JP2001217259A - 電子部品の実装用装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイボンダーのリードフレーム供給搬送部の
ダイスボンド専用マガジンにセットされるリードフレー
ム用の収納容器のすべての回収を、装置の運転を停止す
ることなく可能にする。 【解決手段】 リードフレーム２と層間紙３を交互に積
層して収納した収納容器５をダイスボンド専用マガジン
７にセットし、これをリードフレーム供給投入部１４に
装着する。リードフレーム２は搬送ユニット１によって
ダイボンド部へ搬送され、層間紙３及び空の収納容器は
搬送ユニット１によって傾斜面８上に搬送され、傾斜面
８上を自重落下して装置外部に設置された回収容器９へ
廃棄される。これにより回収容器９の容量を大きくで
き、最初にセットした収納容器を全て回収できる。ま
た、装置の運転を停止することなく回収容器９を交換で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はダイスボンドなどを
行なう半導体装置の実装用装置に関する。特に、実装用
のリードフレームを収納していた空の収納容器などを排
出する機構が改善された実装用装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子部品、例えば半導体チップの一部は
樹脂パッケージに封止されて、最終の製品形態である半
導体製品となる。この製造過程の実装工程の一つとし
て、リードフレーム上に半導体チップを導電性接着剤で
固定するダイスボンド工程がある。

【０００３】図５，図６は、従来のダイスボンド工程に
用いられるダイボンダーの一例を示す図であり、図５は
ダイボンダーの側面図、図６はその正面図である。

【０００４】図６に示すように、ダイボンダーは床１３
上に設置され、正面向かって左側の部分はリードフレー
ム供給搬送部１４であり、右側の部分はダイボンド工程
部１５となっている。ダイボンド工程部１５の構造は本
発明と直接関係ないため図示を省略している。

【０００５】リードフレーム供給搬送部１４において、
搬送ユニット１には２つの真空吸引装置１ａ，１ｂが設
けられている。真空吸引装置１ａ，１ｂはそれぞれリー
ドフレーム２及び層間紙（リードフレーム保護シート）
３を吸着して持ち上げることができる。搬送ユニット１
はスライドユニット１１によって図５の紙面左右方向に
往復移動することができる。リードフレーム２は収納容
器５に収納されている。収納容器５は樹脂などのハード
ケースでできている。一般的に一つの収納容器５内には
リードフレーム２が５０枚積層して収納されており、個
々のリードフレーム２の間にはそれらを隔離する層間紙
３が挿入されている。層間紙３は、真空吸引装置がリー
ドフレーム２を同時に２枚吸着してしまうという吸着エ
ラーや、積層された上下のリードフレーム同士の接触損
傷などを防止するのが目的である。リードフレーム２を
収納した収納容器５はダイスボンド専用マガジン７に積
み重ねられる。一方、リードフレームが取り出された空
の収納容器６は廃棄マガジン１０に積み重ねれる。マガ
ジン７，１０はダイボンダーに取り外し可能に取り付け
られる。４はリードフレーム２をリードフレーム供給搬
送部１４からダイボンド工程部１５に搬送するための搬
送レール、１２は装置の制御を行なう駆動制御部であ
る。

【０００６】以上のように構成された従来のダイボンダ
ーにおける、ダイスボンド工程部１５へのリードフレー
ム２の供給は通常次のように行われていた。すなわち、
オペレータが、リードフレーム２と層間紙３とが交互に
積層されて収納された収納容器５を取り外し可能なダイ
スボンド専用マガジン７に装着し、次いで、ダイスボン
ド専用マガジン７をダイボンダーにセットする。この状
態で収納容器５内の最上部のリードフレーム２は一方の
真空吸引装置１ａにより吸着される。吸着されたリード
フレーム２はスライドユニット１１により図５の紙面の
右方向に水平移動して、搬送レール４上に供給される。
搬送レール４はリードフレーム２をダイボンド工程部１
５へ搬送する。このとき、他方の真空吸引装置１ｂは収
納容器５内の最上部にある層間紙３を吸着する。吸着さ
れた層間紙３は、その後スライドユニット１１により図
５の紙面の左方向に水平移動して、ダイボンダーの後面
側に取り付けられた廃棄マガジン１０上に搬送され、廃
棄マガジン１０に積み重ねられた空の収納容器６内に廃
棄される。

【０００７】以上の動作を、リードフレームが収納され
た収納容器５が空になるまで繰り返す。収納容器５内の
リードフレームが全て搬送されてしまうと、空になった
収納容器６は層間紙３と同様に搬送ユニット１の真空吸
引装置１ｂで廃棄マガジン１０へ搬送され、積み重ねら
れる。そしてダイスボンド専用マガジン７に積み重ねら
れた次のリードフレームの入った新しい収納容器５に切
り替えられ、そこから新たにリードフレーム２が取り出
されてダイボンド工程部１５へ送られる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ダイスボンド専用マガ
ジン７には収納容器５が例えば標準仕様で５個までセッ
トでき、上記のリードフレーム搬送投入動作が繰り返さ
れる。しかしながら、上記従来の構成では、ダイスボン
ド専用マガジン７にセットされていた全ての収納容器５
（例えば５個）を廃棄マガジン１０に積み替えること
は、廃棄マガジン１０の収納容量が小さいため不可能で
あった。

【０００９】従来の一般に用いられているダイボンダー
では、廃棄マガジン１０の設置スペースにはダイボンド
工程用の機構の一部あるいはダイボンダーの駆動制御の
ための構成部が占有する等していたため、廃棄マガジン
１０の収納容量を大きくすることは困難である。仮に、
容量の大きい廃棄マガジン１０をダイスボンド専用マガ
ジン７の背後に設置しようとしてそのスペースを確保す
ると、上記のダイボンド工程用の機構や駆動制御部の設
計が複雑になるという問題が生じる。

【００１０】従来の例示した装置構成では廃棄マガジン
１０の収納容器６の収納容量は２個が限界である。その
ため廃棄マガジン１０に蓄積された層間紙３や収納容器
６を排除したり、一杯になった廃棄マガジン１０を空の
廃棄マガジンと交換したりするために、ダイボンダーの
運転を停止する必要があり、ダイボンダーの停止期間が
長くなる。これが従来のダイボンダーのダイスボンド処
理能力を低下させる原因となっていた。

【００１１】また、ダイスボンド専用マガジン７の収納
容量を少なくして廃棄マガジン１０の収納容量に一致さ
せると、ダイスボンド専用マガジン７の交換頻度が増大
して、同様にダイボンダーの停止期間が増大する。

【００１２】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、少なくともダイスボンド専用マガジンにセットされ
たすべての収納容器の廃棄を、ダイボンダーを停止させ
ることなく可能にして、生産性が向上したダイボンダー
など実装用装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は以下の構成とする。

【００１４】本発明の第１の構成の電子部品の実装用装
置は、複数のリードフレームを隔離体（例えば層間紙）
を介して設置できるリードフレーム設置部と、傾斜面
と、前記傾斜面の下部に配置された回収容器と、前記隔
離体を前記傾斜面の上部に搬送し、前記傾斜面上に落下
させる搬送部とを含むことを特徴とする。

【００１５】また、本発明の第２の構成の電子部品の実
装用装置は、複数のリードフレームを隔離体（例えば層
間紙）を介して積層して収納した収納容器を設置できる
リードフレーム設置部と、傾斜面と、前記傾斜面の下部
に配置された回収容器と、前記隔離体または前記収納容
器を前記傾斜面の上部に搬送し、前記傾斜面上に落下さ
せる搬送部とを含むことを特徴とする。

【００１６】以上の第１及び第２の構成のように、傾斜
面と、傾斜面の下部の回収容器とを配置することによっ
て、リードフレームを隔離する隔離体や収納容器を傾斜
面上に落下させて、傾斜面上を滑らせてその下部に設置
された回収容器に廃棄させ、回収することができる。回
収容器を実装用装置の十分に広いスペースを確保できる
場所（例えば装置の外部）に設置して、その容量を増大
させることができる。傾斜面は隔離体や空になった収納
容器を回収容器まで誘導する。この結果、装置の構成部
材との干渉や大幅な設計変更を伴うことなく回収容器の
容量を増大させることができ、多くの隔離体や空の収納
容器を廃棄、回収することができる。このため、回収容
器の交換頻度が減少する。また、回収容器の設置場所を
適切に選択することによって装置の運転を停止させるこ
となく回収容器を交換できる。このため実装工程の生産
性を向上させることができる。

【００１７】また、本発明の実装用装置においては、前
記回収容器は、実装用装置の本体の外部に設けることが
好ましい。外部に設けることによって回収容器の容量を
増大させることが容易になる。また、装置の停止を伴わ
ない回収容器の交換作業が容易になる。

【００１８】さらに、本発明の実装用装置においては、
前記傾斜面の下部は前記回収容器の内部まで延伸してい
ることが好ましい。これにより、収納容器が高い箇所か
ら回収容器の底面に落下して損傷するのを防止できる。
また、回収容器を深くして容量を増大させても隔離体や
収納容器を回収容器内に確実に回収できる。

【００１９】さらに、前記傾斜面の角度は、水平面に対
して３０°〜５０°であることが好ましい。これにより
隔離体や収納容器を適度な速度で滑り落とすことができ
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の電子部品の実装装
置の一実施形態例としてダイボンダーを例にして図面を
参照しながら説明する。

【００２１】図１、図２は、本発明のリードフレーム供
給搬送部を備えたダイボンダーの構成を示す。図１はダ
イボンダーの側面図で、紙面右側が前面、左側が後面で
ある。図２はダイボンダーの正面図で、装置の左側部分
にリードフレーム供給搬送部１４が、右側にダイボンド
工程部１５がそれぞれ配置される。ダイボンド工程部１
５の構造は本発明と直接関係ないため図示を省略してい
る。図３はリードフレーム供給搬送部１４の斜視図であ
る。図４は、リードフレーム供給搬送部１４に装着され
るダイスボンド専用マガジン７の斜視図である。図１〜
図４に図示したように、説明の便宜のために、装置の前
後方向をＸ軸、左右方向をＹ軸、上下方向をＺ軸とし、
各軸の正の方向を図の矢印方向にとる。例えば、Ｘ軸の
正の側は装置の前面側である。

【００２２】図１〜図４を用いてリードフレーム供給搬
送部１４を説明する。搬送ユニット１には２つの真空吸
引装置１ａ，１ｂがＸ軸方向に所定距離だけ離間して配
置されている。一方の真空吸引装置１ａはリードフレー
ム２を吸着し、他方の真空吸引装置１ｂは層間紙３及び
空になった収納容器６を吸着する。搬送ユニット１はス
ライドユニット１１によってＸ軸方向に往復移動するこ
とができる。一つの収納容器５内には略長方形のリード
フレーム２が例えば５０枚積層して収納されており、個
々のリードフレーム２の間にはそれらを隔離する層間紙
３が挿入されている。リードフレーム２を収納した収納
容器５はダイスボンド専用マガジン７に積み重ねられ
る。ダイスボンド専用マガジン７は、図３，図４に示し
たように、収納容器５を複数個（図では５個）積み重ね
て収納することができる。収納容器５内のリードフレー
ム２は１枚ずつ搬送レール４によってダイボンド工程部
１５に搬送される。ダイスボンド専用マガジン７と並ん
で所定角度の傾斜面を有する廃棄滑り台８が設置されて
いる。廃棄滑り台８の傾斜面の上部は真空吸引装置１ｂ
の移動範囲内（ダイスボンド専用マガジン７のＸ軸の負
の方向側）に配置され、その下部はダイボンダーの外に
出ている。また、ダイボンダーの外側には空の収納容器
６や層間紙３を回収するための回収容器９が設置されて
いる。回収容器９の上部は開口しており、廃棄滑り台８
の傾斜面を下方に延長した方向に回収容器９の開口がほ
ぼ位置するように、回収容器９が設置される。

【００２３】以上のように構成された本実施の形態のダ
イボンダーにおけるリードフレーム供給搬送部１４は次
のように動作する。

【００２４】まず、従来と同様にオペレーターがリード
フレーム２と層間紙３とが交互に積層されて収納された
収納容器５をダイスボンド専用マガジン７に複数個（図
では５個）積層して装着する。こうして得たダイスボン
ド専用マガジン７をダイボンダーのリードフレーム供給
搬送部１４の所定位置にセットする。

【００２５】次に収納容器５中の最上層がリードフレー
ムである場合、搬送ユニット１の真空吸引装置１ａがダ
イスボンド専用マガジン７内の収納容器５のリードフレ
ームの直上に位置するように、スライドユニット１１が
搬送ユニット１をＸ軸方向に移動させる。次いで搬送ユ
ニット１の真空吸引装置１ａがリードフレーム２を吸着
して持ち上げる。次いで、真空吸引装置１ａが搬送レー
ル４上に位置するように、スライドユニット１１が搬送
ユニット１をＸ軸の正の方向に移動させる。その後、真
空吸引装置１ａの吸着動作を停止させ、リードフレーム
２を搬送レール４上に落下させる。搬送レール４上にセ
ットされたリードフレーム２はダイボンド工程部１５へ
と搬送される。

【００２６】真空吸引装置１ａが搬送レール４上にある
とき、他方の真空吸引装置１ｂはダイスボンド専用マガ
ジン７内の収納容器５上にある。このとき収納容器５内
の最上層は層間紙３となっている。真空吸引装置１ｂは
この層間紙３を吸着して持ち上げる。上記の真空吸引装
置１ａによるリードフレーム２の搬送レール４上へのセ
ットの完了後、真空吸引装置１ｂが廃棄滑り台８の傾斜
面上に位置するように、スライドユニット１１は搬送ユ
ニット１をＸ軸の負の方向に移動させる。その後、真空
吸引装置１ｂの吸着動作を停止させ、層間紙３を廃棄滑
り台８の傾斜面上へ落下させる。落下した層間紙３は、
廃棄滑り台８上を自重落下し、傾斜面の下端部に設置さ
れた回収容器９の中へ廃棄される。

【００２７】真空吸引装置１ｂが廃棄滑り台８の傾斜面
上にあるとき、真空吸引装置１ａはダイスボンド専用マ
ガジン７内の収納容器５上にある。このとき収納容器５
内の最上層はリードフレームになっている。

【００２８】このようにして上記の動作が繰り返され
る。

【００２９】ダイスボンド専用マガジン７内の最上部の
収納容器が空になると、空になった収納容器６も真空吸
引装置１ｂで吸着され、回収容器９へ同様に廃棄され
る。そして、ダイスボンド専用マガジン７内の最上部の
新たな収納容器５について上記の動作が繰り返される。

【００３０】以上の一連の動作は駆動制御部１２によっ
て電気的に自動制御される。

【００３１】本実施の形態のダイボンダーのリードフレ
ーム供給搬送装置では、搬送ユニット１の後方に、傾斜
面を有する廃棄滑り台８とその傾斜面の下端側に回収容
器９を設ける。このとき、傾斜面の下端をダイボンダー
の外部に導出し、回収容器９をダイボンダーの外側に設
置する。このような配置にすると、廃棄された層間紙や
空の収納容器を廃棄滑り台８に載せて自重で搬送し、回
収容器９に回収することができる。回収容器９をダイボ
ンダーの外部に設置することにより、所望の充分な容量
の回収容器を設置することが可能である。よって、回収
容器９に回収された層間紙や収納容器の廃棄作業、ある
いは回収容器９の交換作業の頻度が減少する。また、こ
れらの作業をダイボンダーの運転を停止することなく行
なうことができる。従って、ダイスボンド専用マガジン
７に収納できる全ての収納容器はもちろんのこと、それ
以上の数の収納容器の自動廃棄をダイボンダーの運転を
途中で停止させることなく行なうことができる。また、
ダイスボンド専用マガジン７にセットする収納容器５の
個数が増加したような場合であっても何ら問題なく回収
できる。更に、廃棄滑り台８を設置するための空間はわ
ずかであり、従来のダイボンダーの廃棄マガジンの設置
スペース内に充分納めることができ、ダイボンダーの各
種構成要素との干渉を考慮する必要はほとんどない。ま
た、自重による搬出機構とすることでダイボンダーの構
造の複雑化と装置のコスト上昇を抑えることができる。

【００３２】なお、図１〜図４に示した実施形態では、
回収容器９の底面は床１３よりも上部にあるが、床面に
届くまで延長した回収容器としても良い。この場合、収
納容器６は一般にプラスチック製であるから底面にまで
落下させると損傷する恐れがあるが、廃棄滑り台８の下
端を回収容器９の内部まで延長すれば落下速度が小さく
なり、そのような問題を避けることができる。

【００３３】また、実験によれば廃棄滑り台８の傾斜面
の水平面に対する傾斜角度は３０°〜５０°が適当であ
る。この角度範囲よりも小さいと層間紙の滑りが悪くな
り、大きいと収納容器の落下速度が速くなって損傷の可
能性が増す。

【００３４】なお、上記の実施の形態では、リードフレ
ームと層間紙との交互積層物を収納容器に収納し、該収
納容器を複数個積層してダイスボンド専用マガジン７に
セットする例を説明したが本発明はこのような形態に限
定されない。例えば、リードフレームと層間紙との交互
積層物を単一の容器（マガジン）に収納し、これをダイ
ボンダーに装着する形態であってもよい。この場合、回
収容器９に回収されるのは層間紙のみとなる。

【００３５】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、回収容
器の容量を増大させることができ、多くの隔離体や空の
収納容器を廃棄、回収することができる。このため、回
収容器の交換頻度が減少する。また、回収容器の設置場
所を適切に選択することによって装置の運転を停止させ
ることなく回収容器を交換できる。このため実装工程の
生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るダイボンダーの側面
図

【図２】本発明の実施の形態に係るダイボンダーの正面
図

【図３】本発明の実施の形態に係るダイボンダーのリー
ドフレーム供給搬送部の斜視図

【図４】本発明の実施の形態に係るダイボンダーのリー
ドフレーム供給搬送部に装着されるダイスボンド専用マ
ガジンの斜視図

【図５】従来のダイボンダーの側面図

【図６】従来のダイボンダーの正面図

【符号の説明】

１ 搬送ユニット １ａ，１ｂ 真空吸引装置 ２ リードフレーム ３ 層間紙 ４ 搬送レール ５ リードフレーム入りの収納容器 ６ 空の収納容器 ７ ダイスボンド専用マガジン ８ 廃棄滑り台 ９ 回収容器 １０ 廃棄マガジン １１ スライドユニット １２ 駆動制御部 １３ 床 １４ リードフレーム供給搬送部 １５ ダイボンド工程部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のリードフレームを隔離体を介して
   設置できるリードフレーム設置部と、傾斜面と、前記傾
   斜面の下部に配置された回収容器と、前記隔離体を前記
   傾斜面の上部に搬送し、前記傾斜面上に落下させる搬送
   部とを含むことを特徴とする電子部品の実装用装置。
2. 【請求項２】 複数のリードフレームを隔離体を介して
   積層して収納した収納容器を設置できるリードフレーム
   設置部と、傾斜面と、前記傾斜面の下部に配置された回
   収容器と、前記隔離体または前記収納容器を前記傾斜面
   の上部に搬送し、前記傾斜面上に落下させる搬送部とを
   含むことを特徴とする電子部品の実装用装置。
3. 【請求項３】 前記回収容器は、実装用装置の本体の外
   部に設けられている請求項１又は２に記載の電子部品の
   実装用装置。
4. 【請求項４】 前記傾斜面の下部は前記回収容器の内部
   まで延伸している請求項１又は２に記載の電子部品の実
   装用装置。
5. 【請求項５】 前記傾斜面の角度は、水平面に対して３
   ０°〜５０°である請求項１又は２に記載の電子部品の
   実装用装置。