WO2004075204A3 - Messanordnung zur kombinierten abtastung und untersuchung von mikrotechnischen, elektrische kontakte aufweisenden bauelementen - Google Patents

Messanordnung zur kombinierten abtastung und untersuchung von mikrotechnischen, elektrische kontakte aufweisenden bauelementen Download PDF

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Abstract

Es wird eine Messanordnung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen, elektrische Kontakte aufweisenden Bauelementen (17) beschrieben. Die Messanordnung enthält einen Cantilever (1) mit einer elektrisch leitenden Probenspitze (4), einen in den Cantilever (1) integrierten, piezoresistiven Sensor (5) und einen im Bereich der Probenspitze (4) angeordneten Heizdraht-Aktuator (6). Der Heizdraht-Aktuator (6) dient dem Zweck, die Probenspitze (4) bei der Durchführung von Abtastungen in mechanische Schwingungen zu versetzen, und kann bei der Durchführung von Untersuchungen zur Herstellung einer vorgewählten Auflagekraft verwendet werden, mit der die Probenspitze (4) auf dem Bauelement (17) aufliegt. Der Sensor (5) wird bei der Abtastung nach dem AFM-Verfahren zur Konstanthaltung des Abstands zwischen der Probenspitze (4) und der Oberfläche (16) des Bauelements (17) verwendet, während er bei der Durchführung von Untersuchungen dazu dient, die Auflagekraft der Probenspitze (4) auf dem Bauelement (17) zu messen und/oder mit Hilfe des Heizdraht-Aktuators (6) einzustellen. Ausserdem beschreibt die Erfindung eine mit einer solchen Messanordnung ausgerüstete Vorrichtung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen Bauelementen (Fig. 6).
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