JP2001345344A - 高周波半導体装置 - Google Patents

高周波半導体装置

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JP2001345344A JP2000163040A JP2000163040A JP2001345344A JP 2001345344 A JP2001345344 A JP 2001345344A JP 2000163040 A JP2000163040 A JP 2000163040A JP 2000163040 A JP2000163040 A JP 2000163040A JP 2001345344 A JP2001345344 A JP 2001345344A
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semiconductor chip
frequency
leads
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博明 清水
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤ及びリードによるインダクタンス成分
を効果的に減少させてインピーダンス特性の改善を図
り、これにより回路の性能を十分に引き出すことを可能
とする。 【解決手段】 回路ブロック6の任意の辺に沿って配列
された複数のパッド3−1,3−4のうち、回路ブロッ
ク6に対し接地端子として機能する2個のパッド3−
1,3−3を、同一回路ブロック6に接続される他のパ
ッド3−2を介在させた状態で相互に離間して配置して
いる。そして、これらの接地用のパッド3−1,3−3
を、互いに共通接続したのち回路ブロック6内の接地回
路に接続すると共に、ボンディングワイヤ4−1,4−
3を介して対応するリード5−1,5−3に接続し、こ
のリード5−1,5−3を外部装置において接地するよ
うにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば移動無線
通信装置の無線回路部に用いられる高周波半導体装置に
係わり、特に複数のリード端子を備えた高周波半導体装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】移動通信システムや衛星通信システムに
おいて使用される無線通信装置では、無線ユニットに低
雑音増幅器やダウンコンバータ等の高周波回路を使用し
ており、これらの高周波回路は集積化された高周波半導
体装置により構成されている。
【0003】図8はこの種の半導体装置の構造の一例を
示す部分斜視図である。同図において、パッケージ(外
囲器)1上には高周波回路を集積化した半導体チップ2
が搭載してあり、この半導体チップ2上にはその各辺に
沿って複数のパッド3−1〜3−7が設けてある。また
パッケージ1上には、上記各パッド3−1〜3−7と一
対一に対向する状態に複数のリード5−1〜5−7が設
けてある。そして、これらのパッド3−1〜3−7とリ
ード5−1〜5−7との間は、ボンディングワイヤ4−
1〜4−7により電気的に接続されている。なお、上記
各リード5−1〜5−7の先端部には、パッケージ1の
外部に突出する状態にピンが設けてあり、このピンを介
して半導体チップ2上の回路と外部との間で電気信号の
授受が行われる。
【0004】図9は上記構造の半導体装置の等価回路を
示したものである。同図においては、ボンディングワイ
ヤ4−1〜4−7及びリード5−1〜5−7は電気的に
はインダクタンスとして見えるので、これらをまとめて
インダクタンスとして示している。また、6は半導体チ
ップ2上に形成された回路ブロックであり、7はキャパ
シタ、8は電源供給端子である。
【0005】上記したようにボンディングワイヤ4−1
〜4−7及びリード5−1〜5−7は電気回路的にはイ
ンダクタンスとして見える。インダクタンスの値は、パ
ッケージ1の形状や各材質などによって異なるが、一般
的なパッケージ1のサンプルを実験的に測定したとこ
ろ、その値は1.0〜3.0[nH]である。例えば、1
ピンあたりのボンディングワイヤ4−1〜4−7及びリ
ード5−1〜5−7のインダクタンスが2[nH]だっ
たとすると、周波数2[GHz]でのインピーダンスは次
の第(1)式のようになる。
【数1】 ところで、パッド3−1は接地端子なので、理想的には
ほとんど0[Ω]に近いインピーダンスで接地しなけれ
ばならない。しかし、この例では数十オームのインピー
ダンスを持つ。このため、半導体チップ2上に構成され
た高周波回路の動作が不安定となり、この高周波回路の
特性を充分に引き出すことが困難となる。
【0006】そこで、従来では次のような工夫がなされ
ている。図10はその一例を示すもので、隣接する2つ
のパッド3−1,3−2を半導体チップ2上で回路ブロ
ック6の接地端子として共通に接続し、リード5−1,
5−2をパッケージ1外部で接地している。
【0007】この構成では、パッド3−1,3−2から
外部を見たときの合成インダクタンスは、ボンディング
ワイヤ及びリードが2つ並列接続されているため、図8
に示したパッド3−1だけの場合よりも小さくなる。し
かし、ボンディングワイヤ4−1,4−2は互いに隣接
しているため、これらに同相の高周波電流が流れるとこ
れによって生じる磁界が互いに影響を及ぼし合うことに
なる。つまり、ボンディングワイヤ4−1,4−2間に
は相互インダクタンスが働き、これらを並列接続したと
きの合成インダクタンスは単純に元の自己インダクタン
スの半分にはならない。
【0008】実験的にサンプルのインダクタンス値を測
定したところ、1ピンだけの場合のインダクタンスが
2.0[nH]であったものを約0.5[mm]離して2本
配線すると、その相互インダクタンスは1.4[nH]
であった。周波数2[GHz]でのそのインピーダンスは
次のようになる。
【数2】 そこで、回路ブロック6に共通接続する接地ピンの数を
さらに増やすことが考えられる。図11は、接地ピンの
数を3個にした場合の等価回路を示したもので、パッド
3−1,3−2,3−3は半導体チップ2上で共通接続
され、またボンディングワイヤ4−1,4−2,4−3
及びリード5−1,5−2,5−3を介して外部で接地
されている。
【0009】同図においても、ボンディングワイヤ4−
1,4−2,4−3は互いに隣接して配置されているた
め、これらに同相の高周波電流が流れて生じる磁界が互
いに影響を及ぼし合うことになる。つまり、ボンディン
グワイヤ4−1,4−2,4−3間には前記図10の場
合と同様に相互インダクタンスが働き、これらを並列接
続した時の合成インダクタンスは単純に元の自己インダ
クタンスの1/3にはならない。
【0010】これについても、実験的にサンプルのイン
ダクタンス値を測定したところ、1ピンだけの場合のイ
ンダクタンスが2.0[nH]あったものを約0.5[m
m]づつ離して3本配線すると、その相互インダクタン
スは1.2[nH]であった。周波数2[GHz]でのイン
ピーダンスは次のようになる。
【数3】 すなわち、同時に接地するピン数を増やすことにより、
1ピンだけの場合よりもインダクタンスを小さくするこ
とができる。しかし、各パッドは半導体チップ2との間
に寄生容量を持つので、このパッドの寄生容量とボンデ
ィングワイヤおよびリードのインダクタンスとにより、
半導体チップ2上のパッドから外部を見たインピーダン
スは並列共振点を持つことになる。パッドが持つ容量値
をC[F]、ボンディングワイヤおよびリードのインダ
クタンスをL[H]とした場合の並列共振周波数fr[H
z]は第(4)式のようになる。
【数4】 そして、周波数f[Hz]でのインピーダンスZ(f)は第
(5)式のようになる。
【数5】 例として、パッドひとつあたりの容量が1[pF]であっ
たならば、図9の場合の並列共振周波数は次のようにな
る。
【数6】 そして、周波数2[GHz]でのインピーダンスは次のよ
うになる。
【数7】 また、図10に示すようにパッド3−1,3−2を半導
体チップ2上で共通接続した場合には、これらパッド3
−1,3−2の合成容量は単なる並列接続となり、倍に
なるのでこの場合の並列共振周波数は次のようになる。
【数8】 そして、周波数2[GHz]でのインピーダンスは次のよ
うになる。
【数9】 さらに、図11に示した回路の場合には、パッド3−
1,3−2の合成容量はパッド3つ分の容量になるの
で、並列共振周波数は次のようになる。
【数10】 そして、周波数2[GHz]でのインピーダンスは次のよ
うになる。
【数11】 このように、パッドから外部へのインピーダンスを下げ
るため複数のパッドを半導体チップ2上で共通接続し、
複数のボンディングワイヤで引き出すようにすると、パ
ッドの寄生容量とボンディングワイヤおよびリードのイ
ンダクタンスとで並列共振してしまい、条件によっては
かえってインピーダンスを増加させてしまうことがあっ
た。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来のこの種の高周波半導体装置では、ボンディングワイ
ヤおよびリードのインダクタンス成分の影響により、高
周波ではチップ上の回路と外部ピンとのインピーダンス
が大きくなってしまい、チップ上の回路の特性を充分に
引き出せないという問題点があった。
【0012】また、この問題を軽減すべく、回路上のイ
ンピーダンスを低減させたい端子に共通接続するピン数
を増やすことも行われているが、これらのピンを隣接さ
せて配置すると、各ボンディングワイヤとボンディング
ワイヤとの間、あるいはリードとリードとの間で相互イ
ンダクタンスが作用するので、その合成インダクタンス
はピン数の逆数に正比例して減少しない。そればかり
か、ピン数を増やせば、パッドの持つ寄生容量がその数
に正比例して増加するので、ボンディングワイヤやリー
ドの合成インダクタンスとパッド容量とが成す並列共振
の周波数が下がってしまい、条件によってはインピーダ
ンスをかえって増加させてしまうという問題があった。
【0013】この発明は上記事情に着目してなされたも
ので、その目的とするところは、ボンディングワイヤ及
びリードによるインダクタンス成分を効果的に減少させ
てインピーダンス特性の改善を図り、これにより回路の
性能を十分に引き出すことを可能とした高周波半導体装
置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に第1の発明は、半導体チップ内の回路に接続される複
数のパッドを半導体チップの辺に沿って配列する共に、
これらのパッドに対向して複数のリードを設け、これら
のパッドとリードとの間をワイヤにより互いに交差しな
い状態に接続してなる高周波半導体装置にあって、上記
複数のパッドのうち、上記半導体チップ内の回路に対し
共通に接続される複数の特定パッドを、間に少なくとも
一つの他のパッドを介在させた状態で離間して配置する
ように構成したものである。
【0015】したがって第1の発明によれば、各特定パ
ッドに接続されるワイヤ及びリードは、他のパッドに接
続されるワイヤ及びリードを間に挟むことで相互に十分
に離間した状態となる。このため、上記各特定パッドに
接続されるワイヤ及びリード間で発生する相互インダク
タンスは減少し、これにより合成インダクタンスを特定
パッドの数にほぼ反比例して減少させることが可能とな
る。したがって、高周波帯域においても、半導体チップ
の回路と外部との間のインピーダンスは低く抑えられ、
これにより半導体チップの回路の特性を十分に引き出す
ことが可能となる。
【0016】また第1の発明は、互いに独立して動作す
る第1及び第2の半導体チップが設置されている場合
に、第1の半導体チップの回路に共通接続される複数の
特定パッドを、第2の半導体チップの回路に接続される
少なくとも一つの特定パッドを介在させた状態で離間し
て配置することも特徴とする。
【0017】このように構成すると次のような効果が奏
せられる。すなわち、複数の特定パッド間に他のパッド
を介在させると、特定のパッドに接続されるワイヤ及び
リードに流れる高周波電流が、その間に介在配置された
他のパッドに接続されるワイヤ及びリードを介して自身
の半導体チップの回路に悪影響を及ぼすことが懸念され
る。しかし、第1の半導体チップの動作中に第2の半導
体チップの回路の動作状態を上記影響を受け難い状態に
設定することで、実質的に上記影響を無視することが可
能となる。
【0018】一方、上記目的を達成するために第2の発
明は、半導体チップ内の回路に接続される複数のパッド
を半導体チップの複数の辺に沿って配列する共に、これ
らのパッドに対向して複数のリードを設け、これらのパ
ッドとリードとの間をワイヤにより互いに交差しない状
態に接続してなる高周波半導体装置にあって、上記複数
のパッドのうち、上記半導体チップ内の回路に対し共通
に接続される複数の特定パッドを、上記半導体チップの
互いに直交する複数の辺に対向して配置するように構成
したものである。
【0019】したがって第2の発明によれば、各特定パ
ッドに接続されるワイヤ及びリードは、平行ではなく互
いに直角となるように形成されることになる。このた
め、上記各特定パッドに接続されるワイヤ及びリードに
高周波電流が流れても、これらのワイヤ及びリードはお
互いの磁界を共有することがなくなり、相互インダクタ
ンスはほとんどゼロになる。したがって、上記第1の発
明と同様に、高周波帯域においても半導体チップの回路
と外部との間のインピーダンスは低く抑えられ、これに
より半導体チップの回路の特性を十分に引き出すことが
可能となる。
【0020】また上記発明を達成するために第3の発明
は、半導体チップ内の回路に接続される複数のパッドを
半導体チップの辺に沿って配列する共に、これらのパッ
ドに対向して複数のリードを設け、これらのパッドとリ
ードとの間をワイヤにより互いに交差しない状態に接続
してなる高周波半導体装置にあって、上記複数のパッド
のうち、上記半導体チップ内の回路を外部装置に対し交
流的に低インピーダンスで接続する複数の特定のパッド
間にキャパシタンス回路を接続し、かつこのキャパシタ
ンス回路の容量を、上記特定パッドとリードとの間を接
続するワイヤのインダクタンス成分との相互作用により
上記半導体チップの回路の動作周波数帯域において直列
共振を発生する値に設定するように構成したものであ
る。
【0021】したがって第3の発明によれば、特定パッ
ドに接続されるワイヤ及びリードのインダクタンス成分
と、キャパシタンス回路の容量とによって、半導体チッ
プの回路の動作周波数帯域において直列共振を発生させ
ることが可能となる。このため、動作周波数帯域におけ
る半導体チップの回路と外部との間のインピーダンスを
低下させることができ、この結果上記第1及び第2の発
明と同様に、高周波帯域においても半導体チップの回路
と外部との間のインピーダンスは低く抑えられ、これに
より半導体チップの回路の特性を十分に引き出すことが
可能となる。
【0022】またこの第3の発明は、上記キャパシタン
ス回路に可変容量機能を備え、この可変容量機能により
半導体チップの回路の動作周波数に応じて複数の直列共
振周波数を選択的に発生するように構成することも特徴
とする。
【0023】このように構成することで、半導体チップ
の回路の動作周波数が無線通信方式の違い等により異な
る値に設定されるような場合でも、この変更に容易に対
応することができる。すなわち、1種類の高周波半導体
装置を用意するだけで、複数種の無線通信方式に適用可
能となる。
【0024】
【発明の実施の形態】[第1の実施形態]この発明に係
わる高周波半導体装置の第1の実施形態は、半導体チッ
プに設けられている複数のパッドのうち、半導体チップ
内の回路ブロックに対し接地端子として機能する2個の
パッドを、その間に少なくとも一つの他のパッドを介在
させた状態で離間して配置するようにしたものである。
【0025】以下、その実施例をいくつか説明する。 (第1の実施例)図1は、この第1の実施例における高
周波半導体装置の構成を示す等価回路図である。なお、
同図において前記図9と同一部分には同一符号を付して
説明を行う。
【0026】1はパッケージであり、このパッケージ1
上には半導体チップ2が搭載されている。この半導体チ
ップ2には、集積回路化された回路ブロック6と、その
四辺に沿って一列に配列された複数のパッド3−1〜3
−7が形成してある。なお、図では簡単のため四辺のう
ちの二辺についてのみ図示してある。
【0027】一方パッケージ1上には、上記各パッド3
−1〜3−7に位置的に対向して、各々先端部にピンを
備えた複数のリード5−1〜5−7が配設してある。そ
して、上記各パッド3−1〜3−7と上記各リード5−
1〜5−7との間は、それぞれボンディングワイヤ4−
1〜4−7を用いて電気的に接続されている。このと
き、各ボンディングワイヤ4−1〜4−7は、互いに交
差せずに平行な状態を保持する。
【0028】ところで本実施例では、上記複数のパッド
3−1〜3−7のうち、回路ブロック6に対し接地端子
として機能する2個のパッド3−1,3−3を、他のパ
ッド3−2を間に介在させた状態で相互に離間して配置
している。そして、これらの接地用のパッド3−1,3
−3を、図中Aに示すように半導体チップ2上で互いに
共通接続したのち、回路ブロック6内の接地回路に接続
している。なお、上記各接地用のパッド3−1,3−3
は、それぞれボンディングワイヤ4−1,4−3及びリ
ード5−1,5−3を介して、接地される。
【0029】このような構成であるから、各接地用のパ
ッド3−1,3−3から外部を見たインピーダンスは、
ボンディングワイヤ4−1,4−3及びリード5−1,
5−3が持つインダクタンス成分L1,L3の並列とな
る。このとき、リード5−1,5−3間には他のリード
5−2が介在配置してあるため、リード5−1,5−3
に接続されるボンディングワイヤ4−1,4−3の距離
は離れている。このため、回路ブロック6の動作中に、
ボンディングワイヤ4−1,4−3及びリード5−1,
5−3に同相の高周波電流が流れても、お互いの磁界の
影響は少なくなり、その間に働く相互インダクタンスは
小さくなる。
【0030】実験的にサンプルのインダクタンス値を測
定したところ、1ピンだけの場合のインダクタンスが2
[nH]あったものを約0.5[mm]づつ離して配置し、
間に1ピンはさんだ2ピンの合成インダクタンスは、
1.3[nH]であった。
【0031】周波数2[GHz]でのインピーダンスは、
【数12】 のように16[Ω]となる。また、ひとつのパッドあた
り1[pF]の寄生容量があったとすると、この容量と合
成インダクタンスとによる並列共振周波数は、
【数13】 となり、この場合の周波数2[GHz]でのインピーダン
スは
【数14】 となる。
【0032】従来例である図10の構成と比べると、接
地するピンは同じ2ピンであるが、周波数2[GHz]で
のインピーダンスは、第(9)式よりも小さくなってい
ることがわかる。
【0033】なお、ボンディングワイヤ4−1あるいは
4−3は、電磁界的にボンディングワイヤ4−2に結合
している。このため、ボンディングワイヤ4−1,4−
3に高周波電流が流れると、ボンディングワイヤ4−2
にも電流が流れてパッド3−2に接続されている回路ブ
ロック6内の回路に影響を及ぼすことが懸念される。し
かし、例えばパッド3−2に接続される回路として、ロ
ジック回路のように大振幅の信号でその振幅や位相が信
号情報を担っていない信号を取り扱う回路に割り当てれ
ば、パッド3−2にパッド3−1,3−3からの高周波
信号が結合しても回路動作的には問題とならない。
【0034】(第2の実施例)図2は、この第2の実施
例における高周波半導体装置の構成を示す等価回路図で
ある。なお、同図において前記図1と同一部分には同一
符号を付して詳しい説明は省略する。
【0035】本実施例では、半導体チップ2上に第1及
び第2の回路ブロック6−1,6−2が形成してあり、
これらの回路ブロック6−1,6−2の四辺には複数の
パッド3−1〜3−7が一列に形成してある。第1及び
第2の回路ブロック6−1,6−2は、図示していない
制御部からの制御信号により、選択的に独立して動作す
る。
【0036】上記複数のパッド3−1〜3−7のうち、
第1の回路ブロック6−1に対し接地端子として機能す
る2個のパッド3−1,3−3は、1パッド分だけ相互
に離間して配置してある。そして、これらのパッド3−
1,3−3間には、第2の回路ブロック6−2に対し接
地端子として機能する1個のパッド3−2を介在配置し
ている。
【0037】また、上記接地用のパッド3−1,3−3
は、図中B1に示すように半導体チップ2上で互いに共
通接続されたのち第1の回路ブロック6−1内の接地回
路に接続してあり、一方接地用パッド3−2は図中B2
に示すように上記配線B1と交差させた状態で第2の回
路ブロック6−2内の接地回路に接続してある。
【0038】なお、上記接地用の各パッド3−1,3−
2,3−3は、それぞれボンディングワイヤ4−1,4
−2,4−3及びリード5−1,5−2,5−3を介し
て、接地される。
【0039】このような構成であるから、各ボンディン
グワイヤ4−1,4−3は電磁界的にボンディングワイ
ヤ4−2に結合しているので、ボンディングワイヤ4−
1,4−3に高周波電流が流れると、ボンディングワイ
ヤ4−2にもその影響が現れる。しかし、パッド3−2
に接続されている第2の回路ブロック6−2は、システ
ム的に第1の回路ブロック6−1とは選択的に独立して
動作する。このため、第1の回路ブロック6−1が動作
している時には、第2の回路ブロック6−2を非動作状
態に設定することが可能である。よって、ボンディング
ワイヤ4−2がボンディングワイヤ4−1,4−3に流
れる高周波電流の影響を受けても、システム的には問題
とならない。
【0040】(第3の実施例)図3は、この第3の実施
例における高周波半導体装置の構成を示す等価回路図で
あり、前記図1と同一部分には同一符号を付してある。
【0041】本実施例では、複数のパッド3−1〜3−
7のうち、回路ブロック6に対し接地端子として機能す
る2個のパッド3−1,3−4を、間に他のパッド3−
2,3−3を介在させた状態で配置している。つまり、
接地用のパッド3−1,3−4を2パッド分相互に離間
させて配置している。そして、これらの接地用のパッド
3−1,3−4を、図中Cに示すように半導体チップ2
上で互いに共通接続したのち、回路ブロック6内の接地
回路に接続している。なお、上記各接地用のパッド3−
1,3−4は、それぞれボンディングワイヤ4−1,4
−4及びリード5−1,5−4を介して、接地される。
【0042】このような構成であるから、接地用のパッ
ド3−1,3−4から外部を見たインピーダンスは、ボ
ンディングワイヤ4−1,4−4及びリード5−1,5
−4が持つインダクタンス成分L1,L4の並列とな
る。このとき、リード5−1と5−4との間には2個の
リード5−2,5−3が介在配置されている。このた
め、リード5−1,5−4に接続されるボンディングワ
イヤ4−1,4−4同士の距離は、図1に示した構成よ
りも更に離れることになるので、ボンディングワイヤ4
−1,4−4に同相の高周波電流が流れても、お互いの
磁界の影響は更に少なくなり、その間に働く相互インダ
クタンスは小さくなる。
【0043】実験的にサンプルのインダクタンス値を測
定したところ、1ピンだけの場合のインダクタンスが2
[nH]あったものを約0.5[mm]づつ離して配置し、
間に2ピンはさんだ場合の合成インダクタンスは1.2
[nH]であった。周波数2[GHz]でのインピーダンス
は、
【数15】 のように15[Ω]となる。
【0044】また、1個のパッド当たり1[pF]の寄生
容量があったとすると、この寄生容量と合成インダクタ
ンスとによる並列共振周波数は、
【数16】 のようになる。そして、この場合の周波数2[GHz]で
のインピーダンスは、
【数17】 のようになる。
【0045】これを従来例である図10に示した構成と
比較すると、接地するピンは同じ2ピンであるが、周波
数2[GHz]でのインピーダンスは、第(9)式よりも
更に小さくなっていることがわかる。
【0046】以上、第1乃至第3の各実施例で述べたよ
うに、この発明に係わる第1の実施形態では、回路ブロ
ック6又は6−1,6−2の任意の辺に沿って配列され
た複数のパッド3−1,3−4のうち、回路ブロック6
又は6−1に対し接地端子として機能する2個のパッド
3−1,3−3又は3−4を、同一回路ブロック6又は
6−1に接続される他のパッド、又は他の回路ブロック
6−2に対し接地端子として機能するパッドを介在させ
た状態で相互に離間して配置している。そして、これら
の接地用のパッド3−1,3−3又は3−4を、半導体
チップ2上で互いに共通接続したのち、回路ブロック6
又は6−1内の接地回路に接続している。
【0047】したがって、回路ブロック6,6−1の動
作中に、上記接地用のパッド3−1,3−3又は3−4
に接続されたボンディングワイヤ4−1,4−3又は3
−4及びリード5−1,5−3又は5−4に同相の高周
波電流が流れても、お互いの磁界の影響は少なくなり、
その間に働く相互インダクタンスを小さくすることがで
きる。このため、合成インダクタンスを特定パッドの数
にほぼ反比例して減少させることが可能となり、この結
果高周波帯域においても半導体チップ2の回路ブロック
6と外部装置との間のインピーダンスは低く抑えられ、
これにより半導体チップ2の回路ブロック6の特性を十
分に引き出すことが可能となる。
【0048】[第2の実施形態]この発明に係わる高周
波半導体装置の第2の実施形態は、半導体チップに設け
られている複数のパッドのうち、半導体チップ内の回路
ブロックに対し接地端子として機能する2個のパッド
を、前記半導体チップの互いに直交する二辺に対向して
配置するようにしたものである。
【0049】図4は、この第2の実施形態における高周
波半導体装置の構成を示す等価回路図である。なお、同
図において前記図1と同一部分には同一符号を付して説
明を行う。
【0050】この第2の実施形態では、複数のパッド3
−1〜3−7のうち、回路ブロック6に対し接地端子と
して機能する2個のパッド3−1,3−5を、回路ブロ
ック6の隣り合う二辺に分けて配置している。そして、
これらの接地用のパッド3−1,3−5を、図中Dに示
すように互いに共通接続したのち、回路ブロック6内の
接地回路に接続している。また、上記各接地用のパッド
3−1,3−5とリード5−1,5−5との間を、それ
ぞれボンディングワイヤ4−1,4−5を介して接続し
ている。なお、リード5−1,5−5は接地される。
【0051】すなわち、上記各接地用のパッド3−1,
3−5に接続されるボンディングワイヤ4−1,4−5
及びリード5−1,5−5は、隣り合ってはいるもの
の、互いに直角となる位置関係に配置される。
【0052】このような構成であるから、接地用のパッ
ド3−1,3−5から外部を見たインピーダンスは、ボ
ンディングワイヤ4−1,4−5及びリード5−1,5
−5が持つインダクタンス成分L1,L5の並列とな
る。しかるに、ボンディングワイヤ4−1,4−5及び
リード5−1,5−5は、先に述べたように互いの位置
関係がほぼ直角となるように配置されている。このた
め、ボンディングワイヤ4−1,4−5及びリード5−
1,5−5に同相の高周波電流が流れても、お互いの磁
界を共有することがなくなり、その間に働く相互インダ
クタンスは殆どゼロになる。
【0053】実験的にサンプルのインダクタンス値を測
定したところ、1ピンだけの場合のインダクタンスが2
[nH]あったものを直角に配置した場合の合成インダク
タンスは、1.0[nH]であった。周波数2[GHz]で
のインピーダンスは、
【数18】 のように13[Ω]となる。
【0054】また、ひとつのパッド当たり1[pF]の寄
生容量があったとすると、この容量と合成インダクタン
スとによる並列共振周波数は、
【数19】 のようになる。そして、この場合の周波数2[GHz]で
のインピーダンスは、
【数20】 のようになる。
【0055】これを従来例である図10に示した構成と
比較すると、接地するピンは同じ2ピンであるが、周波
数2[GHz]でのインピーダンスは、第(9)式よりも
小さくなっていることがわかる。
【0056】以上述べたようにこの発明に係わる第2実
施形態では、回路ブロック6に付属する複数のパッド3
−1〜3−7のうち、回路ブロック6に対し接地端子と
して機能する2個のパッド3−1,3−5を回路ブロッ
ク6の隣り合う二辺に分けて配置し、これによりこれら
の接地用のパッド3−1,3−5に接続されるボンディ
ングワイヤ4−1,4−5及びリード5−1,5−5の
相対的な位置関係が直角となるようにしている。
【0057】したがって、ボンディングワイヤ4−1,
4−5及びリード5−1,5−5に同相の高周波電流が
流れても、お互いの磁界を共有することがなくなり、そ
の間に働く相互インダクタンスを殆どゼロにすることが
できる。このため、前記第1の実施形態と同様に、高周
波帯域においても回路ブロック6と外部との間のインピ
ーダンスは低く抑えられ、これにより回路ブロック6の
特性を十分に引き出すことが可能となる。
【0058】[第3の実施形態]この発明に係わる高周
波半導体装置の第3の実施形態は、半導体チップ2上に
2個の回路ブロックが形成されている装置にあって、一
方の回路ブロックに対し接地端子として機能するパッド
を、他方の回路ブロックに対し給電端子として機能する
パッドに対しキャパシタを介して接続し、かつこのキャ
パシタの容量を、上記電源供給用のパッドに接続される
ボンディングワイヤ及びリードのインダクタンス成分と
の相互作用により、回路ブロックの動作周波数帯域にお
いて直列共振を発生する値に設定するようにしたもので
ある。
【0059】図5は、この第3の実施形態における高周
波半導体装置の構成を示す等価回路図である。1はパッ
ケージであり、このパッケージ1上には半導体チップ2
が搭載されている。この半導体チップ2には、集積回路
化された第1及び第2の回路ブロック6,6−3と、そ
の四辺に沿って一列に配列された複数のパッド3−1〜
3−11が形成してある。なお、図では簡単のため四辺
のうちの二辺についてのみ図示してある。
【0060】一方パッケージ1上には、上記各パッド3
−1〜3−11に位置的に対向して、各々先端部にピン
を備えた複数のリード5−1〜5−11が配設してあ
る。そして、上記各パッド3−1〜3−11と上記各リ
ード5−1〜5−11との間は、それぞれボンディング
ワイヤ4−1〜4−11を用いて電気的に接続されてい
る。このとき、各ボンディングワイヤ4−1〜4−11
は、互いに交差せずに平行な状態を保持している。
【0061】ところで本実施形態では、上記複数のパッ
ド3−1〜3−11のうち、第1の回路ブロック6に対
し接地端子として機能するパッド3−1と、第2の回路
ブロック6−3に対し電源供給端子として機能するパッ
ド3−11との間を、キャパシタ9を介して接続してい
る。このキャパシタ9の容量は、上記電源供給用のパッ
ド3−11に接続されるボンディングワイヤ4−11及
びリード5−11が持つインダクタンス成分L11との
相互作用により、回路ブロック6の動作周波数帯域にお
いて直列共振が発生する値に設定している。
【0062】なお、上記電源供給用のパッド3−11
は、ボンディングワイヤ4−11及びリード5−11を
介して外部電源端子8−3に接続され、また上記接地用
のパッド3−1は、ボンディングワイヤ4−1及びリー
ド5−1を介して接地される。
【0063】このような構成であるから、リード5−1
1は電源端子8−3に接続されているため、パッケージ
1外のキャパシタ7−3によって高周波的に低インピー
ダンスになる。そして、キャパシタ9の容量は、ボンデ
ィングワイヤ4−11及びリード5−11のインダクタ
ンス成分L11との間で、所望の周波数で直列共振する
ように設定されているため、この直列共振周波数でのパ
ッド3−1のインピーダンスを下げることが可能とな
る。
【0064】例えば、1ピンあたりのボンディングワイ
ヤ及びリードのインダクタンス値が2[nH]であったと
すると、キャパシタ9の値を3.2[pF]にすれば、そ
の直列共振周波数は
【数21】 のように約2[GHz]となり、この周波数における接地
用パッド3−1のインピーダンスを低くすることができ
る。
【0065】[その他の実施形態]図6は、この本発明
に係わる高周波半導体装置のその他の実施形態における
一実施例を示す等価回路図であり、前記図2に示した構
成と図5に示した構成とを組合わせたものである。
【0066】本実施例では、半導体チップ2上に第1、
第2及び第3の回路ブロック6−1,6−2,6−3が
形成してあり、これらの回路ブロック6−1,6−2の
四辺には複数のパッド3−1〜3−11が一例に形成し
てある。第1及び第2の回路ブロック6−1,6−2
は、図示していない制御部からの制御信号により、選択
的に独立して動作する。
【0067】上記複数のパッド3−1〜3−11のう
ち、第1の回路ブロック6−1に対し接地端子として機
能する2個のパッド3−1,3−3は、1パッド分だけ
相互に離間して配置してある。そして、これらのパッド
3−1,3−3間には、第2の回路ブロック6−2に対
し接地端子として機能する1個のパッド3−2を介在配
置している。
【0068】また、上記第3の回路ブロック6−3に対
し接地端子として機能するパッド3−9は、上記第1及
び第2の回路ブロック6−1の接地用パッド3−1,3
−3及び3−2に対し、距離的に十分離間しかつボンデ
ィングワイヤ4−1,4−9同士の位置関係が互いに直
角となるように配置してある。そして、上記第1の回路
ブロック6−1の接地用のパッド3−1,3−3と、第
3の回路ブロック6−3の接地用パッド3−9とは、図
中Eに示すように半導体チップ2上で互いに共通接続さ
れている。
【0069】なお、上記接地用の各パッド3−1,3−
2,3−3,3−9は、それぞれボンディングワイヤ4
−1,4−2,4−3,4−9及びリード5−1,5−
2,5−3,5−9を介して、接地される。
【0070】このような構成であるから、各接地用のパ
ッド3−1,3−3から外部を見たインピーダンスは、
ボンディングワイヤ4−1,4−3及びリード5−1,
5−3が持つインダクタンス成分L1,L3の並列とな
る。このとき、リード5−1,5−3間には他のリード
5−2が介在配置してあるため、リード5−1,5−3
に接続されるボンディングワイヤ4−1,4−3の距離
は離れている。このため、回路ブロック6の動作中に、
ボンディングワイヤ4−1,4−3及びリード5−1,
5−3に同相の高周波電流が流れても、お互いの磁界の
影響は少なくなり、その間に働く相互インダクタンスは
小さくなる。
【0071】しかも、パッド3−2に接続されている第
2の回路ブロック6−2は、システム的に第1の回路ブ
ロック6−1とは選択的に独立して動作する。このた
め、第1の回路ブロック6−1が動作している時には、
第2の回路ブロック6−2を非動作状態に設定すること
が可能である。よって、ボンディングワイヤ4−2がボ
ンディングワイヤ4−1,4−3に流れる高周波電流の
影響を受けても、システム的には問題とならない。
【0072】また、パッド3−1,3−3とパッド3−
9とはある程度距離が離れていると同時に、ボンディン
グワイヤ4−1,4−2とボンディングワイヤ4−9と
は位置関係がほぼ直角であるため、互いに磁界を共有す
ることがほとんど無く、これらの間に相互インダクタン
スは作用しない。したがって、回路ブロック6−1をき
わめて低いインピーダンスで接地することができる。
【0073】一方、図7はこの本発明に係わる高周波半
導体装置のその他の実施形態における別の実施例を示す
等価回路図であり、図2に示した構成と、図4に示した
構成と、図5に示した構成とを組合わせたものである。
【0074】複数のパッド3−1〜3−11のうち、第
1の回路ブロック6−1に対し接地端子として機能する
2個のパッド3−1,3−3は、1パッド分だけ相互に
離間して配置してある。そして、これらのパッド3−
1,3−3間には、第2の回路ブロック6−2に対し接
地端子として機能する1個のパッド3−2を介在配置し
ている。
【0075】また、上記第3の回路ブロック6−3に対
し接地端子として機能するパッド3−9は、上記第1及
び第2の回路ブロック6−1の接地用パッド3−1,3
−3及び3−2に対し、距離的に十分離間しかつボンデ
ィングワイヤ4−1,4−9同士の位置関係が互いに直
角となるように配置してある。そして、上記第1の回路
ブロック6−1の接地用のパッド3−1,3−3と、第
3の回路ブロック6−3の接地用パッド3−9とは、図
中Eに示すように半導体チップ2上で互いに共通接続さ
れている。
【0076】さらに、上記第1の回路ブロック6−1の
接地用パッド3−1,3−3と、第3の回路ブロック6
−3の電源供給用パッド3−11との間には、キャパシ
タンス回路10が接続してある。このキャパシタンス回
路10は、キャパシタ9−1とスイッチ10−1とを直
列接続した回路と、上記キャパシタ10−1とは異なる
容量を持つキャパシタ9−2とスイッチ10−2とを直
列接続した回路とを、並列に接続したものである。
【0077】上記キャパシタ9−1,9−2の各容量
は、上記電源供給用のパッド3−11に接続されるボン
ディングワイヤ4−11及びリード5−11が持つイン
ダクタンス成分L11との相互作用により、回路ブロッ
ク6−1の異なる二種類の動作周波数帯域において直列
共振が発生する値に設定されている。
【0078】各キャパシタ9−1,9−2は、図示しな
い制御部の制御によってスイッチ10−1,10−2を
選択的に導通させることにより、いずれか一方が上記第
1の回路ブロック6−1の接地用パッド3−1,3−3
と、第3の回路ブロック6−3の電源供給用パッド3−
11との間に挿入される。
【0079】このような構成であるから、上記図6に示
した構成と同様に、各接地用のパッド3−1,3−3か
ら外部を見たインピーダンスは、ボンディングワイヤ4
−1,4−3及びリード5−1,5−3が持つインダク
タンス成分L1,L3の並列となる。このとき、リード
5−1,5−3間には他のリード5−2が介在配置して
あるため、リード5−1,5−3に接続されるボンディ
ングワイヤ4−1,4−3の距離は離れている。このた
め、回路ブロック6の動作中に、ボンディングワイヤ4
−1,4−3及びリード5−1,5−3に同相の高周波
電流が流れても、お互いの磁界の影響は少なくなり、そ
の間に働く相互インダクタンスは小さくなる。
【0080】しかも、パッド3−2に接続されている第
2の回路ブロック6−2は、システム的に第1の回路ブ
ロック6−1とは選択的に独立して動作する。このた
め、第1の回路ブロック6−1が動作している時には、
第2の回路ブロック6−2を非動作状態に設定すること
が可能である。よって、ボンディングワイヤ4−2がボ
ンディングワイヤ4−1,4−3に流れる高周波電流の
影響を受けても、システム的には問題とならない。
【0081】また、パッド3−1,3−3とパッド3−
9とはある程度距離が離れていると同時に、ボンディン
グワイヤ4−1,4−2とボンディングワイヤ4−9と
は位置関係がほぼ直角であるため、互いに磁界を共有す
ることがほとんど無く、これらの間に相互インダクタン
スは作用しない。したがって、回路ブロック6−1をき
わめて低いインピーダンスで接地することができる。
【0082】さらに、リード5−11は電源端子8−3
に接続されているため、パッケージ1外のキャパシタ7
−3によって高周波的に低インピーダンスになる。そし
て、キャパシタ9−1,9−2の容量は、ボンディング
ワイヤ4−11及びリード5−11のインダクタンス成
分L11との間で、所望の周波数で直列共振するように
設定されているため、この直列共振周波数でのパッド3
−1のインピーダンスを下げることが可能となる。
【0083】しかも、図示されない別の制御部よりスイ
ッチ手段10−1,10−2を選択的にオン/オフ制御
することにより、必要に応じてキャパシタ9−1,9−
2をパッド3−1,3−11間に挿入することができ
る。このため、回路ブロック6−1,6−3の動作周波
数に応じて、ボンディングワイヤ4−11との直列共振
周波数を調整することができる。
【0084】なお、この発明は上記各実施形態及びその
実施例に限定されるものではなく、回路ブロックの数や
種類、機能、パッドの数、ピンの配置間隔をはじめ、こ
の発明に係わる高周波半導体装置を使用する無線通信装
置の種類や構成等についても、この発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々変形して実施できる。
【0085】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明では、半導
体チップ内の回路に接続される複数のパッドを半導体チ
ップの複数の辺に沿って配列する共に、これらのパッド
に対向して複数のリードを設け、これらのパッドとリー
ドとの間をワイヤにより互いに交差しない状態に接続し
てなる高周波半導体装置にあって、上記複数のパッドの
うち、上記半導体チップ内の回路に対し共通に接続され
る複数の特定パッドを、上記半導体チップの互いに直交
する複数の辺に対向して配置するか、または上記複数の
パッドのうち、上記半導体チップ内の回路に対し共通に
接続される複数の特定パッドを、上記半導体チップの互
いに直交する複数の辺に対向して配置するようにしてい
る。
【0086】また、上記複数のパッドのうち、上記半導
体チップ内の回路を外部装置に対し交流的に低インピー
ダンスで接続する複数の特定のパッド間にキャパシタン
ス回路を接続し、かつこのキャパシタンス回路の容量
を、上記特定パッドとリードとの間を接続するワイヤの
インダクタンス成分との相互作用により上記半導体チッ
プの回路の動作周波数帯域において直列共振を発生する
値に設定するように構成している。
【0087】したがってこれらの発明によれば、各特定
パッドに接続されるワイヤ及びリード間で発生する相互
インダクタンスを低減して合成インダクタンスを特定パ
ッドの数にほぼ反比例して減少させることが可能とな
り、この結果ワイヤ及びリードによるインダクタンス成
分を効果的に減少させてインピーダンス特性の改善を図
り、これにより回路の性能を十分に引き出すことを可能
とした高周波半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明に係わる高周波半導体装置の第1の
実施形態における第1の実施例を示す等価回路図。
【図2】 この発明に係わる高周波半導体装置の第1の
実施形態における第2の実施例を示す等価回路図。
【図3】 この発明に係わる高周波半導体装置の第1の
実施形態における第3の実施例を示す等価回路図。
【図4】 この発明に係わる高周波半導体装置の第2の
実施形態を示す等価回路図。
【図5】 この発明に係わる高周波半導体装置の第3の
実施形態を示す等価回路図。
【図6】 この発明に係わる高周波半導体装置のその他
の実施形態における第1の実施例を示す等価回路図。
【図7】 この発明に係わる高周波半導体装置のその他
の実施形態における第2の実施例を示す等価回路図。
【図8】 高周波半導体装置の構造の一例を示す部分斜
視図。
【図9】 従来の高周波半導体装置の第1の構成を示す
等価回路図。
【図10】 従来の高周波半導体装置の第2の構成を示
す等価回路図。
【図11】 従来の高周波半導体装置の第3の構成を示
す等価回路図。
【符号の説明】
1…パッケージ(外囲器) 2…半導体チップ 3−1〜3−11…パッド 4−1〜4−11…ボンディングワイヤ 5−1〜5−11…リード 6,6−1,6−2,6−3…回路ブロック 7,9,9−1,9−2…キャパシタ 8,8−1,8−2,8−3…電源供給端子 10…キャパシタンス回路 10−1,10−2…スイッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/822

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップ内の回路に接続される複数
    のパッドを半導体チップの辺に沿って配列する共に、こ
    れらのパッドに対向して複数のリードを設け、これらの
    パッドとリードとの間をワイヤにより互いに交差しない
    状態に接続してなる高周波半導体装置であって、 前記複数のパッドのうち、前記半導体チップ内の回路に
    対し共通に接続される複数の特定パッドを、間に少なく
    とも一つの他のパッドを介在させた状態で離間して配置
    したことを特徴とする高周波半導体装置。
  2. 【請求項2】 互いに独立して動作する第1及び第2の
    半導体チップが設置されている場合に、 前記第1の半導体チップの回路に共通接続される複数の
    特定パッドを、前記第2の半導体チップの回路に接続さ
    れる少なくとも一つの特定パッドを介在させた状態で離
    間して配置したことを特徴とする請求項1記載の高周波
    半導体装置。
  3. 【請求項3】 半導体チップ内の回路に接続される複数
    のパッドを半導体チップの複数の辺に沿って配列する共
    に、これらのパッドに対向して複数のリードを設け、こ
    れらのパッドとリードとの間をワイヤにより互いに交差
    しない状態に接続してなる高周波半導体装置であって、 前記複数のパッドのうち、前記半導体チップ内の回路に
    対し共通に接続される複数の特定パッドを、前記半導体
    チップの互いに直交する複数の辺に対向して配置したこ
    とを特徴とする高周波半導体装置。
  4. 【請求項4】 半導体チップ内の回路に接続される複数
    のパッドを半導体チップの辺に沿って配列する共に、こ
    れらのパッドに対向して複数のリードを設け、これらの
    パッドとリードとの間をワイヤにより互いに交差しない
    状態に接続してなる高周波半導体装置であって、 前記複数のパッドのうち、前記半導体チップ内の回路を
    外部装置に対し交流的に低インピーダンスで接続する複
    数の特定のパッド間にキャパシタンス回路を接続し、か
    つこのキャパシタンス回路の容量を、前記特定パッドと
    リードとの間を接続するワイヤのインダクタンス成分と
    の相互作用により前記半導体チップの回路の動作周波数
    帯域において直列共振を発生する値に設定したことを特
    徴とする高周波半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記キャパシタンス回路は、前記半導体
    チップの回路の動作周波数に応じて複数の直列共振周波
    数を選択的に発生するための可変容量機能を備えたこと
    を特徴とする請求項4記載の高周波半導体装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7518409B2 (en) 2005-02-11 2009-04-14 Samsung Electronics Co., Ltd. Input stage of semiconductor device with multiple pads of common function, and multi-chip package having the same
JP2011166620A (ja) * 2010-02-12 2011-08-25 Murata Mfg Co Ltd Lcフィルタ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7518409B2 (en) 2005-02-11 2009-04-14 Samsung Electronics Co., Ltd. Input stage of semiconductor device with multiple pads of common function, and multi-chip package having the same
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