JP2001310253A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JP2001310253A JP2001310253A JP2000131435A JP2000131435A JP2001310253A JP 2001310253 A JP2001310253 A JP 2001310253A JP 2000131435 A JP2000131435 A JP 2000131435A JP 2000131435 A JP2000131435 A JP 2000131435A JP 2001310253 A JP2001310253 A JP 2001310253A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】研磨ヘッドを被研磨物の形状に合うように自由
に変更ができ、品質の高維持とコストの低減化を図った
研磨装置を提供する。 【解決手段】本発明に係る研磨装置は、被研磨物１５を
把持する把持部１８を予め定められた位置に自在に移動
できる被研磨物把持移動部１２と、上記被研磨物１５に
対し、接離自在に移動できる移動研磨部１３と、上記被
研磨物把持移動部１２と上記移動研磨部１３とのそれぞ
れに駆動指令を与える制御部１４とを備えた。
に変更ができ、品質の高維持とコストの低減化を図った
研磨装置を提供する。 【解決手段】本発明に係る研磨装置は、被研磨物１５を
把持する把持部１８を予め定められた位置に自在に移動
できる被研磨物把持移動部１２と、上記被研磨物１５に
対し、接離自在に移動できる移動研磨部１３と、上記被
研磨物把持移動部１２と上記移動研磨部１３とのそれぞ
れに駆動指令を与える制御部１４とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨装置に係り、
特に、タービン羽根の腹側面および背側面を自動的に研
磨する研磨装置に関する。
特に、タービン羽根の腹側面および背側面を自動的に研
磨する研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、蒸気タービンは、タービン羽根を
タービン軸の周方向に沿って環状列に配置し、環状列に
配置したタービン羽根と隣接のタービン羽根との間に蒸
気通路を形成し、蒸気通路を軸方向に複数段に亘って形
成し、各段の蒸気通路に蒸気を流して膨張仕事をさせ、
その際、蒸気の持つ熱エネルギを動力（回転トルク）に
変えている。
タービン軸の周方向に沿って環状列に配置し、環状列に
配置したタービン羽根と隣接のタービン羽根との間に蒸
気通路を形成し、蒸気通路を軸方向に複数段に亘って形
成し、各段の蒸気通路に蒸気を流して膨張仕事をさせ、
その際、蒸気の持つ熱エネルギを動力（回転トルク）に
変えている。
【０００３】このような軸流タイプの蒸気タービンで
は、蒸気通路を形成するタービン羽根の腹側面と背側面
とのそれぞれに研磨加工を施工し、蒸気通路を粗さの少
ない滑らかな形状にしており、その研磨加工手段として
いくつかのタイプが用いられている。
は、蒸気通路を形成するタービン羽根の腹側面と背側面
とのそれぞれに研磨加工を施工し、蒸気通路を粗さの少
ない滑らかな形状にしており、その研磨加工手段として
いくつかのタイプが用いられている。
【０００４】従来、蒸気タービンに組み込まれるタービ
ン羽根は、図８に示すように、タービン軸１に植設され
た植込み部２と、蒸気通路３を形成する翼有効部４と、
翼有効部４の先端に設けられ運転中に発生する振動を抑
制するスナッバーカバー５と、翼有効部４の中間部に設
けられ運転中に発生する振動を抑制するラグ部６とを備
え、蒸気通路３を流れる蒸気を次段落のタービンノズル
（図示せず）に案内している。
ン羽根は、図８に示すように、タービン軸１に植設され
た植込み部２と、蒸気通路３を形成する翼有効部４と、
翼有効部４の先端に設けられ運転中に発生する振動を抑
制するスナッバーカバー５と、翼有効部４の中間部に設
けられ運転中に発生する振動を抑制するラグ部６とを備
え、蒸気通路３を流れる蒸気を次段落のタービンノズル
（図示せず）に案内している。
【０００５】また、翼有効部４は、図９に示すように、
腹側面７、背側面８ともに、外側に向って湾曲状に形成
し、この湾曲状に形成した腹側面７および背側面８のそ
れぞれに研磨加工を施工している。
腹側面７、背側面８ともに、外側に向って湾曲状に形成
し、この湾曲状に形成した腹側面７および背側面８のそ
れぞれに研磨加工を施工している。
【０００６】湾曲状に形成した腹側面７および背側面８
のそれぞれに適用する研磨装置には、コンタクトホイー
ルと称する円輪の腹側面専用のものを腹側面７および背
側面８の両方に適用するものや、腹側面専用の円輪を腹
側面７に適用し、背側面専用の円輪を背側面８に適用す
るものや、あるいは図１０に示すように、研磨ヘッド部
９に比較的大口径の円輪１０とこれと相対的に小口径の
円輪１１とを備え、比較的小口径の円輪１０を腹側面７
に適用し、これと相対的に大口径の円輪１１を背側面８
に適用するものとがある。これらの研磨装置は、必要に
応じて使い分けられている。
のそれぞれに適用する研磨装置には、コンタクトホイー
ルと称する円輪の腹側面専用のものを腹側面７および背
側面８の両方に適用するものや、腹側面専用の円輪を腹
側面７に適用し、背側面専用の円輪を背側面８に適用す
るものや、あるいは図１０に示すように、研磨ヘッド部
９に比較的大口径の円輪１０とこれと相対的に小口径の
円輪１１とを備え、比較的小口径の円輪１０を腹側面７
に適用し、これと相対的に大口径の円輪１１を背側面８
に適用するものとがある。これらの研磨装置は、必要に
応じて使い分けられている。
【０００７】また、タービン羽根は、前縁（リーディン
グエッジ）や後縁（トレーリングエッジ）の肉厚が比較
的薄く、形状も鋭角状局面部が多いことも手伝って、研
磨の加工に支障をきたすため、手作業で施工している。
グエッジ）や後縁（トレーリングエッジ）の肉厚が比較
的薄く、形状も鋭角状局面部が多いことも手伝って、研
磨の加工に支障をきたすため、手作業で施工している。
【０００８】また、最近では、複数本のタービン羽根の
研磨加工および面取り加工を自動的に施工できる研磨装
置が、例えば特開平９−１８３０５６号公報に開示され
ている。
研磨加工および面取り加工を自動的に施工できる研磨装
置が、例えば特開平９−１８３０５６号公報に開示され
ている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】タービン羽根の腹側面
７および背側面８のそれぞれを研磨加工する際に使用し
ている上述研磨加工装置には、いくつかの問題点があっ
た。
７および背側面８のそれぞれを研磨加工する際に使用し
ている上述研磨加工装置には、いくつかの問題点があっ
た。
【００１０】上述、腹側面専用のものをタービン羽根の
腹側面７および背側面８の両方に適用する研磨装置で
は、研磨作業に長時間を要するので生産性が低下し、コ
ストの増加に結びつく問題点があった。
腹側面７および背側面８の両方に適用する研磨装置で
は、研磨作業に長時間を要するので生産性が低下し、コ
ストの増加に結びつく問題点があった。
【００１１】また、腹側面専用および背側面専用の２つ
の研磨ヘッドを持った研磨装置では、被研磨物へのトレ
ース位置制御が複雑になり、その分、コスト高騰に跳ね
返るとともに、緊急作業時に、一度、トラブルが発生す
ると、迅速な復旧ができない問題点があった。
の研磨ヘッドを持った研磨装置では、被研磨物へのトレ
ース位置制御が複雑になり、その分、コスト高騰に跳ね
返るとともに、緊急作業時に、一度、トラブルが発生す
ると、迅速な復旧ができない問題点があった。
【００１２】また、タービン羽根の前縁や後縁の手作業
施工では、仕上の品質にバラツキが出、タービン羽根の
流力性能を向上させる点で不十分となる問題点があっ
た。
施工では、仕上の品質にバラツキが出、タービン羽根の
流力性能を向上させる点で不十分となる問題点があっ
た。
【００１３】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたもので、研磨ヘッドを被研磨物の形状に合うように
自由に交換ができ、高品質の維持とコストの低減化を図
った研磨装置を提供することを目的とする。
れたもので、研磨ヘッドを被研磨物の形状に合うように
自由に交換ができ、高品質の維持とコストの低減化を図
った研磨装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明に係る研磨装置
は、上述の目的を達成するために、請求項１に記載した
ように、被研磨物を把持する把持部を予め定められた位
置に自在に移動できる被研磨物把持移動部と、上記被研
磨物に対し、接離自在に移動できる移動研磨部と、上記
被研磨物把持移動部と上記移動研磨部とのそれぞれに駆
動指令を与える制御部とを備えたものである。
は、上述の目的を達成するために、請求項１に記載した
ように、被研磨物を把持する把持部を予め定められた位
置に自在に移動できる被研磨物把持移動部と、上記被研
磨物に対し、接離自在に移動できる移動研磨部と、上記
被研磨物把持移動部と上記移動研磨部とのそれぞれに駆
動指令を与える制御部とを備えたものである。
【００１５】本発明に係る研磨装置は、上述の目的を達
成するために、請求項２に記載したように、移動研磨部
は、研磨ヘッド架台に設けたレール上を進退移動し、被
研磨物に接離する研磨ヘッド部を備えたものである。
成するために、請求項２に記載したように、移動研磨部
は、研磨ヘッド架台に設けたレール上を進退移動し、被
研磨物に接離する研磨ヘッド部を備えたものである。
【００１６】本発明に係る研磨装置は、上述の目的を達
成するために、請求項３に記載したように、研磨ヘッド
部は、枠組部に組み込まれたプーリおよび研磨部を介し
て移動する砥粒を備えたベルトと、上記枠組部に組み込
まれ、上記ベルトの張力を調整する張力調整用シリンダ
と、上記枠組部に組み込まれ、被研磨物に当接する研磨
部の研磨圧力を調整する研磨圧力調整用シリンダとを備
えたものである。
成するために、請求項３に記載したように、研磨ヘッド
部は、枠組部に組み込まれたプーリおよび研磨部を介し
て移動する砥粒を備えたベルトと、上記枠組部に組み込
まれ、上記ベルトの張力を調整する張力調整用シリンダ
と、上記枠組部に組み込まれ、被研磨物に当接する研磨
部の研磨圧力を調整する研磨圧力調整用シリンダとを備
えたものである。
【００１７】本発明に係る研磨装置は、上述の目的を達
成するために、請求項４に記載したように、研磨部は、
比較的口径の大きい円輪と、比較的口径の小さい複数の
円輪と、上記比較的口径の大きい円輪と上記比較的口径
の小さい複数の円輪とのうち、被研磨物に当接する円輪
を検出する円輪位置検出器と、被研磨物に当接する円輪
を残りの円輪に変更させる円輪変更機構部と、前記円輪
変更機構部に駆動力を供給するモータと、このモータの
駆動力を減速させる減速機とを備えたものである。
成するために、請求項４に記載したように、研磨部は、
比較的口径の大きい円輪と、比較的口径の小さい複数の
円輪と、上記比較的口径の大きい円輪と上記比較的口径
の小さい複数の円輪とのうち、被研磨物に当接する円輪
を検出する円輪位置検出器と、被研磨物に当接する円輪
を残りの円輪に変更させる円輪変更機構部と、前記円輪
変更機構部に駆動力を供給するモータと、このモータの
駆動力を減速させる減速機とを備えたものである。
【００１８】本発明に係る研磨装置は、上述の目的を達
成するために、請求項５に記載したように、円輪変更機
構部は、比較的口径の大きい円輪を支持するアームと比
較的口径の小さい複数の円輪を支持するアームとを、口
径の異なる別の複数の円輪を支持するアームに置き換え
て組み込む構成にしたものである。
成するために、請求項５に記載したように、円輪変更機
構部は、比較的口径の大きい円輪を支持するアームと比
較的口径の小さい複数の円輪を支持するアームとを、口
径の異なる別の複数の円輪を支持するアームに置き換え
て組み込む構成にしたものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る研磨装置の実
施形態を図面および図面に付した符号を引用して説明す
る。
施形態を図面および図面に付した符号を引用して説明す
る。
【００２０】図１は、本発明に係る研磨装置の配置を示
す概略斜視図である。
す概略斜視図である。
【００２１】本実施形態に係る研磨装置は、例えばター
ビン羽根等の被研磨物（ワーク）１５を把持し、適正位
置に移動させる被研磨物把持移動部１２と、被研磨物１
５に沿って移動しながら研磨する移動研磨部１３と、被
研磨物把持移動部１２と移動研磨部１３とを適正位置に
移動調整する制御部１４とを備えて構成される。
ビン羽根等の被研磨物（ワーク）１５を把持し、適正位
置に移動させる被研磨物把持移動部１２と、被研磨物１
５に沿って移動しながら研磨する移動研磨部１３と、被
研磨物把持移動部１２と移動研磨部１３とを適正位置に
移動調整する制御部１４とを備えて構成される。
【００２２】被研磨物把持移動部１２は、ベッド１６に
設けたコラム１７のＹ軸方向に沿って把持部１８を摺動
させる第１モータ１９と、把持部１８をＣ軸を中心に回
転させる第２モータ２０と、把持部１８をＡ軸を中心に
回転させる第３モータ２１とを備え、被研磨物１５の設
置位置を自在に調整できるようになっている。
設けたコラム１７のＹ軸方向に沿って把持部１８を摺動
させる第１モータ１９と、把持部１８をＣ軸を中心に回
転させる第２モータ２０と、把持部１８をＡ軸を中心に
回転させる第３モータ２１とを備え、被研磨物１５の設
置位置を自在に調整できるようになっている。
【００２３】また、移動研磨部１３は、ベッド１６に設
けたレール２２のＸ軸方向に沿って基板２３を摺動させ
る第４モータ２４と、基板２３上に設けられ、研磨ヘッ
ド架台２５をＢ軸を中心に回転させる第５モータ２６
と、研磨ヘッド架台２５に設けた研磨ヘッド２７をＺ軸
方向に沿って摺動させる第６モータ２８とを備え、被研
磨物１５の寸法、形状に合わせて研磨ヘッド２つを自在
に接離させることができるようになっている。
けたレール２２のＸ軸方向に沿って基板２３を摺動させ
る第４モータ２４と、基板２３上に設けられ、研磨ヘッ
ド架台２５をＢ軸を中心に回転させる第５モータ２６
と、研磨ヘッド架台２５に設けた研磨ヘッド２７をＺ軸
方向に沿って摺動させる第６モータ２８とを備え、被研
磨物１５の寸法、形状に合わせて研磨ヘッド２つを自在
に接離させることができるようになっている。
【００２４】また、制御部１４は、ＮＣ制御指令部２９
と、以下に後述する円輪（コンタクトホイール）選択部
３０、研磨ヘッド部用ベルト張力調整部３１、研磨ヘッ
ド部用ベルト駆動部３２を備え、予めプログラムを組み
込んでおいたＮＣ制御指令部２９からの指令を円輪選択
部３０、研磨ヘッド用ベルト張力調整部３１、および研
磨ヘッド用ベルト駆動部３２を介して研磨ヘッド部２７
に与え、研磨ヘッド部２７の被研磨物１５への研磨加工
の自動化を図っている。
と、以下に後述する円輪（コンタクトホイール）選択部
３０、研磨ヘッド部用ベルト張力調整部３１、研磨ヘッ
ド部用ベルト駆動部３２を備え、予めプログラムを組み
込んでおいたＮＣ制御指令部２９からの指令を円輪選択
部３０、研磨ヘッド用ベルト張力調整部３１、および研
磨ヘッド用ベルト駆動部３２を介して研磨ヘッド部２７
に与え、研磨ヘッド部２７の被研磨物１５への研磨加工
の自動化を図っている。
【００２５】一方、研磨ヘッド部２７は、図２に示すよ
うに、枠組部３３に組み込まれた第１プーリ３４、第２
プーリ３５、第３プーリ３６、第４プーリ３７、研磨部
３８、第５プーリ３９を介して回転する砥粒を備えたベ
ルト４０と、研磨ヘッド架台２５に組み込まれ、図１で
示した研磨ヘッド部用ベルト駆動部３２からの指令に基
づいてベルト４０を駆動するモータ４１と、枠組部３３
に組み込まれ、図１で示した研磨ヘッド部用ベルト張力
調整部３１の指令に基づいてベルト４０ａ張力を調整す
る張力調整用シリンダ４２と、枠組部３３に組み込ま
れ、研磨部３８の被研磨物１５への研磨圧力（押圧力）
を調整する研磨圧力調整用シリンダ４３とを備えてい
る。
うに、枠組部３３に組み込まれた第１プーリ３４、第２
プーリ３５、第３プーリ３６、第４プーリ３７、研磨部
３８、第５プーリ３９を介して回転する砥粒を備えたベ
ルト４０と、研磨ヘッド架台２５に組み込まれ、図１で
示した研磨ヘッド部用ベルト駆動部３２からの指令に基
づいてベルト４０を駆動するモータ４１と、枠組部３３
に組み込まれ、図１で示した研磨ヘッド部用ベルト張力
調整部３１の指令に基づいてベルト４０ａ張力を調整す
る張力調整用シリンダ４２と、枠組部３３に組み込ま
れ、研磨部３８の被研磨物１５への研磨圧力（押圧力）
を調整する研磨圧力調整用シリンダ４３とを備えてい
る。
【００２６】また、研磨ヘッド部２７は、枠組部３３に
台車４４、４４を備え、研磨ヘッド架台２５のレール４
５上をＺ軸に向って進退摺動する構成になっている。
台車４４、４４を備え、研磨ヘッド架台２５のレール４
５上をＺ軸に向って進退摺動する構成になっている。
【００２７】また、研磨部３８は、図３に示すようにア
ーム４６ａ，４６ｂ，４６ｃに支持される比較的大口径
の円輪（コンタクトホイール）４７ａおよび比較的大口
径の円輪４７ａに較べて相対的に小口径の円輪４７ｂ，
４７ｃと、図１で示した円輪選択部３０からの指令に基
づいてアーム４６ａ，４６ｂ，４６ｃを回転させるモー
タ４８と、モータ４８からの駆動力を減速する減速機４
９（円輪変更機構部５１）と、円輪４７ａ，４７ｂ，４
７ｃのうち、いずれの円輪が被研磨物１５に当接し、研
磨加工しているかを検出する円輪位置検出器５０を備え
ている。なお、被研磨物１５に当接していない円輪は、
アイドリングプーリとして機能している。また、研磨部
３８は、アーム４６ａ，４６ｂ，４６ｃを介して予め準
備され、口径の異なる別の円輪に交換することができる
ようになっているこのような構成を備えた研磨装置にお
いて、研磨部３８は、図４に示すように、被研磨物１
５、具体的にはタービン羽根の腹側面７を研磨する場
合、円輪変更機構部５１を操作し、アーム４６ｂで支持
された小口径の円輪４７ｂを腹側面７に当接させ、残り
の大口径の円輪４７ａと小口径の円輪４７ｃをアイドリ
ングプールとして機能させ、図１で示した制御部１４の
ＮＣ制御指令部２９からの指令に基づいて図２に示した
モータ４１を駆動し、これに伴って図４に示すように、
ベルト４０を駆動し、腹側面７を研磨加工する。
ーム４６ａ，４６ｂ，４６ｃに支持される比較的大口径
の円輪（コンタクトホイール）４７ａおよび比較的大口
径の円輪４７ａに較べて相対的に小口径の円輪４７ｂ，
４７ｃと、図１で示した円輪選択部３０からの指令に基
づいてアーム４６ａ，４６ｂ，４６ｃを回転させるモー
タ４８と、モータ４８からの駆動力を減速する減速機４
９（円輪変更機構部５１）と、円輪４７ａ，４７ｂ，４
７ｃのうち、いずれの円輪が被研磨物１５に当接し、研
磨加工しているかを検出する円輪位置検出器５０を備え
ている。なお、被研磨物１５に当接していない円輪は、
アイドリングプーリとして機能している。また、研磨部
３８は、アーム４６ａ，４６ｂ，４６ｃを介して予め準
備され、口径の異なる別の円輪に交換することができる
ようになっているこのような構成を備えた研磨装置にお
いて、研磨部３８は、図４に示すように、被研磨物１
５、具体的にはタービン羽根の腹側面７を研磨する場
合、円輪変更機構部５１を操作し、アーム４６ｂで支持
された小口径の円輪４７ｂを腹側面７に当接させ、残り
の大口径の円輪４７ａと小口径の円輪４７ｃをアイドリ
ングプールとして機能させ、図１で示した制御部１４の
ＮＣ制御指令部２９からの指令に基づいて図２に示した
モータ４１を駆動し、これに伴って図４に示すように、
ベルト４０を駆動し、腹側面７を研磨加工する。
【００２８】また、研磨部３８は、図５に示すように、
タービン羽根の背側面８を研磨する場合、円輪選択部３
０からの指令に基づいて円輪変更機構部５１を操作し、
アーム４６ａで支持された大口径の円輪４７ａを背側面
８に当接させ、残りの小口径の円輪４７ｂ，４７ｃをア
イドリングプーリとして機能させ、上述と同様に、ベル
ト４０を駆動し、背側面８を研磨加工する。
タービン羽根の背側面８を研磨する場合、円輪選択部３
０からの指令に基づいて円輪変更機構部５１を操作し、
アーム４６ａで支持された大口径の円輪４７ａを背側面
８に当接させ、残りの小口径の円輪４７ｂ，４７ｃをア
イドリングプーリとして機能させ、上述と同様に、ベル
ト４０を駆動し、背側面８を研磨加工する。
【００２９】また、研磨部３８は、図６に示すように、
タービン羽根の前縁５２を研磨する場合、小口径の円輪
４６ｂ，４７ｃを移動するベルト４０を利用してもよ
く、さらに、図７に示すように、タービン羽根の背側面
８のより広い面積を研磨する場合も小口径の円輪４７
ｂ，４７ｃ間を移動するベルト４０を利用してもよい。
タービン羽根の前縁５２を研磨する場合、小口径の円輪
４６ｂ，４７ｃを移動するベルト４０を利用してもよ
く、さらに、図７に示すように、タービン羽根の背側面
８のより広い面積を研磨する場合も小口径の円輪４７
ｂ，４７ｃ間を移動するベルト４０を利用してもよい。
【００３０】このように、本実施形態では、研磨部３８
の大小口径の異なる円輪４７ａ，４７ｂ，４７ｃの位置
を被研磨物１５の形状に併せて変更移動させて被研磨物
１５を研磨加工したので、被研磨物１５の研磨加工に要
する作業時間をより一層短縮してコストを低減させるこ
とができ、複雑な形状の被研磨物１５でも高品質に維持
することができる。
の大小口径の異なる円輪４７ａ，４７ｂ，４７ｃの位置
を被研磨物１５の形状に併せて変更移動させて被研磨物
１５を研磨加工したので、被研磨物１５の研磨加工に要
する作業時間をより一層短縮してコストを低減させるこ
とができ、複雑な形状の被研磨物１５でも高品質に維持
することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明のとおり、本発明に係る研磨
装置は、研磨ヘッド部を被研磨物の形状に合わせて選択
できる研磨部を設けたので、複雑な形状の被研磨物でも
容易に研磨加工することができるとともに、研磨加工時
間を短縮させることができる。
装置は、研磨ヘッド部を被研磨物の形状に合わせて選択
できる研磨部を設けたので、複雑な形状の被研磨物でも
容易に研磨加工することができるとともに、研磨加工時
間を短縮させることができる。
【００３２】また、本発明に係る研磨装置は、研磨ヘッ
ド部からの研磨部を介して移動する砥粒を備えたベルト
の張力を調整する手段と、研磨部から被研磨物に与える
研磨圧力を調整する手段とを整えたので、被研磨物の研
磨加工を高品質に維持させることができる。
ド部からの研磨部を介して移動する砥粒を備えたベルト
の張力を調整する手段と、研磨部から被研磨物に与える
研磨圧力を調整する手段とを整えたので、被研磨物の研
磨加工を高品質に維持させることができる。
【００３３】また、本発明に係る研磨装置は、被研磨物
および研磨ヘッド部の研磨部のそれぞれの設定位置を自
由に調整できる制御部を備えたので、作業者の労力をよ
り一層軽減させることができる。
および研磨ヘッド部の研磨部のそれぞれの設定位置を自
由に調整できる制御部を備えたので、作業者の労力をよ
り一層軽減させることができる。
【図１】本発明に係る研磨装置の配置を示す概略斜視
図。
図。
【図２】本発明に係る研磨装置における研磨ヘッド部を
示す概念図。
示す概念図。
【図３】本発明に係る研磨ヘッド部における研磨部を示
す概念図。
す概念図。
【図４】本発明に係る研磨ヘッド部における研磨部を用
いてタービン羽根の腹側面を研磨加工することを説明す
るために用いた概念図。
いてタービン羽根の腹側面を研磨加工することを説明す
るために用いた概念図。
【図５】本発明に係る研磨ヘッド部における研磨部を用
いてタービン羽根の背側面を研磨加工することを説明す
るために用いた概念図。
いてタービン羽根の背側面を研磨加工することを説明す
るために用いた概念図。
【図６】本発明に係る研磨ヘッド部における研磨部を用
いてタービン羽根の前縁を研磨加工することを説明する
ために用いた概念図。
いてタービン羽根の前縁を研磨加工することを説明する
ために用いた概念図。
【図７】本発明に係る研磨ヘッド部における研磨部を用
いてタービン羽根の背側面をより広く研磨加工すること
を説明するために用いた概念図。
いてタービン羽根の背側面をより広く研磨加工すること
を説明するために用いた概念図。
【図８】蒸気タービンに用いられるタービン羽根を示す
一部切欠き斜視図。
一部切欠き斜視図。
【図９】図８のＡ−Ａ矢視方向から切断した断面図。
【図１０】タービン羽根に適用する従来の研磨装置を示
す概念図。
す概念図。
１ タービン軸 ２ 植込み部 ３ 蒸気通路 ４ 翼有効部 ５ スナッバーカバー ６ ラグ部 ７ 腹側面 ８ 背側面 ９ 研磨ヘッド部 １０ 円輪 １１ 円輪 １２ 被研磨物把持移動部 １３ 移動研磨部 １４ 制御部 １５ 被研磨物 １６ ベッド １７ コラム １８ 把持部 １９ 第１モータ ２０ 第２モータ ２１ 第３モータ ２２ レール ２３ 基板 ２４ 第４モータ ２５ 研磨ヘッド架台 ２６ 第５モータ ２７ 研磨ヘッド部 ２８ 第６モータ ２９ ＮＣ制御指令部 ３０ 円輪選択部 ３１ 研磨ヘッド部用ベルト張力調整部 ３２ 研磨ヘッド部用ベルト駆動部 ３３ 枠組部 ３４ 第１プーリ ３５ 第２プーリ ３６ 第３プーリ ３７ 第４プーリ ３８ 研磨部 ３９ 第５プーリ ４０ ベルト ４１ モータ ４２ 張力調整用シリンダ ４３ 研磨圧力調整用シリンダ ４４ 台車 ４５ レール ４６ ４６ａ，４６ｂ，４６ｃ アーム ４７ ４７ａ，４７ｂ，４７ｃ 円輪 ４８ モータ ４９ 減速機 ５０ 円輪位置検出器 ５１ 円輪変更機構部 ５２ 前縁 ５３ 制御線
Claims (5)
- 【請求項１】 被研磨物を把持する把持部を予め定めら
れた位置に自在に移動できる被研磨物把持移動部と、上
記被研磨物に対し、接離自在に移動できる移動研磨部
と、上記被研磨物把持移動部と上記移動研磨部とのそれ
ぞれに駆動指令を与える制御部とを備えたことを特徴と
する研磨装置。 - 【請求項２】 移動研磨部は、研磨ヘッド架台に設けた
レール上を進退移動し、被研磨物に接離する研磨ヘッド
部を備えたことを特徴とする請求項１に記載の研磨装
置。 - 【請求項３】 研磨ヘッド部は、枠組部に組み込まれた
プーリおよび研磨部を介して移動する砥粒を備えたベル
トと、上記枠組部に組み込まれ、上記ベルトの張力を調
整する張力調整用シリンダと、上記枠組部に組み込ま
れ、被研磨物に当接する研磨部の研磨圧力を調整する研
磨圧力調整用シリンダとを備えたことを特徴とする請求
項２に記載の研磨装置。 - 【請求項４】 研磨部は、比較的口径の大きい円輪と、
比較的口径の小さい複数の円輪と、上記比較的口径の大
きい円輪と上記比較的口径の小さい複数の円輪とのう
ち、被研磨物に当接する円輪を検出する円輪位置検出器
と、被研磨物に当接する円輪を残りの円輪に変更させる
円輪変更機構部と、前記円輪変更機構部に駆動力を供給
するモータと、このモータの駆動力を減速させる減速機
とを備えたことを特徴とする請求項３に記載の研磨装
置。 - 【請求項５】 円輪変更機構部は、比較的口径の大きい
円輪を支持するアームと比較的口径の小さい複数の円輪
を支持するアームとを、口径の異なる別の複数の円輪を
支持するアームに置き換えて組み込む構成にしたことを
特徴とする請求項４に記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131435A JP2001310253A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131435A JP2001310253A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001310253A true JP2001310253A (ja) | 2001-11-06 |
Family
ID=18640333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000131435A Pending JP2001310253A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001310253A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7089782B2 (en) | 2003-01-09 | 2006-08-15 | Applied Materials, Inc. | Polishing head test station |
| US7750657B2 (en) | 2007-03-15 | 2010-07-06 | Applied Materials Inc. | Polishing head testing with movable pedestal |
| JP2011218519A (ja) * | 2010-04-14 | 2011-11-04 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 研削装置 |
| CN107756173A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-03-06 | 博格华纳汽车零部件（江苏）有限公司 | 涡轴去毛刺设备 |
| CN110860973A (zh) * | 2019-11-06 | 2020-03-06 | 江门市信贝利机械有限公司 | 一种抛光装置 |
-
2000
- 2000-04-28 JP JP2000131435A patent/JP2001310253A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7089782B2 (en) | 2003-01-09 | 2006-08-15 | Applied Materials, Inc. | Polishing head test station |
| US7750657B2 (en) | 2007-03-15 | 2010-07-06 | Applied Materials Inc. | Polishing head testing with movable pedestal |
| US8008941B2 (en) | 2007-03-15 | 2011-08-30 | Applied Materials, Inc. | Polishing head testing with movable pedestal |
| JP2011218519A (ja) * | 2010-04-14 | 2011-11-04 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 研削装置 |
| CN107756173A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-03-06 | 博格华纳汽车零部件（江苏）有限公司 | 涡轴去毛刺设备 |
| CN110860973A (zh) * | 2019-11-06 | 2020-03-06 | 江门市信贝利机械有限公司 | 一种抛光装置 |
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