JP2001255515A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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JP2001255515A
JP2001255515A JP2001035795A JP2001035795A JP2001255515A JP 2001255515 A JP2001255515 A JP 2001255515A JP 2001035795 A JP2001035795 A JP 2001035795A JP 2001035795 A JP2001035795 A JP 2001035795A JP 2001255515 A JP2001255515 A JP 2001255515A
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crystal display
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Masumi Sasuga
眞澄 流石
Junichi Owada
淳一 大和田
Akira Kobayashi
晃 小林
Masaru Fujita
優 藤田
Hiroshi Nakamoto
浩 仲本
Takashi Ono
隆 小野
Tsutomu Isono
勤 磯野
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Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
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Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To lower manufacturing cost by reducing the number of components and simplifying a structure in a liquid crystal display device. SOLUTION: The liquid crystal display device has a liquid crystal display panel PNL, an intermediate frame MFR, on the upper side of which the liquid crystal display panel PNL is mounted and on the lower side of which a backlight part BL is mounted and a drive circuit substrate electrically connected with the liquid crystal display panel PNL through a flat cable FC and engaged with the intermediate frame MFR, so as to be overlapped by the end part of the liquid crystal display panel PNL along two sides adjacent to each other of the liquid crystal display panel PNL. A connector connected with an external device and a power source circuit are mounted on the drive circuit substrate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置に係り、
特に、薄膜トランジスタ等を使用したアクティブ・マト
リクス方式の液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device,
In particular, the present invention relates to an active matrix type liquid crystal display device using a thin film transistor or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】アクティブ・マトリクス方式の液晶表示
装置は、マトリクス状に配列された複数の画素電極のそ
れぞれに対応して非線形素子(スイッチング素子)を設
けたものである。各画素における液晶は理論的には常時
駆動(デューティ比 1.0)されているので、時分割駆動
方式を採用している、いわゆる単純マトリクス方式と比
べてアクティブ方式はコントラストが良く、特にカラー
液晶表示装置では欠かせない技術となりつつある。スイ
ッチング素子として代表的なものとしては薄膜トランジ
スタ(TFT)がある。
2. Description of the Related Art An active matrix type liquid crystal display device is provided with a non-linear element (switching element) corresponding to each of a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix. Since the liquid crystal in each pixel is theoretically always driven (duty ratio 1.0), the active method has better contrast than the so-called simple matrix method that employs the time-division driving method. Then it is becoming an indispensable technology. A typical switching element is a thin film transistor (TFT).

【0003】液晶表示部(液晶表示パネル)は、液晶層
を基準として下部透明ガラス基板上に薄膜トランジス
タ、透明画素電極、薄膜トランジスタの保護膜、液晶分
子の向きを設定するための下部配向膜が順次設けられた
下部基板と、上部透明ガラス基板上にブラックマトリク
ス、カラーフィルタ、カラーフィルタの保護膜、共通透
明画素電極、上部配向膜が順次設けられた上部基板とを
互いの配向膜が向き合うように重ね合わせ、基板の縁周
囲に配置したシール材によって両基板を接着すると共に
両基板間に液晶を封止する。なお、下部基板側にはバッ
クライトが配置される。
In a liquid crystal display (liquid crystal display panel), a thin film transistor, a transparent pixel electrode, a protective film for the thin film transistor, and a lower alignment film for setting the direction of liquid crystal molecules are sequentially provided on a lower transparent glass substrate based on the liquid crystal layer. And the upper substrate, on which a black matrix, a color filter, a protective film for a color filter, a common transparent pixel electrode, and an upper alignment film are sequentially provided on an upper transparent glass substrate, so that the alignment films face each other. At the same time, the two substrates are adhered to each other with a sealant arranged around the edge of the substrate, and the liquid crystal is sealed between the two substrates. A backlight is provided on the lower substrate side.

【0004】なお、薄膜トランジスタを使用したアクテ
ィブ・マトリクス方式の液晶表示装置は、例えば特開昭
63−309921号公報や、「冗長構成を採用した1
2.5型アクティブ・マトリクス方式カラー液晶ディスプ
レイ」、日経エレクトロニクス、頁193〜210、1986年12
月15日、日経マグロウヒル社発行、で知られている。
Incidentally, an active matrix type liquid crystal display device using thin film transistors is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-309921 or "1.
2.5-inch active matrix color liquid crystal display, "Nikkei Electronics, pp. 193-110, December 1986
March 15, published by Nikkei McGraw-Hill, Inc.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の液晶表示装置で
は、バックライトの収納ケースと、バックライトの光を
液晶表示部の方へ反射させるためのアルミ等の金属板か
ら成る反射板とを別個に有し、部品点数が多く、構造が
複雑であり、製造コストが高い問題があった。
In a conventional liquid crystal display device, a storage case for a backlight and a reflector made of a metal plate such as aluminum for reflecting light of the backlight toward the liquid crystal display section are separately provided. And the number of parts is large, the structure is complicated, and the manufacturing cost is high.

【0006】本発明の一つの目的は部品点数を少なくで
き、他の目的は構造を簡略化でき、更に他の目的は製造
コストを低減できる液晶表示装置を提供することにあ
る。
One object of the present invention is to provide a liquid crystal display device which can reduce the number of parts, another object is to simplify the structure, and another object is to reduce the manufacturing cost.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、液晶表示パネルと、その上側に上記液晶
表示パネルが実装され且つその下側にバックライト部が
実装されるフレーム部材と、フラットケーブルを通して
上記液晶表示パネルに電気的に接続され且つ該液晶表示
パネルの隣接する2辺に沿い該液晶表示パネルの端部に
重なるようにして上記フレーム部材に嵌められた回路基
板とを有し、上記回路基板には外部装置に接続されるコ
ネクタと電源回路とが実装されている液晶表示装置を提
供する。
In order to solve the above problems, the present invention provides a liquid crystal display panel and a frame member on which the liquid crystal display panel is mounted above and a backlight portion is mounted below the liquid crystal display panel. And a circuit board electrically connected to the liquid crystal display panel through a flat cable and fitted to the frame member along two adjacent sides of the liquid crystal display panel so as to overlap an end of the liquid crystal display panel. A liquid crystal display device having a circuit board and a connector connected to an external device and a power supply circuit mounted on the circuit board.

【0008】[0008]

【作用】本発明の液晶表示装置では、上記の構成によ
り、部品点数を少なくでき、構造を簡略化でき、製造コ
ストを低減できる。
According to the liquid crystal display device of the present invention, the number of parts can be reduced, the structure can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced by the above configuration.

【0009】[0009]

【実施例】本発明、本発明の更に他の目的及び本発明の
更に他の特徴は図面を参照した以下の説明から明らかと
なるであろう。 《アクティブ・マトリクス液晶表示装置》以下、アクテ
ィブ・マトリクス方式のカラー液晶表示装置にこの発明
を適用した実施例を説明する。なお、以下説明する図面
で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。 《マトリクス部の概要》図1はこの発明が適用されるア
クティブ・マトリクス方式カラー液晶表示装置の一画素
とその周辺を示す平面図、図2は図1の2−2切断線に
おける断面を示す図、図3は図1の3−3切断線におけ
る断面図である。また、図4には図1に示す画素を複数
配置したときの平面図を示す。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention, further objects of the invention and further features of the invention will become apparent from the following description with reference to the drawings, in which: FIG. << Active Matrix Liquid Crystal Display >> An embodiment in which the present invention is applied to an active matrix type color liquid crystal display will be described below. In the drawings described below, those having the same functions are denoted by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be omitted. << Outline of Matrix Unit >> FIG. 1 is a plan view showing one pixel of an active matrix type color liquid crystal display device to which the present invention is applied and the periphery thereof, and FIG. FIG. 3 is a sectional view taken along line 3-3 in FIG. FIG. 4 is a plan view when a plurality of pixels shown in FIG. 1 are arranged.

【0010】図1に示すように、各画素は隣接する2本
の走査信号線(ゲート信号線または水平信号線)GL
と、隣接する2本の映像信号線(ドレイン信号線または
垂直信号線)DLとの交差領域内(4本の信号線で囲ま
れた領域内)に配置されている。各画素は薄膜トランジ
スタTFT、透明画素電極ITO1および保持容量素子
Caddを含む。走査信号線GLは列方向に延在し、行方
向に複数本配置されている。映像信号線DLは行方向に
延在し、列方向に複数本配置されている。
As shown in FIG. 1, each pixel has two adjacent scanning signal lines (gate signal lines or horizontal signal lines) GL.
And two adjacent video signal lines (drain signal lines or vertical signal lines) DL (in a region surrounded by four signal lines). Each pixel includes a thin film transistor TFT, a transparent pixel electrode ITO1, and a storage capacitor Cadd. The scanning signal lines GL extend in the column direction, and a plurality of the scanning signal lines GL are arranged in the row direction. The video signal lines DL extend in the row direction, and a plurality of video signal lines DL are arranged in the column direction.

【0011】図2に示すように、液晶LCを基準に下部
透明ガラス基板SUB1側には薄膜トランジスタTFT
および透明画素電極ITO1が形成され、上部透明ガラ
ス基板SUB2側にはカラーフィルタFIL、遮光用ブ
ラックマトリクスパターンBMが形成されている。下部
透明ガラス基板SUB1はたとえば1.1mm程度の厚さ
で構成されている。また、透明ガラス基板SUB1、S
UB2の両面にはディップ処理等によって形成された酸
化シリコン膜SIOが設けられている。このため、透明
ガラス基板SUB1、SUB2の表面に鋭い傷があった
としても、鋭い傷を酸化シリコン膜SIOで覆うことが
できるので、その上にデポジットされる走査信号線G
L、遮光膜BM等の膜質を均質に保つことができる。
As shown in FIG. 2, a thin film transistor TFT is provided on the lower transparent glass substrate SUB1 side with respect to the liquid crystal LC.
Further, a transparent pixel electrode ITO1 is formed, and a color filter FIL and a light-shielding black matrix pattern BM are formed on the upper transparent glass substrate SUB2 side. The lower transparent glass substrate SUB1 has a thickness of, for example, about 1.1 mm. In addition, the transparent glass substrates SUB1, S
A silicon oxide film SIO formed by dipping or the like is provided on both surfaces of UB2. For this reason, even if there are sharp scratches on the surfaces of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, the sharp scratches can be covered with the silicon oxide film SIO.
L, the film quality of the light shielding film BM and the like can be kept uniform.

【0012】上部透明ガラス基板SUB2の内側(液晶
LC側)の表面には、遮光膜BM、カラーフィルタFI
L、保護膜PSV2、共通透明画素電極ITO2(CO
M)および上部配向膜ORI2が順次積層して設けられ
ている。 《マトリクス周辺の概要》図16は上下のガラス基板S
UB1,SUB2を含む表示パネルPNLのマトリクス
(AR)周辺の要部平面を、図17はその周辺部を更に
誇張した平面を、図18は図16及び図17のパネル左
上角部に対応するシール部SL付近の拡大平面を示す図
である。また、図19は図2の断面を中央にして、左側
に図18の19a−19a切断線における断面を、右側
に映像信号駆動回路が接続されるべき外部接続端子DT
M付近の断面を示す図である。同様に図20は、左側に
走査回路が接続されるべき外部接続端子GTM付近の断
面を、右側に外部接続端子が無いところのシール部付近
の断面を示す図である。
A light shielding film BM and a color filter FI are provided on the inner surface (the liquid crystal LC side) of the upper transparent glass substrate SUB2.
L, protective film PSV2, common transparent pixel electrode ITO2 (CO
M) and an upper alignment film ORI2 are sequentially laminated. << Outline of matrix periphery >> FIG. 16 shows upper and lower glass substrates S
FIG. 17 is a plan view of the periphery of the matrix (AR) of the display panel PNL including UB1 and SUB2, FIG. 17 is a plan view further exaggerating the periphery, and FIG. 18 is a seal corresponding to the upper left corner of the panel in FIGS. It is a figure showing the enlarged plane near part SL. 19 is a cross section taken along the line 19a-19a in FIG. 18 with the cross section of FIG. 2 at the center, and an external connection terminal DT to which the video signal drive circuit is to be connected is shown on the right.
It is a figure showing a section near M. Similarly, FIG. 20 is a diagram showing a cross section near the external connection terminal GTM to which the scanning circuit is to be connected on the left side, and a cross section near the seal portion where there is no external connection terminal on the right side.

【0013】このパネルの製造では、小さいサイズであ
ればスループット向上のため1枚のガラス基板で複数個
分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサイ
ズであれば製造設備の共用のためどの品種でも標準化さ
れた大きさのガラス基板を加工してから各品種に合った
サイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経て
からガラスを切断する。図16〜図18は後者の例を示
すもので、図16、図17の両図とも上下基板SUB
1,SUB2の切断後を、図18は切断前を表してお
り、LNは両基板の切断前の縁を、CT1とCT2はそ
れぞれ基板SUB1,SUB2の切断すべき位置を示
す。いずれの場合も、完成状態では外部接続端子群T
g,Td(添字略)が存在する(図で上下辺と左辺の)
部分はそれらを露出するように上側基板SUB2の大き
さが下側基板SUB1よりも内側に制限されている。端
子群Tg,Tdはそれぞれ後述する走査回路接続用端子
GTM、映像信号回路接続用端子DTMとそれらの引出
配線部を集積回路チップCHIが搭載されたテープキャ
リアパッケージTCP(図20、図21)の単位に複数
本まとめて名付けたものである。各群のマトリクス部か
ら外部接続端子部に至るまでの引出配線は、両端に近づ
くにつれ傾斜している。これは、パッケージTCPの配
列ピッチ及び各パッケージTCPにおける接続端子ピッ
チに表示パネルPNLの端子DTM,GTMを合わせる
ためである。
[0013] Any For this panel In the manufacture of, if small size divided from simultaneously processing a plurality fraction of the device in one glass substrate for increased throughput, manufacturing facilities if large size shared A glass substrate of a standardized size is processed even in a variety, and the size is reduced to a size suitable for each type. In each case, the glass is cut after passing through one process. FIGS. 16 to 18 show examples of the latter, and FIGS. 16 and 17 both show the upper and lower substrates SUB.
FIG. 18 shows a state before cutting the substrates SUB1 and SUB2, and FIG. 18 shows a state before cutting the substrates. LN indicates an edge of both substrates before cutting, and CT1 and CT2 indicate positions where the substrates SUB1 and SUB2 are to be cut, respectively. In any case, in the completed state, the external connection terminal group T
g, Td (subscripts omitted) (upper and lower sides and left side in the figure)
In the portions, the size of the upper substrate SUB2 is limited to the inside of the lower substrate SUB1 so as to expose them. The terminal groups Tg and Td are respectively provided with a scanning circuit connection terminal GTM and a video signal circuit connection terminal DTM, which are described later, and their leading wiring portions of a tape carrier package TCP (FIGS. 20 and 21) on which an integrated circuit chip CHI is mounted. The unit is named plurally. The lead wiring from the matrix section of each group to the external connection terminal section is inclined as approaching both ends. This is because the terminals DTM and GTM of the display panel PNL are matched with the arrangement pitch of the package TCP and the connection terminal pitch of each package TCP.

【0014】透明ガラス基板SUB1、SUB2の間に
はその縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶LC
を封止するようにシールパターンSLが形成される。シ
ール材は例えばエポキシ樹脂から成る。上部透明ガラス
基板SUB2側の共通透明画素電極ITO2は、少なく
とも一箇所において、本実施例ではパネルの4角で銀ペ
ースト材AGPによって下部透明ガラス基板SUB1側
に形成されたその引出配線INTに接続されている。こ
の引出配線INTは後述するゲート端子GTM、ドレイ
ン端子DTMと同一製造工程で形成される。
Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, along the edge thereof, except for the liquid crystal filling opening INJ, the liquid crystal LC
Is formed to seal the sealing pattern SL. The sealing material is made of, for example, an epoxy resin. At least one common transparent pixel electrode ITO2 on the upper transparent glass substrate SUB2 side is connected to the lead-out wiring INT formed on the lower transparent glass substrate SUB1 side by a silver paste material AGP at four corners of the panel in this embodiment. ing. The lead wiring INT is formed in the same manufacturing process as the later-described gate terminal GTM and drain terminal DTM.

【0015】配向膜ORI1、ORI2、透明画素電極
ITO1、共通透明画素電極ITO2、それぞれの層
は、シールパターンSLの内側に形成される。偏光板P
OL1、POL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB
1、上部透明ガラス基板SUB2の外側の表面に形成さ
れている。液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配
向膜ORI1と上部配向膜ORI2との間でシールパタ
ーンSLで仕切られた領域に封入されている。下部配向
膜ORI1は下部透明ガラス基板SUB1側の保護膜P
SV1の上部に形成される。
The alignment films ORI1, ORI2, the transparent pixel electrode ITO1, and the common transparent pixel electrode ITO2 are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plate P
OL1 and POL2 are each a lower transparent glass substrate SUB
1. Formed on the outer surface of the upper transparent glass substrate SUB2. The liquid crystal LC is sealed in a region partitioned by the seal pattern SL between the lower alignment film ORI1 and the upper alignment film ORI2 for setting the direction of the liquid crystal molecules. The lower alignment film ORI1 is a protective film P on the lower transparent glass substrate SUB1 side.
It is formed above the SV1.

【0016】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シール材SLの開口
部INJから液晶LCを注入し、注入口INJをエポキ
シ樹脂などで封止し、上下基板を切断することによって
組み立てられる。 《薄膜トランジスタTFT》薄膜トランジスタTFT
は、ゲート電極GTに正のバイアスを印加すると、ソー
ス−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくなり、バイアス
を零にすると、チャネル抵抗は大きくなるように動作す
る。
In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side, and a seal pattern SL is formed on the substrate SUB2.
Side, the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2 are overlapped, liquid crystal LC is injected from the opening INJ of the sealing material SL, the injection port INJ is sealed with epoxy resin or the like, and the upper and lower substrates are sealed. Assembled by cutting. << Thin film transistor TFT >> Thin film transistor TFT
Operates such that when a positive bias is applied to the gate electrode GT, the channel resistance between the source and the drain decreases, and when the bias is set to zero, the channel resistance increases.

【0017】各画素の薄膜トランジスタTFTは、画素
内において2つ(複数)に分割され、薄膜トランジスタ
(分割薄膜トランジスタ)TFT1およびTFT2で構
成されている。薄膜トランジスタTFT1、TFT2の
それぞれは実質的に同一サイズ(チャネル長、チャネル
幅が同じ)で構成されている。この分割された薄膜トラ
ンジスタTFT1、TFT2のそれぞれは、ゲート電極
GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真性、intrinsic、導
電型決定不純物がドープされていない)非晶質シリコン
(Si)からなるi型半導体層AS、一対のソース電極
SD1、ドレイン電極SD2を有す。なお、ソース、ド
レインは本来その間のバイアス極性によって決まるもの
で、この液晶表示装置の回路ではその極性は動作中反転
するので、ソース、ドレインは動作中入れ替わると理解
されたい。しかし、以下の説明では、便宜上一方をソー
ス、他方をドレインと固定して表現する。 《ゲート電極GT》ゲート電極GTは図5(図1の第2
導電膜g2およびi型半導体層ASのみを描いた平面
図)に示すように、走査信号線GLから垂直方向(図1
および図5において上方向)に突出する形状で構成され
ている(T字形状に分岐されている)。ゲート電極GT
は薄膜トランジスタTFT1、TFT2のそれぞれの能
動領域を越えるよう突出している。薄膜トランジスタT
FT1、TFT2のそれぞれのゲート電極GTは、一体
に(共通ゲート電極として)構成されており、走査信号
線GLに連続して形成されている。本例では、ゲート電
極GTは、単層の第2導電膜g2で形成されている。第
2導電膜g2はたとえばスパッタで形成されたアルミニ
ウム(Al)膜を用い、1000〜5500Å程度の膜
厚で形成する。また、ゲート電極GT上にはAlの陽極
酸化膜AOFが設けられている。
The thin film transistor TFT of each pixel is divided into two (a plurality) in the pixel, and is constituted by thin film transistors (divided thin film transistors) TFT1 and TFT2. Each of the thin film transistors TFT1 and TFT2 has substantially the same size (channel length and channel width are the same). Each of the divided thin film transistors TFT1 and TFT2 is a gate electrode GT, a gate insulating film GI, and an i-type semiconductor made of i-type (intrinsic, intrinsic, not doped with a conductivity type determining impurity) amorphous silicon (Si). It has a layer AS, a pair of source electrodes SD1, and a drain electrode SD2. It should be understood that the source and the drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this liquid crystal display device, the polarity is inverted during the operation, so that the source and the drain are interchanged during the operation. However, in the following description, one is fixed and the other is fixed as a drain for convenience. << Gate electrode GT >> The gate electrode GT is shown in FIG.
As shown in a plan view depicting only the conductive film g2 and the i-type semiconductor layer AS, a vertical direction (FIG.
5 (upward in FIG. 5) (branched into a T-shape). Gate electrode GT
Protrudes beyond the respective active areas of the thin film transistors TFT1 and TFT2. Thin film transistor T
The respective gate electrodes GT of the FT1 and the TFT2 are integrally formed (as a common gate electrode) and formed continuously with the scanning signal line GL. In this example, the gate electrode GT is formed of a single-layer second conductive film g2. The second conductive film g2 is formed, for example, using an aluminum (Al) film formed by sputtering and having a thickness of about 1000 to 5500 °. An anodic oxide film AOF of Al is provided on the gate electrode GT.

【0018】このゲート電極GTは図1、図2および図
5に示されているように、i型半導体層ASを完全に覆
うよう(下方からみて)それより大き目に形成される。
したがって、下部透明ガラス基板SUB1の下方に蛍光
灯等のバックライトBLを取り付けた場合、この不透明
なAlからなるゲート電極GTが影となって、i型半導
体層ASにはバックライト光が当たらず、光照射による
導電現象すなわち薄膜トランジスタTFTのオフ特性劣
化は起きにくくなる。なお、ゲート電極GTの本来の大
きさは、ソース電極SD1とドレイン電極SD2との間
をまたがるに最低限必要な(ゲート電極GTとソース電
極SD1、ドレイン電極SD2との位置合わせ余裕分も
含めて)幅を持ち、チャネル幅Wを決めるその奥行き長
さはソース電極SD1とドレイン電極SD2との間の距
離(チャネル長)Lとの比、すなわち相互コンダクタン
スgmを決定するファクタW/Lをいくつにするかによっ
て決められる。この液晶表示装置におけるゲート電極G
Tの大きさはもちろん、上述した本来の大きさよりも大
きくされる。 《走査信号線GL》走査信号線GLは第2導電膜g2で
構成されている。この走査信号線GLの第2導電膜g2
はゲート電極GTの第2導電膜g2と同一製造工程で形
成され、かつ一体に構成されている。また、走査信号線
GL上にもAlの陽極酸化膜AOFが設けられている。 《絶縁膜GI》絶縁膜GIは薄膜トランジスタTFT
1、TFT2のそれぞれのゲート絶縁膜として使用され
る。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査信号線GL
の上層に形成されている。絶縁膜GIはたとえばプラズ
マCVDで形成された窒化シリコン膜を用い、1200
〜2700Åの膜厚(この液晶表示装置では、2000
Å程度の膜厚)で形成する。ゲート絶縁膜GIは図18
に示すように、マトリクス部ARの全体を囲むように形
成され、周辺部は外部接続端子DTM,GTMを露出す
るよう除去されている。 《i型半導体層AS》i型半導体層ASは、図5に示す
ように、複数に分割された薄膜トランジスタTFT1、
TFT2のそれぞれのチャネル形成領域として使用され
る。i型半導体層ASは非晶質シリコン膜または多結晶
シリコン膜で形成し、200〜2200Åの膜厚(この
液晶表示装置では、2000Å程度の膜厚)で形成す
る。
As shown in FIGS. 1, 2 and 5, the gate electrode GT is formed larger than the gate electrode GT so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS (as viewed from below).
Therefore, when a backlight BL such as a fluorescent lamp is attached below the lower transparent glass substrate SUB1, the gate electrode GT made of opaque Al becomes a shadow, and the i-type semiconductor layer AS is not irradiated with the backlight. In addition, the conductive phenomenon due to light irradiation, that is, the deterioration of the off characteristic of the thin film transistor TFT is less likely to occur. Note that the original size of the gate electrode GT is the minimum necessary to extend between the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 (including the margin for positioning between the gate electrode GT, the source electrode SD1, and the drain electrode SD2). ) Has a width and the depth length that determines the channel width W is determined by the ratio of the distance (channel length) L between the source electrode SD1 and the drain electrode SD2, that is, the factor W / L that determines the transconductance gm. It depends on what you do. The gate electrode G in this liquid crystal display device
The size of T is, of course, made larger than the original size described above. << Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is formed of the second conductive film g2. The second conductive film g2 of the scanning signal line GL
Are formed in the same manufacturing process as the second conductive film g2 of the gate electrode GT, and are integrally formed. An anodic oxide film AOF of Al is also provided on the scanning signal line GL. << Insulating film GI >> The insulating film GI is a thin film transistor TFT
1. Used as a gate insulating film of each TFT2. The insulating film GI includes the gate electrode GT and the scanning signal line GL.
Is formed in the upper layer. As the insulating film GI, for example, a silicon nitride film formed by plasma CVD is used.
Film thickness of 22700 ° (in this liquid crystal display device, 2000
(膜厚 film thickness). FIG. 18 shows the gate insulating film GI.
As shown in FIG. 7, the matrix portion AR is formed so as to surround the entirety, and the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM. << i-type semiconductor layer AS >> As shown in FIG. 5, the i-type semiconductor layer AS has a plurality of divided thin film transistors TFT1,
Each of the TFTs 2 is used as a channel forming region. The i-type semiconductor layer AS is formed of an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film, and has a thickness of 200 to 2200 ((about 2,000 で は in this liquid crystal display device).

【0019】このi型半導体層ASは、供給ガスの成分
を変えてSiからなるゲート絶縁膜として使用さ
れる絶縁膜GIの形成に連続して、同じプラズマCVD
装置で、しかもそのプラズマCVD装置から外部に露出
することなく形成される。また、オーミックコンタクト
用のリン(P)を2.5%ドープしたN型半導体層d
0(図2)も同様に連続して200〜500Åの膜厚
(この液晶表示装置では、300Å程度の膜厚)で形成
される。しかる後、下部透明ガラス基板SUB1はCV
D装置から外に取り出され、写真処理技術によりN
半導体層d0およびi型半導体層ASは図1、図2およ
び図5に示すように独立した島状にパターニングされ
る。
The i-type semiconductor layer AS is formed by the same plasma CVD method by changing the composition of the supply gas and forming an insulating film GI used as a gate insulating film made of Si 3 N 4.
The device is formed without being exposed to the outside from the plasma CVD device. An N + type semiconductor layer d doped with 2.5% of phosphorus (P) for ohmic contact
0 (FIG. 2) is similarly formed continuously with a film thickness of 200 to 500 ° (about 300 ° in this liquid crystal display device). Then, the lower transparent glass substrate SUB1 is CV
The N + -type semiconductor layer d0 and the i-type semiconductor layer AS are taken out of the device D and are patterned into independent islands by a photographic processing technique as shown in FIGS. 1, 2 and 5.

【0020】i型半導体層ASは、図1および図5に示
すように、走査信号線GLと映像信号線DLとの交差部
(クロスオーバ部)の両者間にも設けられている。この
交差部のi型半導体層ASは交差部における走査信号線
GLと映像信号線DLとの短絡を低減する。 《透明画素電極ITO1》透明画素電極ITO1は液晶
表示部の画素電極の一方を構成する。
As shown in FIGS. 1 and 5, the i-type semiconductor layer AS is also provided between both intersections (crossover portions) between the scanning signal lines GL and the video signal lines DL. The i-type semiconductor layer AS at the intersection reduces a short circuit between the scanning signal line GL and the video signal line DL at the intersection. << Transparent Pixel Electrode ITO1 >> The transparent pixel electrode ITO1 forms one of the pixel electrodes of the liquid crystal display unit.

【0021】透明画素電極ITO1は薄膜トランジスタ
TFT1のソース電極SD1および薄膜トランジスタT
FT2のソース電極SD1の両方に接続されている。こ
のため、薄膜トランジスタTFT1、TFT2のうちの
1つに欠陥が発生しても、その欠陥が副作用をもたらす
場合はレーザ光等によって適切な箇所を切断し、そうで
ない場合は他方の薄膜トランジスタが正常に動作してい
るので放置すれば良い。なお、2つの薄膜トランジスタ
TFT1、TFT2に同時に欠陥が発生することは稀で
あり、このような冗長方式により点欠陥や線欠陥の確率
を極めて小さくすることができる。透明画素電極ITO
1は第1導電膜d1によって構成されており、この第1
導電膜d1はスパッタリングで形成された透明導電膜
(Indium-Tin-Oxide ITO:ネサ膜)からなり、10
00〜2000Åの膜厚(この液晶表示装置では、14
00Å程度の膜厚)で形成される。 《ソース電極SD1、ドレイン電極SD2》複数に分割
された薄膜トランジスタTFT1、TFT2のそれぞれ
のソース電極SD1とドレイン電極SD2とは、図1、
図2および図6(図1の第1〜第3導電膜d1〜d3の
みを描いた平面図)に示すように、i型半導体層AS上
にそれぞれ離隔して設けられている。
The transparent pixel electrode ITO1 is connected to the source electrode SD1 of the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor T1.
It is connected to both source electrodes SD1 of FT2. Therefore, even if a defect occurs in one of the thin film transistors TFT1 and TFT2, if the defect causes a side effect, an appropriate portion is cut off by a laser beam or the like, and if not, the other thin film transistor operates normally. You can leave it. It is rare that defects occur simultaneously in the two thin film transistors TFT1 and TFT2, and the probability of a point defect or a line defect can be extremely reduced by such a redundant system. Transparent pixel electrode ITO
Reference numeral 1 denotes a first conductive film d1.
The conductive film d1 is made of a transparent conductive film (Indium-Tin-Oxide ITO: Nesa film) formed by sputtering.
A film thickness of 100 to 2000 ° (14 in this liquid crystal display device).
(Thickness of about 00 °). << Source electrode SD1, Drain electrode SD2 >> The source electrode SD1 and the drain electrode SD2 of each of the thin-film transistors TFT1 and TFT2 divided into a plurality are shown in FIG.
As shown in FIG. 2 and FIG. 6 (a plan view depicting only the first to third conductive films d1 to d3 in FIG. 1), they are separately provided on the i-type semiconductor layer AS.

【0022】ソース電極SD1、ドレイン電極SD2の
それぞれは、N型半導体層d0に接触する下層側か
ら、第2導電膜d2、第3導電膜d3を順次重ね合わせ
て構成されている。ソース電極SD1の第2導電膜d2
および第3導電膜d3は、ドレイン電極SD2の第2導
電膜d2および第3導電膜d3と同一製造工程で形成さ
れる。
Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is formed by sequentially stacking a second conductive film d2 and a third conductive film d3 from the lower side in contact with the N + type semiconductor layer d0. Second conductive film d2 of source electrode SD1
The third conductive film d3 is formed in the same manufacturing process as the second conductive film d2 and the third conductive film d3 of the drain electrode SD2.

【0023】第2導電膜d2はスパッタで形成したクロ
ム(Cr)膜を用い、500〜1000Åの膜厚(この
液晶表示装置では、600Å程度の膜厚)で形成する。
Cr膜は膜厚を厚く形成するとストレスが大きくなるの
で、2000Å程度の膜厚を越えない範囲で形成する。
Cr膜はN型半導体層d0との接触が良好である。C
r膜は後述する第3導電膜d3のAlがN型半導体層
d0に拡散することを防止するいわゆるバリア層を構成
する。第2導電膜d2として、Cr膜の他に高融点金属
(Mo、Ti、Ta、W)膜、高融点金属シリサイド
(MoSi、TiSi、TaSi、WSi)膜
を用いてもよい。
The second conductive film d2 is formed using a chromium (Cr) film formed by sputtering and having a thickness of 500 to 1000 Å (about 600 膜厚 in this liquid crystal display device).
Since the stress increases when the Cr film is formed to have a large thickness, the Cr film is formed in a range not exceeding about 2000 °.
The Cr film has good contact with the N + type semiconductor layer d0. C
The r film forms a so-called barrier layer that prevents Al of a third conductive film d3 described later from diffusing into the N + type semiconductor layer d0. As the second conductive film d2, a refractory metal (Mo, Ti, Ta, W) film or a refractory metal silicide (MoSi 2 , TiSi 2 , TaSi 2 , WSi 2 ) film may be used in addition to the Cr film.

【0024】第3導電膜d3はAlのスパッタリングで
3000〜5000Åの膜厚(この液晶表示装置では、
4000Å程度の膜厚)に形成される。Al膜はCr膜
に比べてストレスが小さく、厚い膜厚に形成することが
可能で、ソース電極SD1、ドレイン電極SD2および
映像信号線DLの抵抗値を低減するように構成されてい
る。第3導電膜d3として純Al膜の他にシリコンや銅
(Cu)を添加物として含有させたAl膜を用いてもよ
い。
The third conductive film d3 has a thickness of 3000 to 5000 ° by sputtering of Al (in this liquid crystal display device,
(A film thickness of about 4000 °). The Al film has a smaller stress than the Cr film and can be formed with a large thickness, and is configured to reduce the resistance values of the source electrode SD1, the drain electrode SD2, and the video signal line DL. As the third conductive film d3, an Al film containing silicon or copper (Cu) as an additive may be used in addition to the pure Al film.

【0025】第2導電膜d2、第3導電膜d3を同じマ
スクパターンでパターニングした後、同じマスクを用い
て、あるいは第2導電膜d2、第3導電膜d3をマスク
として、N型半導体層d0が除去される。つまり、i
型半導体層AS上に残っていたN型半導体層d0は第
2導電膜d2、第3導電膜d3以外の部分がセルフアラ
インで除去される。このとき、N型半導体層d0はそ
の厚さ分は全て除去されるようエッチングされるので、
i型半導体層ASも若干その表面部分がエッチングされ
るが、その程度はエッチング時間で制御すればよい。
After patterning the second conductive film d2 and the third conductive film d3 with the same mask pattern, using the same mask or using the second conductive film d2 and the third conductive film d3 as a mask, an N + type semiconductor layer is formed. d0 is removed. That is, i
In the N + type semiconductor layer d0 remaining on the type semiconductor layer AS, portions other than the second conductive film d2 and the third conductive film d3 are removed by self-alignment. At this time, since the N + type semiconductor layer d0 is etched so as to remove the entire thickness thereof,
The surface of the i-type semiconductor layer AS is also slightly etched, but the degree may be controlled by the etching time.

【0026】ソース電極SD1は透明画素電極ITO1
に接続されている。ソース電極SD1は、i型半導体層
AS段差(第2導電膜g2の膜厚、陽極酸化膜AOFの
膜厚、i型半導体層ASの膜厚およびN型半導体層d
0の膜厚を加算した膜厚に相当する段差)に沿って構成
されている。具体的には、ソース電極SD1は、i型半
導体層ASの段差に沿って形成された第2導電膜d2
と、この第2導電膜d2の上部に形成した第3導電膜d
3とで構成されている。ソース電極SD1の第3導電膜
d3は第2導電膜d2のCr膜がストレスの増大から厚
く形成できず、i型半導体層ASの段差形状を乗り越え
られないので、このi型半導体層ASを乗り越えるため
に構成されている。つまり、第3導電膜d3は厚く形成
することでステップカバレッジを向上している。第3導
電膜d3は厚く形成できるので、ソース電極SD1の抵
抗値(ドレイン電極SD2や映像信号線DLについても
同様)の低減に大きく寄与している。 《保護膜PSV1》薄膜トランジスタTFTおよび透明
画素電極ITO1上には保護膜PSV1が設けられてい
る。保護膜PSV1は主に薄膜トランジスタTFTを湿
気等から保護するために形成されており、透明性が高く
しかも耐湿性の良いものを使用する。保護膜PSV1は
たとえばプラズマCVD装置で形成した酸化シリコン膜
や窒化シリコン膜で形成されており、1μm程度の膜厚
で形成する。
The source electrode SD1 is a transparent pixel electrode ITO1.
It is connected to the. The source electrode SD1 has an i-type semiconductor layer AS step (the thickness of the second conductive film g2, the thickness of the anodic oxide film AOF, the thickness of the i-type semiconductor layer AS, and the N + type semiconductor layer d.
(A step corresponding to a film thickness obtained by adding a film thickness of 0). Specifically, the source electrode SD1 is formed of a second conductive film d2 formed along a step of the i-type semiconductor layer AS.
And a third conductive film d formed on the second conductive film d2.
3 is comprised. Since the third conductive film d3 of the source electrode SD1 cannot form a thick Cr film of the second conductive film d2 due to an increase in stress and cannot cross the step shape of the i-type semiconductor layer AS, the third conductive film d3 crosses over the i-type semiconductor layer AS. Is configured for. That is, the step coverage is improved by forming the third conductive film d3 to be thick. Since the third conductive film d3 can be formed to be thick, it greatly contributes to the reduction of the resistance value of the source electrode SD1 (the same applies to the drain electrode SD2 and the video signal line DL). << Protective Film PSV1 >> A protective film PSV1 is provided on the thin film transistor TFT and the transparent pixel electrode ITO1. The protective film PSV1 is formed mainly to protect the thin film transistor TFT from moisture and the like, and uses a film having high transparency and good moisture resistance. The protective film PSV1 is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by a plasma CVD apparatus, and has a thickness of about 1 μm.

【0027】保護膜PSV1は図18に示すように、マ
トリクス部ARの全体を囲むように形成され、周辺部は
外部接続端子DTM,GTMを露出するよう除去され、
また上基板側SUB2の共通電極COMを下側基板SU
B1の外部接続端子接続用引出配線INTに銀ペースト
AGPで接続する部分も除去されている。保護膜PSV
1とゲート絶縁膜GIの厚さ関係に関しては、前者は保
護効果を考え厚くされ、後者はトランジスタの相互コン
ダクタンスgmを薄くされる。従って図18に示すよう
に、保護効果の高い保護膜PSV1は周辺部もできるだ
け広い範囲に亘って保護するようゲート絶縁膜GIより
も大きく形成されている。 《遮光膜BM》上部透明ガラス基板SUB2側には、外
部光(図2では上方からの光)がチャネル形成領域とし
て使用されるi型半導体層ASに入射されないように、
遮光膜BMが設けられ、遮光膜BMは図7のハッチング
に示すようなパターンとされている。なお、図7は図1
におけるITO膜からなる第1導電膜d1、カラーフィ
ルタFILおよび遮光膜BMのみを描いた平面図であ
る。遮光膜BMは光に対する遮蔽性が高いたとえばアル
ミニウム膜やクロム膜等で形成されており、この液晶表
示装置ではクロム膜がスパッタリングで1300Å程度
の膜厚に形成される。
As shown in FIG. 18, the protective film PSV1 is formed so as to surround the entire matrix portion AR, and the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM.
Further, the common electrode COM of the upper substrate SUB2 is connected to the lower substrate SU.
The portion connected to the external connection terminal connection lead-out line INT of B1 with the silver paste AGP is also removed. Protective film PSV
Regarding the thickness relationship between 1 and the gate insulating film GI, the former is made thicker in consideration of the protective effect, and the latter is made thinner in the transconductance gm of the transistor. Therefore, as shown in FIG. 18, the protection film PSV1 having a high protection effect is formed larger than the gate insulating film GI so as to protect the peripheral portion as much as possible. << Light-Shielding Film BM >> On the upper transparent glass substrate SUB2 side, external light (light from above in FIG. 2) is not incident on the i-type semiconductor layer AS used as a channel formation region.
A light-shielding film BM is provided, and the light-shielding film BM has a pattern as shown by hatching in FIG. Note that FIG.
FIG. 3 is a plan view illustrating only a first conductive film d1, a color filter FIL, and a light shielding film BM made of an ITO film in FIG. The light-shielding film BM is formed of, for example, an aluminum film or a chromium film having a high light-shielding property. In this liquid crystal display device, the chromium film is formed to a thickness of about 1300 ° by sputtering.

【0028】従って、薄膜トランジスタTFT1、TF
T2のi型半導体層ASは上下にある遮光膜BMおよび
大き目のゲート電極GTによってサンドイッチにされ、
その部分は外部の自然光やバックライト光が当たらなく
なる。遮光膜BMは図7のハッチング部分で示すよう
に、画素の周囲に形成され、つまり遮光膜BMは格子状
に形成され(ブラックマトリクス)、この格子で1画素
の有効表示領域が仕切られている。従って、各画素の輪
郭が遮光膜BMによってはっきりとし、コントラストが
向上する。つまり、遮光膜BMはi型半導体層ASに対
する遮光とブラックマトリクスとの2つの機能をもつ。
Therefore, the thin film transistors TFT1, TF
The i-type semiconductor layer AS of T2 is sandwiched between the upper and lower light shielding films BM and the large gate electrode GT,
That portion is not exposed to external natural light or backlight light. The light-shielding film BM is formed around the pixel as shown by the hatched portion in FIG. 7, that is, the light-shielding film BM is formed in a lattice shape (black matrix), and an effective display area of one pixel is partitioned by the lattice. . Therefore, the outline of each pixel is made clear by the light shielding film BM, and the contrast is improved. That is, the light-shielding film BM has two functions of light-shielding for the i-type semiconductor layer AS and black matrix.

【0029】また、透明画素電極ITO1のラビング方
向の根本側のエッジ部に対向する部分(図1右下部分)
が遮光膜BMによって遮光されているから、上記部分に
ドメインが発生したとしても、ドメインが見えないの
で、表示特性が劣化することはない。
Also, a portion (lower right portion in FIG. 1) of the transparent pixel electrode ITO1 facing the edge portion on the root side in the rubbing direction.
Is shielded from light by the light-shielding film BM, so that even if a domain is generated in the above-mentioned portion, the domain is not visible, so that the display characteristics do not deteriorate.

【0030】なお、バックライトを上部透明ガラス基板
SUB2側に取り付け、下部透明ガラス基板SUB1を
観察側(外部露出側)とすることもできる。
The backlight can be attached to the upper transparent glass substrate SUB2, and the lower transparent glass substrate SUB1 can be used as the observation side (exposed side).

【0031】遮光膜BMは周辺部にも図17に示すよう
に額縁状のパターンに形成され、そのパターンはドット
状に複数の開口を設けた図7に示すマトリクス部のパタ
ーンと連続して形成されている。周辺部の遮光膜BMは
図17〜図20に示すように、シール部SLの外側に延
長され、パソコン等の実装機に起因する反射光等の漏れ
光がマトリクス部に入り込むのを防いでいる。他方、こ
の遮光膜BMは基板SUB2の縁よりも約0.3〜1.
0mm程内側に留められ、基板SUB2の切断領域を避
けて形成されている。 《カラーフィルタFIL》カラーフィルタFILはアク
リル樹脂等の樹脂材料で形成される染色基材に染料を着
色して構成されている。カラーフィルタFILは画素に
対向する位置にストライプ状に形成され(図8)、染め
分けられている(図8は図4の第1導電膜膜d1、遮光
膜BMおよびカラーフィルタFILのみを描いたもの
で、B、R、Gの各カラーフィルターFILはそれぞ
れ、45°、135°、クロスのハッチを施してあ
る)。カラーフィルタFILは図7,9に示すように透
明画素電極ITO1の全てを覆うように大き目に形成さ
れ、遮光膜BMはカラーフィルタFILおよび透明画素
電極ITO1のエッジ部分と重なるよう透明画素電極I
TO1の周縁部より内側に形成されている。
The light-shielding film BM is also formed in a peripheral portion in a frame-shaped pattern as shown in FIG. 17, and the pattern is formed continuously with the pattern of the matrix portion shown in FIG. Have been. The light-shielding film BM in the peripheral portion is extended outside the seal portion SL as shown in FIG. 17 to FIG. 20 to prevent leakage light such as reflected light due to a mounting machine such as a personal computer from entering the matrix portion. . On the other hand, this light-shielding film BM is about 0.3 to 1..
The substrate SUB2 is formed so as to be kept inside by about 0 mm so as to avoid the cutting region of the substrate SUB2. << Color Filter FIL >> The color filter FIL is formed by coloring a dye on a dye base made of a resin material such as an acrylic resin. The color filters FIL are formed in stripes at positions facing the pixels (FIG. 8), and are dyed separately (FIG. 8 depicts only the first conductive film d1, the light shielding film BM, and the color filters FIL in FIG. 4). Each of the B, R, and G color filters FIL is cross-hatched at 45 ° and 135 °, respectively.) The color filter FIL is formed to be large so as to cover the entirety of the transparent pixel electrode ITO1 as shown in FIGS. 7 and 9, and the light-shielding film BM is formed so that the transparent pixel electrode I1 overlaps the edge portion of the color filter FIL and the transparent pixel electrode ITO1.
It is formed inside the periphery of TO1.

【0032】カラーフィルタFILは次のように形成す
ることができる。まず、上部透明ガラス基板SUB2の
表面に染色基材を形成し、フォトリソグラフィ技術で赤
色フィルタ形成領域以外の染色基材を除去する。この
後、染色基材を赤色染料で染め、固着処理を施し、赤色
フィルタRを形成する。つぎに、同様な工程を施すこと
によって、緑色フィルタG、青色フィルタBを順次形成
する。 《保護膜PSV2》保護膜PSV2はカラーフィルタF
ILを異なる色に染め分けた染料が液晶LCに漏れるこ
とを防止するために設けられている。保護膜PSV2は
たとえばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂材料
で形成されている。 《共通透明画素電極ITO2》共通透明画素電極ITO
2は、下部透明ガラス基板SUB1側に画素ごとに設け
られた透明画素電極ITO1に対向し、液晶LCの光学
的な状態は各画素電極ITO1と共通透明画素電極IT
O2との間の電位差(電界)に応答して変化する。この
共通透明画素電極ITO2にはコモン電圧Vcomが印加
されるように構成されている。本実施例では、コモン電
圧Vcomは映像信号線DLに印加されるロウレベルの駆
動電圧Vdminとハイレベルの駆動電圧Vdmaxとの中間
電位に設定されるが、映像信号駆動回路で使用される集
積回路の電源電圧を約半分に低減したい場合は、交流電
圧を印加すれば良い。なお、共通透明画素電極ITO2
の平面形状は図17、図18を参照されたい。 《ゲート端子部》図9は表示マトリクスの走査信号線G
Lからその外部接続端子GTMまでの接続構造を示す図
であり、(A)は平面であり(B)は(A)のB−B切
断線における断面を示している。なお、同図は図18下
方付近に対応し、斜め配線の部分は便宜状一直線状で表
した。
The color filter FIL can be formed as follows. First, a dyed base material is formed on the surface of the upper transparent glass substrate SUB2, and the dyed base material other than the red filter forming region is removed by photolithography. Thereafter, the dyed substrate is dyed with a red dye and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, a green filter G and a blue filter B are sequentially formed by performing a similar process. << Protective film PSV2 >> The protective film PSV2 is a color filter F
This is provided in order to prevent a dye obtained by dyeing the IL into different colors from leaking into the liquid crystal LC. The protective film PSV2 is formed of, for example, a transparent resin material such as an acrylic resin or an epoxy resin. << Common transparent pixel electrode ITO2 >> Common transparent pixel electrode ITO
Reference numeral 2 denotes a transparent pixel electrode ITO1 provided for each pixel on the lower transparent glass substrate SUB1 side, and the optical state of the liquid crystal LC is determined by the pixel electrode ITO1 and the common transparent pixel electrode IT1.
It changes in response to a potential difference (electric field) with O2. The common transparent pixel electrode ITO2 is configured to apply a common voltage Vcom. In this embodiment, the common voltage Vcom is set to an intermediate potential between the low-level drive voltage Vdmin and the high-level drive voltage Vdmax applied to the video signal line DL. If it is desired to reduce the power supply voltage by about half, an AC voltage may be applied. The common transparent pixel electrode ITO2
Please refer to FIG. 17 and FIG. 18 for the planar shape of. << Gate Terminal >> FIG. 9 shows the scanning signal lines G of the display matrix.
It is a figure which shows the connection structure from L to the external connection terminal GTM, (A) is a plane and (B) has shown the cross section in the BB cutting line of (A). This figure corresponds to the vicinity of the lower part of FIG. 18, and the diagonal wiring portion is represented by a straight line for convenience.

【0033】AOは写真処理用のマスクパターン、言い
換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンであ
る。従って、このホトレジストは陽極酸化後除去され、
図に示すパターンAOは完成品としては残らないが、ゲ
ート配線GLには断面図に示すように酸化膜AOFが選
択的に形成されるのでその軌跡が残る。平面図におい
て、ホトレジストの境界線AOを基準にして左側はレジ
ストで覆い陽極酸化をしない領域、右側はレジストから
露出され陽極酸化される領域である。陽極酸化されたA
L層g2は表面にその酸化物Al膜AOFが形成
され下方の導電部は体積が減少する。勿論、陽極酸化は
その導電部が残るように適切な時間、電圧などを設定し
て行われる。マスクパターンAOは走査線GLに単一の
直線では交差せず、クランク状に折れ曲がって交差させ
ている。
AO is a mask pattern for photo processing, in other words, a photoresist pattern of selective anodic oxidation. Therefore, this photoresist is removed after anodization,
The pattern AO shown in the figure does not remain as a finished product, but its locus remains because the oxide film AOF is selectively formed on the gate wiring GL as shown in the sectional view. In the plan view, the left side is a region which is covered with the resist and is not anodized, and the right side is a region which is exposed from the resist and is anodized with reference to the boundary line AO of the photoresist. Anodized A
L layer g2 conductive portion of the lower formed its oxide the Al 2 O 3 film AOF on the surface volume decreases. Of course, anodic oxidation is performed by setting an appropriate time, voltage and the like so that the conductive portion remains. The mask pattern AO does not intersect the scanning line GL with a single straight line, but intersects by bending in a crank shape.

【0034】図中AL層g2は、判り易くするためハッ
チを施してあるが、陽極化成されない領域は櫛状にパタ
ーニングされている。これは、Al層の幅が広いと表面
にホイスカが発生するので、1本1本の幅は狭くし、そ
れらを複数本並列に束ねた構成とすることにより、ホイ
スカの発生を防ぎつつ、断線の確率や導電率の犠牲を最
低限に押さえる狙いである。従って、本例では櫛の根本
に相当する部分もマスクAOに沿ってずらしている。
In the figure, the AL layer g2 is hatched for easy understanding, but the region not anodized is patterned in a comb shape. This is because, when the width of the Al layer is large, whiskers are generated on the surface. Therefore, the width of each one is narrowed, and a plurality of these are bundled in parallel to prevent the generation of whiskers and disconnect the wires. The aim is to minimize the probability and conductivity sacrifice. Therefore, in this example, the portion corresponding to the root of the comb is also shifted along the mask AO.

【0035】ゲート端子GTMは酸化珪素SIO層と接
着性が良くAl等よりも耐電触性の高いCr層g1と、
更にその表面を保護し画素電極ITO1と同レベル(同
層、同時形成)の透明導電層d1とで構成されている。
なお、ゲート絶縁膜GI上及びその側面部に形成された
導電層d2及びd3は、導電層d3やd2のエッチング
時ピンホール等が原因で導電層g2やg1が一緒にエッ
チングされないようその領域をホトレジストで覆ってい
た結果として残っているものである。又、ゲート絶縁膜
GIを乗り越えて右方向に延長されたITO層d1は同
様な対策を更に万全とさせたものである。
The gate terminal GTM has a Cr layer g1 which has good adhesion to the silicon oxide SIO layer and has higher contact resistance than Al or the like.
Further, the transparent conductive layer d1 has the same level (same layer, simultaneous formation) as the pixel electrode ITO1 and protects the surface thereof.
Note that the conductive layers d2 and d3 formed on the gate insulating film GI and on the side surfaces thereof are formed in such regions that the conductive layers g2 and g1 are not etched together due to a pinhole or the like when the conductive layers d3 and d2 are etched. It remains as a result of being covered with photoresist. In addition, the ITO layer d1 extending rightward beyond the gate insulating film GI is a more complete countermeasure.

【0036】平面図において、ゲート絶縁膜GIはその
境界線よりも右側に、保護膜PSV1もその境界線より
も右側に形成されており、左端に位置する端子部GTM
はそれらから露出し外部回路との電気的接触ができるよ
うになっている。図では、ゲート線GLとゲート端子の
一つの対のみが示されているが、実際はこのような対が
図18に示すように上下に複数本並べられ端子群Tg
(図17、図18)が構成され、ゲート端子の左端は、
製造過程では、基板の切断領域CT1を越えて延長され
配線SHgによって短絡される。製造過程におけるこの
ような短絡線SHgは陽極化成時の給電と、配向膜OR
I1のラビング時等の静電破壊防止に役立つ。 《ドレイン端子DTM》図10は映像信号線DLからそ
の外部接続端子DTMまでの接続を示す図であり、
(A)はその平面を示し、(B)は(A)のB−B切断
線における断面を示す。なお、同図は図18右上付近に
対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方向が基
板SUB1の上端部(又は下端部)に該当する。
In the plan view, the gate insulating film GI is formed on the right side of the boundary line, the protective film PSV1 is formed on the right side of the boundary line, and the terminal portion GTM located at the left end is formed.
Are exposed from them so that they can make electrical contact with external circuits. In the figure, only one pair of the gate line GL and the gate terminal is shown, but in reality, such a pair is arranged in a plural number up and down as shown in FIG.
(FIGS. 17 and 18), and the left end of the gate terminal is
In the manufacturing process, the wiring is extended beyond the cutting area CT1 of the substrate and short-circuited by the wiring SHg. In the manufacturing process, such a short-circuit line SHg is supplied with power during anodization and the alignment film OR.
It is useful for preventing electrostatic breakdown at the time of rubbing of I1. << Drain Terminal DTM >> FIG. 10 is a diagram showing a connection from the video signal line DL to its external connection terminal DTM.
(A) shows the plane, and (B) shows a cross section taken along the line BB of (A). 18 corresponds to the vicinity of the upper right of FIG. 18, and the direction of the drawing is changed for convenience, but the right end corresponds to the upper end (or lower end) of the substrate SUB1.

【0037】TSTdは検査端子でありここには外部回
路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配
線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端子D
TMも外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広
げられている。検査端子TSTdと外部接続ドレイン端
子DTMは上下方向に千鳥状に複数交互に配列され、検
査端子TSTdは図に示すとおり基板SUB1の端部に
到達することなく終端しているが、ドレイン端子DTM
は、図18に示すように端子群Td(添字省略)を構成
し基板SUB1の切断線CT1を越えて更に延長され、
製造過程中は静電破壊防止のためその全てが互いに配線
SHdによって短絡される。検査端子TSTdが存在す
る映像信号線DLのマトリクスを挟んで反対側にはドレ
イン接続端子が接続され、逆にドレイン接続端子DTM
が存在する映像信号線DLのマトリクスを挟んで反対側
には検査端子が接続される。
TSTd is an inspection terminal to which an external circuit is not connected, but is wider than a wiring portion so that a probe needle or the like can be contacted. Similarly, the drain terminal D
The TM is also wider than the wiring part so that it can be connected to an external circuit. A plurality of test terminals TSTd and external connection drain terminals DTM are alternately arranged in a staggered manner in the vertical direction, and the test terminals TSTd are terminated without reaching the end of the substrate SUB1 as shown in FIG.
Constitutes a terminal group Td (subscript omitted) as shown in FIG. 18 and is further extended beyond the cutting line CT1 of the substrate SUB1.
During the manufacturing process, all of them are short-circuited to each other by the wiring SHd to prevent electrostatic breakdown. A drain connection terminal is connected to the opposite side of the matrix of the video signal line DL where the inspection terminal TSTd exists, and the drain connection terminal DTM is conversely connected.
An inspection terminal is connected to the opposite side of the matrix of the video signal line DL in which is present.

【0038】ドレイン接続端子DTMは前述したゲート
端子GTMと同様な理由でCr層g1及びITO層d1
の2層で形成されており、ゲート絶縁膜GIを除去した
部分で映像信号線DLと接続されている。ゲート絶縁膜
GIの端部上に形成された半導体層ASはゲート絶縁膜
GIの縁をテーパ状にエッチングするためのものであ
る。端子DTM上では外部回路との接続を行うため保護
膜PSV1は勿論のこと取り除かれている。AOは前述
した陽極酸化マスクでありその境界線はマトリクス全体
をを大きく囲むように形成され、図ではその境界線から
左側がマスクで覆われるが、この図で覆われない部分に
は層g2が存在しないのでこのパターンは直接は関係し
ない。
The drain connection terminal DTM is made of the Cr layer g1 and the ITO layer d1 for the same reason as the gate terminal GTM described above.
And the portion where the gate insulating film GI is removed is connected to the video signal line DL. The semiconductor layer AS formed on the edge of the gate insulating film GI is for etching the edge of the gate insulating film GI in a tapered shape. On the terminal DTM, the protection film PSV1 is removed as well as the connection for connection with an external circuit. AO is the anodic oxidation mask described above, and the boundary line is formed so as to largely surround the entire matrix. In the figure, the left side from the boundary line is covered with the mask. This pattern is not directly relevant since it does not exist.

【0039】マトリクス部からドレイン端子部DTMま
での引出配線は図19の(C)部にも示されるように、
ドレイン端子部DTMと同じレベルの層d1,g1のす
ぐ上に映像信号線DLと同じレベルの層d2,d3がシ
ールパターンSLの途中まで積層された構造になってい
るが、これは断線の確率を最小限に押さえ、電触し易い
Al層d3を保護膜PSV1やシールパターンSLでで
きるだけ保護する狙いである。 《保持容量素子Caddの構造》透明画素電極ITO1
は、薄膜トランジスタTFTと接続される端部と反対側
の端部において、隣りの走査信号線GLと重なるように
形成されている。この重ね合わせは、図1、図3からも
明らかなように、透明画素電極ITO1を一方の電極P
L2とし、隣りの走査信号線GLを他方の電極PL1と
する保持容量素子(静電容量素子)Caddを構成する。
この保持容量素子Caddの誘電体膜は、薄膜トランジス
タTFTのゲート絶縁膜として使用される絶縁膜GIお
よび陽極酸化膜AOFで構成されている。
The lead-out wiring from the matrix portion to the drain terminal portion DTM is as shown in FIG.
The structure is such that the layers d2 and d3 of the same level as the video signal line DL are partially stacked on the seal pattern SL just above the layers d1 and g1 of the same level as the drain terminal portion DTM. Is minimized, and the Al layer d3 that is easily touched is protected as much as possible by the protective film PSV1 and the seal pattern SL. << Structure of Storage Capacitor Cadd >> Transparent Pixel Electrode ITO1
Are formed so as to overlap an adjacent scanning signal line GL at an end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. As is clear from FIGS. 1 and 3, this superposition is performed by connecting the transparent pixel electrode ITO1 to one electrode P.
L2, and a storage capacitance element (capacitance element) Cadd using the adjacent scanning signal line GL as the other electrode PL1.
The dielectric film of the storage capacitor Cadd is composed of an insulating film GI used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT and an anodic oxide film AOF.

【0040】保持容量素子Caddは、図5からも明らか
なように、走査信号線GLの第2導電膜g2の幅を広げ
た部分に形成されている。なお、映像信号線DLと交差
する部分の第2導電膜g2は映像信号線DLとの短絡の
確率を小さくするため細くされている。
As is apparent from FIG. 5, the storage capacitance element Cadd is formed in a portion of the scanning signal line GL where the width of the second conductive film g2 is increased. Note that the portion of the second conductive film g2 that intersects with the video signal line DL is made thin in order to reduce the probability of a short circuit with the video signal line DL.

【0041】保持容量素子Caddの電極PL1の段差部
において透明画素電極ITO1が断線しても、その段差
をまたがるように形成された第2導電膜d2および第3
導電膜d3で構成された島領域によってその不良は補償
される。 《表示装置全体等価回路》表示マトリクス部の等価回路
とその周辺回路の結線図を図11に示す。同図は回路図
ではあるが、実際の幾何学的配置に対応して描かれてい
る。ARは複数の画素を二次元状に配列したマトリクス
・アレイである。
Even if the transparent pixel electrode ITO1 breaks at the step of the electrode PL1 of the storage capacitor Cadd, the second conductive film d2 and the third conductive film d2 are formed so as to extend over the step.
The defect is compensated for by the island region constituted by the conductive film d3. << Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 11 shows a connection diagram of an equivalent circuit of the display matrix portion and its peripheral circuits. Although the figure is a circuit diagram, it is drawn corresponding to an actual geometric arrangement. AR is a matrix array in which a plurality of pixels are arranged two-dimensionally.

【0042】図中、Xは映像信号線DLを意味し、添字
G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応し
て付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添字
1,2,3,…,endは走査タイミングの順序に従って
付加されている。
In the figure, X indicates a video signal line DL, and suffixes G, B and R are added corresponding to green, blue and red pixels, respectively. .., End are added according to the order of the scanning timing.

【0043】映像信号線X(添字省略)は交互に上側
(または奇数)映像信号駆動回路He、下側(または偶
数)映像信号駆動回路Hoに接続されている。
The video signal lines X (subscripts omitted) are alternately connected to the upper (or odd) video signal drive circuit He and the lower (or even) video signal drive circuit Ho.

【0044】走査信号線Y(添字省略)は垂直走査回路
Vに接続されている。
The scanning signal line Y (subscript omitted) is connected to the vertical scanning circuit V.

【0045】SUPは1つの電圧源から複数の分圧した
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。 《保持容量素子Caddの等価回路とその動作》図1に示
される画素の等価回路を図12に示す。図12におい
て、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極GTと
ソース電極SD1との間に形成される寄生容量である。
寄生容量Cgsの誘電体膜は絶縁膜GIおよび陽極酸化膜
AOFである。Cpixは透明画素電極ITO1(PI
X)と共通透明画素電極ITO2(COM)との間に形
成される液晶容量である。液晶容量Cpixの誘電体膜は
液晶LC、保護膜PSV1および配向膜ORI1、OR
I2である。Vlcは中点電位である。
The SUP uses a TFT liquid crystal display device to output information for a CRT (cathode ray tube) from a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source or a host (upper processing unit). This is a circuit that includes a circuit that exchanges information for use. << Equivalent Circuit of Storage Capacitor Cadd and Its Operation >> FIG. 12 shows an equivalent circuit of the pixel shown in FIG. In FIG. 12, Cgs is a parasitic capacitance formed between the gate electrode GT and the source electrode SD1 of the thin film transistor TFT.
The dielectric film of the parasitic capacitance Cgs is the insulating film GI and the anodic oxide film AOF. Cpix is a transparent pixel electrode ITO1 (PI
X) and a liquid crystal capacitance formed between the common transparent pixel electrode ITO2 (COM). The dielectric film of the liquid crystal capacitor Cpix is a liquid crystal LC, a protective film PSV1, and an alignment film ORI1, OR
I2. Vlc is a midpoint potential.

【0046】保持容量素子Caddは、薄膜トランジスタ
TFTがスイッチングするとき、中点電位(画素電極電
位)Vlcに対するゲート電位変化ΔVgの影響を低減す
るように働く。この様子を式で表すと、次式のようにな
る。
The storage capacitance element Cadd functions to reduce the influence of the gate potential change ΔVg on the midpoint potential (pixel electrode potential) Vlc when the thin film transistor TFT switches. This situation is expressed by the following equation.

【0047】 ΔVlc={Cgs/(Cgs+Cadd+Cpix)}×ΔVg ここで、ΔVlcはΔVgによる中点電位の変化分を表わ
す。この変化分ΔVlcは液晶LCに加わる直流成分の原
因となるが、保持容量Caddを大きくすればする程、そ
の値を小さくすることができる。また、保持容量素子C
addは放電時間を長くする作用もあり、薄膜トランジス
タTFTがオフした後の映像情報を長く蓄積する。液晶
LCに印加される直流成分の低減は、液晶LCの寿命を
向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画像が残るい
わゆる焼き付きを低減することができる。
ΔVlc = {Cgs / (Cgs + Cadd + Cpix)} × ΔVg Here, ΔVlc represents a change in the midpoint potential due to ΔVg. The change ΔVlc causes a DC component applied to the liquid crystal LC, but the value can be reduced as the storage capacitance Cadd is increased. Further, the holding capacitance element C
The add function has a function of prolonging the discharge time, and stores video information after the thin film transistor TFT is turned off for a long time. The reduction of the DC component applied to the liquid crystal LC improves the life of the liquid crystal LC, and can reduce so-called image sticking in which a previous image remains when the liquid crystal display screen is switched.

【0048】前述したように、ゲート電極GTはi型半
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2とのオーバラップ面
積が増え、従って寄生容量Cgsが大きくなり、中点電位
Vlcはゲート(走査)信号Vgの影響を受け易くなると
いう逆効果が生じる。しかし、保持容量素子Caddを設
けることによりこのデメリットも解消することができ
る。
As described above, since the gate electrode GT is made large so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the overlap area with the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 increases, and therefore the parasitic capacitance Cgs increases. The midpoint potential Vlc has an adverse effect of being easily affected by the gate (scan) signal Vg. However, this disadvantage can be eliminated by providing the storage capacitor Cadd.

【0049】保持容量素子Caddの保持容量は、画素の
書込特性から、液晶容量Cpixに対して4〜8倍(4・C
pix<Cadd<8・Cpix)、寄生容量Cgsに対して8〜3
2倍(8・Cgs<Cadd<32・Cgs)程度の値に設定す
る。 《保持容量素子Cadd電極線の結線方法》保持容量電極
線としてのみ使用される初段の走査信号線GL(Y
は、図11に示すように、共通透明画素電極ITO2
(Vcom)と同じ電位にする。図18の例では、初段の
走査信号線は端子GT0、引出線INT、端子DT0及
び外部配線を通じて共通電極COMに短絡される。或い
は、初段の保持容量電極線Y は最終段の走査信号線Y
endに接続、Vcom以外の直流電位点(交流接地点)に接
続するかまたは垂直走査回路Vから1つ余分に走査パル
スYを受けるように接続してもよい。 《外部回路との接続構造》図21は走査信号駆動回路V
や映像信号駆動回路He,Hoを構成する、集積回路チ
ップCHIがフレキシブル配線基板(通称TAB、Tape
Automated Bonding)に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図であり、図22はそれ
を液晶表示パネルの、本例では映像信号回路用端子DT
Mに接続した状態を示す要部断面図である。
The storage capacitance of the storage capacitance element Cadd is
From the writing characteristics, it is 4 to 8 times (4 · C
pix <Cadd <8 · Cpix), 8 to 3 for the parasitic capacitance Cgs
Set to a value of about twice (8 · Cgs <Cadd <32 · Cgs)
You. << Connection method of storage capacitor element Cadd electrode line >> Storage capacitor electrode
Scanning signal line GL (Y0)
Represents a common transparent pixel electrode ITO2 as shown in FIG.
(Vcom) is set to the same potential. In the example of FIG.
The scanning signal lines are the terminal GT0, the lead line INT, the terminal DT0 and
And the external electrode is short-circuited to the common electrode COM. Some
Is the first-stage storage capacitor electrode line Y 0Is the final scanning signal line Y
end, connect to DC potential point (AC ground point) other than Vcom
Or one extra scan pulse from the vertical scan circuit V
SU0May be connected to receive the same. << Connection Structure with External Circuit >> FIG. 21 shows a scanning signal driving circuit V
And an integrated circuit chip constituting the video signal drive circuits He and Ho
CHI is a flexible wiring board (commonly known as TAB, Tape)
 Automated Bonding)
It is a figure which shows the cross-section of a cage TCP, FIG.
Is the terminal DT of the video signal circuit of the liquid crystal display panel in this example.
FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part showing a state connected to M.

【0050】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であり、例えばCuから成り、それぞれ
の内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路C
HIのボンディングパッドPADがいわゆるフェースダ
ウンボンディング法により接続される。端子TTB,T
TMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれぞれ
半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応し、
半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回路S
UPに、異方性導電膜ACFによって液晶表示パネルP
NLに接続される。パッケージTCPは、その先端部が
パネルPNL側の接続端子DTMを露出した保護膜PS
V1を覆うようにパネルに接続されており、従って、外
部接続端子DTM(GTM)は保護膜PSV1かパッケ
ージTCPの少なくとも一方で覆われるので電触に対し
て強くなる。
In the figure, TTB is an input terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, and TTM is an output terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI. ) Is the integrated circuit C
The HI bonding pads PAD are connected by a so-called face-down bonding method. Terminal TTB, T
The outer ends (commonly called outer leads) of the TM correspond to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip CHI, respectively.
CRT / TFT conversion circuit / power supply circuit S by soldering
A liquid crystal display panel P is formed on the UP by using an anisotropic conductive film ACF.
NL. The package TCP has a protective film PS whose leading end exposes the connection terminal DTM on the panel PNL side.
The external connection terminal DTM (GTM) is covered with at least one of the protective film PSV1 and the package TCP, so that it is resistant to electric contact.

【0051】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際半田が余計なところ
へつかないようにマスクするためのソルダレジスト膜で
ある。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙
間は洗浄後エポキシ樹脂EPX等により保護され、パッ
ケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコー
ン樹脂SILが充填され保護が多重化されている。 《製造方法》つぎに、上述した液晶表示装置の基板SU
B1側の製造方法について図13〜図15を参照して説
明する。なお同図において、中央の文字は工程名の略称
であり、左側は図2に示す画素部分、右側は図9に示す
ゲート端子付近の断面形状でみた加工の流れを示す。工
程Dを除き工程A〜工程Iは各写真処理に対応して区分
けしたもので、各工程のいずれの断面図も写真処理後の
加工が終わりフォトレジストを除去した段階を示してい
る。なお、写真処理とは本説明ではフォトレジストの塗
布からマスクを使用した選択露光を経てそれを現像する
までの一連の作業を示すものとし、繰返しの説明は避け
る。以下区分けした工程に従って、説明する。
BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking so that solder does not stick to unnecessary portions during soldering. The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is washed and protected by an epoxy resin EPX or the like, and the space between the package TCP and the upper substrate SUB2 is further filled with a silicone resin SIL to multiplex protection. << Manufacturing Method >> Next, the substrate SU of the above-described liquid crystal display device
The manufacturing method on the B1 side will be described with reference to FIGS. In the same figure, the characters at the center are abbreviations of the process names, and the left side shows the flow of processing viewed from the cross-sectional shape near the gate terminal shown in FIG. Except for the process D, the processes A to I are classified according to the respective photographic processes, and any cross-sectional view of each process shows a stage where the processing after the photographic process is completed and the photoresist is removed. In the present description, photographic processing refers to a series of operations from application of a photoresist to selective exposure using a mask to development thereof, and a repeated description will be omitted. A description will be given below according to the divided steps.

【0052】工程A、図13 7059ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基板
SUB1の両面に酸化シリコン膜SIOをディップ処理
により設けたのち、500℃、60分間のベークを行な
う。下部透明ガラス基板SUB1上に膜厚が1100Å
のクロムからなる第1導電膜g1をスパッタリングによ
り設け、写真処理後、エッチング液として硝酸第2セリ
ウムアンモニウム溶液で第1導電膜g1を選択的にエッ
チングする。それによって、ゲート端子GTM、ドレイ
ン端子DTM、ゲート端子GTMを接続する陽極酸化バ
スラインSHg、ドレイン端子DTMを短絡するバスラ
インSHd、陽極酸化バスラインSHgに接続された陽
極酸化パッド(図示せず)を形成する。
Step A, FIG. 13 After a silicon oxide film SIO is provided on both surfaces of a lower transparent glass substrate SUB1 made of 7059 glass (trade name) by dipping, baking is performed at 500 ° C. for 60 minutes. Film thickness of 1100Å on lower transparent glass substrate SUB1
The first conductive film g1 made of chromium is provided by sputtering, and after the photographic processing, the first conductive film g1 is selectively etched with a ceric ammonium nitrate solution as an etchant. Thereby, the gate terminal GTM, the drain terminal DTM, the anodized bus line SHg connecting the gate terminal GTM, the bus line SHd shorting the drain terminal DTM, and the anodized pad connected to the anodized bus line SHg (not shown) To form

【0053】工程B、図13 膜厚が2800ÅのAl−Pd、Al−Si、Al−S
i−Ti、Al−Si−Cu等からなる第2導電膜g2
をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン酸と
硝酸と氷酢酸との混酸液で第2導電膜g2を選択的にエ
ッチングする。
Step B, FIG. 13 Al-Pd, Al-Si, Al-S having a thickness of 2800 °
Second conductive film g2 made of i-Ti, Al-Si-Cu, or the like
Is provided by sputtering. After the photographic processing, the second conductive film g2 is selectively etched with a mixed acid solution of phosphoric acid, nitric acid, and glacial acetic acid.

【0054】工程C、図13 写真処理後(前述した陽極酸化マスクAO形成後)、3
%酒石酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調
整した溶液をエチレングリコール液で1:9に稀釈した
液からなる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化成
電流密度が0.5mA/cmになるように調整する
(定電流化成)。次に所定のAl膜厚が得られる
のに必要な化成電圧125Vに達するまで陽極酸化を行
う。その後この状態で数10分保持することが望ましい
(定電圧化成)。これは均一なAl 膜を得る上で
大事なことである。それによって、導電膜g2を陽極酸
化され、走査信号線GL、ゲート電極GTおよび電極P
L1上に膜厚が1800Åの陽極酸化膜AOFが形成さ
れる 工程D、図14 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が2000Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が2000Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN型非晶質Si膜を設け
る。
Step C, FIG. 13 After photo processing (after formation of the above-described anodizing mask AO), 3
% Tartaric acid adjusted to PH 6.25 ± 0.05 with ammonia
The prepared solution was diluted 1: 9 with ethylene glycol solution.
Substrate SUB1 is immersed in an anodizing solution composed of
0.5 mA / cm current density2Adjust to be
(Constant current formation). Next, the specified Al2O3Thickness is obtained
Anodization is performed until the formation voltage 125V required for
U. Thereafter, it is desirable to hold this state for several tens of minutes.
(Constant voltage formation). This is a uniform Al 2O3To get the membrane
It is important. As a result, the conductive film g2 becomes anodic acid.
And the scanning signal line GL, the gate electrode GT and the electrode P
An anodic oxide film AOF having a thickness of 1800 ° is formed on L1.
Step D, FIG. 14 Ammonia gas, silane gas, nitrogen gas
Gas to introduce a 2000-nm thick Si nitride film.
Introduce silane gas and hydrogen gas into plasma CVD equipment
Then, an i-type amorphous Si film having a thickness of 2000 ° was provided.
In addition, hydrogen gas and phosphine gas are supplied to the plasma CVD device.
Introduce N of 300Å+Type amorphous Si film
You.

【0055】工程E、図14 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF、CC
を使用してN型非晶質Si膜、i型非晶質Si膜
を選択的にエッチングすることにより、i型半導体層A
Sの島を形成する。
Step E, FIG. 14 After photographic processing, SF 6 and CC are used as dry etching gases.
Use l 4 N + -type amorphous Si film, by selectively etching the i-type amorphous Si film, i-type semiconductor layer A
The island of S is formed.

【0056】工程F、図14 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSFを使用
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。
Step F, FIG. 14 After the photographic processing, the Si nitride film is selectively etched using SF 6 as a dry etching gas.

【0057】工程G、図15 膜厚が1400ÅのITO膜からなる第1導電膜d1を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で第1導電膜d1を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTM、ド
レイン端子DTMの最上層および透明画素電極ITO1
を形成する。
Step G, FIG. 15 A first conductive film d1 made of an ITO film having a thickness of 1400 ° is provided by sputtering. After the photo processing, the first conductive film d1 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etchant, thereby forming the uppermost layer of the gate terminal GTM and the drain terminal DTM and the transparent pixel electrode ITO1.
To form

【0058】工程H、図15 膜厚が600ÅのCrからなる第2導電膜d2をスパッ
タリングにより設け、さらに膜厚が4000ÅのAl−
Pd、Al−Si、Al−Si−Ti、Al−Si−C
u等からなる第3導電膜d3をスパッタリングにより設
ける。写真処理後、第3導電膜d3を工程Bと同様な液
でエッチングし、第2導電膜d2を工程Aと同様な液で
エッチングし、映像信号線DL、ソース電極SD1、ド
レイン電極SD2を形成する。つぎに、ドライエッチン
グ装置にCCl、SFを導入して、N型非晶質S
i膜をエッチングすることにより、ソースとドレイン間
のN型半導体層d0を選択的に除去する。
Step H, FIG. 15 A second conductive film d2 made of Cr having a thickness of 600 ° is provided by sputtering, and a second conductive film d2 having a thickness of 4000 ° is further formed.
Pd, Al-Si, Al-Si-Ti, Al-Si-C
A third conductive film d3 made of u or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the third conductive film d3 is etched with the same liquid as in the step B, and the second conductive film d2 is etched with the same liquid as in the step A to form the video signal line DL, the source electrode SD1, and the drain electrode SD2. I do. Next, CCl 4 and SF 6 are introduced into a dry etching apparatus, and N + type amorphous S
By etching the i film, the N + type semiconductor layer d0 between the source and the drain is selectively removed.

【0059】工程I、図15 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化Si膜を設け
る。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF
使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッチン
グすることによって、保護膜PSV1を形成する。 《液晶表示モジュールの全体構成》図23は、液晶表示
モジュールMDLの分解斜視図であり、各構成部品の具
体的な構成は図24〜図39に示す。
Step I, FIG. 15 An ammonia gas, a silane gas and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form a 1 μm-thick Si nitride film. After the photo processing, the protective film PSV1 is formed by selectively etching the Si nitride film by a photo etching technique using SF 6 as a dry etching gas. << Overall Configuration of Liquid Crystal Display Module >> FIG. 23 is an exploded perspective view of the liquid crystal display module MDL, and the specific configuration of each component is shown in FIGS.

【0060】SHDは金属板から成るシールドケース
(=メタルフレーム)、LCWは液晶表示窓、PNLは
液晶表示パネル、SPBは光拡散板、MFRは中間フレ
ーム、BLはバックライト、BLSはバックライト支持
体、LCAは下側ケースであり、図に示すような上下の
配置関係で各部材が積み重ねられてモジュールMDLが
組み立てられる。
SHD is a shield case (= metal frame) made of a metal plate, LCW is a liquid crystal display window, PNL is a liquid crystal display panel, SPB is a light diffusion plate, MFR is an intermediate frame, BL is a backlight, and BLS is a backlight support. The body and LCA are a lower case, and the respective members are stacked in a vertical arrangement as shown in the figure to assemble a module MDL.

【0061】モジュールMDLは、下側ケースLCA、
中間フレームMFR、シールドケースSHDの3種の保
持部材を有する。これらの3部材はそれぞれ略箱状を成
し、上記記載順に重箱式に積み重ねられ、シールドケー
スSHDによって各部品を搭載した他の2部材を保持す
る構成になっている。表示パネルPNLと光拡散板SP
Bは一旦中間フレームMFR上に置くことができ、4本
のバックライト(冷陰極螢光管)BLを支持するバック
ライト支持体BLSは下側ケースLCA上に一旦置くこ
とができる。従って、下側ケースLCAと中間フレーム
MFRの2部材にそれぞれ必要な部品を実装しながらこ
の2部材をひっくり返すことなく積み重ねて製造するこ
とができるので、製造を容易に行うことができ、組立性
が良く、信頼性の高い装置を提供できる利点がある。こ
れが本モジュールの1つの大きな特徴である。
The module MDL includes a lower case LCA,
It has three types of holding members, an intermediate frame MFR and a shield case SHD. Each of these three members has a substantially box shape, is stacked in a stacking order in the order described above, and has a configuration in which a shield case SHD holds the other two members on which each component is mounted. Display panel PNL and light diffusion plate SP
B can be once placed on the intermediate frame MFR, and the backlight support BLS supporting the four backlights (cold cathode fluorescent tubes) BL can be once placed on the lower case LCA. Therefore, the necessary components are mounted on the two members of the lower case LCA and the intermediate frame MFR, respectively, and the two members can be stacked and manufactured without being turned upside down. There is an advantage that a good and highly reliable device can be provided. This is one of the major features of this module.

【0062】以下、各部材について詳しく説明する。 《シールドケースSHD》図24は、シールドケースS
HDの上面、前側面、後側面、右側面、左側面を示す図
であり、図25は、シールドケースSHDを斜め上方か
らみたときの斜視図である。
Hereinafter, each member will be described in detail. << Shield Case SHD >> FIG.
FIG. 25 is a diagram showing an upper surface, a front side surface, a rear side surface, a right side surface, and a left side surface of the HD, and FIG. 25 is a perspective view when the shield case SHD is viewed obliquely from above.

【0063】シールドケース(メタルフレーム)SHD
は、1枚の金属板をプレス加工技術により、打ち抜きや
折り曲げ加工により作製される。LCWは表示パネルP
NLを視野に露出する開口を示し、以下表示窓と称す。
Shield case (metal frame) SHD
Is manufactured by punching or bending a single metal plate by a press working technique. LCW is the display panel P
An opening that exposes the NL to the field of view is shown, and is hereinafter referred to as a display window.

【0064】CLは中間フレームMFR固定用爪(全部
で19個)、FKは下側ケースLCA固定用フック(全
部で9個)であり、シールドケースSHDに一体に設け
られている。図に示された状態の固定用爪CLは組立て
時、それぞれ内側に折り曲げられて中間フレームMFR
に設けられた四角い固定用爪穴CLH(図27の各側面
図参照)に挿入される。これにより、シールドケースS
HDが表示パネルPNL等を保持・収納する中間フレー
ムMFRを保持し、両者がしっかりと固定される。固定
用フックFKは、それぞれ下側ケースLCAに設けた固
定用突起FKP(図34の各側面図参照)に嵌合され
る。これにより、シールドケースSHDがバックライト
BL、バックライト支持体BLS等を保持・収納する下
側ケースLCAを保持し、両者がしっかりと固定され
る。なお、中間フレームMFRと下側ケースLCAとは
周縁部において嵌合し、また、シールドケースSHDは
中間フレームMFRに被覆・嵌合し、3部材は合体する
ようになっている。また、表示パネルPNLの上面およ
び下面の表示に影響を与えない四方の縁周囲には薄く細
長い長方形状のゴムスペーサ(ゴムクッション。図示省
略)が設けられている。上面側のゴムスペーサは、表示
パネルPNLとシールドケースSHDとの間に介在さ
れ、下面側のゴムスペーサは、表示パネルPNLと中間
フレームMFR及び光拡散板SPBとの間に介在され
る。これらのゴムスペーサの弾性を利用して、シールド
ケースSHDを装置内部方向に押し込むことにより固定
用フックFKが固定用突起FKPにかかり、両固定用部
材がストッパとして機能し、さらに、固定用爪CLが折
り曲げられ、爪穴CLHに挿入されて、シールドケース
SHDにより中間フレームMFRと下側ケースLCAが
固定され、モジュール全体が一体となってしっかりと保
持され、他の固定用部材が不要である。従って、組立が
容易で製造コストを低減できる。また、機械的強度が大
きく、耐振動衝撃性を向上でき、装置の信頼性を向上で
きる。また、固定用爪CLと固定用フックFKは取り外
しが容易なため(固定用爪CLの折り曲げを延ばし、固
定用フックFKを外すだけ)、3部材の分解・組立が容
易なので、修理が容易で、バックライトBLの交換も容
易である(バックライト交換などで外す率が大きい下側
ケースLCAの固定用フックFKの方が固定用爪CLよ
り取り外し易くなっている)。なお、本モジュールでは
下側ケースLCAと中間フレームMFRは上記固定用部
材による取付けの他、それぞれ4個ずつ設けた下側ケー
スLCAのねじ穴が設けられた貫通孔LHL(図34〜
図36参照)と中間フレームMFRのねじ穴MVH(図
28参照)とねじにより更にねじ止めされている。
CL is a claw for fixing the intermediate frame MFR (19 in total), FK is a hook for fixing the lower case LCA (9 in total), and are provided integrally with the shield case SHD. The fixing claws CL in the state shown in the figure are bent inward at the time of assembling, so that the intermediate frames MFR are bent.
Is inserted into a square fixing claw hole CLH (see each side view in FIG. 27) provided in the. Thereby, the shield case S
The HD holds an intermediate frame MFR that holds and stores the display panel PNL and the like, and both are firmly fixed. The fixing hooks FK are fitted to fixing protrusions FKP (see each side view in FIG. 34) provided on the lower case LCA. Thereby, the shield case SHD holds the lower case LCA that holds and stores the backlight BL, the backlight support body BLS, and the like, and both are firmly fixed. The intermediate frame MFR and the lower case LCA are fitted at the peripheral edge, the shield case SHD is covered and fitted to the intermediate frame MFR, and the three members are united. A thin and long rectangular rubber spacer (rubber cushion, not shown) is provided around four edges that do not affect the display on the upper surface and the lower surface of the display panel PNL. The rubber spacer on the upper surface is interposed between the display panel PNL and the shield case SHD, and the rubber spacer on the lower surface is interposed between the display panel PNL, the intermediate frame MFR, and the light diffusion plate SPB. By using the elasticity of these rubber spacers to push the shield case SHD toward the inside of the device, the fixing hook FK is engaged with the fixing projection FKP, and both fixing members function as stoppers. Is bent and inserted into the claw hole CLH, the intermediate frame MFR and the lower case LCA are fixed by the shield case SHD, and the whole module is firmly held as one unit, and other fixing members are unnecessary. Therefore, assembling is easy and manufacturing costs can be reduced. Further, the mechanical strength is large, the vibration and shock resistance can be improved, and the reliability of the device can be improved. In addition, since the fixing nail CL and the fixing hook FK are easily removed (only the bending of the fixing nail CL is extended and the fixing hook FK is removed), disassembly and assembly of the three members are easy, so that repair is easy. The replacement of the backlight BL is also easy (the fixing hook FK of the lower case LCA, which has a high removal rate due to the backlight replacement or the like, is easier to remove than the fixing claw CL). In this module, the lower case LCA and the intermediate frame MFR are not only attached by the fixing member but also provided with four through holes LHL (FIGS.
It is further screwed with a screw hole MVH (see FIG. 28) and a screw of the intermediate frame MFR.

【0065】COHは共通貫通穴である。共通貫通穴C
OHは、このシールドケースSHDの他、表示パネルP
NLの駆動回路基板PCB1、中間フレームMFRの駆
動回路基板PCB2、中間フレームMFR、下側ケース
LCAに2個ずつ共通して(同じ平面位置に)設けられ
た貫通穴で、製造時、固定して立てたピンに下側ケース
LCAから順に各共通貫通穴COHを挿入して各部品を
実装していくことにより、各部材・各部品の相対位置を
精度良く設定するためのものである。また、当該モジュ
ールMDLをパソコン等の応用製品に実装するとき、こ
の共通貫通穴COHを位置決めの基準とすることができ
る。
COH is a common through hole. Common through hole C
OH is the display panel P in addition to the shield case SHD.
NL drive circuit board PCB1, intermediate frame MFR drive circuit board PCB2, intermediate frame MFR, lower case LCA, two through-holes provided in common (at the same plane position). By inserting the common through holes COH into the pins that are set up in order from the lower case LCA and mounting the components, the relative positions of the members and the components are accurately set. When the module MDL is mounted on an application product such as a personal computer, the common through hole COH can be used as a reference for positioning.

【0066】FGは金属製シールドケースSHDと一体
に形成された6個のフレームグランドで、シールドケー
スSHDに開けられた「コ」の字状の開口、換言すれ
ば、四角い開口部中に延びた細長い突起部により構成さ
れる。この細長い突起部が、それぞれ装置内部へ向かう
方向に折り曲げられ、表示パネルPNLの駆動回路基板
PCB1のグランドラインが接続されたフレームグラン
ドパッドFGP(図26)に半田付けにより接続された
構造になっている。 《表示パネルPNLと駆動回路基板PCB1》図26
は、図16等に示した表示パネルPNLに駆動回路を実
装した状態を示す上面図である。
FG is six frame grounds formed integrally with the metal shield case SHD, and extends into a "U" -shaped opening opened in the shield case SHD, in other words, into a square opening. It is constituted by an elongated projection. The elongated projections are bent in the direction toward the inside of the device, and are connected by soldering to a frame ground pad FGP (FIG. 26) to which the ground line of the drive circuit board PCB1 of the display panel PNL is connected. I have. << Display panel PNL and drive circuit board PCB1 >> FIG.
FIG. 17 is a top view showing a state where a drive circuit is mounted on the display panel PNL shown in FIG. 16 and the like.

【0067】CHIは表示パネルPNLを駆動させる駆
動ICチップ(下側の3個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左右の6個ずつは映像信号駆動回路側の駆動I
Cチップ)である。TCPは図21、図22で説明した
ように駆動用ICチップCHIがテープ オートメイテ
ィド ボンディング法(TAB)により実装されたテー
プキャリアパッケージ、PCB1はそれぞれTCPやコ
ンデンサCDS等が実装されたPCB(プリンテッド
サーキット ボード)から成る駆動回路基板で、3つに
分割されている。FGPはフレームグランドパッドであ
る。FCは下側の駆動回路基板PCB1と左側の駆動回
路基板PCB1、および下側の駆動回路基板PCB1と
右側の駆動回路基板PCB1とを電気的に接続するフラ
ットケーブルである。フラットケーブルFCとしては図
に示すように、複数のリード線(りん青銅の素材にSn
鍍金を施したもの)をストライプ状のポリエチレン層と
ポリビニルアルコール層とでサンドイッチして支持した
ものを使用する。 《駆動回路基板PCB1》駆動回路基板PCB1は、図
26に示すように、3個に分割され、表示パネルPNL
の回りに「コ」字状に配置され、2個のフラットケーブ
ルFCによってそれぞれ電気的、機械的に接続されてい
る。駆動回路基板PCB1は分割されているので、表示
パネルPNLと駆動回路基板PCB1との熱膨張率の差
により駆動回路基板PCB1の長軸方向に生じる応力
(ストレス)がフラットケーブルFCの箇所で吸収さ
れ、接続強度が弱いテープキャリアパッケージTCPテ
ープの出力リード(図21、図22のTTM)と表示パ
ネルの外部接続端子DTM(GTM)の剥がれが防止で
き、熱に対するモジュールの信頼性を向上できる。この
ような基板の分割方式は、更に、1枚の「コ」の字状基
板に比べて、それぞれが矩形上の単純な形状であるので
1枚の基板材料から多数枚の基板PCB1が取得できプ
リント基板材料の利用率が高くなり、部品・材料費が低
減できる(本実施例の場合は約50%に低減)効果が有
る。なお、駆動回路基板PCB1は、PCBの代わりに
柔軟なFPC(フレキシブル プリンティド サーキッ
ト)を使用すると、FPCはたわむのでリード剥がれ防
止効果をいっそう高めることができる。また、分割しな
い一体型の「コ」の字状のPCBを用いることもでき、
その場合は工数の低減、部品点数削減による製造工程管
理の単純化、PCB間接続ケーブルの廃止による信頼性
向上に効果が有る。
CHI is a driving IC chip for driving the display panel PNL (the lower three are driving ICs on the vertical scanning circuit side)
Chips, 6 each on the left and right sides, drive I on the video signal drive circuit side
C chip). TCP is a tape carrier package in which the driving IC chip CHI is mounted by the tape automated bonding method (TAB) as described with reference to FIGS. 21 and 22, and PCB1 is a PCB (printing) in which TCP, a capacitor CDS, etc. are mounted, respectively. Ted
Circuit board), which is divided into three parts. FGP is a frame ground pad. FC is a flat cable that electrically connects the lower drive circuit board PCB1 to the left drive circuit board PCB1 and the lower drive circuit board PCB1 to the right drive circuit board PCB1. As shown in the figure, as the flat cable FC, as shown in FIG.
(Plated) is used by sandwiching and supporting a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer. << Drive Circuit Board PCB1 >> The drive circuit board PCB1 is divided into three parts as shown in FIG.
, And are electrically and mechanically connected by two flat cables FC. Since the drive circuit board PCB1 is divided, the stress (stress) generated in the long axis direction of the drive circuit board PCB1 due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the display panel PNL and the drive circuit board PCB1 is absorbed at the flat cable FC. In addition, peeling of the output leads (TTM in FIGS. 21 and 22) of the tape carrier package TCP tape having a weak connection strength and the external connection terminals DTM (GTM) of the display panel can be prevented, and the reliability of the module against heat can be improved. In such a substrate dividing method, a large number of substrates PCB1 can be obtained from one substrate material because each has a simple rectangular shape as compared with a single “U” -shaped substrate. There is an effect that the utilization rate of the printed circuit board material is increased and the cost of parts and materials can be reduced (in the case of this embodiment, reduced to about 50%). If a flexible FPC (flexible printed circuit) is used for the drive circuit board PCB1 instead of the PCB, the FPC bends, so that the effect of preventing lead peeling can be further enhanced. It is also possible to use an integrated "U" -shaped PCB that is not divided,
In this case, the number of steps is reduced, the number of parts is reduced, the production process management is simplified, and the reliability is improved by eliminating the connection cable between PCBs.

【0068】3個に分割された各駆動回路基板PCB1
の各グランドラインに接続されたフレームグランドパッ
ドFGPは、図26に示すように、各基板毎に2個ずつ
合計6個設けてある。駆動回路基板PCB1が複数に分
割されている場合、直流的には駆動回路基板のうち少な
くとも1ヶ所がフレームグランドに接続されていれば、
電気的な問題は起きないが、高周波領域ではその箇所が
少ないと、各駆動回路基板の特性インピーダンスの違い
等により電気信号の反射、グランドラインの電位が振ら
れる等が原因で、EMI(エレクトロ マグネティック
インタフィアレンス)を引き起こす不要な輻射電波の発
生ポテンシャルが高くなる。特に、薄膜トランジスタを
用いたモジュールMDLでは、高速のクロックを用いる
ので、EMI対策が難しい。これを防止するために、複
数に分割された各駆動回路基板PCB1毎に少なくとも
1ヶ所、本実施例では2ヶ所でグランド配線(交流接地
電位)をインピーダンスが十分に低い共通のフレーム
(すなわち、シールドケースSHD)に接続する。これ
により、高周波領域におけるグランドラインが強化され
るので、全体で1ヶ所だけシールドケースSHDに接続
した場合と比較すると、本実施例の6ヶ所の場合は輻射
の電界強度で5dB以上の改善が見られた。
Each drive circuit board PCB1 divided into three parts
As shown in FIG. 26, two frame ground pads FGP connected to each ground line are provided for each substrate, that is, six in total. When the drive circuit board PCB1 is divided into a plurality of parts, if at least one of the drive circuit boards is connected to the frame ground in terms of DC,
Although there is no electrical problem, if there are few locations in the high frequency range, the EMI (Electro-Magnetic)
The generation potential of unnecessary radiated radio waves causing interference (interference) increases. In particular, in a module MDL using a thin film transistor, since a high-speed clock is used, it is difficult to take measures against EMI. In order to prevent this, ground wiring (AC ground potential) is connected to a common frame (i.e., a shield) at a sufficiently low impedance at at least one position in each of the plurality of divided drive circuit boards PCB1, and in this embodiment, at two positions. (Case SHD). As a result, the ground line in the high-frequency region is strengthened. In comparison with the case where only one shield case is connected to the shield case SHD as a whole, the electric field intensity of radiation is improved by 5 dB or more in the six cases in the present embodiment. Was done.

【0069】シールドケースSHDのフレームグランド
FGは、金属の細長い突起部で構成され、折り曲げるこ
とにより容易に表示パネルPNLのフレームグランドパ
ッドFGPに接続でき、接続用の特別のワイヤ(リード
線)が不要である。また、フレームグランドFGを介し
てシールドケースSHDと駆動回路基板PCB1とを機
械的にも接続できるので、駆動回路基板PCB1の機械
的強度も向上できる。 《中間フレームMFR》図27は、中間フレームMFR
の上面図、前側面図、後側面図、右側面図、左側面図、
図28は、中間フレームMFRの下面図、図29は、中
間フレームMFRの上面側から見た斜視図である。
The frame ground FG of the shield case SHD is formed of a metal elongated projection, and can be easily connected to the frame ground pad FGP of the display panel PNL by bending, and no special wire (lead wire) for connection is required. It is. Further, since the shield case SHD and the driving circuit board PCB1 can be mechanically connected via the frame ground FG, the mechanical strength of the driving circuit board PCB1 can be improved. << Intermediate Frame MFR >> FIG.
Top view, front side view, rear side view, right side view, left side view,
FIG. 28 is a bottom view of the intermediate frame MFR, and FIG. 29 is a perspective view of the intermediate frame MFR as viewed from above.

【0070】中間フレームMFRは駆動回路基板PCB
1と一体に構成された液晶表示部LCD、光拡散板SP
B、L字形の駆動回路基板PCB2の保持部材である。
The intermediate frame MFR is a drive circuit board PCB
Liquid crystal display unit LCD, light diffusion plate SP integrated with 1
This is a holding member for the B and L-shaped drive circuit boards PCB2.

【0071】BLWはバックライトBLの光を液晶表示
部LCDへ取り込むためのバックライト光取り入れ窓
で、ここに光拡散板SPBが載置・保持される。SPB
Sは、光拡散板SPBの保持部である。RDWは放熱
穴、CWは外部と接続されるコネクタ用の切欠きであ
る。MVHは4個のねじ穴であり、このねじ穴MVHと
下側ケースLCAの貫通穴LHL(図34〜図36参
照)を介して図示しないねじにより下側ケースLCAと
中間フレームMFRとが固定される。CLHはシールド
ケースSHDの固定用爪CLが挿入される固定用爪穴で
ある(図27の各側面図、図29参照)。2HLは駆動
回路基板PCB2(図30参照)の固定用穴で、ナイロ
ンリベット等の止め具が挿入される。L字形の駆動回路
基板PCB2は図27の中間フレームMFRの上面図の
右および下の縁のL字領域に配置される。なお、中間フ
レームMFRは、バックライト支持体BLS、下側ケー
スLCAと同じ白色の合成樹脂により形成されている。
また、中間フレームMFRは、合成樹脂で作られている
ので、駆動回路基板PCB1および駆動回路基板PCB
2の絶縁上有利である。 《光拡散板SPB》光拡散板SPB(図23参照)は、
中間フレームMFRのバックライト光取り入れ窓BLW
の四方の周縁部に設けられた保持部SPBS(図27、
図29参照。中間フレームMFRの上面より低い)上で
保持される。光拡散板SPBを保持部SPBS上に載置
すると、光拡散板SPBの上面と中間フレームMFRの
上面とは同一平面になる。光拡散板SPBの上には、駆
動回路基板PCB1と一体となった液晶表示部LCDが
載置される。液晶表示部LCDと光拡散板SPBとの間
には、液晶表示部LCDの下面の四方の縁周囲に配置さ
れた4本のゴムスペーサ(図示省略。《シールドケース
SHD》の説明の欄参照)が介在し、液晶表示部LCD
と光拡散板SPBとの間がこれらのゴムスペーサにより
密閉されている。すなわち、光拡散板SPBは中間フレ
ームMFR(枠体)上に載置され、光拡散板SPBの上
面は、液晶表示部LCDによって覆われ、かつ、液晶表
示部LCDと光拡散板SPBとの間隙はゴムスペーサに
よって完全に密閉されている(光拡散板SPBと液晶表
示部LCDとを中間フレームMFRを用いてバックライ
ト部と独立に一体化・固定化した)。従って、液晶表示
部LCDと光拡散板SPBとの間に異物が侵入したり、
表示領域以外に静電気等により付着していた異物が表示
領域に移動したりして表示品質が低下する問題を抑制で
きる。なお、光拡散板SPBは光拡散シートと比較して
厚いので、光拡散板SPB下面側の異物の存在は目立た
ない。また、光拡散板SPBの下面側に存在する異物
は、液晶表示部LCDから遠いので、焦点を結びにく
く、像が拡散してしまうので、ほとんど問題とならな
い。さらに、光拡散板SPBと液晶表示部LCDとを順
に中間フレームMFRに保持させる構成なので、組立性
も良い。 《駆動回路基板PCB2》図30は、駆動回路基板PC
B2の下面図である。中間フレームMFRに保持・収納
される液晶表示部LCDの駆動回路基板PCB2は、図
30に示すように、L字形をしており、IC、コンデン
サ、抵抗等の電子部品が搭載されている。この駆動回路
基板PCB2には、1つの電圧源から複数の分圧した安
定化された電圧源を得るための電源回路や、ホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に変換する回路を含む回路
が搭載されている。CJは外部と接続される図示しない
コネクタが接続されるコネクタ接続部である。なお、駆
動回路基板PCB2と駆動回路基板PCB1とは、図3
1に示すように、フラットケーブルFCにより電気的に
接続される(詳細後述)。また、駆動回路基板PCB2
とインバータ回路基板IPCBとは、駆動回路基板PC
B2のバックライト接続部BC2およびインバータ回路
基板IPCBのバックライト接続部BCIに接続される
図示しないバックライトコネクタおよびバックライトケ
ーブルにより、中間フレームMFRに設けたコネクタ穴
CHL(図27〜図29参照)を介して電気的に接続さ
れる。 《駆動回路基板PCB1と駆動回路基板PCB2との電
気的接続》図31は、液晶表示部LCDの駆動回路基板
PCB1(上面が見える)と中間フレームMFRの駆動
回路基板PCB2(下面が見える)との接続状態を示す
上面図である。
BLW is a backlight light taking-in window for taking in the light of the backlight BL into the liquid crystal display portion LCD, and the light diffusing plate SPB is placed and held here. SPB
S is a holder for the light diffusion plate SPB. RDW is a heat dissipation hole, and CW is a notch for a connector to be connected to the outside. The MVH has four screw holes, and the lower case LCA and the intermediate frame MFR are fixed by screws (not shown) via the screw holes MVH and the through holes LHL (see FIGS. 34 to 36) of the lower case LCA. You. CLH is a fixing claw hole into which the fixing claw CL of the shield case SHD is inserted (see each side view in FIG. 27 and FIG. 29). 2HL is a fixing hole of the drive circuit board PCB2 (see FIG. 30), into which a stopper such as a nylon rivet is inserted. The L-shaped drive circuit board PCB2 is arranged in the L-shaped region on the right and lower edges of the top view of the intermediate frame MFR in FIG. The intermediate frame MFR is formed of the same white synthetic resin as the backlight support BLS and the lower case LCA.
Also, since the intermediate frame MFR is made of synthetic resin, the driving circuit board PCB1 and the driving circuit board PCB
2 is advantageous in terms of insulation. << Light Diffusion Plate SPB >> The light diffusion plate SPB (see FIG. 23)
Backlight light intake window BLW of intermediate frame MFR
The holding portions SPBS provided on the four peripheral edges of FIG.
See FIG. (Lower than the upper surface of the intermediate frame MFR). When the light diffusion plate SPB is placed on the holding part SPBS, the upper surface of the light diffusion plate SPB and the upper surface of the intermediate frame MFR are flush with each other. On the light diffusion plate SPB, a liquid crystal display unit LCD integrated with the drive circuit board PCB1 is mounted. Between the liquid crystal display part LCD and the light diffusion plate SPB, four rubber spacers are arranged around four edges on the lower surface of the liquid crystal display part LCD (not shown; see the description of << Shield case SHD >>). LCD interposed LCD
The space between the light diffusion plate SPB and the light diffusion plate SPB is sealed by these rubber spacers. That is, the light diffusion plate SPB is mounted on the intermediate frame MFR (frame), the upper surface of the light diffusion plate SPB is covered by the liquid crystal display LCD, and the gap between the liquid crystal display LCD and the light diffusion plate SPB is provided. Is completely sealed by a rubber spacer (the light diffusion plate SPB and the liquid crystal display unit LCD are integrated and fixed independently of the backlight unit using the intermediate frame MFR). Therefore, foreign matter may enter between the liquid crystal display part LCD and the light diffusion plate SPB,
It is possible to suppress the problem that the foreign matter attached to the display area other than the display area due to static electricity or the like moves to the display area and the display quality deteriorates. Since the light diffusion plate SPB is thicker than the light diffusion sheet, the presence of foreign matter on the lower surface side of the light diffusion plate SPB is inconspicuous. Further, the foreign matter present on the lower surface side of the light diffusion plate SPB is far from the liquid crystal display unit LCD, so it is difficult to focus, and the image is diffused, so that there is almost no problem. Further, since the light diffusion plate SPB and the liquid crystal display unit LCD are sequentially held in the intermediate frame MFR, the assembling property is also good. << Drive Circuit Board PCB2 >> FIG. 30 shows a drive circuit board PC.
It is a bottom view of B2. As shown in FIG. 30, the drive circuit board PCB2 of the liquid crystal display portion LCD held and housed in the intermediate frame MFR has an L-shape, and has mounted thereon electronic components such as ICs, capacitors, and resistors. The drive circuit board PCB2 includes a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source, and information for a CRT (cathode ray tube) from a host (upper processing unit). A circuit including a circuit for converting information into information for a TFT liquid crystal display device is mounted. CJ is a connector connection portion to which a connector (not shown) connected to the outside is connected. The drive circuit board PCB2 and the drive circuit board PCB1 correspond to FIG.
As shown in FIG. 1, they are electrically connected by a flat cable FC (details will be described later). Also, the drive circuit board PCB2
And the inverter circuit board IPCB are the drive circuit board PC
A connector hole CHL provided in the intermediate frame MFR by a backlight connector and a backlight cable (not shown) connected to the backlight connection portion BC2 of B2 and the backlight connection portion BCI of the inverter circuit board IPCB (see FIGS. 27 to 29). Are electrically connected via << Electrical Connection between Drive Circuit Board PCB1 and Drive Circuit Board PCB2 >> FIG. 31 shows the connection between the drive circuit board PCB1 of the liquid crystal display unit LCD (the upper surface is visible) and the drive circuit board PCB2 of the intermediate frame MFR (the lower surface is visible). It is a top view which shows a connection state.

【0072】液晶表示部LCDと駆動回路基板PCB2
とは折り曲げ可能なフラットケーブルFCにより電気的
に接続されている。この状態で動作チェックを行うこと
ができる。駆動回路基板PCB2は、フラットケーブル
FCを180°折り曲げることにより、液晶表示部LCD
の下面側に重ねて配置され、中間フレームMFRの所定
の凹部に嵌合され、ナイロンリベット等の止め具等によ
り固定され、その上に液晶表示部LCDと一体になった
駆動回路基板PCB1が載置・保持される。 《バックライト支持体BLS》図32は、バックライト
支持体BLSの上面図、後側面図、右側面図、左側面
図、図33は、バックライト支持体BLSの上面側から
見た斜視図である。
Liquid crystal display section LCD and drive circuit board PCB2
Are electrically connected by a foldable flat cable FC. An operation check can be performed in this state. The drive circuit board PCB2 is formed by bending the flat cable FC by 180 ° so that the liquid crystal display section LCD is formed.
The drive circuit board PCB1 integrated with the liquid crystal display portion LCD is mounted on the lower surface of the intermediate frame MFR, fitted in a predetermined recess of the intermediate frame MFR, fixed with a fastener such as a nylon rivet, or the like. Placed and retained. << Backlight Support BLS >> FIG. 32 is a top view, a rear side view, a right side view, and a left side view of the backlight support BLS, and FIG. 33 is a perspective view of the backlight support BLS seen from the top side. is there.

【0073】バックライト支持体BLSは、4本のバッ
クライト(冷陰極螢光管)BL(図37、図23参照)
を支持する。SPCは穴(空間)であり、バックライト
支持体BLSは枠体を成している。
The backlight support BLS includes four backlights (cold cathode fluorescent lamps) BL (see FIGS. 37 and 23).
I support. SPC is a hole (space), and the backlight support BLS forms a frame.

【0074】バックライト支持体BLSは、4本のバッ
クライトBLを白色のシリコンゴムSG(図37、図3
9参照)を介して支持するようになっている。SSはバ
ックライト支持部で、ここにシリコンゴムSGを介して
各バックライトBLの両端を支持するようになってい
る。なお、シリコンゴムSGは、バックライトBLの点
燈領域内への異物侵入防止の役目もする。RHはバック
ライトBLの両端に接続されたリード線LD(図37参
照)が通るリード線穴である。
The backlight support BLS uses the four backlights BL as white silicone rubber SG (FIGS. 37 and 3).
9). Reference numeral SS denotes a backlight support portion, which supports both ends of each backlight BL via silicon rubber SG. The silicone rubber SG also serves to prevent foreign matter from entering the lighting area of the backlight BL. RH is a lead hole through which lead wires LD (see FIG. 37) connected to both ends of the backlight BL pass.

【0075】SHLはバックライト支持体BLSに設け
た4個の貫通穴で、下側ケースLCAのねじ穴LVHと
一致し、図示しないねじによって下側ケースLCAに固
定される。
SHL are four through holes provided in the backlight support BLS, which coincide with the screw holes LVH of the lower case LCA, and are fixed to the lower case LCA by screws (not shown).

【0076】SRMはバックライト支持体BLSの図3
2の左右両内側面に形成されたバックライトBL(4本
のバックライトBLのうち外側の2本のバックライトB
L)のバックライト光反射部で、下側ケースLCAのバ
ックライト光反射山RM(図34、図36参照)の上面
と同様にバックライトBLの光を液晶表示部LCDの方
に効率良く反射するための複数の平面の組み合せから構
成されている(《下側ケース》の説明の欄参照)。な
お、バックライト支持体BLSは、中間フレームMF
R、下側ケースLCAと同じ白色の合成樹脂により成型
により作られる。 《下側ケースLCA》図34は、下側ケースLCAの上
面図(反射側)、後側面図、右側面図、左側面図、図3
5は、下側ケースLCAの下面図、図36は、下側ケー
スLCAの上面側から見た斜視図、図38は、下側ケー
スLCAの断面図(図34の38−38切断線における
断面図)である。
The SRM is shown in FIG.
The backlights BL formed on both left and right inner side surfaces (the outer two backlights B among the four backlights BL)
L), the light from the backlight BL is efficiently reflected toward the liquid crystal display unit LCD in the same manner as the upper surface of the backlight light reflection mountain RM (see FIGS. 34 and 36) of the lower case LCA. (See the description of << Lower Case >>). Note that the backlight support BLS is connected to the intermediate frame MF.
R, made by molding with the same white synthetic resin as the lower case LCA. << Lower Case LCA >> FIG. 34 is a top view (reflection side), rear side view, right side view, left side view, and FIG.
5 is a bottom view of the lower case LCA, FIG. 36 is a perspective view of the lower case LCA as viewed from above, and FIG. 38 is a cross-sectional view of the lower case LCA (cross-section taken along line 38-38 in FIG. 34). Figure).

【0077】下側ケースLCAは、バックライトBL、
バックライト支持体BLS、バックライトBL点燈用の
インバータ回路基板IPCBの保持部材(バックライト
収納ケース)であり、バックライトBLのバックライト
光反射板を兼ねており、バックライトBLの光を最も効
率良く反射する色である白色の合成樹脂で1個の型で一
体成型することにより作られる。下側ケースLCAの上
面には、この下側ケースLCAと一体に形成された3本
のバックライト光反射山RMが形成され、バックライト
BLのバックライト光反射面を構成している。3本のバ
ックライト光反射山RMは、バックライトBLの光を液
晶表示部LCDの方に効率良く反射するための複数の平
面の組み合せから構成されている。すなわち、バックラ
イト光反射山RMの断面形状は、図38の断面図に示す
ように、バックライトBLの光を最も効率良く、反射す
るように計算により求められた曲線の近似直線で構成さ
れている。なお、バックライト光反射山RMの高さは、
反射光率を上げるため、バックライトBLの上面より高
くなっている(図39参照)。このように、バックライ
トBLの収納ケースとバックライトBLのバックライト
光反射板とを一体の部材で構成したので、部品点数を少
なくでき、構造を簡略化でき、製造コストを低減でき
る。従って、装置の耐振動衝撃性、耐熱衝撃性を向上で
き、信頼性を向上できる。また、下側ケースLCAは、
合成樹脂で作られているので、インバータ回路基板IP
CBの絶縁上有利である。
The lower case LCA includes a backlight BL,
The backlight support member BLS is a holding member (backlight storage case) for the inverter circuit board IPCB for turning on the backlight BL, and also serves as a backlight light reflection plate for the backlight BL. It is made by integrally molding with a single mold using a white synthetic resin that is a color that reflects efficiently. On the upper surface of the lower case LCA, three backlight light reflection ridges RM formed integrally with the lower case LCA are formed, and constitute a backlight light reflection surface of the backlight BL. The three backlight light reflection peaks RM are composed of a combination of a plurality of planes for efficiently reflecting the light of the backlight BL toward the liquid crystal display LCD. That is, as shown in the cross-sectional view of FIG. 38, the cross-sectional shape of the backlight light reflection mountain RM is formed by an approximate straight line of a curve obtained by calculation so as to reflect the light of the backlight BL most efficiently. I have. The height of the backlight light reflection mountain RM is:
It is higher than the upper surface of the backlight BL to increase the reflectance (see FIG. 39). As described above, since the storage case of the backlight BL and the backlight light reflection plate of the backlight BL are formed as an integral member, the number of parts can be reduced, the structure can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced. Therefore, the vibration shock resistance and the heat shock resistance of the device can be improved, and the reliability can be improved. Also, the lower case LCA is
Because it is made of synthetic resin, the inverter circuit board IP
This is advantageous for CB insulation.

【0078】なお、LVHは4個のねじ穴であり、この
ねじ穴LVHとバックライト支持体BLSの貫通穴SH
L(図32、図33参照)を介して図示しないねじによ
りバックライト支持体BLSが下側ケースLCAに固定
される。LHLは4個の貫通穴であり、この貫通穴LH
Lと中間フレームMFRのねじ穴MVH(図28参照)
を介して図示しないねじにより中間フレームMFRと下
側ケースLCAとが固定される。IHLはナイロンリベ
ット等の止め具が挿入されるインバータ回路基板IPC
Bの固定用穴、CWは外部と接続されるコネクタ用の切
欠き、FKPはシールドケースSHDの固定用フックF
Kが嵌合する固定用突起である(図34の各側面図、図
36参照)。 《バックライトBL》図37は、下側ケースLCAにバ
ックライト支持体BLS、バックライトBL、インバー
タ回路基板IPCBを搭載した状態を示す上面図、後側
面図、右側面図、左側面図、図39は、図37の39−
39切断線における断面図である。
Note that LVH has four screw holes, and the screw holes LVH and the through holes SH of the backlight support member BLS.
The backlight support BLS is fixed to the lower case LCA by screws (not shown) via L (see FIGS. 32 and 33). LHL is four through holes, and this through hole LH
L and screw hole MVH of intermediate frame MFR (see Fig. 28)
, The intermediate frame MFR and the lower case LCA are fixed by screws (not shown). IHL is an inverter circuit board IPC into which fasteners such as nylon rivets are inserted.
B is a fixing hole, CW is a notch for a connector to be connected to the outside, and FKP is a fixing hook F of a shield case SHD.
K is a fixing projection to be fitted (see each side view of FIG. 34, FIG. 36). << Backlight BL >> FIG. 37 is a top view, a rear side view, a right side view, a left side view, and a view showing a state where the backlight support BLS, the backlight BL, and the inverter circuit board IPCB are mounted on the lower case LCA. 39 is 39- of FIG.
It is sectional drawing in 39 cutting lines.

【0079】バックライトBLは、液晶表示部LCDの
真下に配置される直下型バックライトである。バックラ
イトBLは、4本の冷陰極螢光管により構成され、バッ
クライト支持体BLSにより支持され、バックライト支
持体BLSを下側ケースLCAに図示しないねじを用い
バックライト支持体BLSの貫通穴SHLおよび下側ケ
ースLCAのねじ穴LVHを介して固定することにより
バックライト収納ケースである下側ケースLCAに保持
される。
The backlight BL is a direct-type backlight that is disposed directly below the liquid crystal display LCD. The backlight BL includes four cold cathode fluorescent tubes, is supported by the backlight support BLS, and is attached to the lower case LCA using screws (not shown) in the lower case LCA. By fixing through the SHL and the screw holes LVH of the lower case LCA, it is held by the lower case LCA which is a backlight storage case.

【0080】ECLは冷陰極管の封止側(螢光体を管の
内表面に塗布したり、ガスを引いて真空にしたり、ガス
を封入したりする側のことをいう)である。図37に示
すように、並んで配置された4本のバックライトBLの
封止側ECLが左右交互(図37では上下交互)に配置
されている(千鳥配置)。これにより、螢光管における
螢光体塗布に起因して生じる表示画面の色温度の左右傾
斜(封止側の方が色温度が高い)を目立たなくでき、表
示品質を向上できる。 《インバータ回路基板IPCB》インバータ回路IPC
Bは、4本のバックライトBLの点燈用回路基板で、図
37に示すように、下側ケースLCAに載置され、下側
ケースLCAの固定用穴IHL(図34〜図36参照)
を介して図示しないナイロンリベット等の止め具によっ
て固定される。インバータ回路IPCB上には2個のト
ランスTF1、TF2や、コンデンサ、コイル、抵抗等
の電子部品が搭載されている。なお、熱源となるインバ
ータ回路基板IPCBは、装置の上部側(図37では、
上面図の左側に示す)に配置されるので、放熱性が良
い。また、インバータ回路基板IPCBは装置の上部側
に配置され、L字形の駆動回路基板PCB2は装置の下
部側および左側(図27の中間フレームMFRの上面図
の右および下の縁のL字領域)に配置され、熱源となる
インバータ回路基板IPCBと駆動回路基板PCB2と
は、放熱性の点とモジュール全体の厚さを薄くする点か
ら上下に重ならないように配置されている。 《バックライトBL、バックライト支持体BLS、イン
バータ回路基板IPCB》バックライト支持体BLS
に、それぞれ両端にリード線LD(図37参照)が付い
た4本のバックライトBLを嵌め込んだ後、(バックラ
イト支持体BLSとインバータ回路基板IPCBを下側
ケースLCAに収納・固定する前に)各バックライトB
Lのリード線LDをインバータ回路基板IPCBに半田
付けする。これにより、バックライトBLとバックライ
ト支持体BLSとインバータ回路基板IPCBとで1個
のユニットが構成される(図23、図37参照)。この
状態でバックライトBLの点燈試験が可能である。従来
は、バックライトとインバータ回路基板とをバックライ
ト収納ケースにそれぞれ固定した後、バックライトのリ
ード線をインバータ回路基板に半田付けする構成だった
ので、半田付けのためのスペースが非常に狭く、作業性
が悪かったが、本モジュールでは、バックライトBLお
よびインバータ回路基板IPCBを下側ケースLCAに
固定する前に、バックライトBLがバックライト支持体
BLSに支持された状態でバックライトBLのリード線
LDをインバータ回路基板IPCBに半田付けできるの
で、作業性が良い。また、不良部品が生じた場合の部品
交換も容易である。点燈試験が終了したら、図37に示
すように、インバータ回路基板IPCBをナイロンリベ
ット等の止め具を用いて下側ケースLCAの固定用穴I
HLを介して固定し、バックライト支持体BLSを図示
しないねじにより4個の貫通穴SHLとねじ穴LVH
(図36、図34参照)を介して下側ケースLCAに固
定する。
The ECL is the sealing side of the cold-cathode tube (the side on which the phosphor is applied to the inner surface of the tube, the vacuum is drawn by drawing a gas, or the gas is sealed). As shown in FIG. 37, the sealing ECLs of the four backlights BL arranged side by side are arranged alternately left and right (in FIG. 37, alternately up and down) (staggered arrangement). As a result, the left and right inclination of the color temperature of the display screen caused by the application of the fluorescent material on the fluorescent tube (the color temperature is higher on the sealing side) can be made inconspicuous, and the display quality can be improved. << Inverter circuit board IPCB >> Inverter circuit IPC
B is a lighting circuit board for the four backlights BL, which is mounted on the lower case LCA as shown in FIG. 37 and has fixing holes IHL in the lower case LCA (see FIGS. 34 to 36).
And is fixed by a fastener such as a nylon rivet (not shown). On the inverter circuit IPCB, two transformers TF1, TF2 and electronic components such as capacitors, coils, and resistors are mounted. The inverter circuit board IPCB serving as a heat source is located on the upper side of the device (in FIG. 37,
(Shown on the left side of the top view), so that heat dissipation is good. The inverter circuit board IPCB is disposed on the upper side of the apparatus, and the L-shaped drive circuit board PCB2 is disposed on the lower side and the left side of the apparatus (L-shaped areas on the right and lower edges of the top view of the intermediate frame MFR in FIG. 27). The inverter circuit board IPCB and the drive circuit board PCB2 serving as heat sources are arranged so as not to overlap with each other from the viewpoint of heat dissipation and reducing the thickness of the entire module. << Backlight BL, backlight support BLS, inverter circuit board IPCB >> Backlight support BLS
After fitting four backlights BL each having a lead wire LD (see FIG. 37) at each end, (before storing and fixing the backlight support BLS and the inverter circuit board IPCB to the lower case LCA) 2) Each backlight B
The L lead wire LD is soldered to the inverter circuit board IPCB. Thus, one unit is configured by the backlight BL, the backlight support member BLS, and the inverter circuit board IPCB (see FIGS. 23 and 37). In this state, a lighting test of the backlight BL can be performed. In the past, the backlight and the inverter circuit board were each fixed to the backlight storage case, and then the lead wires of the backlight were soldered to the inverter circuit board, so the space for soldering was very narrow, Although the workability was poor, in this module, before the backlight BL and the inverter circuit board IPCB were fixed to the lower case LCA, reading of the backlight BL with the backlight BL supported by the backlight support body BLS was performed. Since the line LD can be soldered to the inverter circuit board IPCB, workability is good. Further, when a defective component occurs, it is easy to replace the component. When the light-on test is completed, as shown in FIG. 37, the inverter circuit board IPCB is fixed to the lower case LCA using a fastener such as a nylon rivet.
HL, and the backlight support BLS is screwed with four through holes SHL and screw holes LVH by screws (not shown).
(Refer to FIG. 36 and FIG. 34).

【0081】また、従来は、冷陰極管を6本とインバー
タ回路基板2個を用い、(それぞれ2個のトランスを有
する)インバータ回路基板1個当たり冷陰極管3本ずつ
を点燈させる構成で、2個のインバータ回路基板がバッ
クライト収納ケース内のバックライトの上下両側(図3
7で言えば下側ケースLCAの上面図の左右)に配置さ
れていたため、バックライト部全体の寸法が大きくな
り、また、熱源である2個のインバータ回路基板が上下
両側に配置されるため、放熱性の点で問題があった。し
かし、本装置では、インバータ回路基板IPCBが1個
だけなので、バックライト部全体の寸法を小さくできる
と共に、放熱性も良い。また、本装置では、インバータ
回路基板IPCBは、装置の上部側(図37では、上面
図の左側に示す)に配置されているので、放熱性が良
い。
Conventionally, six cold cathode tubes and two inverter circuit boards are used, and three cold cathode tubes are turned on per inverter circuit board (each having two transformers). The two inverter circuit boards are located on the upper and lower sides of the backlight in the backlight storage case (Fig. 3).
7, the size of the entire backlight portion is increased because the lower case LCA is disposed on the left and right sides of the top view, and two inverter circuit boards, which are heat sources, are disposed on the upper and lower sides. There was a problem in heat dissipation. However, in this device, since only one inverter circuit board IPCB is used, the size of the entire backlight unit can be reduced, and heat radiation is good. Further, in the present device, since the inverter circuit board IPCB is disposed on the upper side of the device (in FIG. 37, shown on the left side of the top view), heat radiation is good.

【0082】[0082]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
部品点数を少なくでき、構造を簡略化でき、製造コスト
を低減できる。従って、液晶表示モジュールの耐振動衝
撃性、耐熱衝撃性を向上でき、信頼性を向上できる。
As described above, according to the present invention,
The number of parts can be reduced, the structure can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced. Therefore, the vibration shock resistance and the heat shock resistance of the liquid crystal display module can be improved, and the reliability can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明を適用したアクティブ・マトリックス
方式のカラー液晶表示装置の液晶表示部の一画素とその
周辺を示す要部平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a principal part showing one pixel of a liquid crystal display unit and its periphery in an active matrix type color liquid crystal display device to which the present invention is applied.

【図2】図1の2−2切断線における1画素とその周辺
を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing one pixel and a periphery thereof taken along a cutting line 2-2 in FIG. 1;

【図3】図1の3−3切断線における付加容量Caddの
断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of the additional capacitance Cadd taken along section line 3-3 in FIG. 1;

【図4】図1に示す画素を複数配置した液晶表示部の要
部平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a main part of a liquid crystal display unit in which a plurality of pixels shown in FIG. 1 are arranged.

【図5】図1に示す画素の層g2,ASのみを描いた平
面図である。
FIG. 5 is a plan view illustrating only layers g2 and AS of the pixel illustrated in FIG. 1;

【図6】図1に示す画素の層d1,d2,d3のみを描
いた平面図である。
FIG. 6 is a plan view illustrating only layers d1, d2, and d3 of the pixel shown in FIG.

【図7】図1に示す画素の画素電極層、遮光膜およびカ
ラーフィルタ層のみを描いた平面図である。
FIG. 7 is a plan view illustrating only a pixel electrode layer, a light shielding film, and a color filter layer of the pixel illustrated in FIG.

【図8】図6に示す画素配列の画素電極層、遮光膜およ
びカラーフィルタ層のみを描いた要部平面図である。
FIG. 8 is a plan view of a main part, in which only a pixel electrode layer, a light shielding film, and a color filter layer of the pixel array shown in FIG. 6 are drawn.

【図9】ゲート端子GTMとゲート配線GLの接続部近
辺を示す平面と断面の図である。
FIG. 9 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between a gate terminal GTM and a gate wiring GL.

【図10】ドレイン端子DTMと映像信号線DLとの接
続部付近を示す平面と断面の図である。
FIG. 10 is a plan view and a sectional view showing the vicinity of a connection portion between a drain terminal DTM and a video signal line DL.

【図11】アクティブ・マトリックス方式のカラー液晶
表示装置の液晶表示部を示す等価回路図である。
FIG. 11 is an equivalent circuit diagram showing a liquid crystal display section of an active matrix type color liquid crystal display device.

【図12】図1に示す画素の等価回路図である。FIG. 12 is an equivalent circuit diagram of the pixel shown in FIG.

【図13】基板SUB1側の工程A〜Cの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 13 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of processes A to C on the substrate SUB1 side.

【図14】基板SUB1側の工程D〜Fの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 14 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing manufacturing processes of processes D to F on the substrate SUB1 side.

【図15】基板SUB1側の工程G〜Iの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 15 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of processes GI on the substrate SUB1 side.

【図16】表示パネルのマトリクス周辺部の構成を説明
するための平面図である。
FIG. 16 is a plan view for describing a configuration of a matrix peripheral portion of a display panel.

【図17】図16の周辺部をやや誇張し更に具体的に説
明するためのパネル平面図である。
FIG. 17 is a panel plan view for explaining in more detail the peripheral portion of FIG. 16 in a slightly exaggerated manner.

【図18】上下基板の電気的接続部を含む表示パネルの
角部の拡大平面図である。
FIG. 18 is an enlarged plan view of a corner portion of the display panel including an electrical connection portion between the upper and lower substrates.

【図19】マトリクスの画素部を中央に、両側にパネル
角付近と映像信号端子部付近を示す断面図である。
FIG. 19 is a cross-sectional view showing the vicinity of a panel corner and the vicinity of a video signal terminal on both sides with the pixel portion of the matrix at the center.

【図20】左側に走査信号端子、右側に外部接続端子の
無いパネル縁部分を示す断面図である。
FIG. 20 is a cross-sectional view showing a scanning signal terminal on the left side and a panel edge portion without an external connection terminal on the right side.

【図21】駆動回路を構成する集積回路チップCHIが
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図である。
FIG. 21 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP in which an integrated circuit chip CHI constituting a drive circuit is mounted on a flexible wiring board.

【図22】テープキャリアパッケージTCPを液晶表示
パネルPNLの映像信号回路用端子DTMに接続した状
態を示す要部断面図である。
FIG. 22 is a fragmentary cross-sectional view showing a state where the tape carrier package TCP is connected to a video signal circuit terminal DTM of the liquid crystal display panel PNL.

【図23】液晶表示モジュールの分解斜視図である。FIG. 23 is an exploded perspective view of the liquid crystal display module.

【図24】液晶表示モジュールのシールドケースの上面
図、前側面図、後側面図、右側面図、左側面図である。
FIG. 24 is a top view, a front side view, a rear side view, a right side view, and a left side view of the shield case of the liquid crystal display module.

【図25】シールドケースの上面側から見た斜視図であ
る。
FIG. 25 is a perspective view of the shield case as seen from the top side.

【図26】液晶表示パネルに周辺の駆動回路を実装した
状態を示す上面図である。
FIG. 26 is a top view showing a state where peripheral driving circuits are mounted on a liquid crystal display panel.

【図27】中間フレームの上面図、前側面図、後側面
図、右側面図、左側面図である。
FIG. 27 is a top view, a front side view, a rear side view, a right side view, and a left side view of the intermediate frame.

【図28】中間フレームの下面図である。FIG. 28 is a bottom view of the intermediate frame.

【図29】中間フレームの上面側から見た斜視図であ
る。
FIG. 29 is a perspective view of the intermediate frame as viewed from above.

【図30】中間フレームに搭載される駆動回路基板の下
面図である。
FIG. 30 is a bottom view of the drive circuit board mounted on the intermediate frame.

【図31】液晶表示部の駆動回路基板(上面が見える)
と中間フレームの駆動回路基板(下面が見える)との接
続状態を示す上面図である。
FIG. 31 shows a drive circuit board of the liquid crystal display unit (the upper surface is visible).
FIG. 4 is a top view showing a connection state between the driving circuit board of the intermediate frame (a lower surface is visible).

【図32】バックライト支持体の上面図、後側面図、右
側面図、左側面図である。
FIG. 32 is a top view, a rear side view, a right side view, and a left side view of the backlight support.

【図33】バックライト支持体の上面側から見た斜視図
である。
FIG. 33 is a perspective view of the backlight support as viewed from above.

【図34】下側ケースの上面図(反射側)、後側面図、
右側面図、左側面図である。
FIG. 34 is a top view (reflection side), a rear side view, and the like of the lower case.
It is a right side view and a left side view.

【図35】下側ケースの下面図である。FIG. 35 is a bottom view of the lower case.

【図36】下側ケースの上面側から見た斜視図である。FIG. 36 is a perspective view of the lower case viewed from the upper surface side.

【図37】下側ケースにバックライト支持体、バックラ
イト、インバータ回路基板を搭載した状態を示す上面
図、後側面図、右側面図、左側面図である。
FIG. 37 is a top view, a rear side view, a right side view, and a left side view showing a state where a backlight support, a backlight, and an inverter circuit board are mounted on a lower case.

【図38】下側ケースの断面図(図34の38−38切
断線における断面図)である。
38 is a cross-sectional view of the lower case (a cross-sectional view taken along line 38-38 in FIG. 34).

【図39】図37の39−39切断線における断面図で
ある。
FIG. 39 is a sectional view taken along section line 39-39 in FIG. 37;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SUB…透明ガラス基板、GL…走査信号線、DL…映
像信号線 GI…絶縁膜、GT…ゲート電極、AS…i型半導体層 SD…ソース電極またはドレイン電極、PSV…保護
膜、BM…遮光膜 LC…液晶、TFT…薄膜トランジスタ、ITO…透明
画素電極 g、d…導電膜、Cadd…保持容量素子、AOF…陽極
酸化膜 AO…陽極酸化マスク、GTM…ゲート端子、DTM…
ドレイン端子 SHD…シールドケース、PNL…液晶表示パネル、S
PB…光拡散板、MFR…中間フレーム、BL…バック
ライト、BLS…バックライト支持体、LCA…下側ケ
ース、RM…バックライト光反射山。
SUB: transparent glass substrate, GL: scanning signal line, DL: video signal line GI: insulating film, GT: gate electrode, AS: i-type semiconductor layer SD: source or drain electrode, PSV: protective film, BM: light shielding film LC: liquid crystal, TFT: thin film transistor, ITO: transparent pixel electrode g, d: conductive film, Cadd: storage capacitor element, AOF: anodized film AO: anodized mask, GTM: gate terminal, DTM ...
Drain terminal SHD: Shield case, PNL: Liquid crystal display panel, S
PB: light diffusion plate, MFR: intermediate frame, BL: backlight, BLS: backlight support, LCA: lower case, RM: backlight light reflection mountain.

フロントページの続き (72)発明者 大和田 淳一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所茂原工場内 (72)発明者 小林 晃 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所茂原工場内 (72)発明者 藤田 優 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所茂原工場内 (72)発明者 仲本 浩 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所茂原工場内 (72)発明者 小野 隆 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 磯野 勤 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内Continuing from the front page (72) Inventor Junichi Owada 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref., Hitachi, Ltd. Mobara Plant, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Akira Kobayashi 3300, Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref., Hitachi, Ltd. Author Yu Fujita 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref. In Hitachi, Ltd.Mobara Factory (72) Inventor Hiroshi Nakamoto 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref. In Mobara factory, Hitachi (72) Inventor Takashi Ono, Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref. 3681 Hitachi Device Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Tsutomu Isono 3681 Hayano Mobara City, Chiba Prefecture Hitachi Device Engineering Co., Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】液晶表示パネルと、 その上側に上記液晶表示パネルが実装され且つその下側
にバックライト部が実装されるフレーム部材と、 フラットケーブルを通して上記液晶表示パネルに電気的
に接続され且つ該液晶表示パネルの隣接する2辺に沿い
該液晶表示パネルの端部に重なるようにして上記フレー
ム部材に嵌められた回路基板とを有し、 上記回路基板には外部装置に接続されるコネクタと電源
回路とが実装されていることを特徴とする液晶表示装
置。
A liquid crystal display panel, a frame member on which the liquid crystal display panel is mounted on the upper side, and a backlight portion mounted on the lower side thereof; and a flat cable electrically connected to the liquid crystal display panel; A circuit board fitted to the frame member so as to overlap an end of the liquid crystal display panel along two adjacent sides of the liquid crystal display panel; and a connector connected to an external device on the circuit board. A liquid crystal display device having a power supply circuit mounted thereon.
【請求項2】液晶表示パネルと、 上記液晶表示パネルの上側に配置され且つ表示窓及び固
定用爪が形成された金属フレームと、 その上側に上記液晶表示パネルが実装され且つその下側
にバックライト部が実装され、且つ上記固定用爪が挿入
される穴を有する樹脂フレーム部材と、 フラットケーブルを通して上記液晶表示パネルに電気的
に接続されかつ該液晶表示パネルの隣接する2辺に沿い
該液晶表示パネルの端部に重なるようにして上記フレー
ム部材に嵌められた回路基板とを有し、 上記回路基板には外部装置に接続されるコネクタと電源
回路とが実装されていることを特徴とする液晶表示装
置。
2. A liquid crystal display panel, a metal frame disposed above the liquid crystal display panel and having a display window and a fixing claw formed thereon, and the liquid crystal display panel mounted above the liquid crystal display panel and a backside disposed below the liquid crystal display panel. A resin frame member having a hole in which a light portion is mounted and into which the fixing claw is inserted; and a liquid crystal which is electrically connected to the liquid crystal display panel through a flat cable and extends along two adjacent sides of the liquid crystal display panel. A circuit board fitted to the frame member so as to overlap an end of the display panel, wherein a connector and a power supply circuit connected to an external device are mounted on the circuit board. Liquid crystal display.
【請求項3】上記回路基板に接続されるフラットケーブ
ルは180°曲げられていることを特徴とする請求項1
または2記載の液晶表示装置。
3. The flat cable connected to the circuit board is bent by 180 °.
Or the liquid crystal display device according to 2.
【請求項4】その周縁部に駆動回路基板が設けられた液
晶表示パネルと、 その上側に上記液晶表示パネルが実装され且つその下側
にバックライト部が実装されたフレーム部材と、 上記駆動回路基板に接続され、且つ上記液晶表示パネル
の隣接する2辺に沿って該液晶表示パネルの端部に重な
るように上記フレーム部材に嵌められた回路基板とを有
し、 上記回路基板には外部装置に接続されるコネクタと電源
回路とが実装されていることを特徴とする液晶表示装
置。
4. A liquid crystal display panel having a driving circuit board provided on a peripheral portion thereof, a frame member having the liquid crystal display panel mounted thereon and a backlight portion mounted below the liquid crystal display panel; A circuit board connected to the substrate and fitted to the frame member so as to overlap an end of the liquid crystal display panel along two adjacent sides of the liquid crystal display panel; A liquid crystal display device comprising a connector and a power supply circuit connected to the liquid crystal display.
【請求項5】上記フレーム部材は固定用穴を備えた樹脂
フレーム部材であり、表示窓を有する金属フレームが該
金属フレームに形成された固定用爪を折り曲げてこれを
上記固定用穴に挿入することにより上記液晶表示パネル
の上側に固定されていることを特徴とする請求項4記載
の液晶表示装置。
5. The frame member is a resin frame member having a fixing hole, and a metal frame having a display window bends a fixing claw formed on the metal frame and inserts the same into the fixing hole. 5. The liquid crystal display device according to claim 4, wherein the liquid crystal display device is fixed above the liquid crystal display panel.
【請求項6】上記駆動回路基板は、フレキシブル・プリ
ンティド・サーキットであることを特徴とする請求項4
または5記載の液晶表示装置。
6. The drive circuit board according to claim 4, wherein said drive circuit board is a flexible printed circuit.
Or the liquid crystal display device according to 5.
【請求項7】上記液晶表示パネルの隣接する2辺に夫々
沿う上記回路基板の部分は、L字形であることを特徴と
する請求項1、2、及び請求項4乃至6のいずれかに記
載の液晶表示装置。
7. The liquid crystal display panel according to claim 1, wherein portions of the circuit board along two adjacent sides of the liquid crystal display panel are L-shaped. Liquid crystal display device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006113589A (en) * 2004-10-12 2006-04-27 Samsung Electronics Co Ltd Display device
US7170504B2 (en) * 2002-09-27 2007-01-30 Sanyo Electric Co., Ltd. Display apparatus where voltage supply region and control circuit therein are stacked

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