JP2001252603A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001252603A5 JP2001252603A5 JP2000065453A JP2000065453A JP2001252603A5 JP 2001252603 A5 JP2001252603 A5 JP 2001252603A5 JP 2000065453 A JP2000065453 A JP 2000065453A JP 2000065453 A JP2000065453 A JP 2000065453A JP 2001252603 A5 JP2001252603 A5 JP 2001252603A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000065453A JP4645926B2 (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 塗布ヘッドの清浄方法および清浄装置並びにこれらを用いたカラーフィルタの製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000065453A JP4645926B2 (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 塗布ヘッドの清浄方法および清浄装置並びにこれらを用いたカラーフィルタの製造方法および製造装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001252603A JP2001252603A (ja) | 2001-09-18 |
| JP2001252603A5 true JP2001252603A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2007-04-26 |
| JP4645926B2 JP4645926B2 (ja) | 2011-03-09 |
Family
ID=18584979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000065453A Expired - Lifetime JP4645926B2 (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 塗布ヘッドの清浄方法および清浄装置並びにこれらを用いたカラーフィルタの製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4645926B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100615170B1 (ko) * | 2002-06-22 | 2006-08-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 코팅다이의 세정장치 |
| JP4247890B2 (ja) * | 2003-08-12 | 2009-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布ノズル及び塗布装置 |
| JP4808147B2 (ja) | 2006-12-15 | 2011-11-02 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ダイの清掃装置 |
| CN108580185B (zh) * | 2018-05-15 | 2019-11-19 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 一种用于点胶筒针头的余胶清理机构 |
| CN114765926B (zh) * | 2021-01-14 | 2024-07-30 | 重庆方正高密电子有限公司 | Pcb板清洁设备 |
| CN120696022B (zh) * | 2025-08-25 | 2025-10-31 | 江苏天龙车辆部件有限公司 | 一种汽车零部件喷涂设备 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0780386A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-28 | Hirata Corp | 塗布ヘッドのクリーニング方法及び塗布ヘッドクリーニング装置 |
| JPH0780385A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-28 | Hirata Corp | 塗布ヘッド洗浄装置及び塗布ヘッドの洗浄方法 |
| JP3306838B2 (ja) * | 1993-12-14 | 2002-07-24 | 東レ株式会社 | カーテンフローコータの口金の清掃方法およびカラーフィルタ用塗膜の製造方法 |
| JPH07289973A (ja) * | 1994-04-21 | 1995-11-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
| JPH07328516A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液塗布装置 |
| JP3757992B2 (ja) * | 1996-01-18 | 2006-03-22 | 東レ株式会社 | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置 |
| JPH10216598A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-18 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置 |
| JP3679904B2 (ja) * | 1997-08-29 | 2005-08-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置 |
| JP4371337B2 (ja) * | 2000-01-27 | 2009-11-25 | 大日本印刷株式会社 | 塗布ノズルの洗浄装置 |
-
2000
- 2000-03-09 JP JP2000065453A patent/JP4645926B2/ja not_active Expired - Lifetime