JP2001188042A - 硫酸ガス濃度計 - Google Patents
硫酸ガス濃度計Info
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- sulfuric acid
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- acid gas
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 排ガス中の硫酸ガス濃度を連続的に計測する
ことができる硫酸ガス濃度計を提供する。 【解決手段】 硫酸ガスは４００℃以上４５０℃以下に
なるように加熱すればＳＯ3 と水蒸気とに分解するの
で、加熱後のＳＯ3 の濃度を求めることにより排ガス中
の硫酸ガスの濃度を計測することができる。すなわち、
煙道１からキャビティ６内に吸入する直前に予熱部２３
で予熱された排ガスに光源９からの光を複数回往復さ
せ、往復後の光を算出手段で分光分析することにより排
ガス中のＳＯ3濃度を計測することができる。このＳＯ
3 の濃度を求めるにより、排ガス中の硫酸ガスの濃度を
正確に計測することができる。煙道１からキャビティ６
内に吸入された排ガスは濃度計測後、煙道１内に排出さ
れるので、排ガス中の硫酸ガスの濃度を連続的に計測す
ることができる。
ことができる硫酸ガス濃度計を提供する。 【解決手段】 硫酸ガスは４００℃以上４５０℃以下に
なるように加熱すればＳＯ3 と水蒸気とに分解するの
で、加熱後のＳＯ3 の濃度を求めることにより排ガス中
の硫酸ガスの濃度を計測することができる。すなわち、
煙道１からキャビティ６内に吸入する直前に予熱部２３
で予熱された排ガスに光源９からの光を複数回往復さ
せ、往復後の光を算出手段で分光分析することにより排
ガス中のＳＯ3濃度を計測することができる。このＳＯ
3 の濃度を求めるにより、排ガス中の硫酸ガスの濃度を
正確に計測することができる。煙道１からキャビティ６
内に吸入された排ガスは濃度計測後、煙道１内に排出さ
れるので、排ガス中の硫酸ガスの濃度を連続的に計測す
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼設備等の煙道
内の排ガス中の硫酸ガスの濃度を連続的に計測する硫酸
ガス度計に関する。
内の排ガス中の硫酸ガスの濃度を連続的に計測する硫酸
ガス度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】ボイラやゴミ焼却器等の燃焼設備から排
出される排ガスには硫黄酸化物等の有害な成分が含まれ
ているので、排煙処理装置等で除去することが必要であ
る。また、燃焼設備や排煙処理装置から排出される排ガ
ス中の硫黄酸化物等の濃度の測定も必要である。
出される排ガスには硫黄酸化物等の有害な成分が含まれ
ているので、排煙処理装置等で除去することが必要であ
る。また、燃焼設備や排煙処理装置から排出される排ガ
ス中の硫黄酸化物等の濃度の測定も必要である。
【０００３】ここで、排ガス中の硫黄酸化物として硫酸
ガスが挙げられるが、硫酸ガスの濃度計測は採取した硫
酸ガスを一旦水に溶して水溶液としてイオン化させた後
中和滴定により行っていた。
ガスが挙げられるが、硫酸ガスの濃度計測は採取した硫
酸ガスを一旦水に溶して水溶液としてイオン化させた後
中和滴定により行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、硫酸ガ
スの濃度計測は滴定によって行われており、面倒な上連
続的に行うことが困難であるという問題があった。
スの濃度計測は滴定によって行われており、面倒な上連
続的に行うことが困難であるという問題があった。
【０００５】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、排ガス中の硫酸ガス濃度を連続的に計測することが
できる硫酸ガス濃度計を提供することにある。
し、排ガス中の硫酸ガス濃度を連続的に計測することが
できる硫酸ガス濃度計を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の硫酸ガス濃度計は、燃焼設備等の煙道内の排
ガス中の硫酸ガスの濃度を計測する硫酸ガス濃度計であ
って、煙道から排ガスを吸入する吸入用配管及び煙道に
排ガスを排出する排出用配管を有すると共に、対向する
二つの透明窓を有するキャビティと、吸入用配管に設け
られ吸入用配管内を通過する排ガスの温度を４００℃以
上４５０℃以下にするための予熱部と、キャビティ内に
光を照射するための光源と、キャビティの外部に配置さ
れ、光源からの光をキャビティ内に複数回往復させるた
めの反射ミラーと、往復後の光を分光分析することによ
り排ガス中の硫酸ガス濃度を算出する算出手段とを備え
たものである。
に本発明の硫酸ガス濃度計は、燃焼設備等の煙道内の排
ガス中の硫酸ガスの濃度を計測する硫酸ガス濃度計であ
って、煙道から排ガスを吸入する吸入用配管及び煙道に
排ガスを排出する排出用配管を有すると共に、対向する
二つの透明窓を有するキャビティと、吸入用配管に設け
られ吸入用配管内を通過する排ガスの温度を４００℃以
上４５０℃以下にするための予熱部と、キャビティ内に
光を照射するための光源と、キャビティの外部に配置さ
れ、光源からの光をキャビティ内に複数回往復させるた
めの反射ミラーと、往復後の光を分光分析することによ
り排ガス中の硫酸ガス濃度を算出する算出手段とを備え
たものである。
【０００７】上記構成に加え本発明の硫酸ガス濃度計
は、吸入用配管の途中に排ガス中のダストを除去するフ
ィルタを設けるのが好ましい。
は、吸入用配管の途中に排ガス中のダストを除去するフ
ィルタを設けるのが好ましい。
【０００８】上記構成に加え本発明の硫酸ガス濃度計
は、排出用配管の途中にキャビティ内の排ガスを煙道内
に強制的に排出するポンプを設けるのが好ましい。
は、排出用配管の途中にキャビティ内の排ガスを煙道内
に強制的に排出するポンプを設けるのが好ましい。
【０００９】上記構成に加え本発明の硫酸ガス濃度計
は、キャビティにキャビティを加温するヒータを設ける
のが好ましい。
は、キャビティにキャビティを加温するヒータを設ける
のが好ましい。
【００１０】ここで、硫酸ガスは４００℃以上４５０℃
以下の温度になるように加熱するとＳＯ3 と水蒸気とに
分解するので、加熱後のＳＯ3 の濃度を求めることによ
り排ガス中の硫酸ガスの濃度を計測することができる。
以下の温度になるように加熱するとＳＯ3 と水蒸気とに
分解するので、加熱後のＳＯ3 の濃度を求めることによ
り排ガス中の硫酸ガスの濃度を計測することができる。
【００１１】すなわち、煙道からキャビティ内に吸入さ
れる直前に予熱部で予熱された排ガスに、光源からの光
を複数回往復させ、往復後の光を分光分析することによ
りＳＯ3 濃度を計測することができる。このＳＯ3 の濃
度から排ガス中の硫酸ガスの濃度を正確に計測すること
ができる。また、煙道からキャビティ内に吸入された排
ガスは濃度計測後、煙道内に排出されるので、排ガス中
の硫酸ガスの濃度を連続的に計測することができる。さ
らに、吸入用配管の途中にフィルタを設けることによ
り、排ガスがダストを含む場合にダストを除去すること
ができるので、キャビティ内にダストが侵入して光源か
らの光を散乱させて計測誤差を生じさせることがない。
またさらに、排出用配管の途中にキャビティ内の排ガス
を強制的に排出するポンプを設けることにより、煙道内
を流れる排ガスの流速が低下することなくキャビティ内
に常に排ガスが導入されて濃度計測後、煙道に排出され
るので、キャビティ内に排ガスが滞留することがない。
反射ミラーはキャビティの外部に配置されているので排
ガスで腐食することがない。
れる直前に予熱部で予熱された排ガスに、光源からの光
を複数回往復させ、往復後の光を分光分析することによ
りＳＯ3 濃度を計測することができる。このＳＯ3 の濃
度から排ガス中の硫酸ガスの濃度を正確に計測すること
ができる。また、煙道からキャビティ内に吸入された排
ガスは濃度計測後、煙道内に排出されるので、排ガス中
の硫酸ガスの濃度を連続的に計測することができる。さ
らに、吸入用配管の途中にフィルタを設けることによ
り、排ガスがダストを含む場合にダストを除去すること
ができるので、キャビティ内にダストが侵入して光源か
らの光を散乱させて計測誤差を生じさせることがない。
またさらに、排出用配管の途中にキャビティ内の排ガス
を強制的に排出するポンプを設けることにより、煙道内
を流れる排ガスの流速が低下することなくキャビティ内
に常に排ガスが導入されて濃度計測後、煙道に排出され
るので、キャビティ内に排ガスが滞留することがない。
反射ミラーはキャビティの外部に配置されているので排
ガスで腐食することがない。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００１３】図１は本発明の硫酸ガス濃度計の一実施の
形態を示す概念図である。
形態を示す概念図である。
【００１４】同図において１は燃焼設備等の煙道であ
る。排ガスが矢印２方向に流れる煙道１の上流側には吸
入用配管３ａの一端（吸入口）が取付けられ、煙道１の
下流側には排出用配管４ａの一端（排出口）が取付けら
れている。吸入用配管３ａの他端はフィルタ（例えば容
器内にグラスウールが充填されたもの）５の吸入口５ａ
に接続され、フィルタ５の排出口５ｂは吸入用配管３ｂ
を介してキャビティ６の吸入口６ａに接続されている。
る。排ガスが矢印２方向に流れる煙道１の上流側には吸
入用配管３ａの一端（吸入口）が取付けられ、煙道１の
下流側には排出用配管４ａの一端（排出口）が取付けら
れている。吸入用配管３ａの他端はフィルタ（例えば容
器内にグラスウールが充填されたもの）５の吸入口５ａ
に接続され、フィルタ５の排出口５ｂは吸入用配管３ｂ
を介してキャビティ６の吸入口６ａに接続されている。
【００１５】吸入用配管３ｂ、３ｃ間には吸入用配管３
ａ〜３ｃ内を通過する排ガスの温度を４００℃以上４５
０℃以下にするための予熱部２３が設けられており、予
熱部２３には温度調整器２４が接続されている。予熱部
２３は排ガスを一時的に収容すると共に断熱材で覆われ
た予熱室２３ａを有し、温度調整器２４に接続されたヒ
ータ２３ｂで予熱室２３ａ内の排ガスの温度が調整され
るようになっている。
ａ〜３ｃ内を通過する排ガスの温度を４００℃以上４５
０℃以下にするための予熱部２３が設けられており、予
熱部２３には温度調整器２４が接続されている。予熱部
２３は排ガスを一時的に収容すると共に断熱材で覆われ
た予熱室２３ａを有し、温度調整器２４に接続されたヒ
ータ２３ｂで予熱室２３ａ内の排ガスの温度が調整され
るようになっている。
【００１６】キャビティ６の排出口６ｂは排出用配管４
ｂを介してポンプ７の吸入口に接続されている。ポンプ
７の排出口は排出用配管４ａの他端に接続されている。
キャビティ６は略筒状の密閉容器であり、対向する二つ
の透明な部材（例えば石英ガラス）からなる透明窓８
ａ、８ｂを有する。キャビティ６の一方の端面側（図で
は左側）には光源（例えばキセノンランプ）９と、分光
器１０とが配置されている。キャビティ６の両端面側に
は光源９から出射された光がキャビティ６内を複数回往
復した後分光器１０に入射するように複数の反射ミラー
１１ａ〜１１ｃが配置されている。これらキャビティ６
と反射ミラー１１ａ〜１１ｃとでマルチパスセルが構成
されている。
ｂを介してポンプ７の吸入口に接続されている。ポンプ
７の排出口は排出用配管４ａの他端に接続されている。
キャビティ６は略筒状の密閉容器であり、対向する二つ
の透明な部材（例えば石英ガラス）からなる透明窓８
ａ、８ｂを有する。キャビティ６の一方の端面側（図で
は左側）には光源（例えばキセノンランプ）９と、分光
器１０とが配置されている。キャビティ６の両端面側に
は光源９から出射された光がキャビティ６内を複数回往
復した後分光器１０に入射するように複数の反射ミラー
１１ａ〜１１ｃが配置されている。これらキャビティ６
と反射ミラー１１ａ〜１１ｃとでマルチパスセルが構成
されている。
【００１７】分光器１０にはキャビティ６内を往復した
後分光された光を受けて電気信号に変換する光検出素子
（例えばフォトダイオード）１２が設けられている。光
検出素子１２には光検出素子１２からの信号に基づいて
排ガス中のＳＯ3 濃度を求め、そのＳＯ3 濃度より硫酸
ガス濃度を演算する（多変量解析を行う）演算装置（例
えばパソコン）２５が接続されている。これら分光器１
０と、光検出素子１２と、演算装置２５とで算出手段が
構成されている。
後分光された光を受けて電気信号に変換する光検出素子
（例えばフォトダイオード）１２が設けられている。光
検出素子１２には光検出素子１２からの信号に基づいて
排ガス中のＳＯ3 濃度を求め、そのＳＯ3 濃度より硫酸
ガス濃度を演算する（多変量解析を行う）演算装置（例
えばパソコン）２５が接続されている。これら分光器１
０と、光検出素子１２と、演算装置２５とで算出手段が
構成されている。
【００１８】キャビティ６にはヒータ１５が配置されて
おり、温度調整器１４の制御によりキャビティ６内に吸
入された排ガスを４００℃以上４５０℃以下の温度に加
温するようになっている。
おり、温度調整器１４の制御によりキャビティ６内に吸
入された排ガスを４００℃以上４５０℃以下の温度に加
温するようになっている。
【００１９】ここで、硫酸ガスは４００℃以上４５０℃
以下の温度になるように加熱すればＳＯ3 と水蒸気とに
分解するので、加熱後のＳＯ3 の濃度を求めることによ
り排ガス中の硫酸ガスの濃度を計測することができる。
すなわち、煙道１からキャビティ６に排ガスを吸入さ
せ、そのキャビティ６内に光源９からの光を複数回往復
させて光検出素子１２で受光し、光検出素子１２からの
信号に基づいて演算装置２５による分光分析でＳＯ3 濃
度を求めることができる。このＳＯ3 濃度から排ガス中
の硫酸ガスの濃度を演算することができる。煙道１から
キャビティ６内に吸入された排ガスは濃度計測後、煙道
１内に排出されるので、排ガス中の硫酸ガスの濃度を連
続的に計測することができる。
以下の温度になるように加熱すればＳＯ3 と水蒸気とに
分解するので、加熱後のＳＯ3 の濃度を求めることによ
り排ガス中の硫酸ガスの濃度を計測することができる。
すなわち、煙道１からキャビティ６に排ガスを吸入さ
せ、そのキャビティ６内に光源９からの光を複数回往復
させて光検出素子１２で受光し、光検出素子１２からの
信号に基づいて演算装置２５による分光分析でＳＯ3 濃
度を求めることができる。このＳＯ3 濃度から排ガス中
の硫酸ガスの濃度を演算することができる。煙道１から
キャビティ６内に吸入された排ガスは濃度計測後、煙道
１内に排出されるので、排ガス中の硫酸ガスの濃度を連
続的に計測することができる。
【００２０】（排ガスの温度を４００℃〜４５０℃にす
る根拠）図２はＳＯ3 の組成と水の濃度と温度との関係
を示す図であり、横軸が水の濃度軸を示し、縦軸がＳＯ
3 の組成軸を示している。
る根拠）図２はＳＯ3 の組成と水の濃度と温度との関係
を示す図であり、横軸が水の濃度軸を示し、縦軸がＳＯ
3 の組成軸を示している。
【００２１】同図より、３５０℃以下では水の濃度が増
加するとＳＯ3 の組成が減少することが分かる。すなわ
ち、ＳＯ3 は３５０℃以下では水蒸気と化合して硫酸ガ
スになるため、濃度を計測することができないが、３５
０℃以上では水の濃度が増加してもＳＯ3 の組成はあま
り変化しないことが分かる。しかし、ＳＯ3 は４５０℃
以上ではＳＯ2 に分解してしまうため濃度を計測するこ
とができない。このため、排ガスの温度を４００℃〜４
５０℃に保つ必要がある。
加するとＳＯ3 の組成が減少することが分かる。すなわ
ち、ＳＯ3 は３５０℃以下では水蒸気と化合して硫酸ガ
スになるため、濃度を計測することができないが、３５
０℃以上では水の濃度が増加してもＳＯ3 の組成はあま
り変化しないことが分かる。しかし、ＳＯ3 は４５０℃
以上ではＳＯ2 に分解してしまうため濃度を計測するこ
とができない。このため、排ガスの温度を４００℃〜４
５０℃に保つ必要がある。
【００２２】図３は本発明の硫酸ガス濃度計に用いられ
るフィルタの変形例を示す排ガスサンプリング装置の概
念図である。図４は図３に示した排ガスサンプリング装
置を燃焼設備の煙道に取付けた状態を示す図である。
るフィルタの変形例を示す排ガスサンプリング装置の概
念図である。図４は図３に示した排ガスサンプリング装
置を燃焼設備の煙道に取付けた状態を示す図である。
【００２３】図１に示したフィルタ５は容器内にグラス
ウールが充填されたものであるのに対し、この排ガスサ
ンプリング装置２６は、燃焼設備等から排出されダスト
を含有する排ガスから排ガスのみサンプリングする排ガ
スサンプリング装置であって、吸入口２７ａが燃焼設備
の煙道１の上流側に接続され排出口２７ｂが煙道１の下
流側に接続されたダクト２７と、ダクト２７の途中に挿
入され内壁がダクト２７と略同一断面形状を有する略筒
状のフィルタ２８と、フィルタ２８の外側を覆うと共に
ろ過された排ガスを取り出す取り出し口２９ａを有する
カバー２９とで構成されたものである。
ウールが充填されたものであるのに対し、この排ガスサ
ンプリング装置２６は、燃焼設備等から排出されダスト
を含有する排ガスから排ガスのみサンプリングする排ガ
スサンプリング装置であって、吸入口２７ａが燃焼設備
の煙道１の上流側に接続され排出口２７ｂが煙道１の下
流側に接続されたダクト２７と、ダクト２７の途中に挿
入され内壁がダクト２７と略同一断面形状を有する略筒
状のフィルタ２８と、フィルタ２８の外側を覆うと共に
ろ過された排ガスを取り出す取り出し口２９ａを有する
カバー２９とで構成されたものである。
【００２４】ダクト２７にはダストを含有する排ガスを
煙道１から吸入して煙道１内に強制的に排出するための
ポンプ３０が挿入されている。
煙道１から吸入して煙道１内に強制的に排出するための
ポンプ３０が挿入されている。
【００２５】このサンプリング装置を図１に示したＳＯ
3 濃度計に用いる場合には、ＳＯ3濃度計の吸入用配管
３ａ及びフィルタ５を取り外した後でダクト２７の吸入
口及び排出口を煙道１に取り付け、取り出し口２９ａを
吸入用配管３ｂに取付ければよい（この場合２台のポン
プ７、３０を用いることになる。）。
3 濃度計に用いる場合には、ＳＯ3濃度計の吸入用配管
３ａ及びフィルタ５を取り外した後でダクト２７の吸入
口及び排出口を煙道１に取り付け、取り出し口２９ａを
吸入用配管３ｂに取付ければよい（この場合２台のポン
プ７、３０を用いることになる。）。
【００２６】この排ガスサンプリング装置によれば、フ
ィルタ２８の形状がダクト２７と略同一断面形状を有す
る略筒状のため、ダスト含有排ガスがフィルタ２８内を
矢印３１方向に流れる時に流れを遮るような抵抗が少な
く、たとえダスト３２がフィルタ２８の内壁に付着、堆
積しようとしても排ガスの流れに押されるので、再びダ
クト２７を通過して煙道１に戻るので、フィルタ２８が
目詰まりすることがほとんどない。ダクト２７内に吸入
された排ガス中のＳＯ3 ガスはフィルタ２８を矢印３３
方向に通過してカバー２９に形成された取り出し口２９
ａから矢印３４方向にキャビティ６に送られる。
ィルタ２８の形状がダクト２７と略同一断面形状を有す
る略筒状のため、ダスト含有排ガスがフィルタ２８内を
矢印３１方向に流れる時に流れを遮るような抵抗が少な
く、たとえダスト３２がフィルタ２８の内壁に付着、堆
積しようとしても排ガスの流れに押されるので、再びダ
クト２７を通過して煙道１に戻るので、フィルタ２８が
目詰まりすることがほとんどない。ダクト２７内に吸入
された排ガス中のＳＯ3 ガスはフィルタ２８を矢印３３
方向に通過してカバー２９に形成された取り出し口２９
ａから矢印３４方向にキャビティ６に送られる。
【００２７】また、ダクト２７に排ガスを煙道１から吸
入して煙道１内に強制的に排出するためのポンプ３０が
挿入されているので、ダクト２７内を矢印３５、３６方
向に流れる排ガスの流量が減少することなくフィルタ２
８上に付着したダスト３２が強制的に除去されて煙道１
に排出されフィルタ２８の目詰まりがほとんどない。
入して煙道１内に強制的に排出するためのポンプ３０が
挿入されているので、ダクト２７内を矢印３５、３６方
向に流れる排ガスの流量が減少することなくフィルタ２
８上に付着したダスト３２が強制的に除去されて煙道１
に排出されフィルタ２８の目詰まりがほとんどない。
【００２８】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００２９】排ガス中の硫酸ガス濃度を連続的に計測す
ることができる硫酸ガス濃度計の提供を実現することが
できる。
ることができる硫酸ガス濃度計の提供を実現することが
できる。
【図１】本発明の硫酸ガス濃度計の一実施の形態を示す
概念図である。
概念図である。
【図２】ＳＯ3 の組成と水の濃度と温度との関係を示す
図である。
図である。
【図３】本発明の硫酸ガス濃度計に用いられるフィルタ
の変形例を示す排ガスサンプリング装置の概念図であ
る。
の変形例を示す排ガスサンプリング装置の概念図であ
る。
【図４】図３に示した排ガスサンプリング装置を燃焼設
備の煙道に取付けた状態を示す図である。
備の煙道に取付けた状態を示す図である。
１ 煙道 ５ フィルタ ６ キャビティ ７ ポンプ ８ａ、８ｂ 透明窓 ９ 光源 １０ 分光器 １１ａ〜１１ｃ 反射ミラー １２ 光検出素子 １４、２４ 温度調整器 １５ ヒータ ２３ 予熱部 ２５ 演算装置
フロントページの続き (72)発明者 鈴木 孝平 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社機械・プラント開 発センター内 Ｆターム(参考） 2G057 AA01 AB03 AB06 AC03 BA01 BA05 BB02 DA03 DA13 DB05 DC01 DC06 EA01 EA06 2G059 AA01 BB01 CC06 DD16 EE01 HH03 JJ01 JJ13 KK01 LL03 MM01
Claims (4)
- 【請求項１】 燃焼設備等の煙道内の排ガス中の硫酸ガ
スの濃度を計測する硫酸ガス濃度計であって、上記煙道
から排ガスを吸入する吸入用配管及び上記煙道に排ガス
を排出する排出用配管を有すると共に、対向する二つの
透明窓を有するキャビティと、上記吸入用配管に設けら
れ該吸入用配管内を通過する排ガスの温度を４００℃以
上４５０℃以下にするための予熱部と、上記キャビティ
内に光を照射するための光源と、上記キャビティの外部
に配置され、上記光源からの光を上記キャビティ内に複
数回往復させるための反射ミラーと、往復後の光を分光
分析することにより上記排ガス中の硫酸ガス濃度を算出
する算出手段とを備えたことを特徴とする硫酸ガス濃度
計。 - 【請求項２】 上記吸入用配管の途中に上記排ガス中の
ダストを除去するフィルタを設けた請求項１に記載の硫
酸ガス濃度計。 - 【請求項３】 上記排出用配管の途中に上記キャビティ
内の排ガスを上記煙道内に強制的に排出するポンプを設
けた請求項２に記載の硫酸ガス濃度計。 - 【請求項４】 上記キャビティに上記キャビティを加温
するヒータを設けた請求項３に記載の硫酸ガス濃度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37410599A JP4164973B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 硫酸ガス濃度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37410599A JP4164973B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 硫酸ガス濃度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001188042A true JP2001188042A (ja) | 2001-07-10 |
| JP4164973B2 JP4164973B2 (ja) | 2008-10-15 |
Family
ID=18503274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37410599A Expired - Lifetime JP4164973B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 硫酸ガス濃度計 |
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| JP2003028766A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ガス抽気装置 |
| JP6439187B1 (ja) * | 2018-02-15 | 2018-12-19 | 三菱重工環境・化学エンジニアリング株式会社 | フィルタ装置及びガス分析システム |
| CN110806390A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-02-18 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种低浓度三氧化硫气体在线测量装置及方法 |
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1999
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