JP2001305471A - 電磁アクチュエータ、電磁アクチュエータの駆動制御装置及び方法、電磁アクチュエータの共振周波数信号生成装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 別段の検出手段を設けることなく電磁アクチ
ュエータを共振周期で往復駆動する。 【解決手段】 本体部と、本体部に揺動可能に軸支され
る可動部と、可動部に取り付けられるコイル１６と、本
体部に取り付けられ、コイル１６に作用する磁界を生成
する永久磁石と、を含む共振スキャナにおいて、電流電
圧変換増幅回路３８では、可動部が揺動状態にあるとき
にコイル１６に生じる電圧Ｖｐ＋Ｖｄを検出し、そこか
ら励振電流Ｉｐが供給されていない時間帯にコイル１６
に生じる誘導起電圧Ｖｄを検出する。そして、検出され
る誘導起電圧Ｖｄに基づいて、励振電流Ｉｐをコイル１
６に供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電磁アクチュエー
タ、電磁アクチュエータの駆動制御装置及び方法、電磁
アクチュエータの共振周波数信号生成装置及び方法に関
し、特に電磁アクチュエータの共振駆動制御に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザ光等の光線路を変化させるための
装置にガルバノミラー（電磁アクチュエータ）が知られ
ている。このガルバノミラーは、近年、半導体製造プロ
セスを用いて小型化可能となっており、その技術は、例
えば本出願人等により特開平７−１７５００５号公報、
特開平７−２１８８５７号公報、特開平８−３２２２２
７号公報等に開示されている。

【０００３】この種の電磁アクチュエータでは、平板状
の可動部がトーションバーにより揺動可能に軸支されて
おり、可動部には反射ミラーの他、通電により磁界を形
成する銅薄膜の平面コイルが設けられている。また、可
動部の外部（本体側）には一対の永久磁石が該可動部を
挟むよう設けられており、平面コイルに静磁界が作用す
るようになっている。そして、平面コイルに所定共振周
波数の電流を供給することにより、可動部を一定の振れ
角で反復動作させることができ、これにより該可動部に
設けられた反射鏡によってレーザ光等を偏向走査するこ
とができるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】かかる構成を有する電
磁アクチュエータでは、可動部がシリコン等により形成
されたトーションバーにより揺動可能に軸支されてお
り、振れ角に応じた復元力が働く。このため、可動部を
往復駆動させる場合、その電磁アクチュエータに固有の
共振周期で往復駆動するよう、所定共振周波数の電流を
平面コイルに供給するのが効率的である。

【０００５】しかしながら、電磁アクチュエータの共振
周期は温度的又は経年的にドリフトしていくのが通例で
あり、予め設定した共振周波数の電流を平面コイルに供
給し続けるのでは、温度変化や時間経過に従って振れ角
が一定に制御されないという問題が生じる。

【０００６】この点、平面コイルにより生成される磁界
を検出するコイルを本体側の定位置に設けておき、その
出力に基づいて振れ角を測定することも考えられる。こ
うすれば、その測定結果に基づいて平面コイルへの供給
電流を制御し、可動部の振れ角を一定に維持することが
できるようになる。しかしながら、かかる技術では、検
出用コイルの検出レベルが微弱であるため、振れ角の測
定精度を十分に高くすることができないという問題があ
る。また、検出コイルを設けるのにコストが必要となる
という問題もある。

【０００７】また、反射鏡にて反射されるレーザ光等の
走査角度を検出するセンサを設け、その出力に基づいて
振れ角を測定することも考えられる。こうしても、その
測定結果に基づいて平面コイルへの供給電流を制御し、
可動部の振れ角を一定に維持することができるようにな
る。しかしながら、かかる技術では、レーザ光等の走査
角度を検出するセンサが取付スペースを必要とするた
め、装置の大型化を招くという問題がある。また、かか
るセンサを設けるのにコストが必要となるという問題も
ある。

【０００８】本発明は上記課題に鑑みてなされたもので
あって、第１の目的は、別段の検出手段を設けることな
く電磁アクチュエータを共振周期で往復駆動することの
できる電磁アクチュエータ、及び電磁アクチュエータの
駆動制御装置及び方法を提供することにある。また、第
２の目的は、別段の検出手段を設けることなく電磁アク
チュエータの振れ角を制御することのできる電磁アクチ
ュエータ、及び電磁アクチュエータの駆動制御装置及び
方法を提供することにある。さらに第３の目的は、電磁
アクチュエータの共振周期に対応する共振周波数信号を
出力することのできる電磁アクチュエータの共振周波数
信号生成装置及び方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る電磁アクチュエータは、本体部と、前
記本体部に揺動可能に軸支される可動部と、前記可動部
又は前記本体部のうち一方に取り付けられるコイルと、
前記可動部又は前記本体部のうち他方に取り付けられ、
前記コイルに作用する磁界を生成する磁界生成手段と、
を含む電磁アクチュエータにおいて、前記可動部が揺動
状態にあるとき前記コイルに生じる誘導起電圧又は誘導
起電流を検出する誘導量検出手段と、検出される前記誘
導起電圧又は誘導起電流に基づいて、励振電流を前記コ
イルに供給する電流供給手段と、を含むことを特徴とす
る。

【００１０】また、本発明に係る電磁アクチュエータの
駆動制御装置は、本体部と、前記本体部に揺動可能に軸
支される可動部と、前記可動部又は前記本体部のうち一
方に取り付けられるコイルと、前記可動部又は前記本体
部のうち他方に取り付けられ、前記コイルに作用する磁
界を生成する磁界生成手段と、を含む電磁アクチュエー
タの駆動制御装置であって、前記可動部が揺動状態にあ
るとき前記コイルに生じる誘導起電圧又は誘導起電流を
検出する誘導量検出手段と、検出される前記誘導起電圧
又は誘導起電流に基づいて、励振電流を前記コイルに供
給する電流供給手段と、を含むことを特徴とする。

【００１１】また、本発明に係る電磁アクチュエータの
駆動制御方法は、本体部と、前記本体部に揺動可能に軸
支される可動部と、前記可動部又は前記本体部のうち一
方に取り付けられるコイルと、前記可動部又は前記本体
部のうち他方に取り付けられ、前記コイルに作用する磁
界を生成する磁界生成手段と、を含む電磁アクチュエー
タの駆動制御方法であって、前記可動部が揺動状態にあ
るとき前記コイルに生じる誘導起電圧又は誘導起電流を
検出する誘導量検出ステップと、検出される前記誘導起
電圧又は誘導起電流に基づいて、励振電流を前記コイル
に供給する電流供給ステップと、を含むことを特徴とす
る。

【００１２】本発明では、可動部が揺動状態にあると
き、前記コイルに磁界が作用しているため、該コイルに
は誘導起電圧及び誘導起電流が生じる。本発明によれ
ば、この誘導起電圧又は誘導起電流を検出し、それに基
づいて励振電流を前記コイルに供給する。すなわち、本
発明では、前記コイルを励振用として利用するとともに
検出用としても利用しているため、別段の検出手段を設
けずとも、電磁アクチュエータを共振周期で往復駆動す
ることができ、あるいは、その振れ角を制御することが
できる。

【００１３】本発明の一態様では、前記電流供給手段
は、前記誘導量検出手段により検出される前記誘導起電
圧又は誘導起電流に基づいて、前記励振電流の供給タイ
ミングを順次判断するタイミング判断手段を含み、各供
給タイミングから所定電流供給時間にわたり前記励振電
流を前記コイルに供給する。

【００１４】この態様では、各供給タイミングから所定
電流供給時間にわたり励振電流を前記コイルに供給する
ため、前記コイルに対する励振電流の非供給時間を設け
ることができる。このため、その励振電流の非供給時間
に誘導起電圧又は誘導起電流の検出ができ、比較的簡単
な構成で高精度に誘導起電圧又は誘導起電流を検出する
ことができるようなる。

【００１５】この場合、前記誘導量検出手段により検出
される前記誘導起電圧又は誘導起電流の正値又は負値の
いずれか一方のピーク値を検出するピーク値検出手段を
含み、前記タイミング判断手段は、前記ピーク値検出手
段により検出される前記ピーク値を符号反転してなる値
と、前記誘導量検出手段により検出される前記誘導起電
圧又は誘導起電流の値と、に基づいて前記励振電流の供
給タイミングを順次判断するようにしてもよい。この態
様では、励振電流の非供給時間を設けることができるの
で、その非供給時間では可動部は慣性により自由動作し
うる。このときの動作は共振周期に対応した動作となる
ため、誘導起電圧又は誘導起電流の正値又は負値のうち
いずれか一方のピーク値を検出すれば、そのピーク値を
符号反転してなる値と、前記誘導量検出手段（誘導量検
出ステップ）により検出される誘導起電圧又は誘導起電
流の値と、に基づいて、誘導起電圧又は誘導起電流の正
値又は負値のうち他方のピーク値に対応するタイミング
を判断することができる。このタイミングを励振電流の
供給タイミングとすることで、電磁アクチュエータを共
振駆動することができるようになる。

【００１６】また、本発明の一態様では、前記誘導量検
出手段により検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流
の正値又は負値のいずれか一方のピーク値を検出するピ
ーク値検出手段を含み、前記電流供給手段は、前記ピー
ク値検出手段により検出される前記ピーク値に基づいて
前記所定電流供給時間を判断する電流供給時間判断手段
を含む。こうすれば、誘導起電圧又は誘導起電流のピー
ク値は可動部の振れ角に対応するため、ピーク値に基づ
いて所定電流供給時間を判断し、その時間にわたり励振
電流を供給することで、可動部の振れ角を制御すること
ができる。

【００１７】また、本発明の一態様では、前記誘導量検
出手段により検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流
の正値又は負値のいずれか一方のピーク値を検出するピ
ーク値検出手段を含み、前記電流供給手段は、前記ピー
ク値検出手段により検出される前記ピーク値に基づいて
前記励振電流の電流値を判断する電流値判断手段を含
む。こうすれば、誘導起電圧又は誘導起電流のピーク値
は可動部の振れ角に対応するため、ピーク値に基づいて
励振電流の電流値を判断し、その電流値の励振電流を供
給することで、可動部の振れ角を制御することができ
る。

【００１８】さらに、本発明の一態様では、前記タイミ
ング判断手段は、前記誘導量検出手段により検出される
前記誘導起電圧又は誘導起電流の所定の位相タイミング
を検出し、該位相タイミングに基づいて前記励振電流の
供給タイミングを順次判断する。この態様では、励振電
流の非供給時間を設けることができるので、その非供給
時間では可動部は慣性により自由動作しうる。このとき
の動作は共振周期に対応した動作となるため、誘導起電
圧又は誘導起電流の所定の位相タイミング（例えばゼロ
クロスタイミング）を検出すれば、そのタイミングは共
振周波数に対応したものとなる。このタイミングを励振
電流の供給タイミングとすることで、電磁アクチュエー
タを共振駆動することができるようになる。

【００１９】一方、本発明に係る電磁アクチュエータの
共振周波数信号生成装置は、本体部と、前記本体部に揺
動可能に軸支される可動部と、前記可動部又は前記本体
部のうち一方に取り付けられるコイルと、前記可動部又
は前記本体部のうち他方に取り付けられ、前記コイルに
作用する磁界を生成する磁界生成手段と、を含む電磁ア
クチュエータの共振周波数信号生成装置であって、前記
可動部が揺動状態にあるとき前記コイルに生じる誘導起
電圧又は誘導起電流を検出する誘導量検出手段と、検出
される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、励振
電流を前記コイルに供給する電流供給手段と、を含み、
前記電流供給手段は、前記誘導量検出手段により検出さ
れる前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、前記励
振電流の供給タイミングを順次判断するタイミング判断
手段を含み、各供給タイミングから所定電流供給時間に
わたり前記励振電流を前記コイルに供給するとともに、
それら供給タイミングに基づく共振周波数信号を出力す
ることを特徴とする。

【００２０】また、本発明に係る電磁アクチュエータの
共振周波数信号生成方法は、本体部と、前記本体部に揺
動可能に軸支される可動部と、前記可動部又は前記本体
部のうち一方に取り付けられるコイルと、前記可動部又
は前記本体部のうち他方に取り付けられ、前記コイルに
作用する磁界を生成する磁界生成手段と、を含む電磁ア
クチュエータの共振周波数信号生成方法であって、前記
可動部が揺動状態にあるとき前記コイルに生じる誘導起
電圧又は誘導起電流を検出する誘導量検出ステップと、
検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、
励振電流を前記コイルに供給する電流供給ステップと、
を含み、前記電流供給ステップでは、前記誘導量検出ス
テップで検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基
づいて、前記励振電流の供給タイミングを順次判断し、
各供給タイミングから所定電流供給時間にわたり前記励
振電流を前記コイルに供給するとともに、それら供給タ
イミングに基づく共振周波数信号を出力することを特徴
とする。

【００２１】本発明では、可動部が揺動状態にあると
き、前記コイルに磁界が作用しているため、該コイルに
は誘導起電圧及び誘導起電流が生じる。本発明によれ
ば、この誘導起電圧又は誘導起電流を検出し、それに基
づいて励振電流を前記コイルに供給する。このとき、励
振電流は所定電流供給時間にわたり供給されるので、励
振電流の非供給時間を設けることができる。そして、励
振電流の非供給時間では可動部は慣性により自由動作し
うる。このときの動作は共振周期に対応した動作となる
ため、例えば誘導起電圧又は誘導起電流の所定位相タイ
ミングをピークタイミングやゼロクロスタイミングから
取得することにより、励振電流の供給タイミングを順次
判断することができる。そして、この供給タイミングは
共振周波数に追随したものとなるため、それを電磁アク
チュエータの共振周波数信号として出力し、活用するこ
とができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面に基づき詳細に説明する。

【００２３】実施の形態１．図１は、本発明の実施の形
態１に係る共振スキャナの全体構成を示す斜視図であ
る。この共振スキャナは本発明に係る電磁アクチュエー
タの一例である。同図に示すように、この共振スキャナ
は、絶縁基板１０の中央部にスキャナ本体が配置されて
いる。また、絶縁基板１０の上面縁部には、例えば磁性
体である純鉄からなる枠状のヨーク１２が設けられてい
る。ヨーク１２の互いに対向する２辺の内側には永久磁
石２２ａ，２２ｂが設けられている。永久磁石２２ａ，
２２ｂはＳ極とＮ極とが対面するよう設けられており、
一方の永久磁石２２ａ（又は２２ｂ）から他方の永久磁
石２２ｂ（又は２２ａ）に向かってスキャナ本体を横切
る静磁界が生成するようになっている。具体的には、静
磁界はスキャナ本体の軸方向に直交する向きに生成され
る。

【００２４】スキャナ本体は、シリコン基板２６に、可
動部２４とトーションバー２０ａ，２０ｂとを異方性エ
ッチングにより一体形成したものである。可動部２４は
平板状であり、該可動部２４の対向する２辺の中央部に
はトーションバー２０ａ，２０ｂがそれぞれ連接してい
る。こうして、トーションバー２０ａ，２２ｂを揺動軸
として可動部２４が揺動可能となっている。トーション
バー２０ａ，２０ｂはシリコンにより形成されているの
で、振れ角（揺動角）に応じた復元力が働くようになっ
ており、図示された状態を基準状態として共振動作す
る。尚、シリコン基板２６の厚さに比べ、可動部２４の
厚さは、該可動部２４がトーションバー２０ａ，２０ｂ
の回りで揺動できるよう、薄く形成されている。

【００２５】可動部２４の上面中央部には、例えばアル
ミニウム蒸着により全反射ミラー１８が形成されてい
る。また、可動部２４の上面には、全反射ミラー１８の
回りに（平面）コイル１６が形成されている。コイル１
６の両端子はシリコン基板２６上に設けられた電極１４
ａ，１４ｂにそれぞれ電気的に接続されている。コイル
１６及び電極１４ａ，１４ｂは、例えば銅薄膜であり、
電鋳コイル法等を用いて同時形成されている。こうし
て、電極１４ａ，１４ｂから励振電流を供給することに
より、コイル１６から磁界を発生させることができる。
そして、この磁界と永久磁石２２ａ，２２ｂにより生成
される静磁界との反発又は吸引により可動部２４が揺動
し、全反射ミラー１８がレーザ光等を偏向走査するよう
になっている。

【００２６】図２は、かかる構成を有する共振スキャナ
を駆動するための駆動制御装置の構成例を示す図であ
る。同図に示すように、この駆動制御装置３０は、振れ
角制御部３２と、共振スキャナ駆動回路３４と、初動励
振発生部３６と、電流電圧変換増幅回路３８と、振れ角
検出部４０と、励振タイミング発生部４２と、を含んで
構成されている。

【００２７】共振スキャナ駆動回路３４は、コイル１６
に励振電流Ｉｐを供給する。この共振スキャナ駆動回路
３４はコイル１６を定電流駆動する。定電流駆動するの
は、コイル１６の抵抗値に関わらず、該コイル１６に一
定のローレンツ力を働かせるようにするためである。励
振電流Ｉｐはパルス電流であり、振幅ＶＬ及びパルス幅
Ｗｐのパルス励振電圧Ｖｐから生成される。ここで、振
幅ＶＬは振れ角制御部３２から供給される。また、パル
ス幅Ｗｐは初動励振発生部３６又は励振タイミング発生
部４２から供給される。具体的には、初動励振発生部３
６及び励振タイミング発生部４２は、パルス幅Ｗｐ（電
流供給時間）にわたりオン状態となるパルススイッチン
グ信号を供給しており、これにより励振電流Ｉｐの供給
タイミング及びパルス幅Ｗｐが共振スキャナ駆動回路３
４に与えられるようになっている。

【００２８】コイル１６の両端子（電極１４ａ，１４
ｂ）は、共振スキャナ駆動回路３４に接続される他、電
流電圧変換増幅回路３８にも接続されており、該電流電
圧変換増幅回路３８にコイル１６に供給される励振電流
Ｉｐ及びコイル１６に生じる誘導起電流Ｉｄを足し合わ
せた電流が入力されるようになっている。電流電圧変換
増幅回路３８は、インピーダンス変換回路を含み、この
入力を電圧信号（検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄ）に変換する。検
出電圧Ｖｐ＋Ｖｄは振れ角検出部４０に供給されるとと
もに、励振タイミング発生部４２にも供給される。振れ
角検出部４０では検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄに基づいて振れ角
検出信号Ｖθを出力する。具体的には、振れ角検出部４
０では、検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの負ピーク値を検出し、そ
れを振れ角検出信号Ｖθとして出力する。

【００２９】一方、励振タイミング発生部４２は、検出
電圧Ｖｐ＋Ｖｄに基づいて共振スキャナ駆動回路３４に
供給するパルススイッチング信号を生成し、さらに共振
周波数信号ＣＬＫを生成する。共振周波数信号ＣＬＫは
例えばパルススイッチング信号と同一信号であり、共振
スキャナの共振周波数を有するパルス信号である。この
共振周波数ＣＬＫは外部出力され、例えば共振スキャナ
の特性計測等に用いられる。また、初動励振発生部３６
は、共振スキャナの可動部２４が非揺動状態にあるとき
に最初に励振するためのものであり、予め定められた回
数のパルス励振電流Ｉｐを供給するよう、スイッチング
信号を共振スキャナ駆動回路３４に供給する。

【００３０】図３は、この駆動制御装置３０の動作を説
明する波形図である。同図（ａ）は励振電圧Ｖｐの波形
を表しており、同図（ｂ）は誘導起電圧Ｖｄの波形を表
している。また、同図（ｃ）は検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの波
形を表している。これらの図において、横軸は時間を表
し、縦軸は電圧値を表す。また、同図（ａ）の波形と同
図（ｂ）の波形を加算したものが、同図（ｃ）の波形と
なっている。同図（ａ）に示されるように、励振電圧Ｖ
ｐは振幅ＶＬ及びパルス幅Ｗｐを有するパルス信号であ
る。各パルスのタイミングは誘導起電圧Ｖｄの正ピーク
タイミングの直前から現れる。駆動制御装置３０では、
振れ角検出部４０が検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの負ピーク値
（同図（ｂ）（ｃ）では−Ｖｈ）を検出し、それを振れ
角検出信号Ｖθとして出力している。

【００３１】励振タイミング発生部４２では、検出電圧
Ｖｐ＋Ｖｄと、振れ角検出信号Ｖθを−（１−ε）倍し
て得られるＶｔ（＝−Ｖθ×（１−ε）；０＜ε＜１）
と、を比較し、両者が一致したタイミングからパルス幅
Ｗｐまでの間にオン状態となるパルススイッチング信号
を共振スキャナ駆動回路３４に供給する。こうして得ら
れるのが、同図（ａ）に示される励振電圧Ｖｐである。
共振スキャナ駆動回路３４は、この励振電圧Ｖｐに対応
する励振電流Ｉｐをコイル１６に与えるようになってい
る。

【００３２】励振電流Ｉｐのパルス幅は共振周期Ｔより
も短くなっており、励振電流Ｉｐがオフ状態となった後
は可動部２４は慣性により自由振動を始める。この自由
振動は共振周期Ｔでの往復動作と同等のものになる。こ
のとき、可動部２４には永久磁石２２ａ，２２ｂによる
静磁界が作用しているため、コイル１６に誘導起電圧Ｖ
ｄ及び誘導起電流Ｉｄが生じる。そして、この誘導起電
圧Ｖｄ及び誘導起電流Ｉｄは、可動部２４の振れ角に略
比例した振幅を有しており、また共振スキャナの固有共
振周波数と等しい周波数を有する。このため、駆動制御
装置３０では、まず、検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの負ピーク値
を検出し、それを符号反転するとともに所定係数（１−
ε）を乗じ、電圧値Ｖｔを生成する。

【００３３】そして、負ピークタイミングの後、検出電
圧Ｖｐ＋Ｖｄが電圧値Ｖｔに一致するタイミングを待ち
受け、その一致タイミングをパルススイッチング信号の
立ち上がりタイミングとしている。このようにすれば、
励振電流Ｉｐとしてパルス電流を供給しているので、励
振電流Ｉｐの非供給時間（オフ状態）を設けることがで
き、その間は検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄには励振電圧Ｖｐの成
分が含まれないため、可動部２４が自由振動することに
より生じる誘導起電流Ｉｄだけを検出することができる
ようになる。このため、励振電流Ｉｐの影響を避け、高
精度に可動部２４の共振周期Ｔに関わるタイミング（誘
導起電圧Ｖｄの負ピーク値）を取得できる。

【００３４】そして、励振タイミング発生部４２では、
検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄが正ピーク値を迎える直前のタイミ
ングで（Ｖｐ＋Ｖｄ＝−Ｖθ×（１−ε））、再び励振
電流Ｉｐのパルスを与えるようパルススイッチング信号
を供給する。このように検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの正ピーク
タイミングの直前、つまりは誘導電圧Ｖｄの正ピークタ
イミングの直前で励振電流Ｉｐのパルスを与えるように
すれば、可動部２４が最大速度を有するタイミングであ
ることから、最も効率よく可動部２４を励振することが
できる。こうして、毎周期パルス励振することにより、
自由振動によるエネルギー損失分を補い、可動部２４に
共振往復動作を継続させることができる。

【００３５】なお、ここでは検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄ、ひい
ては誘導起電圧Ｖｄの負ピーク値を検出し、正ピーク値
の到来タイミングの直前にパルス励振するようにした
が、正ピーク値を検出し、負ピーク値の到来タイミング
の直前にパルス励振するようにしてもよい。この場合
は、励振電流Ｉｐの方向が逆になる。

【００３６】ここで、振れ角検出部４０の具体例につい
て説明する。図４は、振れ角検出部４０の具体的回路構
成例を示す図である。同図に示す振れ角検出部４０は、
差動演算増幅器Ａ１及びＡ２を含んでおり、差動演算増
幅器Ａ１が入力段を構成し、差動演算増幅器Ａ２が出力
段を構成する。差動演算増幅器Ａ２の出力からは振れ角
検出信号Ｖθが出力される。差動演算増幅器Ａ１の非反
転入力には検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄが与えられており、反転
入力には振れ角検出信号Ｖθが戻されている。差動演算
増幅器Ａ１の出力にはダイオードＤが逆方向接続されて
おり、該ダイオードＤの多端側は差動演算増幅器Ａ２の
非反転入力に接続されている。差動演算増幅器Ａ２の反
転入力には振れ角検出信号Ｖθが戻されている。また、
ダイオードＤと差動演算増幅器Ａ２の非反転入力との間
には、一方をそれぞれ接地された抵抗Ｒ並びにコンデン
サＣが接続されている。かかる構成を有する振れ角検出
部４０では、振れ角検出信号Ｖθ（検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄ
の負ピーク値）と検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄとが比較され、検
出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの方が小さい場合にコンデンサＣに充
電がされるようになっている。差動演算増幅器Ａ２はイ
ンピーダンス変換回路として機能しており、このコンデ
ンサＣの充電量が振れ角検出信号Ｖθとして出力され
る。同図に示される振れ角検出部４０において、コンデ
ンサＣは時定数ＣＲで放電する。この時定数ＣＲは共振
スキャナの周期Ｔよりも大きく（例えば数周期）設定さ
れる。こうすれば、コンデンサＣに検出信号Ｖｐ＋Ｖｄ
の負ピーク値に対応する電荷を保持させることができ、
また振れ角検出信号Ｖθを数周期で更新することができ
るようになる。この振れ角検出信号Ｖθは励振タイミン
グ発生部４２に供給され、例えば図５に示される反転回
路によって−（１−ε）倍され（同図の回路では−Ｒ２
／Ｒ１倍される）、その乗算結果と検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄ
とがコンパレータ回路によって比較される。

【００３７】次に、振れ角制御部３２の構成例について
説明する。図６は振れ角制御部３２の構成例を示す図で
ある。同図に示す振れ角制御部３２は、Ａ／Ｄコンバー
タ５０と、ＣＰＵ５２と、メモリ５４と、Ｄ／Ａコンバ
ータ５６と、増幅器５８と、を含んで構成されている。
メモリ５４はプログラム格納用のＲＯＭと作業用のＲＡ
Ｍを含んでいる。Ａ／Ｄコンバータ５０は振れ角検出信
号Ｖθが入力されており、これをディジタル化する。そ
の値はＣＰＵ５２に供給される。ＣＰＵ５２には振れ角
の基準値が設定入力されており、ＣＰＵ５２は振れ角検
出信号Ｖθが基準値よりも小さければＶＬ＋ΔＶＬの電
圧を共振スキャナ駆動回路３４に与えるためのディジタ
ル信号をＤ／Ａコンバータ５６に供給する。一方、振れ
角検出信号Ｖθが基準値よりも大きければＶＬ−ΔＶＬ
の電圧を共振スキャナ駆動回路３４に与えるためのディ
ジタル信号をＤ／Ａコンバータ５６に供給する。また、
振れ角検出信号Ｖθが基準値と等しければＶＬの電圧を
共振スキャナ駆動回路３４に与えるためのディジタル信
号をＤ／Ａコンバータ５６に供給する。Ｄ／Ａコンバー
タ５６はＣＰＵ５２から与えられるディジタル信号をア
ナログ化する。その信号は増幅器５８で所定倍され、励
振電圧Ｖｐの振幅ＶＬとして共振スキャナ駆動回路３４
に供給される。

【００３８】図７は、振れ角制御部３２の動作を説明す
る図である。同図（ａ）は励振電圧Ｖｐの波形を表して
おり、同図（ｂ）は誘導起電圧Ｖｄの波形を表してい
る。また、同図（ｃ）は検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの波形を表
している。これらの図において、横軸は時間を表し、縦
軸は電圧値を表す。また、同図（ａ）の波形と同図
（ｂ）の波形を加算したものが、同図（ｃ）の波形とな
っている。ここでは、振れ角検出信号Ｖθの基準値は−
Ｖｈ０に設定されているものとする。これらの図におい
て、誘導起電圧Ｖｄの負ピーク値が基準値である−Ｖｈ
０であるとき、検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの負ピーク値も−Ｖ
ｈ０となる。そして、温度ドリフト又は経時ドリフト等
により誘導起電圧Ｖｄの負ピーク値が基準値から上昇
し、その振幅が減少すると、検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの負ピ
ーク値はΔＶｈだけ上昇する。すなわち、負ピーク値が
−Ｖｈ０＋ΔＶｈとなり、検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄの振幅が
減少する。このとき、振れ角制御部３２から共振スキャ
ナ駆動回路３４に対して振幅ＶＬ＋ΔＶＬが供給され
る。こうして、前周期よりもΔＶＬだけ大きい振幅の励
振電圧Ｖｐが生成される。こうして、このように誘導起
電圧Ｖｄの負ピーク値、すなわち振れ角検出信号Ｖθが
大きくなった場合に、前周期よりも強く可動部２４を励
振する。逆に、誘導起電圧Ｖｄの負ピーク値、すなわち
振れ角検出信号Ｖθがさらに小さくなった場合、前周期
よりも弱く可動部２４を励振する。こうすれば、上述し
たように振れ角検出信号Ｖθが可動部２４の振れ角に対
応したものであるため、振れ角が小さければ大きく励振
し、逆に振れ角が大きければ小さく励振して、振れ角を
一定に保つことができる。なお、ここでは、ΔＶＬの大
きさによらず励振電圧Ｖｐの振幅をＶＬ±ΔＶＬとした
が、ΔＶＬの大きさに応じて振幅を大小させるようにし
てもよい。

【００３９】次に、初動励振発生部３６の具体例につい
て説明する。初動励振発生部３６は例えばマイクロプロ
セッサを用いて構成することができ、図８には、この場
合にマイクロプロセッサにより実行される処理の一例が
示されている。ここでは、図９に示すように、初動励振
のために共振スキャナ駆動回路３４に供給されるパルス
スイッチング信号のパルス幅をｔｐ０とし、その周期を
ｔｃ０とする。図８において、まず初動励振発生部３６
ではｔｐ０及びｔｃ０の初期値を設定する（Ｓ１０
１）。これら初期値は共振スキャナの固有共振周波数及
び基準振れ角に応じて予め設定される。そして、次にカ
ウンタｉを０にリセットするとともに、タイマｔでの計
時を開始する（Ｓ１０２）。ここでカウンタｉは初動励
振で与えるパルス回数を表す。ここでは、後述するよう
に全部でｎ回のパルス励振をする。また、タイマｔは初
動励振がスタートしてからの時間経過を表す。さらに、
初動励振発生部３６では、タイマｔｐをゼロにリセット
するとともに、計時を開始する（Ｓ１０３）。ここでタ
イマｔｐは各周期毎にゼロリセットされるものであり、
パルススイッチング信号の位相に対応する。初動励振発
生部３６では、タイマｔｐがパルス幅ｔｐ０以上である
かを判断し（Ｓ１０４）、ｔｐ０未満であればパルスス
イッチング信号をオン状態にする（Ｓ１０６）。一方、
ｔｐ０以上であればパルススイッチング信号をオフ状態
にする（Ｓ１０５）。そして、タイマｔが周期ｔｃ０を
ｉ倍したものよりも小さければ（Ｓ１０７）、再びＳ１
０４に戻る。こうして、パルススイッチング信号の各周
期の波形を形成する。そして、タイマｔが周期ｔｃ０を
ｉ倍したもの以上になっていれば、カウンタｉをインク
リメントする（Ｓ１０８）。そして、カウンタｉがｎに
なっていれば（Ｓ１０９）、初動励振を終了する。一
方、カウンタｉがｎ未満であれば、次周期のパルススイ
ッチング信号の波形を形成すべく、Ｓ１０３に戻る。こ
うすれば、周期ｔｃ０、パルス幅ｔｐ０のパルス励振を
ｎ回ほど実行して、非揺動状態にある可動部２４を励振
させることができる。ここでは回数を区切って初動励振
を行うようにしたが、振れ角検出信号Ｖθが所定値、例
えばＶｉに達するまで初動励振を行うようにしてもよ
い。

【００４０】以上説明した共振スキャナによれば、誘導
起電圧Ｖｄの負ピーク値を振れ角検出信号Ｖθとして取
得するとともに、検出電圧Ｖｐ＋Ｖｄがその値を−（１
−ε）倍した値に一致するタイミングを待ち受け、その
一致するタイミングを励振タイミングとすることによ
り、共振スキャナの動作が定常状態に達するに従って、
励振タイミングの間隔を共振周期に相当するものにで
き、共振周波数に自動追従した可動部２４の励振が可能
となる。また、振れ角検出信号Ｖθは可動部２４の振れ
角を表すものであるため、この振れ角検出信号Ｖθに基
づいて励振電圧Ｖｐの振幅ＶＬ、ひいては励振電流Ｉｐ
の振幅を制御することにより、可動部２４の振れ角を一
定に制御することができる。そして、これら可動部２４
に対する共振周波数での励振及び振れ角制御は、別段の
検出手段を用いることなく実現できるため、検出手段を
設けるためのコストが不要となり、また装置の小型化を
図ることができる。

【００４１】なお、以上の説明では振れ角検出信号Ｖθ
に基づいて励振電圧Ｖｐの振幅ＶＬを制御するようにし
たが、パルス幅Ｗｐを制御するようにしても、同様に可
動部２４の振れ角を一定に制御することができる。ま
た、以上説明した駆動制御装置３０の動作は、マイクロ
プロセッサ及びソフトウェアを用いて実現することもで
きる。

【００４２】実施の形態２．図１０は、本発明の実施の
形態２に係る共振スキャナの駆動制御装置の構成を示す
図である。同図に示す駆動制御装置３０ａは、図１に示
される共振スキャナに適用されるものであり、振れ角比
較増幅回路６０と、振れ角設定回路６２と、ドライブ電
流可変回路６４と、スイッチ６６と、定電流ドライバ６
８と、ドライブパルス発生部７０と、位相検出コンパレ
ータ７２と、検出増幅器７４と、を含んで構成されてい
る。定電流ドライバ６８はコイル１６を定電流駆動する
ものであり、スイッチ６６がオン状態のときにドライブ
電流可変回路６４から供給される電圧値に応じた電流で
コイル１６を定電流駆動する。

【００４３】スイッチ６６はドライブパルス発生部７０
から供給されるパルススイッチング信号によりオンオフ
制御される。検出増幅器７４はコイル１６の端子間電圧
を検出するものであり、その値は位相検出コンパレータ
７２に供給される。位相検出コンパレータは検出電圧の
ゼロクロスの立ち上がりタイミングを検出する。そし
て、ドライブパルス発生部７０ではこのタイミングの間
隔を保持しており、そこからおよそ位相９０度分の時間
を算出し、ゼロクロスの立ち上がりタイミングから所定
パルス幅Ｗｐの間オン状態となるパルススイッチング信
号をスイッチ６６に供給する。こうして、誘導起電圧の
正ピークタイミング前後に励振パルス電流をコイル１６
に供給することができ、効率的に可動部２４を励振させ
ることができるようになる。

【００４４】また、検出増幅器７４の出力、すなわち検
出電圧は振れ角比較増幅回路６０にも供給されている。
振れ角比較増幅回路６０には振れ角設定回路６２から振
れ角設定のための基準電圧も供給されており、該振れ角
比較増幅回路６０は両電圧値を比較し、検出電圧が基準
電圧よりも大きければ、ドライブ電流可変回路６４にド
ライブ電流を小さくするよう指示する。一方、検出電圧
が基準電圧以下であれば、ドライブ電流可変回路６４に
ドライブ電流を大きくするよう指示する。ドライブ電流
可変回路６４は指示に応じた電圧をスイッチ６６を介し
て定電流ドライバ６８に供給する。定電流ドライバ６８
はドライブ電流可変回路６４から供給される電圧に応じ
た電流をコイル１６に励振電流として供給するようにな
っており、これにより可動部２４の振れ角を一定に制御
することができる。

【００４５】以上説明したように、励振電流の供給タイ
ミングを判断する場合、誘導起電圧のゼロクロスタイミ
ング等、位相タイミングから判断することもできる。

【００４６】実施の形態３．図１１は、本発明の実施の
形態３に係る共振スキャナの駆動制御装置の構成を示す
図である。同図に示す駆動制御装置３０ｂは、ワンチッ
プマイコン７６と、振れ角設定回路６２と、定電流ドラ
イバ６８と、位相検出コンパレータ７２と、検出増幅器
７４と、を含んで構成されている。ワンチップマイコン
７６以外の構成については実施の形態２と同様であり、
ここでは同一符号を付して詳細な説明を省略する。この
駆動制御装置３０ｂでは、位相検出コンパレータ７２の
出力、すなわち誘導起電圧のゼロクロスの立ち上がりタ
イミングがワンチップマイコン７６に供給されている。
また、検出増幅器７４の出力、すなわちコイル１６の端
子間電圧も供給されている。さらに、振れ角設定回路６
２で生成される基準電圧も供給されている。ワンチップ
マイコン７６は制御プログラムを格納しており、まず誘
導起電圧のゼロクロスの立ち上がりタイミングに基づい
てコイル１６に供給するパルス励振電流の供給タイミン
グを判断する。また、検出増幅器７４での検出電圧と振
れ角設定回路６２から与えられる基準電圧からパルス励
振電流の電流値を判断する。そして、それら判断結果に
応じたパルス励振電流を供給するよう定電流ドライバ６
８に対して指示する。このように、本発明はワンチップ
マイコン７６を用いても実現することができる。

【００４７】なお、本発明は上記実施の形態１乃至３に
限定されるものではない。

【００４８】例えば、以上の説明では１次元共振スキャ
ナ、すなわち揺動軸が１本の共振スキャナに本発明を適
用する例を取り上げたが、それ以上の揺動軸を備えた共
振スキャナ（例えば２次元共振スキャナ）であっても同
様に適用可能である。

【００４９】また、以上の説明では誘導電圧の負ピーク
タイミングやゼロクロスタイミングを検出し、そのタイ
ミングから励振電流の供給タイミングを生成したが、そ
れ以外の位相タイミングを検出し、そのタイミングから
励振電流の供給タイミングを生成するようにしてもよ
い。

【００５０】また、以上の説明では誘導電圧が正ピーク
タイミングを迎えるときにパルス励振するようにした
が、その他のタイミングでパルス励振してもよい。ま
た、以上の説明では１周期に１回だけパルス励振するよ
うにしたが、１周期に数回のパルス励振をするようにし
てもよいし、あるいは複数周期に１回のパルス励振をす
るようにしてもよい。また、負ピークタイミングやゼロ
クロスタイミング等の所定位相タイミングは必ずしも毎
周期検出する必要はなく、複数周期に一度検出するよう
にしてよい。さらに、負ピークタイミングやゼロクロス
タイミング等の所定位相タイミングの時間間隔を監視す
ることにより共振周波数を取得し、その取得した共振周
波数でコイル１６を励振させるようにしてもよい。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、可動
部が揺動状態にあるときにコイルに生じる誘導起電圧及
び誘導起電流を検出し、それに基づいて励振電流を同コ
イルに供給することにより、コイルを励振用として利用
するとともに検出用としても利用できる。この結果、別
段の検出手段を設けずとも、電磁アクチュエータを共振
周期で往復駆動することができ、あるいは、その振れ角
を制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１乃至３に係る共振スキ
ャナ（電磁アクチュエータ）の全体構成を示す斜視図で
ある。

【図２】 本発明の実施の形態１に係る共振スキャナの
駆動制御装置の全体構成を示す図である。

【図３】 本発明の実施の形態１に係る駆動制御装置で
の共振周波数自動追従動作を説明する図である。

【図４】 振れ角検出部の具体的構成例を示す図であ
る。

【図５】 反転回路の一例を示す図である。

【図６】 振れ角制御部の具体的構成例を示す図であ
る。

【図７】 振れ角制御部の動作を説明する図である。

【図８】 初動励振発生部の動作を説明するフロー図で
ある。

【図９】 初動励振パルスを与えるためのパルススイッ
チング信号の波形を示す図である。

【図１０】 本発明の実施の形態２に係る共振スキャナ
の駆動制御装置の全体構成を示す図である。

【図１１】 本発明の実施の形態３に係る共振スキャナ
の駆動制御装置の全体構成を示す図である。

【符号の説明】

１０ 絶縁基板、１２ ヨーク、１４ａ，１４ｂ 電
極、１６ （平面）コイル、１８ 全反射ミラー、２０
ａ，２０ｂ トーションバー、２２ａ，２２ｂ永久磁
石、２４ 可動部、２６ シリコン基板、３０，３０
ａ，３０ｂ 駆動制御装置（共振周波数信号生成装
置）、３２ 振れ角制御部、３４ 共振スキャナ駆動回
路、３６ 初動励振発生部、３８ 電流電圧変換増幅回
路、４０ 振れ角検出部、４２ 励振タイミング発生
部、５０ Ａ／Ｄコンバータ、５２ ＣＰＵ、５４ メ
モリ、５６ Ｄ／Ａコンバータ、５８ 増幅器、６０
振れ角比較増幅回路、６２ 振れ角設定回路、６４ ド
ライブ電流可変回路、６６ スイッチ、６８ 定電流ド
ライバ、７０ ドライブパルス発生部、７２ 位相検出
コンパレータ、７４ 検出増幅器、７６ ワンチップマ
イコン。

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体部と、 前記本体部に揺動可能に軸支される可動部と、 前記可動部又は前記本体部のうち一方に取り付けられる
   コイルと、 前記可動部又は前記本体部のうち他方に取り付けられ、
   前記コイルに作用する磁界を生成する磁界生成手段と、 を含む電磁アクチュエータにおいて、 前記可動部が揺動状態にあるとき前記コイルに生じる誘
   導起電圧又は誘導起電流を検出する誘導量検出手段と、 検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、
   励振電流を前記コイルに供給する電流供給手段と、 を含むことを特徴とする電磁アクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の電磁アクチュエータに
   おいて、 前記電流供給手段は、前記誘導量検出手段により検出さ
   れる前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、前記励
   振電流の供給タイミングを順次判断するタイミング判断
   手段を含み、各供給タイミングから所定電流供給時間に
   わたり前記励振電流を前記コイルに供給することを特徴
   とする電磁アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の電磁アクチュエータに
   おいて、 前記誘導量検出手段により検出される前記誘導起電圧又
   は誘導起電流の正値又は負値のいずれか一方のピーク値
   を検出するピーク値検出手段を含み、 前記タイミング判断手段は、前記ピーク値検出手段によ
   り検出される前記ピーク値を符号反転してなる値と、前
   記誘導量検出手段により検出される前記誘導起電圧又は
   誘導起電流の値と、に基づいて前記励振電流の供給タイ
   ミングを順次判断することを特徴とする電磁アクチュエ
   ータ。
4. 【請求項４】 請求項１又は２に記載の電磁アクチュエ
   ータにおいて、 前記誘導量検出手段により検出される前記誘導起電圧又
   は誘導起電流の正値又は負値のいずれか一方のピーク値
   を検出するピーク値検出手段を含み、 前記電流供給手段は、前記ピーク値検出手段により検出
   される前記ピーク値に基づいて前記所定電流供給時間を
   判断する電流供給時間判断手段を含むことを特徴とする
   電磁アクチュエータ。
5. 【請求項５】 請求項３に記載の電磁アクチュエータに
   おいて、 前記電流供給手段は、前記ピーク値検出手段により検出
   される前記ピーク値に基づいて前記所定電流供給時間を
   判断する電流供給時間判断手段を含むことを特徴とする
   電磁アクチュエータ。
6. 【請求項６】 請求項１又は２に記載の電磁アクチュエ
   ータにおいて、 前記誘導量検出手段により検出される前記誘導起電圧又
   は誘導起電流の正値又は負値のいずれか一方のピーク値
   を検出するピーク値検出手段を含み、 前記電流供給手段は、前記ピーク値検出手段により検出
   される前記ピーク値に基づいて前記励振電流の電流値を
   判断する電流値判断手段を含むことを特徴とする電磁ア
   クチュエータ。
7. 【請求項７】 請求項３乃至５のいずれかに記載の電磁
   アクチュエータにおいて、 前記電流供給手段は、前記ピーク値検出手段により検出
   される前記ピーク値に基づいて前記励振電流の電流値を
   判断する電流値判断手段を含むことを特徴とする電磁ア
   クチュエータ。
8. 【請求項８】 請求項２に記載の電磁アクチュエータに
   おいて、 前記タイミング判断手段は、前記誘導量検出手段により
   検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流の所定の位相
   タイミングを検出し、該位相タイミングに基づいて前記
   励振電流の供給タイミングを順次判断することを特徴と
   する電磁アクチュエータ。
9. 【請求項９】 本体部と、 前記本体部に揺動可能に軸支される可動部と、 前記可動部又は前記本体部のうち一方に取り付けられる
   コイルと、 前記可動部又は前記本体部のうち他方に取り付けられ、
   前記コイルに作用する磁界を生成する磁界生成手段と、 を含む電磁アクチュエータの駆動制御装置であって、 前記可動部が揺動状態にあるとき前記コイルに生じる誘
   導起電圧又は誘導起電流を検出する誘導量検出手段と、 検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、
   励振電流を前記コイルに供給する電流供給手段と、 を含むことを特徴とする電磁アクチュエータの駆動制御
   装置。
10. 【請求項１０】 本体部と、 前記本体部に揺動可能に軸支される可動部と、 前記可動部又は前記本体部のうち一方に取り付けられる
    コイルと、 前記可動部又は前記本体部のうち他方に取り付けられ、
    前記コイルに作用する磁界を生成する磁界生成手段と、 を含む電磁アクチュエータの駆動制御方法であって、 前記可動部が揺動状態にあるとき前記コイルに生じる誘
    導起電圧又は誘導起電流を検出する誘導量検出ステップ
    と、 検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、
    励振電流を前記コイルに供給する電流供給ステップと、 を含むことを特徴とする電磁アクチュエータの駆動制御
    方法。
11. 【請求項１１】 本体部と、 前記本体部に揺動可能に軸支される可動部と、 前記可動部又は前記本体部のうち一方に取り付けられる
    コイルと、 前記可動部又は前記本体部のうち他方に取り付けられ、
    前記コイルに作用する磁界を生成する磁界生成手段と、 を含む電磁アクチュエータの共振周波数信号生成装置で
    あって、 前記可動部が揺動状態にあるとき前記コイルに生じる誘
    導起電圧又は誘導起電流を検出する誘導量検出手段と、 検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、
    励振電流を前記コイルに供給する電流供給手段と、を含
    み、 前記電流供給手段は、前記誘導量検出手段により検出さ
    れる前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、前記励
    振電流の供給タイミングを順次判断するタイミング判断
    手段を含み、各供給タイミングから所定電流供給時間に
    わたり前記励振電流を前記コイルに供給するとともに、
    それら供給タイミングに基づく共振周波数信号を出力す
    ることを特徴とする電磁アクチュエータの共振周波数信
    号生成装置。
12. 【請求項１２】 本体部と、 前記本体部に揺動可能に軸支される可動部と、 前記可動部又は前記本体部のうち一方に取り付けられる
    コイルと、 前記可動部又は前記本体部のうち他方に取り付けられ、
    前記コイルに作用する磁界を生成する磁界生成手段と、 を含む電磁アクチュエータの共振周波数信号生成方法で
    あって、 前記可動部が揺動状態にあるとき前記コイルに生じる誘
    導起電圧又は誘導起電流を検出する誘導量検出ステップ
    と、 検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、
    励振電流を前記コイルに供給する電流供給ステップと、
    を含み、 前記電流供給ステップでは、前記誘導量検出ステップで
    検出される前記誘導起電圧又は誘導起電流に基づいて、
    前記励振電流の供給タイミングを順次判断し、各供給タ
    イミングから所定電流供給時間にわたり前記励振電流を
    前記コイルに供給するとともに、それら供給タイミング
    に基づく共振周波数信号を出力することを特徴とする電
    磁アクチュエータの共振周波数信号生成方法。