JP2001230596A - 電子部品の実装装置及びその実装方法 - Google Patents
電子部品の実装装置及びその実装方法Info
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- JP2001230596A JP2001230596A JP2000036492A JP2000036492A JP2001230596A JP 2001230596 A JP2001230596 A JP 2001230596A JP 2000036492 A JP2000036492 A JP 2000036492A JP 2000036492 A JP2000036492 A JP 2000036492A JP 2001230596 A JP2001230596 A JP 2001230596A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 校正が簡易な電子部品の実装装置を得るこ
と。 【解決手段】 上点マーク１０３ａを、撮像するチップ
カメラ３２と、下点マーク１０５ａを撮像する基板カメ
ラ３４と、上点マーク１０３ａ及び下点マーク１０５ａ
を撮像する相対位置カメラ１０１と、を備えた電子部品
の実装装置であって、チップカメラ３２及び基板カメラ
３４により撮像された情報に基づいて、チップカメラ３
２及び基板カメラ３４の第１，第２の座標系における点
マーク１０３ａ，１０５ａの位置を求めると共に、相対
位置カメラ１０１により撮像された情報に基づいて点マ
ーク１０３ａ，１０５ａの相対位置カメラ１０１の第３
の座標系における点マーク１０３ａ，１０５ａの第３，
第４の位置を求める画像処理２０１と、第１から第３の
座標系の何れかの座標系を基準にして第１、第２の位置
を、第３、第４の位置に基づいて校正量を求める算出２
０３とを備えたものである。
と。 【解決手段】 上点マーク１０３ａを、撮像するチップ
カメラ３２と、下点マーク１０５ａを撮像する基板カメ
ラ３４と、上点マーク１０３ａ及び下点マーク１０５ａ
を撮像する相対位置カメラ１０１と、を備えた電子部品
の実装装置であって、チップカメラ３２及び基板カメラ
３４により撮像された情報に基づいて、チップカメラ３
２及び基板カメラ３４の第１，第２の座標系における点
マーク１０３ａ，１０５ａの位置を求めると共に、相対
位置カメラ１０１により撮像された情報に基づいて点マ
ーク１０３ａ，１０５ａの相対位置カメラ１０１の第３
の座標系における点マーク１０３ａ，１０５ａの第３，
第４の位置を求める画像処理２０１と、第１から第３の
座標系の何れかの座標系を基準にして第１、第２の位置
を、第３、第４の位置に基づいて校正量を求める算出２
０３とを備えたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電子部品の実装
装置及びその実装方法における二つの座標系の相対位置
の校正に関するものである。
装置及びその実装方法における二つの座標系の相対位置
の校正に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子部品の実装装置を図６によっ
て説明する。図６において、電子部品の実装装置は、基
板２を載せた四角柱状の台４を有すると共に、台４を
Ｘ，Ｙ軸方向に移動可能な基板用テーブル６と、電子部
品としてのチップ１０を吸着するヘッド１２と、Ｚ軸方
向に移動可能なヘッド機構２０と、基板２及びチップ１
０を撮像するカメラユニット３０を、二つの平行に設け
られた連結板３６を介して固定すると共に、Ｘ，Ｙ軸方
向に移動可能なカメラ用テーブル４０と、画像処理部５
２とＲＡＭ５４とを有する制御部５０とを備えている。
て説明する。図６において、電子部品の実装装置は、基
板２を載せた四角柱状の台４を有すると共に、台４を
Ｘ，Ｙ軸方向に移動可能な基板用テーブル６と、電子部
品としてのチップ１０を吸着するヘッド１２と、Ｚ軸方
向に移動可能なヘッド機構２０と、基板２及びチップ１
０を撮像するカメラユニット３０を、二つの平行に設け
られた連結板３６を介して固定すると共に、Ｘ，Ｙ軸方
向に移動可能なカメラ用テーブル４０と、画像処理部５
２とＲＡＭ５４とを有する制御部５０とを備えている。
【０００３】ヘッド機構２０には、ヘッド１２を下部に
有する上下移動機構２２が設けられており、上下移動機
構２２の上端に固定されたモータ２４の回転によってヘ
ッド１２を上昇及び下降させるように構成されている。
カメラユニット３０には、内側にチップ１０を撮像する
ためのチップカメラ３２と、基板２を撮像するための基
板カメラ３４とが固定され、中央の上面及び下面に円形
の撮影口３０ｅが設けられており、チップ１０を撮像す
る光が点線のような経路を経てチップカメラ３２に撮像
され、同様に、基板２を撮像する光が点線のような経路
を経て基板カメラ３４に撮像されるように形成されてい
る。
有する上下移動機構２２が設けられており、上下移動機
構２２の上端に固定されたモータ２４の回転によってヘ
ッド１２を上昇及び下降させるように構成されている。
カメラユニット３０には、内側にチップ１０を撮像する
ためのチップカメラ３２と、基板２を撮像するための基
板カメラ３４とが固定され、中央の上面及び下面に円形
の撮影口３０ｅが設けられており、チップ１０を撮像す
る光が点線のような経路を経てチップカメラ３２に撮像
され、同様に、基板２を撮像する光が点線のような経路
を経て基板カメラ３４に撮像されるように形成されてい
る。
【０００４】上記のように構成された電子部品の実装装
置のチップカメラ３２と基板カメラ３４とに生じるずれ
量の校正について説明する。まず、チップ１０に相当す
る、中央に十字のマークをしたガラスチップを、ヘッド
１２に吸着した状態において、チップカメラ３２はガラ
スチップを撮像し、画像処理部５２は、該撮像に基づい
てガラスチップの十字の中心点を第１の座標系におい
て、Ｘ，Ｙ（０，０）としてＲＡＭ５４に記憶する。基
板２に相当する中央に十字のマークをしたガラス板を台
４に保持した状態において、基板カメラ３４はガラス板
を撮像し、画像処理部５２は、撮像に基づいてガラス板
の十字の中心点を第２の座標系において、 Ｘ，Ｙ
（０，０）としてＲＡＭ５４に記憶する。
置のチップカメラ３２と基板カメラ３４とに生じるずれ
量の校正について説明する。まず、チップ１０に相当す
る、中央に十字のマークをしたガラスチップを、ヘッド
１２に吸着した状態において、チップカメラ３２はガラ
スチップを撮像し、画像処理部５２は、該撮像に基づい
てガラスチップの十字の中心点を第１の座標系におい
て、Ｘ，Ｙ（０，０）としてＲＡＭ５４に記憶する。基
板２に相当する中央に十字のマークをしたガラス板を台
４に保持した状態において、基板カメラ３４はガラス板
を撮像し、画像処理部５２は、撮像に基づいてガラス板
の十字の中心点を第２の座標系において、 Ｘ，Ｙ
（０，０）としてＲＡＭ５４に記憶する。
【０００５】ヘッド機構２０、Ｘ，Ｙテーブル６，４０
を動作させてガラスチップをガラス板上に載せ、この二
つのチップを重ね合わせたまま移動して、顕微鏡の検視
台（図示せず）の上に載せ、両者の十字マークのずれを
第１の座標系 Ｘ，Ｙ （０，０）から±ΔＸ，±ΔＹと
して測定する。このずれをＲＡＭ５４に記憶されている
第２の座標系において、（±ΔＸ，±ΔＹ ）を変更し
てＲＡＭ５４に記憶する。
を動作させてガラスチップをガラス板上に載せ、この二
つのチップを重ね合わせたまま移動して、顕微鏡の検視
台（図示せず）の上に載せ、両者の十字マークのずれを
第１の座標系 Ｘ，Ｙ （０，０）から±ΔＸ，±ΔＹと
して測定する。このずれをＲＡＭ５４に記憶されている
第２の座標系において、（±ΔＸ，±ΔＹ ）を変更し
てＲＡＭ５４に記憶する。
【０００６】次に、温度変化などにより、カメラユニッ
ト３０に微少な傾きが生じ、チップカメラ３２と基板カ
メラ３４との座標系の相対位置が変化するので、校正治
具６０を用いて以下のように校正している。ここで、校
正治具６０は、チップカメラ３２と基板カメラ３４の相
対的位置関係を校正するためのもので、略Ｌ形状の基台
６２が設けられており、この基台６２の垂直部には、マ
ーク６４ａが標された円盤部を有するチップマーク柱６
４と、基板カメラ３４が撮像するマーク６６ａが標され
た円盤部を有する基板マーク柱６６と、を備えている。
ト３０に微少な傾きが生じ、チップカメラ３２と基板カ
メラ３４との座標系の相対位置が変化するので、校正治
具６０を用いて以下のように校正している。ここで、校
正治具６０は、チップカメラ３２と基板カメラ３４の相
対的位置関係を校正するためのもので、略Ｌ形状の基台
６２が設けられており、この基台６２の垂直部には、マ
ーク６４ａが標された円盤部を有するチップマーク柱６
４と、基板カメラ３４が撮像するマーク６６ａが標され
た円盤部を有する基板マーク柱６６と、を備えている。
【０００７】まず、基準温度における基準位置を得るた
めに、カメラユニット３０を校正治具６０のチップマー
ク柱６４と基板マーク柱６６との間に挿入し、チップカ
メラ３２はマーク６４ａを撮像し、基板カメラ３４はマ
ーク６６ａを撮像し、画像処理部６２は、各マーク６４
ａ，６６ａの中心位置を各カメラ座標の基準位置として
求めて、ＲＡＭ５４に記憶する。
めに、カメラユニット３０を校正治具６０のチップマー
ク柱６４と基板マーク柱６６との間に挿入し、チップカ
メラ３２はマーク６４ａを撮像し、基板カメラ３４はマ
ーク６６ａを撮像し、画像処理部６２は、各マーク６４
ａ，６６ａの中心位置を各カメラ座標の基準位置として
求めて、ＲＡＭ５４に記憶する。
【０００８】次に、温度変動後の校正量を得るために、
同様に、カメラユニット３０を校正治具６０のチップマ
ーク柱６４と基板マーク柱６６との間に挿入し、チップ
カメラ３２はマーク６４ａを撮像し、基板カメラ３４は
マーク６６ａを撮像し、画像処理部６２は、各マーク６
４ａ，６６ａの中心位置の変動量を各カメラ座標におい
て求め、ＲＡＭ５４に記憶したカメラ座標の基準位置と
の差を演算し、校正量として各カメラの座標系の相対位
置関係の基準位置を変更してＲＡＭ５４に記憶する。
同様に、カメラユニット３０を校正治具６０のチップマ
ーク柱６４と基板マーク柱６６との間に挿入し、チップ
カメラ３２はマーク６４ａを撮像し、基板カメラ３４は
マーク６６ａを撮像し、画像処理部６２は、各マーク６
４ａ，６６ａの中心位置の変動量を各カメラ座標におい
て求め、ＲＡＭ５４に記憶したカメラ座標の基準位置と
の差を演算し、校正量として各カメラの座標系の相対位
置関係の基準位置を変更してＲＡＭ５４に記憶する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記電
子部品の実装装置は、チップカメラ３２の座標系と基板
カメラ３４との座標系の相対位置関係を校正する作業が
煩雑であり、且つ、温度変動などの校正作業も煩雑であ
るという問題点があった。
子部品の実装装置は、チップカメラ３２の座標系と基板
カメラ３４との座標系の相対位置関係を校正する作業が
煩雑であり、且つ、温度変動などの校正作業も煩雑であ
るという問題点があった。
【００１０】この発明は、上記課題を解決するためにな
されたもので、校正が簡易な電子部品の実装装置及びそ
の実装方法を提供することを目的とする。
されたもので、校正が簡易な電子部品の実装装置及びそ
の実装方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係る電子部品
の実装装置は、第１の対象物に標された第１の基準マー
クを、撮像する第１の撮像手段と、上記第１の対象物と
反対方向に配置されると共に、第２の対象物に標された
第２の基準マークを撮像する第２の撮像手段と、上記第
１及び第２の基準マークを撮像する第３の撮像手段と、
を備えた電子部品の実装装置であって、上記第１及び第
２の撮像手段により撮像された情報に基づいて、上記第
１及び第２の撮像手段の第１，第２の座標系における上
記第１，第２の基準マークの第１，第２の位置を求める
と共に、上記第３の撮像手段により撮像された情報に基
づいて上記第１，第２の基準マークの上記第３の撮像手
段の第３の座標系における上記第１，第２の基準マーク
の第３，第４の位置を求める画像処理手段と、上記第１
から第３の座標系の何れかの座標系を基準にして上記第
１、第２の位置を、上記第３、第４の位置に基づいて校
正量を求める算出手段と、を備えたことを特徴とするも
のである。
の実装装置は、第１の対象物に標された第１の基準マー
クを、撮像する第１の撮像手段と、上記第１の対象物と
反対方向に配置されると共に、第２の対象物に標された
第２の基準マークを撮像する第２の撮像手段と、上記第
１及び第２の基準マークを撮像する第３の撮像手段と、
を備えた電子部品の実装装置であって、上記第１及び第
２の撮像手段により撮像された情報に基づいて、上記第
１及び第２の撮像手段の第１，第２の座標系における上
記第１，第２の基準マークの第１，第２の位置を求める
と共に、上記第３の撮像手段により撮像された情報に基
づいて上記第１，第２の基準マークの上記第３の撮像手
段の第３の座標系における上記第１，第２の基準マーク
の第３，第４の位置を求める画像処理手段と、上記第１
から第３の座標系の何れかの座標系を基準にして上記第
１、第２の位置を、上記第３、第４の位置に基づいて校
正量を求める算出手段と、を備えたことを特徴とするも
のである。
【００１２】他の発明に係る電子部品の実装方法は、第
１の対象物に標された第１の基準マークを、撮像する第
１の撮像手段と、上記第１の対象物と反対方向に配置さ
れると共に、第２の対象物に標された第２の基準マーク
を撮像する第２の撮像手段と、上記第１及び第２の基準
マークを撮像する第３の撮像手段と、備えた電子部品の
実装方法において、上記第１及び第２の撮像手段により
撮像された情報に基づいて、上記第１及び第２の撮像手
段の第１，第２の座標系における上記第１，第２の基準
マークの第１，第２の位置を求めるステップと、上記第
３の撮像手段により撮像された情報に基づいて上記第
１，第２の基準マークの上記第３の撮像手段の第３の座
標系における上記第１，第２の基準マークの第３，第４
の位置を求めるステップと、上記第１から第３の座標系
の何れかの座標系を基準にして上記第１、第２の位置
を、上記第３、第４の位置に基づいて校正量を求めるス
テップと、を備えたことを特徴としたものである。
１の対象物に標された第１の基準マークを、撮像する第
１の撮像手段と、上記第１の対象物と反対方向に配置さ
れると共に、第２の対象物に標された第２の基準マーク
を撮像する第２の撮像手段と、上記第１及び第２の基準
マークを撮像する第３の撮像手段と、備えた電子部品の
実装方法において、上記第１及び第２の撮像手段により
撮像された情報に基づいて、上記第１及び第２の撮像手
段の第１，第２の座標系における上記第１，第２の基準
マークの第１，第２の位置を求めるステップと、上記第
３の撮像手段により撮像された情報に基づいて上記第
１，第２の基準マークの上記第３の撮像手段の第３の座
標系における上記第１，第２の基準マークの第３，第４
の位置を求めるステップと、上記第１から第３の座標系
の何れかの座標系を基準にして上記第１、第２の位置
を、上記第３、第４の位置に基づいて校正量を求めるス
テップと、を備えたことを特徴としたものである。
【００１３】他の発明に係る電子部品の実装装置は、第
１及び上記第２の撮像手段を固定すると共に、Ｘ，Ｙ方
向に移動させる第１のテーブルと、第３の撮像手段を固
定すると共に、Ｘ，Ｙ方向に移動させる第２のテーブル
と、第１から第３の何れかの撮像手段を基準として、第
１の座標系と第２の座標系との傾きの校正量を求める傾
き量算出手段を、備えたことを特徴とするものである。
１及び上記第２の撮像手段を固定すると共に、Ｘ，Ｙ方
向に移動させる第１のテーブルと、第３の撮像手段を固
定すると共に、Ｘ，Ｙ方向に移動させる第２のテーブル
と、第１から第３の何れかの撮像手段を基準として、第
１の座標系と第２の座標系との傾きの校正量を求める傾
き量算出手段を、備えたことを特徴とするものである。
【００１４】他の発明に係る電子部品の実装方法は、第
１のテーブルを移動して、第１の撮像手段が第１の基準
マークを撮像し、画像処理手段が第１の座標系において
第１の基準マークの第１の移動量を求めると共に、第２
の撮像手段が第２の基準マークを撮像し、画像処理手段
が第２の座標系において上記第２の基準マークの第２の
移動量を求め、上記傾き量算出手段が上記第１及び第２
の移動量に基づいて上記第１の座標系に対する上記第２
の座標系の傾きを求める算出ステップと、第２のテーブ
ルを移動して、第３の撮像手段が上記第１の基準マーク
を撮像して、上記画像処理手段が上記第３の座標系にお
ける上記第１の基準マークの第３の移動量を求めると共
に、上記第２の撮像手段が上記第２の基準マークを撮像
して、上記画像処理手段が上記第２の座標系において上
記第２の基準マークの第４の移動量を求め、上記傾き量
算出手段が上記第３及び第４の移動量に基づいて上記第
２の座標系に対する上記第３の座標系の傾きを求める算
出ステップと、を備えたことを特徴とするものである。
１のテーブルを移動して、第１の撮像手段が第１の基準
マークを撮像し、画像処理手段が第１の座標系において
第１の基準マークの第１の移動量を求めると共に、第２
の撮像手段が第２の基準マークを撮像し、画像処理手段
が第２の座標系において上記第２の基準マークの第２の
移動量を求め、上記傾き量算出手段が上記第１及び第２
の移動量に基づいて上記第１の座標系に対する上記第２
の座標系の傾きを求める算出ステップと、第２のテーブ
ルを移動して、第３の撮像手段が上記第１の基準マーク
を撮像して、上記画像処理手段が上記第３の座標系にお
ける上記第１の基準マークの第３の移動量を求めると共
に、上記第２の撮像手段が上記第２の基準マークを撮像
して、上記画像処理手段が上記第２の座標系において上
記第２の基準マークの第４の移動量を求め、上記傾き量
算出手段が上記第３及び第４の移動量に基づいて上記第
２の座標系に対する上記第３の座標系の傾きを求める算
出ステップと、を備えたことを特徴とするものである。
【００１５】他の発明に係る電子部品の実装装置は、第
１及び第２の基準マークと、第１から第３の撮像手段の
撮影口と、をほぼ一直線上にして撮像したものである。
１及び第２の基準マークと、第１から第３の撮像手段の
撮影口と、をほぼ一直線上にして撮像したものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】実施の形態１．この発明の実施の
形態を図１によって説明する。図１はこの発明の実施の
形態を示す電子部品の実装装置の全体図である。図１
中、図６と同一符号は同一又は相当部分を示して説明を
省略する。図１において、電子部品の実装装置は、チッ
プ１０を撮像するための第１の撮像手段としてのチップ
カメラ３２と、基板２を撮像するための第２の撮像手段
としての基板カメラ３４と、チップカメラ３２と基板カ
メラ３４との相対位置検出を検出せしめる第３の撮像手
段としての相対位置カメラ１０１と、相対位置カメラ１
０１及びチップカメラ３２で認識できるようにガラス板
の中央に第１の基準マークとしての下点マーク１０３ａ
を蒸着させた第１の対象物としての上レチクル１０３
と、相対位置カメラ１０１及び基板カメラ３４で認識で
きるようにガラス板の中央に第２の基準マークとしての
上点マーク１０５ａを蒸着させた第２の対象物としての
下レチクル１０５と、下レチクル１０５を相対位置カメ
ラ１０１の上部へ出し入れするためのシリンダ１０７
と、から成っている。
形態を図１によって説明する。図１はこの発明の実施の
形態を示す電子部品の実装装置の全体図である。図１
中、図６と同一符号は同一又は相当部分を示して説明を
省略する。図１において、電子部品の実装装置は、チッ
プ１０を撮像するための第１の撮像手段としてのチップ
カメラ３２と、基板２を撮像するための第２の撮像手段
としての基板カメラ３４と、チップカメラ３２と基板カ
メラ３４との相対位置検出を検出せしめる第３の撮像手
段としての相対位置カメラ１０１と、相対位置カメラ１
０１及びチップカメラ３２で認識できるようにガラス板
の中央に第１の基準マークとしての下点マーク１０３ａ
を蒸着させた第１の対象物としての上レチクル１０３
と、相対位置カメラ１０１及び基板カメラ３４で認識で
きるようにガラス板の中央に第２の基準マークとしての
上点マーク１０５ａを蒸着させた第２の対象物としての
下レチクル１０５と、下レチクル１０５を相対位置カメ
ラ１０１の上部へ出し入れするためのシリンダ１０７
と、から成っている。
【００１７】制御部２００は、チップカメラ３２、基板
カメラ３４、相対位置カメラ１０１が撮像した像を処理
してＸ，Ｙ座標値を求める画像処理部２０１と、該座標
値に基づいてチップカメラ３２、基板カメラ３４の座標
系のずれ（傾きを含む）を校正するための校正値を算出
する算出手段及び傾き量算出手段としての算出部２０３
と、該校正値、画像処理部２０１のＸ，Ｙ座標値を記憶
するＲＡＭ２０５とを備えている。
カメラ３４、相対位置カメラ１０１が撮像した像を処理
してＸ，Ｙ座標値を求める画像処理部２０１と、該座標
値に基づいてチップカメラ３２、基板カメラ３４の座標
系のずれ（傾きを含む）を校正するための校正値を算出
する算出手段及び傾き量算出手段としての算出部２０３
と、該校正値、画像処理部２０１のＸ，Ｙ座標値を記憶
するＲＡＭ２０５とを備えている。
【００１８】次に、チップカメラ３２の座標系と基板カ
メラ３４の座標系の校正について図１及び図２を参照し
て説明する。まず、ヘッド１２に上レチクル１０３を吸
着した後、シリンダ１０５は相対位置カメラ１０１が上
レチクル１０３の上点マーク１０３ａを中央に認識する
ように水平移動して停止する。第１のテーブルとしての
カメラ用テーブル４０および第２のテーブルとしての基
板用テーブル６を移動して、図２に示すように、上レチ
クル１０３の上点マーク１０３ａ、カメラユニット３０
の撮影口３０ｅ、下レチクル１０５の下点マーク１０５
ａ、相対位置カメラ１０１がほぼ同一直線上になるよう
に配置する。
メラ３４の座標系の校正について図１及び図２を参照し
て説明する。まず、ヘッド１２に上レチクル１０３を吸
着した後、シリンダ１０５は相対位置カメラ１０１が上
レチクル１０３の上点マーク１０３ａを中央に認識する
ように水平移動して停止する。第１のテーブルとしての
カメラ用テーブル４０および第２のテーブルとしての基
板用テーブル６を移動して、図２に示すように、上レチ
クル１０３の上点マーク１０３ａ、カメラユニット３０
の撮影口３０ｅ、下レチクル１０５の下点マーク１０５
ａ、相対位置カメラ１０１がほぼ同一直線上になるよう
に配置する。
【００１９】かかる状態において、チップカメラ３２は
上点マーク１０３ａを撮像し、画像処理部２０１は該撮
像情報に基づいて上点マーク１０３ａを、第１の座標系
としてのチップカメラ座標系により位置Ｐ１ａ （ｘ１
ａ、ｙ１ａ）として求め、相対位置カメラ１０１は下点
マーク１０５ａを撮像し、画像処理部２０１は該撮像情
報に基づいて下点マーク１０５ａを、第３の座標系とし
ての相対位置カメラ座標系により位置Ｐ２ｃ（ｘ２ｃ、
ｙ２ｃ ）として求める。基板カメラ３４は下点マーク
１０５ａを撮像し、画像処理部２０１は該撮像情報に基
づいて下点マーク１０５ａを、第２の座標系としての基
板カメラ座標系の位置Ｐ３ｂ（ｘ３ｂ、ｙ３ｂ）として
求める。
上点マーク１０３ａを撮像し、画像処理部２０１は該撮
像情報に基づいて上点マーク１０３ａを、第１の座標系
としてのチップカメラ座標系により位置Ｐ１ａ （ｘ１
ａ、ｙ１ａ）として求め、相対位置カメラ１０１は下点
マーク１０５ａを撮像し、画像処理部２０１は該撮像情
報に基づいて下点マーク１０５ａを、第３の座標系とし
ての相対位置カメラ座標系により位置Ｐ２ｃ（ｘ２ｃ、
ｙ２ｃ ）として求める。基板カメラ３４は下点マーク
１０５ａを撮像し、画像処理部２０１は該撮像情報に基
づいて下点マーク１０５ａを、第２の座標系としての基
板カメラ座標系の位置Ｐ３ｂ（ｘ３ｂ、ｙ３ｂ）として
求める。
【００２０】次に、カメラ用テーブル４０、下レチクル
１０５を待避してヘッド１２を下降し、上点マーク１０
３ａの高さを、チップ１０に基板２を載せる位置まで下
降させる。ここで、該位置にするのは、ヘッド機構２０
の上下移動機構２２の移動誤差を考慮したためである。
相対位置カメラ１０１は上点マーク１０３ａを撮像し、
画像処理部２０１は該撮像情報に基づいて上点マーク１
０３ａの中心を、相対位置カメラ座標系により位置Ｐ４
ｃ （ｘ４ｃ、ｙ４ｃ ）を求める。
１０５を待避してヘッド１２を下降し、上点マーク１０
３ａの高さを、チップ１０に基板２を載せる位置まで下
降させる。ここで、該位置にするのは、ヘッド機構２０
の上下移動機構２２の移動誤差を考慮したためである。
相対位置カメラ１０１は上点マーク１０３ａを撮像し、
画像処理部２０１は該撮像情報に基づいて上点マーク１
０３ａの中心を、相対位置カメラ座標系により位置Ｐ４
ｃ （ｘ４ｃ、ｙ４ｃ ）を求める。
【００２１】ここで、図３は各座標系の関係を示したも
ので、チップカメラ座標系はＸａ−Ｙａ、 基板カメラ
座標系はＸｂ−Ｙｂ、相対位置カメラ座標系はＸｃ−Ｙ
ｃで示している。各座標系間の傾きがない場合は、位置
Ｐ３ｂ，Ｐ２ｃは、同一点を測定しているので、Ｐ３ｂ
= Ｐ２ｃとすると、位置Ｐ４ｃ （ｘ４ｃ、ｙ４ｃ ）を
基板カメラ座標系で示した点を位置Ｐ４ｂ（ｘ４ｂ、ｙ
４ｂ ）とすると、位置Ｐ４ｂ（ｘ４ｂ、ｙ４ｂ ）は下
式となる。 ｘ４ｂ= ｘ３ｂ−ｘ２ｃ +ｘ４ｃ・・・・・・・・（１） ｙ４ｂ= ｙ３ｂ−ｙ２ｃ +ｙ４ｃ・・・・・・・・（２）
ので、チップカメラ座標系はＸａ−Ｙａ、 基板カメラ
座標系はＸｂ−Ｙｂ、相対位置カメラ座標系はＸｃ−Ｙ
ｃで示している。各座標系間の傾きがない場合は、位置
Ｐ３ｂ，Ｐ２ｃは、同一点を測定しているので、Ｐ３ｂ
= Ｐ２ｃとすると、位置Ｐ４ｃ （ｘ４ｃ、ｙ４ｃ ）を
基板カメラ座標系で示した点を位置Ｐ４ｂ（ｘ４ｂ、ｙ
４ｂ ）とすると、位置Ｐ４ｂ（ｘ４ｂ、ｙ４ｂ ）は下
式となる。 ｘ４ｂ= ｘ３ｂ−ｘ２ｃ +ｘ４ｃ・・・・・・・・（１） ｙ４ｂ= ｙ３ｂ−ｙ２ｃ +ｙ４ｃ・・・・・・・・（２）
【００２２】チップカメラ座標系の位置Ｐ１ａ （ｘ１
ａ、ｙ１ａ）は、ヘッド１２が下降し、チップ１０が基
板２の上に搭載される時には、基板カメラ座標系の位置
Ｐ４ｂ（ｘ４ｂ、ｙ４ｂ ）の点となる。すなわち、基
板カメラ座標系を基準として、基板カメラ（ｘｂ、ｙ
ｂ）とチップカメラ（ｘａ、ｙａ）との相対位置関係式
はＸ成分のずれ量をα、Ｙ成分のずれ量をβとすると、
下記となる。 ｘｂ＝ ｘａ＋α・・・・・・・・（３） ｙｂ＝ ｙａ＋β・・・・・・・・（４） ここに、α= ｘ３ｂ−ｘ２ｃ +ｘ４ｃ−ｘ１ａ・・・（５） β= ｙ３ｂ−ｙ２ｃ +ｙ４ｃ−ｙ１ａ・・・（６） 算出部２０３は上記（５）及び（６）式よりずれ量α、
β値を求めてＲＡＭ２０５に記憶することによりチップ
カメラ座標系と基板カメラ座標系の校正をすることがで
きる。
ａ、ｙ１ａ）は、ヘッド１２が下降し、チップ１０が基
板２の上に搭載される時には、基板カメラ座標系の位置
Ｐ４ｂ（ｘ４ｂ、ｙ４ｂ ）の点となる。すなわち、基
板カメラ座標系を基準として、基板カメラ（ｘｂ、ｙ
ｂ）とチップカメラ（ｘａ、ｙａ）との相対位置関係式
はＸ成分のずれ量をα、Ｙ成分のずれ量をβとすると、
下記となる。 ｘｂ＝ ｘａ＋α・・・・・・・・（３） ｙｂ＝ ｙａ＋β・・・・・・・・（４） ここに、α= ｘ３ｂ−ｘ２ｃ +ｘ４ｃ−ｘ１ａ・・・（５） β= ｙ３ｂ−ｙ２ｃ +ｙ４ｃ−ｙ１ａ・・・（６） 算出部２０３は上記（５）及び（６）式よりずれ量α、
β値を求めてＲＡＭ２０５に記憶することによりチップ
カメラ座標系と基板カメラ座標系の校正をすることがで
きる。
【００２３】実施の形態２．この発明の他の実施の形態
を図１，図４，図５によって説明する。この実施の形態
は、チップカメラ３２と基板カメラ３４とに傾きがある
場合、座標系において、該傾きを構成するものである。
図４に示すように、各座標系間に傾きが有った場合は、
基板カメラ座標系Ｘｂ−Ｙｂを基準とし、チップカメラ
座標系Ｘａ−Ｙａの傾きをθａｂ、相対位置カメラ座標
系Ｘｃ−Ｙｃの傾きをθｃｂとするとチップカメラ（ｘ
ａ'、ｙａ'）に対する基板カメラ（ｘｂ'、ｙｂ'）の相
対位置関係式は下記となる。 ｘｂ'＝ ｘａ'cosθab− ｙａ' sinθab＋α′・・・（７） ｙｂ'＝ ｘａ' sinθab＋ ｙａ' cosθab＋β′・・・（８） 上記（５），（６）式から類推して相対位置関係式はＸ
成分のずれ量をα′、Ｙ成分のずれ量をβ′とすると、
下記となる。 α′＝ｘ3b−ｘ2c ′ +ｘ4c′−ｘ1a′・・・（９） β′＝ｙ3b−ｙ2c ′ +ｙ4c′−ｙ1a′・・・（１０） ここに、ｘ2c′＝ｘ２ｃcosθcb−ｙ２ｃsinθcb ｘ4c′＝ｘ４ｃcosθcb−ｙ４ｃsinθcb ｘ1a′＝ｘ１ａcosθab−ｙ１ａsinθab ｙ2c′＝ｘ２ｃsinθcb+ｙ２ｃcosθcb ｙ4c′＝ｘ４ｃsinθcb+ｙ４ｃcosθcb ｙ1a′＝ｘ１ａsinθab+ｙ１ａcosθab である。
を図１，図４，図５によって説明する。この実施の形態
は、チップカメラ３２と基板カメラ３４とに傾きがある
場合、座標系において、該傾きを構成するものである。
図４に示すように、各座標系間に傾きが有った場合は、
基板カメラ座標系Ｘｂ−Ｙｂを基準とし、チップカメラ
座標系Ｘａ−Ｙａの傾きをθａｂ、相対位置カメラ座標
系Ｘｃ−Ｙｃの傾きをθｃｂとするとチップカメラ（ｘ
ａ'、ｙａ'）に対する基板カメラ（ｘｂ'、ｙｂ'）の相
対位置関係式は下記となる。 ｘｂ'＝ ｘａ'cosθab− ｙａ' sinθab＋α′・・・（７） ｙｂ'＝ ｘａ' sinθab＋ ｙａ' cosθab＋β′・・・（８） 上記（５），（６）式から類推して相対位置関係式はＸ
成分のずれ量をα′、Ｙ成分のずれ量をβ′とすると、
下記となる。 α′＝ｘ3b−ｘ2c ′ +ｘ4c′−ｘ1a′・・・（９） β′＝ｙ3b−ｙ2c ′ +ｙ4c′−ｙ1a′・・・（１０） ここに、ｘ2c′＝ｘ２ｃcosθcb−ｙ２ｃsinθcb ｘ4c′＝ｘ４ｃcosθcb−ｙ４ｃsinθcb ｘ1a′＝ｘ１ａcosθab−ｙ１ａsinθab ｙ2c′＝ｘ２ｃsinθcb+ｙ２ｃcosθcb ｙ4c′＝ｘ４ｃsinθcb+ｙ４ｃcosθcb ｙ1a′＝ｘ１ａsinθab+ｙ１ａcosθab である。
【００２４】また、前記各座標系間の傾きθａｂ、θｃ
ｂとすると下記のように表現できる。 θab＝−θAa＋θAb・・・・・・（１１） θcb＝−θBc＋θBb・・・・・・（１２） ここに、θAa＝チップカメラ座標系に対するカメラ用テ
ーブル座標系の傾き θAb＝基板カメラ座標系に対するカメラ用テーブル座標
系の傾き θBc＝基板用テーブル座標系に対する相対位置カメラ座
標系の傾き θBb＝基板カメラ座標系に対する基板用テーブル座標系
の傾き
ｂとすると下記のように表現できる。 θab＝−θAa＋θAb・・・・・・（１１） θcb＝−θBc＋θBb・・・・・・（１２） ここに、θAa＝チップカメラ座標系に対するカメラ用テ
ーブル座標系の傾き θAb＝基板カメラ座標系に対するカメラ用テーブル座標
系の傾き θBc＝基板用テーブル座標系に対する相対位置カメラ座
標系の傾き θBb＝基板カメラ座標系に対する基板用テーブル座標系
の傾き
【００２５】ここで、傾きθAa〜θBbを図５を参照して
下記のように求める。図5は、傾きθA a〜θBbを求める
ための基板カメラ座標系（ａ），チップカメラ座標系
（ｂ），相対位置座標系（ｃ）による説明図である。ま
ず、ヘッド１２に上レチクル１０３を吸着した状態にお
いて、チップカメラ３２は、上レチクル１０３のマーク
１０３ａを撮像し、図５（ｂ）に示すようにカメラ用テ
ーブル４０をＸ方向に微少移動ΔＸした後、マーク１０
３ａを撮像して、画像処理部２０１は、該二つのマーク
１０３ａのＹ軸成分の値から、第１の移動量Δｙ1値を
求めて算出部２０３は下式により傾きθAaを求めてＲＡ
Ｍ２０５に記憶する。 θAa＝ｓｉｎ-（Δｙ1／ΔＸ）・・・・・・（１3）
下記のように求める。図5は、傾きθA a〜θBbを求める
ための基板カメラ座標系（ａ），チップカメラ座標系
（ｂ），相対位置座標系（ｃ）による説明図である。ま
ず、ヘッド１２に上レチクル１０３を吸着した状態にお
いて、チップカメラ３２は、上レチクル１０３のマーク
１０３ａを撮像し、図５（ｂ）に示すようにカメラ用テ
ーブル４０をＸ方向に微少移動ΔＸした後、マーク１０
３ａを撮像して、画像処理部２０１は、該二つのマーク
１０３ａのＹ軸成分の値から、第１の移動量Δｙ1値を
求めて算出部２０３は下式により傾きθAaを求めてＲＡ
Ｍ２０５に記憶する。 θAa＝ｓｉｎ-（Δｙ1／ΔＸ）・・・・・・（１3）
【００２６】ヘッド１２に上レチクル１０３を吸着した
状態において、相対位置カメラ１０１は、マーク１０３
ａを撮像し、図５（ｃ）に示すように基板用テーブル６
をＸ方向に微少移動ΔＸした後、マーク１０３ａを撮像
して、画像処理部２０１は該二つのマーク１０５ａのＹ
軸成分の値から、第３の移動量Δｙ2値を求めて算出部
２０３は下式により傾きθBcを求めてＲＡＭ２０５に記
憶する。 θBc＝ｓｉｎ-（Δｙ2／ΔＸ）・・・・・・（１4）
状態において、相対位置カメラ１０１は、マーク１０３
ａを撮像し、図５（ｃ）に示すように基板用テーブル６
をＸ方向に微少移動ΔＸした後、マーク１０３ａを撮像
して、画像処理部２０１は該二つのマーク１０５ａのＹ
軸成分の値から、第３の移動量Δｙ2値を求めて算出部
２０３は下式により傾きθBcを求めてＲＡＭ２０５に記
憶する。 θBc＝ｓｉｎ-（Δｙ2／ΔＸ）・・・・・・（１4）
【００２７】基板カメラ３４は下レチクル１０５のマー
ク１０５ａを撮像し、図５（ａ）に示すようにカメラ用
テーブル４０又は基板用テーブル６をＸ方向に微少移動
した後、マーク１０５ａを撮像して、画像処理部２０１
は、該二つのマーク１０５ａのＹ軸成分の値を求めてか
ら、第２の移動量Δｙ3，第４の移動量Δｙ4を求めて算
出部２０３は下式により傾きθA b，θB bを求めてＲＡＭ
２０５に記憶することによりチップカメラ３２と基板カ
メラ３４とに生じた傾きをチップカメラ座標系と基板カ
メラ座標系において校正できる。 θAb＝ｓｉｎ-（Δｙ3／ΔＸ）・・・・・・（１5） θBb＝ｓｉｎ-（Δｙ4／ΔＸ）・・・・・・（１6） なお、上記実施の形態では、カメラ用テーブル４０及び
基板用テーブル６をＸ方向に移動して、移動量Δｙ1〜
Δｙ4を求めたが、カメラ用テーブル４０及び基板用テ
ーブル６をＹ方向に移動して、移動量Δｘ1〜Δｘ4を求
めても良い。
ク１０５ａを撮像し、図５（ａ）に示すようにカメラ用
テーブル４０又は基板用テーブル６をＸ方向に微少移動
した後、マーク１０５ａを撮像して、画像処理部２０１
は、該二つのマーク１０５ａのＹ軸成分の値を求めてか
ら、第２の移動量Δｙ3，第４の移動量Δｙ4を求めて算
出部２０３は下式により傾きθA b，θB bを求めてＲＡＭ
２０５に記憶することによりチップカメラ３２と基板カ
メラ３４とに生じた傾きをチップカメラ座標系と基板カ
メラ座標系において校正できる。 θAb＝ｓｉｎ-（Δｙ3／ΔＸ）・・・・・・（１5） θBb＝ｓｉｎ-（Δｙ4／ΔＸ）・・・・・・（１6） なお、上記実施の形態では、カメラ用テーブル４０及び
基板用テーブル６をＸ方向に移動して、移動量Δｙ1〜
Δｙ4を求めたが、カメラ用テーブル４０及び基板用テ
ーブル６をＹ方向に移動して、移動量Δｘ1〜Δｘ4を求
めても良い。
【００２８】また、上記実施の形態では、上レチクル１
０３を用いたが、ヘッド１２にマークを付けたり、ヘッ
ド１２の形状における特徴点をカメラで認識してヘッド
１２の位置を求めても良い。
０３を用いたが、ヘッド１２にマークを付けたり、ヘッ
ド１２の形状における特徴点をカメラで認識してヘッド
１２の位置を求めても良い。
【００２９】
【発明の効果】この発明によれば、第１及び第２の撮像
手段により撮像された情報に基づいて、第１及び第２の
撮像手段の第１，第２の座標系における上記第１，第２
の基準マークの第１，第２の位置を求めると共に、第３
の撮像手段により撮像された情報に基づいて第１，第２
の基準マークの上記第３の撮像手段の第３の座標系にお
ける上記第１，第２の基準マークの第３，第４の位置を
求める画像処理手段と、上記第１から第３の座標系の何
れかの座標系を基準にして上記第１、第２の位置を、上
記第３、第４の位置に基づいて校正量を求める校正量算
出手段と、を備えたので、第１の座標系の第１の基準マ
ークの位置と、第２の座標系の第２の基準マークの位置
とを、精度良く校正量を求めることができるという効果
がある。
手段により撮像された情報に基づいて、第１及び第２の
撮像手段の第１，第２の座標系における上記第１，第２
の基準マークの第１，第２の位置を求めると共に、第３
の撮像手段により撮像された情報に基づいて第１，第２
の基準マークの上記第３の撮像手段の第３の座標系にお
ける上記第１，第２の基準マークの第３，第４の位置を
求める画像処理手段と、上記第１から第３の座標系の何
れかの座標系を基準にして上記第１、第２の位置を、上
記第３、第４の位置に基づいて校正量を求める校正量算
出手段と、を備えたので、第１の座標系の第１の基準マ
ークの位置と、第２の座標系の第２の基準マークの位置
とを、精度良く校正量を求めることができるという効果
がある。
【００３０】他の発明によれば、第１及び第２の撮像手
段を固定すると共に、Ｘ，Ｙ方向に移動させる第１のテ
ーブルと、第３の撮像手段を固定すると共に、Ｘ，Ｙ方
向に移動させる第２のテーブルと、第１から第３の何れ
かの撮像手段を基準として、第１の撮像手段と第２の撮
像手段との傾きの校正量を求める傾き量算出手段を、備
えたので、第１の撮像手段と第２の撮像手段との傾きの
校正量を簡易に求めることができるという効果がある。
段を固定すると共に、Ｘ，Ｙ方向に移動させる第１のテ
ーブルと、第３の撮像手段を固定すると共に、Ｘ，Ｙ方
向に移動させる第２のテーブルと、第１から第３の何れ
かの撮像手段を基準として、第１の撮像手段と第２の撮
像手段との傾きの校正量を求める傾き量算出手段を、備
えたので、第１の撮像手段と第２の撮像手段との傾きの
校正量を簡易に求めることができるという効果がある。
【００３１】他の発明によれば、第１の撮像手段と第２
の撮像手段との傾きの校正量を簡易に演算できるという
効果がある。
の撮像手段との傾きの校正量を簡易に演算できるという
効果がある。
【００３２】他の発明によれば、第１及び第２の基準マ
ークと、第１から第３の撮像手段の撮影口と、をほぼ一
直線上にして撮像したので、第１から第３の撮像手段の
移動精度の影響を受けずに、校正量を求めることができ
るという効果がある。
ークと、第１から第３の撮像手段の撮影口と、をほぼ一
直線上にして撮像したので、第１から第３の撮像手段の
移動精度の影響を受けずに、校正量を求めることができ
るという効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態による電子部品の実装
装置を示す全体構成図である。
装置を示す全体構成図である。
【図２】 図１における、カメラユニットの撮影口と、
相対位置カメラと、上レチクル、下レチクルを一直線上
に配置した側面図である。
相対位置カメラと、上レチクル、下レチクルを一直線上
に配置した側面図である。
【図３】 図１における、チップカメラ座標系（ａ），
基板カメラ座標系（ｂ），相対位置座標系（ｃ）による
基準マークの認識画像図である。
基板カメラ座標系（ｂ），相対位置座標系（ｃ）による
基準マークの認識画像図である。
【図４】 この発明の他の実施の形態による基板カメラ
座標系（ａ），チップカメラ座標系（ｂ），相対位置座
標系（ｃ）による基準マークの認識画像図である。
座標系（ａ），チップカメラ座標系（ｂ），相対位置座
標系（ｃ）による基準マークの認識画像図である。
【図５】 この発明の他の実施の形態による傾きθAa〜
θBbを求めるための基板カメラ座標系（ａ），チップカ
メラ座標系（ｂ），相対位置座標系（ｃ）による説明図
である。
θBbを求めるための基板カメラ座標系（ａ），チップカ
メラ座標系（ｂ），相対位置座標系（ｃ）による説明図
である。
【図６】 従来の電子部品の実装装置を示す全体構成図
である。
である。
３０ｅ 撮影口、３２ チップカメラ（第１の撮像手
段）、３４ 基板カメラ（第２の撮像手段）、１０１
相対位置カメラ（第３の撮像手段）、１０３ 上レチク
ル（第１の対象物）、１０３ａ 上点マーク（第１の基
準マーク）、１０５ 下レチクル（第２の対象物）、１
０５ａ 下点マーク（第２の基準マーク）、２０１ 画
像処理部、２０５ 算出部（算出手段，傾き量算出手
段）。
段）、３４ 基板カメラ（第２の撮像手段）、１０１
相対位置カメラ（第３の撮像手段）、１０３ 上レチク
ル（第１の対象物）、１０３ａ 上点マーク（第１の基
準マーク）、１０５ 下レチクル（第２の対象物）、１
０５ａ 下点マーク（第２の基準マーク）、２０１ 画
像処理部、２０５ 算出部（算出手段，傾き量算出手
段）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永井 清春 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 岡村 将光 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 大賀 琢也 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5E313 AA02 AA11 CC04 DD03 DD13 EE03 EE24 EE35 EE37 FF24 FF26 FF28 FF29 FF32 FF40
Claims (5)
- 【請求項１】 第１の対象物に標された第１の基準マー
クを、撮像する第１の撮像手段と、 上記第１の対象物と反対方向に配置されると共に、第２
の対象物に標された第２の基準マークを撮像する第２の
撮像手段と、 上記第１及び第２の基準マークを撮像する第３の撮像手
段と、を備えた電子部品の実装装置であって、 上記第１及び第２の撮像手段により撮像された情報に基
づいて、上記第１及び第２の撮像手段の第１，第２の座
標系における上記第１，第２の基準マークの第１，第２
の位置を求めると共に、 上記第３の撮像手段により撮像された情報に基づいて上
記第１，第２の基準マークの上記第３の撮像手段の第３
の座標系における上記第１，第２の基準マークの第３，
第４の位置を求める画像処理手段と、 上記第１から第３の座標系の何れかの座標系を基準にし
て上記第１、第２の位置を、上記第３、第４の位置に基
づいて校正量を求める算出手段と、 を備えたことを特徴とする電子部品の実装装置。 - 【請求項２】 第１の対象物に標された第１の基準マー
クを、撮像する第１の撮像手段と、 上記第１の対象物と反対方向に配置されると共に、第２
の対象物に標された第２の基準マークを撮像する第２の
撮像手段と、 上記第１及び第２の基準マークを撮像する第３の撮像手
段と、備えた電子部品の実装方法において、 上記第１及び第２の撮像手段により撮像された情報に基
づいて、上記第１及び第２の撮像手段の第１，第２の座
標系における上記第１，第２の基準マークの第１，第２
の位置を求めるステップと、 上記第３の撮像手段により撮像された情報に基づいて上
記第１，第２の基準マークの上記第３の撮像手段の第３
の座標系における上記第１，第２の基準マークの第３，
第４の位置を求めるステップと、 上記第１から第３の座標系の何れかの座標系を基準にし
て上記第１、第２の位置を、上記第３、第４の位置に基
づいて校正量を求めるステップと、 を備えたことを特徴とする電子部品の実装方法。 - 【請求項３】 上記第１及び上記第２の撮像手段を固定
すると共に、Ｘ，Ｙ方向に移動させる第１のテーブル
と、 上記第３の撮像手段を固定すると共に、Ｘ，Ｙ方向に移
動させる第２のテーブルと、 上記第１から上記第３の何れかの撮像手段を基準とし
て、上記第１の座標系と上記第２の座標系との傾きの校
正量を求める傾き量算出手段を、 備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部
品の実装装置。 - 【請求項４】 上記第１のテーブルを移動して、上記第
１の撮像手段が上記第１の基準マークを撮像し、上記画
像処理手段が上記第１の座標系において第１の基準マー
クの第１の移動量を求めると共に、 上記第２の撮像手段が上記第２の基準マークを撮像し、
上記画像処理手段が第２の座標系において上記第２の基
準マークの第２の移動量を求め、 上記傾き量算出手段が上記第１及び第２の移動量に基づ
いて上記第１の座標系に対する上記第２の座標系の傾き
を求める算出ステップと、 上記第２のテーブルを移動して、上記第３の撮像手段が
上記第１の基準マークを撮像して、上記画像処理手段が
上記第３の座標系における上記第１の基準マークの第３
の移動量を求めると共に、 上記第２の撮像手段が上記第２の基準マークを撮像し
て、上記画像処理手段が上記第２の座標系において上記
第２の基準マークの第４の移動量を求め、 上記傾き量算出手段が上記第３及び第４の移動量に基づ
いて上記第２の座標系に対する上記第３の座標系の傾き
を求める算出ステップと、 を備えたことを特徴とする請求項３に記載の電子部品の
実装方法。 - 【請求項５】 上記第１及び第２の基準マークと、上記
第１から第３の撮像手段の撮影口と、をほぼ一直線上に
して撮像する、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品の実
装装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000036492A JP3785886B2 (ja) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | 電子部品の実装装置及びその実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000036492A JP3785886B2 (ja) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | 電子部品の実装装置及びその実装方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001230596A true JP2001230596A (ja) | 2001-08-24 |
| JP3785886B2 JP3785886B2 (ja) | 2006-06-14 |
Family
ID=18560536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000036492A Expired - Fee Related JP3785886B2 (ja) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | 電子部品の実装装置及びその実装方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3785886B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005231305A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Seiko Epson Corp | 複数ｉｊヘッド搭載サブキャリッジ組立機 |
| US7134188B2 (en) | 2002-08-30 | 2006-11-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Parts mounting apparatus |
| CN100461996C (zh) * | 2002-11-13 | 2009-02-11 | 富士机械制造株式会社 | 电子部件安装装置的校正方法及装置 |
| JP2017044472A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 富士機械製造株式会社 | カメラ用の測定装置および測定方法 |
-
2000
- 2000-02-15 JP JP2000036492A patent/JP3785886B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7200926B2 (en) | 2002-08-30 | 2007-04-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Parts mounting method |
| CN100461996C (zh) * | 2002-11-13 | 2009-02-11 | 富士机械制造株式会社 | 电子部件安装装置的校正方法及装置 |
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