JPS61193047A - 微小硬度測定機 - Google Patents
微小硬度測定機Info
- Publication number
- JPS61193047A JPS61193047A JP3384085A JP3384085A JPS61193047A JP S61193047 A JPS61193047 A JP S61193047A JP 3384085 A JP3384085 A JP 3384085A JP 3384085 A JP3384085 A JP 3384085A JP S61193047 A JPS61193047 A JP S61193047A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- indenter
- sample
- displacement
- load
- displacement gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/40—Investigating hardness or rebound hardness
- G01N3/42—Investigating hardness or rebound hardness by performing impressions under a steady load by indentors, e.g. sphere, pyramid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/003—Generation of the force
- G01N2203/005—Electromagnetic means
- G01N2203/0051—Piezoelectric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は極く表面層あるいは薄膜の微小硬度を測定する
微小硬度測定機に関する。
微小硬度測定機に関する。
（従来技術とその問題点）
近年、産業上重要となってきている薄膜の機械特性の１
つとして硬度を測定するｆｃＲが種々考案されてき九〇 例えばプレティン・オプ・ザ・ジャパニーズ・ソサエテ
ィ・オプ・グレシジッン・エンジニアリング（Ｂｕｌｌ
、 Ｊａｐ、 ８ｏｃ、 Ｐｒｅｃ、 Ｂｎｇ、、 ３
、１（１９６８）１３）３巻、１号、１９６８年、１
３頁に記載されている様な装置は平衝型の天秤を用いて
片方のはりを電磁石によシ上下させて他方に取シ付けた
圧子を試料に押し付けて圧こんを観察するものがあるが
圧こんを観察することおよび電磁石を使用しているとと
から荷重の精度は０．１９と精度が悪く膜厚０．１μｍ
程度の薄膜の硬度を測定することは困難である。
つとして硬度を測定するｆｃＲが種々考案されてき九〇 例えばプレティン・オプ・ザ・ジャパニーズ・ソサエテ
ィ・オプ・グレシジッン・エンジニアリング（Ｂｕｌｌ
、 Ｊａｐ、 ８ｏｃ、 Ｐｒｅｃ、 Ｂｎｇ、、 ３
、１（１９６８）１３）３巻、１号、１９６８年、１
３頁に記載されている様な装置は平衝型の天秤を用いて
片方のはりを電磁石によシ上下させて他方に取シ付けた
圧子を試料に押し付けて圧こんを観察するものがあるが
圧こんを観察することおよび電磁石を使用しているとと
から荷重の精度は０．１９と精度が悪く膜厚０．１μｍ
程度の薄膜の硬度を測定することは困難である。
また固体物理、８巻、５号、１９７３年、２９頁−３３
頁に記載されている様な装置はスジインゲージに取）付
けら九九圧子を電流計の指針によって力を加えて圧子を
試料表面に押しつけると同時に圧子に取シ付けられた電
気容量式の変位計を用いて押込み量を測定するものがあ
るが、圧子と試料の接触を検出することが困難な上、電
流計の指針を使って荷重を加えていることから設定荷重
を変えて複数回の試験を行なわなければならず、また押
込み荷重の精度が悪い。また変位検出の精度も０．０１
μｍと０．１μｍレベルの膜厚の硬度測定には精度が不
足である。
頁に記載されている様な装置はスジインゲージに取）付
けら九九圧子を電流計の指針によって力を加えて圧子を
試料表面に押しつけると同時に圧子に取シ付けられた電
気容量式の変位計を用いて押込み量を測定するものがあ
るが、圧子と試料の接触を検出することが困難な上、電
流計の指針を使って荷重を加えていることから設定荷重
を変えて複数回の試験を行なわなければならず、また押
込み荷重の精度が悪い。また変位検出の精度も０．０１
μｍと０．１μｍレベルの膜厚の硬度測定には精度が不
足である。
またジャール・オプ・フィツクス・Ｅ：サイエンス・イ
ンスツルメント（Ｊ 、Ｐｈｙｓ、 Ｅ： ８ｅｉ。
ンスツルメント（Ｊ 、Ｐｈｙｓ、 Ｅ： ８ｅｉ。
Ｉｎｓｔｒｕｍ舎 、ｖｏｌ １５． １９８２
． １１９ １２２）１５巻、１９８２年、１１
９頁−１２２頁に記載されている様な装置は、静電気力
によって圧子を試料に押し付け、圧子に取シ付けた電気
容量式の変位計によシ押し込み深さを測定しているが、
荷重の精度がｈ４と悪く、圧子と試料の接触を精度良く
検出することも困難であシ、データの信頼性に問題が有
る口また変位測定に用いた電気容量式変位計の電荷によ
る力が荷重の測定値に影響を与える。また空気中の湿度
により容量の変化を受は易く装置の環境も制御する必要
かあ）、装置は複雑で信頼性に劣る。
． １１９ １２２）１５巻、１９８２年、１１
９頁−１２２頁に記載されている様な装置は、静電気力
によって圧子を試料に押し付け、圧子に取シ付けた電気
容量式の変位計によシ押し込み深さを測定しているが、
荷重の精度がｈ４と悪く、圧子と試料の接触を精度良く
検出することも困難であシ、データの信頼性に問題が有
る口また変位測定に用いた電気容量式変位計の電荷によ
る力が荷重の測定値に影響を与える。また空気中の湿度
により容量の変化を受は易く装置の環境も制御する必要
かあ）、装置は複雑で信頼性に劣る。
本発明の目的は荷重および変位の両測定において高精度
の値が得られ、０．１μｍレベルの薄膜の硬度を高精度
で求めることが出来る微小硬度計を提供することにある
０ （発明の構成） 本発明はその上部に試料が取付可能な荷重変換器と、該
荷重変換器の上方に位置し圧子を試料に押込む押込み駆
動器と、該押込み駆動器と連動し荷重変換器と圧子との
変位を測定する変位計とを備えたことを特徴とする微小
硬度測定機である。
の値が得られ、０．１μｍレベルの薄膜の硬度を高精度
で求めることが出来る微小硬度計を提供することにある
０ （発明の構成） 本発明はその上部に試料が取付可能な荷重変換器と、該
荷重変換器の上方に位置し圧子を試料に押込む押込み駆
動器と、該押込み駆動器と連動し荷重変換器と圧子との
変位を測定する変位計とを備えたことを特徴とする微小
硬度測定機である。
（構成の詳細な説明）
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の微小硬度計の一実施例を表わす図で、
試料１は荷重変換器として用いられる電子天秤２の試料
皿３の上に乗せられている。先端が半径０．１μｍにイ
オンミリングによりて仕上げられた圧子として用いる五
角錐ダイアモンド圧子４は押し込み駆動器として用いら
れる圧電アクチュエータ５によフ試料面に押込まれる。
試料１は荷重変換器として用いられる電子天秤２の試料
皿３の上に乗せられている。先端が半径０．１μｍにイ
オンミリングによりて仕上げられた圧子として用いる五
角錐ダイアモンド圧子４は押し込み駆動器として用いら
れる圧電アクチュエータ５によフ試料面に押込まれる。
圧子４に取付けられた変位計として用いられるフォトニ
ックプローブ７（商品名）からの光８は皿３に乗せられ
たＷ２Ｏに反射して該プローブ７に戻シ、プローブと鏡
の変位すなわち、圧子の試料に対する押込め量が測定さ
れる口なおこの場合、鏡の代）に試料自身を用いること
もできる口圧子による押込み荷重は試料が乗せられた電
子天秤で測定される。
ックプローブ７（商品名）からの光８は皿３に乗せられ
たＷ２Ｏに反射して該プローブ７に戻シ、プローブと鏡
の変位すなわち、圧子の試料に対する押込め量が測定さ
れる口なおこの場合、鏡の代）に試料自身を用いること
もできる口圧子による押込み荷重は試料が乗せられた電
子天秤で測定される。
第２図は本発明の微小硬度計の一実施例を示すブロック
図でパーソナルコンビエータ９からの制御信号をデジタ
ル／アナログ変換器１０．定電圧電源１１および電圧増
巾器１２ｔ−介して圧電アクチェエータ５に加えること
によシ駆動制御を行なう。押込みによる荷重の信号は電
子天秤２からデジタル信号として直接パーソナルコンピ
ュータ９を通してＸ−Ｙプロッタ１３のＹ軸に加えられ
るかまたはデジタル／アナログ変換器１４ｔ−通してＸ
−Ｙレコーダ１５のＹ軸に加えられる。押し込み深さは
７オトニツクプロープ７からの元″ｆ、７ｔトニック七
ンサ１６（商品名、米国フォトニクス社製）で検出する
ことによって測定され、その信号はアナログ信号として
直接Ｘ−Ｙレコーダ１５のＹ軸に加えられるかまたはア
ナログ／デジタル変換器１７からパーソナルコンビエー
タ９全通してＸ−Ｙブロック１３のＹ軸に加えられる。
図でパーソナルコンビエータ９からの制御信号をデジタ
ル／アナログ変換器１０．定電圧電源１１および電圧増
巾器１２ｔ−介して圧電アクチェエータ５に加えること
によシ駆動制御を行なう。押込みによる荷重の信号は電
子天秤２からデジタル信号として直接パーソナルコンピ
ュータ９を通してＸ−Ｙプロッタ１３のＹ軸に加えられ
るかまたはデジタル／アナログ変換器１４ｔ−通してＸ
−Ｙレコーダ１５のＹ軸に加えられる。押し込み深さは
７オトニツクプロープ７からの元″ｆ、７ｔトニック七
ンサ１６（商品名、米国フォトニクス社製）で検出する
ことによって測定され、その信号はアナログ信号として
直接Ｘ−Ｙレコーダ１５のＹ軸に加えられるかまたはア
ナログ／デジタル変換器１７からパーソナルコンビエー
タ９全通してＸ−Ｙブロック１３のＹ軸に加えられる。
前記の例で荷重変換器として用いた電子天秤２の精度は
０．１μｇまで使用することが出来るが、通常のプラス
ナック又は金属材料であればＯ，Ｏｌｍ、９の精度で実
用上十分である。圧子４と試料１との接触は０．１μ９
までの精度で検出可能である。
０．１μｇまで使用することが出来るが、通常のプラス
ナック又は金属材料であればＯ，Ｏｌｍ、９の精度で実
用上十分である。圧子４と試料１との接触は０．１μ９
までの精度で検出可能である。
前記フォトニックプローブ又はフォトニックセンサ−は
Ｗ２Ｏとして金又は銀をスパッタリング又は蒸着によシ
ガラス板に被覆したものを用いれば変位量０．００４μ
ｍまで検出することが出来る。なお試料自身を用いるこ
ともできる。
Ｗ２Ｏとして金又は銀をスパッタリング又は蒸着によシ
ガラス板に被覆したものを用いれば変位量０．００４μ
ｍまで検出することが出来る。なお試料自身を用いるこ
ともできる。
たとえばダイアモンド圧子４は先端が一点になる様に五
角錐が用いられる。頂角は出来るだけ小さい方が好まし
いが、加工の歩出シから８０°程度が適当である。先端
は研磨だれにより大きな曲率半径を持つので、０．０１
〜０．１μｍの半径に仕上げる為にアルゴンイオンによ
るイオンエツチング法を用いる〇 微小硬度計は荷重を加える駆動系と、変位検出部が一体
となって動き、かつそれらと荷重検出部は独立になって
いる為、駆動系のヒステリシスには全く影響されない。
角錐が用いられる。頂角は出来るだけ小さい方が好まし
いが、加工の歩出シから８０°程度が適当である。先端
は研磨だれにより大きな曲率半径を持つので、０．０１
〜０．１μｍの半径に仕上げる為にアルゴンイオンによ
るイオンエツチング法を用いる〇 微小硬度計は荷重を加える駆動系と、変位検出部が一体
となって動き、かつそれらと荷重検出部は独立になって
いる為、駆動系のヒステリシスには全く影響されない。
また変位検出部に光を用いているので、変位検出が荷動
検出に影響を与えることもない。また荷重検出部に電子
天秤を用いることによシきわめて高精度の荷重検出能を
有することが出来る。また駆動系に圧電アクチェエータ
を用いることによシ、毎秒Ｉ Ｅｌｍから毎秒１１００
ｎ程度の範囲で±ｌｎｍ程度きわめて微小な押込み量を
制御することが出来る。
検出に影響を与えることもない。また荷重検出部に電子
天秤を用いることによシきわめて高精度の荷重検出能を
有することが出来る。また駆動系に圧電アクチェエータ
を用いることによシ、毎秒Ｉ Ｅｌｍから毎秒１１００
ｎ程度の範囲で±ｌｎｍ程度きわめて微小な押込み量を
制御することが出来る。
また本発明に用いられる荷重変換器には前述の電子天秤
以外にも平衝型化学天秤、動ひずみ型荷重変換器（スト
レインゲージ）なども用いることが出来るが精度および
取扱いの簡便さを考えると電子天秤が最も適している。
以外にも平衝型化学天秤、動ひずみ型荷重変換器（スト
レインゲージ）なども用いることが出来るが精度および
取扱いの簡便さを考えると電子天秤が最も適している。
電子天秤は測定試料の荷重による天秤の平衡からのずれ
をフォトダイオード／７オトセ／す等で検出、シ、先の
平衡位置へ天秤を電磁石によシ戻す時に必要な電圧から
荷重に換算するもので、極めて感度が良＜Ｏ，ｘｐｌま
で検出が可能である◎ また本発明に用いられる変位計としては、静電容量の変
位、電磁誘導（リアクタンス）の変化、磁界の変化など
金利用する変位計も使用するととが出来るが変位測定に
際し、荷重がかかることにより精度が悪いことおよび空
気中の湿度の影響を受は易い。また光干渉計を利用した
変位計も有るが、０．Ｏ１μｍ程度の変位を測定するに
は変位計と被測定物の間を極めて近づけなければならず
非接触で測定することは困難である口そこで最も適して
いる変位計は以下説明するフォトニックセンサ（商品名
、米国フオトニクス社製）である。フォトニックセンサ
は元ケーブルからの光を被測定物に反射させ、戻シ元の
強度によシ変位を検出するもので、非接触でしかも被測
定物に力などの影響を与えずに高精度に変位を測定する
ことが出来る。また本発明に用いられる押し込み駆動器
としては電磁石による電磁気力を用いるもの油圧又は空
気圧を用いるもの等も使用することが出来るが圧子の微
小な変位を精度良く制御することは難しい０また静電力
を利用するものもあるが空気中の湿度の影響を受は易く
制御がきわめて難しい。そこで最も適した押し込み駆動
器は圧電アクチェエータである。圧電アクチェエータは
ピエゾ素子の積層体からなっておシ印加電圧を変えるこ
とにょシ全体が伸縮する・ 実施例 次に実施例によシ本発Ｆ！Ａを詳細に説明する。
をフォトダイオード／７オトセ／す等で検出、シ、先の
平衡位置へ天秤を電磁石によシ戻す時に必要な電圧から
荷重に換算するもので、極めて感度が良＜Ｏ，ｘｐｌま
で検出が可能である◎ また本発明に用いられる変位計としては、静電容量の変
位、電磁誘導（リアクタンス）の変化、磁界の変化など
金利用する変位計も使用するととが出来るが変位測定に
際し、荷重がかかることにより精度が悪いことおよび空
気中の湿度の影響を受は易い。また光干渉計を利用した
変位計も有るが、０．Ｏ１μｍ程度の変位を測定するに
は変位計と被測定物の間を極めて近づけなければならず
非接触で測定することは困難である口そこで最も適して
いる変位計は以下説明するフォトニックセンサ（商品名
、米国フオトニクス社製）である。フォトニックセンサ
は元ケーブルからの光を被測定物に反射させ、戻シ元の
強度によシ変位を検出するもので、非接触でしかも被測
定物に力などの影響を与えずに高精度に変位を測定する
ことが出来る。また本発明に用いられる押し込み駆動器
としては電磁石による電磁気力を用いるもの油圧又は空
気圧を用いるもの等も使用することが出来るが圧子の微
小な変位を精度良く制御することは難しい０また静電力
を利用するものもあるが空気中の湿度の影響を受は易く
制御がきわめて難しい。そこで最も適した押し込み駆動
器は圧電アクチェエータである。圧電アクチェエータは
ピエゾ素子の積層体からなっておシ印加電圧を変えるこ
とにょシ全体が伸縮する・ 実施例 次に実施例によシ本発Ｆ！Ａを詳細に説明する。
（実施例１）
１０ミリ角のガラス板上＜＊ｔｏ、ｌｙμｍスパッタリ
ング法により被覆して試料１を作製し九０この試料を第
１図、第２図に示した微小硬度計で硬度を測定した。こ
こで用いた電子天秤は荷重精度１０μｇであシ７オトニ
ックプロープの変位精度４０Ｘであった。とこで圧電ア
クチュエータによる押込み速度は毎秒７ ｎｍで行なっ
た０この結果Ｘ−Ｙレコーダ上に描かれた荷重−押込み
深さ曲線は第３図の様てあシ、錫の膜厚まで圧子が押込
まれると、ガラス基板の硬度の為に曲線の勾配は急峻と
なる。この図よシ錫の押込み硬度は１．９５３Ｘ１０９
／ＴＩであった口 （実施例２） 実施例１と同様にして但し、ガラス板上にコバルトｔｏ
、１８μｍスパッタリング法によシ被覆して試料１を作
製した。得られた荷重−押込み深さ曲線は第４図の様で
あシ、コバルトの膜厚まで圧子が押込まれると曲線が変
化する。この図よシコパルトの押込み硬度は２．２４９
Ｘ ｌ ０９／１ｙｘｒであった〇（発明の効果） 実施例１および２で示す様にきわめて高精度で硬度の変
化する所を検出出来、その硬度を求めることが出来るこ
とが分る。
ング法により被覆して試料１を作製し九０この試料を第
１図、第２図に示した微小硬度計で硬度を測定した。こ
こで用いた電子天秤は荷重精度１０μｇであシ７オトニ
ックプロープの変位精度４０Ｘであった。とこで圧電ア
クチュエータによる押込み速度は毎秒７ ｎｍで行なっ
た０この結果Ｘ−Ｙレコーダ上に描かれた荷重−押込み
深さ曲線は第３図の様てあシ、錫の膜厚まで圧子が押込
まれると、ガラス基板の硬度の為に曲線の勾配は急峻と
なる。この図よシ錫の押込み硬度は１．９５３Ｘ１０９
／ＴＩであった口 （実施例２） 実施例１と同様にして但し、ガラス板上にコバルトｔｏ
、１８μｍスパッタリング法によシ被覆して試料１を作
製した。得られた荷重−押込み深さ曲線は第４図の様で
あシ、コバルトの膜厚まで圧子が押込まれると曲線が変
化する。この図よシコパルトの押込み硬度は２．２４９
Ｘ ｌ ０９／１ｙｘｒであった〇（発明の効果） 実施例１および２で示す様にきわめて高精度で硬度の変
化する所を検出出来、その硬度を求めることが出来るこ
とが分る。
第１図は本発明の微小硬度計の一実施例の構造を示す図
、第２図は微小硬度計のブロック図の例を示す図、第３
図、第４図は押込み荷重−押込み深さ曲線図。 図において、ｌ、試料、２．′電子天秤、３．試料皿、
４．ダイアモンド圧子、５．圧電アクチュエータ、６．
鏡、７． フォトニックプローブ、８゜元、９．パ
ーソナルコンピュータ、ｌＯ，デジタル／アナログ変換
器、１１．定電圧電源、１２゜電圧増巾器、１３．Ｘ−
Ｙプロッタ、１４．デジタル／アナログ変換器、１５．
Ｘ−Ｙレコーダ、１６．フォトニラクセ／す、１７．ア
ナログ／デジタル変換器である口 〈−冬
、第２図は微小硬度計のブロック図の例を示す図、第３
図、第４図は押込み荷重−押込み深さ曲線図。 図において、ｌ、試料、２．′電子天秤、３．試料皿、
４．ダイアモンド圧子、５．圧電アクチュエータ、６．
鏡、７． フォトニックプローブ、８゜元、９．パ
ーソナルコンピュータ、ｌＯ，デジタル／アナログ変換
器、１１．定電圧電源、１２゜電圧増巾器、１３．Ｘ−
Ｙプロッタ、１４．デジタル／アナログ変換器、１５．
Ｘ−Ｙレコーダ、１６．フォトニラクセ／す、１７．ア
ナログ／デジタル変換器である口 〈−冬
Claims (1)
- その上部に試料が取付可能な荷重変換器と、該荷重変換
器の上方に位置し圧子を試料に押込む押込み駆動器と、
該押込み駆動器と連動し荷重変換器と圧子との変位を測
定する変位計とを備えたことを特徴とする微小硬度測定
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60033840A JP2551931B2 (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 薄膜硬度測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60033840A JP2551931B2 (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 薄膜硬度測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61193047A true JPS61193047A (ja) | 1986-08-27 |
| JP2551931B2 JP2551931B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=12397684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60033840A Expired - Lifetime JP2551931B2 (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 薄膜硬度測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551931B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988000691A1 (en) * | 1986-07-10 | 1988-01-28 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Or | Penetrating measuring instrument |
| JPS6443742A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-16 | Nec Corp | Fine scratch hardness measuring machine |
| JPS6450932A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Nec Corp | Minute-scratch hardness measuring machine |
| JPH01216230A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-30 | Shimadzu Corp | 超微小材料試験装置 |
| AU604253B2 (en) * | 1986-07-10 | 1990-12-13 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Penetrating measuring instrument |
| JPH0555044U (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-23 | 日本電気株式会社 | 硬度計 |
| KR20190094388A (ko) * | 2016-11-29 | 2019-08-13 | 헬무트 휘셔 게엠베하 인스티투트 휘어 엘렉트로닉 운트 메쓰테크닉 | 시험체 표면 내로의 침투체의 침투 이동 중에 측정 신호를 결정하는 측정 시스템, 측정기구 및 방법 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS557538A (en) * | 1978-06-28 | 1980-01-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production of soot-form glass rod |
| JPS55112243U (ja) * | 1979-02-01 | 1980-08-07 | ||
| JPS57147033A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-10 | Rooto Seiyaku Kk | Measuring device for hardness of grain |
-
1985
- 1985-02-22 JP JP60033840A patent/JP2551931B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS557538A (en) * | 1978-06-28 | 1980-01-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production of soot-form glass rod |
| JPS55112243U (ja) * | 1979-02-01 | 1980-08-07 | ||
| JPS57147033A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-10 | Rooto Seiyaku Kk | Measuring device for hardness of grain |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988000691A1 (en) * | 1986-07-10 | 1988-01-28 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Or | Penetrating measuring instrument |
| AU604253B2 (en) * | 1986-07-10 | 1990-12-13 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Penetrating measuring instrument |
| US5067346A (en) * | 1986-07-10 | 1991-11-26 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization | Penetrating measuring instrument |
| JPS6443742A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-16 | Nec Corp | Fine scratch hardness measuring machine |
| JPS6450932A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Nec Corp | Minute-scratch hardness measuring machine |
| JPH01216230A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-30 | Shimadzu Corp | 超微小材料試験装置 |
| JPH0555044U (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-23 | 日本電気株式会社 | 硬度計 |
| KR20190094388A (ko) * | 2016-11-29 | 2019-08-13 | 헬무트 휘셔 게엠베하 인스티투트 휘어 엘렉트로닉 운트 메쓰테크닉 | 시험체 표면 내로의 침투체의 침투 이동 중에 측정 신호를 결정하는 측정 시스템, 측정기구 및 방법 |
| JP2020501168A (ja) * | 2016-11-29 | 2020-01-16 | ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・インスティテュート・フューア・エレクトロニク・ウント・メステクニク | 試験片表面に圧子を侵入移動する間、測定信号を決定する測定デバイス、測定構成及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2551931B2 (ja) | 1996-11-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Qiu et al. | Ionic skin with biomimetic dielectric layer templated from calathea zebrine leaf | |
| US6545495B2 (en) | Method and apparatus for self-calibration of capacitive sensors | |
| US5357786A (en) | Device for determining mechanical properties of materials | |
| EP1084392A1 (en) | Micromechanical potentiometric sensors | |
| US7916306B2 (en) | Optical device comprising a cantilever and method of fabrication and use thereof | |
| JPH10319104A (ja) | サンプルの磁気モーメントを感知するための方法およびトルク磁力計 | |
| Muntwyler et al. | Three-axis micro-force sensor with sub-micro-Newton measurement uncertainty and tunable force range | |
| JP4320028B2 (ja) | 微小硬度測定法及び微小硬度計 | |
| JPS61193047A (ja) | 微小硬度測定機 | |
| Okatani et al. | A tactile sensor for simultaneous measurements of 6-axis force/torque and the coefficient of static friction | |
| Hamdana et al. | Transferable micromachined piezoresistive force sensor with integrated double-meander-spring system | |
| Gräbner et al. | Simultaneous measurement of strain and temperature with two resistive strain gauges made from different materials | |
| CN108120858B (zh) | 自激励自检测探针及其制作方法 | |
| Cheng et al. | Development of a high-precision optical force sensor with μN-level resolution | |
| Buetefisch et al. | Novel design for an ultra high precision 3D micro probe for CMM applications | |
| CA1178083A (en) | Measuring device using a strain gauge | |
| JPS62245131A (ja) | ひつかき試験機 | |
| JPS6336132A (ja) | 薄膜のヤング率及び内部応力測定装置 | |
| Oiwa et al. | Miniaturized three-dimensional touch trigger probe using optical fibre bundle | |
| Watanabe et al. | Identification of various kinds of papers using multi-axial tactile sensor with micro-cantilevers | |
| CN111964603A (zh) | 一种基于光杠杆的光纤布拉格光栅应变传感器的标定方法 | |
| Ibrahimi et al. | Enhanced Design and Analysis of the Microcantilever-Based Bio-Sensor to Detect Carcinoembryonic Antigen Tumor Biomarkers | |
| JP3115526B2 (ja) | 表面力測定装置 | |
| JPH11230875A (ja) | 微小バネ定数測定装置およびバネ定数の測定方法 | |
| JPS6239743A (ja) | 薄膜の縦弾性係数測定用曲げ試験機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |