JP2001264023A - 帯状シート材料の非接触連続膜厚測定方法及び反射型レーザー測定手段の光軸合わせ方法 - Google Patents
帯状シート材料の非接触連続膜厚測定方法及び反射型レーザー測定手段の光軸合わせ方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リチウム電池用極板のような光を透過しない
帯状のシート材料の膜厚を連続的かつ正確に測定するこ
とができる非接触連続膜厚測定方法と、２台の反射型レ
ーザー測定器の光軸を正確に合わせることができる光軸
合わせ方法を提供する。 【解決手段】 帯状シート材料２０の膜厚を、非接触で
連続的に測定する方法及び装置である。帯状シート材料
２０を移動させながら、帯状シート材料２０を挟んで２
台の反射型レーザー測定手段１０，１２を、要求測定精
度をσ、帯状シート材料２０が移動する際の変位量を△
ｘとしたとき、２台の反射型レーザー測定手段１０，１
２のそれぞれの光軸のずれ角度θが、θ×△ｘ≦σを満
足するように配置し、２台の反射型レーザー測定手段１
０，１２によってそれぞれ帯状シート材料２０までの距
離を検出することにより、帯状シート材料２０の膜厚を
連続的に測定する。
帯状のシート材料の膜厚を連続的かつ正確に測定するこ
とができる非接触連続膜厚測定方法と、２台の反射型レ
ーザー測定器の光軸を正確に合わせることができる光軸
合わせ方法を提供する。 【解決手段】 帯状シート材料２０の膜厚を、非接触で
連続的に測定する方法及び装置である。帯状シート材料
２０を移動させながら、帯状シート材料２０を挟んで２
台の反射型レーザー測定手段１０，１２を、要求測定精
度をσ、帯状シート材料２０が移動する際の変位量を△
ｘとしたとき、２台の反射型レーザー測定手段１０，１
２のそれぞれの光軸のずれ角度θが、θ×△ｘ≦σを満
足するように配置し、２台の反射型レーザー測定手段１
０，１２によってそれぞれ帯状シート材料２０までの距
離を検出することにより、帯状シート材料２０の膜厚を
連続的に測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、帯状シート材料
の膜厚を、非接触で連続的に測定するための非接触連続
膜厚測定方法、及び反射型レーザー測定手段の光軸合わ
せ方法に関するものである。
の膜厚を、非接触で連続的に測定するための非接触連続
膜厚測定方法、及び反射型レーザー測定手段の光軸合わ
せ方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】 従来から、紙やフィルムなど種々の帯
状シート材料についてその膜厚を連続的に測定すること
が行われている。シートの膜圧を連続的に測定する方
式、装置として、一般に、接触式または非接触式の装置
が知られている。接触式の場合には測定精度は高いもの
の、柔らかい材料では傷が付いたり、接触圧力により測
定値にバラツキが生じるなどの不都合がある。一方、非
接触式方式のうち、放射線などを用いた装置では、装置
が高価で材料の密度の影響を受けやすいなどの問題があ
る。
状シート材料についてその膜厚を連続的に測定すること
が行われている。シートの膜圧を連続的に測定する方
式、装置として、一般に、接触式または非接触式の装置
が知られている。接触式の場合には測定精度は高いもの
の、柔らかい材料では傷が付いたり、接触圧力により測
定値にバラツキが生じるなどの不都合がある。一方、非
接触式方式のうち、放射線などを用いた装置では、装置
が高価で材料の密度の影響を受けやすいなどの問題があ
る。
【０００３】 非接触式方式のうち、レーザーを用いた
レーザー透過型の場合には、通常、レーザー発光器とレ
ーザー受光器の間にシートを配置してその膜厚を測定す
るものであるが、例えば、リチウム電池用極板のシート
材料の場合、極板が薄く、変形しやすいことから、正確
な膜厚の測定が困難であった。また、ローラを介しシー
ト位置を固定してシートの膜厚を測定することも行われ
ているが、ローラの精度や偏心の影響を受けることか
ら、正確な膜厚の測定が困難である。
レーザー透過型の場合には、通常、レーザー発光器とレ
ーザー受光器の間にシートを配置してその膜厚を測定す
るものであるが、例えば、リチウム電池用極板のシート
材料の場合、極板が薄く、変形しやすいことから、正確
な膜厚の測定が困難であった。また、ローラを介しシー
ト位置を固定してシートの膜厚を測定することも行われ
ているが、ローラの精度や偏心の影響を受けることか
ら、正確な膜厚の測定が困難である。
【０００４】 さらに、レーザー反射型の測定方式の場
合にもレーザー透過型と同様の問題があるほか、レーザ
ー反射型測定器を２台使用して、シートを挟んで厚さを
測定することが行われているが、シートの通過位置のず
れや２台の測定器の光軸を正確に合わせることが困難で
ある。
合にもレーザー透過型と同様の問題があるほか、レーザ
ー反射型測定器を２台使用して、シートを挟んで厚さを
測定することが行われているが、シートの通過位置のず
れや２台の測定器の光軸を正確に合わせることが困難で
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 本発明はかかる状況
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、リチウム電池用極板のような光を透過しない帯状の
シート材料の膜厚を連続的かつ正確に測定することがで
きる非接触連続膜厚測定方法と、２台の反射型レーザー
測定器の光軸を正確に合わせることができる光軸合わせ
方法を提供することにある。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、リチウム電池用極板のような光を透過しない帯状の
シート材料の膜厚を連続的かつ正確に測定することがで
きる非接触連続膜厚測定方法と、２台の反射型レーザー
測定器の光軸を正確に合わせることができる光軸合わせ
方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 即ち、本発明によれ
ば、帯状シート材料の膜厚を、非接触で連続的に測定す
る方法であって、該帯状シート材料を移動させながら、
該帯状シート材料を挟んで２台の反射型レーザー測定手
段を、要求測定精度をσ、該帯状シート材料が移動する
際の変位量を△ｘとしたとき、該２台の反射型レーザー
測定手段のそれぞれの光軸のずれ角度θが、θ×△ｘ≦
σを満足するように配置し、該２台の反射型レーザー測
定手段によってそれぞれ前記帯状シート材料までの距離
を検出することにより、前記帯状シート材料の膜厚を連
続的に測定することを特徴とする帯状シート材料の非接
触連続膜厚測定方法、が提供される。上記において、２
台の反射型レーザー測定手段のそれぞれの光軸のずれ角
度θが０．２°以下となるように配置することが、シー
ト状の電池極板材料の膜厚を連続的に測定するために好
ましい。
ば、帯状シート材料の膜厚を、非接触で連続的に測定す
る方法であって、該帯状シート材料を移動させながら、
該帯状シート材料を挟んで２台の反射型レーザー測定手
段を、要求測定精度をσ、該帯状シート材料が移動する
際の変位量を△ｘとしたとき、該２台の反射型レーザー
測定手段のそれぞれの光軸のずれ角度θが、θ×△ｘ≦
σを満足するように配置し、該２台の反射型レーザー測
定手段によってそれぞれ前記帯状シート材料までの距離
を検出することにより、前記帯状シート材料の膜厚を連
続的に測定することを特徴とする帯状シート材料の非接
触連続膜厚測定方法、が提供される。上記において、２
台の反射型レーザー測定手段のそれぞれの光軸のずれ角
度θが０．２°以下となるように配置することが、シー
ト状の電池極板材料の膜厚を連続的に測定するために好
ましい。
【０００７】 また本発明によれば、厚さｔが既知の非
光透過性シートを挟んで２台の反射型レーザー測定手段
を配置し、一方の第一反射型レーザー測定手段の位置を
固定するとともに、他方の第二反射型レーザー測定手段
を移動可能とし、第一反射型レーザー測定手段及び第二
反射型レーザー測定手段の変位信号Ｓ1、Ｓ2から、非光
透過性シートの厚さｔ、第一反射型レーザー測定手段か
ら非光透過性シートまでの距離ｌ1及び第二反射型レー
ザー測定手段から非光透過性シートまでの距離ｌ2を演
算、初期化し、次いで、非光透過性シートを第一反射型
レーザー測定手段の側又は第二反射型レーザー測定手段
の側に変位させ、前記第一反射型レーザー測定手段及び
第二反射型レーザー測定手段の変位信号Ｓ1、Ｓ2から、
ｌ1＋ｌ2を演算し、次に、非光透過性シートの変位に拘
わらず、ｌ1＋ｌ2が一定となるように、第二反射型レー
ザー測定手段の位置を調整することを特徴とする２台の
反射型レーザー測定手段の光軸合わせ方法、が提供され
る。
光透過性シートを挟んで２台の反射型レーザー測定手段
を配置し、一方の第一反射型レーザー測定手段の位置を
固定するとともに、他方の第二反射型レーザー測定手段
を移動可能とし、第一反射型レーザー測定手段及び第二
反射型レーザー測定手段の変位信号Ｓ1、Ｓ2から、非光
透過性シートの厚さｔ、第一反射型レーザー測定手段か
ら非光透過性シートまでの距離ｌ1及び第二反射型レー
ザー測定手段から非光透過性シートまでの距離ｌ2を演
算、初期化し、次いで、非光透過性シートを第一反射型
レーザー測定手段の側又は第二反射型レーザー測定手段
の側に変位させ、前記第一反射型レーザー測定手段及び
第二反射型レーザー測定手段の変位信号Ｓ1、Ｓ2から、
ｌ1＋ｌ2を演算し、次に、非光透過性シートの変位に拘
わらず、ｌ1＋ｌ2が一定となるように、第二反射型レー
ザー測定手段の位置を調整することを特徴とする２台の
反射型レーザー測定手段の光軸合わせ方法、が提供され
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】 以下、本発明を詳細に説明す
る。本発明は、帯状シート材料の膜厚を、非接触で連続
的に測定する方法である。本発明で測定の対象となる帯
状シート材料は、レーザー光を透過しない連続シート材
料であれば、特にその種類は限定されない。このような
帯状シート材料としては、金属箔、樹脂フィルム、セラ
ミックスシート、又はそれらの複合シート等を挙げるこ
とができ、さらに、金属・セラミック粒子を樹脂ととも
にシート成形したもの、具体的には電池極板材料を挙げ
ることができる。例えば、リチウム電池用の正極は、Ａ
ｌ箔上にＬｉＣｏＯ2等のセラミックス粉がＰＶＤＦな
どの結着剤とともに連続的に塗布されて形成されてお
り、一方、リチウム電池用の負極は、Ｃｕ箔上に炭素、
黒鉛材料がＰＶＤＦなどの結着剤とともに連続的に塗布
されて形成されている。
る。本発明は、帯状シート材料の膜厚を、非接触で連続
的に測定する方法である。本発明で測定の対象となる帯
状シート材料は、レーザー光を透過しない連続シート材
料であれば、特にその種類は限定されない。このような
帯状シート材料としては、金属箔、樹脂フィルム、セラ
ミックスシート、又はそれらの複合シート等を挙げるこ
とができ、さらに、金属・セラミック粒子を樹脂ととも
にシート成形したもの、具体的には電池極板材料を挙げ
ることができる。例えば、リチウム電池用の正極は、Ａ
ｌ箔上にＬｉＣｏＯ2等のセラミックス粉がＰＶＤＦな
どの結着剤とともに連続的に塗布されて形成されてお
り、一方、リチウム電池用の負極は、Ｃｕ箔上に炭素、
黒鉛材料がＰＶＤＦなどの結着剤とともに連続的に塗布
されて形成されている。
【０００９】 上記のようなリチウム電池用正極、負極
等の極板は、現在±２μｍの膜厚精度が求められてい
る。すなわち、極板の膜厚に所定以上のバラツキがある
と、シート状極板を捲回してなる形成する捲回体がリチ
ウム電池用ケースに挿入できず、また、捲回体のタブ位
置が揃わないという問題が生じる。さらに、極板の膜厚
にバラツキがあるということは、ＬｉＣｏＯ2等の密度
が不均一であることを意味しており、その結果、電池の
内部抵抗にも大きな影響が出るという問題がある。した
がって、このようなリチウム電池用極板などの帯状シー
ト材料の膜厚を連続的に正確に測定することは極めて重
要である。
等の極板は、現在±２μｍの膜厚精度が求められてい
る。すなわち、極板の膜厚に所定以上のバラツキがある
と、シート状極板を捲回してなる形成する捲回体がリチ
ウム電池用ケースに挿入できず、また、捲回体のタブ位
置が揃わないという問題が生じる。さらに、極板の膜厚
にバラツキがあるということは、ＬｉＣｏＯ2等の密度
が不均一であることを意味しており、その結果、電池の
内部抵抗にも大きな影響が出るという問題がある。した
がって、このようなリチウム電池用極板などの帯状シー
ト材料の膜厚を連続的に正確に測定することは極めて重
要である。
【００１０】 図１は本発明の非接触連続膜厚測定方法
を概略的に示す説明図である。図１において、１０は第
一反射型レーザー測定手段で、１２が第二反射型レーザ
ー測定手段を示しており、帯状シート材料２０を挟ん
で、第一反射型レーザー測定手段１０及び第二反射型レ
ーザー測定手段１２が配置されている。ここで、第一反
射型レーザー測定手段１０から帯状シート材料２０まで
の距離をｌ1、第二反射型レーザー測定手段１２から帯
状シート材料２０までの距離をｌ2とし、第一反射型レ
ーザー測定手段１０と第二反射型レーザー測定手段１２
の光軸のずれ角度をθとする。
を概略的に示す説明図である。図１において、１０は第
一反射型レーザー測定手段で、１２が第二反射型レーザ
ー測定手段を示しており、帯状シート材料２０を挟ん
で、第一反射型レーザー測定手段１０及び第二反射型レ
ーザー測定手段１２が配置されている。ここで、第一反
射型レーザー測定手段１０から帯状シート材料２０まで
の距離をｌ1、第二反射型レーザー測定手段１２から帯
状シート材料２０までの距離をｌ2とし、第一反射型レ
ーザー測定手段１０と第二反射型レーザー測定手段１２
の光軸のずれ角度をθとする。
【００１１】 まず、初期設定として、ｌ1＝ｌ2＝ｌと
する。ここで、帯状シート材料２０が＋側に△ｘ変位す
ると、 ｌ1＝ｌ−△ｘ、 ｌ2＝ｌ＋△ｌ＝ｌ＋△ｘ／ｃｏｓθ、 光軸のずれ角度が非常に小さい場合、ｃｏｓθ＝１−θ
となるから、ｌ2＝ｌ＋△ｘ／ｃｏｓθ＝１＋△ｘ／
（１−θ）となる。そうすると、 ｌ1＋ｌ2＝ｌ−△ｘ＋１＋△ｘ／（１−θ）＝２ｌ＋θ・△ｘ／（１−θ） ≒２ｌ＋θ・△ｘ
する。ここで、帯状シート材料２０が＋側に△ｘ変位す
ると、 ｌ1＝ｌ−△ｘ、 ｌ2＝ｌ＋△ｌ＝ｌ＋△ｘ／ｃｏｓθ、 光軸のずれ角度が非常に小さい場合、ｃｏｓθ＝１−θ
となるから、ｌ2＝ｌ＋△ｘ／ｃｏｓθ＝１＋△ｘ／
（１−θ）となる。そうすると、 ｌ1＋ｌ2＝ｌ−△ｘ＋１＋△ｘ／（１−θ）＝２ｌ＋θ・△ｘ／（１−θ） ≒２ｌ＋θ・△ｘ
【００１２】 帯状シート材料２０の厚さは変わらない
から、ｌ1＋ｌ2＝２ｌであり、従って、θ・△ｘが測定
誤差となる。そうすると、帯状シート材料の種類によっ
て異なるが、要求測定誤差をσとしたとき、θ・△ｘ≦
σを満足するように、光軸のずれ角度θを設定し、第一
反射型レーザー測定手段１０と第二反射型レーザー測定
手段１２を配置すればよい。そこで、例えば、非接触連
続膜厚測定時において、帯状シート材料２０の変位が
０．５ｍｍあるとする。測定誤差を±２μｍ以内とした
い場合、θ×０．５ｍｍ≦２μｍであるから、θ≦２／
５００＝０．００４ｒａｄ．、π・ｒａｄ．＝１８０°
であるので、 θ≦０．００４ｒａｄ．＝０．００４×１８０°／π＝
０．２３° となる。
から、ｌ1＋ｌ2＝２ｌであり、従って、θ・△ｘが測定
誤差となる。そうすると、帯状シート材料の種類によっ
て異なるが、要求測定誤差をσとしたとき、θ・△ｘ≦
σを満足するように、光軸のずれ角度θを設定し、第一
反射型レーザー測定手段１０と第二反射型レーザー測定
手段１２を配置すればよい。そこで、例えば、非接触連
続膜厚測定時において、帯状シート材料２０の変位が
０．５ｍｍあるとする。測定誤差を±２μｍ以内とした
い場合、θ×０．５ｍｍ≦２μｍであるから、θ≦２／
５００＝０．００４ｒａｄ．、π・ｒａｄ．＝１８０°
であるので、 θ≦０．００４ｒａｄ．＝０．００４×１８０°／π＝
０．２３° となる。
【００１３】 すなわち、帯状シート材料２０の変位が
０．５ｍｍのとき、測定誤差を±２μｍ以内としたい場
合、光軸のずれ角度θは、０．２３°以下とすることが
必要である。また、帯状シート材料２０の変位が１．０
ｍｍのときは、光軸のずれ角度θは、０．１１°以下と
することが必要である。以上のことに鑑み、本発明にお
いては、帯状シート材料を挟んだ２台の反射型レーザー
測定手段のそれぞれの光軸のずれ角度θが、θ・△ｘ≦
σを満足するように設定し、配置することとした。より
具体的には、シート状の電池極板材料の場合には、帯状
シート材料を挟んだ２台の反射型レーザー測定手段のそ
れぞれの光軸のずれ角度θが０．２°以下となるように
配置することが好ましい。より好ましくは、光軸のずれ
角度θは０．１°以下である。
０．５ｍｍのとき、測定誤差を±２μｍ以内としたい場
合、光軸のずれ角度θは、０．２３°以下とすることが
必要である。また、帯状シート材料２０の変位が１．０
ｍｍのときは、光軸のずれ角度θは、０．１１°以下と
することが必要である。以上のことに鑑み、本発明にお
いては、帯状シート材料を挟んだ２台の反射型レーザー
測定手段のそれぞれの光軸のずれ角度θが、θ・△ｘ≦
σを満足するように設定し、配置することとした。より
具体的には、シート状の電池極板材料の場合には、帯状
シート材料を挟んだ２台の反射型レーザー測定手段のそ
れぞれの光軸のずれ角度θが０．２°以下となるように
配置することが好ましい。より好ましくは、光軸のずれ
角度θは０．１°以下である。
【００１４】 このように、帯状シート材料を挟んだ２
台の反射型レーザー測定手段のそれぞれの光軸のずれ角
度θが、θ・△ｘ≦σを満足するように配置した後、こ
の２台の反射型レーザー測定手段によってそれぞれ帯状
シート材料までの距離を検出することにより、帯状シー
ト材料の膜厚を連続的にかつ正確に測定することができ
るのである。
台の反射型レーザー測定手段のそれぞれの光軸のずれ角
度θが、θ・△ｘ≦σを満足するように配置した後、こ
の２台の反射型レーザー測定手段によってそれぞれ帯状
シート材料までの距離を検出することにより、帯状シー
ト材料の膜厚を連続的にかつ正確に測定することができ
るのである。
【００１５】 次に、帯状シート材料を挟んだ２台の反
射型レーザー測定手段の光軸を合わせる方法を説明す
る。上記した本発明の非接触連続膜厚測定方法は、２台
の反射型レーザー測定手段の光軸をそのずれ角度θがθ
・△ｘ≦σを満足するように所定以上の精度で合わせる
ことが前提であり、この光軸合わせは極めて重要であ
る。
射型レーザー測定手段の光軸を合わせる方法を説明す
る。上記した本発明の非接触連続膜厚測定方法は、２台
の反射型レーザー測定手段の光軸をそのずれ角度θがθ
・△ｘ≦σを満足するように所定以上の精度で合わせる
ことが前提であり、この光軸合わせは極めて重要であ
る。
【００１６】 以下、２台の反射型レーザー測定手段の
光軸合わせ方法を、図２に沿って説明する。図２におい
て、厚さｔが既知の非光透過性シートである帯状シート
材料２０を挟んで、２台の反射型レーザー測定手段を配
置する。一方が、第一反射型レーザー測定手段１０で、
その位置は固定されている。他方は、第二反射型レーザ
ー測定手段１２で、移動可能となっている。
光軸合わせ方法を、図２に沿って説明する。図２におい
て、厚さｔが既知の非光透過性シートである帯状シート
材料２０を挟んで、２台の反射型レーザー測定手段を配
置する。一方が、第一反射型レーザー測定手段１０で、
その位置は固定されている。他方は、第二反射型レーザ
ー測定手段１２で、移動可能となっている。
【００１７】 そこで、まず、第一反射型レーザー測定
手段１０及び第二反射型レーザー測定手段１２の位置を
示す変位信号Ｓ1、Ｓ2から、帯状シート材料２０の厚さ
ｔと、第一反射型レーザー測定手段１０から帯状シート
材料２０までの距離ｌ1及び第二反射型レーザー測定手
段１２から帯状シート材料２０までの距離ｌ2を演算
し、初期化する。
手段１０及び第二反射型レーザー測定手段１２の位置を
示す変位信号Ｓ1、Ｓ2から、帯状シート材料２０の厚さ
ｔと、第一反射型レーザー測定手段１０から帯状シート
材料２０までの距離ｌ1及び第二反射型レーザー測定手
段１２から帯状シート材料２０までの距離ｌ2を演算
し、初期化する。
【００１８】 次いで、帯状シート材料２０を第一反射
型レーザー測定手段１０側、又は第二反射型レーザー測
定手段１２側に、帯状シート材料２０が通過する範囲内
において変位させる。そして、第一反射型レーザー測定
手段１０及び第二反射型レーザー測定手段１２の位置を
示す変位信号Ｓ1、Ｓ2から、第一反射型レーザー測定手
段１０から帯状シート材料２０までの距離ｌ1と、第二
反射型レーザー測定手段１２から帯状シート材料２０ま
での距離ｌ2の合算値ｌ1＋ｌ2を演算する。次に、帯状
シート材料２０の変位に拘わらず、上記合算値ｌ1＋ｌ2
が一定となるように、第二反射型レーザー測定手段１２
の位置を調整することにより、２台の反射型レーザー測
定手段の光軸を合わせるのである。
型レーザー測定手段１０側、又は第二反射型レーザー測
定手段１２側に、帯状シート材料２０が通過する範囲内
において変位させる。そして、第一反射型レーザー測定
手段１０及び第二反射型レーザー測定手段１２の位置を
示す変位信号Ｓ1、Ｓ2から、第一反射型レーザー測定手
段１０から帯状シート材料２０までの距離ｌ1と、第二
反射型レーザー測定手段１２から帯状シート材料２０ま
での距離ｌ2の合算値ｌ1＋ｌ2を演算する。次に、帯状
シート材料２０の変位に拘わらず、上記合算値ｌ1＋ｌ2
が一定となるように、第二反射型レーザー測定手段１２
の位置を調整することにより、２台の反射型レーザー測
定手段の光軸を合わせるのである。
【００１９】 上記において、第二反射型レーザー測定
手段１２は、例えばゴニオメーター等に取り付けること
により、その位置調整をより精度良く行うことができ
る。
手段１２は、例えばゴニオメーター等に取り付けること
により、その位置調整をより精度良く行うことができ
る。
【００２０】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明の膜厚測
定方法によれば、リチウム電池用極板のような光を透過
しない帯状のシート材料の膜厚を、連続的かつ正確に測
定することができるという優れた効果を奏する。また、
本発明によれば、２台の反射型レーザー測定手段の光軸
を精度良く合わせることができる。
定方法によれば、リチウム電池用極板のような光を透過
しない帯状のシート材料の膜厚を、連続的かつ正確に測
定することができるという優れた効果を奏する。また、
本発明によれば、２台の反射型レーザー測定手段の光軸
を精度良く合わせることができる。
【図１】 本発明の非接触連続膜厚測定方法を概略的に
示す説明図である。
示す説明図である。
【図２】 ２台の反射型レーザー測定手段の光軸合わせ
方法を示す説明図である。
方法を示す説明図である。
１０…第一反射型レーザー測定手段、１２…第二反射型
レーザー測定手段、２０…帯状シート材料。
レーザー測定手段、２０…帯状シート材料。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鬼頭 賢信 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA06 AA09 AA17 AA20 AA30 AA32 BB13 BB15 CC02 DD06 EE00 FF61 GG04 GG13 HH13 JJ01 JJ05 JJ09 PP01 PP05 PP11 PP22 QQ25 QQ26 QQ27 QQ41
Claims (3)
- 【請求項１】 帯状シート材料の膜厚を、非接触で連続
的に測定する方法であって、 該帯状シート材料を移動させながら、該帯状シート材料
を挟んで２台の反射型レーザー測定手段を、要求測定精
度をσ、該帯状シート材料が移動する際の変位量を△ｘ
としたとき、該２台の反射型レーザー測定手段のそれぞ
れの光軸のずれ角度θが、θ×△ｘ≦σを満足するよう
に配置し、 該２台の反射型レーザー測定手段によってそれぞれ前記
帯状シート材料までの距離を検出することにより、前記
帯状シート材料の膜厚を連続的に測定することを特徴と
する帯状シート材料の非接触連続膜厚測定方法。 - 【請求項２】 該２台の反射型レーザー測定手段のそれ
ぞれの光軸のずれ角度θが０．２°以下となるように配
置する請求項１記載の帯状シート材料の非接触連続膜厚
測定方法。 - 【請求項３】 厚さｔが既知の非光透過性シートを挟ん
で２台の反射型レーザー測定手段を配置し、一方の第一
反射型レーザー測定手段の位置を固定するとともに、他
方の第二反射型レーザー測定手段を移動可能とし、 第一反射型レーザー測定手段及び第二反射型レーザー測
定手段の変位信号Ｓ1、Ｓ2から、非光透過性シートの厚
さｔ、第一反射型レーザー測定手段から非光透過性シー
トまでの距離ｌ1及び第二反射型レーザー測定手段から
非光透過性シートまでの距離ｌ2を演算、初期化し、 次いで、非光透過性シートを第一反射型レーザー測定手
段の側又は第二反射型レーザー測定手段の側に変位さ
せ、 前記第一反射型レーザー測定手段及び第二反射型レーザ
ー測定手段の変位信号Ｓ1、Ｓ2から、ｌ1＋ｌ2を演算
し、 次に、非光透過性シートの変位に拘わらず、ｌ1＋ｌ2が
一定となるように、第二反射型レーザー測定手段の位置
を調整することを特徴とする２台の反射型レーザー測定
手段の光軸合わせ方法。
Priority Applications (1)
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| JP2000072031A JP2001264023A (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | 帯状シート材料の非接触連続膜厚測定方法及び反射型レーザー測定手段の光軸合わせ方法 |
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| JP2001264023A true JP2001264023A (ja) | 2001-09-26 |
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ID=18590504
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| JP2000072031A Withdrawn JP2001264023A (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | 帯状シート材料の非接触連続膜厚測定方法及び反射型レーザー測定手段の光軸合わせ方法 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP2001264023A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263818A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Jfe Steel Kk | 厚さ計測装置の調整方法及びその装置 |
| JP2009031120A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Jfe Steel Kk | 厚さ計測装置の調整方法及びその装置 |
| KR101077070B1 (ko) | 2011-06-14 | 2011-10-26 | (주)엠오텍 | 이차 전지 재료 특성 평가 장치 |
| JP2012088277A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-05-10 | New Japan Radio Co Ltd | 反射型フォトセンサを用いた位置検出装置 |
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| CN110986800A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-04-10 | 日照新博木业有限公司 | 一种纤维薄板计数方法及系统 |
| US12038269B2 (en) | 2019-08-27 | 2024-07-16 | Lg Energy Solution, Ltd. | Apparatus and method for measuring thickness of unit cell |
-
2000
- 2000-03-15 JP JP2000072031A patent/JP2001264023A/ja not_active Withdrawn
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