JP2001340798A - 塗布液供給装置及び塗布液供給方法 - Google Patents
塗布液供給装置及び塗布液供給方法Info
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- JP2001340798A JP2001340798A JP2000167441A JP2000167441A JP2001340798A JP 2001340798 A JP2001340798 A JP 2001340798A JP 2000167441 A JP2000167441 A JP 2000167441A JP 2000167441 A JP2000167441 A JP 2000167441A JP 2001340798 A JP2001340798 A JP 2001340798A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の目的は、広幅塗布における塗布膜厚
分布が改良され、かつ省設備化及び省設置スペース化さ
れた塗布液供給装置とその塗布液供給方法を提供するこ
とにある。 【解決手段】 帯状支持体へ少なくとも1層の塗布を行
う複数のエクストルージョンコータからなる塗布ユニッ
トへの塗布液供給装置において、1層当たりの該複数の
エクストルージョンコータへの塗布液供給ライン数が、
総エクストルージョンコータ数よりも少ないことを特徴
とするエクストルージョンコータへの塗布液供給装置。
分布が改良され、かつ省設備化及び省設置スペース化さ
れた塗布液供給装置とその塗布液供給方法を提供するこ
とにある。 【解決手段】 帯状支持体へ少なくとも1層の塗布を行
う複数のエクストルージョンコータからなる塗布ユニッ
トへの塗布液供給装置において、1層当たりの該複数の
エクストルージョンコータへの塗布液供給ライン数が、
総エクストルージョンコータ数よりも少ないことを特徴
とするエクストルージョンコータへの塗布液供給装置。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のエクストル
ージョンコータを用いた塗布における塗布液供給装置及
び塗布液供給方法に関する。
ージョンコータを用いた塗布における塗布液供給装置及
び塗布液供給方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、連続走行する帯状支持体に塗
布液を塗布する方法として、ディップコート法、ブレー
ドコート法、エアーナイフコート法、ワイヤーバーコー
ト法、グラビアコート法、リバースコート法、リバース
ロールコート法、エクストルージョンコート法、スライ
ドコート法、カーテンコート法、およびバックロール等
で保持していない支持体へのエクストルージョンコート
法が知られている。そして、これらの塗布方法におい
て、支持体の幅方向で均一な乾燥膜厚を得るため、塗布
装置の寸法精度等に特別な配慮が払われ注意深く塗布が
行われている。
布液を塗布する方法として、ディップコート法、ブレー
ドコート法、エアーナイフコート法、ワイヤーバーコー
ト法、グラビアコート法、リバースコート法、リバース
ロールコート法、エクストルージョンコート法、スライ
ドコート法、カーテンコート法、およびバックロール等
で保持していない支持体へのエクストルージョンコート
法が知られている。そして、これらの塗布方法におい
て、支持体の幅方向で均一な乾燥膜厚を得るため、塗布
装置の寸法精度等に特別な配慮が払われ注意深く塗布が
行われている。
【0003】これら塗布方法において、薄膜塗布、高速
塗布及び均一塗布に優れ、近年さまざまな分野で使用さ
れるようになってきた、エクストルージョンコータを用
いて塗布するエクストルージョンコート法に関しては、
特開昭56−95363号、同50−142643号各
公報に開示されている単層での塗布方法、および特開昭
45−12390号、同46−236号に開示されてい
る重層塗布方式に関するものなど、塗布方式および塗布
装置に関し多くの技術が開示されている。これらの塗布
方法は、主にバックロールで保持されたウェブに対し
て、エクストルージョンコータを通常1mm以下のクリ
アランスに保ちながら塗布する方法である。
塗布及び均一塗布に優れ、近年さまざまな分野で使用さ
れるようになってきた、エクストルージョンコータを用
いて塗布するエクストルージョンコート法に関しては、
特開昭56−95363号、同50−142643号各
公報に開示されている単層での塗布方法、および特開昭
45−12390号、同46−236号に開示されてい
る重層塗布方式に関するものなど、塗布方式および塗布
装置に関し多くの技術が開示されている。これらの塗布
方法は、主にバックロールで保持されたウェブに対し
て、エクストルージョンコータを通常1mm以下のクリ
アランスに保ちながら塗布する方法である。
【0004】また、バックロールで保持されてない帯状
支持体へ塗布するエクストルージョンコート法に関して
は、特開昭50−138036号、同55−16517
2号、特開平1−288364号の各公報に開示されて
いる単層での塗布方法、および特開平2−251265
号、同2−258862号、同5−192627号等で
開示されている重層塗布方法に関するものなど、塗布方
法および塗布装置に関し、多くの技術が開示されてい
る。
支持体へ塗布するエクストルージョンコート法に関して
は、特開昭50−138036号、同55−16517
2号、特開平1−288364号の各公報に開示されて
いる単層での塗布方法、および特開平2−251265
号、同2−258862号、同5−192627号等で
開示されている重層塗布方法に関するものなど、塗布方
法および塗布装置に関し、多くの技術が開示されてい
る。
【0005】これら提案されている塗布方法は、搬送さ
れる帯状支持体のバックロール等で保持されていないサ
ポートロール間等のフリースパンに、エクストルージョ
ンコータの塗布液流出口を直接押しつけて塗布する方法
である。
れる帯状支持体のバックロール等で保持されていないサ
ポートロール間等のフリースパンに、エクストルージョ
ンコータの塗布液流出口を直接押しつけて塗布する方法
である。
【0006】一方、支持体の幅手方向における塗布膜厚
分布の改善方法としては、従来、特開平2−20786
6号で開示されているように、エクストルージョンコー
タの塗布液流出口エッジ部の塗布幅手における真直度を
向上させたり、また最近では、特開平9−141173
号や同11−60006号に開示されるように、エクス
トルージョンコータ近傍に、支持体を所定の方向に押圧
する押圧部材、例えばサポートロールを設け、支持体幅
方向に不均一な変形があっても塗布膜厚の不均一や塗布
抜けの発生を防止する方法等が提案されている。
分布の改善方法としては、従来、特開平2−20786
6号で開示されているように、エクストルージョンコー
タの塗布液流出口エッジ部の塗布幅手における真直度を
向上させたり、また最近では、特開平9−141173
号や同11−60006号に開示されるように、エクス
トルージョンコータ近傍に、支持体を所定の方向に押圧
する押圧部材、例えばサポートロールを設け、支持体幅
方向に不均一な変形があっても塗布膜厚の不均一や塗布
抜けの発生を防止する方法等が提案されている。
【0007】しかしながら、エクストルージョンコータ
のコータヘッドは、一般に研削仕上げにより精度を出し
ているが、その研削精度は、被研削物の塗布幅が広くな
ればなるほど劣化する。1台のコータヘッドを用いて全
幅を塗布する従来方法では、塗布幅が広くなればなるほ
ど、コータヘッドの長さも増大し、真直度精度(制作精
度)の劣化により、スリット間隙精度が悪化し、その結
果塗布幅の広い支持体の塗布において、均一の膜厚分布
を得ることが極めて困難となってくる。また、仮にコー
タヘッドの真直度精度が塗布幅の狭いものと同等にでき
たとしても、支持体幅も広くなればなるほど、一般に支
持体の幅手方向での変形量も大きくなり、押圧部材で是
正可能な変形量を超え、その結果均一な塗布が出来な
い。
のコータヘッドは、一般に研削仕上げにより精度を出し
ているが、その研削精度は、被研削物の塗布幅が広くな
ればなるほど劣化する。1台のコータヘッドを用いて全
幅を塗布する従来方法では、塗布幅が広くなればなるほ
ど、コータヘッドの長さも増大し、真直度精度(制作精
度)の劣化により、スリット間隙精度が悪化し、その結
果塗布幅の広い支持体の塗布において、均一の膜厚分布
を得ることが極めて困難となってくる。また、仮にコー
タヘッドの真直度精度が塗布幅の狭いものと同等にでき
たとしても、支持体幅も広くなればなるほど、一般に支
持体の幅手方向での変形量も大きくなり、押圧部材で是
正可能な変形量を超え、その結果均一な塗布が出来な
い。
【0008】上記課題に対し、本発明者は、特願平20
00−110488号において、エクストルージョンコ
ータを支持体の幅手方向に複数設置して、広幅塗布にお
ける塗布膜厚精度の向上方法を提案している。
00−110488号において、エクストルージョンコ
ータを支持体の幅手方向に複数設置して、広幅塗布にお
ける塗布膜厚精度の向上方法を提案している。
【0009】しかしながら、エクストルージョンコート
方式では、基本的にはエクストルージョンコータへの塗
布液の供給量で、塗布膜厚が決定される、いわゆる前計
量型であるため、塗布液の供給精度として極めて高い精
度が要求される。その為、高精度の送液ポンプや高度の
流量制御機構等が必須となり、一般には塗布液の供給ラ
インは高価な構成となる。前述の様に複数のエクストル
ージョンコータを設置することにより、塗布膜厚精度
は、飛躍的に向上はするが、それに付随して塗布液の供
給ライン数が増加し、その結果塗布工程に膨大なコスト
がかかり、かつ煩雑な配管構成やスペースの拡大等の問
題点が新たに発現し、更なる改良方法の開発が要望され
ている。
方式では、基本的にはエクストルージョンコータへの塗
布液の供給量で、塗布膜厚が決定される、いわゆる前計
量型であるため、塗布液の供給精度として極めて高い精
度が要求される。その為、高精度の送液ポンプや高度の
流量制御機構等が必須となり、一般には塗布液の供給ラ
インは高価な構成となる。前述の様に複数のエクストル
ージョンコータを設置することにより、塗布膜厚精度
は、飛躍的に向上はするが、それに付随して塗布液の供
給ライン数が増加し、その結果塗布工程に膨大なコスト
がかかり、かつ煩雑な配管構成やスペースの拡大等の問
題点が新たに発現し、更なる改良方法の開発が要望され
ている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、広幅
塗布における塗布膜厚分布が改良され、かつ省設備化及
び省設置スペース化された塗布液供給装置とその塗布液
供給方法を提供することにある。
塗布における塗布膜厚分布が改良され、かつ省設備化及
び省設置スペース化された塗布液供給装置とその塗布液
供給方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、以
下の構成により達成された。
下の構成により達成された。
【0012】1.帯状支持体へ少なくとも1層の塗布を
行う複数のエクストルージョンコータからなる塗布ユニ
ットへの塗布液供給装置において、1層当たりの該複数
のエクストルージョンコータへの塗布液供給ライン数
が、総エクストルージョンコータ数よりも少ないことを
特徴とする塗布液供給装置。
行う複数のエクストルージョンコータからなる塗布ユニ
ットへの塗布液供給装置において、1層当たりの該複数
のエクストルージョンコータへの塗布液供給ライン数
が、総エクストルージョンコータ数よりも少ないことを
特徴とする塗布液供給装置。
【0013】2.複数のエクストルージョンコータが、
支持体の幅手方向に並列に設置されていることを特徴と
する前記1記載の塗布液供給装置。
支持体の幅手方向に並列に設置されていることを特徴と
する前記1記載の塗布液供給装置。
【0014】3.帯状支持体の幅手方向に並列に設置さ
れた少なくとも1層の塗布を行う複数のエクストルージ
ョンコータからなる塗布ユニットへの塗布液供給装置に
おいて、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液さ
れた塗布液が、該複数のエクストルージョンコータへ供
給される前に少なくとも2つの配管に分割されて、少な
くとも2つのエクストルージョンコータへ供給されるこ
とを特徴とする塗布液供給装置。
れた少なくとも1層の塗布を行う複数のエクストルージ
ョンコータからなる塗布ユニットへの塗布液供給装置に
おいて、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液さ
れた塗布液が、該複数のエクストルージョンコータへ供
給される前に少なくとも2つの配管に分割されて、少な
くとも2つのエクストルージョンコータへ供給されるこ
とを特徴とする塗布液供給装置。
【0015】4.帯状支持体の幅手方向に並列に設置さ
れた少なくとも1層の塗布を行う複数のエクストルージ
ョンコータからなる塗布ユニットへの塗布液供給装置に
おいて、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液さ
れた塗布液を、少なくとも1つの塗布液供給用配管で直
列に接続された少なくとも2台のエクストルージョンコ
ータへ供給することを特徴とする塗布液供給装置。
れた少なくとも1層の塗布を行う複数のエクストルージ
ョンコータからなる塗布ユニットへの塗布液供給装置に
おいて、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液さ
れた塗布液を、少なくとも1つの塗布液供給用配管で直
列に接続された少なくとも2台のエクストルージョンコ
ータへ供給することを特徴とする塗布液供給装置。
【0016】5.塗布液のエクストルージョンコータへ
の供給位置が、エクストルージョンコータの塗布幅手の
略中央部であることを特徴とする前記3又は4項記載の
塗布液供給装置。
の供給位置が、エクストルージョンコータの塗布幅手の
略中央部であることを特徴とする前記3又は4項記載の
塗布液供給装置。
【0017】6.塗布液のエクストルージョンコータへ
の供給位置が、エクストルージョンコータの塗布幅手端
部であることを特徴とする前記3又は4項記載の塗布液
供給装置。
の供給位置が、エクストルージョンコータの塗布幅手端
部であることを特徴とする前記3又は4項記載の塗布液
供給装置。
【0018】7.塗布液供給ラインによる複数のエクス
トルージョンコータへの塗布液の配分量を調整し、複数
のエクストルージョンコータにより塗布された各塗布面
の乾燥膜厚が同一となるよう塗布液を供給することを特
徴とする前記3又は4項記載の塗布液供給装置を用いた
塗布液供給方法。
トルージョンコータへの塗布液の配分量を調整し、複数
のエクストルージョンコータにより塗布された各塗布面
の乾燥膜厚が同一となるよう塗布液を供給することを特
徴とする前記3又は4項記載の塗布液供給装置を用いた
塗布液供給方法。
【0019】8.複数のエクストルージョンコータの少
なくとも1つで塗布された塗布膜厚が、他のエクストル
ージョンコータで塗布された塗布膜厚とは異なるよう塗
布液を供給することを特徴とする前記3又は4項記載の
塗布液供給装置を用いた塗布液供給方法。
なくとも1つで塗布された塗布膜厚が、他のエクストル
ージョンコータで塗布された塗布膜厚とは異なるよう塗
布液を供給することを特徴とする前記3又は4項記載の
塗布液供給装置を用いた塗布液供給方法。
【0020】9.塗布液分割後の配管及びエクストルー
ジョンコータの内部ポケットの送液圧力抵抗が、該エク
ストルージョンコータのスリットの送液圧力抵抗の1.
5%以下となるよう塗布液を供給することを特徴とする
前記3又は4項記載の塗布液供給装置を用いた塗布液供
給方法。
ジョンコータの内部ポケットの送液圧力抵抗が、該エク
ストルージョンコータのスリットの送液圧力抵抗の1.
5%以下となるよう塗布液を供給することを特徴とする
前記3又は4項記載の塗布液供給装置を用いた塗布液供
給方法。
【0021】10.複数のエクストルージョンコータ
が、2層以上の塗布層を同時に塗布する重層コータであ
ることを特徴とする前記3〜6項のいずれか1項記載の
塗布液供給装置。
が、2層以上の塗布層を同時に塗布する重層コータであ
ることを特徴とする前記3〜6項のいずれか1項記載の
塗布液供給装置。
【0022】11.複数のエクストルージョンコータ
が、2層以上の塗布層を同時に塗布する重層コータであ
ることを特徴とする前記7〜9項のいずれか1項記載の
塗布液供給方法。
が、2層以上の塗布層を同時に塗布する重層コータであ
ることを特徴とする前記7〜9項のいずれか1項記載の
塗布液供給方法。
【0023】本発明者は、広幅塗布における塗布膜厚の
均一化について鋭意検討を行った結果、全塗布巾より狭
い塗布巾を有する複数のエクストルージョンコータを、
支持体の幅手方向に設置し、塗布することで、全塗布幅
にわたって、狭幅塗布と同等の膜厚分布の塗布物が得ら
れる塗布方法において、複数設置したエクストルージョ
ンコータ数より少ない塗布液供給ラインとすることによ
り、各エクストルージョンコータへの塗布液供給の均一
性の向上や作業ミスの低減、あるいは塗布液供給ライン
数減による省スペース化、装置設置費用の低減化を達成
できることを見出した。
均一化について鋭意検討を行った結果、全塗布巾より狭
い塗布巾を有する複数のエクストルージョンコータを、
支持体の幅手方向に設置し、塗布することで、全塗布幅
にわたって、狭幅塗布と同等の膜厚分布の塗布物が得ら
れる塗布方法において、複数設置したエクストルージョ
ンコータ数より少ない塗布液供給ラインとすることによ
り、各エクストルージョンコータへの塗布液供給の均一
性の向上や作業ミスの低減、あるいは塗布液供給ライン
数減による省スペース化、装置設置費用の低減化を達成
できることを見出した。
【0024】通常、塗布膜厚の幅手における精度は、塗
布で用いる塗布用コータのスリット間隙精度に大きく依
存し、塗布巾が大きくなるほど、均一のスリット間隙を
維持するのが困難となってくる。すなわち、塗布用コー
タの研削精度は、被研削物が大きくなればなるほど低下
し、真直度精度は、コータヘッドの長さの2乗に比例し
て劣化する。したがって、1台のコータヘッドで、例え
ば2倍の塗布幅が塗布可能となるように2倍の長さのコ
ータヘッドを製作する場合、真直度精度は、4倍劣化
し、元のコータヘッドの真直度が例えば2.5μmであ
る場合には、約10μmとなり、大幅に悪化する。この
精度の低下は、コータヘッドの塗布液吐出口流路(スリ
ットあるいはスロットとも称す)間隙の塗布幅方向にお
ける均一性劣化の要因となり、スリットを構成する2本
のバーの双方で精度の低下が発生するため、最悪の場合
はさらに2倍の精度不良となる。一般に、幅手膜厚分布
は、塗布の幅手におけるスリット間隙精度の3倍に比例
すると言われており、上記のケースにおける幅手膜厚分
布のバラツキ幅は、約4倍程度悪化し、全く製品になら
ない塗布面品質となってしまう。
布で用いる塗布用コータのスリット間隙精度に大きく依
存し、塗布巾が大きくなるほど、均一のスリット間隙を
維持するのが困難となってくる。すなわち、塗布用コー
タの研削精度は、被研削物が大きくなればなるほど低下
し、真直度精度は、コータヘッドの長さの2乗に比例し
て劣化する。したがって、1台のコータヘッドで、例え
ば2倍の塗布幅が塗布可能となるように2倍の長さのコ
ータヘッドを製作する場合、真直度精度は、4倍劣化
し、元のコータヘッドの真直度が例えば2.5μmであ
る場合には、約10μmとなり、大幅に悪化する。この
精度の低下は、コータヘッドの塗布液吐出口流路(スリ
ットあるいはスロットとも称す)間隙の塗布幅方向にお
ける均一性劣化の要因となり、スリットを構成する2本
のバーの双方で精度の低下が発生するため、最悪の場合
はさらに2倍の精度不良となる。一般に、幅手膜厚分布
は、塗布の幅手におけるスリット間隙精度の3倍に比例
すると言われており、上記のケースにおける幅手膜厚分
布のバラツキ幅は、約4倍程度悪化し、全く製品になら
ない塗布面品質となってしまう。
【0025】このような膜厚分布の劣化を防止する方法
としては、本発明者は、特願平2000−110488
号で、塗布幅手に複数のエクストルージョンコータを設
置し、広幅塗布を実現することにより、極めて均一な塗
布面品質が得られることを見出し、提案した。本発明者
は、更に検討を進めた結果、上記塗布方法において、複
数のエクストルージョンコータへの塗布液供給方法とし
て、総エクストルージョンコータ数よりも少ない塗布液
供給ラインからなる塗布液供給装置を用いることによ
り、本発明の上記目的が達成されることを新たに見出し
た。
としては、本発明者は、特願平2000−110488
号で、塗布幅手に複数のエクストルージョンコータを設
置し、広幅塗布を実現することにより、極めて均一な塗
布面品質が得られることを見出し、提案した。本発明者
は、更に検討を進めた結果、上記塗布方法において、複
数のエクストルージョンコータへの塗布液供給方法とし
て、総エクストルージョンコータ数よりも少ない塗布液
供給ラインからなる塗布液供給装置を用いることによ
り、本発明の上記目的が達成されることを新たに見出し
た。
【0026】以下、本発明について詳細に説明する。請
求項1に係る発明では、帯状支持体へ複数のエクストル
ージョンコータを用いて塗布する塗布装置への塗布液供
給装置において、該複数のエクストルージョンコータへ
の塗布液の1層当たりの塗布液供給ライン数が、総エク
ストルージョンコータ数よりも少ないことが特徴であ
る。
求項1に係る発明では、帯状支持体へ複数のエクストル
ージョンコータを用いて塗布する塗布装置への塗布液供
給装置において、該複数のエクストルージョンコータへ
の塗布液の1層当たりの塗布液供給ライン数が、総エク
ストルージョンコータ数よりも少ないことが特徴であ
る。
【0027】図1に本発明に係る複数のエクストルージ
ョンコータへの塗布液供給ラインの一例を示す。本発明
の塗布液供給ライン8の1系列当たりの装置において
は、基本的に、塗布液1を調製、供給するための供給釜
2、塗布液の送液ポンプ3及び複数のエクストルージョ
ンコータ6A〜6Dとそれらをつなぐ配管により構成さ
れている。更に、必要に応じて配管の各所にバルブ、液
排出口、フィルター4、流量計5、脱泡機、熱交換機、
攪拌機等が適宜配置される。供給釜2や液供給配管は、
接合部を洗浄しやすくするため、フッ素樹脂加工等の撥
水処理を施すことが好ましい。また、送液ポンプ3は、
塗布膜厚のバラツキに対し最も影響を与える流量変動を
極力抑えるため、精密計量型ギアポンプやプランジャー
ポンプを用いることが好ましい。
ョンコータへの塗布液供給ラインの一例を示す。本発明
の塗布液供給ライン8の1系列当たりの装置において
は、基本的に、塗布液1を調製、供給するための供給釜
2、塗布液の送液ポンプ3及び複数のエクストルージョ
ンコータ6A〜6Dとそれらをつなぐ配管により構成さ
れている。更に、必要に応じて配管の各所にバルブ、液
排出口、フィルター4、流量計5、脱泡機、熱交換機、
攪拌機等が適宜配置される。供給釜2や液供給配管は、
接合部を洗浄しやすくするため、フッ素樹脂加工等の撥
水処理を施すことが好ましい。また、送液ポンプ3は、
塗布膜厚のバラツキに対し最も影響を与える流量変動を
極力抑えるため、精密計量型ギアポンプやプランジャー
ポンプを用いることが好ましい。
【0028】通常、広幅塗布において、支持体の幅手塗
布膜厚精度は、用いるエクストルージョンコータの数を
多くすればするほど、上述した理由によりエクストルー
ジョンコータの真直度精度が向上し、塗布膜の均一性は
向上するが、逆にエクストルージョンコータ数を増やす
ほど、それに対応した塗布液供給ライン数が増加し、設
備負荷が増大するという相反する状況となる。また、各
エクストルージョンコータに対し、それぞれ独立した形
態で、塗布液の調製、送液あるいは流量制御を行うた
め、複数のエクストルージョンコータ間での塗布液供給
精度のバラツキ原因となる。本発明においては、図1で
示すように、例えば4台のエクストルージョンコータに
対し、1系列の塗布液供給ラインにより送液することに
より、各エクストルージョンコータ間での塗布液特性
(性能、供給量等)の均一化が図られると共に、特に設
備上高価な供給釜、精密計量型ギアポンプやプランジャ
ーポンプ、流量計、脱泡機、熱交換機、攪拌機、流量制
御システム等の設置費用が1/4に低減でき、その結
果、低コストでかつ塗布精度の高い塗布装置を実現する
ことができる。
布膜厚精度は、用いるエクストルージョンコータの数を
多くすればするほど、上述した理由によりエクストルー
ジョンコータの真直度精度が向上し、塗布膜の均一性は
向上するが、逆にエクストルージョンコータ数を増やす
ほど、それに対応した塗布液供給ライン数が増加し、設
備負荷が増大するという相反する状況となる。また、各
エクストルージョンコータに対し、それぞれ独立した形
態で、塗布液の調製、送液あるいは流量制御を行うた
め、複数のエクストルージョンコータ間での塗布液供給
精度のバラツキ原因となる。本発明においては、図1で
示すように、例えば4台のエクストルージョンコータに
対し、1系列の塗布液供給ラインにより送液することに
より、各エクストルージョンコータ間での塗布液特性
(性能、供給量等)の均一化が図られると共に、特に設
備上高価な供給釜、精密計量型ギアポンプやプランジャ
ーポンプ、流量計、脱泡機、熱交換機、攪拌機、流量制
御システム等の設置費用が1/4に低減でき、その結
果、低コストでかつ塗布精度の高い塗布装置を実現する
ことができる。
【0029】本発明で用いることのできるエクストルー
ジョンコータとしては、特に制限はなく、公知の塗布装
置を使用することができ、例えば、米国特許第2,68
1,294号、同第2,761,791号、同第2,9
41,898号、同第3,508,947号及び同第
3,526,528号や原崎勇次著「コーティング工
学」253頁(1973年朝倉書店発行)等に記載され
ている塗布方法も適宜選択して用いることができる。
ジョンコータとしては、特に制限はなく、公知の塗布装
置を使用することができ、例えば、米国特許第2,68
1,294号、同第2,761,791号、同第2,9
41,898号、同第3,508,947号及び同第
3,526,528号や原崎勇次著「コーティング工
学」253頁(1973年朝倉書店発行)等に記載され
ている塗布方法も適宜選択して用いることができる。
【0030】本発明において、支持体の幅手方向におい
て複数のエクストルージョンコータを配置する方法とし
ては、各々のエクストルージョンコータの塗布位置が重
なり合わなければ、任意の位置で良いが、請求項2に係
る発明では、複数のエクストルージョンコータを、支持
体の幅手方向に並列に設置することが一つの特徴であ
る。本発明で言う支持体の幅手方向に並列に設置すると
は、図1で示すように複数のエクストルージョンコータ
を支持体の搬送方向に対し同一位置に設置する方法、あ
るいは図2で示すように支持体の搬送方向で異なる位置
に設置することを言う。
て複数のエクストルージョンコータを配置する方法とし
ては、各々のエクストルージョンコータの塗布位置が重
なり合わなければ、任意の位置で良いが、請求項2に係
る発明では、複数のエクストルージョンコータを、支持
体の幅手方向に並列に設置することが一つの特徴であ
る。本発明で言う支持体の幅手方向に並列に設置すると
は、図1で示すように複数のエクストルージョンコータ
を支持体の搬送方向に対し同一位置に設置する方法、あ
るいは図2で示すように支持体の搬送方向で異なる位置
に設置することを言う。
【0031】請求項3に係る発明では、塗布液供給装置
において、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液
された塗布液が、該複数のエクストルージョンコータへ
供給される前に少なくとも2つの配管に分割されて、少
なくとも2つのエクストルージョンコータへ供給するこ
とが特徴であり、その一例を概念図である図3に示す。
図3において、1系列の塗布液供給ライン8から送液さ
れる塗布液を分割配管10により、4分割して、複数の
エクストルージョンコータ6A〜6Dに供給する。本発
明においては、1系列の塗布液供給ラインに対し、対応
させるエクストルージョンコータ数は、2つ以上であれ
ば特に制限はないが、全塗布巾に対する製品加工上要求
される製品巾より決定される個々のエクストルージョン
コータの塗布巾より、自ずと総コータ数は決定される。
請求項3の形態において、各エクストルージョンコータ
間の塗布膜厚精度を均一化するには、塗布液の分割配管
10及びエクストルージョンコータ6A、6Bにおける
送液抵抗値をほぼ同一に設定することにより、各エクス
トルージョンコータから流出する塗布液量を略同一にす
ることができる。この場合、用いる複数のエクストルー
ジョンコータは、同一の構造及び大きさのものであるこ
とが好ましい。コータダイスの形態や大きさが異なった
り、塗布液分割後の配管長、配管径等が異なる場合に
は、各々で送液抵抗が異なるため、その時には分割部で
分割する塗布液比率の調整が必要となる。その際は、塗
布液分割後の送液抵抗や流量をエクストルージョンコー
タ毎に測定し、各エクストルージョンコータ間で送液抵
抗が同一となるように、抵抗の小さい方にオリフィス等
の抵抗物を挿入したり、あるいはバルブを用いてその開
度を調整したりすることが好ましい。また、分割後の流
量を分割配管毎に流量計で検出し、それをバルブ開閉度
制御部にフィードバックし、各送液量を最適にコントロ
ールすることも好ましい形態の一つである。
において、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液
された塗布液が、該複数のエクストルージョンコータへ
供給される前に少なくとも2つの配管に分割されて、少
なくとも2つのエクストルージョンコータへ供給するこ
とが特徴であり、その一例を概念図である図3に示す。
図3において、1系列の塗布液供給ライン8から送液さ
れる塗布液を分割配管10により、4分割して、複数の
エクストルージョンコータ6A〜6Dに供給する。本発
明においては、1系列の塗布液供給ラインに対し、対応
させるエクストルージョンコータ数は、2つ以上であれ
ば特に制限はないが、全塗布巾に対する製品加工上要求
される製品巾より決定される個々のエクストルージョン
コータの塗布巾より、自ずと総コータ数は決定される。
請求項3の形態において、各エクストルージョンコータ
間の塗布膜厚精度を均一化するには、塗布液の分割配管
10及びエクストルージョンコータ6A、6Bにおける
送液抵抗値をほぼ同一に設定することにより、各エクス
トルージョンコータから流出する塗布液量を略同一にす
ることができる。この場合、用いる複数のエクストルー
ジョンコータは、同一の構造及び大きさのものであるこ
とが好ましい。コータダイスの形態や大きさが異なった
り、塗布液分割後の配管長、配管径等が異なる場合に
は、各々で送液抵抗が異なるため、その時には分割部で
分割する塗布液比率の調整が必要となる。その際は、塗
布液分割後の送液抵抗や流量をエクストルージョンコー
タ毎に測定し、各エクストルージョンコータ間で送液抵
抗が同一となるように、抵抗の小さい方にオリフィス等
の抵抗物を挿入したり、あるいはバルブを用いてその開
度を調整したりすることが好ましい。また、分割後の流
量を分割配管毎に流量計で検出し、それをバルブ開閉度
制御部にフィードバックし、各送液量を最適にコントロ
ールすることも好ましい形態の一つである。
【0032】請求項4に係る発明では、塗布液供給装置
において、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液
された塗布液を、少なくとも1つの塗布液供給用配管
(接続配管とも言う)で直列に接続された少なくとも2
台のエクストルージョンコータへ供給することが特徴で
ある。上記発明の適用例を、その概略図である図4に示
す。図4においては、塗布液供給ライン8より塗布液を
エクストルージョンコータ6Bに供給し、更に各エクス
トルージョンコータ間を塗布液供給用配管9で連結し、
それを介して各エクストルージョンコータに塗布液を供
給して塗布を行う。塗布液供給用配管9の形状、材質、
長さ等に関しては、特に制限はない。
において、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液
された塗布液を、少なくとも1つの塗布液供給用配管
(接続配管とも言う)で直列に接続された少なくとも2
台のエクストルージョンコータへ供給することが特徴で
ある。上記発明の適用例を、その概略図である図4に示
す。図4においては、塗布液供給ライン8より塗布液を
エクストルージョンコータ6Bに供給し、更に各エクス
トルージョンコータ間を塗布液供給用配管9で連結し、
それを介して各エクストルージョンコータに塗布液を供
給して塗布を行う。塗布液供給用配管9の形状、材質、
長さ等に関しては、特に制限はない。
【0033】各エクストルージョンコータへの分割後の
塗布液の供給位置としては、各々のエクストルージョン
コータの塗布巾において、均一の塗布供給量が実現でき
れば特に制限はないが、請求項5に係る発明であるエク
ストルージョンコータの塗布幅手の中央部に塗布液供給
位置を設けることが好ましい。上記方法において、各コ
ータヘッドの塗布幅手で均一の塗布膜厚を得るために
は、コータヘッド内部に設けた塗布液供給口から供給さ
れた塗布液を、塗布幅手方向に均一に拡げるための液だ
まり部、いわゆるポケット部の形態をそれぞれの塗布液
供給位置により、適宜選択することが、均一塗布を達成
する上では好ましい。
塗布液の供給位置としては、各々のエクストルージョン
コータの塗布巾において、均一の塗布供給量が実現でき
れば特に制限はないが、請求項5に係る発明であるエク
ストルージョンコータの塗布幅手の中央部に塗布液供給
位置を設けることが好ましい。上記方法において、各コ
ータヘッドの塗布幅手で均一の塗布膜厚を得るために
は、コータヘッド内部に設けた塗布液供給口から供給さ
れた塗布液を、塗布幅手方向に均一に拡げるための液だ
まり部、いわゆるポケット部の形態をそれぞれの塗布液
供給位置により、適宜選択することが、均一塗布を達成
する上では好ましい。
【0034】また、請求項6に係る発明では、塗布液の
エクストルージョンコータへの供給位置が、エクストル
ージョンコータの塗布幅手端部であることが特徴であ
る。上記発明の適用例を、その概略図である図5、図6
に示す。図5は、4連のエクストルージョンコータ6A
〜6Dを連続配管9で連結し、端に位置するエクストル
ージョンコータ6Aの塗布幅手端部に塗布液供給ライン
8から塗布液を供給し、塗布する方法である。また、図
6は、4連のエクストルージョンコータ6A〜6Dを連
続配管9で連結し、中央部の連続配管9に塗布液供給ラ
イン8から塗布液を供給し、塗布する方法である。
エクストルージョンコータへの供給位置が、エクストル
ージョンコータの塗布幅手端部であることが特徴であ
る。上記発明の適用例を、その概略図である図5、図6
に示す。図5は、4連のエクストルージョンコータ6A
〜6Dを連続配管9で連結し、端に位置するエクストル
ージョンコータ6Aの塗布幅手端部に塗布液供給ライン
8から塗布液を供給し、塗布する方法である。また、図
6は、4連のエクストルージョンコータ6A〜6Dを連
続配管9で連結し、中央部の連続配管9に塗布液供給ラ
イン8から塗布液を供給し、塗布する方法である。
【0035】更に、本発明においては、請求項3に係る
構成と請求項4に係る構成を併せて用いることも好まし
い形態の一つである。その適用例を概略図である図7に
示す。図7において、塗布液供給ライン8より供給され
た塗布液を請求項3に係る発明である分割配管10で分
割した後、請求項4に係る発明である塗布液供給用配管
9で連結した2対のエクストルージョンコータ6A、6
B及び6C、6Dに塗布液を供給し塗布を行う。
構成と請求項4に係る構成を併せて用いることも好まし
い形態の一つである。その適用例を概略図である図7に
示す。図7において、塗布液供給ライン8より供給され
た塗布液を請求項3に係る発明である分割配管10で分
割した後、請求項4に係る発明である塗布液供給用配管
9で連結した2対のエクストルージョンコータ6A、6
B及び6C、6Dに塗布液を供給し塗布を行う。
【0036】上記図4〜図7で示すような、1本の塗布
液供給用配管により直列に接続された複数のエクストル
ージョンコータへ塗布液を均一に供給する方法として
は、一般的にはエクストルージョンコータのポケット抵
抗をスリット抵抗よりも小さくすることが知られている
が、請求項9に係る発明においては、エクストルージョ
ンコータを直列に接続している塗布液供給用配管も含め
た接続配管及びエクストルージョンコータの内部ポケッ
トの送液圧力抵抗を、エクストルージョンコータのスリ
ットの送液圧力抵抗よりも大幅に小さくすることで、各
エクストルージョンコータからの流出液量を略同一にす
ることができ、下式で表される送液圧力抵抗比が1.5
%以下であることが本発明の特徴であり、望ましくは1
%以下である。
液供給用配管により直列に接続された複数のエクストル
ージョンコータへ塗布液を均一に供給する方法として
は、一般的にはエクストルージョンコータのポケット抵
抗をスリット抵抗よりも小さくすることが知られている
が、請求項9に係る発明においては、エクストルージョ
ンコータを直列に接続している塗布液供給用配管も含め
た接続配管及びエクストルージョンコータの内部ポケッ
トの送液圧力抵抗を、エクストルージョンコータのスリ
ットの送液圧力抵抗よりも大幅に小さくすることで、各
エクストルージョンコータからの流出液量を略同一にす
ることができ、下式で表される送液圧力抵抗比が1.5
%以下であることが本発明の特徴であり、望ましくは1
%以下である。
【0037】送液圧力抵抗比(%)=(接続配管の送液
圧力抵抗+エクストルージョンコータの内部ポケットの
送液圧力抵抗)×100/エクストルージョンコータの
スリットの送液圧力抵抗本発明において送液圧力抵抗比
を1.5%以下に設定することにより、1本の塗布液供
給用配管を複数のエクストルージョンコータのいずれの
部位に接続しても、各エクストルージョンコータ間で、
略同一でかつ均一な膜厚条件にて塗布することができ
る。なお、本発明で言うスリット抵抗とは、エクストル
ージョンコータ内のポケット出口から塗布液出口(スリ
ット部)までの流路の送液抵抗値を指す。
圧力抵抗+エクストルージョンコータの内部ポケットの
送液圧力抵抗)×100/エクストルージョンコータの
スリットの送液圧力抵抗本発明において送液圧力抵抗比
を1.5%以下に設定することにより、1本の塗布液供
給用配管を複数のエクストルージョンコータのいずれの
部位に接続しても、各エクストルージョンコータ間で、
略同一でかつ均一な膜厚条件にて塗布することができ
る。なお、本発明で言うスリット抵抗とは、エクストル
ージョンコータ内のポケット出口から塗布液出口(スリ
ット部)までの流路の送液抵抗値を指す。
【0038】本発明において、接続配管及びエクストル
ージョンコータの内部ポケットの送液圧力抵抗値、エク
ストルージョンコータのスリットの送液圧力抵抗値は、
下式により求めることができる。例えば、図5で示すよ
うな形態で、エクストルージョンコータ2台を各々のポ
ケット部を塗布液供給用配管で接続し、一方のエクスト
ルージョンコータ端部より塗布液を供給する塗布形態に
おいて、塗布液粘度をμ(Pa・S)、塗布膜厚をhw
(m)、塗布速度をu(m/S)、エクストルージョン
コータのスリット長をI(m)、エクストルージョンコ
ータのスリット間隙をh(m)、エクストルージョンコ
ータ内のポケット長(塗布巾)をL(m)、エクストル
ージョンコータ内のポケット半径をR(m)、エクスト
ルージョンコータ接続配管長をL′(m)、エクストル
ージョンコータ接続配管径をd(m)としたときに、各
送液圧力抵抗は下式で求められる。
ージョンコータの内部ポケットの送液圧力抵抗値、エク
ストルージョンコータのスリットの送液圧力抵抗値は、
下式により求めることができる。例えば、図5で示すよ
うな形態で、エクストルージョンコータ2台を各々のポ
ケット部を塗布液供給用配管で接続し、一方のエクスト
ルージョンコータ端部より塗布液を供給する塗布形態に
おいて、塗布液粘度をμ(Pa・S)、塗布膜厚をhw
(m)、塗布速度をu(m/S)、エクストルージョン
コータのスリット長をI(m)、エクストルージョンコ
ータのスリット間隙をh(m)、エクストルージョンコ
ータ内のポケット長(塗布巾)をL(m)、エクストル
ージョンコータ内のポケット半径をR(m)、エクスト
ルージョンコータ接続配管長をL′(m)、エクストル
ージョンコータ接続配管径をd(m)としたときに、各
送液圧力抵抗は下式で求められる。
【0039】エクストルージョンコータのスリットでの
送液圧力抵抗値(ΔPs) ΔPs(Pa)=12×μ×I×hw×u/h3 エクストルージョンコータ1のポケットの送液圧力抵抗
値(ΔPp1) ΔPp1(Pa)=32×μ×v1×L/(2R)2 エクストルージョンコータ2のポケットの送液圧力抵抗
値(ΔPp2) ΔPp2(Pa)=32×μ×v2×L/(2R)2 エクストルージョンコータ接続配管の送液圧力抵抗(Δ
Pk) ΔPk(Pa)=32×μ×v3×L′/d2 上記式中、v1、v2、v3は、以下の式で与えられ
る。
送液圧力抵抗値(ΔPs) ΔPs(Pa)=12×μ×I×hw×u/h3 エクストルージョンコータ1のポケットの送液圧力抵抗
値(ΔPp1) ΔPp1(Pa)=32×μ×v1×L/(2R)2 エクストルージョンコータ2のポケットの送液圧力抵抗
値(ΔPp2) ΔPp2(Pa)=32×μ×v2×L/(2R)2 エクストルージョンコータ接続配管の送液圧力抵抗(Δ
Pk) ΔPk(Pa)=32×μ×v3×L′/d2 上記式中、v1、v2、v3は、以下の式で与えられ
る。
【0040】エクストルージョンコータ1のポケット内
の平均流速(v1) v1(m/S)=hw×u×(L/2+L)/π×R2 エクストルージョンコータ2のポケット内の平均流速
(v2) v2(m/S)=hw×u×(L/2)/π×R2 接続配管内の平均流速(v3) v3(m/S)=hw×u×L/π×(d/2)2 本発明では、広幅支持体に対し複数のエクストルージョ
ンコータを幅手方向に並列に設置し塗布することが一つ
の特徴であるが、複数の該コータの塗布条件として、請
求項7に係る発明である複数のエクストルージョンコー
タへの塗布液の配分量を調整して、複数のエクストルー
ジョンコータにより塗布された各塗布面の乾燥膜厚が同
一となるよう塗布液を供給し塗布を行っても良いし、あ
るいは請求項8に係る発明のように、複数のエクストル
ージョンコータの少なくとも1つで塗布された塗布膜厚
が、他のエクストルージョンコータで塗布された塗布膜
厚とは異なるよう塗布液を供給し塗布を行っても良い。
の平均流速(v1) v1(m/S)=hw×u×(L/2+L)/π×R2 エクストルージョンコータ2のポケット内の平均流速
(v2) v2(m/S)=hw×u×(L/2)/π×R2 接続配管内の平均流速(v3) v3(m/S)=hw×u×L/π×(d/2)2 本発明では、広幅支持体に対し複数のエクストルージョ
ンコータを幅手方向に並列に設置し塗布することが一つ
の特徴であるが、複数の該コータの塗布条件として、請
求項7に係る発明である複数のエクストルージョンコー
タへの塗布液の配分量を調整して、複数のエクストルー
ジョンコータにより塗布された各塗布面の乾燥膜厚が同
一となるよう塗布液を供給し塗布を行っても良いし、あ
るいは請求項8に係る発明のように、複数のエクストル
ージョンコータの少なくとも1つで塗布された塗布膜厚
が、他のエクストルージョンコータで塗布された塗布膜
厚とは異なるよう塗布液を供給し塗布を行っても良い。
【0041】本発明では、塗布構成層は少なくとも1層
であればよいが、必要に応じ、請求項10又は11に係
る発明のように2層以上からなる塗布構成層を同時に塗
布する方法に適用しても良く、本発明においては塗布構
成層の数に規定されるものではない。また、本発明の塗
布液供給装置を用いた塗布方法においては、一部の塗布
構成層が事前に塗布された支持体への塗布にも、適用す
ることができる。
であればよいが、必要に応じ、請求項10又は11に係
る発明のように2層以上からなる塗布構成層を同時に塗
布する方法に適用しても良く、本発明においては塗布構
成層の数に規定されるものではない。また、本発明の塗
布液供給装置を用いた塗布方法においては、一部の塗布
構成層が事前に塗布された支持体への塗布にも、適用す
ることができる。
【0042】本発明で用いられる支持体としては、種類
に制限はなく、紙、プラスチックフィルム、金属シート
等を用いることができる。紙としては、例えばレジンコ
ート紙、合成紙等が挙げられる。また、プラスチックフ
ィルムとしては、ポリオレフィンフィルム(例えばポリ
エチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等)、ポリ
エステルフィルム(例えば、ポリエチレンテレフタレー
トフィルム、ポリエチレン2,6−ナフタレートフィル
ム等)、ポリアミドフィルム(例えばポリエーテルケト
ンフィルム等)、セルロースアセテート(例えばセルロ
ーストリアセテート等)等が挙げられる。また、金属シ
ートではアルミニウム板が代表的である。また、用いる
支持体の厚さについても、特に制限はない。
に制限はなく、紙、プラスチックフィルム、金属シート
等を用いることができる。紙としては、例えばレジンコ
ート紙、合成紙等が挙げられる。また、プラスチックフ
ィルムとしては、ポリオレフィンフィルム(例えばポリ
エチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等)、ポリ
エステルフィルム(例えば、ポリエチレンテレフタレー
トフィルム、ポリエチレン2,6−ナフタレートフィル
ム等)、ポリアミドフィルム(例えばポリエーテルケト
ンフィルム等)、セルロースアセテート(例えばセルロ
ーストリアセテート等)等が挙げられる。また、金属シ
ートではアルミニウム板が代表的である。また、用いる
支持体の厚さについても、特に制限はない。
【0043】本発明で用いることのできる塗布液として
は、特に制限はなく、例えば磁気記録媒体用磁性塗布
液、一般用及び産業用ハロゲン化銀感光材料用塗布液、
感熱材料用塗布液、熱現像感光材料用塗布液、あるいは
高分子材料を有機溶媒、水等に溶解した液、顔料分散
液、コロイド状分散液等を挙げることができる。
は、特に制限はなく、例えば磁気記録媒体用磁性塗布
液、一般用及び産業用ハロゲン化銀感光材料用塗布液、
感熱材料用塗布液、熱現像感光材料用塗布液、あるいは
高分子材料を有機溶媒、水等に溶解した液、顔料分散
液、コロイド状分散液等を挙げることができる。
【0044】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明の効果を具体的
に説明するが、本発明はこれらの実施態様に限定される
ものではない。
に説明するが、本発明はこれらの実施態様に限定される
ものではない。
【0045】実施例1 《熱現像感光材料の作製》以下に示す方法に従って、熱
現像感光材料を作製した。
現像感光材料を作製した。
【0046】(下引済み支持体の作製)市販の2軸延伸
熱固定済みの支持体幅2200mm、厚さ100μmポ
リエチレンテレフタレート(以降、単にPETと略す)
フィルムの両面に8W/m2・分のコロナ放電処理を施
し、一方の面に下記下引塗布液a−1を乾燥膜厚0.8
μmになるように塗設、乾燥させて下引層A−1とし、
また反対側の面に下記下引塗布液b−1を乾燥膜厚0.
8μmになるように塗設し、乾燥させて下引層B−1と
した。
熱固定済みの支持体幅2200mm、厚さ100μmポ
リエチレンテレフタレート(以降、単にPETと略す)
フィルムの両面に8W/m2・分のコロナ放電処理を施
し、一方の面に下記下引塗布液a−1を乾燥膜厚0.8
μmになるように塗設、乾燥させて下引層A−1とし、
また反対側の面に下記下引塗布液b−1を乾燥膜厚0.
8μmになるように塗設し、乾燥させて下引層B−1と
した。
【0047】 〈下引塗布液a−1〉 ブチルアクリレート(30質量%)、t−ブチルアクリレート(20質量%) 、スチレン(25質量%)、2−ヒドロキシエチルアクリレート (25質量%)の共重合体ラテックス液(固形分30%) 270g (C−1) 0.6g ヘキサメチレン−1,6−ビス(エチレンウレア) 0.8g 水で1リットルに仕上げる。
【0048】 〈下引塗布液b−1〉 ブチルアクリレート(40質量%)、スチレン(20質量%)、 グリシジルアクリレート(40質量%)の共重合体ラテックス液 (固形分30%) 270g (C−1) 0.6g ヘキサメチレン−1,6−ビス(エチレンウレア) 0.8g 水で1リットルに仕上げる。
【0049】引き続き、下引層A−1及び下引層B−1
の上表面に、8W/m2・分のコロナ放電を施し、下引
層A−1の上には、下引上層塗布液a−2を乾燥膜厚
0.1μmになる様に塗設して下引層A−2として、ま
た下引層B−1の上には下引上層塗布液b−2を乾燥膜
厚0.8μmになる様に帯電防止機能をもつ下引層B−
2として塗設し、下引済み支持体を作製した。
の上表面に、8W/m2・分のコロナ放電を施し、下引
層A−1の上には、下引上層塗布液a−2を乾燥膜厚
0.1μmになる様に塗設して下引層A−2として、ま
た下引層B−1の上には下引上層塗布液b−2を乾燥膜
厚0.8μmになる様に帯電防止機能をもつ下引層B−
2として塗設し、下引済み支持体を作製した。
【0050】 〈下引上層塗布液a−2〉 ゼラチン 0.4g/m2になる質量 (C−1) 0.2g (C−2) 0.2g (C−3) 0.1g シリカ粒子(平均粒径3μm) 0.1g 水で1リットルに仕上げる。
【0051】 〈下引上層塗布液b−2〉 (C−4) 60g (C−5)を成分とするラテックス液(固形分20%) 80g 硫酸アンモニウム 0.5g (C−6) 12g ポリエチレングリコール(重量平均分子量600) 6g 水で1リットルに仕上げる。
【0052】
【化1】
【0053】
【化2】
【0054】(支持体の熱処理)上記の下引済み支持体
の下引乾燥工程において、支持体を140℃で加熱し、
その後徐々に冷却した。
の下引乾燥工程において、支持体を140℃で加熱し、
その後徐々に冷却した。
【0055】《感光性乳剤の調製》 (ハロゲン化銀乳剤の調製)水900ml中にイナート
ゼラチン7.5g及び臭化カリウム10mgを溶解して
温度35℃、pHを3.0に合わせた後、硝酸銀74g
を含む水溶液370mlと(98/2)のモル比の臭化
カリウムと沃化カリウムを含む水溶液及び〔Ir(N
O)Cl5〕塩を銀1モル当たり1×10-6モル及び塩
化ロジウム塩を銀1モル当たり1×10-4モルを、pA
g7.7に保ちながらコントロールドダブルジェット法
で添加した。その後、4−ヒドロキシ−6−メチル−
1,3,3a,7−テトラザインデンを添加し、NaO
HでpHを5に調整して、平均粒子サイズ0.06μ
m、単分散度10%、投影直径面積の変動係数8%、
〔100〕面比率87%の立方体沃臭化銀粒子を得た。
この乳剤に、ゼラチン凝集剤を用いて凝集沈降させ脱塩
処理後、フェノキシエタノール0.1gを加え、pH
5.9、pAg7.5に調整して、ハロゲン化銀乳剤を
得た。ついで、得られたハロゲン化銀乳剤に、塩化金酸
及び無機硫黄で化学増感を施した。
ゼラチン7.5g及び臭化カリウム10mgを溶解して
温度35℃、pHを3.0に合わせた後、硝酸銀74g
を含む水溶液370mlと(98/2)のモル比の臭化
カリウムと沃化カリウムを含む水溶液及び〔Ir(N
O)Cl5〕塩を銀1モル当たり1×10-6モル及び塩
化ロジウム塩を銀1モル当たり1×10-4モルを、pA
g7.7に保ちながらコントロールドダブルジェット法
で添加した。その後、4−ヒドロキシ−6−メチル−
1,3,3a,7−テトラザインデンを添加し、NaO
HでpHを5に調整して、平均粒子サイズ0.06μ
m、単分散度10%、投影直径面積の変動係数8%、
〔100〕面比率87%の立方体沃臭化銀粒子を得た。
この乳剤に、ゼラチン凝集剤を用いて凝集沈降させ脱塩
処理後、フェノキシエタノール0.1gを加え、pH
5.9、pAg7.5に調整して、ハロゲン化銀乳剤を
得た。ついで、得られたハロゲン化銀乳剤に、塩化金酸
及び無機硫黄で化学増感を施した。
【0056】上記単分散度及び投影直径面積の変動係数
は、下式により算出した。 単分散度=(粒径の標準偏差)/(粒径の平均値)×1
00 投影直径面積の変動係数=(投影直径面積の標準偏差)
/(投影直径面積の平均値)×100 (ベヘン酸Na溶液の調製)945mlの純水にベヘン
酸32.4g、アラキジン酸9.9g、ステアリン酸
5.6gを90℃で溶解した。次に、高速で攪拌しなが
ら1.5モル/Lの水酸化ナトリウム水溶液98mlを
添加した。次いで、濃硝酸0.93mlを加えた後、5
5℃に冷却して30分攪拌させてベヘン酸Na溶液を調
製した。
は、下式により算出した。 単分散度=(粒径の標準偏差)/(粒径の平均値)×1
00 投影直径面積の変動係数=(投影直径面積の標準偏差)
/(投影直径面積の平均値)×100 (ベヘン酸Na溶液の調製)945mlの純水にベヘン
酸32.4g、アラキジン酸9.9g、ステアリン酸
5.6gを90℃で溶解した。次に、高速で攪拌しなが
ら1.5モル/Lの水酸化ナトリウム水溶液98mlを
添加した。次いで、濃硝酸0.93mlを加えた後、5
5℃に冷却して30分攪拌させてベヘン酸Na溶液を調
製した。
【0057】(ベヘン酸銀とハロゲン化銀のプレフォー
ム乳剤の調製)上記のベヘン酸Na溶液に、前記ハロゲ
ン化銀乳剤15.1gを添加し、水酸化ナトリウム溶液
でpH8.1に調整した後、1モル/Lの硝酸銀溶液1
47mlを7分間かけて加え、さらに20分攪拌し、限
外濾過により水溶性塩類を除去した。できたベヘン酸銀
は、平均粒子サイズ0.8μm、単分散度8%の粒子で
あった。分散物のフロックを形成後、水を取り除き、更
に6回の水洗と水の除去を行った後乾燥させて、プレフ
ォーム乳剤を調製した。
ム乳剤の調製)上記のベヘン酸Na溶液に、前記ハロゲ
ン化銀乳剤15.1gを添加し、水酸化ナトリウム溶液
でpH8.1に調整した後、1モル/Lの硝酸銀溶液1
47mlを7分間かけて加え、さらに20分攪拌し、限
外濾過により水溶性塩類を除去した。できたベヘン酸銀
は、平均粒子サイズ0.8μm、単分散度8%の粒子で
あった。分散物のフロックを形成後、水を取り除き、更
に6回の水洗と水の除去を行った後乾燥させて、プレフ
ォーム乳剤を調製した。
【0058】(感光性乳剤の調製)上記作製したプレフ
ォーム乳剤に、ポリビニルブチラール(平均分子量30
00)のメチルエチルケトン溶液(17質量%)544
gとトルエン107gを徐々に添加して混合した後、メ
ディア分散機により27.6MPaで分散させた。
ォーム乳剤に、ポリビニルブチラール(平均分子量30
00)のメチルエチルケトン溶液(17質量%)544
gとトルエン107gを徐々に添加して混合した後、メ
ディア分散機により27.6MPaで分散させた。
【0059】《塗布液の調製及び塗布》支持体上に以下
の各層を順次形成し、熱現像感光材料を作製した。尚、
乾燥は各々60℃,15分間で行った。
の各層を順次形成し、熱現像感光材料を作製した。尚、
乾燥は各々60℃,15分間で行った。
【0060】(バック面側塗布)下記組成のバック面側
塗布液を、前記作製した支持体の下引層B−2上に、公
知のコータヘッドを用いて塗布を行った。
塗布液を、前記作製した支持体の下引層B−2上に、公
知のコータヘッドを用いて塗布を行った。
【0061】 〈バック面側塗布液〉 酢酸セルロース(10%メチルエチルケトン溶液) 15ml/m2 染料−B 7mg/m2 染料−C 7mg/m2 マット剤:単分散度15%平均粒子サイズ10μm単分散シリカ 30mg/m2 C9H17−C6H4−SO3Na 10mg/m2
【0062】
【化3】
【0063】(感光層面側塗布)以下組成の感光層塗布
液及び表面保護層塗布液を後述する塗布方法にて塗布を
行い、熱現像感光材料である試料1〜5を作製した。
液及び表面保護層塗布液を後述する塗布方法にて塗布を
行い、熱現像感光材料である試料1〜5を作製した。
【0064】 〈感光層塗布液の調製〉 プレフォーム乳剤 240g 増感色素−1(0.1%メタノール溶液) 1.7ml ピリジニウムプロミドペルブロミド(6%メタノール溶液) 3ml 臭化カルシウム(0.1%メタノール溶液) 1.7ml カブリ防止剤−2(10%メタノール溶液) 1.2ml 2−(4−クロロベンゾイル)安息香酸(12%メタノール溶液) 9.2ml 2−メルカプトベンズイミダゾール(1%メタノール溶液) 11ml トリブロモメチルスルホキノリン(5%メタノール溶液) 17ml 現像剤−1(20%メタノール溶液) 29.5ml
【0065】
【化4】
【0066】 〈表面保護層塗布液の調製〉 アセトン 35ml/m2 メチルエチルケトン 17ml/m2 酢酸セルロース 2.3g/m2 メタノール 7ml/m2 フタラジン 250mg/m2 4−メチルフタル酸 180mg/m2 テトラクロロフタル酸 150mg/m2 テトラクロロフタル酸無水物 170mg/m2 マット剤:単分散度10%平均粒子サイズ4μm単分散シリカ 70mg/m2 C9H17−C6H4−SO3Na 10mg/m2 〈感光面側の塗布〉バック層を塗布済みの幅2200m
mPET支持体の下引層A−2上に、上記調製した感光
層塗布液及び表面保護層塗布液を、下記に示す塗布方法
1〜5で同時重層塗布を行い、熱現像感光材料である試
料1〜5を作製した。
mPET支持体の下引層A−2上に、上記調製した感光
層塗布液及び表面保護層塗布液を、下記に示す塗布方法
1〜5で同時重層塗布を行い、熱現像感光材料である試
料1〜5を作製した。
【0067】なお、感光層塗布液については、塗布銀量
として2.1g/m2になる条件で塗布を行った。
として2.1g/m2になる条件で塗布を行った。
【0068】塗布方法1:塗布幅2000mmのエクス
トルージョンコータ1台を、支持体幅手両端部より10
0mmの位置に設置し、2000mの塗布を行い、熱現
像感光材料1を作製した。
トルージョンコータ1台を、支持体幅手両端部より10
0mmの位置に設置し、2000mの塗布を行い、熱現
像感光材料1を作製した。
【0069】塗布方法2:塗布幅500mmのエクスト
ルージョンコータ4台を、支持体端部より25mmの位
置から、支持体の長手方向の同一位置に50mm間隔で
並列に配置し、各々のコータに対し独立に設けた塗布液
供給ラインより感光層塗布液及び表面保護層塗布液を同
一塗布液量を送液して、2000mの塗布を行った。
ルージョンコータ4台を、支持体端部より25mmの位
置から、支持体の長手方向の同一位置に50mm間隔で
並列に配置し、各々のコータに対し独立に設けた塗布液
供給ラインより感光層塗布液及び表面保護層塗布液を同
一塗布液量を送液して、2000mの塗布を行った。
【0070】塗布方法3:塗布幅500mmのエクスト
ルージョンコータ4台を、支持体端部より25mmの位
置から、支持体の長手方向の同一位置に50mm間隔で
並列に配置し、各々のコータに対し、感光層塗布液及び
表面保護層塗布液を図3に示す形態で、単一の塗布液供
給ライン8から分割配管10を介して同一塗布液量を送
液して、2000mの塗布を行った。
ルージョンコータ4台を、支持体端部より25mmの位
置から、支持体の長手方向の同一位置に50mm間隔で
並列に配置し、各々のコータに対し、感光層塗布液及び
表面保護層塗布液を図3に示す形態で、単一の塗布液供
給ライン8から分割配管10を介して同一塗布液量を送
液して、2000mの塗布を行った。
【0071】塗布方法4:塗布幅500mmのエクスト
ルージョンコータ4台を、支持体端部より25mmの位
置から、支持体の長手方向の同一位置に50mm間隔で
並列に配置し、各々のコータに対し、感光層塗布液及び
表面保護層塗布液を図6で示す形態で、各コータ間を塗
布液供給用配管9で連結し、規定の塗布液量を送液し
て、2000mの塗布を行った。
ルージョンコータ4台を、支持体端部より25mmの位
置から、支持体の長手方向の同一位置に50mm間隔で
並列に配置し、各々のコータに対し、感光層塗布液及び
表面保護層塗布液を図6で示す形態で、各コータ間を塗
布液供給用配管9で連結し、規定の塗布液量を送液し
て、2000mの塗布を行った。
【0072】塗布方法5:塗布幅500mmのエクスト
ルージョンコータ4台を、支持体端部より25mmの位
置から、支持体の長手方向の同一位置に50mm間隔で
並列に配置し、各々のコータに対し、感光層塗布液及び
表面保護層塗布液を図7で示す形態で、各コータ間を塗
布液供給用配管9で連結し、単一の塗布液供給ライン8
から分割配管10を介して同一塗布液量を送液して、2
000mの塗布を行った。
ルージョンコータ4台を、支持体端部より25mmの位
置から、支持体の長手方向の同一位置に50mm間隔で
並列に配置し、各々のコータに対し、感光層塗布液及び
表面保護層塗布液を図7で示す形態で、各コータ間を塗
布液供給用配管9で連結し、単一の塗布液供給ライン8
から分割配管10を介して同一塗布液量を送液して、2
000mの塗布を行った。
【0073】《塗布済み試料の評価》以上得られた20
00m塗布した熱現像感光材料である試料1〜5につい
て、以下に示す方法にて塗布膜厚分布の評価を行った。
00m塗布した熱現像感光材料である試料1〜5につい
て、以下に示す方法にて塗布膜厚分布の評価を行った。
【0074】(塗布膜厚分布の測定)各試料の塗布10
00m位置に於いて、塗布した全幅から任意に50点試
料をサンプリングし、その小片をメタクリル樹脂で包埋
し、その断面をダイアモンドカッターで厚さ約50μm
の薄片として切り出し、それを電子顕微鏡にて撮影し、
塗布層の膜厚を実測し、各測定値の標準偏差(%)を、
それぞれの試料の膜厚バラツキとして評価した。以上の
様にして得られた結果を、表1に示す。
00m位置に於いて、塗布した全幅から任意に50点試
料をサンプリングし、その小片をメタクリル樹脂で包埋
し、その断面をダイアモンドカッターで厚さ約50μm
の薄片として切り出し、それを電子顕微鏡にて撮影し、
塗布層の膜厚を実測し、各測定値の標準偏差(%)を、
それぞれの試料の膜厚バラツキとして評価した。以上の
様にして得られた結果を、表1に示す。
【0075】
【表1】
【0076】表1より明らかなように、本発明に係る塗
布方法3〜5で作製した試料3〜5は、比較品に対し塗
布幅手におけるバラツキが極めて小さいことが判る。特
に、塗布方法2に比較すると、バラツキ巾は同等あるい
はそれ以下で、かつ塗布液供給ライン数は、1/4で実
現することができ、設備投資コストを大幅に削減するこ
とができた。
布方法3〜5で作製した試料3〜5は、比較品に対し塗
布幅手におけるバラツキが極めて小さいことが判る。特
に、塗布方法2に比較すると、バラツキ巾は同等あるい
はそれ以下で、かつ塗布液供給ライン数は、1/4で実
現することができ、設備投資コストを大幅に削減するこ
とができた。
【0077】実施例2 市販の2軸延伸熱固定済みの支持体幅1100mm、厚
さ100μmPETフィルムの両面に8W/m2・分の
コロナ放電処理を施し、実施例1と同様に下引加工を施
した後、下記に示す塗布装置を用いて、実施例1と同様
の各塗布液の塗布を行い、熱現像感光材料を作製した。
さ100μmPETフィルムの両面に8W/m2・分の
コロナ放電処理を施し、実施例1と同様に下引加工を施
した後、下記に示す塗布装置を用いて、実施例1と同様
の各塗布液の塗布を行い、熱現像感光材料を作製した。
【0078】(塗布方法)塗布巾が500mmの同一の
エクストルージョンコータ2台を、支持体端部より25
mmの位置から、支持体の長手方向の同一位置に50m
m間隔で並列に配置し、各々のエクストルージョンコー
タの隣接端部を塗布液供給用配管で連結し、一方のエク
ストルージョンコータの支持体端部側より、図5で示す
形態で塗布液を供給し塗布を行った。なお、塗布に於い
ては、下記表2に記載の塗布条件及びコータの構造を有
する6種のエクストルージョンコータを用いて塗布を行
い、熱現像感光材料である試料6〜11を作製した。
エクストルージョンコータ2台を、支持体端部より25
mmの位置から、支持体の長手方向の同一位置に50m
m間隔で並列に配置し、各々のエクストルージョンコー
タの隣接端部を塗布液供給用配管で連結し、一方のエク
ストルージョンコータの支持体端部側より、図5で示す
形態で塗布液を供給し塗布を行った。なお、塗布に於い
ては、下記表2に記載の塗布条件及びコータの構造を有
する6種のエクストルージョンコータを用いて塗布を行
い、熱現像感光材料である試料6〜11を作製した。
【0079】
【表2】
【0080】上記各塗布条件における各送液圧力抵抗値
及び本発明に係る送液圧力抵抗比を算出し、その結果を
表3に示す。なお、各送液圧力抵抗値の算出は、前述の
エクストルージョンコータのスリットにおける送液圧力
抵抗値(ΔPs)、エクストルージョンコータ1のポケ
ットの送液圧力抵抗値(ΔPp1)、エクストルージョ
ンコータ2のポケットの送液圧力抵抗値(ΔPp2)及
びエクストルージョンコータ接続配管の送液圧力抵抗
(ΔPk)の算出式に則り計算した。
及び本発明に係る送液圧力抵抗比を算出し、その結果を
表3に示す。なお、各送液圧力抵抗値の算出は、前述の
エクストルージョンコータのスリットにおける送液圧力
抵抗値(ΔPs)、エクストルージョンコータ1のポケ
ットの送液圧力抵抗値(ΔPp1)、エクストルージョ
ンコータ2のポケットの送液圧力抵抗値(ΔPp2)及
びエクストルージョンコータ接続配管の送液圧力抵抗
(ΔPk)の算出式に則り計算した。
【0081】
【表3】
【0082】《塗布済み試料の評価》以上得られた熱現
像感光材料である試料6〜11について、実施例1と同
様の方法にて塗布膜厚分布を測定し、得られた結果を表
4に示す。
像感光材料である試料6〜11について、実施例1と同
様の方法にて塗布膜厚分布を測定し、得られた結果を表
4に示す。
【0083】
【表4】
【0084】表4より明らかなように、本発明に係る塗
布方式において、更に送液圧力抵抗比を1.5%以下に
設定することにより、塗布膜厚分布が一層良好になるこ
とが判る。
布方式において、更に送液圧力抵抗比を1.5%以下に
設定することにより、塗布膜厚分布が一層良好になるこ
とが判る。
【0085】
【発明の効果】本発明により、広幅塗布における塗布膜
厚分布が改良され、かつ省設備化及び省設置スペース化
された塗布液供給装置とその塗布液供給方法を提供する
ことができた。
厚分布が改良され、かつ省設備化及び省設置スペース化
された塗布液供給装置とその塗布液供給方法を提供する
ことができた。
【図1】本発明の複数のエクストルージョンコータとそ
の塗布液供給ラインの構成を示す概念図。
の塗布液供給ラインの構成を示す概念図。
【図2】本発明の複数のエクストルージョンコータとそ
の塗布液供給ラインの他の構成を示す概念図。
の塗布液供給ラインの他の構成を示す概念図。
【図3】本発明の単一の塗布液供給ラインと分割配管か
らなる複数のエクストルージョンコータへの塗布液供給
方法の一例を示す概念図。
らなる複数のエクストルージョンコータへの塗布液供給
方法の一例を示す概念図。
【図4】本発明の単一の塗布液供給ラインから塗布液供
給用配管で連結された複数のエクストルージョンコータ
への塗布液供給方法の一例を示す概念図。
給用配管で連結された複数のエクストルージョンコータ
への塗布液供給方法の一例を示す概念図。
【図5】本発明の単一の塗布液供給ラインから塗布液供
給用配管で連結された複数のエクストルージョンコータ
への塗布液供給方法の他の一例を示す概念図。
給用配管で連結された複数のエクストルージョンコータ
への塗布液供給方法の他の一例を示す概念図。
【図6】本発明の単一の塗布液供給ラインから塗布液供
給用配管で連結された複数のエクストルージョンコータ
への塗布液供給方法の他の一例を示す概念図。
給用配管で連結された複数のエクストルージョンコータ
への塗布液供給方法の他の一例を示す概念図。
【図7】本発明の単一の塗布液供給ラインと分割配管か
らなる塗布液供給部から塗布液供給用配管で連結された
複数のエクストルージョンコータへの塗布液供給方法の
一例を示す概念図。
らなる塗布液供給部から塗布液供給用配管で連結された
複数のエクストルージョンコータへの塗布液供給方法の
一例を示す概念図。
1 塗布液 2 供給釜 3 送液ポンプ 4 フィルター 5 流量計 6A〜6D エクストルージョンコータ 7A〜7D エクストルージョンコータの塗布巾 8 塗布液供給ライン 9 塗布液供給用配管(接続配管とも言う) 10 分割配管 11 支持体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03C 1/00 G03C 1/74 4F042 1/74 351 351 B41M 5/18 Z
Claims (11)
- 【請求項1】 帯状支持体へ少なくとも1層の塗布を行
う複数のエクストルージョンコータからなる塗布ユニッ
トへの塗布液供給装置において、1層当たりの該複数の
エクストルージョンコータへの塗布液供給ライン数が、
総エクストルージョンコータ数よりも少ないことを特徴
とする塗布液供給装置。 - 【請求項2】 複数のエクストルージョンコータが、支
持体の幅手方向に並列に設置されていることを特徴とす
る請求項1記載の塗布液供給装置。 - 【請求項3】 帯状支持体の幅手方向に並列に設置され
た少なくとも1層の塗布を行う複数のエクストルージョ
ンコータからなる塗布ユニットへの塗布液供給装置にお
いて、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液され
た塗布液が、該複数のエクストルージョンコータへ供給
される前に少なくとも2つの配管に分割されて、少なく
とも2つのエクストルージョンコータへ供給されること
を特徴とする塗布液供給装置。 - 【請求項4】 帯状支持体の幅手方向に並列に設置され
た少なくとも1層の塗布を行う複数のエクストルージョ
ンコータからなる塗布ユニットへの塗布液供給装置にお
いて、少なくとも1つの塗布液供給ラインから送液され
た塗布液を、少なくとも1つの塗布液供給用配管で直列
に接続された少なくとも2台のエクストルージョンコー
タへ供給することを特徴とする塗布液供給装置。 - 【請求項5】 塗布液のエクストルージョンコータへの
供給位置が、エクストルージョンコータの塗布幅手の略
中央部であることを特徴とする請求項3又は4記載の塗
布液供給装置。 - 【請求項6】 塗布液のエクストルージョンコータへの
供給位置が、エクストルージョンコータの塗布幅手端部
であることを特徴とする請求項3又は4記載の塗布液供
給装置。 - 【請求項7】 塗布液供給ラインによる複数のエクスト
ルージョンコータへの塗布液の配分量を調整し、複数の
エクストルージョンコータにより塗布された各塗布面の
乾燥膜厚が同一となるよう塗布液を供給することを特徴
とする請求項3又は4記載の塗布液供給装置を用いた塗
布液供給方法。 - 【請求項8】 複数のエクストルージョンコータの少な
くとも1つで塗布された塗布膜厚が、他のエクストルー
ジョンコータで塗布された塗布膜厚とは異なるよう塗布
液を供給することを特徴とする請求項3又は4記載の塗
布液供給装置を用いた塗布液供給方法。 - 【請求項9】 塗布液分割後の配管及びエクストルージ
ョンコータの内部ポケットの送液圧力抵抗が、該エクス
トルージョンコータのスリットの送液圧力抵抗の1.5
%以下となるよう塗布液を供給することを特徴とする請
求項3又は4記載の塗布液供給装置を用いた塗布液供給
方法。 - 【請求項10】 複数のエクストルージョンコータが、
2層以上の塗布層を同時に塗布する重層コータであるこ
とを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項記載の塗布
液供給装置。 - 【請求項11】 複数のエクストルージョンコータが、
2層以上の塗布層を同時に塗布する重層コータであるこ
とを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項記載の塗布
液供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000167441A JP2001340798A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 塗布液供給装置及び塗布液供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000167441A JP2001340798A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 塗布液供給装置及び塗布液供給方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001340798A true JP2001340798A (ja) | 2001-12-11 |
Family
ID=18670596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000167441A Pending JP2001340798A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 塗布液供給装置及び塗布液供給方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001340798A (ja) |
-
2000
- 2000-06-05 JP JP2000167441A patent/JP2001340798A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071116 |