JP2001249278A - 集光光学系、その使用方法および集光光学素子 - Google Patents

集光光学系、その使用方法および集光光学素子

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JP2001249278A
JP2001249278A JP2000065689A JP2000065689A JP2001249278A JP 2001249278 A JP2001249278 A JP 2001249278A JP 2000065689 A JP2000065689 A JP 2000065689A JP 2000065689 A JP2000065689 A JP 2000065689A JP 2001249278 A JP2001249278 A JP 2001249278A
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polarized light
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Akira Sato
彰 佐藤
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Minolta Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光を高いNAでかつ損失なく集光させること
が可能な集光光学系を提供する。 【解決手段】 一方が凸面で他方が平面の第1の表面と
第2の表面を有する透明基材の第1の表面に、開口を有
する反射膜を設け、第2の表面に、コレステリック液晶
膜を設ける。1つの使用方法では、円偏光の発散光を反
射膜の開口より入射させ、コレステリック液晶膜と反射
膜で順次反射して、コレステリック液晶膜を透過させ
て、平行光として出射させる。他の使用方法では、円偏
光の平行光をコレステリック液晶膜を透過させて入射さ
せ、反射膜とコレステリック液晶膜で順次反射して、反
射膜の開口より収束光として出射させる。コレステリッ
ク液晶膜に代えて、1/4波長膜と直線偏光選択反射膜
を備える構成もある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は集光光学系に関し、
特に、光記録装置のピックアップユニットのように微細
な径の光束を必要とする用途に適する集光光学系に関す
る。
【0002】
【従来の技術】光ディスク等の光記録媒体に光によって
情報を記録する光記録装置では、記録密度を高めるため
に、信号の書き込みや読み出しに用いる光束の径を微小
にする必要があり、光記録装置のピックアップユニット
には、光源からの光束を収束させて照射対象である記録
媒体上に微小径のスポットを形成させる集光光学系が備
えられている。近年では、光の回折限界程度の超解像を
利用する光記録装置も開発されており、光束径を小さく
するだけでなく、光束の収束位置までの距離がきわめて
短い、すなわち開口数(NA)の大きい集光光学系が求
められるようになってきた。
【0003】このような用途に使用されている集光光学
系を図7〜図9に示す。これらの図において、矢印は光
の入射方向を表す。図7の光学系は2つの凸レンズ9
1、92より成り、集光を2段階で行うことによりNA
を大きくすることを実現している。
【0004】図8の光学系は凸面93aと平面93bを
有する透明基材93より成る単一の素子で構成されてい
る。凸面93aの中央部は凹面93cとされており、こ
の凹面93cを除く凸面93aの全体には反射膜が設け
られている。また、平面93bにも、中央部93dを除
き、反射膜が設けられている。反射膜のない中央部93
dは小さく設定されている。光源からの光は凹面93c
より与えられ、屈折により広がりながら素子の内部に入
る。この光は平面93bで反射され、凸面93aでさら
に反射される。凸面93aで反射された光は平面93b
の中央部93dに収束し、ここから素子の外に出る。こ
の素子は固浸ミラー(SIM:solid immersion mirro
r)となり、NAが大きい。
【0005】図9の光学系も凸面94aと平面94bを
有する透明基材94より成る単一の素子で構成されてい
る。凸面94aには、中央部94cを除いて、反射膜が
設けられており、平面94bの中央部94dにも反射膜
が設けられている。光源からの光は平面94bより与え
られる。平面94bを透過して素子の内部に入った光
は、凸面94aで反射されて、平面94bの中央部94
dに向かい、中央部94dでさらに反射される。平面9
4bの中央部94dで反射された光は、凸面94aの中
央部94cに収束し、ここから素子の外に出る。この素
子もSIMとなり、NAが大きい。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図7の光学
系は、2つのレンズ91、92で構成されているため、
大きい上に重い。したがって、ピックアップユニットの
大型化を招き、また、高速での駆動を困難にする。しか
も、2つのレンズ91、92の光軸を一致させるための
調整が難しく、そのために時間を要して、製造効率が悪
い。
【0007】図8や図9に示した光学系ではこれらの不
都合はほとんど解消されている。しかしながら、図8の
光学系では、入射光のうち凹面93cの中心付近を透過
したものは、屈折角が小さいため、平面93bの中央部
93d近傍で反射された後、凸面93aではなく凹面9
3cに向かい、凹面93cを透過して素子の外に出る。
このため、与えられた光の一部が失われる。図9の光学
系でも、光源からの光を平面94bの中央部94dが遮
るため、光の一部が失われることになる。また、いずれ
の光学系においても、斜線で示した部位を通って平面9
3bの中央部93dや凸面94aの中央部94cに集ま
る光がないため、照射対象上に形成されるスポットの強
度が不均一になって、集光性能の低下を招く。
【0008】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたもので、光を高いNAでかつ損失なく集光させるこ
とが可能な集光光学系、およびそのような集光光学系と
して機能する簡素な構成の集光光学素子を提供すること
を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、第1の面と第2の面を有し、第1の面
と第2の面の少なくとも一方の集光パワーによって第1
の面と第2の面を透過する光を集光する集光光学系にお
いて、第1の面を光を透過させる開口部を有する反射面
とし、第2の面を回転方向の異なる2つの円偏光の一方
を透過させるとともに、他方を反射してその回転方向を
保つ反射面とする。なお、円偏光の回転方向について
は、光の進行方向に向かって、右回り、左回りと定義す
る。
【0010】この集光光学系は、入射光として円偏光を
与えられて、入射光を第1の面と第2の面で反射するこ
とにより集光して、最終的に透過光として射出するもの
である。第1の面の開口部を入射面、第2の面を出射面
とすることもできるし、第2の面を入射面、第1の面の
開口部を出射面とすることもできる。第1の面は通常の
反射面であり、円偏光をその回転方向にかかわらず反射
して、反射後の円偏光の回転方向を反転させる。第2の
面は回転方向に応じて円偏光を透過させまたは反射し、
反射後の円偏光の回転方向を反転させない。
【0011】第1の面の開口部を入射面とするときは、
第2の面によって反射される円偏光を入射光として用い
る。この円偏光は、第2の面で反射された後、第1の面
で反射されることによって第2の面を透過する円偏光と
なり、第2の面から出射する。第2の面を入射面とする
ときは、第2の面を透過する円偏光を入射光として用い
る。この円偏光は、第2の面を透過した後、第1の面で
反射されることにより第2の面で反射される円偏光とな
り、第2の面で反射されて第1の面の開口部から出射す
る。いずれの場合も、円偏光の回転方向は入射時と出射
時とで逆になる。
【0012】この集光光学系は、第1の面または第2の
面の曲率次第で集光パワーを自由に設定することが可能
であり、容易にNAを高くすることができる。SIMと
することも可能である。しかも、入射面で光を失うこと
がなく、与えられる光のほとんど全てを利用することが
できる。
【0013】本発明ではまた、第1の面と第2の面を有
し、第1の面と第2の面の少なくとも一方の集光パワー
によって第1の面と第2の面を透過する光を集光する集
光光学系において、第1の面を光を透過させる開口部を
有する反射面とし、第2の面を偏光面の直交する2つの
直線偏光の一方を透過させ、他方を反射する反射面とし
て、さらに、直線偏光を円偏光に変換し、円偏光を直線
偏光に変換する変換手段を第1の面と第2の面の間に備
える。
【0014】この集光光学系は、入射光として円偏光ま
たは直線偏光を与えられて、入射光を第1の面と第2の
面で反射することにより集光して、透過光として射出す
るものである。第1の面の開口部を入射面、第2の面を
出射面とすることもできるし、第2の面を入射面、第1
の面の開口部を出射面とすることもできる。第1の面は
通常の反射面であり、円偏光をその回転方向にかかわら
ず反射して、反射後の円偏光の回転方向を反転させる。
第2の面は直線偏光をその偏光面の方向に応じて透過さ
せまたは反射する。変換手段は円偏光と直線偏光を相互
に変換する。
【0015】第1の面の開口部を入射面とするときは、
変換手段を透過することにより第2の面で反射される直
線偏光となる円偏光を入射光として用いる。この円偏光
は、変換手段を透過して直線偏光となり、第2の面で反
射された後、変換手段を再度透過して入射時の円偏光に
戻り、第1の面で反射される。第1の面で反射された円
偏光は、回転方向が反転し、もう一度変換手段を透過す
ることにより、第2の面を透過する直線偏光となって、
第2の面から出射する。
【0016】第2の面を入射面とするときは、第2の面
を透過する直線偏光を入射光として用いる。この直線偏
光は、第2の面を透過した後、変換手段を透過すること
によって円偏光となる。この円偏光は、第1の面で反射
されて回転方向を反転され、変換手段を再度透過して第
2の面で反射される直線偏光となる。第2の面で反射さ
れた直線偏光は、変換手段をもう一度透過することによ
り円偏光となり、第1の面の開口部から出射する。
【0017】この集光光学系も、第1の面または第2の
面の曲率の設定次第で容易にNAを高くすることがで
き、SIMとすることも可能である。また、入射面で光
を失うことがなく、与えられる光のほとんど全てを利用
することができる。
【0018】本発明では、これらの集光光学系を次の2
通りの方法で使用する。第1の方法は、偏光を第1の面
の開口部から入射させて、第2の面と第1の面で順に反
射させ、第2の面から出射させるものである。入射させ
る偏光としては、上述のように、第2の面で反射される
円偏光または第2の面で反射される直線偏光となる円偏
光を用いる。この方法では、微小な部位からの発散光を
平行光または平行光に近い光束とすることができる。し
たがって、この方法で使用すれば、集光光学系は光記録
媒体からの光の検出に適するものとなる。
【0019】第2の方法は、偏光を第2の面から入射さ
せて、第1の面と第2の面で順に反射させ、第1の面の
開口部から出射させるものである。入射させる偏光とし
ては、前述のように、第2の面を透過する円偏光または
直線偏光を用いる。この使用方法では、平行光または平
行光に近い光束を収束光として、照射対象面に微小径の
スポットを形成することが可能である。したがって、こ
の方法で使用すれば、集光光学系は光記録媒体への光の
照射に適するものとなる。
【0020】上記目的を達成するために、本発明ではま
た、光を透過させて集光する集光光学素子において、第
1の表面と第2の表面を有し、第1の表面と第2の表面
の少なくとも一方が凸面である透明基材と、透明基材の
第1の表面に設けられ、光を透過させる開口部を有する
反射膜と、透明基材の第2の表面に設けられたコレステ
リック液晶膜とを備えるものとする。
【0021】この集光光学素子は、最初に説明した集光
光学系を簡素な構成の単一の素子として実現したもので
ある。透明基材の表面のうち、反射膜が設けられた第1
の表面が前述の第1の面に相当し、コレステリック液晶
膜が設けられた第2の表面が前述の第2の面に相当す
る。コレステリック液晶膜は、そのキラリティに応じ
て、回転方向が異なる2つの円偏光の一方を透過させ他
方を反射するが、反射した円偏光の回転方向を保つこと
ができる。
【0022】本発明ではさらに、光を透過させて集光す
る集光光学素子において、第1の表面と第2の表面を有
し、第1の表面と第2の表面の少なくとも一方が凸面で
ある透明基材と、透明基材の第1の表面に設けられ、光
を透過させる開口部を有する反射膜と、透明基材の第2
の表面に設けられ、偏光面が直交する2つの直線偏光の
一方を透過させ他方を反射する直線偏光選択反射膜と、
透明基材の第1の表面と反射膜との間または透明基材の
第2の表面と直線偏光選択反射膜との間に設けられた1
/4波長膜とを備えるものとする。
【0023】この集光光学素子は、2番目に説明した集
光光学系を簡素な構成の単一の素子として実現したもの
である。透明基材の表面のうち、反射膜が設けられた第
1の表面が前述の第1の面に相当し、直線偏光選択反射
膜が設けられた第2の表面が前述の第2の面に相当す
る。また、1/4波長膜が円偏光と直線偏光を相互に変
換する変換手段に相当する。1/4波長膜は、第1の表
面と第2の表面のどちらに設けてもよいが、一方のみ
に、かつ透明基材の表面と反射膜または直線偏光選択反
射膜との間に設ける。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、本発明の集光光学系の実施
形態について図面を参照しながら説明する。図1に、本
発明の集光光学系を単一の素子として実現した第1の実
施形態の集光光学素子1の構成と、その集光作用を模式
的に示す。集光光学素子1は、凸面である第1の表面1
1と平面である第2の表面12を有するBK7ガラス製
の透明基材10より成る。
【0025】第1の表面11は回転放物面であり、その
中心を回転軸が通る。第1の表面11には、中央の小さ
な円形の領域を除き、全体にアルミニウム製の反射膜5
1が設けられている。したがって、第1の表面11は、
光を透過させる開口52を中央に有する反射面として機
能する。
【0026】第2の表面12は第1の表面11の回転軸
に対して垂直である。第2の表面12には、全体にコレ
ステリック液晶膜53が設けられている。一般に、コレ
ステリック液晶は、そのキラリティに応じて、回転方向
が逆の2つの円偏光の一方を透過させ、他方を反射する
特性を有している。またコレステリック液晶は、例えば
反射膜51のように反射後の円偏光の回転方向を反転さ
せる通常の反射膜と異なり、反射後の円偏光の回転方向
を反射前と同じに保つ特性も有している。したがって、
第2の表面12は、1方向に回転する円偏光のみを反射
してその回転方向を保つ反射面として機能する。
【0027】第2の表面12は、放物面である第1の表
面11の頂点とその焦点との略中間に位置しており、第
2の表面12で折り返した第1の表面11の焦点は、頂
点から僅かに離れた第1の表面11の外側の点P上に位
置する。
【0028】集光光学素子1は次の2つの方法で使用す
ることができる。第1の方法では、矢印Aで示したよう
に反射膜51の開口52を通して第1の表面11から光
を入射させて、第2の表面12から出射させる。第2の
方法では、矢印Bで示したように第2の表面12から光
を入射させて、第1の表面11から反射膜51の開口5
2を通して出射させる。いずれの方法においても1方向
に回転する円偏光を入射光として用いるが、第1の方法
ではコレステリック液晶膜53で反射される回転方向の
円偏光を、第2の方法ではコレステリック液晶膜53を
透過する回転方向の円偏光を用いる。
【0029】第1の方法で集光光学素子1を使用する場
合、入射光を点Pまたはその近傍からの発散光とするこ
とにより、集光後の光を平行光または平行光に近い光束
とすることができる。第1の使用方法における点Pから
の発散光に対する集光光学素子1の集光作用について説
明する。
【0030】入射光である円偏光は、反射膜51の開口
52から第1の表面11を透過して透明基材10の内部
に入り、発散しながら第2の表面12に向かう。第2の
表面12に達した円偏光は、コレステリック液晶膜53
によって反射され、回転方向を維持したまま、入射時と
同じ度合いで発散しながら第1の表面11に向かう。こ
の円偏光は、第1の表面11の焦点からの発散光と等価
なものとなる。
【0031】第1の表面11に達した円偏光は、反射膜
51によって反射され、回転方向が反転してコレステリ
ック液晶膜53を透過する円偏光となり、また、平行光
となる。この円偏光は、第2の表面12に達してこれを
透過し、さらにコレステリック液晶膜53を透過して、
集光光学素子1から出射する。
【0032】第2の方法で集光光学素子1を使用する場
合、入射光を平行光または平行光に近い光束とすること
により、集光後の光を点Pまたはその近傍に収束させる
ことができる。第2の使用方法における平行光に対する
集光光学素子1の集光作用について説明する。
【0033】入射光である円偏光は、コレステリック液
晶膜53および第2の表面12を透過して透明基材10
の内部に入り、平行光のまま第1の表面11に向かう。
第1の表面11に達した円偏光は、反射膜51によって
反射され、回転方向が反転してコレステリック液晶膜5
3で反射される円偏光となる。また、反射膜51によっ
て反射された後の円偏光は、第1の表面11の焦点に収
束する収束光となる。
【0034】この円偏光は第2の表面12に達し、コレ
ステリック液晶膜53で反射されて、回転方向を維持し
たまま、反射膜51の開口52に向かう。第1の表面1
1に達した円偏光は、これを透過して集光光学素子1か
ら出射し、開口52を通って点Pに収束する。
【0035】なお、厳密にはコレステリック液晶膜53
は透明基材10側の面と空気側の面との間で円偏光を反
射するが、コレステリック液晶膜53は薄く形成されて
おり、その厚さは透明基材10の厚さと比べ無視し得る
ほど小さいため、事実上、円偏光は透明基材の第2の表
面12で反射されるといえる。
【0036】第2の実施形態である集光光学素子2の構
成と、その集光作用を図2に模式的に示す。集光光学素
子2は、凸面である第1の表面21と平面である第2の
表面22を有するBK7ガラス製の透明基材20より成
る。
【0037】第1の表面21は回転放物面であり、その
中心を回転軸が通る。第1の表面21には、中央に小さ
な円形の開口52を有するアルミニウム製の反射膜51
が設けられている。第2の表面22は第1の表面21の
回転軸に対して垂直である。また、第2の表面22で折
り返した第1の表面21の焦点は、頂点から僅かに離れ
た第1の表面21の外側の点P上に位置する。これらの
構成は第1の実施形態の集光光学素子1と同様である。
【0038】第2の表面22の全体には1/4波長膜5
4が設けられている。また、1/4波長膜54の表面全
体には、偏光面が直交する2つの直線偏光のうち一方を
透過させ他方を反射する特性を有する直線偏光選択反射
膜55が設けられている。集光光学素子2はこの点で集
光光学素子1とは異なる構成となっている。
【0039】1/4波長膜54および直線偏光選択反射
膜55はそれぞれ高分子樹脂で形成されている。1/4
波長膜54は、一般の1/4波長板と同様に、特定方向
の偏光成分の位相を1/4波長分だけずらすことによ
り、円偏光を直線偏光に変換し、直線偏光を円偏光に変
換する。また、直線偏光選択反射膜55は、例えば反射
膜51のような通常の反射膜と同様に、反射後の直線偏
光の偏光面に変化をもたらさない。直線偏光選択反射膜
55は、1/4波長膜54が位相をずらす方向に対して
45゜傾いた偏光面の直線偏光を反射するように設定さ
れている。
【0040】集光光学素子2も、矢印Aで示したように
反射膜51の開口52を通して第1の表面21から光を
入射させて、第2の表面22から出射させる第1の方法
と、矢印Bで示したように第2の表面22から光を入射
させて、第1の表面21から反射膜51の開口52を通
して出射させる第2の方法で使用することができる。第
1の方法で使用するときは、入射光として、1/4波長
膜54を透過することにより選択反射膜55で反射され
る直線偏光となる円偏光を用いる。第2の方法で使用す
るときは、入射光として、選択反射膜55を透過する偏
光面の直線偏光を用いる。
【0041】第1の方法で集光光学素子2を使用する場
合、入射光を点Pまたはその近傍からの発散光とするこ
とにより、集光後の光を平行光または平行光に近い光束
とすることができる。第1の使用方法における点Pから
の発散光に対する集光光学素子2の集光作用について説
明する。
【0042】入射光である円偏光は、反射膜51の開口
52から第1の表面21を透過して透明基材20の内部
に入り、発散しながら第2の表面22に向かう。第2の
表面22に達した円偏光は、第2の表面22を透過し、
さらに1/4波長膜54を透過して直線偏光となる。こ
の直線偏光は選択反射膜55によって反射される。選択
反射膜55により反射された直線偏光は、1/4波長膜
54と第2の表面22を再度透過して入射時と同じ度合
いで発散しながら第1の表面21に向かうが、この間に
1/4波長膜54を透過することにより、入射時と同じ
回転方向の円偏光に戻る。
【0043】第1の表面21に達した円偏光は、反射膜
51によって反射されて、回転方向が反転した円偏光と
なり、また、平行光となる。この円偏光は第2の表面2
2に達し、これを透過して、さらに1/4波長膜54も
透過する。1/4波長膜54を透過することにより円偏
光は再び直線偏光になるが、その偏光面は最初に1/4
波長膜54を透過して直線偏光になったときの偏光面に
対して垂直になる。この直線偏光は、選択反射面55を
透過して、集光光学素子2から出射する。
【0044】第2の方法で集光光学素子2を使用する場
合、入射光を平行光または平行光に近い光束とすること
により、集光後の光を点Pまたはその近傍に収束させる
ことができる。第2の使用方法における平行光に対する
集光光学素子2の集光作用について説明する。
【0045】入射光である直線偏光は、選択反射面55
を透過し、さらに1/4波長膜54を透過して円偏光と
なる。この円偏光は第2の表面12を透過して透明基材
20の内部に入り、平行光のまま第1の表面21に向か
う。第1の表面21に達した円偏光は、反射膜51によ
って反射されて、回転方向が反転するとともに、第1の
表面21の焦点に収束する収束光となる。
【0046】この円偏光は第2の表面22に達し、これ
を透過して、さらに1/4波長膜54を透過する。1/
4波長膜54を透過することにより円偏光は直線偏光と
なるが、その偏光面は入射時の偏光面に対して垂直にな
る。この直線偏光は、選択反射面55で反射されて、1
/4波長膜54および第2の表面22をもう一度透過
し、反射膜51の開口52に向かう。その間、1/4波
長膜54を透過することにより、直線偏光は円偏光とな
る。第1の表面21に達した円偏光は、これを透過して
集光光学素子2から出射し、開口52を通って点Pに収
束する。
【0047】なお、厳密には選択反射膜55は1/4波
長膜54側の面と空気側の面との間で直線偏光を反射す
るが、選択反射膜55は薄く形成されているため、事実
上、直線偏光は1/4波長膜54と選択反射膜55の界
面で反射されるといえる。
【0048】第3の実施形態である集光光学素子3の構
成と、その集光作用を図3に模式的に示す。この集光光
学素子3は、第1の実施形態の集光光学素子1の透明基
材10に代えて、形状の異なるBK7ガラス製の透明基
材30を備えたものである。透明基材30は平面である
第1の表面31と凸面である第2の表面32を有してお
り、アルミニウム製の反射膜51は第1の表面31に、
コレステリック液晶膜53は第2の表面32に設けられ
ている。
【0049】第1の実施形態の集光光学素子1において
は、第1の表面11が凸面であって、この面が集光パワ
ーを有していたが、本実施形態の集光光学素子3では、
第2の表面32が集光パワーを有する。集光パワーを有
する面が相違するだけで、集光光学素子3の集光の原理
は集光光学素子1と同様である。したがって、矢印Aで
示すように、反射膜51の開口52を通して光を第1の
表面31から入射させる第1の方法と、矢印Bで示すよ
うに、第2の表面32から光を入射させる第2の方法を
使用することが可能である。入射光として用いる円偏光
は前述のとおりである。
【0050】第1の方法で使用すれば、第2の表面32
の回転軸上に位置し第1の表面31から僅かに離れた外
側の点Qからの発散光を、平行光または平行光に近い光
束とすることができる。第2の方法で使用すれば、平行
光または平行光に近い光束を、点Qに収束させることが
できる。
【0051】ただし、透明基材30の第2の表面32
は、反射による集光パワーに加えて、透過する光に対す
る屈折による集光パワーも有する。したがって、集光光
学素子3では、凸面である第2の表面32は、単なる回
転放物面ではなく、屈折による集光パワーを考慮した回
転非球面とされている。
【0052】第4の実施形態である集光光学素子4の構
成と、その集光作用を図4に模式的に示す。この集光光
学素子4は、第2の実施形態の集光光学素子2の透明基
材20に代えて、形状の異なるBK7ガラス製の透明基
材40を備えたものである。透明基材40は平面である
第1の表面41と凸面である第2の表面42を有してお
り、1/4波長膜54は第1の表面41に、直線偏光選
択反射膜55は第2の表面42に設けられている。ま
た、開口52を有するアルミニウム製の反射膜51は1
/4波長膜54の表面に設けられている。
【0053】本実施形態の集光光学素子4でも、集光パ
ワーを有する面が相違するだけで、集光の原理は集光光
学素子2と同様である。したがって、矢印Aで示すよう
に、反射膜51の開口52を通して光を第1の表面41
から入射させる第1の方法と、矢印Bで示すように、第
2の表面42から光を入射させる第2の方法を使用する
ことが可能である。入射光としては、前述のように、第
1の使用方法では1/4波長膜54によって選択反射膜
55で反射される直線偏光となる円偏光を、第2の使用
方法では選択反射膜55を透過する直線偏光を用いる。
【0054】透明基材40の第2の表面42は、第3の
実施形態の集光光学素子3と同様に、反射による集光パ
ワーに屈折による集光パワーが加わることを考慮して、
単なる回転放物面ではない回転非球面とされている。第
1の方法で使用すれば、第1の表面41から僅かに離れ
た点Qからの発散光を平行光または平行光に近い光束と
することができ、第2の方法で使用すれば平行光または
平行光に近い光束を点Qに収束させることができる。
【0055】上記の各実施形態の集光光学素子1〜4で
は、点Pや点Qの位置を第1の表面から小距離だけ離れ
た外側に設定することにより、高いNAでの集光を可能
としている。点P、Qの位置は、第1の表面や第2の表
面の曲率すなわち集光パワーおよび第1の表面と第2の
表面の距離の設定次第で任意に設定することが可能であ
り、点P、Qの位置を第1の表面上に設定すると各集光
光学素子はSIMとなる。また、これらの集光光学素子
1〜4では、図8、9に示した従来の集光光学素子とは
異なり、一旦入射した光が入射面側から出射したり、入
射前に光が遮られたりすることがないため、与えられる
光のほとんど全てを利用することができる。
【0056】なお、各実施形態では、透明基材の第1の
表面および第2の表面の一方のみに集光パワーをもたせ
たが、第1の表面と第2の表面の双方を凸面とし、これ
ら2つの面に集光パワーをもたせるようにしてもよい。
また、透明基材の対向する2つの面を第1の表面および
第2の表面としたが、必ずしも第1の表面と第2の表面
が対向する構成とする必要はない。例えば、平面である
第2の表面を凸面である第1の表面の光軸と平行に設定
し、第1の表面の光軸と45゜の角度で交差する反射面
を追加して、第1の表面と第2の表面との間で光路を9
0゜折り曲げる構成とすることができる。
【0057】また、1/4波長膜54と直線偏光選択反
射膜55を用いる第2の実施形態および第4の実施形態
では、透明基材の第1の表面と第2の表面のうち平面で
あるものに1/4波長膜を設けるようにしたが、凸面の
表面に1/4波長膜を設けるようにしてもよい。1/4
波長膜は、反射膜と直線偏光選択反射膜の間であれば、
どこに配置してもかまわない。
【0058】さらに、ここでは、本発明の集光光学系を
単一の素子で実現した例を示したが、別個な2つの部材
の表面を第1の表面および第2の表面としてもよい。そ
の場合、1/4波長膜と直線偏光選択反射膜を用いる構
成では、1/4波長膜を第1の表面と第2の表面の間の
任意の位置に配設することができる。
【0059】本発明の集光光学系の適用例である第5の
実施形態の光記録装置について説明する。本実施形態の
光記録装置5の要部の構成を図5に示す。光記録装置5
は、相変化記録層を有する光ディスクDへの信号の書き
込み(記録)と光ディスクDからの信号の読み出し(再
生)を行うものであり、第1のピックアップユニット6
0、第2のピックアップユニット70、および光ディス
クDを回転させるスピンドルモータ75を有する。
【0060】第1のピックアップユニット60は、光源
61、コリメートレンズ62、偏光分離(PBS)プリ
ズム63、1/4波長板64、反射ミラー65、対物レ
ンズ66、アクチュエータ67、集光レンズ68、およ
び受光素子69を備えており、記録と再生に兼用され
る。光源61はレーザーダイオードであり、偏光面が一
定の直線偏光を射出する。コリメートレンズ62は光源
61からの光を平行光として、PBSプリズム63に導
く。コリメートレンズ62の光軸は光ディスクDに平行
である。
【0061】PBSプリズム63は2つの直角プリズム
を接合して成り、接合面にPBS膜63aを有する。P
BS膜63aは、P偏光として入射する直線偏光を透過
させ、S偏光として入射する直線偏光を反射するもので
あり、コリメートレンズ62の光軸に対して45゜傾け
て配置されている。光源61は、射出する直線偏光がP
BS膜63aに対してP偏光となるように設定されてい
る。
【0062】1/4波長板64は、直線偏光を円偏光に
変換し、円偏光を直線偏光に変換する。反射ミラー65
はコリメートレンズ62の光軸に対して45゜傾けて配
置されており、コリメートレンズ62の光軸を折り曲げ
て光ディスクDに対して垂直にする。反射ミラー65は
ユニット60を小型にするために備えられたものであ
り、ユニット60の本質的な機能には関与しない。
【0063】対物レンズ66は、光軸が光ディスクDに
対して垂直になるように配置されており、反射ミラー6
5によって折り曲げられたコリメートレンズ62の光軸
は対物レンズ66の光軸に一致する。対物レンズ66は
アクチュエータ67に保持されており、アクチュエータ
67によって光軸方向に駆動される。これにより、対物
レンズ66から光ディスクDの記録層までの距離の調
節、すなわち記録層に対する対物レンズ66の焦点調節
を行うことができる。なお、ユニット60全体は、不図
示のアクチュエータによって光ディスクDの半径方向に
駆動されるように構成されており、光ディスクDの任意
のトラックの上に対物レンズ66の光軸を位置させるこ
とができる。
【0064】集光レンズ68は、その光軸がPBS膜6
3aにより折り曲げられたコリメートレンズ62の光軸
と一致するように配置されており、PBS膜63aから
の平行光を収束光として受光素子69に導く。受光素子
69は受けた光を電気信号に変換して、増幅器等を含む
不図示の信号処理回路に出力する。
【0065】光源61からの光は、コリメートレンズ6
2によって平行光とされてPBS膜63aに入射し、P
偏光であるからPBS膜63aを透過する。PBS膜6
3aを透過した光は、1/4波長板64を透過すること
により直線偏光から円偏光となり、反射ミラー65によ
って反射されて、対物レンズ66に導かれる。円偏光で
あるこの平行光は対物レンズ66によって収束光として
光ディスクDに照射され、光ディスクDの相変化記録層
に微小径のスポットを形成する。これにより、第1のピ
ックアップユニット60は光ディスクDへの信号の記録
を行うことができる。
【0066】光ディスクDの相変化記録層に微小径のス
ポットを形成した光は、反射されて光路を逆に辿り、P
BS膜63aに達する。光ディスクDによって反射され
た円偏光は回転方向が逆の円偏光となっており、1/4
波長板64を透過することにより、PBS膜63aに対
してS偏光の直線偏光となる。この直線偏光はPBS膜
63aで反射され、集光レンズ68によって受光素子6
9に導かれる。これにより、第1のピックアップユニッ
ト60は光ディスクDからの信号の再生を行うことがで
きる。
【0067】相変化記録層を有する光ディスクDとし
て、超解像を利用したものを使用することも可能であ
る。超解像を利用する光ディスクは、一般に、相変化記
録層への光の入射側にマスク層を有する。このマスク層
は、光を受けると、そのエネルギーにより、受けた光の
中央部のみを透過させるように作用し、マスク層がない
場合に微細径の光が形成するスポットよりも、さらに小
さな径のスポットを形成することができる。したがっ
て、第1のピックアップユニット60は、このままの構
成で、超解像を利用した光ディスクDに信号を記録する
ことができる。
【0068】しかしながら、超解像を利用した光ディス
クからの反射光はS/N比が小さいため、対物レンズ6
6から受光素子69までの構成では、再生を正確に行う
ことは困難である。本実施形態の光記録装置5では、超
解像を利用した光ディスクからの信号の再生も可能にす
るために、第2のピックアップユニット70を備えてい
る。
【0069】第2のピックアップユニット70は、光デ
ィスクDに関して第1のピックアップユニット60と反
対側に配置されており、光ディスクDを透過した光を検
出する。ユニット70は再生専用であり、集光光学素子
71、集光レンズ72、および受光素子73を備える。
集光光学素子71と集光レンズ72は、互いの光軸が一
致しかつ光ディスクDに対して垂直になるように配置さ
れている。また、ユニット70は、不図示のアクチュエ
ータによって、光ディスクDの半径方向に駆動される。
ユニット70の駆動はユニット60の駆動と同期をとっ
て同じ量だけ行われ、集光光学素子71と集光レンズ7
2の光軸は対物レンズ66の光軸と常に一致する。
【0070】第2のピックアップユニット70に備える
集光光学素子71は、本発明の集光光学系を適用したも
のであり、具体的には、前述の第1〜第4の実施形態の
集光光学素子1〜4のいずれかである。集光光学素子7
1は第1の方法、すなわち反射膜51の開口52を通し
て光を入射させる方法で使用する。図5においては、代
表例として、集光光学素子1を備えた構成を示している
が、集光光学素子71として集光光学素子2〜4を備え
る構成でも使用方法は同じである。
【0071】集光光学素子71は、前述の点Pあるいは
点Qが光ディスクDの記録層近傍に位置するように、光
ディスクDに近接して配置されている。また、集光光学
素子71のコレステリック液晶膜53または直線偏光選
択反射膜55は、光ディスクDを透過して入射した光を
反射するように、ユニット60から照射される円偏光の
回転方向を考慮して設定されている。
【0072】ユニット60の対物レンズ66から収束光
として照射された円偏光は、光ディスクDの相変化記録
層を透過して、集光光学素子71に入射し、平行光また
は平行光に近い光束となって集光光学素子71から出射
する。この光は集光レンズ72によって収束光とされ
て、受光素子73に導かれる。受光素子73は受けた光
を電気信号に変換して、増幅回路を含む不図示の信号処
理回路に出力する。これにより、第2のピックアップユ
ニット70は光ディスクDからの信号の再生を行うこと
ができる。
【0073】集光光学素子71はNAが高く、また光デ
ィスクDに近接して配置されているため、光ディスクD
の記録層を透過した光の大部分を受けて集光させること
が可能である。超解像を利用した光ディスクDの相変化
記録層の透過側にはマスク層は設けられておらず、透過
光のS/N比は比較的高い。したがって、透過光を検出
する第2のピックアップユニット70を備える光記録装
置5は、超解像を利用した光ディスクDの再生に好適で
ある。
【0074】なお、集光光学素子71は記録層を透過し
た光の大部分を受けることが可能であればよく、点P、
Qが厳密に記録層上に位置する必要はない。このため、
集光光学素子71には焦点調節用のアクチュエータは備
えられていない。
【0075】本発明の集光光学系の別の適用例である第
6の実施形態の露光装置について説明する。本実施形態
の露光装置6の要部の構成を図6に示す。露光装置6
は、ディスクの原盤Gの表面にトラッキング用のサーボ
パターンを描くためのものであり、光源ユニット80お
よびディスクの原盤Gを回転させるスピンドルモータ8
8を有する。原盤Gはガラス製であり、表面にレジスト
剤が塗布されている。
【0076】光源ユニット80は、光源81、コリメー
トレンズ82、1/4波長板84、反射ミラー85、集
光光学素子86、およびアクチュエータ87を備えてい
る。光源81はレーザーダイオードであり、短波長で偏
光面が一定の直線偏光を射出する。光源81の発光は、
原盤Gの回転に同期して制御される。コリメートレンズ
82から反射ミラー85までの構成は、第5の実施形態
の光記録装置5のコリメートレンズ62から反射ミラー
65までの構成からPBSプリズム63を除いたものと
同様であり、重複する説明は省略する。
【0077】集光光学素子86は、光軸が原盤Gに対し
て垂直になるように配置されており、反射ミラー85に
よって折り曲げられたコリメートレンズ82の光軸は集
光光学素子86の光軸に一致する。集光光学素子86は
アクチュエータ87に保持されており、アクチュエータ
87によって光軸方向に駆動される。これにより、原盤
Gに対する集光光学素子86の焦点調節を行うことがで
きる。
【0078】図示しないが、光源ユニット80には、光
の干渉を利用して集光光学素子86から原盤Gの表面ま
での距離を検出し、アクチュエータ87を制御して集光
光学素子86から原盤Gの表面までの距離を常時一定に
保つ距離制御装置が備えられている。なお、光源ユニッ
ト60全体は、不図示のステージに搭載されており、原
盤Gの半径方向に精密に駆動される。これにより、正確
にサーボパターンを描くことができる。
【0079】集光光学素子86は、本発明の集光光学系
を適用したものであり、具体的には、前述の第1〜第4
の実施形態の集光光学素子1〜4のいずれかである。集
光光学素子86は第2の方法、すなわち第2の表面から
光を入射させる方法で使用する。図6においては、代表
例として、集光光学素子1を備えた構成を示している
が、集光光学素子86として集光光学素子2〜4を備え
る構成でも使用方法は同じである。
【0080】コレステリック液晶膜53を設けた集光光
学素子1、3を集光光学素子86として備えるときは、
1/4波長板84を透過することにより円偏光になった
光源81からの光を透過させるように、コレステリック
液晶膜53を設定する。1/4波長膜54と直線偏光選
択反射膜55を設けた集光光学素子2、4を集光光学素
子86として備えるときは、1/4波長板64を省略す
るとともに、光源81からの直線偏光を透過させるよう
に、直線偏光選択反射膜55を設定する。
【0081】集光光学素子86は、前述の点Pあるいは
点Qが原盤Gの表面に位置するように、原盤Gに近接し
て配置されている。集光光学素子86は高いNAを有す
るから、高いエネルギーの光を微小なスポットとして原
盤Gの表面に照射させることが可能であり、また、小型
軽量であるため、アクチュエータ87による駆動すなわ
ち焦点調節を迅速に行うことができる。したがって、露
光装置6は、能率よくディスクの原盤Gにサーボパター
ンを描くことができる。
【0082】なお、第5の実施形態の光記録装置5や第
6の実施形態の露光装置6では、光源81としてレーザ
ーダイオードを使用して偏光面の揃った直線偏光を射出
するようにしているが、無偏光を発する他の種類の光源
を使用することも可能である。その場合、無偏光を直線
偏光とする手段を備える。ただし、単に不要な偏光成分
を除去する偏光板のような手段ではなく、無偏光を全て
一定の直線偏光に変換する手段を備えるのが、光の利用
効率の観点から好ましい。
【0083】
【発明の効果】本発明の集光光学系は、高いNAで集光
を行うことが可能である上、与えられる光をほとんど全
て利用することができる。しかも、第1の面または第2
の面を平面とすることで、これら2つの面の光軸を一致
させる調整を不要とすることができて、製造効率も高く
なる。
【0084】また、本発明の集光光学系の使用方法は、
平行光または平行光に近い光束を収束光としたり、発散
光を平行光または平行光に近い光束としたりすることが
できるから、微小径のスポットを形成する用途や、微小
部位からの光を検出する用途に適する。これにより、本
発明の集光光学系を光記録装置のピックアップユニット
に適用して、記録媒体への光の照射と記録媒体からの光
の検出の双方に、利用することができるようになる。
【0085】上記の特長を有する集光光学系を単一の素
子として実現した本発明の集光光学素子は、きわめて簡
素な構成であり、小型化および軽量化が容易である。し
たがって、高速での移動が必要とされる光記録装置のピ
ックアップユニットに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施形態の集光光学素子の構成と集光
作用を模式的に示す図。
【図2】 第2の実施形態の集光光学素子の構成と集光
作用を模式的に示す図。
【図3】 第3の実施形態の集光光学素子の構成と集光
作用を模式的に示す図。
【図4】 第4の実施形態の集光光学素子の構成と集光
作用を模式的に示す図。
【図5】 第5の実施形態の光記録装置の要部の構成を
示す図。
【図6】 第6の実施形態の露光装置の要部の構成を示
す図。
【図7】 従来の集光光学系の構成を示す図。
【図8】 従来の別の集光光学系の構成と集光作用を示
す図。
【図9】 従来のさらに別の集光光学系の構成と集光作
用を示す図。
【符号の説明】
1、2、3、4 集光光学素子 10、20、30、40 透明基材 11、21、31、41 第1の表面 12、22、32、42 第2の表面 51 反射膜 52 開口 53 コレステリック液晶膜 54 1/4波長膜 55 直線偏光選択反射膜 5 光記録装置 60 第1のピックアップユニット 61 光源 62 コリメートレンズ 63 PBSプリズム 63a PBS膜 64 1/4波長板 65 反射ミラー 66 対物レンズ 67 アクチュエータ 68 集光レンズ 69 受光素子 70 第2のピックアップユニット 71 集光光学素子 72 集光レンズ 73 受光素子 6 露光装置 80 光源ユニット 81 光源 82 コリメートレンズ 84 1/4波長板 85 反射ミラー 86 集光光学素子 87 アクチュエータ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の面と第2の面を有し、第1の面と
    第2の面の少なくとも一方の集光パワーによって第1の
    面と第2の面を透過する光を集光する集光光学系におい
    て、 第1の面が光を透過させる開口部を有する反射面であ
    り、 第2の面が回転方向の異なる2つの円偏光の一方を透過
    させるとともに、他方を反射してその回転方向を保つ反
    射面であることを特徴とする集光光学系。
  2. 【請求項2】 第1の面と第2の面を有し、第1の面と
    第2の面の少なくとも一方の集光パワーによって第1の
    面と第2の面を透過する光を集光する集光光学系におい
    て、 第1の面が光を透過させる開口部を有する反射面であ
    り、 第2の面が偏光面の直交する2つの直線偏光の一方を透
    過させ、他方を反射する反射面であって、 直線偏光を円偏光に変換し、円偏光を直線偏光に変換す
    る変換手段を第1の面と第2の面の間に備えることを特
    徴とする集光光学系。
  3. 【請求項3】 偏光を第1の面の開口部から入射させ
    て、第2の面と第1の面で順に反射させ、第2の面から
    出射させることを特徴とする請求項1または請求項2に
    記載の集光光学系の使用方法。
  4. 【請求項4】 偏光を第2の面から入射させて、第1の
    面と第2の面で順に反射させ、第1の面の開口部から出
    射させることを特徴とする請求項1または請求項2に記
    載の集光光学系の使用方法。
  5. 【請求項5】 光を透過させて集光する集光光学素子に
    おいて、 第1の表面と第2の表面を有し、第1の表面と第2の表
    面の少なくとも一方が凸面である透明基材と、 透明基材の第1の表面に設けられ、光を透過させる開口
    部を有する反射膜と、 透明基材の第2の表面に設けられたコレステリック液晶
    膜と を備えることを特徴とする集光光学素子。
  6. 【請求項6】 光を透過させて集光する集光光学素子に
    おいて、 第1の表面と第2の表面を有し、第1の表面と第2の表
    面の少なくとも一方が凸面である透明基材と、 透明基材の第1の表面に設けられ、光を透過させる開口
    部を有する反射膜と、 透明基材の第2の表面に設けられ、偏光面が直交する2
    つの直線偏光の一方を透過させ他方を反射する直線偏光
    選択反射膜と、 透明基材の第1の表面と反射膜との間または透明基材の
    第2の表面と直線偏光選択反射膜との間に設けられた1
    /4波長膜とを備えることを特徴とする集光光学素子。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005164652A (ja) * 2003-11-28 2005-06-23 Nikon Corp 対物レンズ
JP2008262660A (ja) * 2007-04-13 2008-10-30 Asahi Glass Co Ltd 光ヘッド装置
JP2018205745A (ja) * 2013-02-25 2018-12-27 株式会社ニコン 光学系、光学部材、マイクロミラーアレイ、表示装置および撮像装置

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