JP2001260357A5 - - Google Patents

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Description

【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室と、この圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電素子の外周面に酸化膜又は窒化膜からなる保護膜を有し、且つ該保護膜は、前記圧電素子の上面の主要部に対向する領域に他の領域よりも膜厚の薄い薄膜部を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１２】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記保護膜は、前記圧力発生室に対向する領域で前記圧電素子の幅方向外側の前記振動板上まで延設され、この領域の膜厚が前記薄膜部の膜厚よりも厚いことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２２】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。
【００２３】
かかる第５の態様では、ヘッドの信頼性を向上したインクジェット式記録装置を実現することができる。
【００５６】
また、圧電素子３００（圧電体能動部３２０）の表面には、酸化膜又は窒化膜からなる保護膜１００が設けられ、且つこの保護膜１００の圧電体能動部３２０の上面の主要部を覆う領域は、他の領域の膜厚の膜厚よりも薄い薄膜部１００ａとなっている。なお、薄膜部１００ａの膜厚は、特に限定されないが、圧電体能動部３２０の駆動による振動板の変形を妨げない程度の薄さであればよい。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、圧電素子の外周面が酸化膜又は窒化膜からなる保護膜によって完全に覆われているため、大気中の水分等の外部環境に起因する圧電素子の圧電体層の絶縁破壊を防止することができる。

Claims (5)

  1. ノズル開口に連通する圧力発生室と、この圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、
    前記圧電素子の外周面に酸化膜又は窒化膜からなる保護膜を有し、且つ該保護膜は、前記圧電素子の上面の主要部に対向する領域に他の領域よりも膜厚の薄い薄膜部を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
  2. 請求項１において、前記保護膜は、前記圧力発生室に対向する領域で前記圧電素子の幅方向外側の前記振動板上まで延設され、この領域の膜厚が前記薄膜部の膜厚よりも厚いことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
  3. 請求項１又は２において、前記圧電素子はその幅が前記上電極側に向かって徐々に狭くなるようにパターニングされて、当該圧電素子の外周面が傾斜面となっていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
  4. 請求項３において、前記保護膜がスパッタリング法によって形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
  5. 請求項１〜４の何れかのインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。
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