JP2001272577A - 光ファイバの光軸ずれの補正方法及び該補正方法を適用して製造された半導体レーザモジュール - Google Patents
光ファイバの光軸ずれの補正方法及び該補正方法を適用して製造された半導体レーザモジュールInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ファイバの水平方向のずれを調整したとき
に、光ファイバの垂直方向での調整に影響を及ぼさない
ような光ファイバの光軸ずれの補正方法及び該補正方法
を適用して製造された半導体レーザモジュールを提供す
ること。 【解決手段】 台座上に半導体レーザ光源７と保持板９
が固定され、該保持板上にファイバ保持部２１を備えた
ファイバ押さえ部材１１が固定され、該ファイバ押さえ
部材のファイバ保持部に光ファイバ１０が固定されてい
る半導体レーザモジュール１において、前記台座の上面
と前記保持板の周囲との間をレーザ溶接し、該溶接部分
の収縮により前記保持板を水平方向に移動しながら、前
記半導体レーザ光源からのレーザ光の光軸に対する前記
光ファイバの入力端の水平位置を調節することを特徴と
する光ファイバの光軸ずれの補正方法。
に、光ファイバの垂直方向での調整に影響を及ぼさない
ような光ファイバの光軸ずれの補正方法及び該補正方法
を適用して製造された半導体レーザモジュールを提供す
ること。 【解決手段】 台座上に半導体レーザ光源７と保持板９
が固定され、該保持板上にファイバ保持部２１を備えた
ファイバ押さえ部材１１が固定され、該ファイバ押さえ
部材のファイバ保持部に光ファイバ１０が固定されてい
る半導体レーザモジュール１において、前記台座の上面
と前記保持板の周囲との間をレーザ溶接し、該溶接部分
の収縮により前記保持板を水平方向に移動しながら、前
記半導体レーザ光源からのレーザ光の光軸に対する前記
光ファイバの入力端の水平位置を調節することを特徴と
する光ファイバの光軸ずれの補正方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザとそ
の出射光とを取り出す光ファイバとが一体に構成された
半導体レーザモジュールに係り、特に該モジュールの光
ファイバの光軸ずれを補正する方法に関する。なお、半
導体レーザモジュールは、たとえば光通信に使用するエ
ルビウム添加光ファイバ増幅器の励起光用の光源として
使用される。
の出射光とを取り出す光ファイバとが一体に構成された
半導体レーザモジュールに係り、特に該モジュールの光
ファイバの光軸ずれを補正する方法に関する。なお、半
導体レーザモジュールは、たとえば光通信に使用するエ
ルビウム添加光ファイバ増幅器の励起光用の光源として
使用される。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ光の出射端に単一モード光
ファイバが光結合され、この光ファイバを介してレーザ
光が取り出される構造のピグテイル光ファイバ付き半導
体レーザモジュールが良く知られている。この形態の半
導体レーザモジュールでは、半導体レーザ光源から発せ
られるレーザ光を高い割合で光ファイバ内に伝達するた
めに、即ち高い光結合効率を実現するために、光学系の
焦点位置を精度良く調節し組み立てることが広く行われ
ている。
ファイバが光結合され、この光ファイバを介してレーザ
光が取り出される構造のピグテイル光ファイバ付き半導
体レーザモジュールが良く知られている。この形態の半
導体レーザモジュールでは、半導体レーザ光源から発せ
られるレーザ光を高い割合で光ファイバ内に伝達するた
めに、即ち高い光結合効率を実現するために、光学系の
焦点位置を精度良く調節し組み立てることが広く行われ
ている。
【０００３】しかし組立時に光学系の焦点位置が精度良
く調整されても、光ファイバを台座にレーザ溶接等を用
いて固定する際に位置ずれが発生し、例えば１μｍの位
置ずれでもレーザ光出力が１０分の１程度まで低下して
しまうという問題がある。通常こうした光結合効率の低
下を防ぐために、一度固定した後にファイバ押さえ部材
等の金属部品に力を加えてわずかに金属を変形させて、
光出力がより大きくなるように光軸ずれを補正すること
が行われている。
く調整されても、光ファイバを台座にレーザ溶接等を用
いて固定する際に位置ずれが発生し、例えば１μｍの位
置ずれでもレーザ光出力が１０分の１程度まで低下して
しまうという問題がある。通常こうした光結合効率の低
下を防ぐために、一度固定した後にファイバ押さえ部材
等の金属部品に力を加えてわずかに金属を変形させて、
光出力がより大きくなるように光軸ずれを補正すること
が行われている。
【０００４】また別の方法として、レーザ溶接をすると
溶接部分が収縮するのでレーザ溶接部分の方へ部材が若
干引っ張られるという性質を利用して、一旦レーザ溶接
により固定した後に、該溶接箇所に重ねてまたはその近
傍に、再度レーザ溶接を繰り返して行うことにより光軸
ずれを補正するという手法も行われている。
溶接部分が収縮するのでレーザ溶接部分の方へ部材が若
干引っ張られるという性質を利用して、一旦レーザ溶接
により固定した後に、該溶接箇所に重ねてまたはその近
傍に、再度レーザ溶接を繰り返して行うことにより光軸
ずれを補正するという手法も行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図５は、上述した光軸
ずれの補正手法のうち、後者の手法を適用しているとき
の光学系部品の構成の一例を示している。図５中、符号
１０１，１０３、１０５及び１０７で示す部材は、それ
ぞれ半導体レーザ光源、光ファイバ、ファイバ押さえ部
材及び台座を示す。
ずれの補正手法のうち、後者の手法を適用しているとき
の光学系部品の構成の一例を示している。図５中、符号
１０１，１０３、１０５及び１０７で示す部材は、それ
ぞれ半導体レーザ光源、光ファイバ、ファイバ押さえ部
材及び台座を示す。
【０００６】光ファイバ１０３の前端付近にはファイバ
押さえ部材１０５が上方から覆い被さるように設けられ
ており、ファイバ押さえ部材１０５は台座１０７に符号
１０９で示す位置でレーザ溶接されることにより固定さ
れている。また光ファイバ１０３は、ファイバ押さえ部
材１０５に対して符号１１１で示す地点にてレーザ溶接
されることにより、垂直方向での位置が固定されてい
る。図５において水平方向の補正をしようとする場合に
は、ファイバ押さえ部材１０５の例えば１１１に示す位
置にレーザ溶接を行って、光ファイバ１０３を僅かに移
動させて補正を行っていた。しかしながら、このような
ずれ補正作業では、光ファイバ１０３が水平方向のみな
らず垂直方向へも移動してしまうため、意図する補正を
正確に行うことは極めて困難であった。
押さえ部材１０５が上方から覆い被さるように設けられ
ており、ファイバ押さえ部材１０５は台座１０７に符号
１０９で示す位置でレーザ溶接されることにより固定さ
れている。また光ファイバ１０３は、ファイバ押さえ部
材１０５に対して符号１１１で示す地点にてレーザ溶接
されることにより、垂直方向での位置が固定されてい
る。図５において水平方向の補正をしようとする場合に
は、ファイバ押さえ部材１０５の例えば１１１に示す位
置にレーザ溶接を行って、光ファイバ１０３を僅かに移
動させて補正を行っていた。しかしながら、このような
ずれ補正作業では、光ファイバ１０３が水平方向のみな
らず垂直方向へも移動してしまうため、意図する補正を
正確に行うことは極めて困難であった。
【０００７】また、１１１のレーザ溶接とともに、ファ
イバ押さえ部材１０５の例えばＷに示す位置にレーザ溶
接を行って、光ファイバ１０３を僅かに移動させて補正
を行うことも考え得る。しかしながら、このようなずれ
補正作業では、溶接部分Ｗが収縮するように移動するの
に伴い、光ファイバ１０３を挟んでいる部分の幅寸法ｄ
が微妙に拡がるように変化する。そのため、光ファイバ
１０３が下方に沈みがちとなって、それまで正確に調整
されていた垂直方向の位置がずれてしまうことになる。
このような不具合は、図５に示すようなゴールポスト型
のファイバ押さえ部材１０５だけでなく、該ゴールポス
ト型のファイバ押さえ部材１０５の上部が分離している
形態のブリッジ型のファイバ押さえ部材でも同様なこと
が起こる。
イバ押さえ部材１０５の例えばＷに示す位置にレーザ溶
接を行って、光ファイバ１０３を僅かに移動させて補正
を行うことも考え得る。しかしながら、このようなずれ
補正作業では、溶接部分Ｗが収縮するように移動するの
に伴い、光ファイバ１０３を挟んでいる部分の幅寸法ｄ
が微妙に拡がるように変化する。そのため、光ファイバ
１０３が下方に沈みがちとなって、それまで正確に調整
されていた垂直方向の位置がずれてしまうことになる。
このような不具合は、図５に示すようなゴールポスト型
のファイバ押さえ部材１０５だけでなく、該ゴールポス
ト型のファイバ押さえ部材１０５の上部が分離している
形態のブリッジ型のファイバ押さえ部材でも同様なこと
が起こる。
【０００８】そこで本発明は、光ファイバの水平方向の
ずれを調整したときに、光ファイバの垂直方向での調整
に影響を及ぼさないような光ファイバの光軸ずれの補正
方法及び該補正方法を適用して製造された半導体レーザ
モジュールを提供することを課題とした。
ずれを調整したときに、光ファイバの垂直方向での調整
に影響を及ぼさないような光ファイバの光軸ずれの補正
方法及び該補正方法を適用して製造された半導体レーザ
モジュールを提供することを課題とした。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記課題を解
決するために鋭意検討した結果、光ファイバの位置ずれ
を光ファイバを直接保持していない部品の接合部に対し
て追加のレーザ溶接を行うことにより、目的とする方向
にのみ光軸ずれの補正を行うことが出来ることを見出
し、本発明に到達した。
決するために鋭意検討した結果、光ファイバの位置ずれ
を光ファイバを直接保持していない部品の接合部に対し
て追加のレーザ溶接を行うことにより、目的とする方向
にのみ光軸ずれの補正を行うことが出来ることを見出
し、本発明に到達した。
【００１０】即ち、本発明の光ファイバの光軸ずれの補
正方法は、台座上に半導体レーザ光源と保持板が固定さ
れ、該保持板上にファイバ保持部を備えたファイバ押さ
え部材が固定され、該ファイバ押さえ部材のファイバ保
持部に光ファイバが固定されている半導体レーザモジュ
ールにおいて、前記台座の上面と前記保持板の周囲との
間をレーザ溶接し、該溶接部分の収縮により前記保持板
を水平方向に移動しながら、前記半導体レーザ光源から
のレーザ光の光軸に対する前記光ファイバの入力端の水
平位置を調節することを特徴とするものである。
正方法は、台座上に半導体レーザ光源と保持板が固定さ
れ、該保持板上にファイバ保持部を備えたファイバ押さ
え部材が固定され、該ファイバ押さえ部材のファイバ保
持部に光ファイバが固定されている半導体レーザモジュ
ールにおいて、前記台座の上面と前記保持板の周囲との
間をレーザ溶接し、該溶接部分の収縮により前記保持板
を水平方向に移動しながら、前記半導体レーザ光源から
のレーザ光の光軸に対する前記光ファイバの入力端の水
平位置を調節することを特徴とするものである。
【００１１】本発明の補正方法において、前記ファイバ
押さえ部材は前記保持板に一体的に形成されていてもよ
い。また本発明において、前記光ファイバと前記ファイ
バ押さえ部材との間にレーザ溶接を行うことにより、該
溶接部分の収縮により前記光ファイバの入力端の垂直方
向位置を調節する工程を更に備えてもよい。
押さえ部材は前記保持板に一体的に形成されていてもよ
い。また本発明において、前記光ファイバと前記ファイ
バ押さえ部材との間にレーザ溶接を行うことにより、該
溶接部分の収縮により前記光ファイバの入力端の垂直方
向位置を調節する工程を更に備えてもよい。
【００１２】また本発明の半導体レーザモジュールは、
上記光ファイバの光軸ずれの補正方法を適用して製造さ
れたことを特徴とするものである。この場合、前記光フ
ァイバの入力端がレンズ状に加工されていてもよい。
上記光ファイバの光軸ずれの補正方法を適用して製造さ
れたことを特徴とするものである。この場合、前記光フ
ァイバの入力端がレンズ状に加工されていてもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下において本発明を図面に基づ
いて詳細に説明する。図１は本発明の半導体レーザモジ
ュールを示す斜視図であり、図１において符号１は半導
体レーザモジュールを示す。半導体レーザモジュール１
は台座３を備えており、該台座３の上に光源用台座５を
介して半導体レーザ光源７が設けられ、光源用台座５に
隣接して保持板９が載せられ固定されている。なお光源
用台座５は台座３に固定されており、半導体レーザ光源
７は光源用台座５に固定されている。
いて詳細に説明する。図１は本発明の半導体レーザモジ
ュールを示す斜視図であり、図１において符号１は半導
体レーザモジュールを示す。半導体レーザモジュール１
は台座３を備えており、該台座３の上に光源用台座５を
介して半導体レーザ光源７が設けられ、光源用台座５に
隣接して保持板９が載せられ固定されている。なお光源
用台座５は台座３に固定されており、半導体レーザ光源
７は光源用台座５に固定されている。
【００１４】保持板９の上には光ファイバ１０を保持す
るためのファイバ押さえ部材１１が設けられており、該
ファイバ押さえ部材１１は、符号６で示す部分において
レーザ溶接により保持板９に固定されている。このファ
イバ押さえ部材１１は保持板９の上面と平行に形成され
ている２つの固定部１３と、各固定部１３から上方へ垂
直に延びる鉛直部１５と、２つの鉛直部１５同士を接続
する上面部１７とから構成されている。
るためのファイバ押さえ部材１１が設けられており、該
ファイバ押さえ部材１１は、符号６で示す部分において
レーザ溶接により保持板９に固定されている。このファ
イバ押さえ部材１１は保持板９の上面と平行に形成され
ている２つの固定部１３と、各固定部１３から上方へ垂
直に延びる鉛直部１５と、２つの鉛直部１５同士を接続
する上面部１７とから構成されている。
【００１５】また鉛直部１５の前端側（半導体レーザ光
源７が設けられている側）は矩形に切り欠かれており、
そこに水平部１９が形成されている。２つの鉛直部１５
の間には上下に長く延びるファイバ保持部２１が形成さ
れており、ファイバ保持部２１の幅ｄはほぼ光ファイバ
１０の直径と同じ寸法に設定されている。
源７が設けられている側）は矩形に切り欠かれており、
そこに水平部１９が形成されている。２つの鉛直部１５
の間には上下に長く延びるファイバ保持部２１が形成さ
れており、ファイバ保持部２１の幅ｄはほぼ光ファイバ
１０の直径と同じ寸法に設定されている。
【００１６】尚、ファイバ押さえ部材１１の形態は図１
に示すものに限定されず、例えば図１に示すファイバ押
さえ部材２１の上面部１７をなくして、光ファイバ１０
を断面Ｌ字形の２つの部材により両側から挟み込むよう
な形態（図示せず）にすることもできる。ファイバ押さ
え部材１１は、保持板９に固定することができ、上記フ
ァイバ押さえ部材２１と同様な上下に長く延びるファイ
バ保持部２１を備えているものであれば、その形状は特
に限定されない。またファイバ押さえ部材１１は、保持
板９と一体的に形成されていても構わない。
に示すものに限定されず、例えば図１に示すファイバ押
さえ部材２１の上面部１７をなくして、光ファイバ１０
を断面Ｌ字形の２つの部材により両側から挟み込むよう
な形態（図示せず）にすることもできる。ファイバ押さ
え部材１１は、保持板９に固定することができ、上記フ
ァイバ押さえ部材２１と同様な上下に長く延びるファイ
バ保持部２１を備えているものであれば、その形状は特
に限定されない。またファイバ押さえ部材１１は、保持
板９と一体的に形成されていても構わない。
【００１７】光ファイバ１０は、中心に位置するファイ
バ線１２と、その周囲に形成されている金属フェルール
１４とから構成されており、入力端２３から入射したレ
ーザ光をファイバ線１２内のコアに受け入れて、コアと
クラッドとの界面で該レーザ光を反射しながら、レーザ
光が光ファイバ内を進行する構造となっている。
バ線１２と、その周囲に形成されている金属フェルール
１４とから構成されており、入力端２３から入射したレ
ーザ光をファイバ線１２内のコアに受け入れて、コアと
クラッドとの界面で該レーザ光を反射しながら、レーザ
光が光ファイバ内を進行する構造となっている。
【００１８】光ファイバ１０の入力端２３には、半導体
レーザ光源７側へ凸状に膨らんだレンズ部分１６が形成
されている。このレンズ部分１６は、半導体レーザ光源
７からのレーザ光を光ファイバ１０のコア内に収束して
レーザ光の入力効率を高める作用を有する。
レーザ光源７側へ凸状に膨らんだレンズ部分１６が形成
されている。このレンズ部分１６は、半導体レーザ光源
７からのレーザ光を光ファイバ１０のコア内に収束して
レーザ光の入力効率を高める作用を有する。
【００１９】なお本発明の光ファイバの光軸ずれの補正
方法を適用するのに好ましい形態の一つとして、図４に
示すように、入力端２３がくさび型またはマイナスドラ
イバーの先端部の形状のような形態を備える光ファイバ
１０が挙げられる。このような光ファイバ１０は、図４
に示すように、くさび型の延びる方向が水平方向になる
ようにして使用する。
方法を適用するのに好ましい形態の一つとして、図４に
示すように、入力端２３がくさび型またはマイナスドラ
イバーの先端部の形状のような形態を備える光ファイバ
１０が挙げられる。このような光ファイバ１０は、図４
に示すように、くさび型の延びる方向が水平方向になる
ようにして使用する。
【００２０】ファイバ押さえ部材１１のファイバ保持部
２１には光ファイバ１０の入力端２３に近い部分が保持
されており、レーザ溶接部２５および２６においてファ
イバ押さえ部材１１にレーザ溶接されることにより、光
ファイバ１０はファイバ押さえ部材１１に固定されてい
る。このとき光ファイバ１０の入力端２３の高さは、半
導体レーザ光源７から発射されるレーザ光の光軸の高さ
と同じになるように調節されている。
２１には光ファイバ１０の入力端２３に近い部分が保持
されており、レーザ溶接部２５および２６においてファ
イバ押さえ部材１１にレーザ溶接されることにより、光
ファイバ１０はファイバ押さえ部材１１に固定されてい
る。このとき光ファイバ１０の入力端２３の高さは、半
導体レーザ光源７から発射されるレーザ光の光軸の高さ
と同じになるように調節されている。
【００２１】この高さ調節は、ファイバ保持部２１内で
の光ファイバ１０の固定位置によって決まるが、レーザ
光の光軸の高さとの微調整を行う必要がある場合には、
例えば光ファイバ１０の入力端２３の中心がレーザ光の
光軸よりやや下方に位置する場合には、溶接部分２５の
近傍に追加のレーザ溶接を行い、該追加の溶接部分が固
化して収縮することを利用して光ファイバ１０をやや上
方へ持ち上げるようにして調節することができる。
の光ファイバ１０の固定位置によって決まるが、レーザ
光の光軸の高さとの微調整を行う必要がある場合には、
例えば光ファイバ１０の入力端２３の中心がレーザ光の
光軸よりやや下方に位置する場合には、溶接部分２５の
近傍に追加のレーザ溶接を行い、該追加の溶接部分が固
化して収縮することを利用して光ファイバ１０をやや上
方へ持ち上げるようにして調節することができる。
【００２２】上記の構成を備える半導体レーザモジュー
ル１は、例えば、まず台座３に保持板９を溶接等によっ
て一旦固定し、その後、保持板９にファイバ押さえ部材
１１および光ファイバ１０を固定することによって組み
立てる。またファイバ押さえ部材１１が保持板９と一体
的に形成されている場合には、ファイバ押さえ部材１１
は保持板９とともに一緒に台座３上に載せられることに
なる。
ル１は、例えば、まず台座３に保持板９を溶接等によっ
て一旦固定し、その後、保持板９にファイバ押さえ部材
１１および光ファイバ１０を固定することによって組み
立てる。またファイバ押さえ部材１１が保持板９と一体
的に形成されている場合には、ファイバ押さえ部材１１
は保持板９とともに一緒に台座３上に載せられることに
なる。
【００２３】なお本明細書において使用している「固
定」の語は、両者の位置関係が絶対的に変化しないとい
う意味ではなく、以下説明するレーザ溶接による補正を
行うことによって両者の位置関係が僅かに移動可能であ
るという意味で使用している。
定」の語は、両者の位置関係が絶対的に変化しないとい
う意味ではなく、以下説明するレーザ溶接による補正を
行うことによって両者の位置関係が僅かに移動可能であ
るという意味で使用している。
【００２４】本発明では、光ファイバ１０とレーザ光の
光軸との水平方向での調節は、従来のようにファイバ押
さえ部材１１を保持板９上で移動するのではなく、保持
板９を台座３上で移動することにより行う。図２は、光
ファイバ１０の入力端２３の位置がレーザ光の光軸に水
平方向でほぼ一致するように、保持板９が台座３に固定
された状態を示している。なお、図２では光ファイバ１
０及びファイバ押さえ部材１１は省略してある。
光軸との水平方向での調節は、従来のようにファイバ押
さえ部材１１を保持板９上で移動するのではなく、保持
板９を台座３上で移動することにより行う。図２は、光
ファイバ１０の入力端２３の位置がレーザ光の光軸に水
平方向でほぼ一致するように、保持板９が台座３に固定
された状態を示している。なお、図２では光ファイバ１
０及びファイバ押さえ部材１１は省略してある。
【００２５】この状態で水平方向での正確な補正をしよ
うとする場合には、保持板９の周囲と台座３の上面との
間のＷ1〜Ｗ4で示す位置にレーザ溶接を行なう。尚、Ｗ
1〜Ｗ4の位置は例示であり、保持板９の周囲のその他の
位置でレーザ溶接を行ってもよい。図２，図３はこのよ
うなレーザ溶接をした場合の調整の効果を示している。
図２に示すように、Ｗ1の位置に追加のレーザ溶接を行
った場合には、溶接部分が収縮するのに伴い、図３
（ａ）に示す矢印のように時計方向に保持板９が回転す
るようになり、同時に光ファイバ１０の入力端２３が、
図１中、方向Ａへ回動するようになる。
うとする場合には、保持板９の周囲と台座３の上面との
間のＷ1〜Ｗ4で示す位置にレーザ溶接を行なう。尚、Ｗ
1〜Ｗ4の位置は例示であり、保持板９の周囲のその他の
位置でレーザ溶接を行ってもよい。図２，図３はこのよ
うなレーザ溶接をした場合の調整の効果を示している。
図２に示すように、Ｗ1の位置に追加のレーザ溶接を行
った場合には、溶接部分が収縮するのに伴い、図３
（ａ）に示す矢印のように時計方向に保持板９が回転す
るようになり、同時に光ファイバ１０の入力端２３が、
図１中、方向Ａへ回動するようになる。
【００２６】また図２において、Ｗ2の位置に追加のレ
ーザ溶接を行った場合には、溶接部分が収縮するのに伴
い、図３（ｂ）に示す矢印のように保持板９が平行移動
し、同時に光ファイバ１０の入力端２３も、図１中、方
向Ｂの方へ平行移動するようになる。
ーザ溶接を行った場合には、溶接部分が収縮するのに伴
い、図３（ｂ）に示す矢印のように保持板９が平行移動
し、同時に光ファイバ１０の入力端２３も、図１中、方
向Ｂの方へ平行移動するようになる。
【００２７】更に図２において、Ｗ3の位置に追加のレ
ーザ溶接を行った場合には、溶接部分が収縮するのに伴
い、図３（ｃ）に示す矢印のように反時計方向に保持板
９が回転し、同時に光ファイバ１０の入力端２３が、図
１中、方向Ｂの方へ回動するようになる。
ーザ溶接を行った場合には、溶接部分が収縮するのに伴
い、図３（ｃ）に示す矢印のように反時計方向に保持板
９が回転し、同時に光ファイバ１０の入力端２３が、図
１中、方向Ｂの方へ回動するようになる。
【００２８】更にまた図２において、Ｗ4の位置に追加
のレーザ溶接を行った場合には、溶接部分が収縮するの
に伴い、図３（ｄ）に示す矢印のように保持板９が光軸
方向に平行移動し、同時に光ファイバ１０の入力端２３
も、図１中、方向Ｃの方へ平行移動するようになる。
のレーザ溶接を行った場合には、溶接部分が収縮するの
に伴い、図３（ｄ）に示す矢印のように保持板９が光軸
方向に平行移動し、同時に光ファイバ１０の入力端２３
も、図１中、方向Ｃの方へ平行移動するようになる。
【００２９】このように保持板９の周囲の種々の地点に
選択的に追加のレーザ溶接を行うことにより、溶接部分
の収縮作用によって保持板９を平行移動させたり、回動
させたりすることができる。また１つの地点にレーザ溶
接を行っただけで水平方向での位置ずれが修正されない
場合には、位置ずれ方向を確認後、更に追加のレーザ溶
接を行うようにすればよい。なお本発明の方法によれ
ば、１回の追加のレーザ溶接により、０．１〜３μｍの
ずれを補正できることが確認されている。
選択的に追加のレーザ溶接を行うことにより、溶接部分
の収縮作用によって保持板９を平行移動させたり、回動
させたりすることができる。また１つの地点にレーザ溶
接を行っただけで水平方向での位置ずれが修正されない
場合には、位置ずれ方向を確認後、更に追加のレーザ溶
接を行うようにすればよい。なお本発明の方法によれ
ば、１回の追加のレーザ溶接により、０．１〜３μｍの
ずれを補正できることが確認されている。
【００３０】以上説明したように、本発明ではファイバ
押さえ部材１１と保持板９との間でレーザ溶接による位
置ずれの補正を行うのではなく、台座３と保持板９との
間でレーザ溶接による水平方向での補正を行うようにし
たから、該レーザ溶接がファイバ押さえ部材１１の形態
に何らの影響を及ぼすことがない。従って予め調節済み
の垂直方向での位置に影響を与えることなく、水平方向
での位置ずれの補正を行うことができる。
押さえ部材１１と保持板９との間でレーザ溶接による位
置ずれの補正を行うのではなく、台座３と保持板９との
間でレーザ溶接による水平方向での補正を行うようにし
たから、該レーザ溶接がファイバ押さえ部材１１の形態
に何らの影響を及ぼすことがない。従って予め調節済み
の垂直方向での位置に影響を与えることなく、水平方向
での位置ずれの補正を行うことができる。
【００３１】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的
に説明する。以下の実施例に示す部材、方向、構成、手
順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更するこ
とができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具
体例に限定されるものではない。
に説明する。以下の実施例に示す部材、方向、構成、手
順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更するこ
とができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具
体例に限定されるものではない。
【００３２】ファイバ押さえ部材を用いて光ファイバを
固定した後、ファイバ位置を外力によりわずかに変化さ
せることにより、光軸に垂直で水平方向、垂直方向のそ
れぞれについて上下左右のどちらかに補正すれば光結合
が最も向上するかを知ることができる。
固定した後、ファイバ位置を外力によりわずかに変化さ
せることにより、光軸に垂直で水平方向、垂直方向のそ
れぞれについて上下左右のどちらかに補正すれば光結合
が最も向上するかを知ることができる。
【００３３】先端がレンズ状に加工されたファイバを用
いて、図１に示す半導体レーザモジュールを組み立てた
後、これを行ったところ水平右方向にファイバを位置変
化させると光出力が向上することがわかった。そこで本
発明の方法にしたがって、右方向にファイバが変化する
ように保持板と台座の接合部に追加のレーザ溶接を行っ
たところ、光出力を１５％向上させることができた。
いて、図１に示す半導体レーザモジュールを組み立てた
後、これを行ったところ水平右方向にファイバを位置変
化させると光出力が向上することがわかった。そこで本
発明の方法にしたがって、右方向にファイバが変化する
ように保持板と台座の接合部に追加のレーザ溶接を行っ
たところ、光出力を１５％向上させることができた。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
ファイバの入力端の位置とレーザ光の光軸との位置ずれ
を精度良く補正することができるとともに、垂直方向で
の位置ずれの補正が完了した後に本発明により水平方向
での位置ずれの補正をした場合であっても、垂直方向で
の調節に影響を与えることなく水平方向での補正が可能
となる。
ファイバの入力端の位置とレーザ光の光軸との位置ずれ
を精度良く補正することができるとともに、垂直方向で
の位置ずれの補正が完了した後に本発明により水平方向
での位置ずれの補正をした場合であっても、垂直方向で
の調節に影響を与えることなく水平方向での補正が可能
となる。
【００３５】また本発明の方法によれば、光ファイバの
入力端が光軸上の最適位置と一致しているときのレーザ
光出力（最大出力）の９０％以上、好ましくは９５％以
上の出力を得るように調整することが可能であり、従来
の調整により得られるレーザ光出力を上回ることができ
る。
入力端が光軸上の最適位置と一致しているときのレーザ
光出力（最大出力）の９０％以上、好ましくは９５％以
上の出力を得るように調整することが可能であり、従来
の調整により得られるレーザ光出力を上回ることができ
る。
【図１】 本発明に係る半導体レーザモジュールの光学
系部品の構成を示す斜視図である。
系部品の構成を示す斜視図である。
【図２】 台座上面と保持板の周囲との間でレーザ溶接
をする場所の例を示す説明図である。
をする場所の例を示す説明図である。
【図３】 図２中のレーザ溶接位置でレーザ溶接を行っ
た場合の保持板の移動方向を示す説明図である。
た場合の保持板の移動方向を示す説明図である。
【図４】 本発明を効果的に適用できる光ファイバの一
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図５】 従来の半導体レーザモジュールの光学系部品
の構成を示す斜視図である。
の構成を示す斜視図である。
１ 半導体レーザモジュール ３ 台座 ５ 光源用台座 ６ レーザ溶接部 ７ 半導体レーザ光源 ９ 保持板 １０ 光ファイバ １１ ファイバ押さえ部材 １２ ファイバ線 １３ 固定部 １４ 金属フェルール １５ 鉛直部 １６ レンズ部分 １７ 上面部 １９ 水平部 ２１ ファイバ保持部 ２３ 入力端 ２５ 溶接部分 ２６ 溶接部分 Ｗ1〜Ｗ4 追加のレーザ溶接の位置の例 １０１ 半導体レーザ光源 １０３ 光ファイバ １０５ ファイバ押さえ部材 １０７ 台座 １０９ レーザ溶接の位置 １１１ レーザ溶接の位置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内田 博文 茨城県牛久市東猯穴町1000番地 三菱化学 株式会社筑波事業所内 Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA02 CA08 DA04 DA06 DA16 DA18 5F073 AB28 BA09 FA06 FA23
Claims (5)
- 【請求項１】 台座上に半導体レーザ光源と保持板が固
定され、該保持板上にファイバ保持部を備えたファイバ
押さえ部材が固定され、該ファイバ押さえ部材のファイ
バ保持部に光ファイバが固定されている半導体レーザモ
ジュールにおいて、 前記台座の上面と前記保持板の周囲との間をレーザ溶接
し、該溶接部分の収縮により前記保持板を水平方向に移
動しながら、前記半導体レーザ光源からのレーザ光の光
軸に対する前記光ファイバの入力端の水平位置を調節す
ることを特徴とする光ファイバの光軸ずれの補正方法。 - 【請求項２】 前記ファイバ押さえ部材は前記保持板に
一体的に形成されていることを特徴とする請求項１記載
の光ファイバの光軸ずれの補正方法。 - 【請求項３】 前記光ファイバと前記ファイバ押さえ部
材との間にレーザ溶接を行うことにより、該溶接部分の
収縮により前記光ファイバの入力端の垂直方向位置を調
節する工程を更に備えることを特徴とする請求項１また
は２記載の光ファイバの光軸ずれの補正方法。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載された方
法を適用して製造されたことを特徴とする半導体レーザ
モジュール。 - 【請求項５】 前記光ファイバの入力端がレンズ状に加
工されていることを特徴とする請求項４記載の半導体レ
ーザモジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082902A JP2001272577A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 光ファイバの光軸ずれの補正方法及び該補正方法を適用して製造された半導体レーザモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082902A JP2001272577A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 光ファイバの光軸ずれの補正方法及び該補正方法を適用して製造された半導体レーザモジュール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001272577A true JP2001272577A (ja) | 2001-10-05 |
Family
ID=18599641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000082902A Pending JP2001272577A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 光ファイバの光軸ずれの補正方法及び該補正方法を適用して製造された半導体レーザモジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001272577A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010106978A1 (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-23 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュール及び光モジュール |
| KR100997952B1 (ko) | 2008-04-08 | 2010-12-02 | 엘피지레이저테크놀러지 주식회사 | 레이저조사모듈지지장치 |
| JP2013231937A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-11-14 | Mitsubishi Electric Corp | 光学装置およびその製造方法 |
| JP2021114503A (ja) * | 2020-01-16 | 2021-08-05 | 古河電気工業株式会社 | 発光装置、光源ユニット、光源装置、光ファイバレーザ、および発光装置の製造方法 |
-
2000
- 2000-03-23 JP JP2000082902A patent/JP2001272577A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100997952B1 (ko) | 2008-04-08 | 2010-12-02 | 엘피지레이저테크놀러지 주식회사 | 레이저조사모듈지지장치 |
| WO2010106978A1 (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-23 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュール及び光モジュール |
| CN102356523A (zh) * | 2009-03-18 | 2012-02-15 | 古河电气工业株式会社 | 半导体激光模块以及光模块 |
| JP5255694B2 (ja) * | 2009-03-18 | 2013-08-07 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュール及び光モジュール |
| US8696217B2 (en) | 2009-03-18 | 2014-04-15 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Semiconductor laser module and optical module |
| JP2013231937A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-11-14 | Mitsubishi Electric Corp | 光学装置およびその製造方法 |
| JP2021114503A (ja) * | 2020-01-16 | 2021-08-05 | 古河電気工業株式会社 | 発光装置、光源ユニット、光源装置、光ファイバレーザ、および発光装置の製造方法 |
| JP7407602B2 (ja) | 2020-01-16 | 2024-01-04 | 古河電気工業株式会社 | 発光装置、光源ユニット、光源装置、および光ファイバレーザ |
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