JP2001242326A - 導光装置 - Google Patents
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- JP2001242326A JP2001242326A JP2000054583A JP2000054583A JP2001242326A JP 2001242326 A JP2001242326 A JP 2001242326A JP 2000054583 A JP2000054583 A JP 2000054583A JP 2000054583 A JP2000054583 A JP 2000054583A JP 2001242326 A JP2001242326 A JP 2001242326A
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光の効率を低下させることなく照度分布が均
一の状態で任意の方向に照射できる導光装置を提供す
る。 【解決手段】 超高圧水銀ランプ１の光を楕円鏡７で反
射して集光し、ロッドレンズ10の一端の入射面11に入射
する。射面11に入射された光はロッドレンズ10内で側面
14で全反射を繰り返し、反射した光を混合してロッドレ
ンズ10の他端の出射面12で均一な照度分布となる。出射
面12が二次光源となり、均一な照度分布で光を出射す
る。ロッドレンズ10の出射面12から出射した均一な照度
分布の光を、導光ファイバ16のアダプタ側から入射し、
導光ファイバ16のファイバ体内を均一な照度分布で導光
する。導光ファイバ16を湾曲させることにより、照射体
17の照射する方向を任意の方向に向けられる。
一の状態で任意の方向に照射できる導光装置を提供す
る。 【解決手段】 超高圧水銀ランプ１の光を楕円鏡７で反
射して集光し、ロッドレンズ10の一端の入射面11に入射
する。射面11に入射された光はロッドレンズ10内で側面
14で全反射を繰り返し、反射した光を混合してロッドレ
ンズ10の他端の出射面12で均一な照度分布となる。出射
面12が二次光源となり、均一な照度分布で光を出射す
る。ロッドレンズ10の出射面12から出射した均一な照度
分布の光を、導光ファイバ16のアダプタ側から入射し、
導光ファイバ16のファイバ体内を均一な照度分布で導光
する。導光ファイバ16を湾曲させることにより、照射体
17の照射する方向を任意の方向に向けられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光源からの光を導
光して照射する導光装置に関する。
光して照射する導光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の導光装置としては、たと
えば特開平１１−１８６１６０号公報に記載の構成が知
られている。この特開平１１−１８６１６０号公報に記
載の導光装置は、光源に対して、反射形の柱状のロッド
レンズの一端の入射面を対向させ、このロッドレンズの
他端の出射面からロッドレンズ内で反射された光を照射
し、この照射された光をロッドレンズの出射面に対向さ
せた反射鏡で反射し、この反射鏡で反射された光を結像
レンズ系で結像している。
えば特開平１１−１８６１６０号公報に記載の構成が知
られている。この特開平１１−１８６１６０号公報に記
載の導光装置は、光源に対して、反射形の柱状のロッド
レンズの一端の入射面を対向させ、このロッドレンズの
他端の出射面からロッドレンズ内で反射された光を照射
し、この照射された光をロッドレンズの出射面に対向さ
せた反射鏡で反射し、この反射鏡で反射された光を結像
レンズ系で結像している。
【０００３】そして、このようにロッドレンズ内で反射
させることにより、ロッドレンズの入射面で集光光であ
った光を反射させて混合して出射面では照度分布を均一
にしている。さらに、この出射面を２次光源として反射
鏡で反射した後、結像レンズ系で結像して被照射面に照
射している。
させることにより、ロッドレンズの入射面で集光光であ
った光を反射させて混合して出射面では照度分布を均一
にしている。さらに、この出射面を２次光源として反射
鏡で反射した後、結像レンズ系で結像して被照射面に照
射している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平１１−１８６１６０号公報に記載の構成の場合、ロ
ッドレンズから照射された照射光を反射鏡で反射させた
りする光路を形成させる必要がある。
開平１１−１８６１６０号公報に記載の構成の場合、ロ
ッドレンズから照射された照射光を反射鏡で反射させた
りする光路を形成させる必要がある。
【０００５】また、結像レンズ系を用いているため、容
易に任意の方向に出射光を照射できない問題を有してい
る。
易に任意の方向に出射光を照射できない問題を有してい
る。
【０００６】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、特別な光路を形成させることなく照度分布が均一の
状態で任意の方向に照射できる導光装置を提供すること
を目的とする。
で、特別な光路を形成させることなく照度分布が均一の
状態で任意の方向に照射できる導光装置を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導光装置
は、入射面および出射面を有し光源から入射面に入射さ
れた光を反射して出射面に導光する柱状のロッドレンズ
と；このロッドレンズの出射面からの出射光を導光して
出射する複数のファイバ体で形成された導光ファイバと
を具備したもので、ロッドレンズの入射面から入射され
た光は反射された後に出射面から出射されるため、集光
光も分散されて出射面の照度分布が均一になり、ロッド
レンズの出射面からの均一な出射光を導光ファイバで導
光して任意の方向に出射光を照射可能である。
は、入射面および出射面を有し光源から入射面に入射さ
れた光を反射して出射面に導光する柱状のロッドレンズ
と；このロッドレンズの出射面からの出射光を導光して
出射する複数のファイバ体で形成された導光ファイバと
を具備したもので、ロッドレンズの入射面から入射され
た光は反射された後に出射面から出射されるため、集光
光も分散されて出射面の照度分布が均一になり、ロッド
レンズの出射面からの均一な出射光を導光ファイバで導
光して任意の方向に出射光を照射可能である。
【０００８】請求項２記載の導光装置は、請求項１記載
の導光装置において、ロッドレンズは、入射面から入射
される光の内中心の光が少なくとも一回反射する長さで
あるもので、ロッドレンズに入射面から入射される光の
内中心の光が少なくとも一回反射するので、集光光も確
実に分散され出射面の照度分布が均一になる。
の導光装置において、ロッドレンズは、入射面から入射
される光の内中心の光が少なくとも一回反射する長さで
あるもので、ロッドレンズに入射面から入射される光の
内中心の光が少なくとも一回反射するので、集光光も確
実に分散され出射面の照度分布が均一になる。
【０００９】請求項３記載の導光装置は、請求項１また
は２記載の導光装置において、ロッドレンズは、多角形
の柱状であるもので、入射された光はロッドレンズ内で
効率良く反射可能である。
は２記載の導光装置において、ロッドレンズは、多角形
の柱状であるもので、入射された光はロッドレンズ内で
効率良く反射可能である。
【００１０】請求項４記載の導光装置は、請求項３記載
の導光装置において、導光ファイバは、複数のファイバ
体の断面の外周は円形で、この円形はロッドレンズの多
角形の内接円であるもので、導光ファイバに入射される
光の照度分布を低下させることなく、ロッドレンズの出
射面からの出射光を効率良く導光ファイバに入射可能で
ある。
の導光装置において、導光ファイバは、複数のファイバ
体の断面の外周は円形で、この円形はロッドレンズの多
角形の内接円であるもので、導光ファイバに入射される
光の照度分布を低下させることなく、ロッドレンズの出
射面からの出射光を効率良く導光ファイバに入射可能で
ある。
【００１１】請求項５記載の導光装置は、請求項１ない
し４いずれか記載の導光装置において、ロッドレンズと
導光ファイバのファイバ体との間隔は、１ｍｍ以下であ
るもので、ロッドレンズと導光ファイバのファイバ体と
の間隔が短くロッドレンズの出射面からの光が導光ファ
イバのファイバ体以外の方向に分散したり、ロッドレン
ズと導光ファイバ間での光の減衰を抑制でき、ロッドレ
ンズの出射面からの光を効率良く利用可能である。
し４いずれか記載の導光装置において、ロッドレンズと
導光ファイバのファイバ体との間隔は、１ｍｍ以下であ
るもので、ロッドレンズと導光ファイバのファイバ体と
の間隔が短くロッドレンズの出射面からの光が導光ファ
イバのファイバ体以外の方向に分散したり、ロッドレン
ズと導光ファイバ間での光の減衰を抑制でき、ロッドレ
ンズの出射面からの光を効率良く利用可能である。
【００１２】請求項６記載の導光装置は、請求項１ない
し５いずれか記載の導光装置において、ロッドレンズ
は、入射面および出射面の少なくともいずれかが反射防
止されているもので、入射面および出射面の少なくとも
いずれかで反射防止することにより、入射および出射の
際の光の損失を防止し、ロッドレンズによる光の損失を
防止する。
し５いずれか記載の導光装置において、ロッドレンズ
は、入射面および出射面の少なくともいずれかが反射防
止されているもので、入射面および出射面の少なくとも
いずれかで反射防止することにより、入射および出射の
際の光の損失を防止し、ロッドレンズによる光の損失を
防止する。
【００１３】請求項７記載の導光装置は、請求項１ない
し６いずれか記載の導光装置において、ロッドレンズお
よび導光ファイバのファイバ体は、溶着されているもの
で、ロッドレンズおよび導光ファイバのファイバ体間で
ロッドレンズの出射面からの光が導光ファイバのファイ
バ体以外の方向に分散したり、ロッドレンズと導光ファ
イバ間での光の減衰を抑制でき、ロッドレンズの出射面
からの光を効率良く利用可能である。
し６いずれか記載の導光装置において、ロッドレンズお
よび導光ファイバのファイバ体は、溶着されているもの
で、ロッドレンズおよび導光ファイバのファイバ体間で
ロッドレンズの出射面からの光が導光ファイバのファイ
バ体以外の方向に分散したり、ロッドレンズと導光ファ
イバ間での光の減衰を抑制でき、ロッドレンズの出射面
からの光を効率良く利用可能である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の導光装置の一実施
の形態を図面に示す露光装置用の導光装置を参照して説
明する。なお、この露光装置は、半導体ウエハ、フォト
マスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板あるいは光
ディスク用基板などの基板を露光するものである。
の形態を図面に示す露光装置用の導光装置を参照して説
明する。なお、この露光装置は、半導体ウエハ、フォト
マスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板あるいは光
ディスク用基板などの基板を露光するものである。
【００１５】図１は導光装置を示す説明図で、この図１
に示す露光装置は、光源として直流点灯用の超高圧水銀
ランプ１を備え、この超高圧水銀ランプ１は前面に照射
開口２を有する中空箱状の筐体３を有している。そし
て、この筐体３の照射開口２には透光性を有する透光板
４が設けられ、筐体３内を気密にし、この筐体３内に
は、キセノンガスが封入され照射開口２に向けて前後方
向に電極５，６が設けられ、これら電極５，６間に放電
経路が形成されている。
に示す露光装置は、光源として直流点灯用の超高圧水銀
ランプ１を備え、この超高圧水銀ランプ１は前面に照射
開口２を有する中空箱状の筐体３を有している。そし
て、この筐体３の照射開口２には透光性を有する透光板
４が設けられ、筐体３内を気密にし、この筐体３内に
は、キセノンガスが封入され照射開口２に向けて前後方
向に電極５，６が設けられ、これら電極５，６間に放電
経路が形成されている。
【００１６】また、この放電経路に光学的に対向して楕
円鏡７が配設され、この楕円鏡７は照射開口２の方向に
向けて放電経路からの光を反射して集光にする。そし
て、この超高圧水銀ランプ１は、たとえば３６５ｎｍ、
４０５ｎｍ、４３６ｎｍなどの波長の紫外域の波長領域
に渡って発光でき、紫外線露光用の光源に適している。
円鏡７が配設され、この楕円鏡７は照射開口２の方向に
向けて放電経路からの光を反射して集光にする。そし
て、この超高圧水銀ランプ１は、たとえば３６５ｎｍ、
４０５ｎｍ、４３６ｎｍなどの波長の紫外域の波長領域
に渡って発光でき、紫外線露光用の光源に適している。
【００１７】なお、超高圧水銀ランプ１に代えて、キセ
ノンランプやメタルハライドランプなどの既存のランプ
を用いてもよい。また、本実施の形態においては、直流
点灯用の超高圧水銀ランプ１を用いているが、ちらつき
が発生しない程度の交流点灯用ランプを適用することも
できる。
ノンランプやメタルハライドランプなどの既存のランプ
を用いてもよい。また、本実施の形態においては、直流
点灯用の超高圧水銀ランプ１を用いているが、ちらつき
が発生しない程度の交流点灯用ランプを適用することも
できる。
【００１８】さらに、超高圧水銀ランプ１に代えてキセ
ノンフラッシュランプなどの点滅するランプを光源とし
て用いることもでき、この場合は、必要時のみ点灯する
ことにより露光でき、発光の立ち上がりの遅い光源を常
時点灯させて必要時のみ、その光を基板の露光面に結像
させるものに比べて、消費電力を抑制できる。また、光
源を点滅させることにより、寿命を長くでき、メンテナ
ンス効率も向上する。
ノンフラッシュランプなどの点滅するランプを光源とし
て用いることもでき、この場合は、必要時のみ点灯する
ことにより露光でき、発光の立ち上がりの遅い光源を常
時点灯させて必要時のみ、その光を基板の露光面に結像
させるものに比べて、消費電力を抑制できる。また、光
源を点滅させることにより、寿命を長くでき、メンテナ
ンス効率も向上する。
【００１９】この、超高圧水銀ランプ１の照射開口２に
対向して、石英製の反射形あるいは屈折形のロッドレン
ズ10が配設されている。このロッドレンズ10は多角形で
ある六角柱で、このロッドレンズ10の超高圧水銀ランプ
１側の一端には、超高圧水銀ランプ１からの照射光を入
射する入射面11が形成され、ロッドレンズ10の他端側に
は出射光を出射する出射面12が形成され、これら入射面
11および出射面12間の周面には６枚の側面14が形成され
ている。そして、これら入射面11および出射面12には反
射防止用のコーティングがなされており、入射および出
射の際の光損失を防止するとともに、入射面11、出射面
12および側面14が光学研磨されており、これら入射面1
1、出射面12および側面14では反射の際に散乱による光
損失が生じないようにしている。また、側面14は全て平
面であるため、ロッドレンズ10内に入射された光は効率
良く反射され、ロッドレンズ10内に入射された光はロッ
ドレンズ10の側面で反射されながら混合されて、出射面
12で照度が均一になるように形成されている。なお、ロ
ッドレンズ10は、超高圧水銀ランプ１の集光光の立体角
などに基づき、ロッドレンズ10の入射面11の中心に入射
した光が少なくとも必ず１回側面で反射する長さであ
り、入射面11に反射した光が側面14で少なくとも１回反
射することにより、出射面12での照度が均一になる。
対向して、石英製の反射形あるいは屈折形のロッドレン
ズ10が配設されている。このロッドレンズ10は多角形で
ある六角柱で、このロッドレンズ10の超高圧水銀ランプ
１側の一端には、超高圧水銀ランプ１からの照射光を入
射する入射面11が形成され、ロッドレンズ10の他端側に
は出射光を出射する出射面12が形成され、これら入射面
11および出射面12間の周面には６枚の側面14が形成され
ている。そして、これら入射面11および出射面12には反
射防止用のコーティングがなされており、入射および出
射の際の光損失を防止するとともに、入射面11、出射面
12および側面14が光学研磨されており、これら入射面1
1、出射面12および側面14では反射の際に散乱による光
損失が生じないようにしている。また、側面14は全て平
面であるため、ロッドレンズ10内に入射された光は効率
良く反射され、ロッドレンズ10内に入射された光はロッ
ドレンズ10の側面で反射されながら混合されて、出射面
12で照度が均一になるように形成されている。なお、ロ
ッドレンズ10は、超高圧水銀ランプ１の集光光の立体角
などに基づき、ロッドレンズ10の入射面11の中心に入射
した光が少なくとも必ず１回側面で反射する長さであ
り、入射面11に反射した光が側面14で少なくとも１回反
射することにより、出射面12での照度が均一になる。
【００２０】そして、ロッドレンズ10の出射面12に１ｍ
ｍ以下の間隔で対向して、一端にアダプタ15を有する可
撓性を有する導光ファイバ16が配設され、導光ファイバ
16の他端には導光ファイバ16から光を照射する照射体17
が取り付けられ、この照射体17により露光面などの被照
射面を照射する。さらに、照射体17から照射される照射
光は分散光であるため、露光などで結像が必要な場合に
は結像レンズ形を取り付ける。なお、この導光ファイバ
16は石英素線のファイバ体を束ねて形成されている。ま
た、導光ファイバ16のファイバ体の断面の外周はほぼ円
形で、ロッドレンズ10の六角形の内接円である。さら
に、ロッドレンズ10の出射面12と導光ファイバ16のファ
イバ体とは接着剤により接着してもよい。
ｍ以下の間隔で対向して、一端にアダプタ15を有する可
撓性を有する導光ファイバ16が配設され、導光ファイバ
16の他端には導光ファイバ16から光を照射する照射体17
が取り付けられ、この照射体17により露光面などの被照
射面を照射する。さらに、照射体17から照射される照射
光は分散光であるため、露光などで結像が必要な場合に
は結像レンズ形を取り付ける。なお、この導光ファイバ
16は石英素線のファイバ体を束ねて形成されている。ま
た、導光ファイバ16のファイバ体の断面の外周はほぼ円
形で、ロッドレンズ10の六角形の内接円である。さら
に、ロッドレンズ10の出射面12と導光ファイバ16のファ
イバ体とは接着剤により接着してもよい。
【００２１】次に、上記実施の形態の動作について説明
する。
する。
【００２２】まず、超高圧水銀ランプ１では電極５，６
間に発生した光が楕円鏡７で反射されて集光され、ロッ
ドレンズ10の一端の入射面11に入射される。そして、入
射面11に入射された光はロッドレンズ10内で側面14で全
反射を繰り返し、反射された光が混合されてロッドレン
ズ10の他端の出射面12で均一な照度分布となり、この出
射面12が二次光源となり、均一な照度分布で光を出射す
る。
間に発生した光が楕円鏡７で反射されて集光され、ロッ
ドレンズ10の一端の入射面11に入射される。そして、入
射面11に入射された光はロッドレンズ10内で側面14で全
反射を繰り返し、反射された光が混合されてロッドレン
ズ10の他端の出射面12で均一な照度分布となり、この出
射面12が二次光源となり、均一な照度分布で光を出射す
る。
【００２３】このロッドレンズ10の出射面12から出射さ
れた均一な照度分布の光は、導光ファイバ16のアダプタ
側から入射し、導光ファイバ16のファイバ体内を均一な
照度分布で導光され、照射体17から被照射体18に向けて
照射される。また、導光ファイバ16を湾曲させることに
より、照射体17の照射する方向を任意の方向に向けるこ
とができる。
れた均一な照度分布の光は、導光ファイバ16のアダプタ
側から入射し、導光ファイバ16のファイバ体内を均一な
照度分布で導光され、照射体17から被照射体18に向けて
照射される。また、導光ファイバ16を湾曲させることに
より、照射体17の照射する方向を任意の方向に向けるこ
とができる。
【００２４】さらに、超高圧水銀ランプ１から照射され
ロッドレンズ10の入射面11に入射される光のうち中心の
光でも少なくとも１回ロッドレンズ10の側面14で反射さ
れ、ロッドレンズ10内で全反射を繰り返すことにより、
図２のａに示すように出射面12では照度勾配がなだらか
になって照度分布が平坦になり、図２のｂに示す入射面
11のように照度のピークがなくなる。したがって、導光
ファイバ16へ入射される光量勾配が平坦化され、従来は
導光ファイバ16のファイバ体を入射側が外側であったも
のを出射側では内側に、入射側では内側であったものを
出射側では外側に、入射側で隣り合っていたものを出射
側では離れた位置にするように、ファイバ体を編みこん
でランダム編みさせて出射側の照度分布を均一にさせる
必要が無くなり、導光ファイバ16のファイバ体を単に平
行に束ねたのみのものでも十分に出射側の照度分布を均
一にできる。
ロッドレンズ10の入射面11に入射される光のうち中心の
光でも少なくとも１回ロッドレンズ10の側面14で反射さ
れ、ロッドレンズ10内で全反射を繰り返すことにより、
図２のａに示すように出射面12では照度勾配がなだらか
になって照度分布が平坦になり、図２のｂに示す入射面
11のように照度のピークがなくなる。したがって、導光
ファイバ16へ入射される光量勾配が平坦化され、従来は
導光ファイバ16のファイバ体を入射側が外側であったも
のを出射側では内側に、入射側では内側であったものを
出射側では外側に、入射側で隣り合っていたものを出射
側では離れた位置にするように、ファイバ体を編みこん
でランダム編みさせて出射側の照度分布を均一にさせる
必要が無くなり、導光ファイバ16のファイバ体を単に平
行に束ねたのみのものでも十分に出射側の照度分布を均
一にできる。
【００２５】また、照度分布の均一化に伴ない温度分布
も同様に均一化する。このため、従来は超高圧水銀ラン
プ１に消費電力７００Ｗのものを用いると、ロッドレン
ズ10の入射面11の集光する部分の温度が９００℃に上昇
していたが、ロッドレンズ10内で反射させて出射面12で
の照度分布を均一にすることにより、１／２以下の４０
０℃以下にピーク温度が低下する。このため、従来と同
じ耐熱で従来より消費電力の大きな超高圧水銀ランプ１
を使用できるので、装置を大型化することなく照射光を
明るくできる。
も同様に均一化する。このため、従来は超高圧水銀ラン
プ１に消費電力７００Ｗのものを用いると、ロッドレン
ズ10の入射面11の集光する部分の温度が９００℃に上昇
していたが、ロッドレンズ10内で反射させて出射面12で
の照度分布を均一にすることにより、１／２以下の４０
０℃以下にピーク温度が低下する。このため、従来と同
じ耐熱で従来より消費電力の大きな超高圧水銀ランプ１
を使用できるので、装置を大型化することなく照射光を
明るくできる。
【００２６】また、ロッドレンズ10の入射面11および出
射面12に反射防止コーティングをすることにより、入射
および出射の際の反射による光損失を抑制し、入射面1
1、出射面12および側面14を光学研磨することにより、
ロッドレンズ10内での反射の際に光の拡散による光損失
を抑制する。一方、側面14を平面にすることによりロッ
ドレンズ10内での反射を確実にする。
射面12に反射防止コーティングをすることにより、入射
および出射の際の反射による光損失を抑制し、入射面1
1、出射面12および側面14を光学研磨することにより、
ロッドレンズ10内での反射の際に光の拡散による光損失
を抑制する。一方、側面14を平面にすることによりロッ
ドレンズ10内での反射を確実にする。
【００２７】さらに、導光ファイバ16のファイバ体の断
面の外周がロッドレンズ10の出射面12の六角に内接する
円であるため、ロッドレンズ10の出射面12からの照度分
布の均一性を低下させることなく、効率良くロッドレン
ズ10の出射面12からの出射光を導光ファイバ16に伝達で
きるとともに、ロッドレンズ10の出射面12と導光ファイ
バ16のファイバ体との間隔を１ｍｍ以下にすることによ
り、ロッドレンズ10の出射面12から出射された光が導光
ファイバ16のファイバ体以外の部分に分散されることが
少なくロッドレンズ10の出射面12および導光ファイバ16
のファイバ体の間で減衰されることが少ないので光損失
が少なく光の効率が向上する。また、ロッドレンズの出
射面12と導光ファイバ16のファイバ体とを接着すること
によりより光損失を小さくできる。
面の外周がロッドレンズ10の出射面12の六角に内接する
円であるため、ロッドレンズ10の出射面12からの照度分
布の均一性を低下させることなく、効率良くロッドレン
ズ10の出射面12からの出射光を導光ファイバ16に伝達で
きるとともに、ロッドレンズ10の出射面12と導光ファイ
バ16のファイバ体との間隔を１ｍｍ以下にすることによ
り、ロッドレンズ10の出射面12から出射された光が導光
ファイバ16のファイバ体以外の部分に分散されることが
少なくロッドレンズ10の出射面12および導光ファイバ16
のファイバ体の間で減衰されることが少ないので光損失
が少なく光の効率が向上する。また、ロッドレンズの出
射面12と導光ファイバ16のファイバ体とを接着すること
によりより光損失を小さくできる。
【００２８】次に、他の実施の形態の導光装置を図３を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００２９】図３は他の実施の形態の導光装置で、この
図３に示す実施の形態の導光装置は、図１に示す実施の
形態の導光装置において、ロッドレンズ10の出射面12と
導光ファイバ16のファイバ体を溶着して溶着部21を形成
し、ロッドレンズ10から導光ファイバ16のアダプタまで
の部分を一体の筐体22で被覆したものである。
図３に示す実施の形態の導光装置は、図１に示す実施の
形態の導光装置において、ロッドレンズ10の出射面12と
導光ファイバ16のファイバ体を溶着して溶着部21を形成
し、ロッドレンズ10から導光ファイバ16のアダプタまで
の部分を一体の筐体22で被覆したものである。
【００３０】このように、ロッドレンズ10の出射面12と
導光ファイバ16のファイバ体を溶着して溶着部21を形成
することにより、ロッドレンズ10の出射面12と導光ファ
イバ16のファイバ体との間の光損失を図１に示す実施の
形態に比べてもより小さくでき、光の効率を向上でき
る。
導光ファイバ16のファイバ体を溶着して溶着部21を形成
することにより、ロッドレンズ10の出射面12と導光ファ
イバ16のファイバ体との間の光損失を図１に示す実施の
形態に比べてもより小さくでき、光の効率を向上でき
る。
【００３１】
【発明の効果】請求項１記載の導光装置によれば、ロッ
ドレンズの入射面から入射された光はロッドレンズ内で
反射された後に出射面から出射されるため、集光光も分
散されて出射面の照度分布が均一になり、導光ファイバ
で導光して任意の方向にロッドレンズの出射面からの均
一な出射光を照射できる。
ドレンズの入射面から入射された光はロッドレンズ内で
反射された後に出射面から出射されるため、集光光も分
散されて出射面の照度分布が均一になり、導光ファイバ
で導光して任意の方向にロッドレンズの出射面からの均
一な出射光を照射できる。
【００３２】請求項２記載の導光装置によれば、請求項
１記載の導光装置に加え、ロッドレンズに入射面から入
射される光の内中心の光が少なくとも一回反射するの
で、集光光も確実に分散され出射面の照度分布を均一に
できる。
１記載の導光装置に加え、ロッドレンズに入射面から入
射される光の内中心の光が少なくとも一回反射するの
で、集光光も確実に分散され出射面の照度分布を均一に
できる。
【００３３】請求項３記載の導光装置によれば、請求項
１または２記載の導光装置に加え、ロッドレンズは多角
形の柱状であるので、入射された光はロッドレンズ内で
効率良く反射可能できる。
１または２記載の導光装置に加え、ロッドレンズは多角
形の柱状であるので、入射された光はロッドレンズ内で
効率良く反射可能できる。
【００３４】請求項４記載の導光装置によれば、請求項
３記載の導光装置に加え、導光ファイバは複数のファイ
バ体の断面の外周は円形で、この円形はロッドレンズの
多角形の内接円であるので、導光ファイバに入射される
光の照度分布を低下させることなく、ロッドレンズの出
射面からの出射光を効率良く導光ファイバに入射可能で
きる。
３記載の導光装置に加え、導光ファイバは複数のファイ
バ体の断面の外周は円形で、この円形はロッドレンズの
多角形の内接円であるので、導光ファイバに入射される
光の照度分布を低下させることなく、ロッドレンズの出
射面からの出射光を効率良く導光ファイバに入射可能で
きる。
【００３５】請求項５記載の導光装置によれば、請求項
１ないし４いずれか記載の導光装置に加え、ロッドレン
ズと導光ファイバのファイバ体との間隔が１ｍｍ以下で
あるためロッドレンズの出射面からの光が導光ファイバ
のファイバ体以外の方向に分散したり、ロッドレンズと
導光ファイバ間での光の減衰を抑制でき、ロッドレンズ
の出射面からの光を効率良く利用可能できる。
１ないし４いずれか記載の導光装置に加え、ロッドレン
ズと導光ファイバのファイバ体との間隔が１ｍｍ以下で
あるためロッドレンズの出射面からの光が導光ファイバ
のファイバ体以外の方向に分散したり、ロッドレンズと
導光ファイバ間での光の減衰を抑制でき、ロッドレンズ
の出射面からの光を効率良く利用可能できる。
【００３６】請求項６記載の導光装置によれば、請求項
１ないし５いずれか記載の導光装置に加え、ロッドレン
ズは入射面および出射面の少なくともいずれかで反射防
止することにより、入射および出射の際の光の損失を防
止し、ロッドレンズによる光の損失を防止できる。
１ないし５いずれか記載の導光装置に加え、ロッドレン
ズは入射面および出射面の少なくともいずれかで反射防
止することにより、入射および出射の際の光の損失を防
止し、ロッドレンズによる光の損失を防止できる。
【００３７】請求項７記載の導光装置によれば、請求項
１ないし６いずれか記載の導光装置に加え、ロッドレン
ズおよび導光ファイバのファイバ体は溶着されているの
で、ロッドレンズおよび導光ファイバのファイバ体間で
ロッドレンズの出射面からの光が導光ファイバのファイ
バ体以外の方向に分散したり、ロッドレンズと導光ファ
イバ間での光の減衰を抑制でき、ロッドレンズの出射面
からの光を効率良く利用可能できる。
１ないし６いずれか記載の導光装置に加え、ロッドレン
ズおよび導光ファイバのファイバ体は溶着されているの
で、ロッドレンズおよび導光ファイバのファイバ体間で
ロッドレンズの出射面からの光が導光ファイバのファイ
バ体以外の方向に分散したり、ロッドレンズと導光ファ
イバ間での光の減衰を抑制でき、ロッドレンズの出射面
からの光を効率良く利用可能できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の導光装置の一実施の形態を示す説明図
である。
である。
【図２】同上ロッドレンズの入射面および出射面の位置
と照度との関係を示すグラフである。
と照度との関係を示すグラフである。
【図３】同上他の実施の形態の導光装置を示す説明図で
ある。
ある。
１ 光源としての超高圧水銀ランプ 10 ロッドレンズ 11 入射面 12 出射面 16 導光ファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H037 AA04 BA03 CA16 DA04 DA05 DA17 2H038 BA45 2H046 AA48 AA67 AD00 2H097 BA10 CA12 EA01 LA10 LA12 5F046 CA01 CA02 CB04 CB12 CB22 CB23 DA01 DA26
Claims (7)
- 【請求項１】 入射面および出射面を有し光源から入射
面に入射された光を反射して出射面に導光する柱状のロ
ッドレンズと；このロッドレンズの出射面からの出射光
を導光して出射する複数のファイバ体で形成された導光
ファイバと；を具備したことを特徴とする導光装置。 - 【請求項２】 ロッドレンズは、入射面から入射される
光の内中心の光が少なくとも一回反射する長さであるこ
とを特徴とする請求項１記載の導光装置。 - 【請求項３】 ロッドレンズは、多角形の柱状であるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の導光装置。 - 【請求項４】 導光ファイバは、複数のファイバ体の断
面の外周は円形で、この円形はロッドレンズの多角形の
内接円であることを特徴とする請求項３記載の導光装
置。 - 【請求項５】 ロッドレンズと導光ファイバのファイバ
体との間隔は、１ｍｍ以下であることを特徴とする請求
項１ないし４いずれか記載の導光装置。 - 【請求項６】 ロッドレンズは、入射面および出射面の
少なくともいずれかが反射防止されていることを特徴と
する請求項１ないし５いずれか記載の導光装置。 - 【請求項７】 ロッドレンズおよび導光ファイバのファ
イバ体は、溶着されていることを特徴とする請求項１な
いし６いずれか記載の導光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000054583A JP2001242326A (ja) | 2000-02-29 | 2000-02-29 | 導光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000054583A JP2001242326A (ja) | 2000-02-29 | 2000-02-29 | 導光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001242326A true JP2001242326A (ja) | 2001-09-07 |
Family
ID=18575818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000054583A Pending JP2001242326A (ja) | 2000-02-29 | 2000-02-29 | 導光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001242326A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003309273A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Ｈｏｙａ−Ｓｃｈｏｔｔ株式会社 | 光量検知手段並びにこれを備えた照明装置及びセンサー装置 |
| KR100672411B1 (ko) * | 2004-12-16 | 2007-01-24 | 엘지전자 주식회사 | 조명 장치 및 이를 이용한 프로젝션 디스플레이 장치 |
| JP2012174936A (ja) * | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Canon Inc | 照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
| KR20130076982A (ko) * | 2011-12-29 | 2013-07-09 | 삼성전자주식회사 | 광원 장치 및 광 생성 방법 |
-
2000
- 2000-02-29 JP JP2000054583A patent/JP2001242326A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003309273A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Ｈｏｙａ−Ｓｃｈｏｔｔ株式会社 | 光量検知手段並びにこれを備えた照明装置及びセンサー装置 |
| KR100672411B1 (ko) * | 2004-12-16 | 2007-01-24 | 엘지전자 주식회사 | 조명 장치 및 이를 이용한 프로젝션 디스플레이 장치 |
| JP2012174936A (ja) * | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Canon Inc | 照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
| US9280054B2 (en) | 2011-02-22 | 2016-03-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Illumination optical system, exposure apparatus, and method of manufacturing device |
| KR20130076982A (ko) * | 2011-12-29 | 2013-07-09 | 삼성전자주식회사 | 광원 장치 및 광 생성 방법 |
| KR101877468B1 (ko) * | 2011-12-29 | 2018-07-12 | 삼성전자주식회사 | 광원 장치 및 광 생성 방법 |
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