JP2001256630A - 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録媒体及び磁気記録再生装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 垂直磁気記録方式の磁気記録媒体において、
媒体Ｓ／Ｎの優れた構成を有するものを提供する。 【解決手段】 非磁性基板と、前記非磁性基板上に半径
方向に延びた縞状の形状にパターニングされたサーボ層
と垂直磁気記録層とが分離して形成された磁気記録媒体
において、前記サーボ層と前記垂直磁気記録層との間に
軟磁性層を形成した構成を有する構成とする。
媒体Ｓ／Ｎの優れた構成を有するものを提供する。 【解決手段】 非磁性基板と、前記非磁性基板上に半径
方向に延びた縞状の形状にパターニングされたサーボ層
と垂直磁気記録層とが分離して形成された磁気記録媒体
において、前記サーボ層と前記垂直磁気記録層との間に
軟磁性層を形成した構成を有する構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、垂直磁気記録方式
の磁気記録媒体及び磁気記録再生装置に関する。
の磁気記録媒体及び磁気記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、記録媒体の垂直方向に磁化し
垂直磁気記録層に記録信号を記録する垂直磁気記録層を
用いた磁気記録媒体では、その垂直磁気記録層の下地層
として軟磁性層を設けた構成が考えられている。高透磁
率である軟磁性層は、記録再生時の磁界の発生の効率を
向上させる役割を果たしている。
垂直磁気記録層に記録信号を記録する垂直磁気記録層を
用いた磁気記録媒体では、その垂直磁気記録層の下地層
として軟磁性層を設けた構成が考えられている。高透磁
率である軟磁性層は、記録再生時の磁界の発生の効率を
向上させる役割を果たしている。
【０００３】磁気記録再生装置に用いられる軟磁性層を
積層した垂直磁気記録媒体の場合には、軟磁性層の磁壁
の発生に伴うノイズを防ぐために、磁化容易軸を揃える
方法が考えられている。このような構成を有する磁気記
録媒体は、特開平９−２８２６５６号において提案され
ている。図１１に、この従来の磁気記録媒体の断面構成
を示している。この従来の磁気記録媒体では、非磁性基
板７１と垂直磁気記録層７４の間にアモルファス合金の
軟磁性層７２が形成されており、更に、その軟磁性層７
２の一部を非磁性基板７１側からレーザーを照射するこ
とで結晶化させ非磁性とした結晶化領域７３を設けてい
る。軟磁性層７２は、磁気記録媒体の半径方向（中心か
ら外周への方向であり、円周方向に対して垂直となる方
向）に磁気異方性を生じさせ、磁化困難軸が磁気記録媒
体の円周方向に配向されている。ここで、円周方向は、
磁気記録媒体の円周に沿う方向である。結晶化領域７３
は、磁気記録媒体の半径方向に形成されており、この結
晶化領域７３がサーボ層として利用される。
積層した垂直磁気記録媒体の場合には、軟磁性層の磁壁
の発生に伴うノイズを防ぐために、磁化容易軸を揃える
方法が考えられている。このような構成を有する磁気記
録媒体は、特開平９−２８２６５６号において提案され
ている。図１１に、この従来の磁気記録媒体の断面構成
を示している。この従来の磁気記録媒体では、非磁性基
板７１と垂直磁気記録層７４の間にアモルファス合金の
軟磁性層７２が形成されており、更に、その軟磁性層７
２の一部を非磁性基板７１側からレーザーを照射するこ
とで結晶化させ非磁性とした結晶化領域７３を設けてい
る。軟磁性層７２は、磁気記録媒体の半径方向（中心か
ら外周への方向であり、円周方向に対して垂直となる方
向）に磁気異方性を生じさせ、磁化困難軸が磁気記録媒
体の円周方向に配向されている。ここで、円周方向は、
磁気記録媒体の円周に沿う方向である。結晶化領域７３
は、磁気記録媒体の半径方向に形成されており、この結
晶化領域７３がサーボ層として利用される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
磁気記録媒体では、垂直磁気記録層７４のうち、軟磁性
層７２が下層となる部分と、非磁性の結晶化領域７３が
下層となる部分とで高透磁率層の有無の差による再生ム
ラが生じるという問題があった。その結果、媒体Ｓ／Ｎ
特性が劣化するという問題があった。また、従来の磁気
記録媒体では、結晶化領域７３は非磁性基板７１側から
レーザーを照射することで形成しているため、結晶化領
域７３を非磁性基板７１の両側に形成することも困難で
ある。
磁気記録媒体では、垂直磁気記録層７４のうち、軟磁性
層７２が下層となる部分と、非磁性の結晶化領域７３が
下層となる部分とで高透磁率層の有無の差による再生ム
ラが生じるという問題があった。その結果、媒体Ｓ／Ｎ
特性が劣化するという問題があった。また、従来の磁気
記録媒体では、結晶化領域７３は非磁性基板７１側から
レーザーを照射することで形成しているため、結晶化領
域７３を非磁性基板７１の両側に形成することも困難で
ある。
【０００５】本発明は上記の事情を考慮してなされたも
ので、垂直磁気記録層の下地層として軟磁性層を設けた
構成において媒体Ｓ／Ｎ特性に優れた磁気記録媒体及び
磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
ので、垂直磁気記録層の下地層として軟磁性層を設けた
構成において媒体Ｓ／Ｎ特性に優れた磁気記録媒体及び
磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、非磁性基板と、前記非磁性基板上に半径方向に延び
た縞状の形状にパターニングされたサーボ層と垂直磁気
記録層とが分離して形成された磁気記録媒体において、
前記サーボ層と前記垂直磁気記録層との間に軟磁性層を
形成した構成を有することを特徴とする。
は、非磁性基板と、前記非磁性基板上に半径方向に延び
た縞状の形状にパターニングされたサーボ層と垂直磁気
記録層とが分離して形成された磁気記録媒体において、
前記サーボ層と前記垂直磁気記録層との間に軟磁性層を
形成した構成を有することを特徴とする。
【０００７】また、本発明の磁気記録媒体は、前記非磁
性基板上に形成された半径方向に延びた放射状の縞状の
形状にパターニングされた非磁性層と、前記非磁性基板
及び前記非磁性層の上に形成された軟磁性層と、前記軟
磁性層上に形成された垂直磁気記録層とを具備すること
を特徴とする。
性基板上に形成された半径方向に延びた放射状の縞状の
形状にパターニングされた非磁性層と、前記非磁性基板
及び前記非磁性層の上に形成された軟磁性層と、前記軟
磁性層上に形成された垂直磁気記録層とを具備すること
を特徴とする。
【０００８】本発明は、このような構成を有することに
より、媒体Ｓ／Ｎ特性に優れた磁気記録媒体を提供する
ことが可能となる。
より、媒体Ｓ／Ｎ特性に優れた磁気記録媒体を提供する
ことが可能となる。
【０００９】また、本発明の磁気記録再生装置は、磁気
記録媒体と、前記磁気記録媒体を支持及び回転駆動する
駆動手段と、前記磁気記録媒体に対して情報の記録及び
再生を行なう磁気記録再生手段と、前記磁気記録媒体に
対して前記記録再生手段を移動自在に支持する支持手段
とを具備する磁気記録再生装置であって、前記磁気記録
媒体は、非磁性基板と、前記非磁性基板上に半径方向に
放射状に延びた縞状の形状にパターニングされた非磁性
層と、前記非磁性層と分離された層として形成された垂
直磁気記録層と、前記非磁性層と前記垂直磁気記録層と
の間に形成された軟磁性層とを有することを特徴とす
る。
記録媒体と、前記磁気記録媒体を支持及び回転駆動する
駆動手段と、前記磁気記録媒体に対して情報の記録及び
再生を行なう磁気記録再生手段と、前記磁気記録媒体に
対して前記記録再生手段を移動自在に支持する支持手段
とを具備する磁気記録再生装置であって、前記磁気記録
媒体は、非磁性基板と、前記非磁性基板上に半径方向に
放射状に延びた縞状の形状にパターニングされた非磁性
層と、前記非磁性層と分離された層として形成された垂
直磁気記録層と、前記非磁性層と前記垂直磁気記録層と
の間に形成された軟磁性層とを有することを特徴とす
る。
【００１０】本発明は、このような構成を有することに
より、媒体Ｓ／Ｎ特性に優れた磁気記録再生装置を提供
することが可能となる。
より、媒体Ｓ／Ｎ特性に優れた磁気記録再生装置を提供
することが可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下、図面を
参照して本発明の実施の形態について説明する。
参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】本発明の第１の実施形態に係わる磁気記録
媒体Ａの断面構成を、図１に示している。図１に示すよ
うに、本発明の磁気記録媒体Ａでは、サーボ層と垂直磁
気記録層との間に、軟磁性層を形成したことを特徴とし
ている。この図１に示す磁気記録媒体Ａの製造方法につ
いて以下に説明する。
媒体Ａの断面構成を、図１に示している。図１に示すよ
うに、本発明の磁気記録媒体Ａでは、サーボ層と垂直磁
気記録層との間に、軟磁性層を形成したことを特徴とし
ている。この図１に示す磁気記録媒体Ａの製造方法につ
いて以下に説明する。
【００１３】先ず、非磁性基板上１にＣｒ金属層２を形
成するため、１×１０-5[Ｐａ]の真空度にひいた真空チ
ャンバー内に、Ａｒガスを０．６[Ｐａ]の圧になるよう
流し、非磁性基板１をＣｒターゲットと対向させて配置
し、ＣｒターゲットをＤＣ１０００[Ｗ]でスパッタ放電
させる。これにより、非磁性基板１上に、厚さ４０[ｎ
ｍ]のＣｒ金属膜層２を形成する。
成するため、１×１０-5[Ｐａ]の真空度にひいた真空チ
ャンバー内に、Ａｒガスを０．６[Ｐａ]の圧になるよう
流し、非磁性基板１をＣｒターゲットと対向させて配置
し、ＣｒターゲットをＤＣ１０００[Ｗ]でスパッタ放電
させる。これにより、非磁性基板１上に、厚さ４０[ｎ
ｍ]のＣｒ金属膜層２を形成する。
【００１４】次に、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３を形
成するため、フォトレジストパターンをＣｒ金属膜層２
の上に形成し、再度１×１０-5［Ｐａ］の真空度にひい
た真空チャンバー内に配置する。真空チャンバーにはＡ
ｒガスを０．５［Ｐａ］の圧になるよう流し、非磁性基
板１を、Ｃｒ金属磁性膜２及びフォトレジストパターン
ごとＲＦ３００［Ｗ］で５［秒］間、スパッタエッチを
行う。更に真空を破ること無く、次なる同様な真空度の
真空チャンバーにて、非磁性基板１をＶターゲットと対
向させ、Ａｒを０．６［Ｐａ］の圧になるよう流し、Ｖ
をＤＣ１４００［Ｗ］にて４０［ｎｍ］の厚さになるよ
う成膜する。更に真空を破ること無く、次なる同様な真
空度の真空チャンバーにて、非磁性基板１をＣｏ−Ｐｔ
１６ａ％−Ｃｒ８ａ％ターゲットと対向させ、チャンバ
ー内にＯ2０．０５［％］を含むＡｒガスを、２０［Ｐ
ａ］の圧になるように流し、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒターゲッ
トをＤＣ５００［Ｗ］でスパッタ放電させ、２００［ｎ
ｍ］の厚さになるようにＣｏＰｔＣｒＯ膜を成膜する。
この連続して成膜したＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖ膜を、ＣｏＰ
ｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３とする。
成するため、フォトレジストパターンをＣｒ金属膜層２
の上に形成し、再度１×１０-5［Ｐａ］の真空度にひい
た真空チャンバー内に配置する。真空チャンバーにはＡ
ｒガスを０．５［Ｐａ］の圧になるよう流し、非磁性基
板１を、Ｃｒ金属磁性膜２及びフォトレジストパターン
ごとＲＦ３００［Ｗ］で５［秒］間、スパッタエッチを
行う。更に真空を破ること無く、次なる同様な真空度の
真空チャンバーにて、非磁性基板１をＶターゲットと対
向させ、Ａｒを０．６［Ｐａ］の圧になるよう流し、Ｖ
をＤＣ１４００［Ｗ］にて４０［ｎｍ］の厚さになるよ
う成膜する。更に真空を破ること無く、次なる同様な真
空度の真空チャンバーにて、非磁性基板１をＣｏ−Ｐｔ
１６ａ％−Ｃｒ８ａ％ターゲットと対向させ、チャンバ
ー内にＯ2０．０５［％］を含むＡｒガスを、２０［Ｐ
ａ］の圧になるように流し、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒターゲッ
トをＤＣ５００［Ｗ］でスパッタ放電させ、２００［ｎ
ｍ］の厚さになるようにＣｏＰｔＣｒＯ膜を成膜する。
この連続して成膜したＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖ膜を、ＣｏＰ
ｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３とする。
【００１５】次に、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４を形成する
ため、レジストを溶剤中でリフトオフし、再度１×１０
-5［Ｐａ］の真空度にひいた真空チャンバー内に、Ｃｏ
ＺｒＮｂ５％ターゲットと対向させて配置する。Ａｒガ
スを、０．６［Ｐａ］の圧になるように流し、ＣｏＺｒ
ＮｂターゲットをＤＣ６００［Ｗ］でスパッタ放電し、
ＣｏＰｔＣｒＯ膜表面からの厚さが４００［ｎｍ］にな
るように成膜する。ＣｏＺｒＮｂ表面を、表面の平坦度
がＲmax＝２［ｍｎ］になるように研磨し、最終的にＣ
ｏＰｔＣｒＯ膜表面からの厚さが２００［ｎｍ］になる
ように調整する。更に再度、１×１０-5［Ｐａ］の真空
度にひいた真空チャンバー内に、ＣｏＺｒＮｂ５％ター
ゲットと対向させて配置した。Ａｒガスを、０．６［Ｐ
ａ］の圧になるように流し、ＣｏＺｒＮｂ膜表面をＲＦ
１２０Ｗで１０秒間スパッタエッチした後、ＣｏＺｒＮ
ｂターゲットをＤＣ６００［Ｗ］でスパッタ放電し、Ｃ
ｏＰｔＣｒＯ膜表面からの厚さが最終的に５００［ｎ
ｍ］になるように成膜する。これをＣｏＺｒＮｂ軟磁性
層４とする。
ため、レジストを溶剤中でリフトオフし、再度１×１０
-5［Ｐａ］の真空度にひいた真空チャンバー内に、Ｃｏ
ＺｒＮｂ５％ターゲットと対向させて配置する。Ａｒガ
スを、０．６［Ｐａ］の圧になるように流し、ＣｏＺｒ
ＮｂターゲットをＤＣ６００［Ｗ］でスパッタ放電し、
ＣｏＰｔＣｒＯ膜表面からの厚さが４００［ｎｍ］にな
るように成膜する。ＣｏＺｒＮｂ表面を、表面の平坦度
がＲmax＝２［ｍｎ］になるように研磨し、最終的にＣ
ｏＰｔＣｒＯ膜表面からの厚さが２００［ｎｍ］になる
ように調整する。更に再度、１×１０-5［Ｐａ］の真空
度にひいた真空チャンバー内に、ＣｏＺｒＮｂ５％ター
ゲットと対向させて配置した。Ａｒガスを、０．６［Ｐ
ａ］の圧になるように流し、ＣｏＺｒＮｂ膜表面をＲＦ
１２０Ｗで１０秒間スパッタエッチした後、ＣｏＺｒＮ
ｂターゲットをＤＣ６００［Ｗ］でスパッタ放電し、Ｃ
ｏＰｔＣｒＯ膜表面からの厚さが最終的に５００［ｎ
ｍ］になるように成膜する。これをＣｏＺｒＮｂ軟磁性
層４とする。
【００１６】次に、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５を形
成するため、更に真空を破ること無く、次なる同様な真
空度の真空チャンバーにて、非磁性基板１をＣｏ−Ｐｔ
１６ａ％−Ｃｒ１６ａ％ターゲットと対向させ、Ａｒガ
スを、０．８［Ｐａ］の圧になるように流し、Ｃｏ−Ｐ
ｔ−ＣｒターゲットをＤＣ５００［Ｗ］でスパッタ放電
させ、１００［ｎｍ］の厚さになるようにＣｏＰｔＣｒ
Ｏ膜を成膜した。これをＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５
とする。
成するため、更に真空を破ること無く、次なる同様な真
空度の真空チャンバーにて、非磁性基板１をＣｏ−Ｐｔ
１６ａ％−Ｃｒ１６ａ％ターゲットと対向させ、Ａｒガ
スを、０．８［Ｐａ］の圧になるように流し、Ｃｏ−Ｐ
ｔ−ＣｒターゲットをＤＣ５００［Ｗ］でスパッタ放電
させ、１００［ｎｍ］の厚さになるようにＣｏＰｔＣｒ
Ｏ膜を成膜した。これをＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５
とする。
【００１７】更に真空を破ること無く、ＤＣ１０００Ｗ
でスパッタ放電させたＣターゲットと対向させ、１０
［ｎｍ］の厚さにＣ保護層６を成膜する。最後に、ディ
ップ法にて、最表面にＰＦＰＥ系潤滑剤を用いて潤滑層
７を１０［ｎｍ］の厚さに形成する。このようにして本
発明の磁気記録媒体Ａを作成後、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサ
ーボ層３を図示しないリングヘッドから発生する磁界に
より一様に円周方向に磁化する。
でスパッタ放電させたＣターゲットと対向させ、１０
［ｎｍ］の厚さにＣ保護層６を成膜する。最後に、ディ
ップ法にて、最表面にＰＦＰＥ系潤滑剤を用いて潤滑層
７を１０［ｎｍ］の厚さに形成する。このようにして本
発明の磁気記録媒体Ａを作成後、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサ
ーボ層３を図示しないリングヘッドから発生する磁界に
より一様に円周方向に磁化する。
【００１８】ここで、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３
は、パターニングされた非連続膜であり、磁気記録媒体
Ａの半径方向に放射状に延びた細長い縞の形状となって
いる。従って、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４は、ＣｏＰｔＣ
ｒＯ／Ｖサーボ層３の存在する部分は層が薄く、ＣｏＰ
ｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３が存在せずに直接Ｃｒ金属膜層
２と接合する部分は層が厚くなるため、半径方向に放射
状に凸凹の縞を有した形状となる。層の厚い部分は、記
録磁気媒体Ａの半径方向に細長い形状を有しているため
形状異方性の効果が生じることとなり、従って、ＣｏＺ
ｒＮｂ軟磁性層４では、図２に示すように、半径方向に
磁化容易軸が揃うため、半径方向と直角方向である磁気
記録媒体Ａの円周方向の磁気透過率を大きくすることが
可能となる。又、このような磁化容易軸を持つために基
板全面にわたりＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４には磁壁が発生
しない。このため、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５の信
号再生時における磁界が強くなり、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性
層４によるスパイクノイズが発生せず、結果として再生
信号レベル、即ち、媒体Ｓ／Ｎの値を高くすることが可
能となる。
は、パターニングされた非連続膜であり、磁気記録媒体
Ａの半径方向に放射状に延びた細長い縞の形状となって
いる。従って、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４は、ＣｏＰｔＣ
ｒＯ／Ｖサーボ層３の存在する部分は層が薄く、ＣｏＰ
ｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３が存在せずに直接Ｃｒ金属膜層
２と接合する部分は層が厚くなるため、半径方向に放射
状に凸凹の縞を有した形状となる。層の厚い部分は、記
録磁気媒体Ａの半径方向に細長い形状を有しているため
形状異方性の効果が生じることとなり、従って、ＣｏＺ
ｒＮｂ軟磁性層４では、図２に示すように、半径方向に
磁化容易軸が揃うため、半径方向と直角方向である磁気
記録媒体Ａの円周方向の磁気透過率を大きくすることが
可能となる。又、このような磁化容易軸を持つために基
板全面にわたりＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４には磁壁が発生
しない。このため、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５の信
号再生時における磁界が強くなり、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性
層４によるスパイクノイズが発生せず、結果として再生
信号レベル、即ち、媒体Ｓ／Ｎの値を高くすることが可
能となる。
【００１９】なお、本発明の磁気記録媒体Ａの非磁性基
板１は、非磁性ガラス基板や非磁性プラスチック基板な
ど、非磁性材料からなる基板であれば何でも良い。ま
た、上記した作成方法で磁気記録媒体Ａを作成するた
め、非磁性基板１の両面にＣｒ金属膜層２から潤滑層７
までの各層を形成することが可能である。
板１は、非磁性ガラス基板や非磁性プラスチック基板な
ど、非磁性材料からなる基板であれば何でも良い。ま
た、上記した作成方法で磁気記録媒体Ａを作成するた
め、非磁性基板１の両面にＣｒ金属膜層２から潤滑層７
までの各層を形成することが可能である。
【００２０】次に、本発明の磁気記録媒体Ａとサーボ信
号Ｓ／Ｎ及び媒体Ｓ／Ｎを比較するため、図３乃至図５
に示す従来の磁気記録媒体Ｂ、Ｃ、Ｄを作成した。
号Ｓ／Ｎ及び媒体Ｓ／Ｎを比較するため、図３乃至図５
に示す従来の磁気記録媒体Ｂ、Ｃ、Ｄを作成した。
【００２１】図３には、従来の磁気記録媒体Ｂの断面構
成を示している。従来の磁気記録媒体Ｂは、本発明の磁
気記録媒体Ａに対して、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖ記録層１５
が面内記録層であること、また、軟磁性層を持たないこ
とが異なっている。磁気記録媒体Ｂは次のようにして作
成する。先ず、磁気記録媒体Ａと同様にして、非磁性基
板上１１上にＣｒ金属膜層１２とＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサ
ーボ層１３とを形成し、その後、ＳｉＯ2ターゲットと
対向させてＳｉＯ2スペーサ層１４を形成する。次い
で、Ｖターゲットと対向させてＶ膜、更にＣｏＰｔＣｒ
ターゲットと対向させてＣｏＰｔＣｒＯ膜を形成するこ
とにより、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖ記録層１５を形成する。
更に、Ｃ保護膜１６、潤滑層１７を形成する。このよう
にして各層を作成後、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層１３
を図示しないリングヘッドから発生する磁界により一様
に円周方向に磁化する。
成を示している。従来の磁気記録媒体Ｂは、本発明の磁
気記録媒体Ａに対して、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖ記録層１５
が面内記録層であること、また、軟磁性層を持たないこ
とが異なっている。磁気記録媒体Ｂは次のようにして作
成する。先ず、磁気記録媒体Ａと同様にして、非磁性基
板上１１上にＣｒ金属膜層１２とＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサ
ーボ層１３とを形成し、その後、ＳｉＯ2ターゲットと
対向させてＳｉＯ2スペーサ層１４を形成する。次い
で、Ｖターゲットと対向させてＶ膜、更にＣｏＰｔＣｒ
ターゲットと対向させてＣｏＰｔＣｒＯ膜を形成するこ
とにより、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖ記録層１５を形成する。
更に、Ｃ保護膜１６、潤滑層１７を形成する。このよう
にして各層を作成後、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層１３
を図示しないリングヘッドから発生する磁界により一様
に円周方向に磁化する。
【００２２】図４は、従来の磁気記録媒体Ｃの断面構成
を示している。この磁気記録媒体Ｃは、本発明の磁気記
録媒体ＡのＣｒ金属膜とＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層を
持たない構成となっている。磁気記録媒体Ｃは、非磁性
基板２１に対して全て対向静止スパッタ成膜し、ＣｏＺ
ｒＮｂ軟磁性層２２、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層２
３、Ｃ保護層２４、潤滑層２５を、順次形成することに
より作成した。各層を作成後、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記
録層２３に、予めサーボ信号を書き込む。
を示している。この磁気記録媒体Ｃは、本発明の磁気記
録媒体ＡのＣｒ金属膜とＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層を
持たない構成となっている。磁気記録媒体Ｃは、非磁性
基板２１に対して全て対向静止スパッタ成膜し、ＣｏＺ
ｒＮｂ軟磁性層２２、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層２
３、Ｃ保護層２４、潤滑層２５を、順次形成することに
より作成した。各層を作成後、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記
録層２３に、予めサーボ信号を書き込む。
【００２３】図５には、従来の磁気記録媒体Ｄの断面構
成を示している。磁気記録媒体Ｄは、ＣｏＺｒＮｂ軟磁
性層３３の下にあるＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３２が
連続膜であり、この点で磁気記録媒体Ａと異なる。この
磁気記録媒体Ｄは、非磁性基板３１に対して全て対向静
止スパッタ成膜することにより、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサ
ーボ層３２、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層３３、ＣｏＰｔＣｒ
垂直磁気垂直磁気記録層３４、Ｃ保護層３５、潤滑層３
６を、順次形成することにより作成した。各層を作成
後、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３２に、サーボ信号を
予め書き込んでおく。
成を示している。磁気記録媒体Ｄは、ＣｏＺｒＮｂ軟磁
性層３３の下にあるＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３２が
連続膜であり、この点で磁気記録媒体Ａと異なる。この
磁気記録媒体Ｄは、非磁性基板３１に対して全て対向静
止スパッタ成膜することにより、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサ
ーボ層３２、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層３３、ＣｏＰｔＣｒ
垂直磁気垂直磁気記録層３４、Ｃ保護層３５、潤滑層３
６を、順次形成することにより作成した。各層を作成
後、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３２に、サーボ信号を
予め書き込んでおく。
【００２４】上述したようにして作成した４つの磁気記
録媒体の電磁変換特性を次のようにして調べた。先ず、
４つの磁気記録媒体について、半径１５［ｍｍ］と一定
の位置で、ディスクを４２００［ｒｐｍ］に回転させて
１．２７［ＭＨｚ］の周波数で、サーボ信号Ｓ／Ｎを測
定した。次に、４つの磁気記録媒体について半径１５
［ｍｍ］と一定の位置で、ディスクを４２００［ｒｐ
ｍ］に回転させ、媒体Ｓ／Ｎを１９４．５［ＭＨｚ］の
周波数で測定した。
録媒体の電磁変換特性を次のようにして調べた。先ず、
４つの磁気記録媒体について、半径１５［ｍｍ］と一定
の位置で、ディスクを４２００［ｒｐｍ］に回転させて
１．２７［ＭＨｚ］の周波数で、サーボ信号Ｓ／Ｎを測
定した。次に、４つの磁気記録媒体について半径１５
［ｍｍ］と一定の位置で、ディスクを４２００［ｒｐ
ｍ］に回転させ、媒体Ｓ／Ｎを１９４．５［ＭＨｚ］の
周波数で測定した。
【００２５】この電磁変換特性の測定結果を図６に示
す。本発明の磁気記録媒体Ａと、当該磁気記録媒体Ａと
同様にパターニングされたＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層
を持つ磁気記録媒体Ｂとを比較すると、サーボ信号Ｓ／
Ｎでは、２つの磁気記録媒体は略同じ値となったが、媒
体Ｓ／Ｎにおいて、磁気記録媒体Ａは、磁気記録媒体Ｂ
よりも優れた値を有していることが分かる。
す。本発明の磁気記録媒体Ａと、当該磁気記録媒体Ａと
同様にパターニングされたＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層
を持つ磁気記録媒体Ｂとを比較すると、サーボ信号Ｓ／
Ｎでは、２つの磁気記録媒体は略同じ値となったが、媒
体Ｓ／Ｎにおいて、磁気記録媒体Ａは、磁気記録媒体Ｂ
よりも優れた値を有していることが分かる。
【００２６】また、磁気記録媒体Ａと、パターニングさ
れたＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層を持たない磁気記録媒
体Ｃ及び磁気記録媒体Ｄとを比較すると、サーボ信号Ｓ
／Ｎ、媒体Ｓ／Ｎともに、磁気記録媒体Ａが、磁気記録
媒体Ｃや磁気記録媒体Ｄよりも優れた値を有しているこ
とが分かる。
れたＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層を持たない磁気記録媒
体Ｃ及び磁気記録媒体Ｄとを比較すると、サーボ信号Ｓ
／Ｎ、媒体Ｓ／Ｎともに、磁気記録媒体Ａが、磁気記録
媒体Ｃや磁気記録媒体Ｄよりも優れた値を有しているこ
とが分かる。
【００２７】更に、磁気記録媒体Ａと、当該磁気記録媒
体Ａと同様に垂直磁気記録層の下にＣｏＺｒＮｂ軟磁性
層を有している磁気記録媒体Ｃ及び磁気記録媒体Ｄを比
較するために、各磁気記録媒体の垂直磁気記録層に記録
した信号を再生した際に得られる再生信号のエンベロー
プを見て、スパイクノイズが生じているか否かを観察し
た。磁気記録媒体Ｃと磁気記録媒体Ｄでは、その再生信
号のエンベロープを見ると、スパイクノイズが生じてい
ることが観察された。一方、磁気記録媒体Ａの再生信号
のエンベロープではスパイクノイズは観察されなかっ
た。そこで、磁気記録媒体Ａ、磁気記録媒体Ｃ、磁気記
録媒体Ｄの、それぞれＣｏＺｒＮｂ軟磁性層までの各層
を成膜したものについて、Ｋｅｒｒ効果装置により磁区
観察を行なった。この結果、磁気記録媒体Ａでは、磁区
は観察されなかったが、磁気記録媒体Ｃと磁気記録媒体
Ｄでは、不規則な磁区が観察された。更に、磁気記録媒
体Ａと、磁気記録媒体Ｃ及び磁気記録媒体Ｄについて、
それぞれＣｏＺｒＮｂ軟磁性層までを成膜し、それを円
形に裁断したものの実効透磁率を測定した。その結果、
磁気記録媒体Ａでは円周方向に大きく偏った透磁率を有
することが測定された。一方、磁気記録媒体Ｃ及び磁気
記録媒体Ｄでは、透磁率が特定の方向に偏ることなく、
あらゆる方向に一様な値を示していることが測定され
た。
体Ａと同様に垂直磁気記録層の下にＣｏＺｒＮｂ軟磁性
層を有している磁気記録媒体Ｃ及び磁気記録媒体Ｄを比
較するために、各磁気記録媒体の垂直磁気記録層に記録
した信号を再生した際に得られる再生信号のエンベロー
プを見て、スパイクノイズが生じているか否かを観察し
た。磁気記録媒体Ｃと磁気記録媒体Ｄでは、その再生信
号のエンベロープを見ると、スパイクノイズが生じてい
ることが観察された。一方、磁気記録媒体Ａの再生信号
のエンベロープではスパイクノイズは観察されなかっ
た。そこで、磁気記録媒体Ａ、磁気記録媒体Ｃ、磁気記
録媒体Ｄの、それぞれＣｏＺｒＮｂ軟磁性層までの各層
を成膜したものについて、Ｋｅｒｒ効果装置により磁区
観察を行なった。この結果、磁気記録媒体Ａでは、磁区
は観察されなかったが、磁気記録媒体Ｃと磁気記録媒体
Ｄでは、不規則な磁区が観察された。更に、磁気記録媒
体Ａと、磁気記録媒体Ｃ及び磁気記録媒体Ｄについて、
それぞれＣｏＺｒＮｂ軟磁性層までを成膜し、それを円
形に裁断したものの実効透磁率を測定した。その結果、
磁気記録媒体Ａでは円周方向に大きく偏った透磁率を有
することが測定された。一方、磁気記録媒体Ｃ及び磁気
記録媒体Ｄでは、透磁率が特定の方向に偏ることなく、
あらゆる方向に一様な値を示していることが測定され
た。
【００２８】これは、磁気記録媒体ＡではＣｏＺｒＮｂ
軟磁性層４に半径方向の縞があるため、半径方向に磁気
異方性が揃い磁区ができなかったためである。このた
め、磁気記録媒体Ａでは、再生信号のエンベロープでス
パイクノイズが生じないことが分かる。一方、磁気記録
媒体ＣのＣｏＺｒＮｂ軟磁性層２２と磁気記録媒体Ｄの
ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層３３では、両方とも磁気的に等方
であったため、磁壁が生じているものと考えられる。従
って、磁気記録媒体Ｃと磁気記録媒体Ｄでは、再生信号
のエンベロープでスパイクノイズが生じたものと考えら
れる。
軟磁性層４に半径方向の縞があるため、半径方向に磁気
異方性が揃い磁区ができなかったためである。このた
め、磁気記録媒体Ａでは、再生信号のエンベロープでス
パイクノイズが生じないことが分かる。一方、磁気記録
媒体ＣのＣｏＺｒＮｂ軟磁性層２２と磁気記録媒体Ｄの
ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層３３では、両方とも磁気的に等方
であったため、磁壁が生じているものと考えられる。従
って、磁気記録媒体Ｃと磁気記録媒体Ｄでは、再生信号
のエンベロープでスパイクノイズが生じたものと考えら
れる。
【００２９】上述した磁気記録媒体Ａの作成に際して、
ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４についてはその厚さを５００
［ｎｍ］になるように成膜した。これは、ＣｏＰｔＣｒ
Ｏ／Ｖサーボ層３からの漏洩磁界が高透磁率のＣｏＺｒ
Ｎｂ軟磁性層４を通過し、再生ヘッドに届きサーボ信号
として読取るのに充分な厚さである。
ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４についてはその厚さを５００
［ｎｍ］になるように成膜した。これは、ＣｏＰｔＣｒ
Ｏ／Ｖサーボ層３からの漏洩磁界が高透磁率のＣｏＺｒ
Ｎｂ軟磁性層４を通過し、再生ヘッドに届きサーボ信号
として読取るのに充分な厚さである。
【００３０】更に、磁気記録媒体Ａにおいて、ＣｏＰｔ
ＣｒＯ／Ｖサーボ層３とＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４との磁
気的結合を遮断するために、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ
層３と、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４の間に、ＣｏＰｔＣｒ
Ｏ／Ｖサーボ層３とＣｒ金属層２の表面に沿った形状に
厚さ１０［ｎｍ］程度の非磁性ＳｉＯ2層を形成しても
良く、この非磁性ＳｉＯ2層を形成した場合も、上記し
た非磁性ＳｉＯ2層を形成していない場合のものと同様
な効果が得られた。
ＣｒＯ／Ｖサーボ層３とＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４との磁
気的結合を遮断するために、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ
層３と、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４の間に、ＣｏＰｔＣｒ
Ｏ／Ｖサーボ層３とＣｒ金属層２の表面に沿った形状に
厚さ１０［ｎｍ］程度の非磁性ＳｉＯ2層を形成しても
良く、この非磁性ＳｉＯ2層を形成した場合も、上記し
た非磁性ＳｉＯ2層を形成していない場合のものと同様
な効果が得られた。
【００３１】以上、本発明の第１の実施形態の磁気記録
媒体では、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３とＣｏＰｔＣ
ｒ垂直磁気記録層５の間に、半径方向に細長い縞状の形
状を有するＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４を設けることによ
り、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５の残留磁気を強くす
ることで媒体Ｓ／Ｎの値を高くでき、且つ、ＣｏＰｔＣ
ｒ垂直磁気記録層５の記録信号の再生時においてＣｏＺ
ｒＮｂ軟磁性層４の磁壁が原因となり発生するスパイク
ノイズを抑制することが可能となる。
媒体では、ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層３とＣｏＰｔＣ
ｒ垂直磁気記録層５の間に、半径方向に細長い縞状の形
状を有するＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４を設けることによ
り、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５の残留磁気を強くす
ることで媒体Ｓ／Ｎの値を高くでき、且つ、ＣｏＰｔＣ
ｒ垂直磁気記録層５の記録信号の再生時においてＣｏＺ
ｒＮｂ軟磁性層４の磁壁が原因となり発生するスパイク
ノイズを抑制することが可能となる。
【００３２】（第２の実施形態）次に本発明の第２の実
施形態に係る磁気記録媒体について説明する。図７に示
されているように、第２の実施形態の磁気記録媒体Ｅ
は、第１の実施形態の磁気記録媒体ＡのＣｏＺｒＮｂ軟
磁性層４に代えてセンダスト(FeAlSi)軟磁性層４４を形
成したことを特徴としている。
施形態に係る磁気記録媒体について説明する。図７に示
されているように、第２の実施形態の磁気記録媒体Ｅ
は、第１の実施形態の磁気記録媒体ＡのＣｏＺｒＮｂ軟
磁性層４に代えてセンダスト(FeAlSi)軟磁性層４４を形
成したことを特徴としている。
【００３３】磁気記録媒体Ｅの作成方法は、軟磁性層と
してセンダスト(FeAlSi)軟磁性層４４を形成すること以
外は上述した磁気記録媒体Ａの作成方法と略同じであ
る。即ち、磁気記録媒体Ｅでは、磁気記録媒体Ａにおい
てＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４を形成する段階で、代わりに
センダスト(FeAlSi)軟磁性層４４を形成するが、それ以
外の層については、磁気記録媒体Ａと同じように形成す
る。
してセンダスト(FeAlSi)軟磁性層４４を形成すること以
外は上述した磁気記録媒体Ａの作成方法と略同じであ
る。即ち、磁気記録媒体Ｅでは、磁気記録媒体Ａにおい
てＣｏＺｒＮｂ軟磁性層４を形成する段階で、代わりに
センダスト(FeAlSi)軟磁性層４４を形成するが、それ以
外の層については、磁気記録媒体Ａと同じように形成す
る。
【００３４】この磁気記録媒体Ｅに対して、磁気記録媒
体Ａに対する場合と同様に電磁変換特性の測定（第１の
実施形態において説明した測定と同様）を行なった。そ
の測定の結果としては、図８に示す通り、磁気記録媒体
Ｅでは、磁気記録媒体Ａよりも、さらに優れたサーボ信
号Ｓ／Ｎ、媒体Ｓ／Ｎを示した。
体Ａに対する場合と同様に電磁変換特性の測定（第１の
実施形態において説明した測定と同様）を行なった。そ
の測定の結果としては、図８に示す通り、磁気記録媒体
Ｅでは、磁気記録媒体Ａよりも、さらに優れたサーボ信
号Ｓ／Ｎ、媒体Ｓ／Ｎを示した。
【００３５】磁気記録媒体Ｅがより優れたサーボ信号Ｓ
／Ｎ、媒体Ｓ／Ｎを示した原因を調べるため、磁気記録
媒体Ａ及び磁記録媒体Ｅについて、各軟磁性層までを成
膜したサンプルを作成し、それぞれ円形に裁断し、磁気
記録媒体の周方向の実効透磁率の周波数特性を調べた。
その結果、磁気記録媒体Ａでは、低周波から２００［Ｍ
Ｈｚ］まで一貫して１０００程度の良好な実効透磁率を
示した。これに対して、磁気記録媒体Ｅでは、低周波帯
域では２０００程度の値を示すが、１００［ＭＨｚ］を
超えた高周波帯域では８００程度まで落ち込み、高周波
特性が良くないことが分かった。このことから、軟磁性
層にセンダスト(FeAlSi)膜を用いた場合、低周波のサー
ボ信号についてはセンダスト(FeAlSi)軟磁性層を通過し
て問題なく読取ることができるが、一方で、図示せぬ磁
気ヘッドから発生される高周波の記録信号については、
センダスト(FeAlSi)軟磁性層を通過しないため、高周波
の記録信号がＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層４３に及ぶこ
とを防いでいることを示している。つまり、高周波の記
録信号がＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層４３に及ばないた
め、高周波の記録信号がＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層４
３に影響しサーボ信号にノイズが記録される等の現象を
抑制することができ、結果としてサーボ信号Ｓ／Ｎを向
上させることが可能となる。また、磁気ヘッドから発生
される高周波の記録信号をＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層
４５に集中的に供給できるため、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気
記録層４５にて記録される信号レベルが高くなり、結果
として媒体Ｓ／Ｎの値を高くすることが可能となる。
／Ｎ、媒体Ｓ／Ｎを示した原因を調べるため、磁気記録
媒体Ａ及び磁記録媒体Ｅについて、各軟磁性層までを成
膜したサンプルを作成し、それぞれ円形に裁断し、磁気
記録媒体の周方向の実効透磁率の周波数特性を調べた。
その結果、磁気記録媒体Ａでは、低周波から２００［Ｍ
Ｈｚ］まで一貫して１０００程度の良好な実効透磁率を
示した。これに対して、磁気記録媒体Ｅでは、低周波帯
域では２０００程度の値を示すが、１００［ＭＨｚ］を
超えた高周波帯域では８００程度まで落ち込み、高周波
特性が良くないことが分かった。このことから、軟磁性
層にセンダスト(FeAlSi)膜を用いた場合、低周波のサー
ボ信号についてはセンダスト(FeAlSi)軟磁性層を通過し
て問題なく読取ることができるが、一方で、図示せぬ磁
気ヘッドから発生される高周波の記録信号については、
センダスト(FeAlSi)軟磁性層を通過しないため、高周波
の記録信号がＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層４３に及ぶこ
とを防いでいることを示している。つまり、高周波の記
録信号がＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層４３に及ばないた
め、高周波の記録信号がＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層４
３に影響しサーボ信号にノイズが記録される等の現象を
抑制することができ、結果としてサーボ信号Ｓ／Ｎを向
上させることが可能となる。また、磁気ヘッドから発生
される高周波の記録信号をＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層
４５に集中的に供給できるため、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気
記録層４５にて記録される信号レベルが高くなり、結果
として媒体Ｓ／Ｎの値を高くすることが可能となる。
【００３６】このように、磁気記録媒体Ｅにおいては、
高周波特性に劣る軟磁性膜を用いることにより、磁気記
録媒体Ａよりも、さらに優れたサーボ信号Ｓ／Ｎ、媒体
Ｓ／Ｎの磁気記録媒体を得ることができる。
高周波特性に劣る軟磁性膜を用いることにより、磁気記
録媒体Ａよりも、さらに優れたサーボ信号Ｓ／Ｎ、媒体
Ｓ／Ｎの磁気記録媒体を得ることができる。
【００３７】（第３の実施形態）上述した第１の実施形
態の磁気記録媒体Ａの作成と同様な方法にて、非磁性基
板５１上に、ＳｉＯ2非磁性層５２、ＣｏＺｒＮｂ軟磁
性層５３、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５４、Ｃ保護層
５５、潤滑層５６を順次積層し、図９に示す磁気記録媒
体Ｆを作成した。第３の実施形態では、サーボ層を用い
ずに、非磁性のＳｉＯ2非磁性層５２を形成した点に特
徴がある。このＳｉＯ2非磁性層５２は、磁気記録媒体
ＡのＣｏＰｔＣｒ／Ｖサーボ層３と同様な形状である。
即ち、ＳｉＯ 2非磁性層５２は、パターニングされた非
連続膜であり、磁気記録媒体Ｆの半径方向に放射状に延
びた細長い縞の形状となっている。この磁気記録媒体Ｆ
は、従来の磁気記録媒体Ｃと比較し、スパイクノイズの
少ない、Ｓ／Ｎの優れた記録再生波形が得られた。これ
は、ＳｉＯ2非磁性層５２によりＣｏＺｒＮｂ軟磁性層
５３の容易軸が磁気記録媒体Ｆの半径方向に揃い、Ｃｏ
ＺｒＮｂ軟磁性層５３にて磁壁が発生しなかったためで
ある。
態の磁気記録媒体Ａの作成と同様な方法にて、非磁性基
板５１上に、ＳｉＯ2非磁性層５２、ＣｏＺｒＮｂ軟磁
性層５３、ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記録層５４、Ｃ保護層
５５、潤滑層５６を順次積層し、図９に示す磁気記録媒
体Ｆを作成した。第３の実施形態では、サーボ層を用い
ずに、非磁性のＳｉＯ2非磁性層５２を形成した点に特
徴がある。このＳｉＯ2非磁性層５２は、磁気記録媒体
ＡのＣｏＰｔＣｒ／Ｖサーボ層３と同様な形状である。
即ち、ＳｉＯ 2非磁性層５２は、パターニングされた非
連続膜であり、磁気記録媒体Ｆの半径方向に放射状に延
びた細長い縞の形状となっている。この磁気記録媒体Ｆ
は、従来の磁気記録媒体Ｃと比較し、スパイクノイズの
少ない、Ｓ／Ｎの優れた記録再生波形が得られた。これ
は、ＳｉＯ2非磁性層５２によりＣｏＺｒＮｂ軟磁性層
５３の容易軸が磁気記録媒体Ｆの半径方向に揃い、Ｃｏ
ＺｒＮｂ軟磁性層５３にて磁壁が発生しなかったためで
ある。
【００３８】（第４の実施形態）次に、図１０を参照し
て、上述した磁気記録媒体Ａ又は磁気記録媒体Ｅ又は磁
気記録媒体Ｆを用いた磁気記録再生装置について説明す
る。
て、上述した磁気記録媒体Ａ又は磁気記録媒体Ｅ又は磁
気記録媒体Ｆを用いた磁気記録再生装置について説明す
る。
【００３９】磁気記録媒体６１は、磁気記録媒体Ａ又は
磁気記録媒体Ｅ又は磁気記録媒体Ｆである。この磁気記
録媒体６１は、スピンドル６２に装着されており、図示
しないスピンドルモータによって一定回転数で回転駆動
される。磁気記録媒体６１にアクセスして信号の記録再
生を行なう磁気ヘッドを搭載したスライダー６３は、薄
板状の板バネからなるサスペンション６４の先端に取り
付けられている。サスペンション６４は図示しない駆動
コイルを保持するボビン部等を有するアーム６５の一端
側に接続されている。
磁気記録媒体Ｅ又は磁気記録媒体Ｆである。この磁気記
録媒体６１は、スピンドル６２に装着されており、図示
しないスピンドルモータによって一定回転数で回転駆動
される。磁気記録媒体６１にアクセスして信号の記録再
生を行なう磁気ヘッドを搭載したスライダー６３は、薄
板状の板バネからなるサスペンション６４の先端に取り
付けられている。サスペンション６４は図示しない駆動
コイルを保持するボビン部等を有するアーム６５の一端
側に接続されている。
【００４０】アーム６５の他端側には、リニアモータの
一種であるボイスコイルモータ６６が設けられている。
ボイスコイルモータ６６は、アーム６５のボビン部に巻
き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込む
ように対抗して配置された永久磁石及び対向ヨークによ
り構成される磁気回路とから構成されている。
一種であるボイスコイルモータ６６が設けられている。
ボイスコイルモータ６６は、アーム６５のボビン部に巻
き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込む
ように対抗して配置された永久磁石及び対向ヨークによ
り構成される磁気回路とから構成されている。
【００４１】アーム６５は、固定軸６７の上下２箇所に
設けられた図示しないボールベアリングによって保持さ
れ、ボイスコイルモータ６６によって回転揺動駆動され
る。即ち、磁気記録媒体６１上におけるスライダー６３
の位置は、ボイスコイルモータ６６により制御される。
また、６８は蓋体を示している。
設けられた図示しないボールベアリングによって保持さ
れ、ボイスコイルモータ６６によって回転揺動駆動され
る。即ち、磁気記録媒体６１上におけるスライダー６３
の位置は、ボイスコイルモータ６６により制御される。
また、６８は蓋体を示している。
【００４２】このように、磁気記録媒体Ａ又は磁気記録
媒体Ｅ又は磁気記録媒体Ｆを磁気記録媒体６１に用いる
ことにより、スパイクノイズの発生を抑制された再生信
号を得ることのできる磁気記録再生装置を実現すること
が可能である。
媒体Ｅ又は磁気記録媒体Ｆを磁気記録媒体６１に用いる
ことにより、スパイクノイズの発生を抑制された再生信
号を得ることのできる磁気記録再生装置を実現すること
が可能である。
【００４３】
【発明の効果】以上詳述したように本発明では、磁気記
録媒体の垂直磁気記録層の下層に半径方向に放射状に延
びた縞状の形状にパターニングされた軟磁性層を設けた
構成とすることにより、垂直磁気記録層の再生時漏洩磁
界が強く、且つ、垂直磁気記録層の記録信号の再生時に
おいて軟磁性層の磁壁が原因となり発生するスパイクノ
イズを抑制することができ、媒体Ｓ／Ｎの高い磁気記録
媒体及び磁気記録再生装置を提供できる。
録媒体の垂直磁気記録層の下層に半径方向に放射状に延
びた縞状の形状にパターニングされた軟磁性層を設けた
構成とすることにより、垂直磁気記録層の再生時漏洩磁
界が強く、且つ、垂直磁気記録層の記録信号の再生時に
おいて軟磁性層の磁壁が原因となり発生するスパイクノ
イズを抑制することができ、媒体Ｓ／Ｎの高い磁気記録
媒体及び磁気記録再生装置を提供できる。
【図１】本発明の第１の実施形態に係わる磁気記録媒体
Ａの断面構成を示す図。
Ａの断面構成を示す図。
【図２】磁気記録媒体Ａにおける磁化容易軸の方向を示
す図。
す図。
【図３】従来の磁気記録媒体Ｂの断面構成を示す図。
【図４】従来の磁気記録媒体Ｃの断面構成を示す図。
【図５】従来の磁気記録媒体Ｄの断面構成を示す図。
【図６】本発明の磁気記録媒体Ａと、従来の磁気記録媒
体Ｂ、Ｃ、Ｄのサーボ信号Ｓ／Ｎ及び媒体Ｓ／Ｎの測定
結果を示した図。
体Ｂ、Ｃ、Ｄのサーボ信号Ｓ／Ｎ及び媒体Ｓ／Ｎの測定
結果を示した図。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る磁気記録媒体Ｅ
の断面構成を示す図。
の断面構成を示す図。
【図８】本発明の磁気記録媒体Ａと、磁気記録媒体Ｂの
サーボ信号Ｓ／Ｎ及び媒体Ｓ／Ｎの測定結果を示した
図。
サーボ信号Ｓ／Ｎ及び媒体Ｓ／Ｎの測定結果を示した
図。
【図９】本発明の第３の実施形態に係る磁気記録媒体Ｆ
の断面構成を示す図。
の断面構成を示す図。
【図１０】本発明の第４の実施形態に係る磁気記録再生
装置の構成を示した図。
装置の構成を示した図。
【図１１】従来の磁気記録媒体の断面構成を示す図。
１、１１、２１、３１、４１、５１、７１…非磁性基板 ２、１２、４２…Ｃｒ金属膜層 ３、１３、３２、４３…ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖサーボ層 ４、２２、３３、５３…ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層 ５、２３、３４、４５、５４…ＣｏＰｔＣｒ垂直磁気記
録層 ６、１６、２４、３５、４６、５５…Ｃ保護層 ７、１７、２５、３６、４７、５６…潤滑層 １４…ＳｉＯ2スペーサ層 １５…ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖ記録層 ４４…ＦｅＡｌＳｉ軟磁性層 ５２…ＳｉＯ2非磁性層 ６１…磁気記録媒体 ６２…スピンドル ６３…スライダー ６４…サスペンション ６５…アーム ６６…ボイスコイルモータ ６７…固定軸 ６８…蓋体 ７２…軟磁性層 ７３…結晶化領域 ７４…垂直磁気記録層
録層 ６、１６、２４、３５、４６、５５…Ｃ保護層 ７、１７、２５、３６、４７、５６…潤滑層 １４…ＳｉＯ2スペーサ層 １５…ＣｏＰｔＣｒＯ／Ｖ記録層 ４４…ＦｅＡｌＳｉ軟磁性層 ５２…ＳｉＯ2非磁性層 ６１…磁気記録媒体 ６２…スピンドル ６３…スライダー ６４…サスペンション ６５…アーム ６６…ボイスコイルモータ ６７…固定軸 ６８…蓋体 ７２…軟磁性層 ７３…結晶化領域 ７４…垂直磁気記録層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D006 BB07 BB08 CA03 CA05 DA03 DA08 5E049 AA01 AA04 AA09 AC05 BA08 DB04 DB06 DB12 DB14 DB20
Claims (5)
- 【請求項１】 非磁性基板と、前記非磁性基板上に半径
方向に延びた縞状の形状にパターニングされたサーボ層
と垂直磁気記録層とが分離して形成された磁気記録媒体
において、 前記サーボ層と前記垂直磁気記録層との間に軟磁性層を
形成した構成を有することを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 前記軟磁性層は、前記磁気記録媒体の半
径方向に磁化容易軸を配向した構成を有することを特徴
とする請求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 前記サーボ層と前記垂直磁気記録層の間
の距離は１０００［ｎｍ］以下、望ましくは５００［ｎ
ｍ］以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気記
録媒体。 - 【請求項４】 非磁性基板と、 前記非磁性基板上に形成された半径方向に延びた放射状
の縞状の形状にパターニングされた非磁性層と、 前記非磁性基板及び前記非磁性層の上に形成された軟磁
性層と、 前記軟磁性層上に形成された垂直磁気記録層とを具備す
ることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項５】 磁気記録媒体と、 前記磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、 前記磁気記録媒体に対して情報の記録及び再生を行なう
磁気記録再生手段と、 前記磁気記録媒体に対して前記記録再生手段を移動自在
に支持する支持手段とを具備する磁気記録再生装置であ
って、 前記磁気記録媒体は、非磁性基板と、前記非磁性基板上
に半径方向に放射状に延びた縞状の形状にパターニング
された非磁性層と、前記非磁性層と分離された層として
形成された垂直磁気記録層と、前記非磁性層と前記垂直
磁気記録層との間に形成された軟磁性層とを有すること
を特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000069824A JP2001256630A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000069824A JP2001256630A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001256630A true JP2001256630A (ja) | 2001-09-21 |
Family
ID=18588640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000069824A Pending JP2001256630A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001256630A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2000-03-14 JP JP2000069824A patent/JP2001256630A/ja active Pending
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