JP2001276045A

JP2001276045A - カソードスキャン型ｘ線発生器及びｘ線ｃｔスキャナ

Info

Publication number: JP2001276045A
Application number: JP2000100171A
Authority: JP
Inventors: Katsuhiro Ono; 勝弘小野
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2000-04-03
Filing date: 2000-04-03
Publication date: 2001-10-09

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】小型で信頼性が良い超高速Ｘ線ＣＴスキャナ用
のカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使用した
超高速Ｘ線ＣＴスキャナを提供する。【解決手段】陰極の周回軌道に対向する面をもつ環状の
Ｘ線ターゲットの表面に、加速した電子ビームを入射し
て高速度で周回するＸ線を発生させることが出来る超高
速スキャン型Ｘ線ＣＴスキャナ用のカソードスキャン型
Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナであっ
て、陰極側回転体組立ＣＲ又は陰極給電機構ＳＬ１の回
転部分は液体金属潤滑剤で潤滑した動圧滑り軸受から成
る軸受機構ＡＢＧで回転自在に支承されている。真空容
器ＶＶ内部の回転部分は、液体金属潤滑剤を通して熱的
にも電気的にも真空容器外部と結合されており、低温度
に且つ定電位に保たれる。無振動で無騒音の超高速スキ
ャン型Ｘ線ＣＴスキャナ用のカソードスキャン型Ｘ線発
生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナを提供でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、小型でありなが
ら、高速度で周回するＸ線焦点からＸ線を放射して超高
速スキャンができるＸ線ＣＴスキャナ用のカソードスキ
ャン型Ｘ線発生器、及びこれを使った超高速スキャンが
できるＸ線ＣＴスキャナに関する。Ｘ線焦点を周回させ
る為の回転部分を真空容器内の小型の部品に限定するこ
とにより、大気中における機械的な回転機構を持たずに
Ｘ線焦点を披検体の周囲に高速度で安定して周回させて
被検体を瞬時に撮影して３次元の画像が得られる小型の
Ｘ線ＣＴスキャナを提供する。液体金属を潤滑剤とする
動圧滑り軸受を使って真空容器内で電子銃組立を周回さ
せると共に、真空容器内で周回している電子銃組立やそ
の他の部品に真空容器の外から通電している。

【０００２】

【従来の技術】従来のＸ線ＣＴスキャナについて、概略
の断面を表している図１を参照して説明する。従来のＸ
線ＣＴスキャナは、固定架台１００１と、軸受１００３
を介して回転する回転架台１００２とを有している。回
転架台１００２は制御器１００８を用いて制御された回
転駆動機構１００９によって空気中において回転させら
れる。Ｘ線を発生する為のＸ線管１００４や、これに高
電圧を供給する為の高電圧電源（図示せず）や、Ｘ線を
受け取る為の検出器１００６や、その他の電子回路１０
０７等をこの回転架台１００２に取り付けた構造になっ
ている。回転架台１００２に取り付けられた電子回路の
信号は図示しないスリップリングを介して固定架台１０
０１に伝達される。この為に回転架台１００２に取り付
けられた部品の質量の和が大きくなって、Ｘ線ＣＴスキ
ャナのスキャン速度を増そうとすると大きな遠心力が働
き、回転架台１００２に取り付けられた部品や回転架台
１００２自体が過大な応力に耐えられないのでスキャン
速度を高めることができない欠点を持っている。

【０００３】従来構造のＸ線ＣＴスキャナに使われるＸ
線管１００４は、直径が１０ｃｍ程度の円板状のＸ線タ
ーゲットをシリンダー状の真空容器の中で３０００ｒｐ
ｍ程度の高速度で回転させ、これに電子銃組立の陰極か
ら放射された電子を衝突させてＸ線１００５を一方向に
放出するものであり、全体が円柱状に構成されている。
多量のＸ線を発生させる必要があるＸ線ＣＴスキャナ用
のＸ線管では冷却器が必要であり、両者の質量の和は１
００Ｋｇ程度に大きくなり、体積も大きくなり、これを
取り付けて空気中で回転させる為の回転架台１００２は
大型になり、Ｘ線ＣＴスキャナ全体が大きくなって取り
扱いが不便であるだけでなく、設置スペースも大きくな
り、運転費用も多額であった。更に、近年になってＸ線
ＣＴスキャナの用途が広がるにしたがって血液や造影剤
の瞬時的な観測が求められてきた。これに応える為に
は、Ｘ線管１００４を高速度で被検体の周りで周回させ
る必要が生じている。これまでの最高の周回速度は２ｒ
ｐｓであり、これが限度と考えられている。一方では、
Ｘ線量を増して画質を高めて診断能を高めたいとの要求
があり、従来のＸ線管１００４の寸法と質量がますます
増大する必要がある。この相反する要求を同時に満たす
ことは従来の構造のＸ線ＣＴスキャナでは不可能であっ
た。

【０００４】一方で、スキャン速度を増す為に電子スキ
ャン方式のＸ線ＣＴスキャナが過去に開発された。これ
は、横倒しに置いた魔法瓶の形をした真空容器の底の位
置に固定した電子銃組立から電子を取り出し、電子を真
空容器内でおよそ１００ｃｍ走行させながら電磁的に電
子の位置を制御して被検体の周りを周回させた後に、こ
の電子を円弧状のＸ線ターゲットに入射させて半周回す
るＸ線を取り出すようになっている。この構造では、ス
キャン時間が０．１秒程度の高速スキャンができるが、
十分なＸ線量が得られないこと等に起因して画質が劣悪
であることや、Ｘ線の焦点が大き過ぎることや、安定な
動作を維持し難いことや、装置全体が大きくて取り扱い
難いことや、高価であること等の欠点を持ち、特殊な用
途に使用されているにすぎない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、Ｘ線ＣＴスキャナのスキャン時間を大幅に短縮し
て動きが速い被検体の撮影においてモーションアーチフ
ァクトを無くするとともに十分なレベルのＸ線量を確保
してフォトンノイズが少ない良質な画像を得ることがで
き、装置全体が小型であって取り扱い易いＸ線ＣＴスキ
ャナを提供することである。特に、これを実現する為に
真空中で信頼性よく使える軸受機構、及び真空中で回転
している部品に給電できる給電機構として、動作時に液
体である金属を潤滑剤として使用した環状の動圧滑り軸
受を開発し、真空容器内の回転体の回転バランスを自動
的に最適値に制御して無振動、無騒音の状態で使用でき
るカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ
線ＣＴスキャナを提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明では、Ｘ線ＣＴス
キャナの全ての回転部分をドーナツ状の真空容器の中に
取り付けて最小限度まで小さくし、空気中での機械的な
回転部分を無くすることにより超高速スキャンができる
Ｘ線ＣＴスキャナを実現している。真空容器はドーナツ
状に作られており、真空容器の中心軸近傍の大気中に在
る寝台上に被検体が置かれている。真空容器の中で周回
する電子銃組立の陰極から電子が放出され、陰極の周回
軌道に対向して真空容器内に取り付けてある環状のＸ線
ターゲットに加速された電子が衝突してＸ線を発生させ
る。発生したＸ線は真空容器の小径側の壁に設けられた
Ｘ線放出窓を通って大気中の被検体に照射される。被検
体を通過したＸ線は前記の真空容器と同軸状に大気中に
おいて配設された環状のＸ線検出器で検出され、コンピ
ュータで断層像に再構成されて表示装置に表示される。
真空容器内のＸ線焦点を周回させる為の回転部分は軽量
な電子銃組立などに限定されておりその体積が小さく、
全体としてほぼ対称な形状であるので回転周期が０．１
秒以下の高速回転をしても回転体にかかる応力が十分に
小さくでき、安定して高速回転を続けることができる。
また、同一の陰極側回転体組立に３個程度の電子銃組立
が取り付けられるのでスキャン時間が０．０３秒程度の
超高速スキャンが行える。

【０００７】ドーナツ型の真空容器の内部で電子銃部分
を周回させる方式のＸ線ＣＴスキャナは過去に提案され
ているがこれまでに実現していない。その理由の一つは
真空中において安定した回転を続ける手段と、回転体の
電位を安定して一定値に設定する確かな手段が見出され
なかった為である。本発明では、真空中で信頼性よく使
える軸受機構として、動作時に液体である液体金属を潤
滑剤として使用した環状の動圧滑り軸受を採用し、真空
中で回転部分を安定して回転させるようにしている。ま
た、液体金属潤滑剤を介して回転体の電位を一定値に設
定している。

【０００８】本発明を採用すれば、軸受面は真空容器に
熱的に連通しており、真空容器は外部から強制冷却され
ているので軸受での発熱があるにもかかわらず、軸受面
の温度が上がらず、熱膨張が少なく、長時間にわたって
安定な動作を行うことができる。更に、電子銃組立やＸ
線ターゲットなどのように発熱する部品も軸受ギャップ
内にある液体金属を介して強制冷却され、熱膨張等が抑
制される。

【０００９】しかしながら、本発明では例えばＸ線ター
ゲットや電子銃組立等のように過熱される部品が取り付
けてあるので、これらの分品の熱膨張等による回転バラ
ンスのずれを正確に補正することが重要である。本発明
では、回転体の振動を検出して、これが最小に成るよう
に真空容器の外部の制御器を使って、真空容器の内部で
回転している回転部分のバランスを補正できるようにな
っている。回転部分には、給電されるとその重心が半径
方向に変化するように構成した部品を取り付けておき、
これに真空容器の外部から、前記の動圧滑り軸受から成
る給電機構を介して給電することにより回転部分のバラ
ンスを調整できるようにした。本発明を採用すると、ど
のような場合でも自動的に回転バランスが良好な状態に
保たれる。真空中で回転する部分に真空容器の外から給
電する為には真空中で使えるスリップリングを使用する
必要があるが、この発明では、前記の動圧滑り軸受を開
発して、その潤滑剤として使っている液体金属の導電性
を利用して安定して回転体に給電している。

【００１０】

【発明の実施の形態】カソードスキャン型Ｘ線発生器は
ドーナツ型の真空容器で包まれており、この真空容器は
中心軸がほぼ水平になるように設置してあり、その中心
軸の近くの大気中に被検体（人体）が置かれており、真
空容器は被検体を取り囲むように配置されている。真空
容器は回転せずに固定されており、被検体との角度及び
水平方向の位置は変えることができるようになってい
る。この真空容器の内部でＸ線焦点が被検体の周りを周
回するように、Ｘ線焦点が移動しながら被検体に向って
Ｘ線が発生される。この周回するＸ線を使用することに
より大気中に回転機構を持たないＸ線ＣＴスキャナを実
現している。従来の構造のＸ線ＣＴスキャナでは実現が
不可能であった超高速スキャンが行えるとともに大出力
が得られるＸ線ＣＴスキャナ用のカソードスキャン型Ｘ
線発生器、及びこれを使った超高速Ｘ線ＣＴスキャナを
簡単な構造で安価にしかも信頼性良く実現した。

【００１１】

【実施例】以下に、図面を参照して、本発明の一実施例
によるカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使っ
たＸ線ＣＴスキャナの実施例を説明する。図２（Ａ）は
本発明のカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使
ったＸ線ＣＴスキャナの全体構造体の概略の断面図であ
り、図２（Ｂ）は本発明のカソードスキャン型Ｘ線発生
器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナの全体構造体を
図２（Ａ）のＣ’からＣの方向に見た概略の図面であ
る。図３は図２（Ａ）の拡大図であり、図４は本発明に
係わるカソードスキャン型Ｘ線発生器の、ある瞬間に鉛
直上方に位置する一部分の断面を拡大した図であり、あ
る瞬間に鉛直上方に位置した状態における電子銃組立周
辺の断面の一部を拡大して示している。同じ部分は同じ
記号を付している。図５は本発明のカソードスキャン型
Ｘ線発生器の主要部を拡大した断面図である。

【００１２】図２又は図３に示すように、ドーナツ型の
真空容器ＶＶは中心軸がほぼ水平になるように設置して
あり、図示しない真空ポンプによって排気口ＶＣから高
真空状態にいつも排気されている。図２から図４に示す
ように、この真空容器ＶＶの内部の真空空間に円筒状の
陰極側回転体組立ＣＲがあり、陰極側回転体組立ＣＲは
常温で液体である液体金属を潤滑剤とした動圧滑り軸受
から成る軸受機構ＣＢＧによって真空中で回転自在に支
承されており、これらの中心軸はＣＣ’に一致してい
る。陰極側回転体組立ＣＲには電子銃組立ＥＧが周方向
に分離して３個取り付けてある。図２から図５に示すよ
うに、陰極側回転体組立ＣＲには銅でできた円筒状のロ
ータＲＴ２が同軸状に取り付けられており、これと同軸
状に磁性体から成る磁路円筒ＭＴ２が取り付けられてい
る。図２（Ｂ）に示すように、円筒状のロータＲＴ２に
対向した状態で真空容器ＶＶの外側において真空容器壁
に沿って円弧状のステータＬＭ２が３個取り付けられて
いる。前記の円筒状のロータＲＴ２は前記の磁路円筒Ｍ
Ｔ２とステータＬＭ２で挟まれた状態に配設されてい
る。円筒状のロータＲＴ２はステータＬＭ２から真空容
器ＶＶの非磁性の材質で出来た壁を通して電磁誘導作用
を受けて回転トルクを与えられるので陰極側回転体組立
ＣＲは回転する。陰極側回転体組立ＣＲは動圧滑り軸受
から成る軸受機構ＣＢＧ内の液体金属潤滑剤を通して電
気的にも熱的にも真空容器ＶＶに接続されている。

【００１３】図４に示すように、電子銃組立ＥＧの先端
部には熱電子２を放出する陰極１が取り付けられてい
る。この陰極１の周回軌道に対向した状態で環状のＸ線
ターゲットＴＧが取り付けられている。図３又は図４に
示すように、Ｘ線ターゲットＴＧは円筒状の陽極側回転
体組立ＡＲに機械的に結合されている。陽極側回転体組
立ＡＲは常温で液体である液体金属を潤滑剤とした動圧
滑り軸受から成る軸受機構ＡＢＧを介して真空容器ＶＶ
の一部に回転自在に取り付けられている。陽極側回転体
組立ＡＲには銅管でできた円筒状のロータＲＴ１が取り
付けられており、これと同軸状に磁性体から成る磁路円
筒ＭＴ１が取り付けられている。円筒状のロータＲＴ１
に対向した状態で真空容器ＶＶの外側において真空容器
壁に沿って円弧状のステータＬＭ１が３個取り付けられ
ている。前記の円筒状のロータＲＴ１は前記の磁路円筒
ＭＴ１とステータＬＭ１で挟まれた状態に配設されてい
る。円筒状のロータＲＴ１はステータＬＭ１から真空容
器ＶＶの非磁性の材質で出来た壁を通して電磁誘導作用
を受けることによって回転トルクを与えられるので、陽
極側回転体組立ＡＲは回転する。Ｘ線ターゲットＴＧの
回転中心軸と前記の電子銃組立ＥＧに含まれる陰極１の
周回中心軸ＣＣ’とは一致しており、陰極１は常にＸ線
ターゲットＴＧの表面と対向した状態で両者は互いに反
対方向に回転する。

【００１４】図３又は図４を参照して陰極給電機構ＳＬ
１について説明する。図３又は図４に示す実施例では３
個の陰極給電機構ＳＬ１が同軸状に取り付けられてお
り、３本の独立した電流通路を形成している。これらの
図では陰極給電機構ＳＬ１の内部構造は簡略化して表し
ている。電子銃組立ＥＧの陰極１は、真空容器ＶＶ内の
真空空間で電子銃組立ＥＧの周回中心軸ＣＣ’と実質的
に同じ中心軸を持つ環状の陰極給電機構ＳＬ１を通して
高電圧端子ＨＴに電気的に接続されている。高電圧端子
ＨＴには真空容器ＶＶの外に在る図示しない高電圧電源
からおよそー１５０ＫＶの負の高電圧と電子銃組立ＥＧ
の陰極１を加熱する電力が供給される。それぞれの陰極
給電機構ＳＬ１は固定部と回転部を有し、固定部は絶縁
体２２０を介して電気絶縁を保ちながら真空容器ＶＶの
一部に機械的に固定されている。陰極給電機構ＳＬ１の
回転部と固定部は、液体金属を潤滑剤とする動圧滑り軸
受を構成しており、液体金属潤滑剤を介して両者間で通
電される。陰極給電機構ＳＬ１の回転部が電子銃組立Ｅ
Ｇに弾力性のある回転トルク伝達機構２１７で機械的に
連結されており、陰極給電機構ＳＬ１は、ある程度の偏
芯及び軸方向の変位を許容しながら電子銃組立ＥＧと共
に回転する。

【００１５】Ｘ線ターゲットＴＧは陽極側回転体組立Ａ
Ｒの軸受機構ＡＢＧ内に在る液体金属潤滑剤を介して電
気的にも熱的にも真空容器ＶＶに結合されている。真空
容器ＶＶは接地電位になっており、冷却水等で強制冷却
されている。従って、Ｘ線ターゲットＴＧは接地電位に
設定されると共に、Ｘ線ターゲットＴＧから発生した多
量の熱は液体金属潤滑剤を介して真空容器ＶＶの壁の部
分を流れる冷却水で効率良く取り去られる。Ｘ線ターゲ
ットＴＧと冷却水との間の熱抵抗は十分に小さいのでＸ
線ターゲットＴＧの温度は低く保たれる為に大きな入力
が許容され、極めて多量のＸ線を短時間に発生すること
ができる。

【００１６】電子銃組立ＥＧは、図２（Ｂ）に示すＦ
１，Ｆ２，Ｆ３のように陰極側回転体組立ＣＲの周囲に
等配に３個取り付けられている。ここで、Ｆ１，Ｆ２，
Ｆ３は前記の電子２が加速されてＸ線ターゲットＴＧに
衝突してできるＸ線の３つの焦点を示している。Ｘ線焦
点Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３は同時にＸ線を発生させながら図２
（Ｂ）に示すように同時に同じ方向に周回する。これら
のＸ線焦点の現在位置は陰極側回転体組立ＣＲに取り付
けられた角度検出機構（図示せず）によって検出され
る。Ｘ線焦点Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３から放射されたＸ線は、
図２（Ａ）又は図３又は図４に示すようにＸ線ターゲッ
トＴＧの内側にあるＸ線分布制限機構によってファン状
に整形され、陰極側回転体組立ＣＲに取り付けられたフ
ァン方向分布整形器ＷＦ（図４参照）を通過してファン
方向のＸ線強度分布を適正化された後に真空容器ＶＶの
Ｘ線放出窓ＸＷ（図４参照）を通過し、外部の環状のス
リットＳＬＴを通過した後に、被検体Ｍを通過してＸ線
ターゲットＴＧと同軸状に取り付けられた２個の環状の
Ｘ線検出器ＤＦ，ＤＢのそれぞれの対向面に到達する。

【００１７】図２（Ｂ）に示すように、Ｘ線焦点Ｆ１，
Ｆ２，Ｆ３から出たＸ線は、それぞれが検出器の対向す
る部分Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３に在る細分化された検出素子で
受信される。検出器の部分Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は互いに重
ならないように照射野範囲などが決められている。検出
器の部分Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３の合計は環状検出器のほとん
ど全体を占めるのでＸ線検出器ＤＦ，ＤＢ内の全ての検
出素子が有効に活用され、コスト対性能比が改善され
る。環状の検出器ＤＦ，ＤＢはそれぞれが中心軸ＣＣ’
の方向にも多数の検出素子列に分けられており、それぞ
れの検出素子で検出された信号は図示しない電子回路で
デジタル信号に変換され、図示しないコンピュータで断
層像に再構成され、図示しない画像表示装置に表示され
てマルチスライスのＣＴ画像を得ることができるように
なっている。

【００１８】ある瞬間に鉛直上方に位置した状態におけ
る電子銃組立周辺の断面の一部を拡大して図４に示して
おり、同じ部分は同じ記号を付している。図４におい
て、軸受機構ＣＢＧの内部構造は簡略化して表してい
る。陰極側回転体組立ＣＲは全体的に見ると概略回転対
称構造であり、これに取り付けられた電子銃組立ＥＧ等
の部品は小型で軽量であるので１０ｒｐｓ程度の高速回
転に十分耐えることができる。この場合、Ｘ線焦点が３
個であるのでスキャン時間は０．０３秒まで短縮するこ
とができる。Ｘ線ターゲットＴＧは直径が１２０ｃｍと
大型であり、Ｘ線焦点Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３と反対方向に回
転しており、前記のように強制冷却されているのでＸ線
ターゲットＴＧの表面温度が高くなり難く、大電力の入
力が許容されるので短時間に十分な量のＸ線を発生する
ことができ、超高速スキャンであるにもかかわらずフォ
トンノイズが少ない良質なＣＴ画像を得ることができ
る。また、マルチスライススキャンを実現しているので
Ｘ線の有効利用ができ、中心軸ＣＣ’と平行な方向の解
像度を高めることもできるだけでなく、広い範囲の撮影
を短時間で完了して３次元のリアルタイムＣＴ画像を得
ることができる。

【００１９】上記の構成のＸ線ＣＴスキャナを実現する
為に避けて通れないのは、前記の機器構成で実用できる
軸受機構ＣＢＧ、ＡＢＧ、及び前記の陰極給電機構ＳＬ
１の回転部分を真空中で回転自在に支承する動圧滑り軸
受を実現させることである。従来は、直径が５ｃｍ以下
である小型で且つ軸受の開口が片側のみにある動圧滑り
軸受は実用化されている。この場合には、動圧滑り軸受
の内部に挿入された液体金属潤滑剤は軸受の開口におけ
る表面張力の作用で軸受の開口より内側に留められてい
た。動圧滑り軸受の十分な動圧力を得る為には回転部分
と固定部分のギャップのサイズは数十μｍに限定されて
いた。例えば軸受の開口におけるギャップのサイズが５
０μｍの場合には液体金属潤滑剤の高低落差がおよそ１
８ｃｍを超えると、重力加速度による液体金属潤滑剤の
静圧力が軸受の開口における表面張力に打ち勝って液体
金属潤滑剤が外部に漏出する。このことは、軸受の回転
部分が回転を停止したときに深刻な問題となる。特に、
本発明の場合のように軸受の開口の周方向における高低
落差が１００ｃｍ程度の動圧滑り軸受は従来の技術では
実現不可能であった。

【００２０】図５を参照して動圧滑り軸受から成る軸受
機構ＣＢＧの実施例について説明する。図５は陰極側回
転体組立ＣＲと陰極側の軸受機構ＣＢＧの断面の一部を
拡大して表している。図５の上方の部分は実使用時にお
いて、ある瞬間に鉛直上方に位置する部分を示し、下方
の部分は同じ瞬間に鉛直下方に位置する部分を示してい
る。図５においては中央部を省略して短縮して表示して
いる。陰極側回転体組立ＣＲには軸受機構ＣＢＧの回転
部分である軸受回転体１０２が同軸状に取り付けてあ
る。軸受回転体１０２には軸受機構ＣＢＧの固定部分で
ある軸受固定体１０１がギャップを有して嵌め合わせて
ある。軸受固定体１０１の一部は真空容器ＶＶに機械的
及び熱的に結合されている。真空容器ＶＶは図示しない
支持架台に取り付けられており、設置床に対して適正な
姿勢及び水平方向の位置が保てるようになっている。軸
受固定体１０１と軸受回転体１０２とは互いに対向した
面を有し、この対向した面は第一の軸受ギャップ１０
３、１０８、第二の軸受ギャップ１０４，１０９、第三
の軸受ギャップ１０６、１１１を有している。これらの
軸受ギャップを構成する対向面の少なくとも一方にはヘ
リンボーン状の軸受溝がある。第一、第二、第三の軸受
ギャップ内には常温で液体である液体金属、好適にはガ
リウム、インジューム、鈴の合金からなる潤滑剤が充填
されており、それぞれの軸受ギャップは、ラジアル軸受
と、これを挟んで互いに距離をもって対向して取り付け
られた第一のスラスト軸受、及び第二のスラスト軸受の
それぞれの軸受ギャップに一致している。軸受ギャップ
１０３と１０８、軸受ギャップ１０４と１０９、軸受ギ
ャップ１０６と１１１とはそれぞれ同一のものであり、
異なる番号は示す位置の違いを表している。ここで、軸
受ギャップとは対向する面の少なくとも一方に前記の軸
受溝を有していることを示している。

【００２１】陰極側回転体組立ＣＲに回転トルクが与え
られた場合には、これらの軸受内に動圧力が生じるので
回転部分を浮上させて回転自在に支承することができ
る。軸受回転体１０２が回転している場合にはそれぞれ
の軸受ギャップ内の液体金属潤滑剤は、軸受の内部に閉
じ込める作用を受けるのでので軸受ギャップから外部の
真空空間に漏出することは無い。

【００２２】図５に示すように、前記第一のスラスト軸
受の軸受ギャップ１０４，１０９、第二スラスト軸受の
軸受ギャップ１０６，１１１を構成するそれぞれの対向
面は平面状になっており、第一のスラスト軸受の軸受ギ
ャップ１０４，１０９はラジアル軸受の軸受ギャップ１
０３，１０８と隣接しており、第二のスラスト軸受の軸
受ギャップ１０６、１１１はラジアル軸受の軸受ギャッ
プ１０３，１０８とに隣接している。言い換えると、第
一のスラスト軸受と第二のスラスト軸受が一連の軸受の
両端部に構成されている。第一のスラスト軸受には軸受
の実質的な境界となる軸受開口１２１、１２１’が、第
二のスラスト軸受には軸受の実質的な境界となる軸受開
口１２０、１２０’がそれぞれ隣接して設けられてい
る。

【００２３】軸受開口１２０、１２０’、及び軸受開口
１２１、１２１’において液体金属潤滑剤の表面に表面
張力が作用し、前記の軸受回転体１０２が回転を停止し
た場合にも液体金属潤滑剤が外部に漏出するのが防止さ
れる。重力加速度による液体金属内の静圧力は液体金属
の喫水線からの深さに比例する。言い換えると、鉛直下
方に位置するに従って液体金属内の静圧力がより大きい
ことになる。一方、前記の液体金属潤滑剤を押し戻す、
表面張力の圧力効果は軸受開口のギャップのサイズに反
比例する。従って、軸受開口１２０、１２０’、及び軸
受開口１２１、１２１’のギャップのサイズを十分に小
さくしておくと大きな直径を持つ動圧滑り軸受の内部か
ら液体金属が漏出するのを防止することができる。

【００２４】本発明に使用される第一のスラスト軸受と
第二のスラスト軸受の間隔は１０ｃｍ以下であり、軸受
の温度が低いので、熱膨張の影響を小さく保つことがで
き、スラスト軸受の軸受ギャップのサイズを十分に小さ
く保つことができる。また、軸受ギャップを構成する対
向面は回転中心軸ＣＣ’の方向に垂直であるので遠心力
の影響を無視できる。更に、スラスト軸受の軸受面は平
面であるので加工精度を十分に高めることも容易であ
り、軸受ギャップのサイズを高精度に小さな値の保つこ
とは容易にできる。軸受開口をスラスト軸受の端部に設
けると、軸受開口のギャップのサイズはスラスト軸受の
軸受ギャップのサイズと同じ程度に小さくできる。例え
ば、軸受開口のギャップのサイズを１７μｍに保った場
合には、１２０cm以上の高低差がある液体金属潤滑剤の
静圧力に打ち勝つ表面張力の圧力効果を発生させること
ができる。従って、真空空間との全ての境界をこのよう
にギャップのサイズが小さいスラスト軸受の端部にある
軸受開口１２０、１２０’、及び軸受開口１２１、１２
１’に限定することにより簡単に前記の液体金属を軸受
機構ＣＢＧの内部に閉じ込めることができ、液体金属が
漏出しない動圧滑り軸受を提供することができる。

【００２５】軸受回転体１０２が十分な高速度で回転し
ている場合には前記のラジアル軸受、第一、第二のスラ
スト軸受において比較的大きな軸受損失が発生するが、
軸受固定体１０１は外部から強制冷却されている真空容
器ＶＶに熱的にも結合されているので、低い温度に保た
れる。軸受回転体１０２は、ラジアル軸受、第一、第二
のスラスト軸受の軸受ギャップ内に在る液体金属を介し
て軸受固定体１０１に熱的に結合されており、十分に低
い温度に保たれる。陽極側回転体組立ＡＲには同様の構
造の軸受機構ＡＧＢが取り付けてあり同様に作動する
が、軸受機構ＣＧＢと同様であるので説明を省略する。

【００２６】次に陰極側回転体組立ＣＲの回転バランス
の自動制御について説明する。図２及び図３に示すよう
に、陰極側回転体組立ＣＲには、回転中心軸ＣＣ’に対
して電子銃組立ＥＧに対向する位置に、周方向に等配に
３個の陰極バランス可変機構２３０が取り付けてある。
この陰極バランス可変機構２３０は、例えば、棒状の金
属と、この金属棒を過熱するヒーターとで出来ており、
このヒーターで過熱されることにより金属棒が陰極側回
転体組立ＣＲの半径方向に膨張してその重心の位置を変
化させることによって陰極側回転体組立ＣＲの回転バラ
ンスを変化させることができるようになっている。ま
た、陰極バランス可変機構２３０は電磁石と可動部分で
構成しておき、可動部分の移動によって陰極側回転体組
立ＣＲの回転バランスを変化させるようにしても良い。
要は、この部分に通電される電流又は電力の強弱によっ
てバランスの変化が支配されるようになっておれば良
い。

【００２７】上記の陰極バランス可変機構２３０には、
陰極側回転体組立ＣＲと共に回転している状態におい
て、陰極バランス調整用給電機構ＳＬ３を介して電流又
は電力が真空容器の外部から供給される。図２、図３、
図４に示すように、環状の陰極バランス調整用給電機構
ＳＬ３は、陰極側回転体組立ＣＲと同軸的に、真空容器
ＶＶの内部に取り付けられている。この陰極バランス調
整用給電機構ＳＬ３は前記の陰極給電機構ＳＬ１と同じ
原理及び同じ構造と成っており、これを構成している軸
受機構は、上記の軸受機構ＣＢＧと同じ構造に成ってい
るので説明を省略する。陰極バランス調整用給電機構Ｓ
Ｌ３の回転部は、弾力性のある回転トルク伝達機構２３
１で陰極側回転体組立ＣＲに機械的に結合されており、
ある程度の偏芯及び中心軸方向の変位を許容した状態で
陰極側回転体組立ＣＲと共に回転する。この回転部分
は、前記の陰極バランス可変機構２３０に電気的に接続
されている。これらの回転部と固定部は、これらの間に
在る前記の液体金属潤滑剤を介して真空容器ＶＶの中で
導通している。陰極バランス調整用給電機構ＳＬ３の固
定部は絶縁体２３２を介して真空容器ＶＶに固定されて
おり、真空容器ＶＶに取り付けられた図示しない電流導
入端子を介して真空容器ＶＶの外側に導通している。

【００２８】図２から図４に示す実施例では陰極バラン
ス調整用給電機構ＳＬ３が同軸的に２個取り付けられて
いる。前記の軸受機構ＣＢＧも通電機構の役割を持って
おりリターン回路を形成している。これらを合わせると
２個の陰極バランス可変機構２３０を独立に制御できる
ことになる。予め、特定の１個の陰極バランス可変機構
２３０のバランスを狂わせておき、残りの２個の陰極バ
ランス可変機構２３０を自動制御することにより回転バ
ランスを良好な状態に保つように構成している。回転バ
ランスの検出は、例えば渦電流を検出して成る近接セン
サーを陰極側回転体組立ＣＲの近接させて真空容器ＶＶ
に取り付けてもよいし、真空容器ＶＶの振動を検出して
も良い。このようにして検出された回転アンバランス量
を、真空容器ＶＶの外部に接続された図示しない制御器
に入力し、その出力を前記の電流導入端子に導くことに
よって自動的に回転アンバランスを補正できる。

【００２９】陽極側回転体組立ＡＲの回転バランスの自
動制御は、上記の陰極側回転体組立ＣＲの回転バランス
の自動制御と全く同じ方法で行っているので説明を省略
する。図面においても同じ理由で省略しているが、実際
には上記と同様な部品が取り付けてあることを理解され
たい。

【００３０】本発明のカソードスキャン型Ｘ線発生器、
及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナではＸ線ターゲット
ＴＧや電子銃組立ＥＧなどのように作動時に１０００℃
を越える高温度になる部分が在り、しかも陽極側回転体
組立ＡＲ又は陰極側回転体組立ＣＲの周方向に温度差が
生じるので動作中に回転バランスが狂いやすい。特に、
Ｘ線の曝射条件が変更されて、Ｘ線ターゲットＴＧに入
射される電子流のパワーが変化したときに陽極側回転体
組立ＡＲの回転バランスが変化しやすい。しかしなが
ら、本発明を採用することにより、如何なる条件におい
ても真空容器内で回転している部分全ての回転バランス
をいつの時点においても極めて良好な状態に保つことが
出来て、無振動で無騒音のカソードスキャン型Ｘ線発生
器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナを提供すること
ができる。

【００３１】軸受回転体１０２が十分な高速度で回転し
ている場合には前記のラジアル軸受、第一のスラスト軸
受、第二のスラスト軸受において比較的大きな軸受損失
が発生するが、軸受固定体１０１は、外部から強制冷却
されている真空容器ＶＶに熱的にも結合されているの
で、低い温度に保たれる。軸受回転体１０２は、ラジア
ル軸受、第一のスラスト軸受、第二のスラスト軸受のそ
れぞれの軸受ギャップ内に在る液体金属を介して軸受固
定体１０１に熱的に結合されており、十分に低い温度に
保つことができる。また、軸受回転体１０２には陰極側
回転体組立ＣＲが機械的に結合してあり、陰極側回転体
組立ＣＲには電子銃組立ＥＧなどの発熱体が取り付けて
ある。特に、陽極側の軸受機構ＡＧＢでは多量の熱を発
生するＸ線ターゲットＴＧから多量の熱が流入する。こ
れらの場合でも、上記の理由により軸受部分の温度を十
分に低く保つことができる。

【００３２】本発明を実施例に関連して説明したが、本
発明は、ここに例示した実施例の構造及び形態に限定さ
れるものではなく、本発明の精神及び範囲から逸脱する
ことなく、いろいろな実施形態が可能であり、いろいろ
な変更及び改変を加えることができることを理解された
い。例えば、この発明では電子銃組立が３個取り付けて
あるが１個でも３個以上でも良い。また、この発明では
陰極側回転体組立ＣＲとＸ線ターゲットＴＧの両方を回
転させる構造を示しているが、Ｘ線ターゲットＴＧ及び
これに繋がっている部分を固定にした構造のカソードス
キャン型Ｘ線発生器及びＸ線ＣＴスキャナを含む事は勿
論である。また、上記の実施例では常温で液体である液
体金属を潤滑剤として使用した例を示しているが、やや
高い融点を持っており常温で固体であっても動作の前に
加熱して液化させてから動作させれば同じ効果が得られ
ることは勿論である。更に、前記のＸ線ターゲットから
発生したＸ線を前記の真空容器の外に取り出す為のＸ線
放出窓は真空容器と一体になっていても、真空容器の一
部として構成されていてもこの部分でのＸ線の減衰率が
小さければＸ線放出窓と見なすことが出来るのは勿論で
ある。真空容器ＶＶは回転対称な形状でなくても良い事
は勿論である。真空容器ＶＶの中心軸と陰極側回転体組
立ＣＲ又は陽極側回転体組立ＡＲの中心軸がある程度ず
れていても良い事は勿論である。Ｘ線ターゲットＴＧが
分割して構成されており、それぞれの分割された部分に
隙間があっても良い事は勿論である。陰極給電機構ＳＬ
１の回転部分は、この陰極給電機構ＳＬ１の軸受機構を
構成する軸受回転体そのものであっても良い事は勿論で
ある。陰極給電機構ＳＬ１は、軸受機構ＣＢＧと一体に
構成されていても良い事は勿論である。尚、本発明で
は、ギャップのサイズとは、ギャップを構成する対向面
の一方の面上の任意の点から、このギャップを構成する
対向面の他方の面への最短の距離を意味している。

【００３３】この発明は、これまで述べてきたように超
高速スキャンができるＸ線ＣＴスキャナを実現させるも
のであるが、次のように小変更することにより周回中心
軸方向に向かって全周囲方向から電子線を照射する電子
線照射装置に応用することができる。即ち、前記の実施
例で説明した機器構成からＸ線ターゲット及びこれに関
する部分と、Ｘ線のＸ線分布制限機構及びファン方向分
布整形器ＷＦ及びその他のＸ線に関する部品を省略し
て、Ｘ線放出窓ＸＷを薄いチタン板から成る電子線放出
窓に変更し、電子銃組立ＥＧから電子を放出する方向を
電子線放出窓の方向に変えるだけでそのまま実用にな
る。これを使用すると、プラスチックやガラスやその他
の改質処理に使用できて工業的に大きな効果を得る電子
線照射装置を提供することができる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のカソード
スキャン型Ｘ線発生器を採用すると、回転する部分を真
空容器内部の概略回転対称な構造体に軽い部品を取り付
けた構造にできるので遠心力の影響が少なくなり、例え
ばスキャン時間が０．０３秒の超高速スキャン型Ｘ線Ｃ
Ｔスキャナを簡単な構造で安価に実現させることができ
る。特に、複数のＸ線焦点から同時に短時間に多量のＸ
線を発生することができ、フォトンノイズが少ない十分
に良質な画像を得ることができる。発生したＸ線は環状
の面検出器で有効に受信され、広い範囲の領域における
多数の断面を瞬時に撮影することができ、このデータを
使用して被検体の３次元の内部構造を瞬時に検査できる
ようになる。その為に例えば人間の心臓のように動きが
速い部分が被検体の内部にあっても、これを忠実に即時
性をもって撮影できるＸ線ＣＴスキャナを提供すること
ができる。軸受機構には液体金属を潤滑剤とした動圧滑
り軸受を採用しているので真空中で長時間にわたって安
定に使用できるだけでなく、回転している部分の電位を
一定に保つことができて微小放電などの不安定な現象の
発生を防止できる。更に、動圧滑り軸受を通して内部で
発生した熱を有効に真空容器の外部に導いて冷却するこ
とができる。特に、回転バランスを如何なる動作条件に
おいても如何なる時点においても良好な状態に保つこと
が出来て無振動で無騒音の状態に保つことができる。外
部に機械的な回転機構がなく、これに関連した電源や電
子回路は静止状態で使用できるので全体として信頼性が
よく、Ｘ線ＣＴスキャナ全体がコンパクトになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のＸ線ＣＴスキャナの概略の断面を表す図
である。

【図２】本発明に係わるカソードスキャン型Ｘ線発生
器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナの全体構造体の
主要部の概略の断面及び正面図である。

【図３】本発明に係わるカソードスキャン型Ｘ線発生
器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナの全体構造体を
表す概略の断面図であり、図２（Ａ）の拡大図である。

【図４】本発明に係わるカソードスキャン型Ｘ線発生器
の、ある瞬間に鉛直上方に位置した一部分の断面を拡大
した図である。

【図５】本発明に係わるカソードスキャン型Ｘ線発生器
の主要部である陰極側回転体組立の部分を拡大した断面
図である。

【符号の説明】

ＡＢＧ陽極側の軸受機構ＡＲ陽極側回転体組立Ｂ寝台ＣＢＧ陰極側の軸受機構ＣＲ陰極側回転体組立ＤＢ後方検出器組立ＤＦ前方検出器組立Ｄ１検出器ＤＦ，ＤＢの一部Ｄ２検出器ＤＦ，ＤＢの一部Ｄ３検出器ＤＦ，ＤＢの一部ＥＧ電子銃組立Ｆ１Ｘ線焦点Ｆ２Ｘ線焦点Ｆ３Ｘ線焦点ＨＴ高電圧端子ＬＭ１円弧状のステータＬＭ２円弧状のステータＭ被検体ＭＴ１磁路円筒ＭＴ２磁路円筒ＲＴ１円筒状のロータＲＴ２円筒状のロータＳＬ１陰極給電機構ＳＬ３陰極バランス調整用給電機構ＳＬＴスリットＴＧＸ線ターゲットＶＣ排気口ＶＶ真空容器ＷＦファン方向分布整形器ＸＷＸ線放出窓１陰極２電子ビーム１０１軸受固定体１０２軸受回転体１０３ラジアル軸受ギャップの鉛直上方部分１０４第一スラスト軸受の軸受ギャップの鉛直上
方部分１０５端部ギャップの鉛直上方部分１０６第二スラスト軸受の軸受ギャップの鉛直上
方部分１０７端部ギャップの鉛直上方部分１０８ラジアル軸受ギャップの鉛直下方部分１０９第一スラスト軸受の軸受ギャップの鉛直下
方部分１１０端部ギャップの鉛直下方部分１１１第二スラスト軸受の軸受ギャップの鉛直下
方部分１１２端部ギャップの鉛直下方部分１２０軸受開口の鉛直下方部分１２０’ 軸受開口の鉛直上方部分１２１軸受開口の鉛直下方部分１２１’ 軸受開口の鉛直上方部分２１７回転トルク伝達機構２２０絶縁体２３０陰極バランス可変機構２３１回転トルク伝達機構２３２絶縁体１００１従来のＸ線ＣＴスキャナの固定架台１００２従来のＸ線ＣＴスキャナの回転架台１００３従来のＸ線ＣＴスキャナの軸受１００４従来のＸ線ＣＴスキャナのＸ線管１００５従来のＸ線ＣＴスキャナのＸ線１００６従来のＸ線ＣＴスキャナの検出器１００７従来のＸ線ＣＴスキャナの電子回路１００８従来のＸ線ＣＴスキャナの制御器１００９従来のＸ線ＣＴスキャナの回転駆動機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部を真空の状態に保持して真空空間を
形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内
部の真空空間において真空容器の中心軸と同軸的に回転
できるように支承された陰極側回転体組立と、この陰極
側回転体組立の回転バランスを可変にできる陰極バラン
ス可変機構と、この陰極バランス可変機構に前記の真空
容器の外部から給電する為の陰極バランス調整用給電機
構と、前記の陰極側回転体組立の一部に取り付けられた
電子銃組立と、この電子銃組立に取り付けられており電
子を放出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部
から給電する為の陰極給電機構と、前記の陰極の周回軌
道を含む面と対面して取り付けられた環状のＸ線ターゲ
ットと、このＸ線ターゲットの表面で発生したＸ線を前
記の真空容器の外に取り出す為のＸ線放出窓と、前記の
陰極側回転体組立に回転力を与える回転駆動機構とを有
して構成されており、前記の陰極バランス可変機構に前
記の陰極バランス調整用給電機構を通じて前記の真空容
器の外部から給電することによって真空容器内で回転し
ている前記の陰極側回転体組立の回転バランスが調整で
きるようになっていることを特徴とするカソードスキャ
ン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項２】内部を真空の状態に保持して真空空間を
形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内
部の真空空間において真空容器の中心軸と同軸的に回転
できるように支承された陽極側回転体組立と、この陽極
側回転体組立の回転バランスを可変にできる陽極バラン
ス可変機構と、この陽極バランス可変機構に前記の真空
容器の外部から給電する為の陽極バランス調整用給電機
構と、前記の陽極側回転体組立に取り付けられた環状の
Ｘ線ターゲットと、このＸ線ターゲットの表面に対向し
た軌道を成して周回できるように取り付けられた電子銃
組立と、この電子銃組立に取り付けられており電子を放
出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部から給
電する為の陰極給電機構と、前記のＸ線ターゲットの表
面で発生したＸ線を前記の真空容器の外に取り出す為の
Ｘ線放出窓と、前記の陽極側回転体組立に回転力を与え
る回転駆動機構とを有して構成されており、前記の陽極
バランス可変機構に前記の陽極バランス調整用給電機構
を通じて前記の真空容器の外部から通電することによっ
て真空容器内で回転している前記の陽極側回転体組立の
回転バランスが調整できるようになっていることを特徴
とするカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使っ
たＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項３】前記の陰極側回転体組立又は前記の陽極
側回転体組立を真空容器内で回転自在に支承する軸受機
構と、前記の陰極バランス調整用給電機構又は前記の陽
極バランス調整用給電機構は、これらの回転部分を真空
容器内で回転自在に支承する軸受機構を有しており、こ
れらの軸受機構の少なくとも一つの軸受機構は動作時に
液体である液体金属を潤滑剤とした動圧滑り軸受を有し
ており、この動圧滑り軸受はギャップを有して対向する
軸受面を有し、これらの軸受面の少なくとも一方にはヘ
リンボーン状の軸受溝が設けられていることを特徴とす
る特許請求項１または２のいずれか１つに記載のカソー
ドスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴス
キャナ。
【請求項４】前記の陰極バランス可変機構又は前記の
陽極バランス可変機構は、それぞれ前記の陰極側回転体
組立又は前記の陽極側回転体組立に取り付けられた物体
の熱膨張又は電磁的変位を用いて構成されていることを
特徴とする特許請求項１から３のいずれか１つに記載の
カソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線
ＣＴスキャナ。
【請求項５】前記の陰極バランス可変機構又は前記の
陽極バランス可変機構はそれぞれ複数個設けられてお
り、これらを前記の真空容器の外部から自動制御するこ
とにより、前記の陰極側回転体組立又は前記の陽極側回
転体組立の周方向のどの位置の回転アンバランスも自動
的に修正できるようにしたことを特徴とする特許請求項
３または４のいずれか１つに記載のカソードスキャン型
Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項６】前記の陰極側回転体組立又は前記の陽極
側回転体組立は、予め既知の方向に回転バランスがずら
してあり、前記の陰極バランス可変機構又は前記の陽極
バランス可変機構が作動することによって回転バランス
が取れるように設定されていることを特徴とする特許請
求項３から５のいずれか１つに記載のカソードスキャン
型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項７】前記のＸ線ターゲット又は前記の電子銃
組立の熱膨張に起因する回転アンバランスを修正できる
ように制御したことを特徴とする特許請求項１から５の
いずれか１つに記載のカソードスキャン型Ｘ線発生器、
及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項８】前記の陰極バランス可変機構又は前記の
陽極バランス可変機構を前記の真空容器の外部から制御
して前記の陰極側回転体組立又は前記の陽極側回転体組
立の回転バランスが予め決められた許容値内にあること
を確認した後に、前記の陰極側回転体組立又は前記の陽
極側回転体組立の回転速度を高めるように制御したこと
を特徴とする特許請求項１から６のいずれか１つに記載
のカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ
線ＣＴスキャナ。
【請求項９】内部を真空の状態に保持して真空空間を
形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内
部の真空空間において真空容器の中心軸と同軸的に回転
できるように支承された陰極側回転体組立と、この陰極
側回転体組立の回転バランスを可変にできる陰極バラン
ス可変機構と、この陰極バランス可変機構に前記の真空
容器の外部から給電する為の陰極バランス調整用給電機
構と、前記の陰極側回転体組立の一部に取り付けられた
電子銃組立と、この電子銃組立に取り付けられており電
子を放出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部
から給電する為の陰極給電機構と、前記の陰極から放出
されて加速された電子を取り出す為の電子線放出窓と、
前記の陰極側回転体組立に回転力を与える回転駆動機構
とを有して構成されており、前記の陰極バランス可変機
構に前記の陰極バランス調整用給電機構を通じて前記の
真空容器の外部から通電することによって真空容器内で
回転している前記の陰極側回転体組立の回転バランスが
調整できるようになっていることを特徴とする電子線照
射装置。