに容易になる。

【００１６】また、上述した第２のデータは、試験装置
によって半導体デバイスに入出力されるデータの値が変
化する時刻および変化する状況を含んでいることが望ま
しい。これらの情報に基づいて、半導体デバイスに対す
る入出力波形を確実に特定することができる。

【００１７】また、上述した第２のデータのフォーマッ
トは、ＶＣＤフォーマットであることが望ましい。ＶＣ
Ｄ（Value Change Dump ）フォーマットは、汎用性が極
めて高いことから、これにより、半導体デバイスの試験
結果を他の各種装置で利用することが容易になる。特
に、ベリログ言語はＶＣＤフォーマットを生成するシミ
ュレータがシミュレーションする言語として一般的であ
ることから、回路記述用言語としてベリログ言語を用い
ることにより、ＶＣＤフォーマットを有するデータを容
易に生成することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の半導体試験
システムについて説明する。図１は、実施の形態の半導
体試験システムの構成を示す図である。図示するよう
に、プロトタイプの半導体デバイス２５の動作を検証す
るために、本実施形態の半導体試験システムは、シミュ
レータ１、半導体試験装置２、データ変換装置３、およ
び波形表示装置４を備える。シミュレータ１は、半導体
デバイス２５に対応するモデル１２の動作をシミュレー
ションするために必要なデータを波形表示装置４に与え
る。また、半導体試験装置２およびデータ変換装置３も
また協働して、半導体デバイス２５の動作を試験するた
めに必要なデータを波形表示装置４に与える。波形表示
装置４は、これら２つのデータのそれぞれによって表さ
れる波形を表示する。操作者は、表示された両波形を比
較することにより、半導体デバイス２５の動作を検証す
ることができる。

【００１９】このような半導体試験システムの機能を実
現するために、シミュレータ１、半導体試験装置２、デ
ータ変換装置３、波形表示装置４は、以下のような構成
および動作を有する。シミュレータ１は、シミュレータ
部１０、および記憶部１１を備え、モデル１２の動作を
シミュレーションする。モデル１２の内容は、半導体デ
バイス２５の仕様を満足させるように、Verilog 言語を
使って記述される。シミュレータ部１０は、仕様に定め
られた入力データ１３（以下、「規定入力データ」とい
う。）を使い、かつモデル１２の記述内容に従って出力
データ１４（以下、「シミュレーション・データ」とい
う。）を生成する。シミュレータ部１０は、規定入力デ
ータ１３およびシミュレーション・データ１４を、ＶＣ
Ｄ（Value Change Dump ）フォーマットに従って変換す
る。ここで、「ＶＣＤフォーマット」とは、ケーデンス
社（Cadence ）によって提案された、Verilog 言語をシ
ミュレーションするシミュレータによって生成されるデ
ータのデータ・フォーマットであり、データにおける値
の変化に関する情報を記憶するために用いられるデータ
・フォーマットである。このＶＣＤフォーマットは、波
形表示装置やスペクトラム表示装置等の各表示装置にお
いて汎用性を有する。このことから、ＶＣＤフォーマッ
トに準拠することは、表示装置での表示を容易にする。
以下、ＶＣＤフォーマットに準拠したデータを「ＶＣＤ
データ」という。シミュレータ１によって生成されたＶ
ＣＤデータ（以下、「Ｓ−ＶＣＤデータ」という。）
は、波形表示装置４に供給される。記憶部１１は、この
ようなモデル１２の記述データ、規定入力データ１３、
およびシミュレーション・データ１４等を記憶するため
に用いられる。

【００２０】半導体試験装置２は、半導体デバイス２５
に対して各種の試験を行って出力データを得るために、
主に、制御部２０、記憶部２１、固定部２２、および入
出力部２３を含んで構成される。制御部２０は、半導体
デバイス２５の動作を確認するためのテスト・プログラ
ム２４に従って半導体デバイス２５に対して入力するデ
ータ（以下、「テスト・データ」という。）を生成す
る。

【００２１】記憶部２１は、テスト・プログラム２４や
テスト・データの生成に必要なデータを記憶する。例え
ば、ＲＯＭやＲＡＭによって構成される。固定部２２
は、半導体デバイス２５を半導体試験装置２の所定位置
に載置するために用いられ、例えば、多ピン・ソケッ
ト、固定用レバー等から構成される。入出力部２３は、
半導体デバイス２５にテスト・データを供給し、また、
半導体デバイス２５が出力するデータ（以下、「デバイ
ス出力データ」という。）を受け取る。そのために、例
えば、データ入出力用ピンやプローブから構成される。
制御部２０は、このデバイス出力データに、半導体試験
装置２および半導体デバイス２５に関連するデータを付
加することにより新たなデータ（以下、「半導体試験装
置データ」という。）を生成してデータ変換装置３へ出
力する。このようにして、半導体試験装置２からは、例
えば、デバイス出力データとテスト・データとからなる
半導体試験装置データが出力される。

【００２２】図２は、半導体試験装置２からデータ変換
装置３に受け渡されるデータを示す図である。同図に示
すように、半導体試験装置２からデータ変換装置３へ
は、少なくとも入力データ、出力データ（デバイス出力
データ）、フェイル・データのいずれか一つが受け渡さ
れる。その他に、必要に応じて、試験の条件に関する情
報、例えば、半導体試験装置２、半導体デバイス２５、
テスト・プログラム、期待値データに関する情報が受け
渡される。

【００２３】データ変換装置３は、半導体試験装置２に
対して一部の試験条件を設定するとともに半導体試験装
置２から受け取ったデータをＶＣＤフォーマットに変換
するために、キャプチャ部３０、コンバータ部３１、入
力部３２を含んで構成される。

【００２４】キャプチャ部３０は、試験条件の設定機
能、半導体試験装置２に対する試験の実行指示機能、試
験によってデータの収集を行う機能を有する。入力部３
２は、操作者が制御データの入力や編集を行うものであ
り、このようにして入力され必要に応じて編集された制
御データがキャプチャ部３０に送られる。この制御デー
タは、半導体試験装置２によって実行される試験の内容
に関する部分（サイクル数やサンプリングポイント数
等）と、データ変換装置３を制御するために用いられる
部分とを含んでいる。

【００２５】図３は、制御データの内容を示す図であ
る。図３に示すように、制御データには、・キャプチャ・データのファイル名の指定、・テストプログラムの指定、・テストプログラム上のテスト番号（どのテストに関す
るキャプチャを行うかを示す番号）の指定、・ピンの指定（どのピンに関するキャプチャを行うかを
示す番号）、・トリガの指定（どのサイクルから何サイクルまでキャ
プチャを行うかを示す情報）、・キャプチャ・データの内容の指定（ＶＣＤ変換用情
報、フェイルレポート変換用情報、ＶＣＤ変換用情
報とフェイルレポート変換用情報の両方、の中から一つ
が選択される）、・サイクル毎のサンプリングポイント数の指定、が含まれている。

【００２６】上述したキャプチャ・データの内容の指定
において、「ＶＣＤ変換用情報」には、ピン情報、波
形情報、パターン期待値情報およびサンプリング情報が
含まれる。また、「フェイルレポート変換用情報」に
は、ピン情報、波形情報、パターン期待値情報およびフ
ェイル情報が含まれる。「ＶＣＤ変換用情報とフェイ
ルレポート変換用情報の両方」には、ピン情報、波形情
報、パターン期待値情報、サンプリング情報およびフェ
イル情報が含まれる。

【００２７】サンプリングポイント数は、サイクル毎に
操作者が自由な値を設定することができる。例えば、従
来から用いられている波形観測ツールと同等の精度で入
出力波形を観測したい場合には、例えば「３２」や「６
４」に設定すればよい。また、グリッチを検出したい場
合には、できるだけ多く、例えば「１２８」や「２５
６」に設定すればよい。

【００２８】キャプチャ部３０は、制御データのファイ
ル名を指定した所定のコマンド（ｄａｔａ＿ｃａｐｔｕ
ｒｅコマンド）を実行することにより、制御データで指
定したファイル名を有するキャプチャ・データのファイ
ルを出力する。以後、このｄａｔａ＿ｃａｐｔｕｒｅコ
マンドを「キャプチャコマンド」と称するものとする。
キャプチャコマンドのフォーマットは、ｄａｔａ＿ｃａｐｔｕｒｅ −ｕＦ１となる。ここで、Ｆ１は、制御データのファイル名を示
す。

【００２９】図４は、キャプチャ・データの内容を示す
図である。図４に示すように、キャプチャ・データは、
ピン情報、波形情報、パターン期待値情報、サンプリン
グ情報、フェイル情報等を含んでいる。波形情報とは、
入力データ、出力データのそれぞれについてのエッジや
タイミングに関する情報である。パターン期待値情報と
は、テスト・データの入力パターンと出力データの期待
値パターンに関する情報である。サンプリング情報と
は、エッジ変化をもつピン番号やサンプリングエッジの
種類に関する情報である。フェイル情報とは、フェイル
が発生したピン番号やフェイルの種類に関する情報であ
る。

【００３０】コンバータ部３１は、キャプチャ・データ
を基に、ＶＣＤデータ（以下、データ変換装置３によっ
て生成されるＶＣＤデータを「Ｃ−ＶＣＤデータ」とい
う。）を作成する。コンバータ部３１は、所定のコマン
ド（ｖｃｄ＿ｃｏｎｖｅｒｔｏｒコマンド）を実行する
ことにより、キャプチャ・データのファイルからＣ−Ｖ
ＣＤデータのファイルおよびフェイルレポートのファイ
ルを作成する。具体的には、コンバータ部３１は、キャ
プチャ・データ中の入力データに関する波形情報を用い
て、シミュレーションにより入力データの波形を示すＣ
−ＶＣＤデータを生成する。また、コンバータ部３１
は、キャプチャ・データ中の出力データのサンプリング
情報を基に、出力データの波形を示すＣ−ＶＣＤデータ
を生成する。さらに、コンバータ部３１は、キャプチャ
・データ中のフェイル情報を基に、フェイルが発生した
箇所を示すフェイル情報（ログ情報）をフェイルレポー
トとして作成する。以後、このｖｃｄ＿ｃｏｎｖｅｒｔ
ｏｒコマンドを「コンバータコマンド」と称するものと
する。コンバータコマンドのフォーマットは、ｖｃｄ＿ｃｏｎｖｅｒｔｏｒ −ｄＦ２ −ｖＦ３
−ｒＦ４となる。ここで、Ｆ２はキャプチャ・データのファイル
名を、Ｆ３はＣ−ＶＣＤデータのファイル名を、Ｆ４は
フェイルレポートのファイル名をそれぞれ示している。
なお、コンバータコマンド中の「−ｖＦ３」と「−ｒ
Ｆ４」の部分は必要に応じて両方あるいはいずれか一
方が含まれる。「−ｖＦ３」の部分のみが含まれる場
合にはＣ−ＶＣＤデータのファイルが作成され、「−ｒ
Ｆ４」の部分のみが含まれる場合にはフェイルレポー
トのファイルが作成される。また、「−ｖＦ３」と
「−ｒＦ４」の両方が含まれる場合にはＣ−ＶＣＤデ
ータのファイルとフェイルレポートのファイルの両方が
作成される。

【００３１】図５は、Ｃ−ＶＣＤデータの内容を示す図
である。同図に示すように、Ｃ−ＶＣＤデータは、ヘッ
ダ情報、データの名称、値の変化等を含む。例えば、ピ
ンのＯＵＴ５が５０ｎｓｅｃでロウからハイに変化した
ときには、コンバータ部３１は、「データの名称」とし
てＯＵＴ５を任意の文字で定義し（ここでは、“！”の
キャラクタを定義するものとする）、「値の変化」とし
て＃５０を出力し、その直下に１！を出力する。

【００３２】波形表示装置４は、制御部４０、表示部４
１、記憶部４２、および操作部４３を備える。制御部４
０は、波形表示装置４の全体を制御する。ＣＰＵやメモ
リによって実現することができるが、例えば、データ変
換装置３と波形表示装置４の全体をワークステーション
等で実現する場合には、表示用の所定のプログラムを実
行することによりこの制御部４０の機能を実現すること
ができる。表示部４１は、Ｓ−ＶＣＤデータやＣ−ＶＣ
Ｄデータによって示される波形を表示するために用いら
れ、例えば、ＣＲＴ（陰極線管）やＬＣＤ（液晶表示装
置）が用いられる。なお、実際には、これらの波形は、
ＣＲＴやＬＣＤ等を用いて表示される前に、波形表示装
置４のユーザインタフェース部分に表示される。記憶部
４２は、Ｓ−ＶＣＤデータ、Ｃ−ＶＣＤデータを格納す
るために、ＲＯＭやＲＡＭから構成される。操作部４３
は、操作者が波形表示装置４を操作するために用いら
れ、例えば、スイッチ、ボタン、ボリューム等から構成
される。このような構成を有する波形表示装置４では、
制御部４０は、シミュレータ１から入力されるＳ−ＶＣ
Ｄデータと、データ変換装置３から入力されるＣ−ＶＣ
Ｄデータのそれぞれを記憶部４２に格納する。操作部４
３から操作者によって指示が与えられると、制御部４０
は、Ｓ−ＶＣＤデータによって表される波形とＣ−ＶＣ
Ｄデータによって表される波形とを選択的に、あるいは
同時に重ねて表示部４１に表示する。

【００３３】上述した半導体試験装置２が試験装置に、
データ変換装置３が変換装置に、波形表示装置４が表示
装置にそれぞれ対応する。次に、本実施形態の半導体試
験システムを用いた半導体デバイス２５の検証動作につ
いて説明する。

【００３４】図６は、本実施形態の半導体試験システム
を用いて半導体デバイスの動作を検証する手順を示す流
れ図である。以下、この流れ図に沿って説明する。ステップＳ１００：設計者は、仕様に規定された入力−
出力関係を満たすように、モデル１２の内容をVerilog
言語を用いて記述する。併せて、仕様に定められた、モ
デル１２に入力される規定入力データ１３を作成する。
これらの記述や作成の作業は、シミュレータ１を用いて
行っても、他のエディタ装置（図示せず）で行ってもよ
い。シミュレータ部１０は、規定入力データ１３を用い
てモデル１２の動作をシミュレーションし、その結果を
示すシミュレーション・データ１４を生成する。さら
に、シミュレータ部１０は、規定入力データ１３、およ
びシミュレーション・データ１４をＶＣＤフォーマット
に準拠したＳ−ＶＣＤデータに変換して、波形表示装置
４へ出力する。

【００３５】図７は、Ｓ−ＶＣＤデータの内容を示す図
である。図示するように、Ｓ−ＶＣＤデータには、少な
くとも、規定入力データ１３およびシミュレーション・
データ１４が含まれている。ステップＳ１１０：操作者は、半導体デバイス２５を試
験するためのテスト・プログラム２４を半導体試験装置
２内の記憶部２１に格納する。また、操作者は、試験対
象となる半導体デバイス２５に適するように、固定部２
２や入出力部２３を選択したり調整したりする。

【００３６】ステップＳ１２０：操作者は、データ変換
装置３の入力部３２を用いて、試験を実施するために必
要な制御データを入力する。キャプチャ部３０は、制御
データに含まれるサンプリングポイント数に応じて、各
サイクルにおける実際のサンプリングポイント数を設定
する。このようにして、データ変換装置３の初期設定が
行われる。

【００３７】ステップＳ１３０：次に、キャプチャ部３
０は、キャプチャコマンドを実行する。これにより、キ
ャプチャコマンドで指定されたファイル名の制御データ
に基づいて、半導体デバイス２５に対する試験が開始さ
れる。ステップＳ１４０：半導体試験装置２内の制御部２０
は、キャプチャ部３０によって指定されたサンプリング
ポイント数等を考慮して、記憶部２１に格納されたテス
ト・プログラムを実行し、試験に用いられる入力データ
を作成する。この入力データは、入出力部２３を介して
半導体デバイス２５に供給される。また、制御部２０
は、入力データに応答して半導体デバイス２５が出力す
る出力データを受け取る。さらに、制御部２０は、半導
体デバイス２５から出力された出力データと、記憶部２
１に記憶された期待値データとを比較することにより、
フェイル・データを生成して、例えば内蔵するフェイル
メモリに格納する。フェイル・データを生成した後、制
御部２０は、入力データおよび出力データをデータ変換
装置３へ出力する。

【００３８】ステップＳ１５０：キャプチャ部３０は、
制御データによって指定されたサンプリングポイント数
できまるタイミングでサンプリングすることにより試験
結果データの収集を行い、それらの波形情報を含むキャ
プチャ・データを生成する。ステップＳ１６０：半導体試験装置２内の制御部２０
は、以上のテスト・プログラムの実行（ステップＳ１４
０）からキャプチャ・データの生成（ステップＳ１５
０）までの動作が半導体試験装置２内のフェイルメモリ
の容量分、すなわち２５６サイクル分行われると、全て
の試験サイクル（例えば１０２４サイクル）についてこ
れらの一連の動作が終了したか否かを判定する。終了し
ていない場合には、テスト・プログラムを実行して試験
を行うステップＳ１４０に戻り、残りの試験サイクル数
分の試験が続行される。

【００３９】ステップＳ１７０：キャプチャコマンドに
対応する一連の試験動作が全ての試験サイクルについて
終了すると、次にキャプチャ部３０は、他に実行対象と
なっているキャプチャコマンドがあるか否かを判定す
る。実行対象となっているキャプチャコマンドが複数あ
って、未実行のキャプチャコマンドが存在する場合に
は、ステップＳ１３０に戻って次のキャプチャコマンド
が実行され、対応する一連の試験および対応するキャプ
チャ・データの収集が行われる。

【００４０】ステップＳ１８０：全てのキャプチャコマ
ンドの実行が終了すると、次にコンバータ部３１は、そ
れぞれのキャプチャコマンドに対応する各コンバータコ
マンドを順番に実行し、それまでに収集したキャプチャ
・データを基に、Ｃ−ＶＣＤデータを作成する。生成さ
れたＣ−ＶＣＤデータは、波形表示装置４へ出力され
る。

【００４１】ステップＳ１９０：波形表示装置４内の制
御部４０は、シミュレータ１から受け取ったＳ−ＶＣＤ
データとデータ変換装置３から受け取ったＣ−ＶＣＤデ
ータのそれぞれを記憶部４２に格納する。また、制御部
４０は、操作者の指示に従って、これら２種類のＶＣＤ
データによって表される波形を重ねて表示部４１に表示
する。

【００４２】図８は、波形表示装置４によって表示され
る波形を示す図である。同図において、入力データＳ−
ＣＬＫおよびＳ−ＩＮ、並びに出力データＳ−ＯＵＴ１
およびＳ−ＯＵＴ２は、Ｓ−ＶＣＤデータに対応するデ
ータであり、入力データＣ−ＣＬＫおよびＣ−ＩＮ、並
びに出力データＣ−ＯＵＴ１およびＣ−ＯＵＴ２は、Ｃ
−ＶＣＤデータに対応するデータである。より具体的に
は、入力データＳ−ＣＬＫおよびＳ−ＩＮのそれぞれに
対応する波形は、Ｓ−ＶＣＤデータに含まれる規定入力
データに基づいて表示される。出力データＳ−ＯＵＴ１
およびＳ−ＯＵＴ２のそれぞれに対応する波形は、Ｓ−
ＶＣＤデータに含まれるシミュレーション・データに基
づいて表示される。入力データＣ−ＣＬＫおよびＣ−Ｉ
Ｎのそれぞれに対応する波形は、Ｃ−ＶＣＤデータに含
まれるテスト・データに基づいて表示される。出力デー
タＣ−ＯＵＴ１およびＣ−ＯＵＴ２のそれぞれに対応す
る波形は、Ｃ−ＶＣＤデータに含まれるデバイス出力デ
ータに基づいて表示される。

【００４３】入力データＳ−ＣＬＫと入力データＣ−Ｃ
ＬＫとが一致し、入力データＳ−ＩＮと入力データＣ−
ＩＮとが一致し、出力データＳ−ＯＵＴ１と出力データ
Ｃ−ＯＵＴ１とが一致し、出力データＳ−ＯＵＴ２と出
力データＣ−ＯＵＴ２とが一致することが求められる。
しかし、図８に示した表示結果では、出力データＳ−Ｏ
ＵＴ２と出力データＣ−ＯＵＴ２とは一致していない。
具体的には、出力データＳ−ＯＵＴ２の立ち下がり時刻
ｔ１と出力データＣ−ＯＵＴ２の立ち下がり時刻ｔ２と
が一致せずに、その相違箇所が強調表示される。例え
ば、図８では、この相違箇所にハッチングを付したが、
実際の表示画面においては、特定の色（例えば赤色）を
付したり、他の部分よりも輝度を高くしたハイライト表
示をしたりする。このことから、半導体デバイス２５の
出力データＣ−ＯＵＴ２に関する動作が不良であり、特
に、時刻ｔ１および時刻ｔ２の近傍での動作が不良であ
ることが判明する。

【００４４】このように、本実施形態の半導体試験シス
テムでは、シミュレータ１によって、モデル１２のシミ
ュレーションに関連する規定入力データおよびシミュレ
ーション・データをＳ−ＶＣＤデータに変換するととも
に、データ変換装置３によって、半導体デバイス２５の
動作試験に関連するテスト・データおよびデバイス出力
データをＣ−ＶＣＤデータに変換する。これにより、波
形表示装置４は、これら２種類のＶＣＤデータによって
表される波形を重ねて表示部４１に表示することができ
るので、操作者は、モデル１２の動作に関するシミュレ
ーション結果と半導体デバイス２５の実際の動作内容と
を容易に比較することができる。この結果、波形観測ツ
ールを用いて表示された波形が仕様を満たしているか否
かを仕様の内容に基づいて検証したり、半導体デバイス
を試験して得られたログ情報に基づいて検証したりして
いた従来の半導体試験システムに比べて、半導体デバイ
ス２５の不良の有無を容易に検出することができ、検出
された不良に関する情報を詳細に知ることができる。ま
た、モデル１２に関する規定入力データおよびシミュレ
ーション・データ、並びに、半導体デバイス２５に関す
るテスト・データおよびデバイス出力データが表示され
ることから、従来の半導体試験システムと異なり、半導
体デバイス２５自身に不具合があるのか、テスト・プロ
グラム２４に不具合があるのか等、不具合がある箇所を
突き止める作業を容易に行うことができる。

【００４５】また、上述したデータ変換装置３から出力
されるＣ−ＶＣＤデータは汎用性（特に表示に関する汎
用性）を有するため、複数の利用者間あるいは各種装置
間（表示装置や解析装置等）で受け渡しを行う場合等に
おいて便利である。例えば、従来の波形観測ツールは、
半導体デバイスの入出力波形を表示するために用いられ
るものであるため、全試験サイクルのデータを保存しよ
うとすると、表示内容を更新する毎にデータの保存を指
示する必要があり手間がかかる。また、このようにして
保存したデータは、特定の波形観測ツールを用いなけれ
ばその内容である入出力波形を表示することができな
い。ところが、Ｃ−ＶＣＤデータは、ＶＣＤフォーマッ
トを有しており、表示に関して汎用性を有することか
ら、他の一般的な表示装置を用いてその内容（半導体デ
バイスの入出力データ等）を表示することができ、しか
もデータ量も少ないことから、データの保存にも適して
いる。

【００４６】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変
形実施が可能である。例えば、Ｓ−ＶＣＤデータが規定
入力データ１３を含み、かつ、半導体試験装置データが
テスト・データを含む上記の例と異なり、規定入力デー
タ１３を予めデータ変換装置３に格納したり、あるい
は、テスト・プログラム２４と同一のプログラムをシミ
ュレーションすることによりテスト・データと同一のデ
ータを生成したりしてもよい。このようにして得られた
規定入力データやテスト・データをＶＣＤフォーマット
に従って変換することにより、上記の例と同様の効果を
得ることができる。

【００４７】また、上述した実施形態では、図８に示し
たように、シミュレーションによって得られた波形と、
半導体デバイス２５を用いた実際の試験によって得られ
た波形とを重ねて表示するようにしたが、図９に示すよ
うに、同一画面内に並行して表示するようにしてもよ
い。

【００４８】また、上述した実施形態では、汎用性のあ
るデータフォーマットとしてＶＣＤフォーマットを用い
たが、ＷＧＬ、ＳＴＩＬ（Standard Test Interface La
nguage）等の他の汎用性のあるフォーマットを用いるよ
うにしてもよい。

【００４９】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、半導
体デバイスに対して所定の試験が行われて結果データが
得られたときに、この結果データに基づいて汎用性のあ
るデータが生成されるため、半導体デバイスの動作の検
証結果を他の表示装置、解析装置等に受け渡すことが容
易となる。

【００５０】また、モデルのシミュレーション結果を表
すデータのフォーマットと、半導体デバイスの試験結果
を表すデータのフォーマットとが同じとなることから、
両データの比較が容易となり、半導体デバイスの動作の
検証が容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態の半導体試験システムの構成を示す
図である。

【図２】半導体試験装置からデータ変換装置に受け渡さ
れるデータを示す図である。

【図３】制御データの内容を示す図である。

【図４】キャプチャ・データの内容を示す図である。

【図５】Ｃ−ＶＣＤデータの内容を示す図である。

【図６】本実施形態の半導体試験システムを用いて半導
体デバイスの動作を検証する手順を示す流れ図である。

【図７】Ｓ−ＶＣＤデータの内容を示す図である。

【図８】波形表示装置によって表示される波形を示す図
である。

【図９】波形表示装置によって表示される波形を示す図
である。

【符号の説明】

１シミュレータ２半導体試験装置３データ変換装置４波形表示装置２０制御部２１記憶部２２固定部２３入出力部３０キャプチャ部３１コンバータ部３２入力部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体デバイスに対して所定の試験を行
う試験装置と、前記試験装置による試験によって得られる第１のデータ
を汎用性のあるフォーマットを有する第２のデータに変
換する変換装置と、を備えることを特徴とする半導体試験システム。
【請求項２】請求項１において、前記半導体デバイスに対応するシミュレーション用のモ
デルが回路記述用言語を用いて記述されており、前記第２のデータのフォーマットは、前記回路記述用言
語に対応したシミュレータによって生成されるデータの
フォーマットであることを特徴とする半導体試験システ
ム。
【請求項３】請求項１において、前記半導体デバイスに対応するシミュレーション用のモ
デルが回路記述用言語を用いて記述されており、前記モデルの動作をシミュレーションすることにより得
られる前記モデルの入出力波形に関する第３のデータ
と、前記変換装置による変換によって得られた前記第２
のデータとが入力され、これら第２および第３のデータ
に基づいてそれぞれに対応する２種類の波形を同一画面
上に表示する表示装置をさらに備えることを特徴とする
半導体試験システム。
【請求項４】請求項３において、前記表示装置は、前記２種類の波形を重ねて表示し、こ
れらの波形の相違箇所を強調することを特徴とする半導
体試験システム。
【請求項５】請求項１〜４のいずれかにおいて、前記第２のデータは、前記試験装置によって前記半導体
デバイスに入出力されるデータの値が変化する時刻およ
び変化する状況を含んでいることを特徴とする半導体試
験システム。
【請求項６】請求項１〜５のいずれかにおいて、前記第２のデータのフォーマットは、ＶＣＤフォーマッ
トであることを特徴とする半導体試験システム。
【請求項７】請求項３または４において、前記回路記述用言語は、ベリログ言語であることを特徴
とする半導体試験システム。