JP2001280236A - 斜板式コンプレッサの斜板及び斜板式コンプレッサー - Google Patents

斜板式コンプレッサの斜板及び斜板式コンプレッサー

Info

Publication number
JP2001280236A
JP2001280236A JP2000091973A JP2000091973A JP2001280236A JP 2001280236 A JP2001280236 A JP 2001280236A JP 2000091973 A JP2000091973 A JP 2000091973A JP 2000091973 A JP2000091973 A JP 2000091973A JP 2001280236 A JP2001280236 A JP 2001280236A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
swash plate
compressor according
cast iron
hard carbon
plate compressor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000091973A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinichi Mizuguchi
慎一 水口
Hideaki Ko
秀明 洪
Yukimi Terada
幸美 寺田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiho Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Taiho Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiho Kogyo Co Ltd filed Critical Taiho Kogyo Co Ltd
Priority to JP2000091973A priority Critical patent/JP2001280236A/ja
Publication of JP2001280236A publication Critical patent/JP2001280236A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/046Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with at least one amorphous inorganic material layer, e.g. DLC, a-C:H, a-C:Me, the layer being doped or not

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 斜板式コンプレッサーの斜板の耐焼付性を向
上する。 【解決手段】 斜板に非晶質硬質炭素膜を被覆すると、
耐焼付性が向上し、かつ相手材のシュー材質の選択範囲
が広がる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、斜板式コンプレッ
サーにおいてシューと摺動する斜板、及び新規な斜板と
シューを組み合わせた斜板式コンプレッサーに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】斜板式コンプレッサーは、回転軸に一定
角度もしくは可変角度で固着された斜板と、回転軸に平
行に設けられたシリンダ内に嵌装されたピストンと、斜
板とピストンの間に配置された摺動部材であるシューを
含み、斜板の回転によってピストンが往復動され、シリ
ンダ内に気体が導入され、圧縮されるものである。な
お、斜板式コンプレッサー自体の構造は例えば特公昭61
―1636号の第1図及び公報第3欄第42行〜第4欄第16行、
第5欄第14行〜第6欄第2行の説明を参照されたい。かか
る斜板の歴史を概括的にまとめると、3世代の変遷を経
ている。即ち,古くは焼入れ鋳鉄(第1世代)が用いら
れ、次にコンプレッサーの軽量化のために耐摩耗性が優
れたAl−Si系アルミニウム合金鍛造材(第2世代)
が用いられ、現在は、特に可変容量コンプレッサーの回
転性能重視の観点から球状黒鉛鋳鉄斜板が用いられてい
るが、鋳鉄とシューの軸受鋼の摺動では同種材料摺動に
より焼付が起こり易いので、鋳鉄上にCu−Pb合金を
溶射した斜板(欧州特許公開公報0713972A1)
が用いられている(第3世代)。さらに、MoS2 など
のトライボ材料を樹脂で結合した表面皮膜を設けた斜板
(特開平11―13638号公報、第3世代)も現在用
いられている。一方、斜板と摺動する摺動子であるシュ
ーとしては、当初の銅合金系バイメタルから現在のクロ
ム鋼、特に軸受鋼(SUJ2)(特公平1―35190
号公報)に変わってきている。斜板式コンプレッサーは
潤滑油の使用量を少なくする傾向が依然として続いてお
り、このため摺動条件は益々過酷になっており、特に斜
板の摺動面の性能を一層向上することが要請されてい
る。
【0003】さらに、シューはピストンに嵌入される球
面部と斜板と接触する平面部から構成されるが、平面部
の中央を頂点とし、高さが15μm以下である極めて大き
な曲率半径を有する凸曲面とし、平面部の外周縁は面取
り部とすることにより、耐焼付性のばらつきが少なくな
る(特公昭61―1636号公報、特公昭63―27554号公
報、特公平1―35190号公報)。このような凸面部及び
面取り部を有する斜板は実機に採用され、斜板式コンプ
レッサーのシューの性能向上に多大な貢献をしている。
凸面部の高さを高くすると油膜が形成され易くなるが、
その一方耐焼付性のばらつきが大きくなるので、現在の
実機では1〜5μmの高さ範囲が採用されている。
【0004】ところで、ダイヤモンドライクカーボンと
も言われる非晶質炭素は非常に摩擦係数が低くかつ硬度
が極めて高いと言う摺動材料として望ましい性質をもっ
ているので、研究が近年活発におこなわれている。例え
ば、特開平3―240957号公報によると、非晶質炭
素薄膜の条件として、(イ)炭素と水素を主成分とす
る、(ロ)炭素、水素の残部が珪素質物質である、
(ハ)擬似ダイヤモンドを含むなどが、一層の摩擦係数
の低下に有効であり、工具や金型の被覆に適するとの提
案がなされている。また、特許第2889116号公報の発明
は、炭素、水素、珪素及び窒素を含有し、Hv=200
0〜5000の高い硬度を有する非晶質硬質炭素皮膜に
関するものであって、用途としてコンプレッサの摺動部
品が挙げられている。しかしながら、現在ダイヤモンド
ライクカーボン皮膜が実用されているのは、ハードディ
スクドライブの磁気ヘッドの摺動部が代表的なものであ
り、エンジン部品への適用も研究されているが他の皮膜
よりも性能が劣っていることが報告されている(トライ
ボロジ会議予稿集、東京1999.5.A4)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来知られているCu
−Pb溶射斜板とMoS2 コーティング斜板とを対比す
ると、前者は耐焼付性にすぐれ、後者は低摩擦性に優れ
ており、一長一短があるので、最高の性能を得ようとす
ると前者の溶射層上に後者のコーティングを施すことが
必要になる。このように現在の斜板式コンプレッサーの
運転状況下において十分な性能を発揮することができる
単一皮膜は提供されていなかった。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、斜板式コンプ
レッサーのシューと摺動する斜板の摺動面を、水素を含
有する非晶質硬質炭素皮膜で被覆したことを特徴とする
斜板式コンプレッサの斜板に関するものである。従来の
斜板は上述のように,3世代の変遷を経、その時代のコ
ンプレッサーにおいて実現される潤滑油と冷媒の混合下
での安定した性能を得てきたのであり、これらで使用さ
れた材料を硬度の観点から評価すると、焼入れ鋳鉄(第
1世代)のHv500〜600が最高であり、これより
硬い鋼材の使用や窒化表面処理はシューの摩耗を招いて
いた。また、低摩擦材料であるグラファイト皮膜も良好
な性能をもたらさなかった。ところが、極めて高い硬度
と低い摩擦係数をもつ非晶質硬質炭素薄膜(以下「DL
C膜」と言う)は斜板としての耐焼付性が非常に優れて
おり、従来の溶射Cu−Pb及びMoS2 の性質を兼備
しており、斜板自身及び相手材であるシューの過度の摩
耗を起こさないことが分かった。なお、シューは従来の
軸受鋼のみならず、炭素鋼であってもよい。DLC膜の
Hはオイルの吸着性を有し、その含有量は25〜50原
子%であることが好ましい。本発明で使用されるDLC
膜の硬さは、特に限定されないが、一般にHv=800
〜2000である。続いて、本発明の好ましい実施態様
を説明する。
【0007】DLC膜がさらにSiを含有すると摩擦係
数が低下して一層良好な性能が得られる。なお、Si含
有量は20原子%以下であることが好ましい。また、N
も同様の効果があり、その好ましい含有量は15原子%
以下である。本発明においてDLC膜の厚さは1〜10
μmであることが好ましい。膜厚が1μm未満であると焼
付きのおそれがあり、10μmを超えると密着性が低下
するので、上記範囲が好ましい。さらに、DLC膜の表
面粗さは0.1〜5.0μmRzであることが好まし
い。表面粗さ(Rz)が0.1μm未満であると密着性
が低下し、5.0μmを超えると相手材の摩耗が増大す
る。具体例としては、基材の粗さRz0.28μm、D
LC膜厚3μm、DLC膜粗さRz0.25μm;あるい
は基材の粗さRz0.28μm、DLC膜厚6μm、DL
C膜粗さRz0.23μmであり、DLC膜粗さは基材
の粗さを反映している。
【0008】従来からDLC膜と基板との密着性を高め
るために各種密着層が研究されているが、本発明に於い
てはかかる密着層を使用することが好ましく、特に非晶
質炭化けい素層もしくは母材の窒化層が密着層として好
ましい。
【0009】従来斜板は上記したように変遷している
が、本発明のDLC膜を被覆した斜板は最も古い焼入れ
鋳鉄斜板よりも格段と強度や耐摩耗性が低い鉄鋼、鋳鉄
などでも従来の斜板よりも優れた性能が得られる。鋳鉄
は、ねずみ鋳鉄などの鋳放し鋳鉄、まだら鋳鉄、球状化
黒鉛鋳鉄などである。本来、斜板式コンプレッサーの特
性はシューと斜板の総合的性能により決まるのであり、
この点従来技術も本発明も同じであるが、DLC膜を斜
板に使用すると斜板母材の要求特性レベルは極めて低く
なり、摺動材料とは言えないねずみ鋳鉄までも包含する
ことができる。また、斜板として、炭素鋼などの鉄鋼、
特に表面硬さがHv=100〜700である炭素鋼、従
来のAl−Si合金、即ち高Si含有Al合金の他に、
耐摩耗性のレベルが低いダイカストアルミニウム合金な
どを使用することができる。さらに、上記した鉄鋼、鋳
鉄、アルミニウム合金の表面を窒化することにより、さ
らに好ましいDLC密着力を得ることができる。上記し
た斜板にグラファイト皮膜、二硫化モリブデン皮膜、S
nめっきもしくはPbめっきなどを形成すると斜板にな
じみ面が形成されさらに好ましい耐焼付性を得ることが
できる。さらに、DLC皮膜は片側圧縮式コンプレッサ
ーの圧縮室側斜板面のみの被覆とすることができる。
【0010】本発明によると、シューは従来の軸受鋼の
みならず、炭素鋼、特に表面硬さHv=200〜700
を有する炭素鋼の他に、鋳鉄、アルミニウム合金又はチ
タン合金を使用することができる。また本発明によると
耐焼付性が向上するので、段落0003で説明したシュ
ー平坦面側の凸面形状加工を省略することができる。あ
るいはこれとは別の観点からシューの凸面高さを従来の
実績よりも高くすることができる。これはDLC斜板は耐
焼付性及び耐摩耗性が優れているからであり、またシュ
ーの凸面高さを大きくすると耐焼付性が向上する反面、
相手斜板への攻撃性が強まり、斜板が摩耗しやすくなる
が、この問題はDLC斜板では起こらないからである。
【0011】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
従来、斜板式コンプレッサーの斜板において最高性能を
達成していたCu−Pb溶射皮膜上にMoS2 コーティ
ングを施した2重皮膜に匹敵し、またこれを凌駕する性
能が得られる(請求項1〜5,10〜12)。このよう
な成果を達成しつつ、斜板材料選択の幅が広がり、安価
な材料でも使用することができる(請求項6〜9)。さ
らに従来公知の摺動材料皮膜(請求項13)を上層に施
すことにより、皮膜全体の寿命を延長することができ
る。加えて、相手材であるシューに対する要求も緩和さ
れる(請求項14〜15)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺田 幸美 愛知県豊田市緑ヶ丘3丁目65番地 大豊工 業株式会社内 Fターム(参考) 3H076 AA05 BB26 CC20 CC33 CC99 4K028 AA02 AB01 AB06 4K044 AA02 AA04 AA06 AB10 BA10 BA18 BA19 BB03 BB04 BB17 BC01 CA12 CA14

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 斜板式コンプレッサーのシューと摺動す
    る斜板において、斜板の摺動面を水素を含有する非晶質
    硬質炭素皮膜で被覆したことを特徴とする斜板式コンプ
    レッサの斜板。
  2. 【請求項2】 前記非晶質硬質炭素皮膜がさらにSiを
    含有する請求項1記載の斜板式コンプレッサの斜板。
  3. 【請求項3】 前記非晶質硬質炭素皮膜がさらに窒素を
    含有する請求項2記載の斜板式コンプレッサの斜板。
  4. 【請求項4】 前記非晶質硬質炭素皮膜の厚さが1〜1
    0μmである請求項1から3までの何れか1項記載の斜板
    式コンプレッサーの斜板。
  5. 【請求項5】 前記非晶質硬質炭素皮膜の表面粗さが
    0.1〜5.0μmRzであることを特徴とする請求項
    1から4までの何れか1項記載の斜板式コンプレッサー
    の斜板。
  6. 【請求項6】 前記母材が、炭素鋼、鋳鉄、鍛造アルミ
    ニウム合金もしくはダイキャストアルミニウム合金から
    なる請求項5記載の斜板式コンプレッサーの斜板。
  7. 【請求項7】 前記母材の鋳鉄がねずみ鋳鉄もしくは球
    状黒鉛鋳鉄である請求項7記載の斜板式コンプレッサー
    の斜板。
  8. 【請求項8】 前記母材の表面が窒化されていることを
    特徴と請求項7記載の斜板式コンプレッサーの斜板。
  9. 【請求項9】 前記母材の炭素鋼が表面硬度Hv100
    〜700を有する請求項6記載の斜板式コンプレッサー
    の斜板。
  10. 【請求項10】 前記非晶質硬質炭素皮膜と斜板母材の
    間に密着層が形成されていることを特徴とする請求項6
    から9までの何れか1項記載の斜板式コンプレッサーの
    斜板。
  11. 【請求項11】 前記密着層が非晶質けい素炭化物から
    なることを特徴とする請求項10記載の斜板式コンプレ
    ッサーの斜板。
  12. 【請求項12】 前記非晶質硬質炭素皮膜が、片側圧縮
    式コンプレッサーの圧縮室側斜板面に被覆されている請
    求項1から11までの何れか1項記載の斜板式コンプレ
    ッサーの斜板。
  13. 【請求項13】 前記斜板の摺動面にグラファイト皮
    膜、二硫化モリブデン皮膜、SnめっきもしくはPbめ
    っきが形成されていることを特徴とする請求項1から1
    2までの何れか1項記載の斜板式コンプレッサーの斜
    板。
  14. 【請求項14】 請求項1から13までの何れか1項記
    載の斜板と、炭素鋼、鋳鉄、アルミニウム合金又はチタ
    ン合金からなるシューとを組み合わせたことを特徴とす
    る斜板式コンプレッサー。
  15. 【請求項15】 シューの炭素鋼が表面硬度Hv200
    〜900を有する請求項14記載の斜板式コンプレッサ
    ー。
JP2000091973A 2000-03-29 2000-03-29 斜板式コンプレッサの斜板及び斜板式コンプレッサー Pending JP2001280236A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000091973A JP2001280236A (ja) 2000-03-29 2000-03-29 斜板式コンプレッサの斜板及び斜板式コンプレッサー

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000091973A JP2001280236A (ja) 2000-03-29 2000-03-29 斜板式コンプレッサの斜板及び斜板式コンプレッサー

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001280236A true JP2001280236A (ja) 2001-10-10

Family

ID=18607375

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000091973A Pending JP2001280236A (ja) 2000-03-29 2000-03-29 斜板式コンプレッサの斜板及び斜板式コンプレッサー

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001280236A (ja)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1510692A1 (en) 2003-08-21 2005-03-02 Nissan Motor Company, Limited Refrigerant compressor and friction control process therefor
WO2006117901A1 (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Taiho Kogyo Co., Ltd. 摺動装置
JP2007100517A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Mitsubishi Electric Corp 密閉形圧縮機
JP2007177313A (ja) * 2005-12-28 2007-07-12 Toyota Industries Corp 摺動部材
JP2007217768A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Toyota Industries Corp 圧縮機用摺動部品の製造方法および圧縮機用摺動部品
US7273655B2 (en) 1999-04-09 2007-09-25 Shojiro Miyake Slidably movable member and method of producing same
EP1953384A2 (en) 2007-01-30 2008-08-06 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Sliding member
JP2009052067A (ja) * 2007-08-24 2009-03-12 Sanden Corp 斜板式圧縮機
US7650976B2 (en) 2003-08-22 2010-01-26 Nissan Motor Co., Ltd. Low-friction sliding member in transmission, and transmission oil therefor
US7771821B2 (en) 2003-08-21 2010-08-10 Nissan Motor Co., Ltd. Low-friction sliding member and low-friction sliding mechanism using same
US8096205B2 (en) 2003-07-31 2012-01-17 Nissan Motor Co., Ltd. Gear
US8152377B2 (en) 2002-11-06 2012-04-10 Nissan Motor Co., Ltd. Low-friction sliding mechanism
US8206035B2 (en) 2003-08-06 2012-06-26 Nissan Motor Co., Ltd. Low-friction sliding mechanism, low-friction agent composition and method of friction reduction
US8575076B2 (en) 2003-08-08 2013-11-05 Nissan Motor Co., Ltd. Sliding member and production process thereof
KR20160000302A (ko) * 2014-06-24 2016-01-04 엘지전자 주식회사 리니어 압축기 및 그 제조방법

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7273655B2 (en) 1999-04-09 2007-09-25 Shojiro Miyake Slidably movable member and method of producing same
US8152377B2 (en) 2002-11-06 2012-04-10 Nissan Motor Co., Ltd. Low-friction sliding mechanism
US8096205B2 (en) 2003-07-31 2012-01-17 Nissan Motor Co., Ltd. Gear
US8206035B2 (en) 2003-08-06 2012-06-26 Nissan Motor Co., Ltd. Low-friction sliding mechanism, low-friction agent composition and method of friction reduction
US8575076B2 (en) 2003-08-08 2013-11-05 Nissan Motor Co., Ltd. Sliding member and production process thereof
US7771821B2 (en) 2003-08-21 2010-08-10 Nissan Motor Co., Ltd. Low-friction sliding member and low-friction sliding mechanism using same
EP1510692A1 (en) 2003-08-21 2005-03-02 Nissan Motor Company, Limited Refrigerant compressor and friction control process therefor
US7650976B2 (en) 2003-08-22 2010-01-26 Nissan Motor Co., Ltd. Low-friction sliding member in transmission, and transmission oil therefor
WO2006117901A1 (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Taiho Kogyo Co., Ltd. 摺動装置
US8136417B2 (en) 2005-04-27 2012-03-20 Taiho Kogyo Co., Ltd. Sliding device
JP2007100517A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Mitsubishi Electric Corp 密閉形圧縮機
JP4616140B2 (ja) * 2005-09-30 2011-01-19 三菱電機株式会社 密閉形圧縮機及び給湯機
JP2007177313A (ja) * 2005-12-28 2007-07-12 Toyota Industries Corp 摺動部材
JP4683288B2 (ja) * 2005-12-28 2011-05-18 株式会社豊田自動織機 摺動部材
JP2007217768A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Toyota Industries Corp 圧縮機用摺動部品の製造方法および圧縮機用摺動部品
EP1953384A2 (en) 2007-01-30 2008-08-06 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Sliding member
US7721642B2 (en) 2007-01-30 2010-05-25 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Sliding member
JP2009052067A (ja) * 2007-08-24 2009-03-12 Sanden Corp 斜板式圧縮機
KR102233605B1 (ko) * 2014-06-24 2021-03-30 엘지전자 주식회사 리니어 압축기 및 그 제조방법
KR20160000302A (ko) * 2014-06-24 2016-01-04 엘지전자 주식회사 리니어 압축기 및 그 제조방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001280236A (ja) 斜板式コンプレッサの斜板及び斜板式コンプレッサー
US8277952B2 (en) Sliding member for compressor
JP5101879B2 (ja) 摺動構造
US6289785B1 (en) Swash plate type compressor
JP2000120870A (ja) ピストンリング
JPH02130272A (ja) 斜板式圧縮機
JP2000265953A (ja) 圧縮機
JP4025832B2 (ja) 圧縮機
US6192784B1 (en) Swash plate compressor
JP2001271741A (ja) 斜板式コンプレッサのシュー及び斜板式コンプレッサー
JPS6145075B2 (ja)
JP2002005013A (ja) 斜板式圧縮機
JP2002317757A (ja) 容量可変型斜板式圧縮機における斜板
JP2001280497A (ja) アルミニウム合金製シリンダとピストンリングの組合せ
JP2003184743A (ja) 斜板式圧縮機用シューおよびそれが配設された斜板式圧縮機
JP2006057674A (ja) 摺動部材及びピストンリング
US5911809A (en) Cobalt-tin alloy coating on aluminum by chemical conversion
JP3007644B2 (ja) 斜板式圧縮機
JP4496662B2 (ja) 斜板式圧縮機における斜板
JP2000320673A (ja) 低フリクション炭素薄膜
JP2001011556A (ja) 摺動部材
JP4777533B2 (ja) コンプレッサの摺動部材
JP2002089440A (ja) 片側斜板式圧縮機
JPH0972288A (ja) 疲労強度に優れたスクロール部材及びスクロール型流体機械
JP2004176848A (ja) 非晶質硬質炭素被覆部材と鉄系部材の組み合わせ