JP2001332177A - 画像表示装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマ放電を利用した画像表示装置に形成
される隔壁の印刷不良を防止し、研磨による隔壁頂部の
欠損を防止する。 【解決手段】 画像表示装置は、所定の間隙を介して互
いに接合し密閉された偏平空間からなる画面を構成する
一対の基板３，８と、偏平空間に満たされた放電可能な
気体と、少なくとも一方の基板８に形成され外部から印
加される電圧に応じて気体を放電する電極９と、少くと
も片方の基板８に線状に形成され、偏平空間を行状に仕
切る隔壁１０とを有する。隔壁１０は、片方の基板８上
で画面内側の表示領域から画面外側の非表示領域に渡っ
て延在しており、隔壁１０の線幅が表示領域上で細く非
表示領域上で太く設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は画像表示装置及びそ
の製造方法に関する。より詳しくは、プラズマ放電を利
用した画像表示用のパネルに設けられる隔壁の加工技術
に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマ放電を利用した画像表示用のパ
ネルは、一般に所定の間隙を介して互いに接合し密閉さ
れた偏平空間から成る画面を構成する一対の基板よりな
る。この偏平空間には放電可能な気体が満たされてい
る。図９は、理解を要にする為パネルから上側の基板を
除いた状態を模式的に表した斜視図である。図示のよう
に、下側の基板８には電極９が形成されており、外部の
駆動回路から供給される電圧に応じて、偏平空間に満た
された気体をプラズマ放電する。又、基板８には、隔壁
１０が線状（ライン状）に形成されており、偏平空間を
行状（ストライプ状）に仕切っている。隔壁１０は、印
刷パタンが予め形成されたスクリーンメッシュを用いて
絶縁性のペースト材料を繰り返し重ね印刷し、焼成した
ものである。スクリーン印刷を繰り返すことで、隔壁１
０の高さ寸法Ｈを幅寸法（線幅）Ｗより大きくする事が
できる。焼成した後の隔壁１０の頂部は、スクリーンメ
ッシュなどで凹凸が残されている。その為、隔壁１０の
頂部は研磨により平坦化し、上側の基板（図示省略）に
当接させる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】隔壁１０をスクリーン
印刷で形成すると、印刷パタンの周辺部に印刷不良が生
じやすい。印刷パタンの周辺部は画面の周辺部に対応し
ている。この印刷不良を除く為には、印刷判版であるス
クリーンメッシュと印刷対象である基板８とのギャップ
や、印刷に用いるスキージの印圧などの印刷条件、ペー
ストの粘度などの材料条件を最適化する必要がある。し
かしながら、最適条件は変動し易く制御が困難である。
例えば、印圧を大きくするとスクリーンメッシュの歪み
が大きくなり、パタン精度度が悪くなる。又、ペースト
の粘度を小さくするとペーストのダレにより、線幅が太
くなり過ぎるなどの問題が発生する。加えて、印刷焼成
した後の頂部研磨にも問題がある。一般に、頂部研磨は
隔壁の高さを揃える為に行う。例えば、回転式の研磨機
を用いた場合、研磨の初期段階で隔壁１０頂部の凹凸が
研磨機の定盤に引っかかり、図示の様に隔壁頂部が欠損
する事がある。隔壁を研磨する場合には、特にライン状
の隔壁１０の端部など周辺に負荷がかかり易く、欠損が
生じ易い。隔壁１０の端部に欠損が生じると、その欠片
が研磨途中で画面の表示領域側（中央側）に移動し、異
物となって残留したり、欠片がさらに別の欠損を連鎖的
に引き起こす場合がある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上述した従来の技術の課
題を解決する為、本発明は隔壁の印刷不良を防止し、研
磨による隔壁頂部の欠損を防止することを目的とする。
係る目的を達成する為に以下の手段を講じた。即ち、所
定の間隙を介して互いに接合し密閉された偏平空間から
なる画面を構成する一対の基板と、該偏平空間に満たさ
れた放電可能な気体と、少なくとも一方の基板に形成さ
れ外部から印加される電圧に応じて該気体を放電する電
極と、少くとも片方の基板に線状に形成され、該偏平空
間を行状に仕切る隔壁とを有する画像表示装置におい
て、前記隔壁は、片方の基板上で画面内側の表示領域か
ら画面外側の非表示領域に渡って延在しており、隔壁の
線幅が表示領域上で細く非表示領域上で太く設定されて
いることを特徴とする。好ましくは、前記隔壁は、表示
領域側で細く非表示領域上で太く設定された印刷パタン
を用いて絶縁性ペーストを重ね印刷したものからなる。
又、前記隔壁の頂部は研磨により平坦化された状態でも
う片方の基板の平面に当接している。

【０００５】又、本発明は、所定の間隙を介して互いに
接合し密閉された偏平空間からなる画面を構成する一対
の基板と、該偏平空間に満たされた放電可能な気体と、
少なくとも一方の基板に形成され外部から印加される電
圧に応じて該気体を放電する電極と、少くとも片方の基
板に線状に形成され、該偏平空間を行状に仕切る隔壁と
を有する画像表示装置の製造方法において、片方の基板
上で画面内側の表示領域になる側から画面外側の非表示
領域になる側に渡って該隔壁を形成し、且つ隔壁の線幅
を表示領域側で細く非表示領域側で太く形成することを
特徴とする。好ましくは、表示領域に対応する部分で細
く非表示領域に対応する部分で太く作成された印刷パタ
ンを用いて絶縁性ペーストを繰り返し重ねて印刷した後
焼成して、表示領域側で低く非表示領域側で高く頂部に
段差の付いた隔壁を形成する。又、該段差で表示領域側
の頂部を保護しながら研磨を進め隔壁の頂部全体を平坦
化した後、該平坦化した頂部をもう片方の基板の平面に
当接した状態で一対の基板を互いに接合する。

【０００６】本発明によれば、プラズマを利用したパネ
ルから成る画像表示装置の画面の表示領域（有効画面）
と非表示領域（無効画面、有効画面の外枠）とで、隔壁
の線幅を変えている。具体的には、表示領域に置ける隔
壁の線幅よりも非表示領域における隔壁の線幅を太くし
ている。線幅を太くすることで、特に印刷パタン周辺部
での印刷性を改善でき、印刷不良の防止に効果がある。
又、印刷に用いるスクリーンメッシュは、線幅の太いパ
タンで開口部が大きく、線幅の細いパタンで開口部が小
さくなる。スクリーン印刷では、メッシュの開口部が大
きければ、単位面積当たりのペースト（インク）の吐出
量が大になる。従って、印刷パタンの線幅を表示領域と
非表示領域で変化を付ければ、隔壁の高低差を容易につ
ける事ができる。すなわち、隔壁の高さを表示領域で低
く、非表示領域で高く作ることが可能になる。この様
に、高低がついた隔壁の頂部を研磨すると、初期段階で
非表示領域側の太く且つ高い隔壁が先に研磨される為、
細く低い表示領域側の隔壁が保護される。非表示領域側
の隔壁研磨が進むと、表示領域側の隔壁が徐々に研磨さ
れ始めるので、負荷が少なく欠けにくい。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。図１は、本発明に係る画像表
示装置の構成を示す模式的な断面図（Ａ）及び平面図
（Ｂ）である。図示の様に、本画像表示装置は、基本的
にフラットパネル構造のプラズマセル２から成る。プラ
ズマセル２は、所定の間隙を介して互に接合した一対の
基板３，８から成り、密閉された偏平空間から成る画面
を構成する。上下の基板３，８はいずれもガラス板など
から成り、ガラスフリット１１を介して互いにフリット
シールされる。下側の基板８には電極９が形成されてお
り、外部の駆動回路から印加される電圧に応じて、偏平
空間に密閉された気体を放電する。又、基板８には隔壁
１０が線状（ライン状）に形成されており、偏平空間を
行状（ストライプ状）に仕切っている。特徴事項とし
て、隔壁１０は下側の基板８上で画面内側の表示領域
（１点鎖線で囲まれた領域）から画面外側の非表示領域
（１点鎖線の外側）に渡って縁在しており、隔壁１０の
線幅が表示領域上で細く非表示領域上で太く設定されて
いる。

【０００８】図２は、隔壁の部分側面図及び部分平面図
であり、丁度表示領域と非表示領域に係る領域を拡大図
示している。本例では、表示領域に対応する部分で細く
非表示領域に対応する部分で太く作成された印刷パタン
を用いて絶縁性ペーストを繰り返し重ねて印刷した後焼
成して、表示領域で低く非表示領域が高くて頂部に段差
のついた隔壁を形成している。すなわち、スクリーン印
刷に用いるスクリーンメッシュ（マスク）において、表
示領域側と非表示領域側の印刷パタンの開口寸法を変え
ることで、ペーストの吐出量を変えている。実験では、
表示領域側の線幅Ｗａが１６０μｍで非表示領域側の線
幅Ｗｂが６００μｍとなる印刷パタンを用い、スクリー
ン印刷にて１１回繰り返し印刷したところ、印刷不良の
無い良好な隔壁を形成する事が出来た。又、この重ね印
刷により、表示領域側で隔壁の高さ寸法Ｈａを２５０μ
ｍとし、非表示領域側の高さ寸法Ｈｂを３３０μｍにす
ることが出来た。この様に、表示領域側と非表示領域側
で隔壁頂部に８０μｍの段差を付けることが出来た。す
なわち、スクリーン印刷ではメッシュの開口部が大きけ
れば、単位面積当たりの吐出量が大になる為、例えば同
一マスクで線幅を場所によって変えれば、ライン状のパ
タンに沿って隔壁の高低差を容易に作ることが出来る。

【０００９】図３は、隔壁頂部の研磨処理を示す模式図
である。この研磨機は、下側の回転砥石板２１と上側の
加圧板２３との間に、予め段差がついた隔壁１０を形成
した基板８を保持し、研磨するものである。図示の様
に、研磨初期段階で非表示領域側に形成された太く且つ
高い隔壁１０の頂部が先に研磨される為、表示領域側に
形成された隔壁が保護される。非表示領域側の隔壁の研
磨が進むと、表示領域側の隔壁が徐々に研磨され始める
ので、負荷が少なく欠けにくい。又、研磨初期段階で非
表示領域側の隔壁が太い事により欠損が生じにくいの
で、従来の様に、欠損した破片が研磨途中で表示領域側
に移動し、更なる欠けを生じさせるような連鎖不良を防
ぐことが出来る。この頂部研磨により、隔壁１０の高さ
寸法Ｈを画面全体に渡って２００μｍにし、平坦化する
ことが出来た。その際、隔壁１０の欠損の発生は皆無で
あった。

【００１０】図４は、本発明に係る画像表示装置の実施
例を示す模式的な断面図である。本実施例は表示セルと
プラズマセルとを重ねたフラットパネル構造を有するプ
ラズマアドレス表示装置である。但し、本発明はこれに
限られるものでは無く、プラズマセルのみから成る通常
のプラズマディスプレイにも適用可能であることは言う
までもない。図示するように、プラズマアドレス表示装
置は、表示セル１とプラズマセル２とを誘電体シート３
を介して積層したフラットパネル構造を有する。表示セ
ル１は、上側基板４を用いて構成されており、シール材
６を介して所定の間隙を有した状態で、誘電体シート３
に接合されている。上側基板４の内表面にはストライプ
状の信号電極５が列方向に沿って並列的に形成されてい
る。図面では、この列方向は紙面に対して平行方向とな
っている。上側基板４と誘電体シート３との間隙には液
晶７が充填されている。なお、液晶７には間隙寸法を均
一にするため、スペーサ粒子が含まれている。

【００１１】一方、プラズマセル２はガラスなどからな
る下側基板８を用いて構成されており、誘電体シート３
と所定の間隔を以て対向している。下側基板８の表面に
は、行方向（紙面に垂直な方向）に延び列方向に所定の
ピッチで並列的に形成されたニッケルなどからなるスト
ライプ状の放電電極９が設けられている。この放電電極
９の上に、セラミックなどの絶縁物からなる隔壁１０が
形成されている。この隔壁１０の幅は対応する放電電極
９の幅よりも狭く、その配列ピッチは放電電極９と同一
である。この隔壁１０を介して誘電体シート３と下側基
板８が所定の間隔を以て対向している。隔壁１０で区画
された密閉空間が放電チャネル１２を構成する。この放
電チャネル１２は行方向に延び列方向に所定の間隔で配
列されている。各放電チャネル１２にはイオン化可能な
ガスが封入されている。このガスとしては、例えばクリ
プトン、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン或いは
これらの混合気体が用いられる。このように、隔壁１０
は放電チャネル１２を個々に区画するとともに、下側基
板８と誘電体シート３とのギャップスペーサとしての役
割も果たす。なお、放電電極９は交互にアノード及びカ
ソードとなるようにそれぞれ外部の駆動回路に接続され
ている。下側基板８の周辺部は低融点のガラスフリット
１１により、誘電体シート３からなる中間基板に接合し
ており、両者の間の気密性が保持される。

【００１２】表示セル１側の信号電極５と放電チャネル
１２は互いに直交しており、信号電極５が列駆動体とな
る一方、放電チャネル１２は行駆動体となり、これらの
交差部に画素が規定される。このようなプラズマアドレ
ス表示装置において、アノード側の放電電極９とカソー
ド側の放電電極９との間に所定の電圧が印加されると、
放電チャネル１２のガスが選択的にイオン化され、プラ
ズマ放電が発生し、放電チャネル１２の内部はほぼアノ
ード電位に維持される。この状態で、信号電極５にデー
タ電圧が印加されると、放電チャネル１２に対応して行
方向に並ぶ画素の液晶７に、極薄のガラスなどからなる
誘電体シート３を介してデータ電圧が書き込まれる。プ
ラズマ放電が終了すると、放電チャネル１２は浮遊電位
となり、対応する画素の液晶７に書き込まれたデータ電
圧は、次の書き込み期間（例えば１フレーム後）まで保
持される。このように、放電チャネル１２はサンプリン
グスイッチとして機能し、各画素の液晶７はサンプリン
グキャパシタとして機能する。各画素の液晶７に対して
信号電極５から書き込まれたデータ電圧に応じて液晶７
の透過率が変化することから、画素単位で表示が行われ
る。従って、プラズマ放電を発生させて行方向に並ぶ複
数の画素の液晶７にデータ電圧を書き込む放電チャネル
１２を列方向（縦方向）に順次走査して行くことで、二
次元画像の表示を行うことができる。

【００１３】図５を参照して、本プラズマアドレス表示
装置の製造方法を説明する。まず工程Ａで、下側基板８
の表面にスクリーン印刷法で放電電極９をストライプ状
に印刷した後、乾燥する。次に工程Ｂで、ストライプ状
に印刷した放電電極９の上に、絶縁物からなる隔壁１０
を同じくスクリーン印刷で等ピッチに積層する。この場
合、隔壁１０の高さが約２００μｍ程度となるように、
スクリーン印刷を繰り返して重ね塗りを行っている。所
定の高さまで隔壁１０を印刷した後、焼成する。表示領
域に対応する部分で細く非表示領域に対応する部分で太
く作成された印刷パタンを用いて絶縁性ペーストを繰り
返し重ねて印刷した後焼成して、表示領域側で低く非表
示領域側で高く頂部に段差の付いた隔壁１０を形成す
る。この後、各隔壁１０の頂部を研磨し、スクリーン印
刷のメッシュ跡などを除去するとともに各隔壁１０の高
さ寸法を精密に揃える。次に工程Ｃで、下側基板８の周
辺にガラスフリット１１をディペンサー又は印刷で塗布
し、このガラスフリット１１を介して極薄のガラス板な
どからなる誘電体シート３を各隔壁１０の頂部に載せた
状態で下側基板８に接合する。誘電体シート３の厚みは
数１０μｍ程度である。段差で表示領域側の頂部を保護
しながら研磨を進め隔壁１０の頂部全体を平坦化した
後、該平坦化した頂部を誘電体シート３の平面に当接し
た状態で基板８に接合する。これにより、ガラスフリッ
ト１１に囲まれた領域は誘電体シート３と下側基板８を
上下壁として外部から気密的に遮断された密閉空間を構
成する。この密閉空間を真空引きした後、イオン化可能
なガスを封入する。次に工程Ｄで、誘電体シート３の表
面を配向処理する。誘電体シート３を下から支える各隔
壁１０はあらかじめ研磨により高さ寸法が精密に揃えら
れているとともに、その頂部は平滑化されている。従っ
て、誘電体シート３も極めて平坦な表面を有している。
次いで、粒径が５μｍ程度のスペーサ６ａを誘電体シー
ト３の表面に散布する。また、誘電体シート３の周辺部
にシール材６をスクリーン印刷ななどで塗布する。最後
に工程Ｅで、シール材６を介して上側基板４を誘電体シ
ート３に接着する。誘電体シート３と上側基板４の間隙
寸法はスペーサ６ａにより精密に制御されている。ま
た、極薄の誘電体シート３は前述したように平坦な表面
を有しているので、間隙寸法を全面に渡って一定に維持
することができる。この後、間隙に液晶７を注入してプ
ラズマアドレス表示装置が完成する。以上のように、表
示セルの間隙寸法（即ち液晶７の厚み）を一定に制御す
るため、あらかじめ隔壁１０の頂部を研磨処理すること
が重要なポイントとなっている。

【００１４】図６は、図５の工程Ｂで用いるスクリーン
印刷装置の一例を示す模式図である。図示する様に、本
印刷装置は所定の印刷パタンを有するスクリーン１０１
を備えている。所定の印刷パタンはライン状で図面上左
右方向に延設されている。スクリーン１０１はテンショ
ンのかかった状態でスクリーン枠１０２に貼り付けられ
ている。このスクリーン枠１０２は印刷装置内の所定位
置に固定されている。本印刷装置は供給手段を備えてお
り、スクリーン１０１の裏面側に対面して基板１０３を
供給する。本例ではこの供給手段はオートアライメント
ステージ１０４から構成されている。このオートアライ
メントステージ１０４はステージ上下機構１０５を介し
てスライド機構１０６に搭載されており、図面上左右方
向に移動可能である。オートアライメントステージ１０
４の上方には一対のカメラ１０７，１０８が備え付けら
れている。一対のカメラ１０７，１０８は基板１０３に
予め形成されたアライメントマークを撮像する。撮像さ
れたアライメントマークは画像処理モニタ１０９，１１
０に取り込まれる。一対の画像処理モニタ１０９，１１
０にはコントローラ１１１が接続されており、撮像され
たアライメントマークの位置情報に基き、オートアライ
メントステージ１０４を駆動制御して基板１０３の位置
決めを自動的に行なう。この為、オートアライメントス
テージ１０４は水平面に沿って直交する２方向に移動可
能であるとともに、水平回転可能である。さらに、オー
トアライメントステージ１０４はステージ上下機構１０
５により垂直方向上下に移動可能である。

【００１５】本印刷装置はさらに印刷手段を備えてお
り、スクリーン１０１の表面側に供給されたペーストを
裏面側の基板表面に転写する。本例では、この印刷手段
は印刷用スキージ１１２とその駆動機構１１３とから構
成されている。印刷用スキージ１１２はホルダ１１４、
アーム１１５を介して駆動機構１１３に連結されてお
り、上下左右方向に移動可能である。なお、ホルダ１１
４の頂部には印刷用スキージ１１２の高さ調整ゲージ１
１６が取り付けられている。本印刷装置は又除去手段を
備えており、スクリーン１０１の裏面側に漏出したペー
スト残渣をストライプパタンと平行な方向に拭き取る。
本例ではこの除去手段は拭取用スキージ１１７を備えて
いる。拭取用スキージ１１７はその上下機構１１８を介
して前述したスライド機構１０６に取り付けられてい
る。なお拭取用スキージ上下機構１１８の内部には調整
ゲージ１１９が組み込まれており、拭取用スキージ１１
７の高さを調整する。かかる構成により、拭取用スキー
ジ１１７はスクリーン１０１の裏面側に当接してストラ
イプパタンと平行な方向に移動可能な様になっている。

【００１６】本発明では、ライン状の印刷パタンの端部
で線幅を太くすることで、スクリーン印刷が不得手とす
るパタン周辺部の印刷性を向上させることが出来る。
又、スクリーン印刷ではメッシュの開口部が大きけれ
ば、単位面積当たりの吐出量が大に成る為、同一マスク
で線幅を場所によって変えればライン状のパタンの端部
と中央部とで隔壁に高低差を容易に作ることが出来る。

【００１７】図７は、同じく図５の工程Ｂで行われる研
磨処理を示す模式図である。本例では液晶表示素子ガラ
ス基板用の片面ポリッシングマシン（例えば、スピード
ファム社製のＳＰ−８００）を用いて研磨処理を行なっ
た。図は、片面ポリッシングマシンの斜視外観構造を示
す。回転砥石板２１の上面に一対のアーム２２が取り付
けられている。各アーム２２の下面には加圧板２３が取
り付けられている。この加圧板２３の裏面に研磨対象と
なる基板８が固定される。

【００１８】図８は、図７に示した片面ポリッシングマ
シンの研磨動作を表わす模式的な平面図である。図示す
る様に、回転砥石板２１はシャフト２４を中心として双
方向に回転する。一方、一対のアーム２２はシャフト２
５を中心として回転砥石板２１と平行な方向に揺動す
る。この結果、加圧板２３の裏面に固着された基板８に
設けられた隔壁頂部が均一に研磨できる。本例では研磨
材としてＷＡ＃２０００を用い、加圧板２３に０．３kg
f の圧力を加え、回転砥石板２１の回転数を２５rpm に
設定し、一対のアーム２２の揺動回数を４rpm に設定し
た。４０〜６０秒の研磨処理を行なう事により、約８０
μｍの隔壁頂部研削が実施できた。前述した様に、研磨
初期段階で隔壁端部の太く且つ高い部分が先に研磨され
る為、隔壁の中央部が保護される。隔壁の端部研磨が進
むと、細く低い隔壁の中央部が徐々に研磨され始めるの
で、負荷が少なく欠けにくい。

【００１９】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、表
示領域に配される隔壁の線幅よりも非表示領域に配され
る隔壁の線幅を太くすることで、スクリーン印刷におけ
る印刷パタン周辺部の印刷不良を防止することが出来
る。又、スクリーン印刷の段階で非表示領域の隔壁を表
示領域の隔壁より高く形成することで、研磨初期におけ
る隔壁の破損や欠損さらには倒壊を防止することが出来
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る画像表示装置の実施形態を示す断
面図及び平面図である。

【図２】図１に示した画像表示装置に形成される隔壁の
部分側面図及び部分平面図である。

【図３】隔壁の研磨処理を示す模式図である。

【図４】本発明に係る画像表示装置の実施例を示す断面
図である。

【図５】図４示した実施例の製造方法を示す工程図であ
る。

【図６】図５に示した製造方法に用いるスクリーン印刷
機の一例を示す模式図である。

【図７】図５に示した製造方法に用いる研磨機の一例を
示す模式的な斜視図である。

【図８】同じく研磨機を示す摸式的な平面図である。

【図９】従来の画像表示装置の主要部を示す摸式的な斜
視図である。

【符号の説明】

２ プラズマセル ３ 基板(誘電体シート) ８ 基板 ９ 電極 １０ 隔壁 １１ ガラスフリット

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の間隙を介して互いに接合し密閉さ
   れた偏平空間からなる画面を構成する一対の基板と、該
   偏平空間に満たされた放電可能な気体と、少なくとも一
   方の基板に形成され外部から印加される電圧に応じて該
   気体を放電する電極と、少くとも片方の基板に線状に形
   成され、該偏平空間を行状に仕切る隔壁とを有する画像
   表示装置において、 前記隔壁は、片方の基板上で画面内側の表示領域から画
   面外側の非表示領域に渡って延在しており、 隔壁の線幅が表示領域上で細く非表示領域上で太く設定
   されていることを特徴とする画像表示装置。
2. 【請求項２】 前記隔壁は、表示領域側で細く非表示領
   域上で太く設定された印刷パタンを用いて絶縁性ペース
   トを重ね印刷したものからなることを特徴とする請求項
   １記載の画像表示装置。
3. 【請求項３】 前記隔壁の頂部は研磨により平坦化され
   た状態でもう片方の基板の平面に当接していることを特
   徴とする請求項１記載の画像表示装置。
4. 【請求項４】 所定の間隙を介して互いに接合し密閉さ
   れた偏平空間からなる画面を構成する一対の基板と、該
   偏平空間に満たされた放電可能な気体と、少なくとも一
   方の基板に形成され外部から印加される電圧に応じて該
   気体を放電する電極と、少くとも片方の基板に線状に形
   成され、該偏平空間を行状に仕切る隔壁とを有する画像
   表示装置の製造方法において、 片方の基板上で画面内側の表示領域になる側から画面外
   側の非表示領域になる側に渡って該隔壁を形成し、且つ
   隔壁の線幅を表示領域側で細く非表示領域側で太く形成
   することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
5. 【請求項５】 表示領域に対応する部分で細く非表示領
   域に対応する部分で太く作成された印刷パタンを用いて
   絶縁性ペーストを繰り返し重ねて印刷した後焼成して、
   表示領域側で低く非表示領域側で高く頂部に段差の付い
   た隔壁を形成することを特徴とする請求項４記載の画像
   表示装置の製造方法。
6. 【請求項６】 該段差で表示領域側の頂部を保護しなが
   ら研磨を進め隔壁の頂部全体を平坦化した後、該平坦化
   した頂部をもう片方の基板の平面に当接した状態で一対
   の基板を互いに接合することを特徴とする請求項５記載
   の画像表示装置の製造方法。