JP2001276522A - 廃液処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 廃液処理設備の清掃等に拘わらず加工機械の
連続処理が可能で、しかも新たな加工プロセスを導入し
た時に、既存の設備を利用して容易にこれに対処できる
ようにする。 【解決手段】 複数の加工機械１０から排出される廃液
を処理する廃液処理システムであって、加工機械１０か
ら排出される廃液１６を溜める中央容器１４に、該中央
容器１４の容量よりも小さい容量の中間容器４０と該中
間容器４０に戻る循環経路４２と該循環経路４２内に配
したポンプ４４とフィルタ４６からなる複数の廃液処理
ユニット３０を連結した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば研磨装置か
ら排出される砥液、砥粒及び研磨くずの混じった廃液等
の加工機械から排出される廃液（排水）を処理するのに
使用される廃液処理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば研磨装置等の加工機械から
排出される廃液は、一般にバッチ式で処理されていた。
図４は、この種の従来の一般的なバッチ式の廃液処理シ
ステムを示すもので、図４に示すように、各研磨装置
（加工機械）１０からの排水を排水ライン１２から中央
容器１４に導き、この中央容器１４内に溜められた廃液
１６をポンプ１８とフィルタ２０を備えた循環経路２２
内を循環させて回収水と濃縮水に分離し処理するように
していた。このポンプ１８とフィルタ２０は、中央容器
１４の容量に合わせた処理能力を有するように選択され
て使用されている。

【０００３】ここで、複数の研磨装置の内の複数台で新
たな研磨プロセスを行う場合には、図５に示すように、
中央容器１４ａにポンプ１８ａとフィルタ２０ａを配し
た循環経路２２ａを付設した廃液処理設備を別途設置
し、この中央容器１４ａと新たな研磨プロセスを行う研
磨装置１０ａとを排水ライン１２ａで繋ぐようにしてい
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例にあっては、清掃やメンテナンス等のために廃液処
理設備を停止する時に、加工機械による加工プロセスを
停止せざるを得ない場合があった。また、新しい加工プ
ロセスを導入した場合に、新たな廃液処理設備を別途設
けることは、投資額が大きくて負担が増大するばかりで
なく、既存の廃液処理設備の処理能力の一部が無駄にな
ってしまうという問題があった。

【０００５】なお、新たな研磨プロセスを行う研磨装置
からの排水であっても、今まで通りに処理することも行
われているが、これでは中央容器内で複数種類の廃液が
互いに混じり合ってしまい、今まで通りの回収水や濃縮
液のリサイクルができなくなってしまう。

【０００６】本発明は上記事情に鑑みて為されたもの
で、加工機械の連続処理が可能で、しかも新たな加工プ
ロセスを導入した時に、既存の設備を利用して容易にこ
れに対処できるようにした廃液処理システムを提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数の加工機械から排出される廃液を処理する廃液
処理システムであって、前記加工機械から排出される廃
液を溜める中央容器に、該中央容器の容量よりも小さい
容量の中間容器と該中間容器に戻る循環経路と該循環経
路内に配したポンプとフィルタからなる複数の廃液処理
ユニットを連結したことを特徴とする廃液処理システム
である。

【０００８】これにより、１つの廃液処理ユニットが停
止しても、他の廃液処理ユニットの中間容器に中央容器
から廃液を導いて処理することで、加工機械の連続運転
が可能となる。しかも、加工プロセスを変更した時に
は、新たな中央容器のみを別途設置し、この新たな中央
容器に既存の廃液処理ユニットを連結するだけで、これ
に対処することができる。

【０００９】請求項２に記載の発明は、前記各廃液処理
ユニットの中間容器に洗浄水ラインを接続したことを特
徴とする請求項１記載の廃液処理システムである。これ
により、洗浄ラインから任意の廃液処理ユニットの中間
容器に洗浄水を供給して、各中間容器を個別に洗浄する
ことができる。

【００１０】請求項３に記載の発明は、各種加工プロセ
スを行う加工機械群毎に区分した複数の中央容器を備
え、それぞれの加工機械群の負荷量に応じて前記各廃液
処理ユニットの中間容器へ供給する廃液量を切換えるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の廃液処理システ
ムである。これにより、異なる加工プロセスを行う加工
機械が混在している場合に、各加工プロセスを行う加工
機械からの排水が互いに混合してしまうことを防止しつ
つ、廃液をより効率的に処理することができる。

【００１１】請求項４に記載の発明は、前記加工機械は
研磨装置で、前記廃液は砥液、砥粒及び研磨くずを含む
ものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
に記載の廃液処理システムである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、研磨装置から排出される
砥液、砥粒及び研磨くずの混じった廃液（排水）を処理
するのに適用した本発明の第１の実施の形態の廃液処理
システムを示すもので、図４に示す従来例と同一部材に
は同一符号を付して説明する。

【００１３】図１に示すように、このシステムには、複
数の研磨装置（加工機械）１０から排出される廃液１６
を溜める中央容器１４と、この中央容器１４に連結した
複数の廃液処理ユニット３０が備えられている。そし
て、研磨装置１０と中央容器１４は排水ライン１２で、
中央容器１４と各廃液処理ユニット３０は複数に分岐し
た分岐ライン３２でそれぞれ結ばれ、この分岐ライン３
２の各分岐点の下流側に開閉弁３４が設けられている。

【００１４】各廃液処理ユニット３０には、前記中央容
器１４の容量の半分以下の容量の中間容器４０と、この
中間容器４０に戻る循環経路４２が備えられ、この循環
経路４２内にポンプ４４とフィルタ４６が配置されてい
る。ここで、このポンプ４４とフィルタ４６は、中間容
器４０の容量に合わせた処理能力を有するように選択さ
れて使用されている。また、フィルタ４６としては、例
えばセラミックフィルタや不織布のフィルタが使用され
ている。

【００１５】これにより、開閉弁３４を開閉すること
で、中央容器１４に溜められた廃液１６を任意の廃液処
理ユニット３０の中間容器４０に送り、各廃液処理ユニ
ット３０では、ポンプ４４を駆動して廃液１６を循環経
路４２に沿って循環させることで、独自に廃液を処理で
きるようになっている。

【００１６】更に、各廃液処理ユニット３０の中間容器
４０には、洗浄水タンク５０とポンプ５２を有する洗浄
水ライン５４が接続され、この洗浄水ライン５４の各中
間容器４０の入口付近には開閉弁５６が設けられてい
る。これによって、ポンプ５２を駆動した状態で開閉弁
５６を開閉することで、任意の中間容器４０に洗浄水を
送ってこれを洗浄できるようになっている。この洗浄水
としては、例えばシリカスラリの場合には、６０℃程度
に暖めたＫＯＨが使用される。また、濃度によって回収
水の中にＫＯＨが含まれている場合には、これをリサイ
クルすることも可能である。

【００１７】この実施の形態によれば、中央容器１４内
に溜められた廃液１６を任意の廃液処理ユニット３０で
独自に処理することができる。従って、例え１個の廃液
処理ユニット３０が洗浄やメンテナンス等で停止して
も、他の廃液処理ユニット３０で廃液を処理することが
でき、これによって、研磨装置１０の連続運転が可能と
なる。また、停止中の任意の廃液処理ユニット３０の中
間容器４０に洗浄水ライン５４から洗浄水を流して、こ
れを洗浄することができる。

【００１８】図２は、図１に示す廃液処理システムにお
いて、複数の研磨装置の内の複数台で新たな研磨プロセ
スを行う場合の対処例を示すものである。すなわち、こ
のような場合に、中央容器１４ａを別途設置し、この中
央容器１４ａと新たな研磨プロセスを行う研磨装置１０
ａとを排水ライン１２ａで、中央容器１４ａと既存の任
意の廃液処理ユニット３０とを開閉弁３４ａを有する分
岐ライン３２ａでそれぞれ繋ぐ。

【００１９】これにより、新たな廃液処理設備を別途設
けるようにした従来例に比べて、大幅な投資額の削減を
図り、しかも、既存の廃液処理ユニット３０の処理能力
を最大限に利用して、無駄を省くことができる。

【００２０】図３は、本発明の第２の実施の形態の廃液
処理システムを示す図で、これは、異なる研磨プロセス
を行う複数の研磨装置（加工機械）が混在している場合
に適するようにしたものである。つまり、異なる研磨プ
ロセスを行う研磨装置から排出される廃液を単一の中央
容器に溜めると、この中央容器内で複数種類の廃液が互
いに混じり合ってしまう。

【００２１】そこで、この実施の形態は、各研磨プロセ
スを行う研磨装置群１０_１，１０_２…毎に区分した複数
の中央容器１４_１，１４_２…を備え、研磨装置群１０_１
と中央容器１４_１とを排水ライン１２_１で、この中央容
器１４_１と各廃液処理ユニット３０とを開閉弁３４_１を
有する分岐ライン３２_１で結び、研磨装置群１０_２と中
央容器１４_２とを排水ライン１２_２で、この中央容器１
４_２と各廃液処理ユニット３０とを開閉弁３４_２を有す
る分岐ライン３２_２で結び、以下同様にしてそれぞれ結
び、各研磨装置群１０_１，１０_２…の負荷量に応じて各
廃液処理ユニット３０の中間容器４０へ入れる廃液量と
回数を開閉弁３４_１，３４_２…を介して切換えるように
したものである。

【００２２】これにより、異なる研磨プロセスを行う各
種研磨装置が混在している場合に、各研磨プロセスを行
う研磨装置からの排水が互いに混合してしまうことを防
止して、スラリの再利用の可能性を高め、しかも各廃液
処理ユニット３０をより有効に利用して、廃液をより効
率的に処理することができる。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の廃液処理ユニットを備え、この各廃液処理ユニッ
トで独自に廃液を処理することで、例え清掃やメンテナ
ンス等で１つの廃液処理ユニットを停止しても、他の廃
液処理ユニットで廃液を処理することができ、これによ
って、加工機械を連続運転することが可能となる。

【００２４】しかも、新たな加工プロセスに変更して
も、廃液処理設備自体を別途設置する必要がないので、
多大な投資をすることなく、従来の設備をそのまま用い
て対処することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の廃液処理システム
を示す図である。

【図２】図１の廃液処理システムにおいて、加工機械の
加工プロセスを変更した時の対処例の説明に付する図で
ある。

【図３】本発明の第２の実施の形態の廃液処理システム
を示す図である。

【図４】従来の廃液処理システムを示す図である。

【図５】図４の廃液処理システムにおいて、加工機械の
加工プロセスを変更した時の対処例の説明に付する図で
ある。

【符号の説明】

１０，１０ａ 研磨装置（加工機械） １０_１，１０_２ 研磨装置群 １２，１２ａ，１２_１，１２_２ 排水ライン １４，１４ａ，１４_１，１４_２ 中央容器 １６ 廃液 ３０ 廃液処理ユニット ３２，３２ａ，３２_１，３２_２ 分岐ライン ３４，３４ａ，３４_１，３４_２，５６ 開閉弁 ４０ 中間容器 ４２ 循環経路 ４４ ポンプ ４６ フィルタ ５０ 洗浄水タンク ５２ ポンプ ５４ 洗浄水ライン

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の加工機械から排出される廃液を処
   理する廃液処理システムであって、 前記加工機械から排出される廃液を溜める中央容器に、
   該中央容器の容量よりも小さい容量の中間容器と該中間
   容器に戻る循環経路と該循環経路内に配したポンプとフ
   ィルタからなる複数の廃液処理ユニットを連結したこと
   を特徴とする廃液処置システム。
2. 【請求項２】 前記各廃液処理ユニットの中間容器に洗
   浄水ラインを接続したことを特徴とする請求項１記載の
   廃液処理システム。
3. 【請求項３】 各種加工プロセスを行う加工機械群毎に
   区分した複数の中央容器を備え、それぞれの加工機械群
   の負荷量に応じて前記各廃液処理ユニットの中間容器へ
   供給する廃液量を切換えることを特徴とする請求項１ま
   たは２記載の廃液処理システム。
4. 【請求項４】 前記加工機械は研磨装置で、前記廃液は
   砥液、砥粒及び研磨くずを含むものであることを特徴と
   する請求項１乃至３のいずれかに記載の廃液処理システ
   ム。