JP2001196171A - 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製法方法 - Google Patents
有機ｅｌディスプレイパネル及びその製法方法Info
- Publication number
- JP2001196171A JP2001196171A JP2000003485A JP2000003485A JP2001196171A JP 2001196171 A JP2001196171 A JP 2001196171A JP 2000003485 A JP2000003485 A JP 2000003485A JP 2000003485 A JP2000003485 A JP 2000003485A JP 2001196171 A JP2001196171 A JP 2001196171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display
- electrode
- organic
- light emitting
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 62
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 60
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 39
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 16
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、第１
表示電極（透明電極）と第２表示電極（金属電極）のシ
ョートによる欠陥を防止し、歩留まりを向上させる。 【解決手段】 第１表示電極の上に、開口部３ａを有す
る絶縁膜３を形成する。開口部３ａの四隅を円弧状の形
状にする。絶縁膜３および開口部３ａの上に有機ＥＬ発
光体薄膜４を形成する。有機ＥＬ発光体薄膜４と絶縁膜
３の位置がずれても、有機ＥＬ発光体薄膜４の隅の円弧
状の辺から絶縁膜３の開口部３ａの隅（第１表示電極２
ａの一部がはみ出さないようにする。絶縁膜の開口部の
隅を、円弧状の代わりに多角形にする。
表示電極（透明電極）と第２表示電極（金属電極）のシ
ョートによる欠陥を防止し、歩留まりを向上させる。 【解決手段】 第１表示電極の上に、開口部３ａを有す
る絶縁膜３を形成する。開口部３ａの四隅を円弧状の形
状にする。絶縁膜３および開口部３ａの上に有機ＥＬ発
光体薄膜４を形成する。有機ＥＬ発光体薄膜４と絶縁膜
３の位置がずれても、有機ＥＬ発光体薄膜４の隅の円弧
状の辺から絶縁膜３の開口部３ａの隅（第１表示電極２
ａの一部がはみ出さないようにする。絶縁膜の開口部の
隅を、円弧状の代わりに多角形にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電流の注入によっ
て発光する有機化合物材料のエレクトロルミネセンス
（以下、「有機ＥＬ」という。）を用いた有機ＥＬディ
スプレイパネル及びその製造方法に関する。
て発光する有機化合物材料のエレクトロルミネセンス
（以下、「有機ＥＬ」という。）を用いた有機ＥＬディ
スプレイパネル及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の有機ＥＬディスプレイパ
ネルの概略断面構造は、例えば図１０のようになってい
る。ガラス等の透明基板１０上に第１表示電極としての
透明電極２０、絶縁膜３０、有機ＥＬ発光体薄膜４０、
第２表示電極としての金属電極５０が順に積層されてい
る。絶縁膜３０には、透明電極２０の一部に対応する部
分に開口部３０ａが形成されており、この開口部３０ａ
の部分で有機ＥＬ発光体薄膜４０が透明電極２０と金属
電極５０に挟まれている。そして、透明電極２０及び金
属電極５０間に電圧が印加されて、有機ＥＬ発光体薄膜
４０に電流が流れ発光する。なお、この発光は透明基板
１０側から視認される。
ネルの概略断面構造は、例えば図１０のようになってい
る。ガラス等の透明基板１０上に第１表示電極としての
透明電極２０、絶縁膜３０、有機ＥＬ発光体薄膜４０、
第２表示電極としての金属電極５０が順に積層されてい
る。絶縁膜３０には、透明電極２０の一部に対応する部
分に開口部３０ａが形成されており、この開口部３０ａ
の部分で有機ＥＬ発光体薄膜４０が透明電極２０と金属
電極５０に挟まれている。そして、透明電極２０及び金
属電極５０間に電圧が印加されて、有機ＥＬ発光体薄膜
４０に電流が流れ発光する。なお、この発光は透明基板
１０側から視認される。
【０００３】ここで、有機ＥＬ発光体薄膜４０は、例え
ば、通常の薄膜のパターニングに用いられるフォトリソ
グラフィ法で形成するとフォトレジスト現像液等による
影響をうけるので、一般に、メタルマスクを用いて蒸着
により形成するようにしている。このメタルマスクは、
通常、ステンレス材（例えば厚さ０．１ｍｍ）に対して
有機ＥＬ発光材を通過させるための開口部を微細エッチ
ングして作成するが、その開口部の隅は鋭利な直角にな
らず、必ず円弧状の形状となってしまう。なお、その円
弧状の部分の半径は材質の厚みとほぼ同じで、厚さ０．
１ｍｍの板では半径が０．１ｍｍ程度となる。
ば、通常の薄膜のパターニングに用いられるフォトリソ
グラフィ法で形成するとフォトレジスト現像液等による
影響をうけるので、一般に、メタルマスクを用いて蒸着
により形成するようにしている。このメタルマスクは、
通常、ステンレス材（例えば厚さ０．１ｍｍ）に対して
有機ＥＬ発光材を通過させるための開口部を微細エッチ
ングして作成するが、その開口部の隅は鋭利な直角にな
らず、必ず円弧状の形状となってしまう。なお、その円
弧状の部分の半径は材質の厚みとほぼ同じで、厚さ０．
１ｍｍの板では半径が０．１ｍｍ程度となる。
【０００４】また、このメタルマスクを用いる蒸着法で
は、透明基板１０にパターニングされた透明電極２０お
よび絶縁膜３０に対してメタルマスクを精度良く位置合
わせを行ない、蒸着することで有機ＥＬ発光体薄膜４０
が発光部として形成される。
は、透明基板１０にパターニングされた透明電極２０お
よび絶縁膜３０に対してメタルマスクを精度良く位置合
わせを行ない、蒸着することで有機ＥＬ発光体薄膜４０
が発光部として形成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば、図１
１に示したように、絶縁膜３０の開口部３０ａに対し
て、有機ＥＬ発光体薄膜４０の位置がずれた場合、その
隅の部分を拡大図（一点鎖線の丸の中）に示したよう
に、有機ＥＬ発光体薄膜４０の隅の部分は円弧状になっ
ているため、絶縁膜３０の開口部３０ａの直角の隅の部
分が有機ＥＬ発光体薄膜４０からはみ出してしまうこと
がある。すなわち、開口部３０ａの隅の部分に有機ＥＬ
発光体薄膜４０の未成膜部分ができてしまい、図１２に
断面を示したように、透明電極２０と金属電極５０との
短絡部ができてショートしてしまう。
１に示したように、絶縁膜３０の開口部３０ａに対し
て、有機ＥＬ発光体薄膜４０の位置がずれた場合、その
隅の部分を拡大図（一点鎖線の丸の中）に示したよう
に、有機ＥＬ発光体薄膜４０の隅の部分は円弧状になっ
ているため、絶縁膜３０の開口部３０ａの直角の隅の部
分が有機ＥＬ発光体薄膜４０からはみ出してしまうこと
がある。すなわち、開口部３０ａの隅の部分に有機ＥＬ
発光体薄膜４０の未成膜部分ができてしまい、図１２に
断面を示したように、透明電極２０と金属電極５０との
短絡部ができてショートしてしまう。
【０００６】このように、しばしばメタルマスクの位置
合わせが不完全となることがあり、有機ＥＬ発光体薄膜
４０の未成膜部分が発生し、透明電極２０と金属電極５
０との間でショートして不良品が生じるという問題があ
る。また、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーディスプレイを構成する
場合など、メタルマスクに多数の開口部を形成する必要
があり、メタルマスクの強度が弱くなり易いが、このメ
タルマスクの強度が弱いと、位置合わせが不完全となる
要因ともなる。このような問題は、有機ＥＬディスプレ
イパネルの製造時における不良原因の一つであり、歩留
まりを大きく低下させていた。
合わせが不完全となることがあり、有機ＥＬ発光体薄膜
４０の未成膜部分が発生し、透明電極２０と金属電極５
０との間でショートして不良品が生じるという問題があ
る。また、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーディスプレイを構成する
場合など、メタルマスクに多数の開口部を形成する必要
があり、メタルマスクの強度が弱くなり易いが、このメ
タルマスクの強度が弱いと、位置合わせが不完全となる
要因ともなる。このような問題は、有機ＥＬディスプレ
イパネルの製造時における不良原因の一つであり、歩留
まりを大きく低下させていた。
【０００７】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたも
のであり、透明電極と金属電極のショートによる欠陥を
低減し、歩留まり向上を図った有機ＥＬディスプレイパ
ネル及びその製造方法を提供することを目的とする。
のであり、透明電極と金属電極のショートによる欠陥を
低減し、歩留まり向上を図った有機ＥＬディスプレイパ
ネル及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の有機ＥＬディ
スプレイパネルは、複数の発光部からなる画像表示列を
有している有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、前記
発光部に対応する複数の第１表示電極が表面上に形成さ
れた基板と、前記基板および第１表示電極上に形成さ
れ、該第１表示電極の少なくとも一部を露出する複数の
開口部を有する電気絶縁性の絶縁膜と、前記第１表示電
極の前記露出部分上に形成された有機ＥＬ発光体薄膜
と、前記有機ＥＬ発光体薄膜上に形成された複数の第２
表示電極とを備え、前記絶縁膜の前記開口部の隅が該開
口部の中央側に絞られた形状とされていることを特徴と
する。
スプレイパネルは、複数の発光部からなる画像表示列を
有している有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、前記
発光部に対応する複数の第１表示電極が表面上に形成さ
れた基板と、前記基板および第１表示電極上に形成さ
れ、該第１表示電極の少なくとも一部を露出する複数の
開口部を有する電気絶縁性の絶縁膜と、前記第１表示電
極の前記露出部分上に形成された有機ＥＬ発光体薄膜
と、前記有機ＥＬ発光体薄膜上に形成された複数の第２
表示電極とを備え、前記絶縁膜の前記開口部の隅が該開
口部の中央側に絞られた形状とされていることを特徴と
する。
【０００９】請求項２の有機ＥＬディスプレイパネル
は、請求項１の構成を備え、前記複数の発光部が複数の
発光色に対応して設けられたカラー表示を行なう有機Ｅ
Ｌディスプレイパネルであって、前記第１表示電極が矩
形に形成されるとともに、該第１表示電極がその一組の
対向する２辺から直角に延設された幅の狭い連結部で連
結された電極ラインを構成し、前記第２表示電極が前記
電極ラインと直交して該電極ラインの方向に複数併設さ
れ、同一電極ラインの前記第１表示電極が第２表示電極
に対向され、隣り合う電極ライン同士が、一方の第１表
示電極が他方の連結部と隣接するように配置され、同一
電極ラインの第１表示電極が同一色に対応するように前
記有機ＥＬ発光体薄膜が形成されるとともに、順次並ぶ
電極ラインに対して、複数の発光色のうちの予め設定さ
れた順番に対応して各色が順に設定されていることを特
徴とする。
は、請求項１の構成を備え、前記複数の発光部が複数の
発光色に対応して設けられたカラー表示を行なう有機Ｅ
Ｌディスプレイパネルであって、前記第１表示電極が矩
形に形成されるとともに、該第１表示電極がその一組の
対向する２辺から直角に延設された幅の狭い連結部で連
結された電極ラインを構成し、前記第２表示電極が前記
電極ラインと直交して該電極ラインの方向に複数併設さ
れ、同一電極ラインの前記第１表示電極が第２表示電極
に対向され、隣り合う電極ライン同士が、一方の第１表
示電極が他方の連結部と隣接するように配置され、同一
電極ラインの第１表示電極が同一色に対応するように前
記有機ＥＬ発光体薄膜が形成されるとともに、順次並ぶ
電極ラインに対して、複数の発光色のうちの予め設定さ
れた順番に対応して各色が順に設定されていることを特
徴とする。
【００１０】請求項３の有機ＥＬディスプレイパネル
は、請求項１の構成を備え、前記複数の発光部が赤、
緑、青の３色に対応して設けられたカラー表示を行なう
有機ＥＬディスプレイパネルであって、前記第１表示電
極が矩形に形成されるとともに、該第１表示電極がその
一組の対向する２辺から直角に延設された幅の狭い連結
部で連結された電極ラインを構成し、前記第２表示電極
が前記電極ラインと直交して該電極ラインの方向に複数
併設され、同一電極ラインの前記第１表示電極が第２表
示電極に対向され、隣り合う電極ライン同士が一方の第
１表示電極が他方の連結部と隣接するように配置され、
同一電極ラインの第１表示電極が同一色に対応するよう
に前記有機ＥＬ発光体薄膜が形成されるとともに、順次
並ぶ電極ラインに対して、赤、緑、青の３色のうちの予
め設定された順番に対応して各色が順に設定されている
ことを特徴とする。
は、請求項１の構成を備え、前記複数の発光部が赤、
緑、青の３色に対応して設けられたカラー表示を行なう
有機ＥＬディスプレイパネルであって、前記第１表示電
極が矩形に形成されるとともに、該第１表示電極がその
一組の対向する２辺から直角に延設された幅の狭い連結
部で連結された電極ラインを構成し、前記第２表示電極
が前記電極ラインと直交して該電極ラインの方向に複数
併設され、同一電極ラインの前記第１表示電極が第２表
示電極に対向され、隣り合う電極ライン同士が一方の第
１表示電極が他方の連結部と隣接するように配置され、
同一電極ラインの第１表示電極が同一色に対応するよう
に前記有機ＥＬ発光体薄膜が形成されるとともに、順次
並ぶ電極ラインに対して、赤、緑、青の３色のうちの予
め設定された順番に対応して各色が順に設定されている
ことを特徴とする。
【００１１】請求項４の有機ＥＬディスプレイパネルの
製造方法は、複数の発光部からなる画像表示列を有して
いる有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法において、
基板上に、前記発光部に対応する複数の第１表示電極を
形成する第１電極パターニング工程と、前記基板および
第１表示電極上に、該第１表示電極の少なくとも一部を
露出する複数の開口部を有する電気絶縁性の絶縁膜を形
成する絶縁膜パターニング工程と、前記第１表示電極の
露出部分に対応する開口部がパターニングされたマスク
を用い、該第１表示電極の露出部分と該マスクの開口部
との位置合わせを行ない、該表示電極の露出部分に有機
ＥＬ発光体を堆積させて有機ＥＬ発光体薄膜を形成する
発光膜形成工程と、前記有機ＥＬ発光体薄膜上に複数の
第２表示電極を形成する第２電極パターニング工程とを
備え、前記絶縁膜パターニング工程において、前記絶縁
膜の前記開口部の隅が該開口部の中央側に絞られた形状
となるように該絶縁膜を形成することを特徴とする。
製造方法は、複数の発光部からなる画像表示列を有して
いる有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法において、
基板上に、前記発光部に対応する複数の第１表示電極を
形成する第１電極パターニング工程と、前記基板および
第１表示電極上に、該第１表示電極の少なくとも一部を
露出する複数の開口部を有する電気絶縁性の絶縁膜を形
成する絶縁膜パターニング工程と、前記第１表示電極の
露出部分に対応する開口部がパターニングされたマスク
を用い、該第１表示電極の露出部分と該マスクの開口部
との位置合わせを行ない、該表示電極の露出部分に有機
ＥＬ発光体を堆積させて有機ＥＬ発光体薄膜を形成する
発光膜形成工程と、前記有機ＥＬ発光体薄膜上に複数の
第２表示電極を形成する第２電極パターニング工程とを
備え、前記絶縁膜パターニング工程において、前記絶縁
膜の前記開口部の隅が該開口部の中央側に絞られた形状
となるように該絶縁膜を形成することを特徴とする。
【００１２】本発明の請求項５の有機ＥＬディスプレイ
パネルの製造方法は、請求項４の構成を備え、前記マス
クが、金属板の微細エッチング加工により形成されたも
のであることを特徴とする。
パネルの製造方法は、請求項４の構成を備え、前記マス
クが、金属板の微細エッチング加工により形成されたも
のであることを特徴とする。
【００１３】有機ＥＬ発光体薄膜の隅が円弧状で、絶縁
膜の開口部が例えば矩形になっている場合、有機ＥＬ発
光体薄膜と絶縁膜の開口部との位置がずれると、絶縁膜
の開口部の隅の部分が有機ＥＬ発光体薄膜の隅の円弧状
の辺からはみ出す現象が先ず生じる。しかし、請求項１
の有機ＥＬディスプレイパネルによれば、絶縁膜の開口
部の隅が該開口部の中央側に絞られた形状とされている
ので、有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口部との位置が
ずれても、絶縁膜の開口部の隅が有機ＥＬ発光体薄膜の
隅の円弧状の辺の内側に留まり易く、この絶縁膜の開口
部の隅に、有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成され
るのを防止できる。
膜の開口部が例えば矩形になっている場合、有機ＥＬ発
光体薄膜と絶縁膜の開口部との位置がずれると、絶縁膜
の開口部の隅の部分が有機ＥＬ発光体薄膜の隅の円弧状
の辺からはみ出す現象が先ず生じる。しかし、請求項１
の有機ＥＬディスプレイパネルによれば、絶縁膜の開口
部の隅が該開口部の中央側に絞られた形状とされている
ので、有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口部との位置が
ずれても、絶縁膜の開口部の隅が有機ＥＬ発光体薄膜の
隅の円弧状の辺の内側に留まり易く、この絶縁膜の開口
部の隅に、有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成され
るのを防止できる。
【００１４】請求項２の有機ＥＬディスプレイパネルに
よれば、第１表示電極がその一組の対向する２辺から直
角に延設された幅の狭い連結部で連結された電極ライン
を構成し、同一電極ラインの第１表示電極が第２表示電
極に対向されている。また、同一電極ラインの第１表示
電極が同一色に対応するように前記有機ＥＬ発光体薄膜
が形成される。さらに、隣り合う電極ライン同士が一方
の第１表示電極が他方の連結部と隣接するように配置さ
れ、順次並ぶ電極ラインに対して、複数の発光色のうち
の予め設定された順番に対応して各色が順に設定されて
いる。
よれば、第１表示電極がその一組の対向する２辺から直
角に延設された幅の狭い連結部で連結された電極ライン
を構成し、同一電極ラインの第１表示電極が第２表示電
極に対向されている。また、同一電極ラインの第１表示
電極が同一色に対応するように前記有機ＥＬ発光体薄膜
が形成される。さらに、隣り合う電極ライン同士が一方
の第１表示電極が他方の連結部と隣接するように配置さ
れ、順次並ぶ電極ラインに対して、複数の発光色のうち
の予め設定された順番に対応して各色が順に設定されて
いる。
【００１５】すなわち、同一色の有機ＥＬ発光体薄膜は
それぞれ離間しているので、この有機ＥＬ発光体薄膜を
形成する際に用いるメタルマスクの開口部を離間するこ
とができ、高い強度のメタルマスクとすることができ
る。したがって、この請求項２の有機ＥＬディスプレイ
パネルによれば、請求項１と同様な作用効果が得られる
とともに、さらに、有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口
部との位置ずれを低減して有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜
部分が形成されるのを防止できる。
それぞれ離間しているので、この有機ＥＬ発光体薄膜を
形成する際に用いるメタルマスクの開口部を離間するこ
とができ、高い強度のメタルマスクとすることができ
る。したがって、この請求項２の有機ＥＬディスプレイ
パネルによれば、請求項１と同様な作用効果が得られる
とともに、さらに、有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口
部との位置ずれを低減して有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜
部分が形成されるのを防止できる。
【００１６】請求項３の有機ＥＬディスプレイパネル
は、請求項２の複数の発光色が赤、緑、青の３色の場合
であって、順次並ぶ電極ラインに対して、赤、緑、青の
３色のうちの予め設定された順番に対応して各色が順に
設定されており、メタルマスクの開口部を離間すること
ができ、高い強度のメタルマスクとすることができる。
したがって、請求項１と同様な作用効果が得られるとと
もに、さらに、有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口部と
の位置ずれを低減して有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分
が形成されるのを防止できる。
は、請求項２の複数の発光色が赤、緑、青の３色の場合
であって、順次並ぶ電極ラインに対して、赤、緑、青の
３色のうちの予め設定された順番に対応して各色が順に
設定されており、メタルマスクの開口部を離間すること
ができ、高い強度のメタルマスクとすることができる。
したがって、請求項１と同様な作用効果が得られるとと
もに、さらに、有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口部と
の位置ずれを低減して有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分
が形成されるのを防止できる。
【００１７】請求項４または請求項５の有機ＥＬディス
プレイパネルの製造方法によれば、絶縁膜の開口部の隅
に有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成されるのを防
止できる請求項１の有機ＥＬディスプレイパネルを製造
することができる。
プレイパネルの製造方法によれば、絶縁膜の開口部の隅
に有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成されるのを防
止できる請求項１の有機ＥＬディスプレイパネルを製造
することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図３〜図６は、本発明実施形態の
有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程を示す平面図、
図７は同有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程および
同有機ＥＬディスプレイパネルを示す断面図である。な
お、図７では、図を解りやすくするために断面を示す模
様（ハッチング）を適宜省略してある。また、図７は、
図３のＡ−Ａ矢視断面に対応する断面図である。実施形
態の有機ＥＬディスプレイパネルは以下のように製造さ
れる。
有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程を示す平面図、
図７は同有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程および
同有機ＥＬディスプレイパネルを示す断面図である。な
お、図７では、図を解りやすくするために断面を示す模
様（ハッチング）を適宜省略してある。また、図７は、
図３のＡ−Ａ矢視断面に対応する断面図である。実施形
態の有機ＥＬディスプレイパネルは以下のように製造さ
れる。
【００１９】先ず、第１電極パターニング工程により、
図３および図７(A) に示すように、ガラス等の透明基板
１上にＩＴＯ等の電極材料を蒸着し、フォトリソグラフ
ィ法に基づくパターニングに従い、透明電極である矩形
の第１表示電極２ａと連結部２ｂからなる複数本の電極
ライン２を形成する。ここで、同一の電極ライン２にお
いて、連結部２ｂは第１表示電極２ａより幅が狭く第１
表示電極２ａの対向する２辺から直角に延設されてお
り、この連結部２ｂによって複数の第１表示電極２ａが
間隙を開けて連結されている。また、隣り合う電極ライ
ン２、２同士は、一方の電極ライン２の第１表示電極２
ａが他方の電極ライン２の連結部２ｂと隣接するように
配置されている。
図３および図７(A) に示すように、ガラス等の透明基板
１上にＩＴＯ等の電極材料を蒸着し、フォトリソグラフ
ィ法に基づくパターニングに従い、透明電極である矩形
の第１表示電極２ａと連結部２ｂからなる複数本の電極
ライン２を形成する。ここで、同一の電極ライン２にお
いて、連結部２ｂは第１表示電極２ａより幅が狭く第１
表示電極２ａの対向する２辺から直角に延設されてお
り、この連結部２ｂによって複数の第１表示電極２ａが
間隙を開けて連結されている。また、隣り合う電極ライ
ン２、２同士は、一方の電極ライン２の第１表示電極２
ａが他方の電極ライン２の連結部２ｂと隣接するように
配置されている。
【００２０】次に、絶縁膜パターニング工程により、図
４および図７(B) に示すように、上記電極ライン２が形
成された透明基板１上に、フォトリソグラフィ法に基づ
くパターニングに従い、電極ライン２の連結部２ｂ上と
第１表示電極２ａの周囲上にポリイミド（ＰＩ）等の絶
縁材料の絶縁膜３を形成する。なお、図３〜図６では斜
線を付けたところはその対応する工程で形成された層を
示し、その下の層は１工程前の層のみを破線で示してあ
る。絶縁膜３は、第１表示電極２ａより小さな略矩形の
開口部３ａを有しており、この開口部３ａの四隅の，
，，の部分の形状は円弧状になっている。この実
施形態における絶縁膜３は、開口部３ａの隅の形状が円
弧状になっている点が、従来の絶縁膜およびその開口部
と異なる点である。なお、図７(B) では、便宜上絶縁膜
３のエッジ部の断面をほぼ垂直にしてあるが、実際は、
なだらかな順テーパー形状が望ましい。
４および図７(B) に示すように、上記電極ライン２が形
成された透明基板１上に、フォトリソグラフィ法に基づ
くパターニングに従い、電極ライン２の連結部２ｂ上と
第１表示電極２ａの周囲上にポリイミド（ＰＩ）等の絶
縁材料の絶縁膜３を形成する。なお、図３〜図６では斜
線を付けたところはその対応する工程で形成された層を
示し、その下の層は１工程前の層のみを破線で示してあ
る。絶縁膜３は、第１表示電極２ａより小さな略矩形の
開口部３ａを有しており、この開口部３ａの四隅の，
，，の部分の形状は円弧状になっている。この実
施形態における絶縁膜３は、開口部３ａの隅の形状が円
弧状になっている点が、従来の絶縁膜およびその開口部
と異なる点である。なお、図７(B) では、便宜上絶縁膜
３のエッジ部の断面をほぼ垂直にしてあるが、実際は、
なだらかな順テーパー形状が望ましい。
【００２１】次に、発光膜形成工程により、図５および
図７(C) に示すように、電極ライン２および絶縁膜３が
形成された透明基板１上に赤、緑、青の各発光色に対応
する有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４Ｇ、４Ｂを形成する。
この発光膜形成工程では、例えば図２に示すメタルマス
ク６を用いる。なお、図２のメタルマスク６の開口部６
ａの配置パターンは図５に示した赤の有機ＥＬ発光体薄
膜４Ｒに対応して図示してあるが、有機ＥＬ発光体薄膜
４Ｇ、４Ｂに対応するメタルマスクの開口部の配置パタ
ーンも、電極ライン２の左右１ピッチ分のずれはあるが
このメタルマスク６と同様である。
図７(C) に示すように、電極ライン２および絶縁膜３が
形成された透明基板１上に赤、緑、青の各発光色に対応
する有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４Ｇ、４Ｂを形成する。
この発光膜形成工程では、例えば図２に示すメタルマス
ク６を用いる。なお、図２のメタルマスク６の開口部６
ａの配置パターンは図５に示した赤の有機ＥＬ発光体薄
膜４Ｒに対応して図示してあるが、有機ＥＬ発光体薄膜
４Ｇ、４Ｂに対応するメタルマスクの開口部の配置パタ
ーンも、電極ライン２の左右１ピッチ分のずれはあるが
このメタルマスク６と同様である。
【００２２】そして、有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４Ｇ、
４Ｂを形成する際には、メタルマスク６を絶縁膜３上に
載置し、絶縁膜３の開口部３ａがメタルマスク６の開口
部６ａの中央に納まるように予め設定されている位置出
し手段により、メタルマスク６の位置出しをし、有機Ｅ
Ｌ材料を蒸着する。この過程を赤、緑、青の各々につい
て実行する。
４Ｂを形成する際には、メタルマスク６を絶縁膜３上に
載置し、絶縁膜３の開口部３ａがメタルマスク６の開口
部６ａの中央に納まるように予め設定されている位置出
し手段により、メタルマスク６の位置出しをし、有機Ｅ
Ｌ材料を蒸着する。この過程を赤、緑、青の各々につい
て実行する。
【００２３】次に、図６および図７(D) に示すように、
電極ライン２、絶縁膜３および有機ＥＬ発光体薄膜４
Ｒ、４Ｇ、４Ｂが形成された透明基板１上に、例えば、
メタルマスクを用いた蒸着、もしくは特開平８−３１５
９８１に開示されているような方法を用いて、電極ライ
ン２と直交するように第２表示電極である複数の金属電
極５を形成する。なお、各金属電極５は、複数の併設さ
れた電極ライン２にわたって、有機ＥＬ発光体薄膜４
Ｒ、４Ｇ、４Ｂを覆うように形成されている。
電極ライン２、絶縁膜３および有機ＥＬ発光体薄膜４
Ｒ、４Ｇ、４Ｂが形成された透明基板１上に、例えば、
メタルマスクを用いた蒸着、もしくは特開平８−３１５
９８１に開示されているような方法を用いて、電極ライ
ン２と直交するように第２表示電極である複数の金属電
極５を形成する。なお、各金属電極５は、複数の併設さ
れた電極ライン２にわたって、有機ＥＬ発光体薄膜４
Ｒ、４Ｇ、４Ｂを覆うように形成されている。
【００２４】以上のようにして、実施形態の有機ＥＬデ
ィスプレイパネルが製造される。上記のように構成され
た有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、電極ライン２
と金属電極５の間に所定の電圧を印加することにより、
有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４Ｇ、あるいは４Ｂが発光す
る。
ィスプレイパネルが製造される。上記のように構成され
た有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、電極ライン２
と金属電極５の間に所定の電圧を印加することにより、
有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４Ｇ、あるいは４Ｂが発光す
る。
【００２５】図１は実施形態の作用を説明する図であ
り、絶縁膜３の開口部３ａに対して、有機ＥＬ発光体薄
膜４（以下、赤、緑、青を問わないときは符号４Ｒ、４
Ｇ、４Ｂを代表して符号４とする。）の位置がずれた場
合を例示している。絶縁膜３の開口部３ａの隅と有機Ｅ
Ｌ発光体薄膜４の隅が接近している部分の拡大図（一点
鎖線の丸の中）に示したように、有機ＥＬ発光体薄膜４
の隅の部分は円弧状になっているが、絶縁膜３の開口部
３ａの隅の部分も円弧状になっているので、開口部３ａ
の隅の部分が有機ＥＬ発光体薄膜４の下に納まる。した
がって、絶縁膜３に対して有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４
Ｇ、４Ｂが位置ずれしても、電極ライン２の第１表示電
極２ａと金属電極鏡５の間には絶縁膜３または有機ＥＬ
発光体薄膜４が介在するので、電極ライン２の第１表示
電極２ａと金属電極５とがショートすることがない。
り、絶縁膜３の開口部３ａに対して、有機ＥＬ発光体薄
膜４（以下、赤、緑、青を問わないときは符号４Ｒ、４
Ｇ、４Ｂを代表して符号４とする。）の位置がずれた場
合を例示している。絶縁膜３の開口部３ａの隅と有機Ｅ
Ｌ発光体薄膜４の隅が接近している部分の拡大図（一点
鎖線の丸の中）に示したように、有機ＥＬ発光体薄膜４
の隅の部分は円弧状になっているが、絶縁膜３の開口部
３ａの隅の部分も円弧状になっているので、開口部３ａ
の隅の部分が有機ＥＬ発光体薄膜４の下に納まる。した
がって、絶縁膜３に対して有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４
Ｇ、４Ｂが位置ずれしても、電極ライン２の第１表示電
極２ａと金属電極鏡５の間には絶縁膜３または有機ＥＬ
発光体薄膜４が介在するので、電極ライン２の第１表示
電極２ａと金属電極５とがショートすることがない。
【００２６】ここで、メタルマスク６は０．１ｍｍのス
テンレス板に微細エッチング加工を施して開口部６ａを
形成したものであるが、図２に示したように、開口部６
ａが互いに離間しているので、メタルマスク６の強度は
十分であり、有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４Ｇ、４Ｂの位
置精度を保つことができ、さらに電極間のショートを防
止することができる。
テンレス板に微細エッチング加工を施して開口部６ａを
形成したものであるが、図２に示したように、開口部６
ａが互いに離間しているので、メタルマスク６の強度は
十分であり、有機ＥＬ発光体薄膜４Ｒ、４Ｇ、４Ｂの位
置精度を保つことができ、さらに電極間のショートを防
止することができる。
【００２７】上記の実施形態では、絶縁膜３の開口部３
ａの隅の形状を円弧状にすることで、開口部の隅が開口
部の中央側に絞られた形状となるようにしているが、例
えば図８に示した絶縁膜３′のように開口部３ａ′の隅
を多角にしてもよい。
ａの隅の形状を円弧状にすることで、開口部の隅が開口
部の中央側に絞られた形状となるようにしているが、例
えば図８に示した絶縁膜３′のように開口部３ａ′の隅
を多角にしてもよい。
【００２８】なお、上記の実施形態ではカラーディスプ
レイの場合について説明したが、本発明は２色以上の多
色ディスプレイやモノクロディスプレイにも適用できる
ことはいうまでもない。
レイの場合について説明したが、本発明は２色以上の多
色ディスプレイやモノクロディスプレイにも適用できる
ことはいうまでもない。
【００２９】また、実施形態では金属電極を形成する工
程までを説明したが、さらに保護膜を形成したり、カバ
ーを取り付けて封止するようにしてもよいことはいうま
でもない。
程までを説明したが、さらに保護膜を形成したり、カバ
ーを取り付けて封止するようにしてもよいことはいうま
でもない。
【００３０】なお、図９に示した電極ライン２′のよう
に、第１表示電極２ａ′や連結部２ｂ′の角の部分を円
弧状にすると、電極ライン２′の全体の抵抗値が下がる
という効果がある。また、電極ライン２′の形成時のフ
ォトマスクに鋭角な箇所が無くなるので、静電気が集中
しにくく、フォトマスクの静電気破損を抑えることがで
きる。
に、第１表示電極２ａ′や連結部２ｂ′の角の部分を円
弧状にすると、電極ライン２′の全体の抵抗値が下がる
という効果がある。また、電極ライン２′の形成時のフ
ォトマスクに鋭角な箇所が無くなるので、静電気が集中
しにくく、フォトマスクの静電気破損を抑えることがで
きる。
【００３１】
【発明の効果】請求項１の有機ＥＬディスプレイパネル
によれば、有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口部との位
置がずれても、絶縁膜の開口部の隅が有機ＥＬ発光体薄
膜の隅の円弧状の辺の内側に留まり易く、この絶縁膜の
開口部の隅に有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成さ
れるのを防止でき、歩留まり向上を図ることができる。
によれば、有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口部との位
置がずれても、絶縁膜の開口部の隅が有機ＥＬ発光体薄
膜の隅の円弧状の辺の内側に留まり易く、この絶縁膜の
開口部の隅に有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成さ
れるのを防止でき、歩留まり向上を図ることができる。
【００３２】請求項２または請求項３の有機ＥＬディス
プレイパネルによれば、請求項１と同様な作用効果が得
られるとともに、有機ＥＬ発光体薄膜を形成する際に用
いるメタルマスクの開口部を離間することができ、高い
強度のメタルマスクとすることができるので、さらに、
有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口部との位置ずれを低
減して有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成されるの
を防止でき、歩留まり向上を図ることができる。
プレイパネルによれば、請求項１と同様な作用効果が得
られるとともに、有機ＥＬ発光体薄膜を形成する際に用
いるメタルマスクの開口部を離間することができ、高い
強度のメタルマスクとすることができるので、さらに、
有機ＥＬ発光体薄膜と絶縁膜の開口部との位置ずれを低
減して有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成されるの
を防止でき、歩留まり向上を図ることができる。
【００３３】請求項４または請求項５の有機ＥＬディス
プレイパネルの製造方法によれば、絶縁膜の開口部の隅
に有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成されるのを防
止できる請求項１の有機ＥＬディスプレイパネルを製造
することができ、歩留まり向上を図ることができる。
プレイパネルの製造方法によれば、絶縁膜の開口部の隅
に有機ＥＬ発光体薄膜の未成膜部分が形成されるのを防
止できる請求項１の有機ＥＬディスプレイパネルを製造
することができ、歩留まり向上を図ることができる。
【図１】本発明実施形態の絶縁膜の開口部の作用を説明
する図である。
する図である。
【図２】本発明実施形態におけるメタルマスクを示す図
である。
である。
【図３】本発明実施形態における第１電極パターニング
工程を示す平面図である。
工程を示す平面図である。
【図４】本発明実施形態における絶縁膜パターニング工
程を示す平面図である。
程を示す平面図である。
【図５】本発明実施形態における発光膜形成工程を示す
平面図である。
平面図である。
【図６】本発明実施形態における第２電極パターニング
工程を示す平面図である。
工程を示す平面図である。
【図７】本発明実施形態における有機ＥＬディスプレイ
パネルの製造工程を示す断面図である。
パネルの製造工程を示す断面図である。
【図８】本発明実施形態における絶縁膜および開口部の
他の例を示す図である。
他の例を示す図である。
【図９】本発明実施形態における電極ラインの他の例を
示す図である。
示す図である。
【図１０】従来の有機ＥＬディスプレイパネルの概略断
面構造の一例を示す図である。
面構造の一例を示す図である。
【図１１】従来の有機ＥＬディスプレイパネルの位置ず
れと未成膜部分を示す平面図ある。
れと未成膜部分を示す平面図ある。
【図１２】従来の有機ＥＬディスプレイパネルにおける
未成膜部分での電極間のショートを説明する断面図であ
る。
未成膜部分での電極間のショートを説明する断面図であ
る。
【符号の説明】 １ 透明基板 ２ 電極ライン ２ａ 第１表示電極 ２ｂ 連結部 ３ 絶縁膜 ３ａ 開口部 ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂ 有機ＥＬ発光体薄膜 ５ 金属電極（第２表示電極） ６ メタルマスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3K007 AB00 AB04 AB05 AB18 BA06 CA01 CB01 DA00 EA00 EB00 FA00 FA01 5C094 AA08 AA21 AA42 AA43 BA27 CA19 CA24 EA05 EB02 GB10 HA08
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の発光部からなる画像表示列を有し
ている有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、 前記発光部に対応する複数の第１表示電極が表面上に形
成された基板と、 前記基板および第１表示電極上に形成され、該第１表示
電極の少なくとも一部を露出する複数の開口部を有する
電気絶縁性の絶縁膜と、 前記第１表示電極の前記露出部分上に形成された有機Ｅ
Ｌ発光体薄膜と、 前記有機ＥＬ発光体薄膜上に形成された複数の第２表示
電極とを備え、 前記絶縁膜の前記開口部の隅が該開口部の中央側に絞ら
れた形状とされていることを特徴とする有機ＥＬディス
プレイパネル。 - 【請求項２】 前記複数の発光部が複数の発光色に対応
して設けられたカラー表示を行なう有機ＥＬディスプレ
イパネルであって、 前記第１表示電極が矩形に形成されるとともに、該第１
表示電極がその一組の対向する２辺から直角に延設され
た幅の狭い連結部で連結された電極ラインを構成し、 前記第２表示電極が前記電極ラインと直交して該電極ラ
インの方向に複数併設され、 同一電極ラインの前記第１表示電極が第２表示電極に対
向され、 隣り合う電極ライン同士が、一方の第１表示電極が他方
の連結部と隣接するように配置され、 同一電極ラインの第１表示電極が同一色に対応するよう
に前記有機ＥＬ発光体薄膜が形成されるとともに、順次
並ぶ電極ラインに対して、複数の発光色のうちの予め設
定された順番に対応して各色が順に設定されていること
を特徴とする請求項１記載の有機ＥＬディスプレイパネ
ル。 - 【請求項３】 前記複数の発光部が赤、緑、青の３色に
対応して設けられたカラー表示を行なう有機ＥＬディス
プレイパネルであって、 前記第１表示電極が矩形に形成されるとともに、該第１
表示電極がその一組の対向する２辺から直角に延設され
た幅の狭い連結部で連結された電極ラインを構成し、 前記第２表示電極が前記電極ラインと直交して該電極ラ
インの方向に複数併設され、 同一電極ラインの前記第１表示電極が第２表示電極に対
向され、 隣り合う電極ライン同士が、一方の第１表示電極が他方
の連結部と隣接するように配置され、 同一電極ラインの第１表示電極が同一色に対応するよう
に前記有機ＥＬ発光体薄膜が形成されるとともに、順次
並ぶ電極ラインに対して、赤、緑、青の３色のうちの予
め設定された順番に対応して各色が順に設定されている
ことを特徴とする請求項１記載の有機ＥＬディスプレイ
パネル。 - 【請求項４】 複数の発光部からなる画像表示列を有し
ている有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法におい
て、 基板上に、前記発光部に対応する複数の第１表示電極を
形成する第１電極パターニング工程と、 前記基板および第１表示電極上に、該第１表示電極の少
なくとも一部を露出する複数の開口部を有する電気絶縁
性の絶縁膜を形成する絶縁膜パターニング工程と、 前記第１表示電極の露出部分に対応する開口部がパター
ニングされたマスクを用い、該第１表示電極の露出部分
と該マスクの開口部との位置合わせを行ない、該表示電
極の露出部分に有機ＥＬ発光体を堆積させて有機ＥＬ発
光体薄膜を形成する発光膜形成工程と、 前記有機ＥＬ発光体薄膜上に複数の第２表示電極を形成
する第２電極パターニング工程とを備え、 前記絶縁膜パターニング工程において、前記絶縁膜の前
記開口部の隅が該開口部の中央側に絞られた形状となる
ように該絶縁膜を形成することを特徴とする有機ＥＬデ
ィスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項５】 前記マスクが、金属板の微細エッチング
加工により形成されたものであることを特徴とする請求
項４記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000003485A JP2001196171A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製法方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000003485A JP2001196171A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製法方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001196171A true JP2001196171A (ja) | 2001-07-19 |
Family
ID=18532429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000003485A Pending JP2001196171A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製法方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001196171A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004235138A (ja) * | 2003-01-09 | 2004-08-19 | Hitachi Ltd | 有機ｅｌパネルの製造方法および有機ｅｌパネル |
| US7781956B2 (en) | 2007-03-15 | 2010-08-24 | Sony Corporation | Display apparatus and electronic device |
| CN108766977A (zh) * | 2018-05-24 | 2018-11-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种oled显示基板、显示面板及其制备方法 |
| JP2019079759A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-23 | Ｔｉａｎｍａ Ｊａｐａｎ株式会社 | Ｏｌｅｄ表示装置、マスク及びｏｌｅｄ表示装置の製造方法 |
| CN111145647A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-05-12 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 盖板和显示装置 |
| JP2021505972A (ja) * | 2018-08-06 | 2021-02-18 | ユング（グアン）テクノロジー カンパニー リミテッド | 表示パネル、ディスプレイ及び表示端末 |
-
2000
- 2000-01-12 JP JP2000003485A patent/JP2001196171A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004235138A (ja) * | 2003-01-09 | 2004-08-19 | Hitachi Ltd | 有機ｅｌパネルの製造方法および有機ｅｌパネル |
| US7781956B2 (en) | 2007-03-15 | 2010-08-24 | Sony Corporation | Display apparatus and electronic device |
| JP2019079759A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-23 | Ｔｉａｎｍａ Ｊａｐａｎ株式会社 | Ｏｌｅｄ表示装置、マスク及びｏｌｅｄ表示装置の製造方法 |
| CN108766977A (zh) * | 2018-05-24 | 2018-11-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种oled显示基板、显示面板及其制备方法 |
| CN108766977B (zh) * | 2018-05-24 | 2021-04-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种oled显示基板、显示面板及其制备方法 |
| US11094895B2 (en) | 2018-05-24 | 2021-08-17 | Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. | OLED display substrate, display panel and manufacturing method thereof |
| JP2021505972A (ja) * | 2018-08-06 | 2021-02-18 | ユング（グアン）テクノロジー カンパニー リミテッド | 表示パネル、ディスプレイ及び表示端末 |
| JP7024108B2 (ja) | 2018-08-06 | 2022-02-22 | ユング（グアン）テクノロジー カンパニー リミテッド | 表示パネル、ディスプレイ及び表示端末 |
| US11335765B2 (en) | 2018-08-06 | 2022-05-17 | Yungu (Gu'an) Technology Co., Ltd. | Display panels, display screens, and display terminals |
| CN111145647A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-05-12 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 盖板和显示装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100814181B1 (ko) | 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 | |
| JP3813217B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造方法 | |
| US5742129A (en) | Organic electroluminescent display panel with projecting ramparts and method for manufacturing the same | |
| KR100922753B1 (ko) | 증착 마스크, 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조방법 및 유기 전계 발광 소자 | |
| KR101070539B1 (ko) | 증착 마스크 및 이를 사용한 유기 전계 발광 장치의 제조 방법 | |
| US6297589B1 (en) | Organic electroluminescence full color display panel and method of manufacturing the same | |
| JP3428397B2 (ja) | 有機エレクトロルミネセンス素子及びその製造方法 | |
| US6626721B1 (en) | Organic electroluminescent device with supplemental cathode bus conductor | |
| JP2001237073A (ja) | 多面取り用メタルマスク及びその製造方法 | |
| KR20040082959A (ko) | 성막용 마스크, 유기 ｅｌ 패널, 및 유기 ｅｌ 패널의제조 방법 | |
| JP2001234385A (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| JP2006331920A (ja) | 蒸着マスク、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、及び、その製造方法 | |
| US11539018B2 (en) | Transparent display device and manufacturing method of the same | |
| JP2001237072A (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| JP2001196171A (ja) | 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製法方法 | |
| JP2001043981A (ja) | 表示装置およびその製造方法 | |
| JP2001237071A (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| JP3901719B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
| KR20080003079A (ko) | 유기발광소자 및 그 제조방법 | |
| WO2022174443A1 (zh) | 一种显示面板、显示装置和显示面板的制作方法 | |
| JP3926314B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
| JPH0155757B2 (ja) | ||
| JP3901675B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
| JP3901699B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
| JP2001291580A (ja) | 有機電界発光装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060720 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090507 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090724 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090908 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091106 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091208 |