JPH0555044U

JPH0555044U - 硬度計

Info

Publication number: JPH0555044U
Application number: JP11192391U
Authority: JP
Inventors: 正人木村
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1991-12-24
Filing date: 1991-12-24
Publication date: 1993-07-23

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】薄い皮膜や表面処理部等の硬度を有効に測定
し得る硬度計を提供すること。【構成】試料１を上部に載せる荷重変換器２と、この
荷重変換器２の上方に位置する押し込み駆動部４と、こ
の押し込み駆動部４の下端に取り付けられ、かつ先端に
平坦部６を有する圧子３とを備え、圧子３と連動しかつ
荷重変換器２と対向して変位計５とを装備したこと。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は硬度計に関し、特に粉体及び粒子の硬度と破壊強度を測定する硬度計に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の硬度計は図２に示す様に、試料５１を上部に載せる荷重変換器５２と、荷重変換器５２の上方に押し込み駆動部５３と、押し込み駆動部５３の先端に取り付けられた圧子５４と、圧子５４と連動して荷重変換器５２と対向する変位計５５を有している（例えば特開昭62−39743 号公報）。試料５１は荷重変換器５２として用いられる電子天秤の試料皿の上に載せられている。先端がイオンミリングで0.1［μｍ］に仕上げられた圧子５３として用いる三角錐ダイヤモンド圧子は、押し込み駆動部５４として用いられている圧電アクチュエータにより試料面に押し込まれている。圧子５３に取り付けられた変位計５５により圧子の試料に対する押し込み量が測定される。また、圧子により押し込み荷重は荷重変換器で検出される。この押し込み量と押し込み荷重から硬度を求められるようになっている。

【０００３】また、図３に示す様な粒子・粉体の硬度・破壊強度を測定する硬度計もある。これは、荷重変換器に天秤、圧子の押し込み駆動部に電磁石、押し込み量の測定には差動トランスを使用しており、この装置も押し込み量と押し込み荷重の関係から粒子・粉体の硬度や破壊強度を求められるようになっている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

この従来の硬度計では、圧子の先端が0.1［μｍ］の球状であるため、粉体や粒子の硬度や破壊強度を測定する時の位置決めが非常に困難であり、粉体や粒子の中心を押すことは不可能であった。また、図３に示す様な粉体・粒子の硬度または破壊強度測定装置は、圧子の先端は平坦であるが、押し込み駆動部に電磁石、押し込み荷重は上方からの天秤、押し込み量の検出は差動トランスを使用しているため、押し込み荷重の分解能・押し込み量の分解能が良くない。このため、粒子の表面の硬度を測定することができないという不都合が生じていた。

【０００５】

【考案の目的】

本考案は、かかる従来例の有する不都合を改善し、とくに、薄い皮膜や表面処理部等の硬度を有効に測定し得る硬度計を提供することを、その目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案では、試料を上部に載せる荷重変換器と、この荷重変換器の上方に位置する押し込み駆動部と、この押し込み駆動部の下端に取り付けられ，かつ先端に平坦部を有する圧子と、この圧子と連動し荷重変換器と対向する変位計とを備える、という構成を採っている。これによって前述した目的を達成しようとするものである。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図１に基づいて説明する。この図１に示す実施例は、試料を上部に載せる荷重変換器２と、この荷重変換器２の上方に位置する押し込み駆動部４と、この押し込み駆動部４の下端に取り付けられ，かつ先端に平坦部６を有する圧子３とを備え、この圧子３と連動し前記荷重変換器２と対向して変位計５とを備えている。また、符号１０は本体ベース部を示し、符号１１は支持枠体部を示す。

【０００８】次に、この実施例の動作を説明する。この図１における硬度計は、荷重変換器２である電子天秤の試料皿の上に試料１を載せる。試料１の上には圧子３の平坦部６があり、圧電アクチュエータを使用した押し込み駆動部４により試料１を押しつぶす。その時の押し込み量はフォトニックセンサを用いた変位計５により計測される。押し込み荷重と押し込み量の関係から粉体・粒子の硬度を測定したり、破壊するまで押し込むことにより、破壊強度を測定することができる。

【０００９】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によると、圧子の試料に接触する部分を平坦にしたので、粉体・粒子の一番高い部分つまり中心に力を加えて押し込むことができ、また、圧子と変位計が連動する構造であるので、高精度に押し込み量が測定可能となり、下から荷重変換器で押し込み荷重を測定する構造なので非常に薄い皮膜や表面処理部の硬度を測定することができる、という従来にない優れた実用的な硬度計を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す概略図である。

【図２】従来の硬度計の一例を示す概略図である。

【図３】他の従来例を示す概略図である。

【符号の説明】

５１試料５２荷重変換器５３圧子５４押し込み駆動部５５変位計５６平坦部

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】試料を上部に載せる荷重変換器と、この
荷重変換器の上方に位置する押し込み駆動部と、この押
し込み駆動部の下端に取り付けられ、かつ先端に平坦部
を有する圧子とを備え、前記圧子と連動しかつ前記荷重
変換器と対向して変位計とを装備したことを特徴とする
硬度計。