JP2001236748A - スライダとディスクの間隔変動測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 移動するスライダとディスクとの間の浮上間
隔の変動量の測定誤差を抑制することができる間隔変動
測定装置を提供する。 【解決手段】 間隔変動測定装置１００は、スライダ３
をディスク２上に所定の間隔を有して支持するスライダ
支持機構５と，スライダ支持機構５を回動中心軸６２を
中心に回動させる回動手段６，８と，回動中心軸６２と
実質的に同一の軸に沿って照射される少なくとも１つの
レーザビームを反射させる反射部材２２，２１とを備
え、反射部材２２，２１は、スライダ支持機構５上に配
置される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばハードディ
スク装置（以下「ＨＤＤ」ともいう。）等のディスク記
録再生装置における磁気ディスクとスライダ間の間隔変
動を測定するスライダとディスクの間隔変動測定装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】ＨＤＤでは、ヘッドはスライダと称する
セラミック材質等の支持体に搭載されている。スライダ
は，ディスクの回転により生じる空気粘性による力によ
りディスクのデータ記録面に対して、所定の間隔を以て
浮上した状態で支持される。スライダに搭載したヘッド
により記録媒体であるディスクに対して記録再生を行
う。

【０００３】ハードディスク装置の記録密度を高める
に，スライダとディスクとの間の浮上間隔を出来る限り
微小化し，かつ安定に保つことが要望される。現在では
０．１μｍ以下の浮上間隔が要望される。

【０００４】浮上間隔の微小化とともにスライダとディ
スクとの間の接触の可能性が以前にも増して増加する。
接触によるスライダの損傷あるいはディスクの損傷は，
ＨＤＤ内のデータの欠落や記録再生の特性不良となり大
きな問題となる。

【０００５】また，浮上間隔の変動は，ヘッドとディス
ク間でのデータの記録再生特性に影響を与えることが知
られている．したがって，近年，スライダとディスク間
の浮上間隔の変動量を測定する技術が以前にも増して望
まれている。

【０００６】スライダとディスクの浮上間隔の変動量を
測定する従来の技術としては，特開平７−２７５２４号
公報のようにレーザードップラー法を用いた方法が提案
されている。

【０００７】この方法では，２つの光源からのレーザー
光の片方を測定光，もう片方を参照光として両者の反射
光をヘテロダイン検波することにより２振動物体の相対
運動を測定することが可能である。

【０００８】また，特開昭６２−２８７４８９号公報に
は，振動を外部から強制的に与えスライダとディスク間
の浮上間隔の変動量を測定する装置も提案されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，ＨＤＤ
では，スライダはスライダ支持機構の回動により，ディ
スク上の内周から外周まで移動する。このスライダの移
動はシークと呼ばれる。シークにおいては，スライダは
高速で移動する。３．５インチのディスクを使用してい
る一般的なＨＤＤでは，内周から外周まで数ｍｓで移動
する。

【００１０】近年，ＨＤＤの記録密度の向上とともにス
ライダとディスクとの間の間隔は狭まり，スライダとデ
ィスクとの間の間隔変動もより小さいことが要求されて
いる。

【００１１】また，シーク速度も高速化し，シーク時の
スライダの振動が課題となってきている。前述した特開
平７−２７５２４号記載の手法では，スライダが固定さ
れた状態での間隔変動は計測可能であるが，スライダが
移動する際の間隔変動の計測には，レーザーの光源もス
ライダに追随させ移動させる必要があるので，光源の振
動等の影響で間隔変動計測は，困難である。

【００１２】また，前述した特開昭６２−２８７４８９
記載の手法では，外部からの振動を直接ディスクに与え
るため、スライダとディスクとの位置関係が振動により
変化するという課題があった．本発明の目的は、移動す
るスライダとディスクとの間の浮上間隔の変動量の測定
誤差を抑制することができる間隔変動測定装置を提供す
ることにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係る間隔変動測
定装置は、スライダとディスクの間の間隔変動を測定す
る間隔変動測定装置であって、前記スライダを前記ディ
スク上に所定の間隔を有して支持するスライダ支持機構
と，前記スライダ支持機構を回動中心軸を中心に回動さ
せる回動手段と，前記回動中心軸と実質的に同一の軸に
沿って照射される少なくとも１つのレーザビームを反射
させる反射部材とを備え、前記反射部材は、前記スライ
ダ支持機構上に配置され、そのことにより上記目的が達
成される。

【００１４】前記反射部材は、前記回動中心軸上に配置
される第１ミラーと、前記スライダに対応する位置に配
置される第２ミラーとを含んでもよい。

【００１５】前記レーザビームは、前記スライダ上に照
射される第１レーザビームと前記ディスク上に照射され
る第２レーザビームとを含み、前記反射部材は、前記第
１レーザービームを反射する第１反射部材と，前記第２
レーザービームを反射する第２反射部材とを含んでもよ
い。

【００１６】前記第１反射部材は、前記回動中心軸上に
配置される第１ミラーと、前記スライダに対応する位置
に配置される第２ミラーとを含み、前記第２反射部材
は、前記回動中心軸上に配置される第３ミラーと、前記
スライダに対応する位置に配置される第４ミラーとを含
んでもよい。

【００１７】前記第１ミラーは、前記第１レーザビーム
を透過させ前記第２レーザビームを反射する偏光面を有
する前記偏光ビームスプリッタを含んでもよい。

【００１８】前記間隔変動測定装置は，前記第１レーザ
ビームを生成して出力する第１光源と前記第２レーザビ
ームを生成して出力する第２光源とをさらに含んでもよ
い。

【００１９】前記間隔変動測定装置は，前記第１および
第２レーザビームを前記反射部材へ導くビームスプリッ
タをさらに含んでもよい。

【００２０】前記間隔変動測定装置は，前記レーザビー
ムを前記反射部材へ導くビームスプリッタをさらに含ん
でもよい。

【００２１】前記間隔変動測定装置は，前記レーザビー
ムを生成して出力する光源をさらに含んでもよい。

【００２２】前記間隔変動測定装置は，前記光源に接続
され前記スライダと前記ディスクとの間の間隔変動を測
定する間隔変動測定器をさらに含んでもよい。

【００２３】前記光源は、前記スライダ支持機構の回動
によって生じる振動の影響を受けない位置に配置されて
もよい。

【００２４】前記間隔変動測定装置は，前記スライダと
前記ディスクとを振動させる振動発生器をさらに含んで
もよい。

【００２５】前記振動発生器は、空気の振動により前記
スライダと前記ディスクとを振動させてもよい。

【００２６】前記振動発生器は、スピーカを含んでもよ
い。

【００２７】本発明によれば、スライダがシーク動作中
であってもスライダ上の同一点にレーザビームが照射さ
れるので，シーク運動中のスライダとディスクと間の間
隔変動を性格に計測することができる。

【００２８】さらに本発明によれば、測定誤差をさらに
抑制することができる。

【００２９】さらに本発明によれば、空気振動によりス
ライダとディスクとを振動させるので，スライダとディ
スクの位置関係を変化させずにスライダとディスクの間
隔変動を測定することができ、ディスクに対するスライ
ダ浮上量の微小な領域での間隔変動を測定することがで
きる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
例を説明する。

【００３１】（実施の形態１）図１は実施の形態１に係
るスライダとディスクの間隔変動測定装置１００の斜視
図である。

【００３２】間隔変動測定装置１００は、回動中心軸６
２を中心に回動するアクチュエータアーム５を備える。
アクチュエータアーム５は、ベース３０上に設けられ
る。アクチュエータアーム５は、サスペンション４を含
む。サスペンション４は、スライダ３をディスク２上に
所定の間隔を有して支持する。

【００３３】間隔変動測定装置１００は、 回動中心軸
６２と実質的に同一の軸に沿って照射されるレーザビー
ムを反射させるミラー２２と、スライダ３に対応する位
置に配置されるミラー２１とをさらに備える。ミラー２
２とミラー２１とは、アクチュエータアーム５上に配置
される。

【００３４】アクチュエータアーム５は、コイル７を含
む。間隔変動測定装置１００は、アクチュエータアーム
５を回動中心軸６２を中心に回動させる回動手段、即ち
マグネット６，８を備える。マグネット６，８は、ベー
ス３０上に設けられる。

【００３５】間隔変動測定装置１００は，第１レーザビ
ームを生成して出力する光学ヘッド１０と、第２レーザ
ビームを生成して出力する光学ヘッド１１と、第１およ
び第２レーザビームを第１ミラー２２へ導くビームスプ
リッタ２３と、光学ヘッド１１、１２に接続されスライ
ダ３とディスク２との間の間隔変動を測定する間隔変動
測定器６１とをさらに備える。

【００３６】光学ヘッド１１、１２は、アクチュエータ
アーム５の回動によって生じる振動の影響を受けない位
置、例えばベース３０上に配置される。

【００３７】ディスク２は，モータ主軸１５を中心とし
て回転する。スライダ３はサスペンション４の先端に取
り付けられており，ディスク２から空気潤滑効果により
揚力をうけディスク２からわずかな間隔を経て浮上して
いる。

【００３８】マグネット６，８に所定の間隔を持って配
置されたコイル７は，アクチュエータアーム５に固着さ
れている。アクチュエータアーム５は，軸受け（図示せ
ず）を介してベース３０に回動可能に支持されている。
アクチュエータアーム５、サスペンション４およびスラ
イダ３は，回動中心軸６２を中心に回動する。

【００３９】レーザードップラーの測定光である，光学
ヘッド１０及び１１で生成された第１および第２レーザ
ビームは、それぞれビームスプリッタ２３を経由し，ミ
ラー２２，ミラー２１を経由しスライダ３あるいはディ
スク２上に照射される。

【００４０】ビームスプリッタ２３は、ビームスプリッ
タ２３を経由する第１および第２レーザービームを近接
させる。

【００４１】間隔変動測定装置１００の動作を説明す
る。ディスク２はモータ（図示せず）によりモータ主軸
１５を中心として回転する。コイル７に所定の電流を流
すと，マグネット６，８の磁力の影響で働く力により，
アクチュエータアーム５は回転中心６２を中心として回
動する。スライダ３およびサスペンション４もアクチュ
エータアーム５と共に回転中心６２を中心として回動す
る。このようにスライダ３はシーク動作を実行する。

【００４２】測定光としての光学ヘッド１０からの第１
レーザビームは、回転中心６２に沿ってビームスプリッ
タ２３を経由しミラー２２、２１を経由してスライダ３
に照射される。スライダ３に照射された第１レーザービ
ームは、照射された経路と同一の経路を逆に通り光学ヘ
ッド１０に戻る。

【００４３】ミラー２２とミラー２１とは、アクチュエ
ータアーム５と一体に配置されている。このため、アク
チュエータアーム５が回動しても，光学ヘッド１０から
の第１レーザービームはミラー２２、２１を介して常に
スライダ３上の一定の点に照射される。

【００４４】一方，参照光としての光学ヘッド１１から
の第２レーザービームは，ビームスプリッタ２３を経由
し，ミラー２２、２１を経由しディスク２上に照射され
る。ディスク２に照射された第２レーザービームは照射
された経路と同一の経路を逆に通り光学ヘッド１１に戻
る。

【００４５】間隔変動測定器６１は、光学ヘッド１０、
１１に戻った第１および第２レーザービームをレーザー
ドップラー法により，ヘテロダイン検波することによ
り，スライダ３とディスク２との間の間隔変動を測定す
る。

【００４６】光学ヘッド１１からの第２レーザービーム
は，ビームスプリッタ２３により，回転中心６２に近接
して照射できるため，アクチュエータアーム５が回動し
ても、第２レーザービームのディスク２上の照射位置は
わずかしか変化しない。

【００４７】ディスク２の表面は，平滑に出来ており，
半径方向の面ぶれも少ない。このため，アクチュエータ
アーム５の回動により発生する第２レーザービームの照
射位置はわずかしか変化しない。第２レーザービームの
照射位置の変化による参照光の誤差はわずかしか発生し
ない。

【００４８】以上のように実施の形態１によれば，光学
ヘッド１０，１１は，回動するスライダ３あるいは，ア
クチュエータアーム５と分離して設けられる。このた
め，光学ヘッド１０，１１はアクチュエータアーム５の
回動による振動の影響を受けない。

【００４９】従って、移動するスライダ３とディスク２
との間の浮上間隔の変動量の測定において、光学ヘッド
１１、１０の振動による測定誤差を抑制することができ
る。

【００５０】実施の形態１によれば，シークするスライ
ダ３のディスクに対する振動，すなわちスライダ３とデ
ィスク２との間の間隔変動を測定することが可能とな
る。

【００５１】本実施の形態１では，２つの光学ヘッド１
０，１１を用いたが，本発明はこれに限定されない。１
つの光学ヘッド１０のみを用いれば、スライダ３とディ
スク２との間の間隔変動の計測はできないが、スライダ
３の振動を測定することができる。

【００５２】図２に実施の形態１に係る間隔変動測定装
置１００が備える振動発生器１１０の説明図である。

【００５３】間隔変動測定装置１００は、空気の振動に
よりスライダ３とディスク２とを振動させる振動発生器
１１０をさらに含む。振動発生器１１０は、加振部５０
と制御部５１とを含む。加振部５０は，マグネット７２
と、マグネット７２の周りに一定の間隔を持って配置さ
れたコイル７１と，コイル７１と一体的に運動する振動
子７０と，振動子７０からの振動を伝える増幅部７２と
を含む。加振部５０は空気を振動させる。このように振
動発生器１１０はスピーカ構造を有する。

【００５４】ディスク２は高速で回転しスライダ３はデ
ィスク２から所定量浮上している。制御部５１により，
コイル７１に電流を流しコイル７１とマグネット７２と
の間に働く力により振動子７０を振動させ，振動子７０
からの振動を増幅部７２で増幅し、増幅部７２の振動に
より空気を振動させる。

【００５５】空気の振動はスライダ３とディスク２とま
で伝播し、スライダ３とディスク２とを振動させる。な
お，一例としては，空気の振動の周波数は，２０Ｈｚか
ら１０ｋＨｚとしている。

【００５６】ディスク２あるいはスライダ３をインパク
トハンマー等で直接叩いて振動させると、ディスク２あ
るいはスライダ３をインパクトハンマー等で直接叩くの
で、スライダ３とディスク２との位置関係が変化してし
ます。

【００５７】実施の形態１では、空気の振動によりスラ
イダ３とディスク２とを振動させるため，スライダ３と
ディスク２との位置関係が変化しない。

【００５８】間隔変動測定装置１００を用いた間隔変動
測定結果の一例を図４に示す。１ｍｓの矩形波で振動を
発生させたときのスライダ３とディスク２と間の間隔変
動を示している。図４に示すように，スライダ３とディ
スク２との間の間隔変動は，振動を与えると大きく発生
し減衰していく様子が測定できることが分かる。

【００５９】このようにスライダ３とディスク２への振
動の励起を空気により行うことで，スライダ３とディス
ク２の位置関係を変化させずにスライダ３とディスク２
の間隔変動への振動の影響を測定することが可能とな
る。

【００６０】（実施の形態２）図４は、実施の形態２に
係る間隔変動測定装置１００Aの要部の斜視図である。
実施の形態１で説明した構成要素と同一の構成要素には
同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細
な説明は省略する。

【００６１】実施の形態１と異なる点は、図４に示すよ
うに、間隔変動測定装置１００Aが回動中心６２上に配
置されるミラー２４と，スライダ３に対応する位置に配
置されるミラー２５をさらに備える点である。また，ア
クチュエータアーム５Aの形状も実施の形態１のアクチ
ュエータアーム５と異なる。他の構成要素は実施の形態
１と同じである。

【００６２】アクチュエータアーム５A上の回転中心６
２上にはミラー２２およびミラー２４が取り付けられて
いる，また，アクチュエータアーム５の先端のスライダ
３の上方にはミラー２１およびミラー２５が取り付けら
れている。

【００６３】測定光としての光学ヘッド１０からの第１
レーザービームはビームスプリッタ２３を経由し回転中
心６２に沿ってミラー２４に照射され，さらにミラー２
２と先端のミラー２１を介してスライダ３に照射され
る。スライダ３に照射された第１レーザービームは照射
された経路と同一の経路を逆に通り光学ヘッド１０に戻
る。

【００６４】一方，参照光としての光学ヘッド１１から
の第２レーザービームは，ビームスプリッタ２３を経由
し，回転中心６２に沿って照射され，ミラー２４，ミラ
ー２５およびミラー２１を経由しディスク２上に照射さ
れる。ディスク２に照射された第２レーザービームは照
射された経路と同一の経路を逆に通り光学ヘッド１１に
戻る。

【００６５】ミラー２４で分岐した第２レーザービーム
はミラー２５で反射されミラー２１を経由してディスク
２上に照射される。

【００６６】ミラー２４とミラー２５とは、アクチュエ
ータアーム５と一体に配置されている。このため、アク
チュエータアーム５が回動しても，光学ヘッド１１から
の第２レーザービームはミラー２４、２５を介して常に
ディスク２の一定の点に照射される。

【００６７】実施の形態１と同様に、ミラー２２とミラ
ー２１とは、アクチュエータアーム５と一体に配置され
ているため、アクチュエータアーム５が回動しても，光
学ヘッド１０からの第１レーザービームはミラー２２、
２１を介して常にスライダ３上の一定の点に照射される
ことはいうまでもない。

【００６８】間隔変動測定器６１は、光学ヘッド１０、
１１に戻った第１および第２レーザービームをレーザー
ドップラー法により，ヘテロダイン検波することによ
り，スライダ３とディスク２との間の間隔変動を測定す
る。

【００６９】以上のように実施の形態２によれば，シー
クする時に照射されるレーザービームの位置をスライダ
３の特定の位置に固定できるばかりでなく，ディスク２
上へのレーザービームの照射位置も一定位置にすること
が可能となる。

【００７０】このため，ディスク２上への第２レーザー
ビームの照射位置の変化による測定誤差をさらに抑制す
ることが可能となる。

【００７１】なお，実施の形態２において光学ヘッド１
０と光学ヘッド１１とから照射される第１および第２レ
ーザービームの偏光面を異ならせ、ミラー２４を偏光ビ
ームスプリッタ２４としてもよい。

【００７２】偏光ビームスプリッタ２４には，光学ヘッ
ド１０からの第１レーザービームが通過する偏光面が設
けられている。偏光ビームスプリッタ２４には，光学ヘ
ッド１１からの第２レーザービームは９０度反射する偏
光面が設けられている。偏光面の異なる第１および第２
レーザービームは以下の様に照射される。測定光として
の光学ヘッド１０からの第１レーザービームは、ビーム
スプリッタ２３を経由し，回転中心６２に沿って偏光ビ
ームスプリッタ２４に照射される。

【００７３】偏光ビームスプリッタ２４は，光学ヘッド
１０からの第１レーザービームは通過するような偏光面
が設けられているため，偏光ビームスプリッタ２４を経
由した第１レーザービームは，ミラー２２と先端のミラ
ー２１を介してスライダ３に照射される。スライダ３に
照射された第１レーザービームは照射された経路と同一
の経路を逆に通り光学ヘッド１０に戻る。

【００７４】一方，参照光としての光学ヘッド１１から
の第２レーザービームは，ビームスプリッタ２３を経由
し，回転中心６２に沿って偏光ビームスプリッタ２４に
照射される。偏光ビームスプリッタ２４の偏光面は，光
学ヘッド１１からの第２レーザービームを９０度反射す
るように設定されているため，第２レーザービームは，
ミラー２５を経由しディスク２上に照射される。ディス
ク２に照射された第２レーザービームは照射された経路
と同一の経路を逆に通り光学ヘッド１１に戻る。

【００７５】このように光学ヘッド１０と光学ヘッド１
１のから照射される第１および第２レーザービームの偏
光面を異ならせ，ミラー２４を偏光ビームスプリッタと
することにより，同一の回動中心６２に沿って照射され
た第１および第２レーザービームの干渉を抑制でき，測
定精度の向上を図ることができる。

【００７６】実施の形態１，２においてヘテロダイン干
渉を用いたが，光干渉を用いるものであればヘテロダイ
ン干渉に限るものではない。

【００７７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、移動する
スライダとディスクとの間の浮上間隔の変動量の測定誤
差を抑制することができる間隔変動測定装置を提供する
ことができる。

【００７８】また本発明によれば，光学ヘッドは，回動
運動するスライダあるいは，アクチュエータアームと分
離されているため，光学ヘッドをアクチュエータアーム
と一体に回動運動させる必要はなく，光学ヘッドは回動
運動の振動影響を受け難く，光学ヘッドの振動による測
定誤差を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１に係るスライダとディスクの間隔
変動測定装置の斜視図。

【図２】実施の形態１に係るスライダとディスクの間隔
変動測定装置への振動発生器説明図。

【図３】実施の形態１に係るスライダとディスクの間隔
変動測定装置への振動供給時の間隔変動波形のグラフ。

【図４】実施の形態２に係るスライダとディスクの間隔
変動測定装置の要部の斜視図。

【符号の説明】

２ ディスク ３ スライダ ５ アクチュエータアーム ６ マグネット ７ コイル ８ マグネット １０，１１ 光学ヘッド ２１，２２ ミラー ２３ ビームスプリッタ ６２ 回動中心軸

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライダとディスクの間の間隔変動を測
   定する間隔変動測定装置であって、 前記スライダを前記ディスク上に所定の間隔を有して支
   持するスライダ支持機構と，前記スライダ支持機構を回
   動中心軸を中心に回動させる回動手段と，前記回動中心
   軸と実質的に同一の軸に沿って照射される少なくとも１
   つのレーザビームを反射させる反射部材とを備え、 前記反射部材は、前記スライダ支持機構上に配置される
   間隔変動測定装置。
2. 【請求項２】 前記反射部材は、前記回動中心軸上に配
   置される第１ミラーと、 前記スライダに対応する位置に配置される第２ミラーと
   を含む、請求項１記載の間隔変動測定装置。
3. 【請求項３】 前記レーザビームは、前記スライダ上に
   照射される第１レーザビームと前記ディスク上に照射さ
   れる第２レーザビームとを含み、 前記反射部材は、前記第１レーザービームを反射する第
   １反射部材と，前記第２レーザービームを反射する第２
   反射部材とを含む、請求項１記載の間隔変動測定装置。
4. 【請求項４】 前記第１反射部材は、前記回動中心軸上
   に配置される第１ミラーと、 前記スライダに対応する位置に配置される第２ミラーと
   を含み、 前記第２反射部材は、前記回動中心軸上に配置される第
   ３ミラーと、 前記スライダに対応する位置に配置される第４ミラーと
   を含む、請求項３記載の間隔変動測定装置。
5. 【請求項５】 前記第１ミラーは、前記第１レーザビー
   ムを透過させ前記第２レーザビームを反射する偏光面を
   有する前記偏光ビームスプリッタを含む、請求項４記載
   の間隔変動測定装置。
6. 【請求項６】 前記間隔変動測定装置は，前記第１レー
   ザビームを生成して出力する第１光源と前記第２レーザ
   ビームを生成して出力する第２光源とをさらに含む、請
   求項３記載の間隔変動測定装置。
7. 【請求項７】 前記間隔変動測定装置は，前記第１およ
   び第２レーザビームを前記反射部材へ導くビームスプリ
   ッタをさらに含む、請求項３記載の間隔変動測定装置。
8. 【請求項８】 前記間隔変動測定装置は，前記レーザビ
   ームを前記反射部材へ導くビームスプリッタをさらに含
   む、請求項１記載の間隔変動測定装置。
9. 【請求項９】 前記間隔変動測定装置は，前記レーザビ
   ームを生成して出力する光源をさらに含む、請求項１記
   載の間隔変動測定装置。
10. 【請求項１０】 前記間隔変動測定装置は，前記光源に
    接続され前記スライダと前記ディスクとの間の間隔変動
    を測定する間隔変動測定器をさらに含む、請求項９記載
    の間隔変動測定装置。
11. 【請求項１１】 前記光源は、前記スライダ支持機構の
    回動によって生じる振動の影響を受けない位置に配置さ
    れる、請求項９記載の間隔変動測定装置。
12. 【請求項１２】 前記間隔変動測定装置は，前記スライ
    ダと前記ディスクとを振動させる振動発生器をさらに含
    む、請求項１記載の間隔変動測定装置。
13. 【請求項１３】 前記振動発生器は、空気の振動により
    前記スライダと前記ディスクとを振動させる、請求項１
    ２記載の間隔変動測定装置。
14. 【請求項１４】 前記振動発生器は、スピーカを含む、
    請求項１３記載の間隔変動測定装置。