JP2001219370A - ポリッシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬入、組立て、調整作業が容易なポリッシン
グ装置を提供する。 【解決手段】 本発明のポリッシング装置は、ターンテ
ーブルを回転支持する角形状のターンテーブル支持土台
フレーム６とターンテーブル支持土台フレーム６に設け
られてターンテーブルを回転駆動するターンテーブル駆
動用ユニット１と、ターンテーブル支持土台フレーム６
の少なくとも一側面部に対応する形状の土台フレーム２
Ａと土台フレーム２Ａ上に設けられた駆動部２Ｂとを有
してターンテーブルに設けられたピッチポリシャ盤７を
ドレッシングするドレッシングユニット２と、ターンテ
ーブル支持土台フレーム６の一側面部に対応する形状の
土台フレーム８と土台フレーム８上に設けられた駆動部
とを有して加工物を研磨する研磨ユニット３、４とを有
し、各土台フレームがターンテーブル支持土台フレーム
６に締結手段により連結されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、装置の搬入又は搬
送、組立て、調整作業の容易化と生産状況に応じたレイ
アウトの変更の容易化を図ることのできるポリッシング
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ポリッシング装置には、ター
ンテーブル駆動用土台フレームの内部にターンテーブル
をベアリングを介して回転可能に保持させ、ターンテー
ブル駆動用土台フレームの内部に駆動源としての電動機
と歯車、ベルト等の減速機構又は動力伝達機構を適正に
レイアウトして格納し、そのターンテーブル駆動用土台
フレームの上部に加工物を保持しつつ駆動する研磨装置
を設けると共に、ターンテーブルの表面若しくはその上
に貼り付けられたピッチポリシャ盤の表面を適正な状態
に維持するためにピッチポリシャ盤の表面をドレッシン
グするドレッシング装置（ツルーイング装置）が適宜適
正箇所に配設したものが知られている。

【０００３】また、ポリッシング装置には、ターンテー
ブル駆動用土台フレームの側面にコラムを張り出させて
設け、このコラムに研磨装置、ドレッシング装置を取り
付け、ポリッシング装置の搬送、搬入の際には、この研
磨装置、ドレッシング装置を分解できるようにした構成
のものも知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来のポリッシング装置は、いずれもターンテーブル駆動
用土台フレームが、ターンテーブルの大きさに比例して
その大きさが確定する箱型形状であり、ターンテーブル
が大きくなると、そのターンテーブルの大きさに比例し
てターンテーブル駆動用土台フレームが大きくなり、こ
のターンテーブル駆動用土台フレームの余剰空間に研磨
装置、ドレッシング装置を組み付けたままで、一括して
搬入することが困難なものとなる。

【０００５】例えば、ターンテーブル駆動用土台フレー
ムの上部に研磨装置、ドレッシング装置を配設したポリ
ッシング装置では、ターンテーブルの直径の約１．２倍
から１．５倍程度の一辺の長さを有する土台寸法が必要
になり、大型のポリッシング装置、例えば、直径が約２
ｍのターンテーブルを有するポリッシング装置では、土
台フレームだけで搬入困難な寸法及び重量の構造体とな
って、ポリッシング装置の搬入又は搬送、組立て、調整
作業の容易化と生産状況に応じたレイアウトの変更が容
易でないという問題がある。

【０００６】また、ターンテーブル駆動用土台フレーム
の側面にコラムを設けて、このコラムに研磨装置、ドレ
ッシング装置を取り付けた構成のものでは、土台フレー
ムの寸法をターンテーブルの直径よりも小さくすること
はできるが、その搬入、組立て、調整作業が容易でない
という問題がある。

【０００７】本発明は、上記の事情に鑑みて為されたも
ので、その目的とするところは、搬入、組立て、調整作
業が容易なポリッシング装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のポリッ
シング装置は、ターンテーブルを回転支持する角形状の
ターンテーブル支持土台フレームと該ターンテーブル支
持土台フレームに設けられて前記ターンテーブルを回転
駆動するターンテーブル駆動用ユニットと、前記ターン
テーブル支持土台フレームの少なくとも一側面部に対応
する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設けられ
た駆動部とを有して前記ターンテーブルに設けられたピ
ッチポリシャ盤をドレッシングするドレッシングユニッ
トと、前記ターンテーブル支持土台フレームの一側面部
に対応する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設
けられた駆動部とを有して加工物を研磨する研磨ユニッ
トとを有し、各土台フレームが前記ターンテーブル支持
土台フレームに締結手段により連結されていることを特
徴とする。

【０００９】請求項２に記載のポリッシング装置は、請
求項１に記載のポリッシング装置において、前記研磨ユ
ニットは加工物を回転可能に保持する駆動リングを有す
る回転型研磨ユニットであることを特徴とする。

【００１０】請求項３に記載のポリッシング装置は、請
求項１に記載のポリッシング装置において、前記研磨ユ
ニットは加工物を前記ターンテーブルの半径方向に往復
動可能な往復動基盤を有する往復型研磨ユニットである
ことを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１において、１はターンテーブ
ルを駆動するターンテーブル駆動用ユニットである。こ
のターンテーブル駆動用ユニット２は図２（ａ）に拡大
して示すようにターンテーブル支持土台フレーム６を有
する。このターンテーブル支持土台フレーム６は図２
（ｂ）に示すように上面から見て変形の６角形状を呈し
ている。このターンテーブル支持土台フレーム６の上面
にはグラナイト製のターンテーブル（図示を略す）がベ
アリング（図示を略す）を介して設けられ、このターン
テーブルにはピッチポリシャ盤７が貼り付けられてい
る。そのターンテーブルの直径はピッチポリシャ盤７の
外径と略同径で、ターンテーブル支持土台フレーム６の
外径はそのターンテーブルの直径よりも小さい。

【００１２】ターンテーブル支持土台フレーム６の内部
には電動機等の駆動源、この駆動源の動力を伝達する回
転伝達機構が配設され、これによって駆動源の回転がタ
ーンテーブルに伝達されて、ターンテーブルが回転され
る。

【００１３】そのターンテーブル支持土台フレーム６は
６個の側面部６ａ〜６ｆを有する。側面部６ａ〜６ｃを
基準にして、図１に示すドレッシングユニットとしての
ツルーイング装置２が配設されて組立てられる。図３は
そのツルーイング装置２の配設状態を示す。このツルー
イング装置２は土台フレーム２Ａとピッチポリシャ盤７
をドレッシングするドレッシング機構を含む駆動部２Ｂ
とを有し、その詳細については、特願平１１−１２４５
２１号に詳述されているので、その詳細な説明は省略す
る。

【００１４】そのターンテーブル支持土台フレーム６の
側面部６ｄには、図４に示すように駆動部を有して加工
物を研磨する研磨ユニットしての回転型研磨装置３が配
設されて組み立てられる。この回転型研磨装置３は、図
５に詳細に示すように、土台フレーム８を有する。この
土台フレーム８はターンテーブル支持土台フレーム６
ｄ、６ｅ、６ｆのいずれかと連結できるように、その正
面の寸法と締結手段としての締結ネジの配置位置とが整
合されている。

【００１５】土台フレーム８には中間フレーム２３を介
して基盤１７が取り付けられている。この基盤１７には
円錐形ガイドローラ１３が取り付けられ、この円錐形ガ
イドローラ１３には駆動リング９が回転可能に支持され
ている。その円錐形ガイドローラ１３の外径形状と駆動
リング９の外径形状とは適合している。駆動リング９
は、その円錐形ガイドローラ１３によって、加工物とリ
ングポリッシャ盤７との間に発生する摩擦抵抗に起因す
るラジアル方向、スラスト方向の荷重、モーメント荷重
が吸収される。

【００１６】この駆動リング９は加工物を回転可能に保
持する。この駆動リング９はその内側に複数個のブラケ
ット部材１０を有する。このブラケット部材１０はネジ
（図示を略す）により駆動リング９に取り付けられる。
このブラケット部材１０の下部には樹脂製の加工物保持
用プレート１１が吊り下げられている。

【００１７】この加工物保持用プレート１１の下面とピ
ッチポリシャ盤７の表面とのギャップを約２ｍｍ程度に
調整できるように、ブラケット部材１０の駆動リング９
へのネジ取り付け穴は上下方向に長穴に形成されてい
る。

【００１８】その加工物保持用プレート１１は加工物の
輪郭形状よりもその輪郭形状が１〜２ｍｍ程度大きな保
持穴が設けられ、加工物は側面方向に適度のガタを有し
てこの保持穴に保持された状態で研磨される。

【００１９】土台フレーム８の下部には、駆動リング９
の旋回面とリングポリッシャ盤７の旋回面との傾きを調
整できるようにレベル調整ネジ１２が設けられている。

【００２０】基盤１７にはモータ１４が設けられ、モー
タ１４の出力軸にはプーリが取り付けられ、そのプーリ
の回転は摩擦車１５にタイミングベルト（図示を略す）
を介して伝達される。そのタイミングベルトは安全カバ
ー１６の内部に設けられている。その摩擦車１５は駆動
リング９に摩擦接触され、駆動リング９の回転トルクは
その摩擦車１５によって与えられる。

【００２１】中間フレーム２３には回転軸１８が設けら
れ、基盤１７はこの回転軸１８を中心にして上方に持ち
上げ可能とされ、これによってメンテナンス作業などを
行うことができる。

【００２２】基盤１７には駆動リング９の設置端部とは
反対側の端部に重錘１９が取り付けられると共に、握り
部２０が取り付けられている。その重錘１９は基盤１７
の持ち上げの容易化を図るためのもので、基盤１７の持
ち上げの際には、握り部２０を掴んで下方に向けて体重
をかければ良い。

【００２３】基盤１７の両側部には固定ネジ２１が設け
られ、この固定ネジ２１は基盤１７を持ち上げた状態で
固定するためのものであり、これによって、基盤１７を
持ち上げた状態で、メンテナンス作業などの作業を安全
に行うことができる。基盤１７には左右に一対のクラン
プレバー２２が設けられ、このクランプレバー２２は基
盤１７を持ち下げた状態で固定するためのもので、これ
によって研磨を行う場合に基盤１７が固定され、研磨作
業を安全に行うことができる。

【００２４】土台フレーム８と中間フレーム２３との間
には中間フレーム用すべり台２４が設けられ、中間フレ
ーム用すべり台２４の下部には自己潤滑性を有する樹脂
材２５が貼り付けられ、中間フレーム用すべり台２４は
ガイド部材２６にスライド可能に支持されている。

【００２５】その中間フレーム用すべり台２４にはハン
ドル２７が取り付けられ、ハンドル２７を回転させると
ネジ棒２８が回転して、中間フレーム２３と一体に基盤
１７がリングポリッシャ盤７の半径方向に進退され、こ
れによって、リングポリッシャ盤７に対する駆動リング
盤９の位置調整が行われる。

【００２６】中間フレーム２３と中間フレーム用すべり
台２４との間には、自己潤滑性を有する樹脂材２９が設
けられている。また、中間フレーム２３と中間フレーム
用すべり台２４とは左右一対のクランプレバー３０によ
って一体的にクランプされ、クランプレバー３０による
クランプを解除すると、中間フレーム２３は中間フレー
ム用すべり台２４に対してフランジ部３１に支持された
軸部の回りに旋回可能となり、基盤１７の旋回角度を調
整できる。

【００２７】そのターンテーブル支持土台フレーム６の
側面部６ｅ、６ｆには、図６に示すように、研磨ユニッ
トしての往復動型研磨装置４が配設されている。この往
復動型研磨装置４は図７（ａ）、図７（ｂ）に示すよう
に、土台フレーム３２を有する。この土台フレーム３２
はターンテーブル支持土台フレーム６ｄ、６ｅ、６ｆと
連結できるように、その正面の寸法と締結ネジの配設位
置とが整合されている。

【００２８】土台フレーム３２には中間フレーム５７を
介して往復動基盤３９が設けられている。往復動基盤３
９には駆動フォーク部材３３が設けられている。この駆
動フォーク部材３３には一対のブラケット部材３３ａが
設けられている。この一対のブラケット部材３３ａの下
方には複数個の支持棒３４を介して樹脂製の加工物保持
用プレート３５が吊り下げられている。駆動フォーク部
材３３の背面には保持板３６が設けられている。

【００２９】往復動基盤３９には４本のリニアシャフト
４１とリニアガイド４２とが設けられている。そのリニ
アシャフト４１の上端部には天井板４０が設けられてい
る。その天井板４０にはジャッキ装置３７が設けられて
いる。

【００３０】このジャッキ装置３７は出力軸３７’、ハ
ンドル４４、入力軸４３を有している。ジャッキ装置３
７の出力軸３７’には高さ調整板３８が取り付けられ、
保持板３６はその高さ調整板３８上に取り付けられてい
る。

【００３１】その高さ調整板３８はリニアガイドシャフ
ト４１とリニアガイド４２とに案内されて垂直方向に摺
動可能とされ、ハンドル４４を操作して回転角を入力す
ると、入力軸４３を介して出力軸３７’に伝達され、こ
れによって、高さ調整板３８は摺動可能な範囲内で所望
の位置に高さ調整されてセルフロックされる。

【００３２】これによって、加工物保持用プレート３５
の下面とピッチポリシャ盤７の表面とのギャップを容易
に調整することができ、その間隔は約２ｍｍ程度が望ま
しい。土台フレーム３２の下部には、往復動基盤３９の
往復面とピッチポリシャ盤７の旋回面との傾きを調整で
きるようにレベル調整ネジ５４が設けられている。

【００３３】加工物保持用プレート３５には、加工物の
輪郭形状よりもその輪郭形状が１〜２ｍｍ程度大きな保
持穴が設けられ、加工物はこの保持穴に設置されて適度
なガタを有して保持されつつ研磨されるものである。

【００３４】保持板３６と高さ調整板３８との間には自
己潤滑性を有する樹脂材４５が介在され、この樹脂材４
５は保持板３６に貼り付けられている。高さ調整板３８
には往復方向に延びる一対のガイド部材４６が設けら
れ、保持板３６は一対のガイド部材４６に案内されてピ
ッチポリシャ盤７の半径方向に進退可能であり、これに
よって保持板３６のピッチポリシャ盤７に対する位置調
整が行われる。

【００３５】保持板３６には長穴が形成され、この長穴
にボルトを挿通して高さ調整板３８にネジ締結すること
により、保持板３６は高さ調整板３８に固定される。

【００３６】中間フレーム５７にはその上部に直線ガイ
ド基盤５６が取り付けられ、この直線ガイド基盤５６に
は一対の直線ガイド部材４８が設けられている。往復動
基盤３９にはその下部に４個の円錐形ガイドローラ４７
が取り付けられ、直線ガイド部材４８にはこの円錐形ガ
イドローラ４７に対応する形状のガイド溝が形成され、
円錐形ガイドローラ４７はそのガイド溝に摺動可能に嵌
合され、これによって、往復動基盤３９は直線ガイド基
盤５６に対して相対移動可能に支持される。その円錐形
ガイドローラ４７は加工物とピッチポリシャ盤７との間
の摩擦抵抗に起因する荷重モーメントを吸収する役割を
果たす。

【００３７】土台フレーム３２の上部には、モータ４９
が取り付けられ、モータ４９の出力軸にはプーリが取り
付けられ、直線ガイド基盤５６にはクランク軸５０が設
けられ、そのクランク軸５０にはプーリが設けられ、そ
の一対のプーリは安全カバー５１内のタイミングベルト
によって連結されている。そのクランク軸５０にはクラ
ンク旋回板５５が設けられ、このクランク旋回板５５に
は係合ピン５２が突設されている。往復動基盤３９には
その係合ピン５２と係合する係合板５３が設けられてい
る。往復動基盤３９はそのクランク軸５０の回転によっ
て直線方向に往復動され、これによって、駆動フォーク
部材３３がピッチポリシャ盤７の半径方向に往復動され
る。

【００３８】係合ピン５２のクランク軸５０に対する偏
心量は、クランク旋回板５５の図示を略す移動調整ネジ
を操作することによって行うことができ、これにより、
駆動フォーク部材３３の往復動振幅を調整可能である。

【００３９】土台フレーム３２と中間フレーム５７との
間には、自己潤滑性を有する樹脂材５８が介在されてい
る。その中間フレーム５７には左右一対のクランプレバ
ー５９が設けられ、このクランプレバー５９によるクラ
ンプを解除すると、中間フレーム５７はフランジ６０の
軸回りに旋回可能となり、これによって、土台フレーム
３２に対する中間フレーム５７の旋回角度を調整でき
る。

【００４０】このポリッシング装置には、作業台５を適
宜配設することもでき、この作業台５は図８に拡大して
示すように、工具、加工物の載置板６２、手摺り６１等
を有し、この作業台５の下部には図示を略すキャスター
が設けられている。

【００４１】この作業台５は加工物の着脱作業、ポリッ
シング装置のメンテナンス作業を行うときに用いられ
る。

【００４２】本発明によれば、装置搬入後、ターンテー
ブル駆動用ユニットの周囲に放射状にドレッシングユニ
ット、研磨ユニットが組み立てられる。

【００４３】この発明の実施の形態では、回転型研磨装
置３をターンテーブル支持土台フレーム６の側面部６ｄ
に設け、往復動型研磨装置４をターンテーブル支持土台
フレーム６の側面部６ｅ、６ｆに設けることとして説明
したが、往復動型研磨装置４を側面部６ｄに設け、回転
型研磨装置３を側面部６ｅ、６ｆに設けることもでき
る。

【００４４】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように、ターン
テーブル支持土台フレームとは別個に、ドレッシング装
置、研磨装置に独立して土台フレームを設けてドレッシ
ング装置のユニット化、研磨装置のユニット化を図り、
これらの連結部分の寸法の共通化を図ることにしたの
で、ターンテーブル支持用土台フレームの寸法をターン
テーブルの直径に応じて大きくする必要がなく、また、
搬入、組立て、生産状況に応じたレイアウト変更等の調
整作業が容易であるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係わるポリッシング装置の配設状態
を示す斜視図である。

【図２】 図１に示すターンテーブル駆動用ユニットを
示し、（ａ）その駆動用ユニットの全体構成を示す斜視
図であり、（ｂ）は（ａ）に示すターンテーブル支持土
台フレームの平面図である。

【図３】 図２に示すターンテーブル駆動用ユニットに
ツルーイング装置を配設した状態を拡大して示す斜視図
である。

【図４】 図３に示すターンテーブル駆動用ユニットに
回転型研磨装置を配設した状態を示す斜視図である。

【図５】 図４に示す回転型研磨装置の拡大斜視図であ
る。

【図６】 図４に示すターンテーブル駆動用ユニットに
往復動型研磨装置を配設した状態を示す斜視図である。

【図７】 図６に示す往復動型研磨装置の拡大斜視図で
あり、（ａ）はその往復動型研磨装置をターンテーブル
駆動用ユニットの側から目視した正面側斜視図であり、
（ｂ）は（ａ）に示す往復動型研磨装置の背面側から目
視した状態を示す斜視図である。

【図８】 図１に示す作業台の拡大斜視図である。

【符号の説明】

１ ターンテーブル駆動用ユニット１ ２ ツルーイング装置（ドレッシングユニット） ２Ａ 土台フレーム ２Ｂ 駆動部 ３ 回転型研磨装置（研磨ユニット） ４ 往復動型研磨装置（研磨ユニット） ６ ターンテーブル支持土台フレーム ７ ピッチポリシャ盤 ８ 土台フレーム

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ターンテーブルを回転支持する角形状の
   ターンテーブル支持土台フレームと該ターンテーブル支
   持土台フレームに設けられて前記ターンテーブルを回転
   駆動するターンテーブル駆動用ユニットと、前記ターン
   テーブル支持土台フレームの少なくとも一側面部に対応
   する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設けられ
   た駆動部とを有して前記ターンテーブルに設けられたピ
   ッチポリシャ盤をドレッシングするドレッシングユニッ
   トと、前記ターンテーブル支持土台フレームの一側面部
   に対応する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設
   けられた駆動部とを有して加工物を研磨する研磨ユニッ
   トとを有し、各土台フレームが前記ターンテーブル支持
   土台フレームに締結手段により連結されていることを特
   徴とするポリッシング装置。
2. 【請求項２】 前記研磨ユニットは加工物を回転可能に
   保持する駆動リングを有する回転型研磨ユニットである
   ことを特徴とする請求項１に記載のポリッシング装置。
3. 【請求項３】 前記研磨ユニットは加工物を前記ターン
   テーブルの半径方向に往復動可能な往復動基盤を有する
   往復型研磨ユニットであることを特徴とする請求項１に
   記載のポリッシング装置。