JP2001208908A - カラーフィルターの形成方法ならびにカラーフィルター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラーフィルターの着色層の色を簡便な手段
で調整することが可能なカラーフィルターの形成方法を
提供すること、また前記方法により形成されたカラーフ
ィルターを提供すること。 【解決手段】 基板の上に着色層を形成する工程、およ
び該着色層の上に上層を形成する工程を有するカラーフ
ィルターの形成方法であって、前記カラーフィルター形
成方法は、着色層を形成する工程と着色層の上に上層を
形成する工程との間に、着色層に対する溶剤処理を行う
工程を有することを特徴とするカラーフィルターの形成
方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
の形成方法に関する。更に詳しくは、多人数で見る携帯
情報端末、パーソナルコンピューター、ワードプロセッ
サー、アミューズメント機器、テレビジョン装置などの
平面ディスプレイ、シャッタ効果を利用した表示板、
窓、扉、壁などに用いることができる液晶素子に用いら
れるカラーフィルターの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルーターは、従来、顔料等を
樹脂中に分散したものが用いられてきたが、最近、液晶
素子用途の多様化から、様々な色彩を有すカラーフィル
ターが要求されるようになった。これらの要求に応える
べく、様々な種類の顔料が提案されている。しかし、顔
料そのものの開発には長期間が必要であり、簡便に色調
整可能な手段の開発が望まれた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、カラ
ーフィルターの着色層の色を簡便な手段で調整すること
が可能なカラーフィルターの形成方法を提供すること、
また前記方法により形成されたカラーフィルターを提供
することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的は、以下のカラ
ーフィルターの形成方法およびカラーフィルターを提供
することにより解決される。 （１）基板の上に着色層を形成する工程、および該着色
層の上に上層を形成する工程を有するカラーフィルター
の形成方法であって、前記カラーフィルター形成方法
は、着色層を形成する工程と着色層の上に上層を形成す
る工程との間に、着色層に対する溶剤処理を行う工程を
有することを特徴とするカラーフィルターの形成方法。 （２）前記（１）に記載の方法により形成されたカラー
フィルター。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明のカラーフィルタ
ーの形成方法について詳述する。 ［カラーフィルター］本発明において「カラーフィルタ
ー」とは、「色彩を得るために液晶素子に用いられる着
色層」を意味する。 ［着色層］本発明のカラーフィルターの着色層は、単色
でもまた複数色で構成されていてもよい。複数色の場合
は着色層の面方向において複数色によってパターニング
されている。最終的なカラーフィルターの着色層が複数
色によってパターニングされている場合、本発明のカラ
ーフィルターの形成方法における「着色層」とはその中
の１つの色あるいは２以上の色を有するパターニングさ
れた層を意味する。したがって、複数色の色パターンを
有するカラーフィルターを作製する場合の「着色層を形
成する工程と着色層の上に上層を形成する工程の間」と
は、「その中の１つの色あるいは２以上の色を有するパ
ターニングされた層を形成する工程と着色層の上に上層
を形成する工程の間」を意味する。

【０００６】［基板］本発明のカラーフィルターの形成
方法において使用する基板とは、液晶を挟んで液晶素子
を構成する液晶層の両側の基板の何れかである。たとえ
ばガラス、無アルカリガラス、セキエイガラス、ＴＦＴ
アクティブマトリクス基板、単純マトリクス基板、プラ
スチック板等を用いることができる。本発明のカラーフ
ィルターの形成方法においては、基板としてＴＦＴアク
ティブマトリックス基板を使用することもできる。ＴＦ
Ｔアクティブマトリックス基板は、通常のものが制限な
く使用することができる。たとえばアクティブマトリク
ス基板（アレイ基板）に、ゲート信号線と付加容量電極
を形成し、この上にゲート絶縁膜を形成した後、半導体
層及びチャネル保護層を形成し、さらにＴＦＴのソース
及びドレインとなるｎ+Ｓｉ層を形成し、次に金属層及
びＩＴＯ膜をスパッタ法によって形成し、これらをパタ
ーニングすることにより、ドレイン信号線及びソース信
号線を形成するなどによって作製することができる。

【０００７】［上層］本発明のカラーフィルターの形成
方法において、上記着色層形成後に、上層としてさらに
オーバーコート層および／またはＩＴＯ層、および／ま
たは配向膜、および／またはスペーサーなど、液晶セル
を構成する構成要素が形成される。

【０００８】［着色層の形成］前記のように、本発明に
おける着色層とは、液晶素子に用いて色彩を得るための
色が着いた層である。一般には、顔料や染料を樹脂中に
分散・溶解して作成される（詳細は後述）。また、液晶
を用いて着色することも提案されている。また、樹脂そ
のものの色を利用することもできる。該着色層の形成
は、着色された液状の材料を基板に塗布または噴霧する
方法、フィルム状の材料を基板に貼り付ける方法、気相
や液相での蒸着・電着・泳動・スパッタによる方法、グ
ラビアやスクリーンや平板や凸版による印刷法等が挙げ
られる。前記着色層が、その面方向において複数色によ
ってパターニングされている場合は、各色パターンを形
成する際、パターニングと呼ばれる工程で、着色された
層の面方向の一部を除去し、該着色層を有する部分と該
着色層が無い部分を面方向に混在させる処理が行われ
る。パターニング化においては後述の感光性樹脂層（ネ
ガ型の光重合系やポジ型の光重合系を含む）を用いパタ
ーン露光工程と現像工程を経ることで該パターニングが
好適に実施される。たとえば着色された感光性フィルム
を用いて多色の着色層を形成する場合、ある色の感光性
フィルムを前記のごとき基板に貼りつけ、その後パター
ン露光・現像によってパターン画像を得、次いでポスト
露光・ポストベーキングなどの工程を経てその色の着色
層を形成する。残りの色についても同様な工程により着
色パターンを形成する。また、印刷法、電着法および泳
動法によって着色層を形成する場合には、着色層形成時
にパターニングを行うことができる。面方向に同一色を
得る目的では、該パターニングは実施されないことがあ
る。

【０００９】次に、着色層を、着色された感光性樹脂層
を用いて形成する方法について説明する。着色された感
光性樹脂層は着色剤を含む感光性樹脂材料から形成され
る。基材の上に着色された感光性樹脂層を形成する方法
としては、上記の着色剤を含む感光性樹脂材料を含む塗
液を塗布・乾燥することにより形成する方法や、前記塗
液をあらかじめプラスチックフィルム等からなる仮支持
体の上に塗布・乾燥してフィルムタイプの着色された感
光性樹脂層（一体型フィルム）を作製しこれを基板に貼
着することにより形成する方法が好ましく使用される。 ＜感光性樹脂材料＞本発明において使用される感光性樹
脂材料としては一般の感光性樹脂材料が特に制限なく使
用することができる。たとえば、特開平３−２８２４０
４号公報の６頁右上欄５行〜７頁左下欄１２行に記載の
感光性ジアゾ樹脂とバインダーを含むネガ型感光性樹脂
組成物、同公報７頁左下欄１３行〜９頁左上欄１０行に
記載の付加重合性モノマーと光重合開始剤とバインダー
を含む光重合性組成物、同公報９頁左上欄１１行〜同頁
右上欄３行に記載のアジド化合物とバインダーを含む感
光性樹脂組成物、同公報９頁右上欄４〜１０行に記載の
桂皮酸型感光性樹脂のすべてを使用することができる。
中でも好ましいものは、前記の付加重合性モノマーと光
重合開始剤とバインダーからなる光重合性組成物であ
る。前記感光性樹脂材料としては、アルカリ水溶液によ
り現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なものが
知られているが、公害防止、労働安全性の確保の観点か
らアルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。本発明で
使用する感光性樹脂材料としてはポジ型およびネガ型の
いずれも使用可能である。光を照射した部分が溶解性を
帯び現像で除去されるタイプの感光性樹脂材料をポジ型
と、光を照射した部分が溶解性を失い非照射部分が現像
で除去されるタイプをネガ型と呼ぶ。アルカリ可溶性樹
脂を使用するポジ型の感光性樹脂材料としては、特開平
７−４３８９９号公報の［０００９］〜［００２０］に
記載のノボラック系の樹脂の他、特開平６−１４８８８
８号公報の［００１１］［００３０］〜［００３２］に
記載のアルカリ可溶性樹脂、感光剤として１，２−ナフ
トキノンジアジドスルホン酸エステルおよびパターニン
グ後加熱処理により耐熱性および耐溶剤性付与できる熱
硬化剤の混合物を含む感光性樹脂材料が挙げられる。前
記アルカリ可溶性樹脂としては前記公報の［００１３］
〜［００２０］に記載のものが、感光剤としては［００
２７］に記載のものが、熱硬化剤としては［００２１］
〜［００２６］に記載のものが挙げられる。また特開平
５−２６２８５０号公報記載の組成物も活用可能であ
る。さらに、アルカリ可溶性の着色された感光性樹脂材
料としては、特開平５−７２７２４号公報の表１、［０
０４８］、［００６５］に記載のものが挙げられる。ま
た、特開平１１−１３３６００号公報に記載の感放射線
性樹脂組成物に使用する成分である、同公報［００１
９］〜［００２２］に記載の重合性化合物Ｂと、同公報
［００２３］、［００２５］〜［００２７］に記載の重
合開始剤Ｃを加えたものや、さらにこれらに同公報［０
０３４］〜［００３５］に記載の界面活性剤や［００３
６］に記載の接着助剤を加えたものも利用できる。

【００１０】＜着色剤＞前記感光性樹脂材料には、着色
剤が添加される。着色剤としてはカラーフィルターを形
成するための黒色着色剤、赤色着色剤、緑色着色剤、青
色着色剤等が適宜使用される。着色剤は染料および顔料
のいずれも使用可能である。好ましい染料ないし顔料の
例は、ｐ−Ｃｌピロロピロール、ターシャルブチルピロ
ロピロール、ピロロピロール、ｍ−Ｃｌピロロピロー
ル、ｍ−ＣＮピロロピロールの他、特開平５−７２７２
４号公報の［００１９］に記載の染料ないし顔料、特開
平３−２８２４０４号公報の９頁左下欄１行〜同頁右下
欄１２行の染料ないし顔料が挙げられる。顔料は感光性
樹脂層中に均一に分散させる必要があり、好ましくは５
μｍ以下の粒径、特に好ましくは１μｍ以下の粒径を有
していなければならない。

【００１１】本発明で使用する感光性樹脂材料には、上
記成分の他、さらに紫外線吸収剤を必要により添加す
る。好ましい紫外線吸収剤は、サリシレート系、ベンゾ
フェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレー
ト系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが
上げられる。

【００１２】＜一体型の着色された感光性樹脂層＞本発
明の感光性樹脂層は特開平５−７２７２４号公報に記述
されている感光性転写材料、すなわち一体型となったフ
イルムを用いて形成することが好ましい。該一体型フイ
ルムの構成の一例は支持体／熱可塑性樹脂層／酸素遮断
膜／感光性樹脂層／保護フイルムである。この構成は、
特開平５−７２７２４号公報に記載の感光性転写材料を
参照することができる。支持体としては前記公報の［０
００５］、［０００６］に記載のポリエチレンテレフタ
レート等のプラスチックシート等が、熱可塑性樹脂層と
しては同公報［０００７］ないし［００１０］の熱可塑
性樹脂の他、［００１１］ないし［００１３］に記載の
アルカリ可溶性の熱可塑性樹脂が挙げられる。また、酸
素遮断膜としては、前記公報の［００１４］および［０
０１５］に、酸素に対して僅かな透過性を有するに過ぎ
ない分離層として示されているものを挙げることができ
る。低い酸素透過性を示し、水またはアルカリ水溶液に
分散または溶解するものが好ましく、公知のものの中か
ら適宜選択することができる。特に好ましいのは、ポリ
ビニルアルコールとポリビニルピロリドンの組み合わせ
である。また、保護フィルムは前記公報の［００２０］
に記載のものが挙げられる。一体化フィルムを使用する
方法は、ＴＦＴアクティブマトリクス基板等の基板にカ
ラーフィルターを形成する方式にも適用することができ
る（後述）。 ＜酸素遮断膜＞一体型フィルムを用いない場合でも、着
色された感光性樹脂層（を露光する際、感光性樹脂層の
上にさらに酸素遮断膜を形成しておくことができる。該
酸素遮断膜としては、上記の一体型フィルムの層を形成
する酸素遮断膜が同様に使用可能である。

【００１３】＜パターン露光と現像＞着色された感光性
樹脂層をパターニングする場合には、パターン露光を行
い、その後現像してパターン状の着色層を得る。上記感
光性樹脂層の現像液としては、特開平５−７２７２４号
公報の［００１７］に記載の現像液が使用できる。露光
後の感光性樹脂層の溶解性部分を除去するには、現像液
中で回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法
を組み合わせることができる。現像液の液温度は２０℃
〜４０℃が好ましい。該現像処理の後に蒸留水、イオン
交換水、超純粋等による水洗工程を入れることが好まし
い。

【００１４】＜一体型フィルムを用いるＴＦＴアクティ
ブマトリックス基板への着色層の形成＞前記の一体型フ
ィルムを用いてＴＦＴアクティブマトリックス基板に着
色層を形成するには、前述のごときアクティブマトリッ
クス基板に、特定の色（たとえば赤）に着色された一体
型フィルムの保護フィルムを剥がしてこれをラミネート
法により貼り合わせ、赤色を表示する画素からコンタク
トホールおよびＴＦＴを除いた部分のみ露光し（ネガ型
感光性樹脂材料を用いる場合）、現像して、赤色画素を
覆う着色層を形成し、その後ポスト露光、ベーク等の処
理を行う。次いで、緑色、青色および黒色の一体型フィ
ルムを用いて、同様に順次画素を覆う着色層を形成す
る。ただし黒色の場合、各色のフィルム片が配置されて
おらず、かつ下方に金属膜が配置されていない部分（コ
ンタクトホール以外）への露光は、アクティブマトリッ
クス基板の裏側から実施した。これにより黒色の位置精
度が増し、欠陥部の修復も行うことができる。また、各
色のフィルム片が配置されておらず、かつ下方に金属膜
が配置されていない部分にも黒色の着色層を配置する
と、凹凸を緩和して液晶分子の配列の乱れを抑制するこ
とができる。前記ポストベーク処理は不純物の溶出を防
止する他、下地との密着性を増すために行う。この処理
による顔料の退色やａ−Ｓｉに対する影響はない。

【００１５】こうして着色層を形成したアクティブマト
リックス基板を検査し、洗浄および再度のベーク処理を
施す。その後、ＵＶアッシャー処理し、ＩＴＯ膜をスパ
ッタ法により形成し、このＩＴＯ膜をパターニングして
なる画素電極を形成し、この画素電極をコンタクトホー
ルを介してドレイン信号線に接続する。ＴＦＴアクティ
ブマトリックス基板にカラーフィルターを形成する場
合、ガラス基板の場合に比べて着色層の膜厚をガラス基
板の場合よりもより厚くすることが求められるが、そう
すると青の透過率が低くなる傾向がある。しかし、本発
明の溶剤処理を行うことによりこの不都合を回避するこ
とができる。

【００１６】［溶剤処理］本発明の溶剤処理は、前記着
色層を形成する工程と前記着色層上に上層を形成する工
程との間に実施される。上記のように、本発明の方法に
よって形成されるカラーフィルターが複数色を有する場
合には、本発明のカラーフィルターの形成方法における
「着色層」とはその中の１つの色あるいは２以上の色を
有するパターニングされた層を意味し、「着色層を形成
する工程と着色層の上に上層を形成する工程の間」と
は、「その中の１つの色あるいは２以上の色を有するパ
ターニングされた層を形成する工程と着色層の上に上層
を形成する工程の間」を意味する。したがって、１つの
色の着色層を形成した後、溶剤処理を行い、その後他の
色の着色層を形成し、その後上層を形成すること、ある
いは、複数の色について順次着色層を形成した後、溶剤
処理を行いその後他の色の着色層を形成または形成する
ことなく上層を形成すること、すべての色について着色
層を形成した後溶剤処理を行い、その後上層を形成する
ことなどすべて、本発明の「着色層を形成する工程と着
色層の上に上層を形成する工程の間に溶剤処理を行う」
ことに包含される。各色の着色層が溶剤耐性を有してい
て溶剤処理の間に色が溶出しない場合には、すべての色
について着色層を形成した後に溶剤処理を行うことがで
きるが、ある色の着色層が溶剤耐性を持たず溶剤処理の
間に色が溶出する虞がある場合には、その色の着色層を
形成する前に溶剤処理を行うことが好ましい。

【００１７】本発明の方法における溶剤処理に用いられ
る溶剤は、無機化合物（水、四塩化炭素など）、炭化水
素（ヘキサン、トルエンなど）、ハロゲン化合物（トリ
クロロエチレンなど）、アルコール類（メタノール、イ
ソプロピルアルコール、エタノール、２−プロパノー
ル、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコ
ール、ベンジルアルコールなど）、フェノール類（フェ
ノールなど）、エーテル類（エチレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、テト
ラヒドロフランなど）、アルデヒド・ケトン類（アセト
ン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプ
ロラクトン、γ−ブチロラクトンなど）、酸および誘導
体（酢酸、Ｎ−メチルホルムアミド、ジメチルホルムア
ミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルア
ミドなど）、ニトリル類（アセトニトリルなど）、ニト
ロ化合物（ニトロメタン）、アミン類（モノエタノール
アミン、Ｎ，Ｎ’−ジメチルエタノールアミン、Ｎ，
Ｎ’−ジエルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ’−ジブチルエ
タノールアミン、エチレンジアミンなど）、硫黄化合物
（ジメチルスルホキシドなど）、乳酸エチル、乳酸メチ
ル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等な
ど、化学便覧基礎編Ｉ（改訂３版）日本化学会編丸善株
式会社 Ｉ−５６１ページ〜Ｉ−５６９ページ記載の溶
媒が使用でき、これらは適宜、混合して使用することが
できる。

【００１８】これらの中で、イソプロピルアルコール、
Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジメチ
ルホルムアミド、ホルムアミド、モノエタノールアミ
ン、Ｎ，Ｎ’−ジメチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ’−
ジエルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ’−ジブチルエタノー
ルアミン、及びこれらの混合物が色調整効果の点でより
好ましい。さらにジメチルスルホキシド、モノエタノー
ルアミン、イソプロピルアルコール、Ｎ−メチルピロリ
ドン、およびこれらの混合物が簡便性（既に液晶ディス
プレー生産の別工程で使用されているのでより簡便に実
施できる）の点で特に好ましい。また、感光性樹脂の現
像液と親和性の高い溶剤を用いることが現像液残存物除
去の点からみて望ましい。上記溶剤には、界面活性剤、
アルカリ剤、酸、水等の添加剤を適宜加えることができ
る。

【００１９】溶剤処理の条件としては、まず処理温度範
囲は、好ましくは２０℃〜１２０℃、より好ましくは４
０℃〜１００℃、最も好ましくは５０℃〜９０℃であ
る。溶剤処理時間は、好ましくは０．５分〜１００分、
より好ましくは３分〜３０分、最も好ましくは５分〜２
０分である。溶剤処理手段としては、基板を溶剤に浸漬
し静置する方法、基板を溶剤に浸漬して攪拌する方法、
基板に溶剤シャワーを噴霧する方法等が挙げられる。ま
た、溶剤処理後は、超純水で洗浄し、乾燥することが好
ましい。

【００２０】

【実施例】以下に実施例を示し本発明をさらに具体的に
説明するが、本発明はこれらの実施例により限定される
ものではない。 実施例１ この例では、青色着色層を形成した後溶剤処理を行い、
青色着色層の透過率を高めた例を示す。厚さ７５μｍの
ポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に下
記の処方Ｈ１からなる塗布液を塗布し、乾燥させ、次に
下記処方の酸素遮断膜処方Ｂ１からなる塗布液を塗布
し、乾燥させ、さらに下記感光性樹脂層溶液Ｋ１、Ｒ
１、Ｇ１またはＢ１を塗り付け、乾燥させ、該仮支持体
の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と、乾
燥膜厚が１．６μｍの酸素遮断膜と、乾燥膜厚が２μｍ
の感光層を設け、保護フイルム（厚さ１２μｍポリプロ
ピレンフィルム）を圧着して、４種類の一体型フイルム
を得た。前記の仮支持体、熱可塑性樹脂層、酸素遮断膜
および感光層が一体となった４種類の一体型フイルムの
サンプル名を、使用した感光性樹脂層溶液の記号Ｋ１、
Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１を用いて、一体型フイルムＫ１、Ｒ
１、Ｇ１、Ｂ１とした。

【００２１】 熱可塑性樹脂層処方Ｈ１： 塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体 ３００重量部 塩化ビニル−酢酸ビニル−マレイン酸共重合体 ８０重量部 フタル酸ジブチル ９０重量部 （メチルエチルケトンを溶媒とした）

【００２２】 酸素遮断膜処方Ｂ１： ポリビニルアルコール １８０重量部 弗素系界面活性剤 ８重量部 （水を溶媒とした）

【００２３】 感光性樹脂層溶液Ｋ１： ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 ６０重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート ４０重量部 ミヒラーズケトン ３重量部 ２-（ｏ-クロロフェニル）-４，５-ジフェニルイミダゾール二量体 ３重量部 カーボンブラック分散物 １００重量部 （メチルエチルケトンを溶媒とした）

【００２４】 感光性樹脂層溶液Ｒ１： ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合 １３重量部 ペンタエリスリトールヘキサアクリレート ３８重量部 フェノチアジン ０．８重量部 ２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スリチルメチル） −１，３，４−オキサジアゾール ３．１重量部 ２，４，６−トリス［２，４−ビス（メトキシカルボニルオキシ）フェニル］ −１，３，５トリアジン ３．８重量部 ７−［２−［４−（３−ヒドロキシメチルピペリジノ） −６−ジエチルアミノ］トリアジルアミノ］−３−フェニル １５重量部 Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４分散液 ２２０重量部 （メチルエチルケトンを溶媒とした）

【００２５】 感光性樹脂層溶液Ｇ１： ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 ３２重量部 ペンタエリスリトールヘキサアクリレート ４０重量部 フェノチアジン ０．０４重量部 ２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スリチルメチル） −１，３，４−オキサジアゾール １．９重量部 ７−［２−［４−（３−ヒドロキシメチルピペリジノ） −６−ジエチルアミノ］トリアジルアミノ］−３−フェニル １３重量部 Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６分散液 ６０重量部 Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８分散液 １０重量部 （メチルエチルケトンを溶媒とした）

【００２６】 感光性樹脂層溶液Ｂ１： ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 ２２重量部 ペンタエリスリトールヘキサアクリレート ４０重量部 フェノチアジン ０．２重量部 ２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スリチルメチル） −１，３，４−オキサジアゾール ２重量部 ２，４，６−トリス［２，４−ビス（メトキシカルボニルオキシ）フェニル］ −１，３，５トリアジン ２．５重量部 Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー １５：６分散液 １６０重量部 （メチルエチルケトンを溶媒とした）

【００２７】［ガラス基板への着色層の形成］ ＜ガラス基板の洗浄＞ガラス基板を、室温の超純水中で
超音波洗浄１分後、エアーブロー後、乾燥した。 ＜着色層の形成＞前記一体型フイルムＢ１の保護フイル
ムを剥離後ガラス基板にラミネートし、２０ｍＪ／ｃｍ
²のパターン露光後、トリエタノールアミン系現像液に
てシャワー現像し熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜を除去し
た。引き続き炭酸ナトリウム系現像液でシャワー現像し
感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。その後
両面から５００mJ/cm²ポスト露光を行い、引き続き２２
０℃２５分ポストベーク処理を実施し、青画素を得た。
その後、下記の溶剤処理を実施した。続いて一体型フイ
ルムＲ１、Ｇ１、Ｋ１を順次用い、赤、緑、黒の画像か
らなる着色層付ガラス基板（カラーフィルター）を形成
した。

【００２８】＜溶剤処理＞前記溶剤処理は下記の溶剤処
理液に浸漬し、温度８０℃で１０分間静置して実施し
た。 溶剤処理液Ｙ１の組成 モノエタノールアミン ７０重量部 ジメチルスルホキシド ３０重量部 （本処理液で処理したカラーフィルター名を実施例１−
Ｙ１とした） 溶剤処理液Ｙ２の組成 モノエタノールアミン ３０重量部 ジメチルスルホキシド ７０重量部 （本処理液で処理したカラーフィルター名を実施例１−
Ｙ２とした） 溶剤処理液Ｙ３の組成 ジメチルスルホキシド １００重量部 （本処理液で処理したカラーフィルター名を実施例１−
Ｙ３とした） 溶剤処理液Ｙ４の組成 モノエタノールアミン １００重量部 （本処理液で処理したカラーフィルター名を実施例１−
Ｙ４とした）

【００２９】比較例１ 溶剤処理を実施しない他は実施例１と同様にカラーフィ
ルターを作製し、比較例１のカラーフィルターとした。

【００３０】 ［透過率評価］ 上記、実施例１と比較例１の青画素の透過率を測定した。 基板名 透過率（４６５ｎｍ） 透過率（４３５ｎｍ） 実施例１−Ｙ１ ９３％ ８２％ 実施例１−Ｙ２ ９０％ ８０％ 実施例１−Ｙ３ ８８％ ７８％ 実施例１−Ｙ４ ８９％ ７８％ 比較例１のカラーフィルター ８５％ ７５％ 本発明の溶剤処理で作成されたカラーフィルターは青の
透過率が高く改善されたことが確認された。

【００３１】実施例２ この例では、赤色着色層の吸収波長を長波にシフトさせ
た例を示す。実施例１における一体型フイルムＲ１の保
護フイルムを剥離後ラミネートし、２０ｍＪ／ｃｍ²の
露光後、トリエタノールアミン系現像液にてシャワー現
像し熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜を除去した。引き続き
炭酸ナトリウム系現像液でシャワー現像し感光性樹脂層
を現像し、両面から５００mJ/cm²ポスト露光を行い、引
き続き２２０℃２５分ポストベーク処理を実施し、下記
の溶剤処理を実施し、赤色層付ガラス基板を形成した。 ＜溶剤処理＞前記基板を下記の溶剤処理液に浸漬し、温
度８０℃で１０分間静置した。 溶剤処理液Ｙ１の組成 モノエタノールアミン ７０重量部 ジメチルスルホキシド ３０重量部 （本処理液で処理した基板名を実施例２−Ｙ１とした）

【００３２】比較例２ 溶剤処理を実施しない他は実施例２と同様に基板を作成
し、比較例２の基板とした。

【００３３】［透過スペクトルの測定］上記、実施例２
と比較例２の透過スペクトルを測定した。 本発明の溶剤処理で作成された基板は吸収領域が１２ｎ
ｍ長波にシフトした。

【００３４】実施例３ この例では、基板としてＴＦＴ基板を用い、カラーフィ
ルターの青の透過率を向上させた例を示す。ＴＦＴ基板
としては前述のような通常のものを用いた。感光性樹脂
層を形成する溶液の顔料以外の塗布量を増やして（顔料
以外の各成分を同じ割合で増量）、乾燥膜厚が４μｍと
なるようにした他は、実施例１と同様にして一体型フイ
ルムＫ２、Ｂ２、Ｒ２、Ｇ２を作成した。ＴＦＴ基板
（アクティブマトリクス基板）に前記一体型フイルムＫ
２の保護フイルムを剥離後ラミネートし、２０ｍＪ／ｃ
ｍ²のパターン露光後、トリエタノールアミン系現像液
にてシャワー現像し熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜を除去
した。引き続き炭酸ナトリウム系現像液でシャワー現像
し感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。

【００３５】その後両面から５００mJ/cm²ポスト露光を
行い、引き続き２２０℃２５分ポストベーク処理を実施
し、黒画素を得た。同様に、前記一体型フイルムＢ２を
用い、青画素を得た。その後、下記の溶剤処理を実施し
た。続いて一体型フイルムＲ１、Ｇ１を順次用い、黒、
青、赤、緑の画像からなる着色層付ＴＦＴ基板を形成し
た。 ＜溶剤処理＞ 前記溶剤処理は下記の溶剤処理液に浸漬し、温度８０℃
で１０分間静置して実施した。 溶剤処理液Ｙ１の組成 モノエタノールアミン ７０重量部 ジメチルスルホキシド ３０重量部 （本処理液で処理したカラーフィルター名を実施例３−
Ｙ１とした）

【００３６】比較例３ 溶剤処理を実施しない他は実施例３と同様に、比較例３
の基板を作成した。

【００３７】［青画素の透過率の評価］上記、実施例３
と比較例３の青画素の透過率を測定した。 基板名 透過率（４６５ｎｍ） 透過率（４３５ｎｍ） 実施例３−Ｙ１ ９１％ ７８％ 比較例２の基板 ８３％ ６９％ 上記の評価より、本発明の溶剤処理で作成された基板は
青の透過率が高く改善されることが確認できる。ＴＦＴ
基板にカラーフィルターを形成する場合、ガラス基板の
場合に比べて膜厚を厚くすることが求められ、この場
合、青の透過率が低くなる傾向を有するが、本発明の溶
剤処理により青色透過率を向上させることができる。

【００３８】

【発明の効果】本発明のカラーフィルター形成方法は、
着色層を形成する工程と着色層の上に上層を形成する工
程との間に、着色層に対する溶剤処理を行う工程を挿入
したことにより、カラーフィルターの着色層の色を簡単
に調整することが可能となった。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB11 AB13 AC01 AD01 AD03 BC43 CA28 CB14 CC12 CC13 DA02 EA08 FA03 FA15 FA28 FA29 FA30 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB15 BB37 BB42 2H091 FA02Y FB02 FB06 FC12 FC21 GA01 GA13 LA12 LA15 2H096 AA28 BA01 BA09 CA16 EA02 GA03 GA08 HA01 HA03 HA30 JA04

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の上に着色層を形成する工程、およ
   び該着色層の上に上層を形成する工程を有するカラーフ
   ィルターの形成方法であって、前記カラーフィルター形
   成方法は、着色層を形成する工程と着色層の上に上層を
   形成する工程との間に、着色層に対する溶剤処理を行う
   工程を有することを特徴とするカラーフィルターの形成
   方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の方法により形成された
   カラーフィルター。