JP2001218422A - 中空アクチュエータ - Google Patents
中空アクチュエータInfo
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- JP2001218422A JP2001218422A JP2000027044A JP2000027044A JP2001218422A JP 2001218422 A JP2001218422 A JP 2001218422A JP 2000027044 A JP2000027044 A JP 2000027044A JP 2000027044 A JP2000027044 A JP 2000027044A JP 2001218422 A JP2001218422 A JP 2001218422A
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- actuator
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- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 中空モータと中空型波動歯車減速機からなる
中空アクチュエータにおける双方の部分の間の同心度を
確保し、回転伝達精度の向上、振動の低減を図ること。 【解決手段】 中空アクチュエータ１は、中空モータ２
と中空型波動歯車減速機３を有し、中空モータ２の中空
回転軸２１を回転自在に支持するためのモータ軸受け支
持部材７の外周側部分には軸円１ａの方向に突出した円
環状突出部７１が形成され、この円形内周面に内歯７２
が形成されている。この部分（７１、７２）が中空型波
動歯車減速機３の剛性内歯歯車３１として機能する。中
空モータおよび中空型波動歯車減速機の固定側部材であ
るモータ軸受け支持部材および剛性内歯歯車を単一部品
としてあるので、双方の同心度を精度良く確保できるの
で、回転伝達精度の向上、振動・騒音の低減を図ること
ができる。
中空アクチュエータにおける双方の部分の間の同心度を
確保し、回転伝達精度の向上、振動の低減を図ること。 【解決手段】 中空アクチュエータ１は、中空モータ２
と中空型波動歯車減速機３を有し、中空モータ２の中空
回転軸２１を回転自在に支持するためのモータ軸受け支
持部材７の外周側部分には軸円１ａの方向に突出した円
環状突出部７１が形成され、この円形内周面に内歯７２
が形成されている。この部分（７１、７２）が中空型波
動歯車減速機３の剛性内歯歯車３１として機能する。中
空モータおよび中空型波動歯車減速機の固定側部材であ
るモータ軸受け支持部材および剛性内歯歯車を単一部品
としてあるので、双方の同心度を精度良く確保できるの
で、回転伝達精度の向上、振動・騒音の低減を図ること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、中空モータおよび
中空型波動歯車減速機から構成され、中心を貫通して延
びる中空部を備えている中空アクチュエータに関するも
のである。
中空型波動歯車減速機から構成され、中心を貫通して延
びる中空部を備えている中空アクチュエータに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】精密工作機械などの回転駆動源として、
中空部が中心を貫通している形状の中空アクチュエータ
が利用されており、この中空アクチュエータは中空型の
ＡＣサーボモータと中空型の減速機から構成されてい
る。
中空部が中心を貫通している形状の中空アクチュエータ
が利用されており、この中空アクチュエータは中空型の
ＡＣサーボモータと中空型の減速機から構成されてい
る。
【０００３】ここで、この種の中空アクチュエータとし
ては、中空モータと中空型波動歯車減速機が同軸状態に
配置された構成のものが提案されている。
ては、中空モータと中空型波動歯車減速機が同軸状態に
配置された構成のものが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、中空
モータと中空型波動歯車減速機が同軸状態に配列された
構成の中空アクチュエータにおける回転精度の向上およ
び振動の低減を図ることにある。
モータと中空型波動歯車減速機が同軸状態に配列された
構成の中空アクチュエータにおける回転精度の向上およ
び振動の低減を図ることにある。
【０００５】また、本発明の課題は、かかる中空アクチ
ュエータの部品点数を削減することにある。
ュエータの部品点数を削減することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、中空モータと、この中空モータに同軸
状態で隣接配置されている中空型波動歯車減速機とを有
し、当該中空型波動歯車減速機は、環状の剛性内歯歯車
と、この内側に配置された可撓性外歯歯車と、この内側
に嵌め込まれた中空型の波動発生器とを備え、当該波動
発生器が前記中空モータの中空回転軸に連結固定されて
いる中空アクチュエータにおいて、前記中空モータの中
空回転軸は、軸受けを介してモータ軸受け支持部材によ
って、アクチュエータハウジングの側に回転自在の状態
で支持されており、前記モータ軸受け支持部材は、内周
面に内歯が形成された円環状部分を備えており、当該円
環状部分が前記中空型波動歯車減速機の前記剛性内歯歯
車であることを特徴としている。換言すると、前記モー
タ軸受け支持部材と前記剛性内歯歯車を単一部品として
製造したことを特徴としている。
めに、本発明は、中空モータと、この中空モータに同軸
状態で隣接配置されている中空型波動歯車減速機とを有
し、当該中空型波動歯車減速機は、環状の剛性内歯歯車
と、この内側に配置された可撓性外歯歯車と、この内側
に嵌め込まれた中空型の波動発生器とを備え、当該波動
発生器が前記中空モータの中空回転軸に連結固定されて
いる中空アクチュエータにおいて、前記中空モータの中
空回転軸は、軸受けを介してモータ軸受け支持部材によ
って、アクチュエータハウジングの側に回転自在の状態
で支持されており、前記モータ軸受け支持部材は、内周
面に内歯が形成された円環状部分を備えており、当該円
環状部分が前記中空型波動歯車減速機の前記剛性内歯歯
車であることを特徴としている。換言すると、前記モー
タ軸受け支持部材と前記剛性内歯歯車を単一部品として
製造したことを特徴としている。
【０００７】このように、本発明の中空アクチュエータ
では、中空モータの中空回転軸を支持しているモータ軸
受け支持部材に中空型波動歯車減速機の剛性内歯歯車が
一体形成されている。従って、中空モータの中空回転軸
と剛性内歯歯車の同心度を確保できる。また、中空回転
軸には波動発生器が連結固定されており、これらの同心
度が確保されている。よって、これら剛性内歯歯車およ
び波動発生器の間に挟まれている可撓性外歯歯車と中空
回転軸との間の同心度も確保できる。この結果、中空モ
ータと中空型波動歯車減速機を精度良く同心状態に連結
することができ、軸ずれ等に起因して発生する振動を低
減できる。
では、中空モータの中空回転軸を支持しているモータ軸
受け支持部材に中空型波動歯車減速機の剛性内歯歯車が
一体形成されている。従って、中空モータの中空回転軸
と剛性内歯歯車の同心度を確保できる。また、中空回転
軸には波動発生器が連結固定されており、これらの同心
度が確保されている。よって、これら剛性内歯歯車およ
び波動発生器の間に挟まれている可撓性外歯歯車と中空
回転軸との間の同心度も確保できる。この結果、中空モ
ータと中空型波動歯車減速機を精度良く同心状態に連結
することができ、軸ずれ等に起因して発生する振動を低
減できる。
【０００８】ここで、本発明の中空アクチュエータは、
上記構成の加えて、前記中空モータおよび前記中空型波
動歯車減速機の中空部を貫通して延びている中空回転出
力軸を有し、当該中空回転出力軸が、前記中空モータの
中空回転軸を回転自在の状態で貫通し、前記中空型波動
歯車減速機の可撓性外歯歯車が前記中空回転出力軸の外
周面に固定された構成とすることができる。
上記構成の加えて、前記中空モータおよび前記中空型波
動歯車減速機の中空部を貫通して延びている中空回転出
力軸を有し、当該中空回転出力軸が、前記中空モータの
中空回転軸を回転自在の状態で貫通し、前記中空型波動
歯車減速機の可撓性外歯歯車が前記中空回転出力軸の外
周面に固定された構成とすることができる。
【０００９】この構成によれば、中空アクチュエータの
出力回転を当該中空アクチュエータのいずれの側からも
取出すことができるので、レイアウトの自由度が増す。
また、駆動制御のために当該中空回転出力軸の回転位置
を検出するためのロータリエンコーダ等の回転位置検出
機構も、簡単に取り付けることができる。
出力回転を当該中空アクチュエータのいずれの側からも
取出すことができるので、レイアウトの自由度が増す。
また、駆動制御のために当該中空回転出力軸の回転位置
を検出するためのロータリエンコーダ等の回転位置検出
機構も、簡単に取り付けることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
を適用した中空アクチュエータの実施例を説明する。
を適用した中空アクチュエータの実施例を説明する。
【００１１】図１は本例の中空アクチュエータを示す半
断面図である。この図を参照して説明すると、本例の中
空アクチュエータ１は、中空型のＡＣサーボモータ（以
下、中空モータと呼ぶ）２と、これに隣接配置した中空
型波動歯車減速機３と、中空モータ２における中空型波
動歯車減速機３の反対側に隣接配置した回転位置検出器
４とを有している。
断面図である。この図を参照して説明すると、本例の中
空アクチュエータ１は、中空型のＡＣサーボモータ（以
下、中空モータと呼ぶ）２と、これに隣接配置した中空
型波動歯車減速機３と、中空モータ２における中空型波
動歯車減速機３の反対側に隣接配置した回転位置検出器
４とを有している。
【００１２】中空モータ２および中空型波動歯車減速機
３はアクチュエータハウジング５に内蔵されている。こ
のアクチュエータハウジング５は、円筒ハウジング５１
と、この円筒ハウジング５１における中空型波動歯車減
速機３側の端面開口を覆っている端面ハウジング５２
と、円筒ハウジング５１における中空モータ２側の端面
開口を覆っている端面ハウジング５３を備えている。回
転位置検出器４は、この端面ハウジング５３の外側に取
り付けたカップ状のキャップ５４により覆われている。
３はアクチュエータハウジング５に内蔵されている。こ
のアクチュエータハウジング５は、円筒ハウジング５１
と、この円筒ハウジング５１における中空型波動歯車減
速機３側の端面開口を覆っている端面ハウジング５２
と、円筒ハウジング５１における中空モータ２側の端面
開口を覆っている端面ハウジング５３を備えている。回
転位置検出器４は、この端面ハウジング５３の外側に取
り付けたカップ状のキャップ５４により覆われている。
【００１３】中空モータ２は、その中心を貫通状態に配
置した中空回転軸２１を有し、この中空回転軸２１の外
周面にモータロータ２２が固定され、当該モータロータ
２２の外周を一定のギャップをおいてモータステータ２
３が取り囲んでいる。モータステータ２３は、円筒ハウ
ジング５１の内周面に固定されている。
置した中空回転軸２１を有し、この中空回転軸２１の外
周面にモータロータ２２が固定され、当該モータロータ
２２の外周を一定のギャップをおいてモータステータ２
３が取り囲んでいる。モータステータ２３は、円筒ハウ
ジング５１の内周面に固定されている。
【００１４】中空回転軸２１の一方の部分は、端面ハウ
ジング５３の中心に開けた円形開口５３ａに取り付けた
モータ軸受け６によって回転自在に支持されている。ま
た、当該中空回転軸２１の他方側の部分は、モータ軸受
け支持部材７の中心開口７ａに取り付けたモータ軸受け
８によって回転自在に支持されている。
ジング５３の中心に開けた円形開口５３ａに取り付けた
モータ軸受け６によって回転自在に支持されている。ま
た、当該中空回転軸２１の他方側の部分は、モータ軸受
け支持部材７の中心開口７ａに取り付けたモータ軸受け
８によって回転自在に支持されている。
【００１５】ここで、このモータ軸受け支持部材７の外
周側部分は筒状ハウジング５１の内周面に固定されてお
り、中空モータ２と中空型波動歯車減速機３との間を仕
切る仕切り板として機能する。また、後述するように、
中空型波動歯車減速機３の剛性内歯歯車としても機能す
る。
周側部分は筒状ハウジング５１の内周面に固定されてお
り、中空モータ２と中空型波動歯車減速機３との間を仕
切る仕切り板として機能する。また、後述するように、
中空型波動歯車減速機３の剛性内歯歯車としても機能す
る。
【００１６】次に、本例の中空型波動歯車減速機３は、
円環状の剛性内歯歯車３１と、この内側に配置されてい
るカップ状の可撓性外歯歯車３２と、この内側に嵌め込
まれている楕円形輪郭をした波動発生器３３とを備えて
いる。剛性内歯歯車３１は、上記のモータ軸受け支持部
材７の外周側部分からアクチュエータ軸線１ａの方向に
円環状に突出している円環状突出部７１の円形内周面に
内歯７２を形成した構成となっている。換言すると、本
例の剛性内歯歯車３１と上記のモータ軸受け支持部材７
とは単一部品として製造されている。
円環状の剛性内歯歯車３１と、この内側に配置されてい
るカップ状の可撓性外歯歯車３２と、この内側に嵌め込
まれている楕円形輪郭をした波動発生器３３とを備えて
いる。剛性内歯歯車３１は、上記のモータ軸受け支持部
材７の外周側部分からアクチュエータ軸線１ａの方向に
円環状に突出している円環状突出部７１の円形内周面に
内歯７２を形成した構成となっている。換言すると、本
例の剛性内歯歯車３１と上記のモータ軸受け支持部材７
とは単一部品として製造されている。
【００１７】この剛性内歯歯車３１に噛み合っているカ
ップ状の可撓性外歯歯車３２は、円筒部３４と、この一
端から半径方向の内側に連続している円環状のダイヤフ
ラム３５と、このダイヤフラム３５の内周縁に連続して
いる円環状のボス３６と、円筒部３４の他端部分の外周
面に形成された外歯３７とを備えている。波動発生器３
３は、楕円形輪郭をした剛性カム板３８と、この剛性カ
ム板３８の外周に嵌めたボールベアリング３９を備え、
剛性カム板３８は中空モータ２の中空回転軸２１の外周
面に固定されている。
ップ状の可撓性外歯歯車３２は、円筒部３４と、この一
端から半径方向の内側に連続している円環状のダイヤフ
ラム３５と、このダイヤフラム３５の内周縁に連続して
いる円環状のボス３６と、円筒部３４の他端部分の外周
面に形成された外歯３７とを備えている。波動発生器３
３は、楕円形輪郭をした剛性カム板３８と、この剛性カ
ム板３８の外周に嵌めたボールベアリング３９を備え、
剛性カム板３８は中空モータ２の中空回転軸２１の外周
面に固定されている。
【００１８】可撓性外歯歯車３２の円環状のボス３６
は、その外周面が端面ハウジング５２の中心開口５２ａ
の内周面に固定されている。このボス３６の内周面は、
そこを貫通している中空回転出力軸９の外周面に固定さ
れている。
は、その外周面が端面ハウジング５２の中心開口５２ａ
の内周面に固定されている。このボス３６の内周面は、
そこを貫通している中空回転出力軸９の外周面に固定さ
れている。
【００１９】ここで、中空回転出力軸９は、中空モータ
２の中空回転軸２１の内部（中空部）を貫通して延びて
おり、当該中空回転軸２１の内周面によって回転自在の
状態で支持されている。本例では、この中空回転出力軸
９は、中空アクチュエータ全長に渡って延び、この軸に
よってアクチュエータ中空部１０が形成されている。
２の中空回転軸２１の内部（中空部）を貫通して延びて
おり、当該中空回転軸２１の内周面によって回転自在の
状態で支持されている。本例では、この中空回転出力軸
９は、中空アクチュエータ全長に渡って延び、この軸に
よってアクチュエータ中空部１０が形成されている。
【００２０】一方、端面ハウジング５２は、クロスロー
ラベアリング１１を介して筒状ハウジング５１に対して
回転自在に取り付けられている。本例では、端面ハウジ
ング５２の外周面に内輪側軌道面１２を形成し、筒状ハ
ウジング５１には締結ボルトによって外輪１３を固定
し、これらの間にローラ１４を配置した構成とされてい
る。換言すると、クロスローラベアリング内輪を端面ハ
ウジング５２に一体形成してある。
ラベアリング１１を介して筒状ハウジング５１に対して
回転自在に取り付けられている。本例では、端面ハウジ
ング５２の外周面に内輪側軌道面１２を形成し、筒状ハ
ウジング５１には締結ボルトによって外輪１３を固定
し、これらの間にローラ１４を配置した構成とされてい
る。換言すると、クロスローラベアリング内輪を端面ハ
ウジング５２に一体形成してある。
【００２１】このように、中空回転出力軸１０の一端側
の部分は、その外周面に固定した可撓性外歯歯車３２の
ボス３６および端面ハウジング５２を介して筒状ハウジ
ング５１に対して回転自在の状態で支持されている。中
空回転出力軸１０の他端側の部分は上記のように、中空
回転軸２１の内周面によって回転自在の状態で支持され
ている。
の部分は、その外周面に固定した可撓性外歯歯車３２の
ボス３６および端面ハウジング５２を介して筒状ハウジ
ング５１に対して回転自在の状態で支持されている。中
空回転出力軸１０の他端側の部分は上記のように、中空
回転軸２１の内周面によって回転自在の状態で支持され
ている。
【００２２】次に、回転位置検出部４内に位置している
中空回転出力軸９の外周面には、円盤状のエンコーダ４
１が固着されている。このエンコーダ４１を挟み、一方
の側には発光素子４２が配置され、他方の側には受光素
子４３が配置されており、これらエンコーダ４１、発光
素子４２および受光素子４３によって中空回転出力軸９
の回転位置を検出するための回転位置検出機構が構成さ
れている。
中空回転出力軸９の外周面には、円盤状のエンコーダ４
１が固着されている。このエンコーダ４１を挟み、一方
の側には発光素子４２が配置され、他方の側には受光素
子４３が配置されており、これらエンコーダ４１、発光
素子４２および受光素子４３によって中空回転出力軸９
の回転位置を検出するための回転位置検出機構が構成さ
れている。
【００２３】このように構成した本例の中空アクチュエ
ータ１では、中空モータ２の回転が中空回転軸２１を介
して中空型波動歯車減速機３の波動発生器３３に伝わ
る。楕円形の波動発生器３３が回転すると、これにより
楕円形に撓められてその楕円形の長軸方向の両端位置で
噛み合っている可撓性外歯歯車３２と剛性内歯歯車３１
のかみ合い位置が円周方向に移動する。これら両歯車の
歯数差が２ｎ枚（ｎは正の整数）とされ、一般には可撓
性外歯歯車３２の歯数を２枚少なくしてある。よって、
当該歯数差に応じて減速された回転数でカップ状の可撓
性外歯歯車３２が回転する。
ータ１では、中空モータ２の回転が中空回転軸２１を介
して中空型波動歯車減速機３の波動発生器３３に伝わ
る。楕円形の波動発生器３３が回転すると、これにより
楕円形に撓められてその楕円形の長軸方向の両端位置で
噛み合っている可撓性外歯歯車３２と剛性内歯歯車３１
のかみ合い位置が円周方向に移動する。これら両歯車の
歯数差が２ｎ枚（ｎは正の整数）とされ、一般には可撓
性外歯歯車３２の歯数を２枚少なくしてある。よって、
当該歯数差に応じて減速された回転数でカップ状の可撓
性外歯歯車３２が回転する。
【００２４】この結果、当該歯車３２が固着されている
中空回転出力軸９および端面ハウジング５２が一体回転
する。中空回転出力軸９の回転位置は回転位置検出部４
において検出される。また、端面ハウジング５２は負荷
側への連結部分とされており、ここに連結固定された負
荷側部材（図示せず）に減速出力回転が伝達される。
中空回転出力軸９および端面ハウジング５２が一体回転
する。中空回転出力軸９の回転位置は回転位置検出部４
において検出される。また、端面ハウジング５２は負荷
側への連結部分とされており、ここに連結固定された負
荷側部材（図示せず）に減速出力回転が伝達される。
【００２５】本例の中空アクチュエータ１では、上記の
ように、モータ軸受け支持部材７に剛性内歯歯車３１が
一体形成されている。従って、この部品の精度を高める
ことにより、中空モータ２の中空回転軸２１と剛性内歯
歯車３１の同心度を極めて精度良く確保できる。また、
中空回転軸２１の外周には波動発生器３３が連結固定さ
れており、これらの同心度も確保されている。
ように、モータ軸受け支持部材７に剛性内歯歯車３１が
一体形成されている。従って、この部品の精度を高める
ことにより、中空モータ２の中空回転軸２１と剛性内歯
歯車３１の同心度を極めて精度良く確保できる。また、
中空回転軸２１の外周には波動発生器３３が連結固定さ
れており、これらの同心度も確保されている。
【００２６】よって、これら剛性内歯歯車３１および波
動発生器３３の間に挟まれている可撓性外歯歯車３２と
中空回転軸２１との間の同心度も精度良く確保できる。
この結果、中空モータ２と中空型波動歯車減速機３を精
度良く同心状態に連結することができ、回転伝達誤差を
低減し、軸ずれ等に起因して発生する振動を低減でき
る。
動発生器３３の間に挟まれている可撓性外歯歯車３２と
中空回転軸２１との間の同心度も精度良く確保できる。
この結果、中空モータ２と中空型波動歯車減速機３を精
度良く同心状態に連結することができ、回転伝達誤差を
低減し、軸ずれ等に起因して発生する振動を低減でき
る。
【００２７】これに加えて、モータ軸受け支持部材と剛
性内歯歯車を別部品として製造し、これらを締結ボルト
等により連結固定する場合に比べて、締結ボルト等の部
品点数を削減でき、製造作業も簡単になるという利点も
ある。
性内歯歯車を別部品として製造し、これらを締結ボルト
等により連結固定する場合に比べて、締結ボルト等の部
品点数を削減でき、製造作業も簡単になるという利点も
ある。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の中空アク
チュエータでは、その中空モータの中空回転軸を回転自
在に支持しているモータ軸受け部材に中空型波動歯車減
速機の剛性内歯歯車を一体形成した構成を採用してい
る。
チュエータでは、その中空モータの中空回転軸を回転自
在に支持しているモータ軸受け部材に中空型波動歯車減
速機の剛性内歯歯車を一体形成した構成を採用してい
る。
【００２９】このように、回転機構である中空モータお
よび中空型波動歯車減速機における固定側部材であるモ
ータ軸受け部材と剛性内歯歯車を単一部品として製造す
ることにより、これら中空モータと中空型波動歯車減速
機の同心度を精度良く確保することができ、回転伝達精
度の向上、振動・騒音の低減を実現できる。
よび中空型波動歯車減速機における固定側部材であるモ
ータ軸受け部材と剛性内歯歯車を単一部品として製造す
ることにより、これら中空モータと中空型波動歯車減速
機の同心度を精度良く確保することができ、回転伝達精
度の向上、振動・騒音の低減を実現できる。
【図１】本発明を適用した中空アクチュエータを示す半
断面図である。
断面図である。
１ 中空アクチュエータ ２ 中空モータ ２１ 中空回転軸 ３ 中空型波動歯車減速機 ３１ 剛性内歯歯車 ３２ 可撓性外歯歯車 ３３ 波動発生器 ４ 回転位置検出器 ５ ハウジング ５１ 筒状ハウジング ５２ 端面ハウジング（出力側） ５３ 端面ハウジング ５４ キャップ ６、８ 軸受け ７ モータ軸受け支持部材 ７１ 円環状突出部 ７２ 内歯 ９ 中空回転出力軸 １０ アクチュエータ中空部
フロントページの続き (72)発明者 清沢 芳秀 長野県南安曇郡穂高町大字牧1856−１ 株 式会社ハーモニック・ドライブ・システム ズ穂高工場内 (72)発明者 丸山 利喜 長野県南安曇郡穂高町大字牧1856−１ 株 式会社ハーモニック・ドライブ・システム ズ穂高工場内 Ｆターム(参考） 3J027 FA11 FB31 GB06 GC07 GD03 GD07 GD13 GE11 GE25 5H607 AA04 BB01 BB14 CC01 CC03 CC07 DD01 DD02 DD04 DD17 EE31 EE36 GG01 GG08 HH01 HH08
Claims (2)
- 【請求項１】 中空モータと、この中空モータに同軸状
態で隣接配置されている中空型波動歯車減速機とを有
し、当該中空型波動歯車減速機は、環状の剛性内歯歯車
と、この内側に配置された可撓性外歯歯車と、この内側
に嵌め込まれた中空型の波動発生器とを備え、当該波動
発生器が前記中空モータの中空回転軸に連結固定されて
いる中空アクチュエータにおいて、 前記中空モータの中空回転軸は、軸受けを介してモータ
軸受け支持部材によって、アクチュエータハウジングの
側に回転自在の状態で支持されており、 前記モータ軸受け支持部材は、内周面に内歯が形成され
た円環状部分を備えており、当該円環状部分が前記中空
型波動歯車減速機の前記剛性内歯歯車であることを特徴
とする中空アクチュエータ。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記中空モータおよび前記中空型波動歯車減速機の中空
部を貫通して延びている中空回転出力軸を有し、 当該中空回転出力軸は、前記中空モータの中空回転軸の
内部を回転自在の状態で貫通しており、 前記中空型波動歯車減速機の前記可撓性外歯歯車は前記
中空回転出力軸の外周面に固着されていることを特徴と
する中空アクチュエータ。
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