JP2001232313A - 超音波洗浄機 - Google Patents

超音波洗浄機

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JP2001232313A
JP2001232313A JP2000049345A JP2000049345A JP2001232313A JP 2001232313 A JP2001232313 A JP 2001232313A JP 2000049345 A JP2000049345 A JP 2000049345A JP 2000049345 A JP2000049345 A JP 2000049345A JP 2001232313 A JP2001232313 A JP 2001232313A
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JP
Japan
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tank
rinsing
cleaning
vibrator
ultrasonic
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JP2000049345A
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English (en)
Inventor
Seiji Yamaguchi
誠二 山口
Toru Oochi
徹 大智
Naohiro Nagao
直大 永尾
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K D SYST KK
Pioneer Corp
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K D SYST KK
Pioneer Electronic Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品点数が少なくてすむとともに構造が簡単
化され、コスト的に安価な超音波洗浄機の提供。 【解決手段】 洗浄槽14及び濯ぎ槽16を振動させる
単一の振動板24と、この振動板24を駆動する振動子
18とを具備し、振動板24は、洗浄槽14及び濯ぎ槽
16の底面領域を占める大きさを有し、且つ洗浄槽14
及び濯ぎ槽16にまたがって設置されているとともに、
振動板24を超音波振動させる振動子18を洗浄槽14
の底面領域内に設置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波洗浄機に関
し、例えば半導体及びチップを実装する為のクリーム半
田を印刷するメタルマスクを超音波振動を利用して洗浄
する超音波洗浄機に関する。
【0002】
【従来の技術】クリーム半田を印刷するメタルマスクを
超音波洗浄する洗浄機は、洗浄槽、濯ぎ槽、乾燥槽の3
つの槽から構成されており、洗浄槽では、被洗浄物を洗
剤液に浸しながら超音波振動によって付着物の汚れを洗
浄し、その後、濯ぎ槽にて被洗浄物に付着した洗剤や付
着物を、やはり超音波による振動を加え、付着物ととも
に洗剤を除去する。そして、乾燥槽において、被洗浄物
を乾燥させることにより洗浄作業が終了する。
【0003】従来、洗浄槽及び濯ぎ槽に超音波振動を加
えるために、洗浄槽及び濯ぎ槽には、それぞれ別個独立
して振動子(駆動源)が設置され、これらの各振動子か
ら各槽に設置された振動板を介して超音波振動を洗浄槽
及び濯ぎ槽に付与し、液中に気泡を発生させることによ
って洗浄、濯ぎを行うようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
超音波洗浄機では、振動子(駆動源)を、洗浄槽、濯ぎ
槽それぞれ個別に設置しているために、部品点数の増加
が避けられず、結果的に製品コストの上昇を招来すると
いう問題点がある。また、複数の振動子(駆動源)に電
源を供給する電源回路や、操作装置も必要になる等、周
辺に配置される機器自体もそれに応じて必要となり、洗
浄機の構造も複雑化する。
【0005】本発明は、このような諸事情に対処するた
めに提案されたものであって、部品点数が少なくてすむ
とともに、構造が簡単化され、コスト的に安価な超音波
洗浄機を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】(1)上記目的を達成す
るために、本発明は、洗浄槽及び濯ぎ槽を振動させる単
一の振動板と、該振動板を駆動する振動子とを具備する
超音波洗浄機であって、前記振動板は、前記洗浄槽及び
濯ぎ槽の底面領域を占める大きさを有し、該洗浄槽及び
濯ぎ槽にまたがって設置されているとともに、該振動板
を振動させる前記振動子は前記洗浄槽の底面領域内に設
置されている。
【0007】(2)また、本発明は、洗浄槽及び濯ぎ槽
を振動させる単一の振動板と、該振動板を駆動する振動
子とを具備する超音波洗浄機であって、前記洗浄槽及び
濯ぎ槽の下端にフランジが設けられており、該洗浄槽及
び濯ぎ槽は前記フランジを介して前記振動板に固定さ
れ、該振動板を振動させる前記振動子は前記洗浄槽の底
面領域内に設置されている。
【0008】(3)上記(1)項又は(2)項におい
て、前記洗浄槽及び濯ぎ槽の底部は、一方側に傾斜配置
されており、該洗浄槽及び濯ぎ槽の一方側にはドレンバ
ルブが設けられている。
【0009】(4)上記(1)項〜(3)項の何れかに
おいて、前記洗浄槽、濯ぎ槽の他、被洗浄物を乾燥させ
る乾燥槽が配置されており、該洗浄槽、濯ぎ槽及び乾燥
槽の被洗浄物の出し入れが行われる開口部に面する部分
が開放され、且つ前記洗浄槽、濯ぎ槽及び乾燥槽の上部
に対して着脱自在なケース上蓋が配置されている。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る超音波洗浄機
の好適な実施形態を添付図面を参照して説明する。図1
は一実施形態に係る超音波洗浄機の正面図、図2はその
側面図、図3は要部を示す正面図である。図1及び図2
に示されるように、本実施形態の超音波洗浄機10は、
脚部12と、洗浄槽14と、濯ぎ槽16と、振動子(駆
動源)18等とを具備して構成されている。
【0011】脚部12は、アングル材、角パイプ等から
なる4本の脚杆19が立設されて枠体が形成されてお
り、その枠体は外装板20によってカバーされている。
脚部12にはキャスタ22が4隅の下端部に取り付けら
れており、キャスタ22によって洗浄機10本体を、床
面上の所望位置に移動できるようになっている。また、
脚部12の上部には、天板13が取り付けられている。
【0012】図3に示されるように、脚部12の内部に
は、図示しない支持部材によって振動板24が配設さ
れ、この振動板24上には、パッキン26を介して洗浄
槽14,濯ぎ槽16が取付固定されている。洗浄槽1
4、濯ぎ槽16は、一体成形された角筒状の中空部材2
7からなり、この中空部材27の内部の略中央部を、隔
壁28によって仕切ることにより、洗浄槽14及び濯ぎ
槽16を形成している。中空部材27には、その下端の
縁部から垂直方向に張り出すフランジ部27Aが形成さ
れており、このフランジ部27Aを利用して振動板24
と連結されている。なお、洗浄槽14及び濯ぎ槽16
は、単一の部材である中空部材27を隔壁28によって
仕切ることにより形成する他、それぞれ独立した洗浄槽
及び濯ぎ槽をある程度近接させて並列配置してもよい。
このように配置した場合も、振動板24は、洗浄槽及び
濯ぎ槽の両者にまたがるように設置する。
【0013】振動板24は、洗浄槽14及び濯ぎ槽16
の底面領域を占める大きさを有し、具体的には洗浄槽1
4及び濯ぎ槽16の両者に跨るように配置されている。
また、振動板24を振動させる振動子(駆動源)18
は、振動板24の下面に取り付けられているが、その取
付位置は洗浄槽14の底面領域内に止められている。洗
浄槽14の外側には発振機29が設置され、振動子18
と電気的に接続され、振動子18に電源を供給して振動
子18を介して振動板24を超音波振動させるようにな
っている。
【0014】図2に示されるように、洗浄槽14及び濯
ぎ槽16は、その振動板24とともに手前側(図2中右
側)にいくにしたがって下方へと傾斜した状態に形成さ
れている。また、図1に示されるように、洗浄槽14及
び濯ぎ槽16の前部には、ドレンバルブ30,32が配
設されている。このドレンバルブ30,32は、使用後
の洗浄液や、濯ぎ液をゴミ等とともに排出するようにな
っており、洗浄槽14及び濯ぎ槽16を手前側に傾斜配
置したことにより、それらの排出が容易に行えるように
なっている。
【0015】洗浄槽14及び濯ぎ槽16の開口部は、そ
れぞれ水槽蓋34,36によって開け閉めが可能になっ
いる。濯ぎ槽16の側方には、濯ぎが終了した被洗浄物
を乾燥させる乾燥槽38が設けられている。図2に示さ
れるように、乾燥槽38には、その上部に乾燥時に温風
を導入する吸気口40が設けられているとともに、その
下部に、乾燥に利用した乾燥槽38内の温風を排気する
排気口42が設けられている。
【0016】尚、図3に示されるように、洗浄槽14、
濯ぎ槽16及び乾燥槽38の上方にケース上蓋44を設
置することも可能である。このケース上蓋44のうち、
蓋44Aは、洗浄槽14、濯ぎ槽16及び乾燥槽38の
開口部に面する部分が開口しており、塩化ビニル、アク
リル等によって形成されている。また、洗浄槽14、濯
ぎ槽16及び乾燥槽38の側面部には、蓋44Aを支持
する受け台44Bが各槽14,16,38の周囲を囲む
ようにして設けられている。これによれば、洗浄槽14
から濯ぎ槽16へ被洗浄物を移動させる際に、又、濯ぎ
槽16から乾燥槽38へ被洗浄物を移動させる際に、被
洗浄物から滴下する洗浄液や濯ぎ液を、蓋44A或いは
受け台44Bによって受けることができ、床面を汚した
り、洗浄機10の本体に付着するといった事態を防止す
ることができる。
【0017】次いで、前記のように構成した本実施形態
の超音波洗浄機の作用について説明する。まず、洗浄槽
14又は濯ぎ槽16に被洗浄物を挿入するが、このと
き、図4に示されるように、枠体46からメタルマスク
48を取り外し、水槽蓋34,36の下面に形成された
図示しないフックにメタルマスク48の孔48Aを係合
させ、水槽蓋34,36を洗浄槽14及び濯ぎ槽16の
開口をふさぐ位置に載置する。これにより、メタルマス
ク48は、洗浄槽14又は濯ぎ槽16内で宙吊り状態と
なる。更に、図3に示されるように、洗浄槽14を洗浄
液で、濯ぎ槽16を濯ぎ液でそれぞれ満たした後、振動
子18によって洗浄槽14下面に装着された振動板24
を振動させて、メタルマスク48に超音波振動による衝
撃を加えながら、洗浄液又は濯ぎ液に気泡を発生させて
洗浄又は濯ぎ作業を行う。この際、洗浄液又は濯ぎ液
は、メタルマスク48を洗浄槽14、濯ぎ槽16に吊り
下げる前に予め供給しておいてもよい。
【0018】尚、枠体46は、クリーム半田印刷を行う
ときに、メタルマスク48と一体化されて使用されるも
のであり、孔48Aは、本来、メタルマスク48を枠体
46に固定する為に設けられたものであるが、本実施形
態においては、孔48Aを水槽蓋34,36との係合に
も兼用することによってコスト低減を図っている。
【0019】濯ぎ作業では、洗浄槽14内のメタルマス
ク48を、水槽蓋34とともに濯ぎ槽16に移動し、濯
ぎ槽16に超音波振動を加えながら付着した洗剤や汚れ
を除去する。このとき、洗浄時と同様に、振動板24か
ら濯ぎ槽16に超音波振動が加えられるが、濯ぎの場合
は、汚れや洗剤を洗い流すだけなので、洗浄時に比較し
て70%程度の強さの振動を加えればよい。したがっ
て、本実施形態のように、濯ぎ槽16に対して若干距離
をおいたところに配置されている振動子18による振動
だけでも十分に洗剤等を除去することができ、結果的
に、単一の振動子18及び振動板24で、洗浄及び濯ぎ
が可能である。これにより、部品点数が削減され、超音
波洗浄機10の構造を簡単化することができるととも
に、製品コストを低減することができる。
【0020】濯ぎ作業の終了後、被洗浄物であるメタル
マスク48を乾燥槽38に移動して、吸気口40から乾
燥のための温風を図示しない供給手段から供給し、乾燥
槽38を通過させた後に排気口42から排気する。この
とき、排気口42は、乾燥槽38の下部に設置されてい
るので、メタルマスク48を乾燥させることによって温
度の低下した温風を効率よく排気することができる。そ
して、乾燥槽38からメタルマスク48を取り出して一
連の洗浄作業が終了する。
【0021】以上説明したように、本実施形態の超音波
洗浄機によれば、洗浄槽14及び濯ぎ槽16を、単一の
振動子18及び振動板24によって振動させるようにし
ているので、従来の洗浄機ように、振動子及び振動板を
洗浄槽、濯ぎ槽毎に設置する必要がない。このため、超
音波洗浄機の部品点数を削減でき、構造の簡単化による
製品コストの低減が可能である。
【0022】本実施形態では、被洗浄物としてメタルマ
スクを洗浄する場合について説明したが、被洗浄物はこ
れに限らず、磁気ヘッド等、高い清浄度が要求されるあ
らゆる部材に適用可能である。
【0023】
【発明の効果】請求項1及び2記載の発明によれば、洗
浄槽及び濯ぎ槽に対して振動を付与する振動板を、洗浄
槽及び濯ぎ槽の底面領域を占める大きさに形成するとと
もに、この振動板を洗浄槽及び濯ぎ槽にまたがって設置
し、且つ振動板を駆動する振動子を洗浄槽の底面領域内
に設置している。このため、洗浄槽及び濯ぎ槽に対して
超音波振動を付与する振動子が一つですむようになり、
部品点数を削減することができる。このため、構造が簡
単化され、製品コストを低減することが可能である。
【0024】請求項3記載の発明によれば、洗浄槽及び
濯ぎ槽の底部を一方側に傾斜配置するとともに、その一
方側にドレンバルブを設けている。このため、洗浄槽内
の洗浄液、濯ぎ槽内の濯ぎ液の排出が容易となる。
【0025】請求項4記載の発明によれば、洗浄槽、濯
ぎ槽及び乾燥槽の開口部に面する部分が開放されている
ケース上蓋を配置している。このため、被洗浄物を洗浄
槽から濯ぎ槽へ移動する時、又、濯ぎ槽から乾燥槽へ移
動する時に、被洗浄物から滴下する洗浄液等を受け台に
よって受けることができ、床面や洗浄機本体へ洗浄液等
が付着して汚すのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施形態に係る超音波洗浄機の正面図であ
る。
【図2】同じく、一実施形態に係る超音波洗浄機の側面
図である。
【図3】同じく、一実施形態に係る超音波洗浄機の要部
を示す正面図である。
【図4】被洗浄物であるメタルマスク及び枠体を示す概
略斜視図である。
【符号の説明】
10 超音波洗浄機 12 脚部 13 天板 14 洗浄槽 16 濯ぎ槽 18 振動子(駆動源) 19 脚杆 20 外装板 22 キャスタ 24 振動板 26 パッキン 27 中空部材 27A フランジ部 28 隔壁 29 発振機 30 32 ドレンバルブ 34 36 水槽蓋 38 乾燥槽 40 吸気口 42 排気口 44 ケース上蓋 44A 蓋 44B 受け台 46 枠体 46A 係合片 48 メタルマスク 48A 孔
フロントページの続き (72)発明者 大智 徹 埼玉県所沢市花園四丁目2610番地 パイオ ニア株式会社所沢工場内 (72)発明者 永尾 直大 東京都足立区綾瀬7丁目22番15号 株式会 社ケー・ディー・システム内 Fターム(参考) 3B201 AA02 AB01 BB03 BB85 BB92 CB15 CC01 CC12

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄槽及び濯ぎ槽を振動させる単一の振
    動板と、該振動板を駆動する振動子とを具備する超音波
    洗浄機であって、 前記振動板は、前記洗浄槽及び濯ぎ槽の底面領域を占め
    る大きさを有し、該洗浄槽及び濯ぎ槽にまたがって設置
    されているとともに、該振動板を振動させる前記振動子
    は前記洗浄槽の底面領域内に設置されていることを特徴
    とする超音波洗浄機。
  2. 【請求項2】 洗浄槽及び濯ぎ槽を振動させる単一の振
    動板と、該振動板を駆動する振動子とを具備する超音波
    洗浄機であって、 前記洗浄槽及び濯ぎ槽の下端にフランジが設けられてお
    り、該洗浄槽及び濯ぎ槽は前記フランジを介して前記振
    動板に固定され、該振動板を振動させる前記振動子は前
    記洗浄槽の底面領域内に設置されていることを特徴とす
    る超音波洗浄機。
  3. 【請求項3】 前記洗浄槽及び濯ぎ槽の底部は、一方側
    に傾斜配置されており、該洗浄槽及び濯ぎ槽の一方側に
    はドレンバルブが設けられていることを特徴とする請求
    項1又は2に記載の超音波洗浄機。
  4. 【請求項4】 前記洗浄槽、濯ぎ槽の他、被洗浄物を乾
    燥させる乾燥槽が配置されており、該洗浄槽、濯ぎ槽及
    び乾燥槽の被洗浄物の出し入れが行われる開口部に面す
    る部分が開放され、且つ前記洗浄槽、濯ぎ槽及び乾燥槽
    の上部に対して着脱自在なケース上蓋が配置されている
    ことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の超音波
    洗浄機。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10079014B2 (en) 2012-06-08 2018-09-18 Apple Inc. Name recognition system

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