JP2001295800A - エゼクタ式真空発生器 - Google Patents
エゼクタ式真空発生器Info
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- JP2001295800A JP2001295800A JP2000366784A JP2000366784A JP2001295800A JP 2001295800 A JP2001295800 A JP 2001295800A JP 2000366784 A JP2000366784 A JP 2000366784A JP 2000366784 A JP2000366784 A JP 2000366784A JP 2001295800 A JP2001295800 A JP 2001295800A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低い供給圧力においても所望の真空度が得ら
れる高効率のエゼクタ式真空発生器を得る。 【解決手段】 エゼクタ式真空発生器１０のノズル本体
１４に設けたノズル２４を、従来の円形ノズルと吹出し
口の面積をほぼ同じとしつつ、ノズル吹出し口の内周を
径方向に凹凸させてその凹凸が滑らかな曲線で結ばれた
菊形状とする。これにより、ノズル２４から噴射される
噴流は円形ノズルの噴流に比べてせん断層が大きくさ
れ、噴流周囲との混合が促進されて真空用配管接続部４
４に高い吸引力が発生する。
れる高効率のエゼクタ式真空発生器を得る。 【解決手段】 エゼクタ式真空発生器１０のノズル本体
１４に設けたノズル２４を、従来の円形ノズルと吹出し
口の面積をほぼ同じとしつつ、ノズル吹出し口の内周を
径方向に凹凸させてその凹凸が滑らかな曲線で結ばれた
菊形状とする。これにより、ノズル２４から噴射される
噴流は円形ノズルの噴流に比べてせん断層が大きくさ
れ、噴流周囲との混合が促進されて真空用配管接続部４
４に高い吸引力が発生する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧縮空気等を供給
して真空を得るエゼクタ式真空発生器に係り、より詳し
くは、ディフューザー内へ噴射する噴流をノズルによっ
て変化させるエゼクタ式真空発生器に関する。
して真空を得るエゼクタ式真空発生器に係り、より詳し
くは、ディフューザー内へ噴射する噴流をノズルによっ
て変化させるエゼクタ式真空発生器に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧縮空気等の圧力流体を供給して真空を
得るエゼクタ式真空発生器は、その圧力流体が供給され
る圧力流体供給ポートと圧力流体を排出する排気ポー
ト、及び、真空を得る真空ポートを備えており、圧力流
体供給ポートと排気ポートとの間に設けたディフューザ
ー内へノズルから圧力流体を噴射することにより、ノズ
ルとディフューザーの流体流入口との間に設けた真空ポ
ートに負圧を発生するようになっている。
得るエゼクタ式真空発生器は、その圧力流体が供給され
る圧力流体供給ポートと圧力流体を排出する排気ポー
ト、及び、真空を得る真空ポートを備えており、圧力流
体供給ポートと排気ポートとの間に設けたディフューザ
ー内へノズルから圧力流体を噴射することにより、ノズ
ルとディフューザーの流体流入口との間に設けた真空ポ
ートに負圧を発生するようになっている。
【０００３】このエゼクタ式真空発生器においては、性
能を左右する主要なパラメータがノズルとディフューザ
ー部分にあることが知られている。しかし、長年利用さ
れてきたにも係らずその開発事項は極めて少ないため、
実用化当初との性能に大きな進歩がみられない状況であ
る。
能を左右する主要なパラメータがノズルとディフューザ
ー部分にあることが知られている。しかし、長年利用さ
れてきたにも係らずその開発事項は極めて少ないため、
実用化当初との性能に大きな進歩がみられない状況であ
る。
【０００４】そして従来は、ノズルが円形とされている
のが一般的であり、また真空ポートに発生する負圧（吸
引力）を高めるには、圧力流体の供給圧を上げることに
より行われていた。
のが一般的であり、また真空ポートに発生する負圧（吸
引力）を高めるには、圧力流体の供給圧を上げることに
より行われていた。
【０００５】近年、強く叫ばれている環境問題や省エネ
ルギー化を背景として、上記のエゼクタ式真空発生器に
おいても効率の改善が強く求められており、特に、低い
供給圧力で高い真空度が得られるエゼクタ式真空発生器
の開発が望まれている。
ルギー化を背景として、上記のエゼクタ式真空発生器に
おいても効率の改善が強く求められており、特に、低い
供給圧力で高い真空度が得られるエゼクタ式真空発生器
の開発が望まれている。
【０００６】一方、真空ポートの吸込み流量を増加する
場合、従来は、複数のノズルを直列に略同一直線上に配
設した多段型のエゼクタ式真空発生器を用いている。し
かしこの多段型では、機器が大型化する不具合があり、
また吸込み流量の増加による真空度の低下が主な問題と
して残されている。
場合、従来は、複数のノズルを直列に略同一直線上に配
設した多段型のエゼクタ式真空発生器を用いている。し
かしこの多段型では、機器が大型化する不具合があり、
また吸込み流量の増加による真空度の低下が主な問題と
して残されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事実を考
慮して、低い供給圧力においても所望の真空度が得られ
る高効率のエゼクタ式真空発生器を得ることを第１の目
的とし、また多段型では機器を小型化し且つ吸込み流量
の増加による真空度の低下を改善したエゼクタ式真空発
生器を得ることをすることを第２の目的とする。
慮して、低い供給圧力においても所望の真空度が得られ
る高効率のエゼクタ式真空発生器を得ることを第１の目
的とし、また多段型では機器を小型化し且つ吸込み流量
の増加による真空度の低下を改善したエゼクタ式真空発
生器を得ることをすることを第２の目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、圧力流体供給ポートに供給された流体をノズルから
ディフューザー内へと噴射し、このディフューザー内へ
噴射された前記流体を排気ポートから排出することによ
り、前記ノズルと前記ディフューザーの流体流入口との
間に設けられた真空ポートに負圧を発生するエゼクタ式
真空発生器において、前記ノズルを円形としたときの吹
出し口の面積とほぼ同一面積とし、かつ、前記吹出し口
の内周長よりも長い内周長を備えた異形ノズルを有する
ことを特徴としている。
は、圧力流体供給ポートに供給された流体をノズルから
ディフューザー内へと噴射し、このディフューザー内へ
噴射された前記流体を排気ポートから排出することによ
り、前記ノズルと前記ディフューザーの流体流入口との
間に設けられた真空ポートに負圧を発生するエゼクタ式
真空発生器において、前記ノズルを円形としたときの吹
出し口の面積とほぼ同一面積とし、かつ、前記吹出し口
の内周長よりも長い内周長を備えた異形ノズルを有する
ことを特徴としている。
【０００９】請求項１に記載のエゼクタ式真空発生器で
は、ノズルの吹出し口形状が非円形の異形ノズルとされ
ている。この異形ノズルは、吹出し口の面積を円形ノズ
ルとほぼ同じとしながらも、吹出し口の内周長は円形ノ
ズルよりも長くされたものであればよく、例えば、吹出
し口の内周を径方向に凹凸させたスプライン状であった
り、あるいは多角形などが採用できる。
は、ノズルの吹出し口形状が非円形の異形ノズルとされ
ている。この異形ノズルは、吹出し口の面積を円形ノズ
ルとほぼ同じとしながらも、吹出し口の内周長は円形ノ
ズルよりも長くされたものであればよく、例えば、吹出
し口の内周を径方向に凹凸させたスプライン状であった
り、あるいは多角形などが採用できる。
【００１０】これにより、異形ノズルから噴射される流
体の流れ（噴流）は円形ノズルの噴流に比べてせん断層
が大きくなり、噴流周囲との混合が促進され真空ポート
に高い吸引力が発生する。よって、圧力流体の供給圧を
上げたり、ノズルを大型化するなどしなくても、高い効
率を得ることができる。
体の流れ（噴流）は円形ノズルの噴流に比べてせん断層
が大きくなり、噴流周囲との混合が促進され真空ポート
に高い吸引力が発生する。よって、圧力流体の供給圧を
上げたり、ノズルを大型化するなどしなくても、高い効
率を得ることができる。
【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のエゼクタ式真空発生器において、前記異形ノズルの吹
出し口の形状が菊形状であることを特徴としている。
のエゼクタ式真空発生器において、前記異形ノズルの吹
出し口の形状が菊形状であることを特徴としている。
【００１２】請求項２に記載のエゼクタ式真空発生器で
は、異形ノズルが、ノズル吹出し口の内周を径方向に凹
凸させ、その凹凸を滑らかな曲線で結んだ菊形状とした
ことにより、吹出し口の内周長を容易に長くすることが
可能となり、よって、せん断層をより大きくできる。
は、異形ノズルが、ノズル吹出し口の内周を径方向に凹
凸させ、その凹凸を滑らかな曲線で結んだ菊形状とした
ことにより、吹出し口の内周長を容易に長くすることが
可能となり、よって、せん断層をより大きくできる。
【００１３】請求項３に記載の発明は、圧力流体供給ポ
ートに供給された流体をノズルからディフューザー内へ
と噴射し、このディフューザー内へ噴射された前記流体
を排気ポートから排出することにより、前記ノズルと前
記ディフューザーの流体流入口との間に設けられた真空
ポートに負圧を発生するエゼクタ式真空発生器におい
て、前記ノズルの吹出し口に、前記吹出し口内周壁が内
側へと突出する突部を設けたことを特徴としている。
ートに供給された流体をノズルからディフューザー内へ
と噴射し、このディフューザー内へ噴射された前記流体
を排気ポートから排出することにより、前記ノズルと前
記ディフューザーの流体流入口との間に設けられた真空
ポートに負圧を発生するエゼクタ式真空発生器におい
て、前記ノズルの吹出し口に、前記吹出し口内周壁が内
側へと突出する突部を設けたことを特徴としている。
【００１４】請求項３に記載のエゼクタ式真空発生器で
は、ノズルの吹出し口に設けた突部によって、ノズルか
らの噴射される流体の流れは乱されて乱流となり、また
噴流の形状が複雑になるため噴流と噴流周囲との混合が
促進され噴流が広がってディフューザー内へと流入す
る。これにより、円形ノズルに比べて真空ポートに高い
吸引力が発生し、高い効率が得られる。
は、ノズルの吹出し口に設けた突部によって、ノズルか
らの噴射される流体の流れは乱されて乱流となり、また
噴流の形状が複雑になるため噴流と噴流周囲との混合が
促進され噴流が広がってディフューザー内へと流入す
る。これにより、円形ノズルに比べて真空ポートに高い
吸引力が発生し、高い効率が得られる。
【００１５】請求項４に記載の発明は、圧力流体供給ポ
ートに供給された流体をノズルからディフューザー内へ
と噴射し、このディフューザー内へ噴射された前記流体
を排気ポートから排出することにより、前記ノズルと前
記ディフューザーの流体流入口との間に設けられた真空
ポートに負圧を発生するエゼクタ式真空発生器におい
て、前記ノズルの吹出し口に切欠き部を設けたことを特
徴としている。
ートに供給された流体をノズルからディフューザー内へ
と噴射し、このディフューザー内へ噴射された前記流体
を排気ポートから排出することにより、前記ノズルと前
記ディフューザーの流体流入口との間に設けられた真空
ポートに負圧を発生するエゼクタ式真空発生器におい
て、前記ノズルの吹出し口に切欠き部を設けたことを特
徴としている。
【００１６】請求項４に記載のエゼクタ式真空発生器で
は、ノズルの吹出し口に設けた切欠き部によって、吹出
し口の口縁が略軸線方向（流体噴射方向）に沿って凹凸
した形状となる。これにより、ノズルから噴射される流
体によってノズル周囲から吸込まれる流れが増大され、
真空ポートからの吸込み流量が増加する。またノズルの
製造においては、吹出し口に切欠き部を設けるだけであ
るため容易に加工することができ、製造コストを抑える
ことができる。
は、ノズルの吹出し口に設けた切欠き部によって、吹出
し口の口縁が略軸線方向（流体噴射方向）に沿って凹凸
した形状となる。これにより、ノズルから噴射される流
体によってノズル周囲から吸込まれる流れが増大され、
真空ポートからの吸込み流量が増加する。またノズルの
製造においては、吹出し口に切欠き部を設けるだけであ
るため容易に加工することができ、製造コストを抑える
ことができる。
【００１７】請求項５に記載の発明は、圧力流体供給ポ
ートに供給された流体を略同一軸線上に配設された複数
のノズルからディフューザー内へと噴射し、このディフ
ューザー内へ噴射された前記流体を排気ポートから排出
することにより、前記複数のノズルと前記ディフューザ
ーの流体流入口との間に設けられた真空ポートに負圧を
発生する多段型のエゼクタ式真空発生器において、少な
くとも前記複数のノズルのうちの最も下流側に配置され
たノズルは、吹出し口に切欠き部が設けられていること
を特徴としている。
ートに供給された流体を略同一軸線上に配設された複数
のノズルからディフューザー内へと噴射し、このディフ
ューザー内へ噴射された前記流体を排気ポートから排出
することにより、前記複数のノズルと前記ディフューザ
ーの流体流入口との間に設けられた真空ポートに負圧を
発生する多段型のエゼクタ式真空発生器において、少な
くとも前記複数のノズルのうちの最も下流側に配置され
たノズルは、吹出し口に切欠き部が設けられていること
を特徴としている。
【００１８】請求項５に記載のエゼクタ式真空発生器で
は、複数のノズルによって吸込み流量を増やす多段型に
おいて、吹出し口に切欠き部を設けたノズルを配設する
ことで、真空ポートからの吸込み流量がさらに増加され
る。したがって、ノズルの数を減らしたり、あるいはノ
ズルを小型化するなどとしても従来と同じ吸込み流量を
確保でき、装置全体を小型化することができる。
は、複数のノズルによって吸込み流量を増やす多段型に
おいて、吹出し口に切欠き部を設けたノズルを配設する
ことで、真空ポートからの吸込み流量がさらに増加され
る。したがって、ノズルの数を減らしたり、あるいはノ
ズルを小型化するなどとしても従来と同じ吸込み流量を
確保でき、装置全体を小型化することができる。
【００１９】請求項６に記載の発明は、請求項５に記載
のエゼクタ式真空発生器において、吹出し口に前記切欠
き部が設けられたノズルは略直管形状とされ、このノズ
ルの口径は下流側に配置されたノズルの吹出し口の口径
よりも大きくされていることを特徴としている。
のエゼクタ式真空発生器において、吹出し口に前記切欠
き部が設けられたノズルは略直管形状とされ、このノズ
ルの口径は下流側に配置されたノズルの吹出し口の口径
よりも大きくされていることを特徴としている。
【００２０】請求項６に記載のエゼクタ式真空発生器で
は、吹出し口に切欠き部が設けられた略直管形状のノズ
ルに、下流側のノズルから噴射された流体が流入する
と、切欠き部付きノズルの流入口近傍で噴流と吸込み流
れが混合する。その混合は、両ノズルの口径差（下流側
ノズルの吹出し口の口径＜切欠き部付きノズルの口径）
によって促進されるため、流入口側の吸込み流量は増加
する。また口径差により、切欠き部付きノズルから噴射
される流体の速度は下流側ノズルからの流体噴射速度よ
り遅くなる。
は、吹出し口に切欠き部が設けられた略直管形状のノズ
ルに、下流側のノズルから噴射された流体が流入する
と、切欠き部付きノズルの流入口近傍で噴流と吸込み流
れが混合する。その混合は、両ノズルの口径差（下流側
ノズルの吹出し口の口径＜切欠き部付きノズルの口径）
によって促進されるため、流入口側の吸込み流量は増加
する。また口径差により、切欠き部付きノズルから噴射
される流体の速度は下流側ノズルからの流体噴射速度よ
り遅くなる。
【００２１】この切欠き部付きノズルでは、高流速より
も比較的低流速の方が周囲からの吸込み流量が多くなる
性質がある。そのため、上記の流速の低下により、吸込
み流量がさらに増加される。
も比較的低流速の方が周囲からの吸込み流量が多くなる
性質がある。そのため、上記の流速の低下により、吸込
み流量がさらに増加される。
【００２２】また例えば、下流側に配置されるノズルが
円形ノズルであれば、円形ノズルは、切欠き部付きノズ
ルに比べて圧力流体の供給圧が高い範囲で真空特性が良
好である（真空度が低下しない）ため、その利点が付加
される。すなわち、圧力流体の供給圧が低い範囲では、
切欠き部付きノズルの作用で吸込み流量の増加がもたら
され、供給圧を高くした場合でも従来と変わらない真空
特性が得られる。したがって、多段型の欠点である吸込
み流量の増加に伴う真空圧の低下が改善される。
円形ノズルであれば、円形ノズルは、切欠き部付きノズ
ルに比べて圧力流体の供給圧が高い範囲で真空特性が良
好である（真空度が低下しない）ため、その利点が付加
される。すなわち、圧力流体の供給圧が低い範囲では、
切欠き部付きノズルの作用で吸込み流量の増加がもたら
され、供給圧を高くした場合でも従来と変わらない真空
特性が得られる。したがって、多段型の欠点である吸込
み流量の増加に伴う真空圧の低下が改善される。
【００２３】
【発明の実施の形態】［第１の実施形態］以下、図面を
参照して本発明の実施の形態を説明する。
参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００２４】図１には、本発明の第１の実施形態に係る
エゼクタ式真空発生器１０が示されている。本実施形態
のエゼクタ式真空発生器１０は、図示のように、エゼク
タ本体１２と、エゼクタ本体１２に着脱可能に取り付け
られたノズル本体１４及びサイレンサー１６と、エゼク
タ本体１２に内装されたディフューザー１８とから構成
されている。
エゼクタ式真空発生器１０が示されている。本実施形態
のエゼクタ式真空発生器１０は、図示のように、エゼク
タ本体１２と、エゼクタ本体１２に着脱可能に取り付け
られたノズル本体１４及びサイレンサー１６と、エゼク
タ本体１２に内装されたディフューザー１８とから構成
されている。
【００２５】このエゼクタ式真空発生器１０の各部を流
体（圧縮空気）の流れに沿って説明すると、まず、ノズ
ル本体１４には、雌螺子を形成した圧力供給配管接続部
２０（圧力流体供給ポート）が設けられており、この圧
力供給配管接続部２０に接続されるパイプ等から、ノズ
ル本体１４の内部に形成されている流路部２２に圧縮空
気が流入するようになっている。
体（圧縮空気）の流れに沿って説明すると、まず、ノズ
ル本体１４には、雌螺子を形成した圧力供給配管接続部
２０（圧力流体供給ポート）が設けられており、この圧
力供給配管接続部２０に接続されるパイプ等から、ノズ
ル本体１４の内部に形成されている流路部２２に圧縮空
気が流入するようになっている。
【００２６】流路部２２は、圧縮空気の流動方向に向か
って段状に縮径した筒形状をしており、この流路部２２
の先端側に、空気噴射方向に向かってテーパー状に若干
拡径するノズル２４が設けられている。
って段状に縮径した筒形状をしており、この流路部２２
の先端側に、空気噴射方向に向かってテーパー状に若干
拡径するノズル２４が設けられている。
【００２７】ここで、図２に示すように、従来のノズル
２３の吹出し口形状は円形とされていたが、本実施の形
態のノズル２４では、図３に示すような菊形状となって
いる。
２３の吹出し口形状は円形とされていたが、本実施の形
態のノズル２４では、図３に示すような菊形状となって
いる。
【００２８】この菊形状のノズル２４は、ノズル吹出し
口の内周が径方向に凹凸して、その凹凸が滑らかな曲線
で結ばれた形状とされており、吹出し口の面積を従来の
円形ノズル２３とほぼ同じとしながら吹出し口の内周長
が円形ノズル２３よりも長くされている。
口の内周が径方向に凹凸して、その凹凸が滑らかな曲線
で結ばれた形状とされており、吹出し口の面積を従来の
円形ノズル２３とほぼ同じとしながら吹出し口の内周長
が円形ノズル２３よりも長くされている。
【００２９】また、ノズル本体１４のノズル端側には、
エゼクタ本体１２に設けられたノズル本体取付部２６
（雌螺子）に螺合する雄螺子２８が形成されており、こ
の雄螺子２８がノズル本体取付部２６の雌螺子に螺合す
ることによって、ノズル本体１４はエゼクタ本体１２へ
の着脱が可能となっている。
エゼクタ本体１２に設けられたノズル本体取付部２６
（雌螺子）に螺合する雄螺子２８が形成されており、こ
の雄螺子２８がノズル本体取付部２６の雌螺子に螺合す
ることによって、ノズル本体１４はエゼクタ本体１２へ
の着脱が可能となっている。
【００３０】このノズル本体１４の空気噴射側に配置さ
れるディフューザー１８は管状とされて、エゼクタ本体
１２の内部に形成された管状部３０に嵌挿されており、
また空気流出側の端部３２に嵌装されたＯリング３４に
よってシールされている。
れるディフューザー１８は管状とされて、エゼクタ本体
１２の内部に形成された管状部３０に嵌挿されており、
また空気流出側の端部３２に嵌装されたＯリング３４に
よってシールされている。
【００３１】また、ディフューザー１８の空気流入側に
設けられた空気流入口３６は、流入口断面積がノズル２
４の吹出し口面積よりも大きくされ、さらに空気流入方
向に向かって若干縮径するテーパー形状となっている。
この空気流入口３６の先端側は大径部３８となってお
り、大径部３８には、大径部３８外側にエゼクタ本体１
２との間に設けられた空気流入室４０へと連通する連通
孔４２が形成されている。本実施の形態では図３に示す
ように、４個の連通孔４２が９０度間隔で配置されてい
る。
設けられた空気流入口３６は、流入口断面積がノズル２
４の吹出し口面積よりも大きくされ、さらに空気流入方
向に向かって若干縮径するテーパー形状となっている。
この空気流入口３６の先端側は大径部３８となってお
り、大径部３８には、大径部３８外側にエゼクタ本体１
２との間に設けられた空気流入室４０へと連通する連通
孔４２が形成されている。本実施の形態では図３に示す
ように、４個の連通孔４２が９０度間隔で配置されてい
る。
【００３２】そしてこの大径部３８内には、圧力供給配
管接続部２０に取り付けられたノズル本体１４のノズル
２４が突出して配置されており、大径部３８の先端部に
ノズル本体１４が当接することによって、ノズル２４と
空気流入口３６との間隔が所定距離に保たれるよう構成
されている。
管接続部２０に取り付けられたノズル本体１４のノズル
２４が突出して配置されており、大径部３８の先端部に
ノズル本体１４が当接することによって、ノズル２４と
空気流入口３６との間隔が所定距離に保たれるよう構成
されている。
【００３３】また、エゼクタ本体１２には、空気流入室
４０に連通する真空用配管接続部４４（真空ポート）が
設けられており、ディフューザー１８の空気流出側に
は、排気用配管接続部４６（排気ポート）が設けられ
て、ジェット・ノイズ等を低減させるためのサイレンサ
ー１６が取り付けられている。
４０に連通する真空用配管接続部４４（真空ポート）が
設けられており、ディフューザー１８の空気流出側に
は、排気用配管接続部４６（排気ポート）が設けられ
て、ジェット・ノイズ等を低減させるためのサイレンサ
ー１６が取り付けられている。
【００３４】次に、本実施の形態に係るエゼクタ式真空
発生器１０の作用を説明する。
発生器１０の作用を説明する。
【００３５】圧力供給配管接続部２０に配管したエアコ
ンプレッサー等からノズル本体１４の流路部２２に圧縮
空気を供給すると、圧縮空気はノズル２４から噴出し、
ディフューザー１８の空気流入口３６へと流入する。さ
らに圧縮空気は、そのままディフューザー１８内を通っ
て排気用配管接続部４６からサイレンサー１６へと流出
する。そしてこのときの圧力降下により、真空用配管接
続部４４に接続された配管内が負圧となって、この負圧
が配管の先に接続された真空機器に作用する。
ンプレッサー等からノズル本体１４の流路部２２に圧縮
空気を供給すると、圧縮空気はノズル２４から噴出し、
ディフューザー１８の空気流入口３６へと流入する。さ
らに圧縮空気は、そのままディフューザー１８内を通っ
て排気用配管接続部４６からサイレンサー１６へと流出
する。そしてこのときの圧力降下により、真空用配管接
続部４４に接続された配管内が負圧となって、この負圧
が配管の先に接続された真空機器に作用する。
【００３６】ここで、本実施の形態におけるノズル２４
では、吹出し口の面積が従来の円形ノズル２３とほぼ同
じでありながら吹出し口の内周長は円形ノズル２３より
も長くされているため、ノズル２４による噴流は円形ノ
ズル２３の噴流に比べてせん断層が大きくされ、噴流周
囲との混合が促進される。よって、真空用配管接続部４
４に高い吸引力が発生する。
では、吹出し口の面積が従来の円形ノズル２３とほぼ同
じでありながら吹出し口の内周長は円形ノズル２３より
も長くされているため、ノズル２４による噴流は円形ノ
ズル２３の噴流に比べてせん断層が大きくされ、噴流周
囲との混合が促進される。よって、真空用配管接続部４
４に高い吸引力が発生する。
【００３７】図４及び図５には、従来の円形ノズル２３
と、本実施形態の菊形状のノズル２４との比較データが
示されている。
と、本実施形態の菊形状のノズル２４との比較データが
示されている。
【００３８】図４は、真空用配管接続部４４を大気開放
とし、圧力供給配管接続部２０への供給圧力を変化させ
たときの真空用配管接続部４４に吸入される空気の流量
を計測したものである。この計測結果によれば、供給圧
力が０．１〜０．３ＭＰａの間での流量は、円形ノズル
２３に比べて菊形ノズル２４の方が２０〜１２Ｌ／ｍｉ
ｎ程度増加している。
とし、圧力供給配管接続部２０への供給圧力を変化させ
たときの真空用配管接続部４４に吸入される空気の流量
を計測したものである。この計測結果によれば、供給圧
力が０．１〜０．３ＭＰａの間での流量は、円形ノズル
２３に比べて菊形ノズル２４の方が２０〜１２Ｌ／ｍｉ
ｎ程度増加している。
【００３９】また、図５は、真空用配管接続部４４を閉
塞状態とし、上記の計測と同様、圧力供給配管接続部２
０への供給圧力を変化させて真空用配管接続部４４の真
空度を計測したものであり、この計測結果では、供給圧
力が０．１〜０．３ＭＰａの間で、真空度は、ノズル２
４の方が−３．５〜−５．９ｋＰａ程度上回っている。
塞状態とし、上記の計測と同様、圧力供給配管接続部２
０への供給圧力を変化させて真空用配管接続部４４の真
空度を計測したものであり、この計測結果では、供給圧
力が０．１〜０．３ＭＰａの間で、真空度は、ノズル２
４の方が−３．５〜−５．９ｋＰａ程度上回っている。
【００４０】したがって、この計測結果からわかるよう
に、特に、低い供給圧力においての効率が改善されてお
り、圧力流体の供給圧を上げなくとも、ノズルの吹き出
し口形状を変えることで所望の真空度が得られる。
に、特に、低い供給圧力においての効率が改善されてお
り、圧力流体の供給圧を上げなくとも、ノズルの吹き出
し口形状を変えることで所望の真空度が得られる。
【００４１】なお、ノズルの吹き出し口形状は本実施の
形態のような菊形に限定するものではなく、吹出し口の
面積を円形ノズルとほぼ同じとしながらも、吹出し口の
内周長を円形ノズルよりも長くしたものであればすべて
適用可能である。
形態のような菊形に限定するものではなく、吹出し口の
面積を円形ノズルとほぼ同じとしながらも、吹出し口の
内周長を円形ノズルよりも長くしたものであればすべて
適用可能である。
【００４２】［第２の実施形態］次に、本発明の第２の
実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同
一構成に関しては同一符号を付し、その説明は省略す
る。
実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同
一構成に関しては同一符号を付し、その説明は省略す
る。
【００４３】図６及び図７には、本発明の第２の実施形
態に係るノズル２５を設けたノズル本体１５が示されて
いる。
態に係るノズル２５を設けたノズル本体１５が示されて
いる。
【００４４】このノズル２５は、ノズル吹出し口に、吹
出し口内周壁を内側（ノズル中心）へと突出させた針状
の突部５０が設けられている（タブ付ノズル）。この突
部５０は、本実施の形態では４箇所設けられており、空
気噴射方向に対して十字状に配置されている。この突部
５０の大きさは、吹出し口の面積の３％程度とされてお
り、また、突部の太さは、吹出し口の面積に対してはか
なり細くされて、圧縮空気の噴射特性に悪影響を及ぼさ
ない構成とされている。
出し口内周壁を内側（ノズル中心）へと突出させた針状
の突部５０が設けられている（タブ付ノズル）。この突
部５０は、本実施の形態では４箇所設けられており、空
気噴射方向に対して十字状に配置されている。この突部
５０の大きさは、吹出し口の面積の３％程度とされてお
り、また、突部の太さは、吹出し口の面積に対してはか
なり細くされて、圧縮空気の噴射特性に悪影響を及ぼさ
ない構成とされている。
【００４５】この第２の実施形態のノズル２５では、ノ
ズル吹き出し口からの噴射される圧縮空気が突部５０に
乱されて乱流となる。また噴流の形状が複雑になるため
噴流と噴流周囲との混合が促進され噴流が広がってディ
フューザー１８内へと流入する。
ズル吹き出し口からの噴射される圧縮空気が突部５０に
乱されて乱流となる。また噴流の形状が複雑になるため
噴流と噴流周囲との混合が促進され噴流が広がってディ
フューザー１８内へと流入する。
【００４６】ここで、噴流が広がる様子を図８及び図９
に示す。これら図は、圧縮空気の噴射状態を、従来の円
形ノズル２３と本形態のタブ付ノズル２５とで比較した
例である。
に示す。これら図は、圧縮空気の噴射状態を、従来の円
形ノズル２３と本形態のタブ付ノズル２５とで比較した
例である。
【００４７】図８（Ａ）に示した従来のノズル２３で
は、噴流Ｆ１がノズルのテーパー形状にほぼ沿った状態
でノズル吹き出し口から噴射され、図９（Ａ）に示すよ
うに、噴流の断面を円形のままとして拡径しながらディ
フューザー１８の空気流入口３６奥側へと流入する。こ
のとき、空気流入口３６の入口近傍には再循環領域Ｒ
（再循環する大きな渦）が発生するため、圧力降下にロ
スを生じさせている。
は、噴流Ｆ１がノズルのテーパー形状にほぼ沿った状態
でノズル吹き出し口から噴射され、図９（Ａ）に示すよ
うに、噴流の断面を円形のままとして拡径しながらディ
フューザー１８の空気流入口３６奥側へと流入する。こ
のとき、空気流入口３６の入口近傍には再循環領域Ｒ
（再循環する大きな渦）が発生するため、圧力降下にロ
スを生じさせている。
【００４８】これに対し、図８（Ｂ）に示した本形態の
ノズル２５では、噴流Ｆ２が突部５０に乱されて乱流と
なり、噴流周囲との混合が促進されノズル吹き出し口か
らノズル・テーパー以上に広がって空気流入口３６に流
入する。このときの噴流断面形状は図９（Ｂ）に示すよ
うに、突部５０に対応する部分（図中：ｆ）の周りが外
側へ広がったようになっている。よって従来の円形断面
に比べ、断面積が拡大していることがわかる。
ノズル２５では、噴流Ｆ２が突部５０に乱されて乱流と
なり、噴流周囲との混合が促進されノズル吹き出し口か
らノズル・テーパー以上に広がって空気流入口３６に流
入する。このときの噴流断面形状は図９（Ｂ）に示すよ
うに、突部５０に対応する部分（図中：ｆ）の周りが外
側へ広がったようになっている。よって従来の円形断面
に比べ、断面積が拡大していることがわかる。
【００４９】これにより、空気流入口３６の入口付近に
発生していた再循環領域は大幅に縮小され、圧力降下の
損失分が改善されて高い吸引力を得ることができる。
発生していた再循環領域は大幅に縮小され、圧力降下の
損失分が改善されて高い吸引力を得ることができる。
【００５０】第１の実施形態と同様に、図４、図５に示
した計測結果によれば、流量は、供給圧力が０．１〜
０．３ＭＰａの範囲で、円形ノズル２３に比べてタブ付
ノズル２５の方が４０〜２０Ｌ／ｍｉｎ程度増加してお
り、真空度は、−４．８〜−７．７ｋＰａ程度向上して
いる。
した計測結果によれば、流量は、供給圧力が０．１〜
０．３ＭＰａの範囲で、円形ノズル２３に比べてタブ付
ノズル２５の方が４０〜２０Ｌ／ｍｉｎ程度増加してお
り、真空度は、−４．８〜−７．７ｋＰａ程度向上して
いる。
【００５１】したがって、本実施形態のノズル２５にお
いても、低い供給圧力での効率が改善される。
いても、低い供給圧力での効率が改善される。
【００５２】なお、突部の向きや配置数は本実施の形態
に限定されるものではない。突部の向きについては、例
えば、ノズル吹出し口の中心に向けて突出させる以外
に、空気噴射方向に傾斜させるなどできる。
に限定されるものではない。突部の向きについては、例
えば、ノズル吹出し口の中心に向けて突出させる以外
に、空気噴射方向に傾斜させるなどできる。
【００５３】［第３の実施形態］次に、本発明の第３の
実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同
一構成に関しては同一符号を付し、その説明は省略す
る。
実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同
一構成に関しては同一符号を付し、その説明は省略す
る。
【００５４】図１０には、本発明の第３の実施形態に係
るノズル本体６０を設けたエゼクタ式真空発生器が示さ
れており、図１１には、ノズル本体６０の正面図が示さ
れている。
るノズル本体６０を設けたエゼクタ式真空発生器が示さ
れており、図１１には、ノズル本体６０の正面図が示さ
れている。
【００５５】このノズル本体６０のノズル６２は、吹出
し口形状が円形とされ、その口縁に略三角形の切欠き部
６４が設けられた王冠形状とされている（王冠型ノズ
ル）。切欠き部６４は、本実施の形態では２箇所設けら
れ、ノズル６２の軸線を中心に対向して配置されてい
る。
し口形状が円形とされ、その口縁に略三角形の切欠き部
６４が設けられた王冠形状とされている（王冠型ノズ
ル）。切欠き部６４は、本実施の形態では２箇所設けら
れ、ノズル６２の軸線を中心に対向して配置されてい
る。
【００５６】この第３の実施形態のノズル６２では、ノ
ズル吹き出し口から噴射される圧縮空気によってノズル
周囲から吸込まれる流れが増大する。したがって、真空
用配管接続部４４の吸込み流量が増加する。
ズル吹き出し口から噴射される圧縮空気によってノズル
周囲から吸込まれる流れが増大する。したがって、真空
用配管接続部４４の吸込み流量が増加する。
【００５７】図１２、図１３に示した計測結果によれ
ば、流量は、供給圧力が０．１〜０．３ＭＰａの範囲
で、円形ノズル２３（切欠きなし）に比べ王冠型ノズル
６２の方が最大１５Ｌ／ｍｉｎ程度増加している。また
切欠き部を４箇所とした場合でも、従来比で５Ｌ／ｍｉ
ｎ以上の流量増加が得られている。真空度は、供給圧力
が０．１〜０．３ＭＰａの範囲で同等となっており、こ
れは、流量の増加に伴う真空度の悪化が殆ど見られない
という良好な結果である。
ば、流量は、供給圧力が０．１〜０．３ＭＰａの範囲
で、円形ノズル２３（切欠きなし）に比べ王冠型ノズル
６２の方が最大１５Ｌ／ｍｉｎ程度増加している。また
切欠き部を４箇所とした場合でも、従来比で５Ｌ／ｍｉ
ｎ以上の流量増加が得られている。真空度は、供給圧力
が０．１〜０．３ＭＰａの範囲で同等となっており、こ
れは、流量の増加に伴う真空度の悪化が殆ど見られない
という良好な結果である。
【００５８】したがって、本実施形態のノズル６２で
は、従来の円形ノズルに比べて特に低い供給圧力での吸
込み流量が増加される。また製造においては、ノズル６
２の吹出し口に切欠き部６４を設けるだけの簡単な加工
で済むため、製造コストが抑えられる。
は、従来の円形ノズルに比べて特に低い供給圧力での吸
込み流量が増加される。また製造においては、ノズル６
２の吹出し口に切欠き部６４を設けるだけの簡単な加工
で済むため、製造コストが抑えられる。
【００５９】［第４の実施形態］次に、本発明の第３の
実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同
一構成に関しては同一符号を付し、その説明は省略す
る。
実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同
一構成に関しては同一符号を付し、その説明は省略す
る。
【００６０】図１４には、本発明の第４の実施形態に係
るエゼクタ式真空発生器が示されている。このエゼクタ
式真空発生器１００は、図示のように多段型とされてい
る。エゼクタ本体１０２は、真空用配管接続部４４の下
流側に同形状の真空用配管接続部１０４が設けられ、管
状部１１０には、真空用配管接続部１０４に対応する４
個の連通孔１０６を形成したディフューザー１０８が嵌
挿されている。
るエゼクタ式真空発生器が示されている。このエゼクタ
式真空発生器１００は、図示のように多段型とされてい
る。エゼクタ本体１０２は、真空用配管接続部４４の下
流側に同形状の真空用配管接続部１０４が設けられ、管
状部１１０には、真空用配管接続部１０４に対応する４
個の連通孔１０６を形成したディフューザー１０８が嵌
挿されている。
【００６１】ノズル本体取付部２６には、円形ノズル２
３を備えたノズル本体１４が取付けられている。このノ
ズル本体１４のノズル２３も、第１の実施形態と同様、
空気流入室４０と連通する連通孔４２が設けられたディ
フューザー１０８の大径部３８内に配置されている。
３を備えたノズル本体１４が取付けられている。このノ
ズル本体１４のノズル２３も、第１の実施形態と同様、
空気流入室４０と連通する連通孔４２が設けられたディ
フューザー１０８の大径部３８内に配置されている。
【００６２】ディフューザー１０８は、連通孔４２と連
通孔１０６との間が大径部３８よりも少し小径の小径部
１１２とされており、小径部１１２には、吹出し口を円
形とした略直管形状のノズル１１４が嵌挿されて、ノズ
ル２３と同一軸線上に配置されている。
通孔１０６との間が大径部３８よりも少し小径の小径部
１１２とされており、小径部１１２には、吹出し口を円
形とした略直管形状のノズル１１４が嵌挿されて、ノズ
ル２３と同一軸線上に配置されている。
【００６３】ノズル１１４の吹出し口は、連通孔１０６
の近傍に位置してディフューザー１０８の空気流入口３
６に向けられており、口縁には略三角形の切欠き部１１
６が対向して２箇所設けられている。このノズル１１４
の口径ｄ１は、ノズル２３の吹出し口の口径ｄ２よりも
大きくされている（ｄ１＞ｄ２）。またノズル１１４の
空気流入側に設けられた空気流入口１１８は、空気流入
方向に向かって若干縮径するテーパー形状とされてい
る。
の近傍に位置してディフューザー１０８の空気流入口３
６に向けられており、口縁には略三角形の切欠き部１１
６が対向して２箇所設けられている。このノズル１１４
の口径ｄ１は、ノズル２３の吹出し口の口径ｄ２よりも
大きくされている（ｄ１＞ｄ２）。またノズル１１４の
空気流入側に設けられた空気流入口１１８は、空気流入
方向に向かって若干縮径するテーパー形状とされてい
る。
【００６４】この第４の実施形態では、ノズル２３から
噴射された噴流Ｆ３がノズル１１４に流入すると、空気
流入口１１８近傍で噴流Ｆ３と吸込み流れＦ４が混合す
る。この混合は、両ノズルの口径差によって促進される
ため、真空用配管接続部４４からの吸込み流量が増加す
る。
噴射された噴流Ｆ３がノズル１１４に流入すると、空気
流入口１１８近傍で噴流Ｆ３と吸込み流れＦ４が混合す
る。この混合は、両ノズルの口径差によって促進される
ため、真空用配管接続部４４からの吸込み流量が増加す
る。
【００６５】またノズル１１４から噴射される噴流Ｆ５
は、噴流Ｆ３よりも噴射速度が遅くされる。そのため、
低流速の方が吸込み流量が多くなる切欠き部付きノズル
１１４の作用で、真空用配管接続部１０４からの吸込み
流量も増加される。
は、噴流Ｆ３よりも噴射速度が遅くされる。そのため、
低流速の方が吸込み流量が多くなる切欠き部付きノズル
１１４の作用で、真空用配管接続部１０４からの吸込み
流量も増加される。
【００６６】さらに図１３に示したように、円形ノズル
は切欠き部付きノズルに比べて供給圧が高い範囲で真空
特性が良好であるため、ノズル１１４の下流側に配置し
たノズル２３によってその効果が付加される。
は切欠き部付きノズルに比べて供給圧が高い範囲で真空
特性が良好であるため、ノズル１１４の下流側に配置し
たノズル２３によってその効果が付加される。
【００６７】これにより、供給圧が低い範囲での吸込み
流量の増加と、供給圧が高い範囲での良好な真空特性に
よって、多段型の欠点である、吸込み流量の増加に伴う
真空圧の低下が改善される。
流量の増加と、供給圧が高い範囲での良好な真空特性に
よって、多段型の欠点である、吸込み流量の増加に伴う
真空圧の低下が改善される。
【００６８】なお、ノズルの配置数は本実施の形態に限
定されるものではなく、２段以上の多段型エゼクタ式真
空発生器に適用することもできる。またその場合、切欠
き部付きノズルによる吸込み流量の増加によって、ノズ
ル数を削減したりノズルを小型化することが可能とな
る。したがって、真空発生器を小型に構成することがで
きる。
定されるものではなく、２段以上の多段型エゼクタ式真
空発生器に適用することもできる。またその場合、切欠
き部付きノズルによる吸込み流量の増加によって、ノズ
ル数を削減したりノズルを小型化することが可能とな
る。したがって、真空発生器を小型に構成することがで
きる。
【００６９】
【発明の効果】本発明のエゼクタ式真空発生器は上記構
成としたので、第１には、低い供給圧力のもとでも高い
真空度が得られて効率が改善され、第２には、多段型に
おいて、機器の小型化が図られるとともに、吸込み流量
の増加による真空度の低下が改善される。
成としたので、第１には、低い供給圧力のもとでも高い
真空度が得られて効率が改善され、第２には、多段型に
おいて、機器の小型化が図られるとともに、吸込み流量
の増加による真空度の低下が改善される。
【図１】本発明の第１の実施形態に係るエゼクタ式真空
発生器の全体構成を表した断面図である。
発生器の全体構成を表した断面図である。
【図２】従来のノズルを正面から視た拡大図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るノズルを正面か
ら視た拡大図である。
ら視た拡大図である。
【図４】従来のノズルと本発明のノズルの比較データで
あり、供給圧力に対する流量の変化を計測した計測結果
の図である。
あり、供給圧力に対する流量の変化を計測した計測結果
の図である。
【図５】従来のノズルと本発明のノズルの比較データで
あり、供給圧力に対する真空度の変化を計測した計測結
果の図である。
あり、供給圧力に対する真空度の変化を計測した計測結
果の図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るノズルを正面か
ら視た拡大図である。
ら視た拡大図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るノズルを側面か
ら視た拡大断面図である。
ら視た拡大断面図である。
【図８】従来のノズル（Ａ）と、本発明の第２の実施形
態に係るノズル（Ｂ）との噴流を比較した拡大断面図で
ある。
態に係るノズル（Ｂ）との噴流を比較した拡大断面図で
ある。
【図９】図８のＣ１、Ｃ２、Ｃ３線断面での、従来ノズ
ルの噴流断面図（Ａ）と、本発明の第２の実施形態に係
るノズルの噴流断面図（Ｂ）である。
ルの噴流断面図（Ａ）と、本発明の第２の実施形態に係
るノズルの噴流断面図（Ｂ）である。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係るエゼクタ式真
空発生器の全体構成を表した断面図である。
空発生器の全体構成を表した断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係るノズルを正面
から視た拡大図である。
から視た拡大図である。
【図１２】従来のノズルと第３の実施形態に係るノズル
の比較データであり、供給圧力に対する流量の変化を計
測した計測結果の図である。
の比較データであり、供給圧力に対する流量の変化を計
測した計測結果の図である。
【図１３】従来のノズルと第３の実施形態に係るノズル
の比較データであり、供給圧力に対する真空度の変化を
計測した計測結果の図である。
の比較データであり、供給圧力に対する真空度の変化を
計測した計測結果の図である。
【図１４】本発明の第４の実施形態に係るエゼクタ式真
空発生器の全体構成を表した断面図である。
空発生器の全体構成を表した断面図である。
【図１５】図１４のノズル近傍を示し、噴流と吸込み流
れを模式的に表した拡大断面図である。
れを模式的に表した拡大断面図である。
１０ エゼクタ式真空発生器 １２ エゼクタ本体 １８ ディフューザー ２０ 圧力供給配管接続部（圧力流体供給ポート） ２４ ノズル（異形ノズル） ２５ ノズル ３６ 空気流入口（流体流入口） ４４ 真空用配管接続部（真空ポート） ４６ 排気用配管接続部（排気ポート） ５０ 突部 ６２ ノズル ６４ 切欠き部 １００ エゼクタ式真空発生器 １０２ エゼクタ本体 １０４ 真空用配管接続部（真空ポート） １０８ ディフューザー １１４ ノズル １１６ 切欠き部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 浩右 東京都大田区矢口３丁目33番９号 株式会 社妙徳内 (72)発明者 中園 与一 熊本県熊本市保田窪本町４番６号 Ｆターム(参考） 3H079 AA18 AA23 AA28 BB01 CC03 CC19 DD03 DD16
Claims (6)
- 【請求項１】 圧力流体供給ポートに供給された流体を
ノズルからディフューザー内へと噴射し、このディフュ
ーザー内へ噴射された前記流体を排気ポートから排出す
ることにより、前記ノズルと前記ディフューザーの流体
流入口との間に設けられた真空ポートに負圧を発生する
エゼクタ式真空発生器において、 前記ノズルを円形としたときの吹出し口の面積とほぼ同
一面積とし、かつ、前記吹出し口の内周長よりも長い内
周長を備えた異形ノズルを有することを特徴とするエゼ
クタ式真空発生器。 - 【請求項２】 前記異形ノズルの吹出し口の形状が菊形
状であることを特徴とする請求項１に記載のエゼクタ式
真空発生器。 - 【請求項３】 圧力流体供給ポートに供給された流体を
ノズルからディフューザー内へと噴射し、このディフュ
ーザー内へ噴射された前記流体を排気ポートから排出す
ることにより、前記ノズルと前記ディフューザーの流体
流入口との間に設けられた真空ポートに負圧を発生する
エゼクタ式真空発生器において、 前記ノズルの吹出し口に、前記吹出し口内周壁が内側へ
と突出する突部を設けたことを特徴とするエゼクタ式真
空発生器。 - 【請求項４】 圧力流体供給ポートに供給された流体を
ノズルからディフューザー内へと噴射し、このディフュ
ーザー内へ噴射された前記流体を排気ポートから排出す
ることにより、前記ノズルと前記ディフューザーの流体
流入口との間に設けられた真空ポートに負圧を発生する
エゼクタ式真空発生器において、 前記ノズルの吹出し口に切欠き部を設けたことを特徴と
するエゼクタ式真空発生器。 - 【請求項５】 圧力流体供給ポートに供給された流体を
略同一軸線上に配設された複数のノズルからディフュー
ザー内へと噴射し、このディフューザー内へ噴射された
前記流体を排気ポートから排出することにより、前記複
数のノズルと前記ディフューザーの流体流入口との間に
設けられた真空ポートに負圧を発生する多段型のエゼク
タ式真空発生器において、 少なくとも前記複数のノズルのうちの最も下流側に配置
されたノズルは、吹出し口に切欠き部が設けられている
ことを特徴とするエゼクタ式真空発生器。 - 【請求項６】 吹出し口に前記切欠き部が設けられたノ
ズルは略直管形状とされ、このノズルの口径は下流側に
配置されたノズルの吹出し口の口径よりも大きくされて
いることを特徴とする請求項５に記載のエゼクタ式真空
発生器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000366784A JP2001295800A (ja) | 1999-12-08 | 2000-12-01 | エゼクタ式真空発生器 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34950099 | 1999-12-08 | ||
| JP11-349500 | 1999-12-08 | ||
| JP2000366784A JP2001295800A (ja) | 1999-12-08 | 2000-12-01 | エゼクタ式真空発生器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001295800A true JP2001295800A (ja) | 2001-10-26 |
Family
ID=26578964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000366784A Pending JP2001295800A (ja) | 1999-12-08 | 2000-12-01 | エゼクタ式真空発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001295800A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009138726A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Yasufumi Fukumoto | 水流エゼクターと真空引き装置 |
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