JP2003028766A - ガス抽気装置 - Google Patents

ガス抽気装置

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JP2003028766A
JP2003028766A JP2001213475A JP2001213475A JP2003028766A JP 2003028766 A JP2003028766 A JP 2003028766A JP 2001213475 A JP2001213475 A JP 2001213475A JP 2001213475 A JP2001213475 A JP 2001213475A JP 2003028766 A JP2003028766 A JP 2003028766A
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武人 八木
Takeshi Kobayashi
健 小林
Takao Kurata
孝男 倉田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】連続的にガス中に含まれるダストを除去し、か
つ触媒能力のあるダストが混じっていてもガス成分に変
化を与えずにガスを抽気できるガス抽気装置を提供しよ
うとする。 【解決手段】従来のダストの混じったガスが流れるガス
ダクトからサンプルガスを抽気するガス抽気装置にかわ
って、ガスが流入するガス流入口とガスが流出するガス
流出口を有するガス室と、ガスからダストを除去してサ
ンプルガスを通過させる多孔質フィルタと、サンプルガ
スが流出するサンプルガス流出口を有するサンプルガス
室と、前記多孔質フィルタを振動させる加振手段とを備
え、前記多孔質フィルタが前記ガス室と前記サンプルガ
ス室とを間仕切っているものとした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼設備等から排
出されたダストを含む排ガスから排ガスを抽気するガス
抽気装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ボイラやごみ焼却器等の燃焼設備から排
出される排ガスには硫黄酸化物や窒素酸化物等の有害な
成分が含まれている。これらの排ガスを大気に放出する
には、排煙脱硫装置や排煙脱硝装置等の排煙処理装置で
無害化することが必要である。
【0003】一般的な燃焼設備を、図を参照して、説明
する。図4は、一般的な燃焼設備の概念図である。燃焼
設備200では、アスファルトタンク201に貯蔵され
た燃料を、加熱器202で加熱し、ボイラ203で燃焼
する。燃焼した後のガスには、燃料に由来するダストが
混じっている。ダストが混じったガスは、ガスダクト1
01を介して、脱硝装置204、予熱器205、集塵機
206を経由して、吸収搭207でSOx等を吸収さ
れ、煙突208から大気開放される。
【0004】例えば、SO2とSO3が、ガスダクト10
1を通過するガスに含まれている。SOxが結露してガ
スダクト101を腐食するのを防止するために、酸露点
以上の温度にガス温度を維持している。SO3の含有量
が減ると酸露点が下降するので、排煙処理装置のダクト
の温度を下げることができる。しかし、従来の分析装置
はSO3を連続測定する事ができなかったので、SO3
含有量を大目に予測してダクトの温度を維持していた。
そのため、SO3の含有量を正確に把握できる場合に比
べて、ガスダクト101の温度を高くしなければならな
かった。また、SO3をアンモニアに吸収させて処理し
ている。SO3の含有量が減るとアンモニアの量が少な
くして、アンモニア消費量を減らすことができる。しか
し、従来の分析装置はSO3を連続測定する事ができな
かったので、SO3の含有量を大目に予想してアンモニ
アを処理装置に供給していた。
【0005】このため、燃焼設備や排煙処理装置から排
出される排ガス中の硫黄酸化物や窒素酸化物等の分析装
置の開発が盛んに行われている。この分析装置の一つと
してSO3ガスの連続分析装置がある。従来の分析方法
ではSO3ガスをリアルタイムに連続測定することがで
きなかった。そこで、出願人は、SO3を連続測定でき
る計測装置を開発した。出願人は、特願平11年第37
4103号において、煙道から排ガスを吸入する吸入用
配管及び上記煙道に排ガスを排出する排出用配管を有す
ると共に、対向する二つの透明窓を有するキャビテイ
と、該キャビテイ内に光を照射するための光源と、上記
キャビテイの外部に配置され、上記光源からの光を上気
キャビテイ内に複数回往復させるための反射ミラーと、
往復後の光のうち波長200nm〜260nmの光を分
光分析することにより上記排ガス中のSO3濃度を算出
する算出手段とを備えたSO3濃度計の発明を出願し
た。
【0006】上記構成により煙道から排ガスが吸入され
たキャビティ内に光源からの光を複数回往復させ、往復
後の光を分光分析することにより排ガス中のSO3濃度
を計測することができる。この際に、吸入用配管の途中
にフィルタを設けてガスのダストを除去している。排ガ
スがダストを含む場合に、キャビティ内に進入したダス
トが光源からの光を散乱させて計測誤差を生じさせるこ
とを防止している。
【0007】上述のガス分析装置を使用すれば、燃焼設
備や排煙処理装置から排出される排ガス中の硫黄酸化物
や窒素酸化物等の分析を連続して行うことができ、ボイ
ラやごみ焼却器等の燃焼設備の運転を適切に行うことが
できる。例えば、SO2とSO3とが同時に含まれている
排ガスの場合、SO2とSO3の成分割合を連続して測定
することができ、酸露点の温度を的確に把握でき、SO
2とSO3とが結露しないようにダクトの温度を適切に制
御することで、ダクトの腐食を防止できる。また、SO
3の量を連続して測定すれば、SO3の処理のためのアン
モニアの量を適切に管理できる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、触媒能力を
有するダストが排ガス中に混ざっている場合がある。従
来のフィルタを用いたガス分析装置の場合、ダストがガ
スを抽気するガス抽気装置のフィルタに捕捉される。ダ
ストはフィルタの目に詰まったままとなる。そのダスト
が分析対象である成分に対して触媒能力がある場合、フ
ィルタを通過したガスの成分が変化してしまう。ガスの
成分が変化してしまうと、ガス分析装置の測定データ
が、実際にガスダクトを通過するガスの成分と異なって
しまうという問題があった。例えば、五酸化バナジウム
はダストの主要成分の一つである。五酸化バナジウム
は、所定温度でSO2とO2を反応させてSO3を生成さ
せる触媒能力がある。五酸化バナジウムのダストが吸入
用配管の途中に設けられたフィルタの目に捕捉される
と、SO2とSO3とが混じったガスがフィルタを通過し
た際に、一部のSO2がO2と反応してSO3になるの
で、ガス中のSO3の濃度が上昇する。ガス分析装置の
分析したSO2とSO3の比が、ガスダクトを流れるガス
の真のSO2とSO3の比と異なってしまう。この例の様
に、ガス分析装置の測定データが、ガスダクトを通過す
るガスの真のガス成分を分析できないと、上述の様なボ
イラやごみ焼却器等の燃焼設備の運転を適切に行うこと
ができなくなる。
【0009】本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出さ
れたもので、従来のガス抽気装置にかわって、連続的に
ガス中に含まれるダストを除去し、かつ触媒能力のある
ダストが混じっていてもガス成分に変化を与えずにガス
を抽気できるガス抽気装置を提供しようとする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るダストの混じったガスが流れるガスダ
クトからサンプルガスを抽気するガス抽気装置は、ガス
が流入するガス流入口とガスが流出するガス流出口とを
有するガス室と、ガスからダストを除去してサンプルガ
スを通過させる多孔質フィルタと、サンプルガスが流出
するサンプルガス流出口を有するサンプルガス室と、前
記多孔質フィルタを振動させる加振手段とを備え、前記
多孔質フィルタが前記ガス室と前記サンプルガス室とを
間仕切っているものとした。
【0011】上記本発明の構成により、ダストの混じっ
たガスが、ガス流入口からガス室に流入し、ガス流出口
から流出する。ガス室のガスの一部が多孔質フィルタを
通過してダストを除去されてサンプルガス室へ移る。サ
ンプルガスは、サンプルガス流出口から流出する。加振
手段が、多孔質フィルタを振動させ、ダストを振るい落
とすので、多孔質フィルタにダストが溜まらず、ダスト
が触媒能力を有していても、ガス成分を変化させない。
【0012】さらに、本発明に係るガス抽気装置は、前
記多孔質フィルタの面が前記ガス室内を流れるガスの流
れ方向と平行になっているものとした。上記本発明の構
成により、多孔質フィルタの面がガスの流れ方向と平行
で、ガス中のダストが多孔質フィルタの面にぶつかるこ
とが少ないので、多孔質フィルタの面がダストを捕捉し
にくい。
【0013】また、本発明に係るガス抽気装置は、さら
に、前記ガス室内を流れるガスが上から下へ流れるもの
とした。上記本発明の構成により、ガスがガス室を上か
ら下へ流れ、ガスに含まれるダストが、重力に乗って落
ちるので、多孔質フィルタの面がダストをさらに捕捉し
にくい。
【0014】さらに、本発明に係るガス抽気装置は、前
記ガス室が端部を対向させて同軸に配置されるガス流入
配管とガス流出配管とを有し、該ガス流入配管が前記ガ
ス流入口を形成し、該ガス流出配管が前記ガス流出口を
形成し、前記サンプルガス室が前記ガス流入配管と前記
ガス流出配管とが連通する気密のサンプルガス容器と該
サンプルガス容器の外壁に連通するサンプルガス流出配
管とを有し、該サンプルガス流出配管が前記サンプルガ
ス流出口を形成し、前記多孔質フィルタが円筒形状フィ
ルタであり、前記円筒形状フィルタの一端がガス流入配
管に連通し、前記円筒形状フィルタの他端がガス流出配
管に連通しているものとした。上記本発明の構成によ
り、ガスが、ガス流入配管から流入して多孔質フィルタ
の円筒内部を通り、ガス流出配管から流出し、そのガス
の一部が、多孔質フィルタでダストを除去されてサンプ
ルガス容器に入り、そのサンプルガスが、サンプルガス
流出配管から流出するので、シンプルな構造であり、ダ
ストが溜まりにくく、ダストが触媒能力を有していて
も、ガス成分を変化させない。
【0015】さらに、本発明に係るガス抽気装置は、前
記加振手段が前記多孔質フィルタに固着した電圧駆動振
動子を有するものとした。上記本発明の構成により、電
圧駆動振動子が多孔質フィルタを直接に加振するので、
多孔質フィルタに捕捉されたダストが多孔質フィルタか
ら振るい落とされ、ダストが触媒能力を有していても、
ガス成分を変化させない。
【0016】さらに、本発明に係るガス抽気装置は、前
記加振手段が前記サンプルガス室または前記ガス室を形
成する壁に固着した機械式振動器を有するものとした。
上記本発明の構成により、機械式振動器が前記サンプル
ガス室または前記ガス室を直接、加振するので、サンプ
ルガス室または前記ガス室に溜まったダストをガスの流
れに乗せて流出させることができ、ダストが触媒能力を
有していても、ガス成分を変化させない。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい第一の実
施形態を、図面を参照して説明する。なお、各図におい
て、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明
を省略する。
【0018】本発明の第一の実施形態に係るガス抽気装
置付きガス分析装置の構造を説明する。図1は、本発明
の第一の実施形態の概念図である。図3は、本発明の第
一の実施形態のガス抽気装置を設けたガス分析装置の概
念図である。
【0019】最初に、ガス分析器の構造を簡単に説明す
る。ガス分析装置100は、ガス抽気装置102と予熱
温度調整器104と予熱器105とキャビティー106
と循環ポンプ107と光源108と反射ミラー109と
分光器110と光検出素子111と演算器112とヒー
タ113と温度調節器114とを備える。
【0020】ガス抽気装置102は、ガスダクト101
の中を流れるダストを含んだガス1を抽気する装置であ
り、抽気したガス2からダストを除去し、サンプリング
ガス4を予熱器105に送る。予熱器105は、予熱調
節器104により制御され、サンプリングガス4を計測
に必要な温度に予熱する装置であり、予熱したガスをキ
ャビティー106へ送る。キャビティー106は、所定
の温度になったガスを密閉する部屋であり、対向する2
つの透明窓を有する。循環ポンプ107が、抽気された
サンプリングガスが、キャビティー106内を連続的に
通過できる様にしている。光源108は、キャビティー
106内に所望の周波数の光を照射するためのものであ
る。反射ミラー109は、光源108からの光をキャビ
ティー106内で複数回往復させるためのミラーであ
り、透明窓に面して設けられる。分光器110は、入射
した光を分光する装置である。光検出素子111は、分
光された光を電気信号に変換する素子であり、分光器1
10の内部に設けられる。演算器112は、光検出素子
111の出力した電気信号を元に、ガス成分の濃度(例
えばSO3の濃度)を演算する装置である。ヒータ11
3は、温度調節器114により制御され、キャビティー
106内のガス温度を所望の温度に維持する装置であ
る。
【0021】次に、ガス分析器の作用を簡単に説明す
る。ダストを含んだガス1が、ガスダクト101を流れ
る。そのガス1がガス抽気装置102に抽気され、ダス
トが除去されたサンプルガス4となる。サンプルガス4
は、予熱器105により所定の温度に予熱され、キャビ
ティー106に入る。光源108からの光がキャビティ
ー106内を通過し、分光器110により分光をされ
る。分光された光は、光検出素子111により電気信号
に変換さる。演算器112は電気信号からガス成分を演
算する。サンプルガス4は、循環ポンプ107により、
ガスダクト101に戻される。
【0022】次に、第一の実施形態に係るガス抽気装置
を詳述する。ガス抽気装置102は、ガス室10とサン
プルガス室20と多孔質フィルタ30と加振手段40と
ガスダクト60と抽気ポンプ70とを備える。ガス室1
0は、ガスダクトから抽気したダストを含んだガスを通
過させる部屋であり、ガス流入口11とガス流出口12
とを有する。ガス流入口11は、ガス流入配管13によ
り形成される。ガス流出口12はガス流出配管14によ
り形成される。ガス流入配管13は、ガス室にガスを流
入させるための配管であり、所定の直径Dの円管であ
る。ガス流出配管14は、ガス室からガスを流出させる
配管であり、所定の直径Dの円管である。ガス流入配管
13とガス流出配管14の軸心が一致しており、その軸
心は直立している。ガス流入配管13の下端とガス流出
配管14の上端が所定の距離だけ離れて対向する。
【0023】多孔質フィルタ30は、ガスの中のダスト
5を除去して、サンプルガス4のみを通過させるフィル
タである。多孔質フィルタ30は、高温で所定の強度を
有し、耐腐食性があり、触媒能力を有しない材料(例え
ば、ステンレス鋼、ガラス)でできた多孔質板であるの
が好ましい。多孔質フィルタ30は、ガス流入配管13
とガス流出配管14と同断面の円管である。その円管の
上端が、ガス流入配管13の下端と結合している。その
円管の下端が、ガス流出配管14の上端と結合してい
る。
【0024】サンプルガス室20は、多孔質フィルタ3
0を通過したサンプルガス4を通過させる部屋であり、
サンプルガス流出口21を有する。サンプルガス室20
は、上部フランジ22aと円筒22bと下部フランジ2
2cとで囲まれる空間である。上部フランジ22aは、
環状板であり、内穴をガス流入配管13の外周に固着す
る。下部フランジ22cは、環状板であり、内穴をガス
流出配管14の外周に固着する。円筒22bは、筒状構
造物であり、上端を上部フランジ22aの外周と固着
し、下端を下部フランジ22cの外周に固着する。サン
プルガス流出配管23が円筒22bの一ヶ所に連通して
いる。
【0025】加振手段40は、電圧駆動振動子41と駆
動装置42とを有する。電圧駆動振動子41は、例えば
ピエゾ素子で、多孔質フィルタ30の外周に固着してい
る。所定の周波数の電圧の変動により、収縮と伸長を繰
り返して、多孔質フィルタ30の表面を振動させる。駆
動装置42は、電圧駆動振動子41を駆動する電気機器
で、所定の周波数の電圧変動を電圧駆動振動子41に加
える。
【0026】ガスダクト60は、ダストを含んだガスを
ガスダクトから吸い込み、ガス室を経由して、ガスダク
トにもどすための配管である。ガスダクト60は、抽気
ダクト60aと吸込ダクト60bと吐出ダクト60cと
を有する。
【0027】抽気ポンプ70は、ガスダクト101から
ガスを抽気するポンプである。抽気ダクト60aが、ガ
スダクト101とガス流入配管13を連通する。吸込ダ
クト60bが、ガス流出配管14と抽気ポンプ70の吸
い込み口を連通する。吐出ダクト60cが、抽気ポンプ
70の吐出口とガスダクト101を連通する。
【0028】以下に、ガス抽気装置の作用を説明する。
抽気ポンプ70が作動し、ガスダクト内のダストを含ん
だガス1が抽気ダクト60aを経由して、ガス流入口1
1に入る。ガス2は、ガス流入口11からガス室20へ
入る。ガス2の一部が多孔質フィルタ30でダストを除
去され、サンプリングガス4となって、サンプリングガ
ス室20へ入る。サンプリングガス4は、サンプリング
ガス流出口から流出し、ガス分析装置へ送られる。多孔
質フィルタ30で除去されたダストは残りのガスと共に
ガス流出口12と吸込ダクト60bとを経由して、抽気
ポンプ70の吸い込み口に入る。加振手段40の駆動装
置42に駆動されて、電圧駆動振動子41が振動し、多
孔質フィルタ30が振動する。多孔質フィルタ30に捕
捉されたダストは、その振動により、多孔質フィルタ3
0から離れ、さらに重力によりガス流出口12へ落ち
る。ダスト5とガス3は、ガス流出口12に集まり、抽
気ポンプ70で昇圧され、ガスダクト101へ戻る。
【0029】次に、本発明の第二の実施形態に係るガス
抽気装置付きガス分析装置の構造を説明する。ガス抽気
装置以外の構造と作用は同じなので、異なる部分のみ説
明する。本発明の第二の実施形態に係るガス抽気装置を
詳述する。図2は、本発明の第一の実施形態の概念図で
ある。
【0030】加振装置50以外は同じなので、異なる部
分のみ説明する。加振装置50は、上部伸縮継ぎ手51
と下部伸縮継ぎ手52と機械式加振機53と駆動装置5
4とを有する。上部伸縮継ぎ手51は、上下方向の伸縮
を自由にすることのできる伸縮継ぎ手であり、ガス流入
配管13に接続される。下部伸縮継ぎ手52は、上下方
向の伸縮を自由にすることのできる伸縮継ぎ手であり、
ガス流出配管14に接続される。機械式加振機53は、
サンプルガス室を機械的に振動させる機器であり、例え
ば、偏心ロータまたは電磁ソレノイド等である。機械式
加振機53は、サンプルガス室を上下に振動させる。駆
動装置54は、機械式加振機53を駆動する装置であ
る。
【0031】第二の実施形態のガス抽気装置の作用は、
第一の実施形態と同じなので省略する。
【0032】上述の実施形態のガス抽気装置を用いれ
ば、ダストを除去したガスをガス分析装置に送ることが
でき、ガス分析装置は精度の高いガス分析をすることが
できる。また、多孔質フィルタにダストがたまるのを防
止できるので、ダストが触媒効果を有する場合でも、ガ
スが触媒作用により変化することを防止でき、ガス分析
装置は精度の高いガス分析をすることができる。また、
加振機の種類を選び最適の加振周波数、加振モードで加
振することができ、多孔質フィルタに捕捉されたダスト
の物性によって、最適の加振をすることができる。
【0033】本発明は以上に述べた実施形態に限られる
ものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変
更が可能である。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように本発明のダストの混
じったガスが流れるガスダクトからサンプルガスを抽気
するガス抽気装置は、その構成により、以下の効果を有
する。ダストの混じったガスが、ガス流入口からガス室
に流入し、ガス流出口から流出する。ガス室のガスの一
部が多孔質フィルタを通過してダストを除去されてサン
プルガス室へ移る。サンプルガスは、サンプルガス流出
口から流出する。加振手段が、多孔質フィルタを振動さ
せ、ダストを振るい落とすので、多孔質フィルタにダス
トが溜まらず、ダストが触媒能力を有していても、ガス
成分を変化させない。また、多孔質フィルタの面がガス
の流れ方向と平行で、ガス中のダストが多孔質フィルタ
の面にぶつかることが少ないので、多孔質フィルタの面
がダストを捕捉しにくい。また、ガス室内を流れるガス
が上から下へ流れ、ガスに含まれるダストが、重力に乗
って落ちるので、多孔質フィルタの面がダストをさらに
捕捉しにくい。また、ガスが、ガス流入配管から流入し
て多孔質フィルタの円筒内部を通り、ガス流出配管から
流出し、そのガスの一部が、多孔質フィルタでダストを
除去されてサンプルガス容器に入り、そのサンプルガス
が、サンプルガス流出配管から流出するので、シンプル
な構造で、ダストが溜まりにくく、ダストが触媒能力を
有していても、ガス成分を変化させない。また、電圧駆
動振動子が多孔質フィルタを直接、加振するので、多孔
質フィルタに捕捉されたダストが多孔質フィルタから振
るい落とされ、ダストが触媒能力を有していても、ガス
成分を変化させない。また、機械式振動器が前記サンプ
ルガス室または前記ガス室を直接、加振するので、サン
プルガス室または前記ガス室に溜まったダストをガスの
流れに乗せて流出させることができ、ダストが触媒能力
を有していても、ガス成分を変化させない。従って、連
続的にガス中に含まれるダストを除去し、かつ触媒能力
のあるダストが混じっていてもガス成分に変化を与えず
にガスを抽気できるガス抽気装置を提供できる。
【0035】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施形態の概念図である。
【図2】本発明の第二の実施形態の概念図である。
【図3】本発明の実施形態を設けたガス分析装置の概念
図である。
【図4】燃焼設備の一例の概念図である。
【符号の説明】
1 ガス 2 ガス 3 ガス 4 サンプルガス 5 ダスト 10 ガス室 11 ガス流入口 12 ガス流出口 13 ガス流入配管 14 ガス流出配管 20 サンプルガス室 21 サンプルガス流出口 22 サンプルガス容器 23 サンプルガス排出配管 30 多孔質フィルタ 40 加振手段(第一の実施形態) 41 電圧駆動振動子 42 駆動装置 50 加振手段(第二の実施形態) 51 上部伸縮継ぎ手 52 下部伸縮継ぎ手 53 機械式振動器 54 駆動装置 60 ガスダクト 60a 抽気ダクト 60b 吸込ダクト 60c 吐出ダクト 70 抽気ポンプ 100 ガス分析装置 101 ガスダクト 102 ガス抽気装置 103 サンプルガスダクト 104 予熱調節器 105 予熱器 106 キャビティー 107 循環ポンプ 108 光源 109 反射ミラー 110 分光器 111 光検出素子 112 演算器 113 ヒータ 114 温度調節器 200 燃焼装置 201 アスファルトタンク 202 加熱器 203 ボイラ 204 脱硝装置 205 予熱器 206 集塵器 207 吸収搭 208 煙突
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01N 21/33 G01N 21/33 (72)発明者 小林 健 東京都江東区豊洲三丁目1番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 倉田 孝男 東京都江東区豊洲三丁目1番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 小原 正孝 東京都千代田区大手町二丁目1番1号 石 川島播磨重工業株式会社本社内 Fターム(参考) 2G052 AA03 AC25 AD04 AD24 AD42 BA14 CA03 CA04 CA12 EA03 EA08 GA11 JA09 2G059 AA01 BB01 CC06 DD16 EE01 EE12 HH02 HH03 HH06 JJ01 KK01 NN01 4D058 JA02 JB03 JB05 JB28 MA02 SA20

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ダストの混じったガスが流れるガスダクト
    からサンプルガスを抽気するガス抽気装置であって、ガ
    スが流入するガス流入口とガスが流出するガス流出口と
    を有するガス室と、ガスからダストを除去してサンプル
    ガスを通過させる多孔質フィルタと、サンプルガスが流
    出するサンプルガス流出口を有するサンプルガス室と、
    前記多孔質フィルタを振動させる加振手段とを備え、前
    記多孔質フィルタが前記ガス室と前記サンプルガス室と
    を間仕切っていることを特徴とするガス抽気装置
  2. 【請求項2】前記多孔質フィルタの面が前記ガス室内を
    流れるガスの流れ方向と平行になっていることを特徴と
    する請求項1に記載のガス抽気装置
  3. 【請求項3】前記ガス室内を流れるガスが上から下へ流
    れることを特徴とする請求項1または請求項2の一つに
    記載のガス抽気装置
  4. 【請求項4】前記ガス室が端部を対向させて同軸に配置
    されるガス流入配管とガス流出配管とを有し、該ガス流
    入配管が前記ガス流入口を形成し、該ガス流出配管が前
    記ガス流出口を形成し、前記サンプルガス室が前記ガス
    流入配管と前記ガス流出配管とが連通する気密のサンプ
    ルガス容器と該サンプルガス容器の外壁に連通するサン
    プルガス流出配管とを有し、該サンプルガス流出配管が
    前記サンプルガス流出口を形成し、前記多孔質フィルタ
    が円筒形状フィルタであり、前記円筒形状フィルタの一
    端がガス流入配管に連通し、前記円筒形状フィルタの他
    端がガス流出配管に連通している、ことを特徴とする請
    求項1乃至請求項3に記載のガス抽気装置
  5. 【請求項5】前記加振手段が前記多孔質フィルタに固着
    した電圧駆動振動子を有することを特徴とする請求項1
    乃至請求項4に記載のガス抽気装置
  6. 【請求項6】前記加振手段が前記サンプルガス室または
    前記ガス室を形成する壁に固着した機械式振動器を有す
    ることを特徴とする請求項1乃至請求項5に記載のガス
    抽気装置
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