JP2001276696A - ロールコータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コーティング樹脂の塗膜厚みの誤差の少ない
管理を可能にし、かつ形成されるパターン寸法のバラツ
キが小さく、微細なパターンの形成が可能となるロール
コータを提供する。 【解決手段】 基板６０に接する領域の表面に所定のピ
ッチで複数の円周方向の樹脂保有溝を設けたコーティン
グロール３０、４０と、樹脂保有溝にコーティング樹脂
５１を供給する樹脂受け５０とを備え、コーティングロ
ール３０、４０を基板６０に押圧して回転することによ
りコーティング樹脂５１を基板６０に塗布するロールコ
ータ１０であって、コーティングロール３０、４０の両
端部３１、４１に設けた第１の樹脂保有溝３２、４２を
中間部３３、４３に設けた第２の樹脂保有溝３４、４４
よりもコーティング樹脂５１の保有量が小さくなるよう
に形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプリント配
線基板の表面にコーティング樹脂を塗布して絶縁層を形
成するロールコータに関し、特にコーティングロールの
両端部からのコーティング樹脂のはみ出しを防止するも
のに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント配線基板等の基板の表面
又は表裏両面に絶縁層を形成する場合、感光性樹脂等の
コーティング樹脂を塗布して乾燥させている。コーティ
ング樹脂の塗布方法は、スクリーン印刷法、ブレードコ
ーティング法、カーテンコーティング法、ロールコーテ
ィング法等があるが、ロールコータを用いるロールコー
ティング法が塗膜厚みのバラツキが少なく、作業性が良
いため広く使われている。このロールコーティング法に
用いるロールコータは、図７に示すように、ゴム製のコ
ーティングロール１００の表面に全長にわたって同一形
状の円周方向に延びる複数の断面三角形の樹脂保有溝１
１０を設けている。樹脂保有溝１１０は、均一な溝ピッ
チと溝深さ、例えば溝ピッチＰ０が０．３６ｍｍ、溝深
さＨ０が０．３ｍｍ、溝角度７８°に形成され、樹脂供
給装置からこの樹脂保有溝１１０に感光性樹脂等の所望
のコーティング樹脂を充填し、保有させるようにしてい
る。そして、コーティングロール１００を基板に押し当
てて回転することにより、樹脂保有溝１１０に充填され
たコーティング樹脂を基板に転写し、基板上にコーティ
ング樹脂の塗膜を形成するものである。なお、所望とす
る塗膜厚みは、コーティングロール１００の溝ピッチ、
溝深さや溝角度等の溝形状を選ぶことにより調整するこ
とが可能である。また、塗膜厚みを厚くする場合は、塗
布及び乾燥工程を複数回繰り返す。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では、コーティングロール１００を基板に押し
当てた際に、コーティングロール１００がゴム製である
ために樹脂保有溝１１０が変形したり、樹脂供給装置と
コーティングロール１００との接触部分に設けた液漏れ
ストッパーの摩耗等により、コーティングロール１００
の幅より外側、すなわち、基板の中央部分の塗布領域よ
り両外側の部分（以下、非塗布領域という）にコーティ
ング樹脂がはみ出し、しかも非塗布領域の部分が盛り上
がった状態となることがあった。例えば、図８（Ａ）、
（Ｂ）は基板１２０の両側部にはみ出したコーティング
樹脂１３０の厚みを測定した結果を示している。これ
は、一辺が５００ｍｍの正方形の基板１２０上に、４７
５ｍｍのロール幅のコーティングロール１００でコーテ
ィングしたときの基板１２０の非塗布領域１２１、すな
わち基板１２０の両側から内側に１２．５ｍｍまでの部
分の塗膜厚みを測定した。その結果、コーティングロー
ル幅から基板１２０の非塗布領域１２１にコーティング
樹脂１３０がはみ出し、しかも基板１２０の塗布領域１
２２の塗膜厚みが３０μｍに対し、非塗布領域１２１の
塗膜厚みが５３〜１２９μｍの範囲で盛り上がり部Ａが
形成されていた。

【０００４】このコーティング樹脂１３０のはみ出し
は、塗膜厚みを重量で管理する場合、塗布量と塗膜厚み
の関係に大きな誤差を生じ、正確な塗膜厚みに管理する
ことが出来ないという問題があった。また、コーティン
グ樹脂１３０のはみ出しによる非塗布領域１２１の盛り
上がり部Ａは、塗布乾燥後の感光性樹脂被膜をパターン
マスクを介して露光する際に、パターンマスクの中間部
を浮き上がらせ、パターンマスクと樹脂被膜との密着不
良の原因となっていた。そのため、密着不良の部分は露
光時に紫外線等の光が漏れて、形成されるパターン寸法
のバラツキを大きくするばかりか、パターンに設けるビ
アの径にバラツキが生じたり、未開口のビアが発生した
りして、微細なパターン形成が困難になるという問題が
あった。更に、基板１２０にコーティング樹脂１３０を
塗布した後、搬送系で盛り上がり部Ａが削り取られて粉
塵となり、基板１２０を汚染するという問題もあった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、コー
ティング樹脂の塗膜厚みの誤差の少ない管理を可能に
し、かつ形成されるパターン寸法のバラツキが小さく、
微細なパターンの形成が可能となるロールコータを提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的に沿う第１の発
明に係るロールコータは、基板に接する領域の表面に所
定のピッチで複数の円周方向の樹脂保有溝を設けたコー
ティングロールと、樹脂保有溝にコーティング樹脂を供
給する樹脂受けとを備え、コーティングロールを基板に
押圧して回転することによりコーティング樹脂を基板に
塗布するロールコータであって、樹脂保有溝は、コーテ
ィングロールの両端部に設けた第１の樹脂保有溝と、両
端部の間の中間部に設けた第２の樹脂保有溝とからな
り、第１の樹脂保有溝を第２の樹脂保有溝よりもコーテ
ィング樹脂の保有量が小さくなるように形成した。これ
により、基板に塗布されたコーティング樹脂は塗布領域
内の両側部で塗膜厚みが薄くなり、基板の塗布領域内の
中央部に塗布されたコーティング樹脂が多少両側部に押
し出されても、基板の非塗布領域の部分にコーティング
樹脂がはみ出す量が減少し、非塗布領域の部分に盛り上
がりも生じない。

【０００６】前記目的に沿う第２の発明に係るロールコ
ータは、基板に接触する領域の表面の一部に所定のピッ
チで複数の円周方向の樹脂保有溝を設けたコーティング
ロールと、樹脂保有溝にコーティング樹脂を供給する樹
脂受けとを備え、コーティングロールを基板に押圧して
回転することによりコーティング樹脂を基板に塗布する
ロールコータであって、コーティングロールは、両端部
に平滑な円筒面を設け、両端部の間の中間部に樹脂保有
溝を設けた。これにより、基板の塗布領域内の両側部に
は、平滑な円筒面に付着したコーティング樹脂と中央部
に塗布されたコーティング樹脂が押し出されて塗布され
るだけなので、基板の非塗布領域の部分にコーティング
樹脂がはみ出すことがなく、非塗布領域の部分に盛り上
がりも生じない。

【０００７】

【発明の実施の形態】続いて、添付した図面を参照しつ
つ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発
明の理解に供する。ここに、図１（Ａ）、（Ｂ）はそれ
ぞれ本発明の第１の実施の形態に係るロールコータの平
面図、側断面図、図２は同ロールコータのコーティング
ロールの要部を拡大して示した正断面図、図３（Ａ）、
（Ｂ）はそれぞれ同ロールコータを用いて塗布した基板
の状態を示す正面図、平面図、図４は本発明の第２の実
施の形態に係るロールコータのコーティングロールの要
部を拡大して示した正断面図、図５（Ａ）、（Ｂ）はそ
れぞれ同ロールコータを用いて塗布した基板の状態を示
す正面図、平面図、図６は本発明の第１及び第２の実施
の形態に係るロールコータと従来例のロールコータとを
それぞれ使用して塗布した基板に設けたビアのボトム径
を比較した説明図である。

【０００８】図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、本発明
の第１の実施の形態に係るロールコータ１０は、間隔を
開けて設けた二つの平行なフレーム２０を設け、フレー
ム２０にそれぞれ固定された軸受２１を介して支持され
た、例えば硬度が５０°程度のゴムコーティングロール
からなる第１のコーティングロール３０を設けている。
また、第１のコーティングロール３０に隣接して、第１
のコーティングロール３０と同様の材質からなり、第１
のコーティングロール３０に平行に軸受２２によって支
持された第２のコーティングロール４０を設けている。
軸受２２は、バネあるいはエアシリンダー等の押圧手段
２３によって摺動可能にして、第２のコーティングロー
ル４０が第１のコーティングロール３０に向かって常に
押圧されるようにしている。第１及び第２のコーティン
グロール３０、４０の上部表面に近接させて樋状の樹脂
受け５０を設けて、例えば有機フィラーを含有するエポ
キシ系の感光性絶縁樹脂からなるコーティング樹脂５１
を収納させ、第１及び第２のコーティングロール３０、
４０の表面にコーティング樹脂５１をそれぞれ供給する
ようにしている。樹脂受け５０の両側面にはそれぞれ第
１及び第２のコーティングロール３０、４０の側面に接
触する樹脂ストッパー５２を設けて、コーティング樹脂
５１が第１及び第２のコーティングロール３０、４０の
側面から漏れるのを防いでいる。

【０００９】このような構成により、第１及び第２のコ
ーティングロール３０、４０との間に、絶縁層の表面に
例えばＣｕ箔からなる下地配線層を貼り付けた厚さが
０．１〜０．５ｍｍ程度の基板６０を挿入可能にしてい
る。そして、それぞれ回転駆動装置（図示しない）によ
って第１及び第２のコーティングロール３０、４０を互
いに逆方向に同期して回転することによって、基板６０
が第１及び第２のコーティングロール３０、４０の間に
挟まれながら、下方から上方に通過できるようにしてい
る。なお、第１及び第２のコーティングロール３０、４
０の長さは基板６０の幅よりも短く、例えば基板６０の
幅が５００ｍｍであれば第１及び第２のコーティングロ
ール３０、４０の長さを４７５ｍｍ程度にしている。ま
た、基板６０の下地配線層は絶縁層との密着性を向上さ
せるため、Ｃｕ−Ｎｉ−Ｐ針状無電解めっき等を施して
表面粗化してもよく、さらに表面粗化された下地配線層
の表面に厚さ０．５μｍの置換Ｓｎめっきを施した基板
６０を用いてもよい。

【００１０】第１のコーティングロール３０及び第２の
コーティングロール４０の基板６０に接触する領域の表
面にはそれぞれ両端面から、例えば４ｍｍの範囲の両端
部３１、４１に所定のピッチで円周方向に複数の第１の
樹脂保有溝３２、４２を設け、その間の中間部３３、４
３にそれぞれ第１の樹脂保有溝３２、４２とは溝ピッチ
の異なる複数の円周方向の第２の樹脂保有溝３４、４４
を設けている。すなわち、図２に示すように、中間部３
３、４３の第２の樹脂保有溝３４、４４の形状を、例え
ば溝ピッチがＰ＝０．３６ｍｍ、溝深さがＨ＝０．３０
ｍｍ、溝角度７８°の三角溝としたときに、両端部３
１、４１の第１の樹脂保有溝３２、４２の形状は、例え
ば溝ピッチをＰ／２＝０．１８ｍｍ、溝深さをＨ／２＝
０．１５ｍｍ、溝角度７８°の三角溝として、第１の樹
脂保有溝３２、４２の溝断面積を第２の樹脂保有溝３
４、４４より小さくしている。これにより、溝ピッチと
溝深さが大きい第２の樹脂保有溝３４、４４を設けた中
間部３３、４３には樹脂受け５０から供給されて付着し
たコーティング樹脂５１が多く保有され、溝ピッチと溝
深さが小さい第１の樹脂保有溝３２、４２を設けた両端
部３１、４１にはコーティング樹脂５１が少なく保有さ
れる。

【００１１】ここで、本発明の第１の実施の形態に係る
ロールコータ１０の動作について説明する。第１のコー
ティングロール３０及び第２のコーティングロール４０
を互いに接触させた状態で、樹脂受け５０にコーティン
グ樹脂５１を供給し、第１及び第２のコーティングロー
ル３０、４０を対向する部分が上方に移動するように互
いに逆方向に同期して回転させる。そうすると、コーテ
ィング樹脂５１は第１及び第２のコーティングロール３
０、４０の表面の第１の樹脂保有溝３２、４２及び第２
の樹脂保有溝３４、４４に充填され、保有される。この
状態で、例えばＣｕからなる下地配線層を有した基板６
０を第１及び第２のコーティングロール３０、４０の間
に下方から挿入する。第２のコーティングロール４０は
押圧手段２３によって第１のコーティングロール３０に
常に押圧されているので、第１及び第２のコーティング
ロール３０、４０の間に挿入された基板６０の表裏面は
それぞれ第１及び第２のコーティングロール３０、４０
の弾性変形した溝表面に密着し、第１及び第２のコーテ
ィングロール３０、４０の表面の第１の樹脂保有溝３
２、４２及び第２の樹脂保有溝３４、４４に保有された
コーティング樹脂５１は基板６０の表裏面にそれぞれ転
写され、塗布される。

【００１２】ここで、第１の実施の形態に係るロールコ
ータ１０によって塗布した基板６０の状態について調査
した結果を説明する。コーティング樹脂５１の塗布後、
５３℃の雰囲気で１５分乾燥したあと、基板６０に形成
された塗膜厚みを表面粗さ計により測定した。その結
果、図３（Ａ）に示すように、基板６０の塗布領域６１
の塗膜厚みが３０μｍであるのに対し、塗布領域６１の
両外側の非塗布領域６４に形成された盛り上がり部の厚
みは０〜７０μｍ程度となった。これにより、従来例の
盛り上がり部の厚みが５３〜１２９μｍであったのに比
較して、大きく減少したことがわかる。また、基板６０
の塗布領域６１に直径８６μｍのビア形成用のパターン
マスクを密着させ、６００ｍｊ／ｃｍ² の紫外線で露光
し、ポストキュア後に有機現像液で現像してビアを開口
させ、未開口ビアの発生率を次の要領で調査した。一辺
が５００ｍｍの正方形の基板６０から一辺が３０ｍｍの
ピースを７２個取り出し、各ピースに２０００個のビア
を設け、２枚分の基板６０について、１０倍の顕微鏡で
観察し、未開口ビアが発生したピースの割合を調べた。
その結果、未開口ビアの発生率は０．７％であった。な
お、同様の条件で行った従来例の未開口ビアの発生率は
８．３％であった。

【００１３】このように、第１の実施の形態に係るロー
ルコータ１０によれば、図３（Ｂ）に示すように、基板
６０の塗布領域６１内の両側部６２は第１の樹脂保有溝
３２、４２に保有された少ない樹脂量で塗布されるた
め、両側部６２の樹脂厚が第２の樹脂保有溝３４、４４
に保有された樹脂量で塗布された中央部６３よりも薄く
なる。基板６０の中央部６３に塗布されたコーティング
樹脂５１が多少両側部６２に押し出されても、非塗布領
域６４のコーティング樹脂５１のはみ出し量は減少し、
非塗布領域６４に盛り上がり部が生じない。したがっ
て、塗布乾燥後の感光性樹脂被膜をパターンマスクを介
して露光する際に、パターンマスクの中間部を浮き上が
らせることもなく、密着不良による露光時の紫外線等の
漏れによるパターン寸法のバラツキもなくなり、未開口
ビアの発生率も従来例に比べて極めて小さく、微細なパ
ターン形成が容易となる。

【００１４】図５（Ｂ）に示すように、本発明の第２の
実施の形態に係るロールコータ１１は、基本的構成は第
１の実施の形態に係るロールコータ１０と実質的に同じ
であるが、第２の実施の形態に係るロールコータ１１の
異なる点は、図４に示すように、第１及び第２のコーテ
ィングロール３００、４００の基板６０に接触する領域
のうち、両端部３１０、４１０に平滑な円筒面３２０、
４２０を設け、その中間部３３０、４３０に樹脂保有溝
３４０、４４０を設けたものである。ここで、第２の実
施の形態に係るロールコータ１１の動作について説明す
るが、実質的には第１の実施の形態に係るロールコータ
１０の動作と同じで、第１及び第２のコーティングロー
ル３００、４００の平滑な円筒面３２０、４２０に接触
する基板６０の塗布領域６１内の両側部６２に塗布され
る樹脂厚が第１の実施の形態に係るロールコータ１０の
場合に比べて薄く形成される。すなわち、第１のコーテ
ィングロール３００及び第２のコーティングロール４０
０を互いに接触させた状態で、樹脂受け５０にコーティ
ング樹脂５１を供給し、第１及び第２のコーティングロ
ール３００、４００を逆方向に同期して回転させる。そ
うすると、コーティング樹脂５１は第１及び第２のコー
ティングロール３００、４００の表面の樹脂保有溝３４
０、４４０に充填され、保有される。この状態で、基板
６０を第１及び第２のコーティングロール３００、４０
０の間に下方から挿入する。基板６０の表裏面はそれぞ
れ第１及び第２のコーティングロール３００、４００に
密着し、第１及び第２のコーティングロール３００、４
００の表面の樹脂保有溝３４０、４４０に充填されたコ
ーティング樹脂５１は基板６０の表裏面にそれぞれ転写
され、塗布される。このとき、塗布領域６１の中央部６
３に塗布されたコーティング樹脂５１の一部は両側部６
２に押し出されて薄い塗膜を形成する。

【００１５】ここで、第２の実施の形態に係るロールコ
ータによって塗布した基板６０の状態について調査した
結果を説明する。コーティング樹脂５１の塗布後、５３
℃の雰囲気で１５分乾燥したあと、基板６０の塗膜厚み
を表面粗さ計により測定した。その結果、図５（Ａ）に
示すように、塗布領域６１の中央部６３の塗膜厚みが３
０μｍであるのに対し、非塗布領域６４に盛り上がり部
は発生しなかった。また、未開口ビアの発生率を前記第
１の実施の形態に係るロールコータ１０において実施し
た場合と同じ要領で調査した。その結果、未開口ビアの
発生率は０．０％であった。このように、基板６０の塗
布領域６１内の両側部６２には平滑な円筒面３２０、４
２０に付着したコーティング樹脂５１と基板６０の中央
部６３に塗布されたコーティング樹脂５１の一部が押し
出されて塗布されるだけなので、図５（Ｂ）に示すよう
に、基板６０の非塗布領域６４にコーティング樹脂５１
がはみ出すことがなく、塗布領域６１の両側部６２に盛
り上がりも生じない。

【００１６】また、図６に示すように、第１及び第２の
実施の形態に係るロールコータ及び従来例のロールコー
タによってコーティング樹脂５１を塗布した基板６０に
ビアを形成して、ビアの開口寸法を調査した。調査要領
は、前記第１の実施の形態に係るロールコータによって
塗布された基板に形成されたビアの未開口ビアの発生率
を調査した場合と同じで、２枚の基板６０についてそれ
ぞれ１０個のビアを５０倍の顕微鏡で観察した。その結
果、ビアボトム径の形成状態を比較すると、第１の実施
の形態に係るロールコータの場合（実施例１）のビアボ
トム径のバラツキは８１±３μｍ、第２の実施の形態に
係るロールコータの場合（実施例２）は８０±４μｍ、
従来例の場合は７７±６μｍとなった。この結果より、
本発明の第１及び第２の実施の形態に係るロールコータ
によって基板にコーティング樹脂を塗布すると、パター
ンマスクと樹脂被膜との密着不良を無くし、露光時に紫
外線等の光の漏れを防止して、形成されるビアボトム径
等のパターン寸法のバラツキを従来例の場合より小さく
することが可能となることがわかる。

【００１７】なお、本発明に係るロールコータの形状
は、前記第１及び第２の実施の形態に係るロールコータ
の説明で示した形状に限定されるものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変更できる。特に、コーティングロ
ールの材質、硬度及び溝ピッチ、形状等は任意の材料又
は寸法を選択できる。また、前記第１及び第２の実施の
形態に係るロールコータは、２個のコーティングロール
の間に基板を通過させることにより、基板の表裏両面に
コーティング樹脂を塗布する構成として説明したが、１
個のコーティングロールを用いて基板の片面にのみコー
ティング樹脂を塗布する場合にも適用できる。しかもこ
の場合、基板を水平に配置した状態でコーティングロー
ルを上から押圧しながら回転することによりコーティン
グ樹脂を塗布することが可能である。

【００１８】

【発明の効果】請求項１記載のロールコータにおいて
は、コーティングロールの両端部に設けた第１の樹脂保
有溝を中間部に設けた第２の樹脂保有溝よりもコーティ
ング樹脂の保有量が小さくなるように形成しているの
で、基板に塗布されたコーティング樹脂は両端部で厚み
が薄くなり、基板の非塗布領域にコーティング樹脂がは
み出す量が減少し、非塗布領域に盛り上がりも生じな
い。したがって、コーティング樹脂の塗膜厚みの誤差の
少ない管理をすることができ、かつ形成されるパターン
寸法のバラツキが小さく、微細なパターンの形成が可能
となる。

【００１９】請求項２記載のロールコータにおいては、
コーティングロールは、両端部に平滑な円筒面を設け、
その中間部に樹脂保有溝を設けているので、基板の非塗
布領域にコーティング樹脂がはみ出すことがなく、非塗
布領域に盛り上がりが生じない。したがって、請求項１
記載のロールコータと同様に、コーティング樹脂の塗膜
厚みの誤差の少ない管理をすることができ、かつ形成さ
れるパターン寸法のバラツキが小さく、微細なパターン
の形成が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明の第１の実施
の形態に係るロールコータの平面図、側断面図である。

【図２】同ロールコータのコーティングロールの要部を
拡大して示した正断面図である。

【図３】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ同ロールコータを用
いて塗布した基板の状態を示す正面図、平面図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係るロールコータ
のコーティングロールの要部を拡大して示した正断面図
である。

【図５】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ同ロールコータを用
いて塗布した基板の状態を示す正面図、平面図である。

【図６】本発明の第１及び第２の実施の形態に係るロー
ルコータと従来例のロールコータとをそれぞれ使用して
塗布した基板に設けたビアのボトム径を比較した説明図
である。

【図７】従来例のロールコータのコーティングロールの
要部を拡大して示した正断面図である。

【図８】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ従来例のロールコー
タを用いて塗布した基板の状態を示す正面図、平面図で
ある。

【符号の説明】

１０、１１：ロールコータ、２０：フレーム、２１、２
２：軸受、２３：押圧手段、３０：第１のコーティング
ロール、３１：端部、３２：第１の樹脂保有溝、３３：
中間部、３４：第２の樹脂保有溝、４０：第２のコーテ
ィングロール、４１：端部、４２：第１の樹脂保有溝、
４３：中間部、４４：第２の樹脂保有溝、５０：樹脂受
け、５１：コーティング樹脂、５２：樹脂ストッパー、
６０：基板、６１: 塗布領域、６２：側部、６３：中央
部、６４：非塗布領域、３００：第１のコーティングロ
ール、３１０：端部、３２０：円筒面、３３０：中間
部、３４０：樹脂保有溝、４００：第２のコーティング
ロール、４１０：端部、４２０：円筒面、４３０：中間
部、４４０：樹脂保有溝

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に接触する領域の表面に所定のピッ
   チで複数の円周方向の樹脂保有溝を設けたコーティング
   ロールと、前記樹脂保有溝にコーティング樹脂を供給す
   る樹脂受けとを備え、前記コーティングロールを前記基
   板に押圧して回転することにより前記コーティング樹脂
   を前記基板に塗布するロールコータであって、前記樹脂
   保有溝は、前記コーティングロールの両端部に設けた第
   １の樹脂保有溝と、前記両端部の間の中間部に設けた第
   ２の樹脂保有溝とからなり、前記第１の樹脂保有溝を前
   記第２の樹脂保有溝よりも前記コーティング樹脂の保有
   量が小さくなるように形成したことを特徴とするロール
   コータ。
2. 【請求項２】 基板に接触する領域の表面の一部に所定
   のピッチで複数の円周方向の樹脂保有溝を設けたコーテ
   ィングロールと、前記樹脂保有溝にコーティング樹脂を
   供給する樹脂受けとを備え、前記コーティングロールを
   前記基板に押圧して回転することにより前記コーティン
   グ樹脂を前記基板に塗布するロールコータであって、前
   記コーティングロールは、両端部に平滑な円筒面を設
   け、前記両端部の間の中間部に前記樹脂保有溝を設けた
   ことを特徴とするロールコータ。