JP2001187367A

JP2001187367A - 手袋の洗浄装置及び洗浄方法

Info

Publication number: JP2001187367A
Application number: JP2000000097A
Authority: JP
Inventors: Momoko Ae; 百子阿江; 悦男 ▲ひばり▼野; Etsuo Hibarino
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2000-01-04
Filing date: 2000-01-04
Publication date: 2001-07-10

Abstract

(57)【要約】【課題】無塵手袋の外側及び内側をクラス１０の清浄
度までコストを低減しながら洗浄することができる手袋
の洗浄装置及び洗浄方法を提供する。【解決手段】コンベア３が通過しクラス１００の第１
のクリーンルーム１と、この第１のクリーンルーム１に
隣接してコンベア３の下流側に設けられクラス１０の第
２のクリーンルーム３が設けられている。クリーンルー
ム１には、手袋が含浸する水張り水槽１３ａ及びこの水
張り水槽１３内に気泡を発生する気泡発生手段１３ｂを
備えた洗浄部１３と、この洗浄部１３に対してコンベア
３の下流側に設けられ手袋に温水を噴出するすすぎ部１
４とが設けられている。一方、クリーンルーム２には、
手袋に超純水を噴出する純水リンス部２１と、この純水
リンス部２１に対してコンベア３の下流側に設けられ手
袋に温風を吹き付けることにより手袋を乾燥する温風乾
燥部とが設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置、医薬及
び食品の製造現場等のクリーンルーム内で使用される手
袋の洗浄装置及び洗浄方法に関し、特に、無塵手袋のリ
サイクルに好適な手袋の洗浄装置及び洗浄方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造現場等のクリーンルー
ムでは、無塵手袋を使用している。このような手袋はク
リーン洗浄により滅菌されており、その材質は天然ゴム
系である。

【０００３】従来、このような手袋は製造された後、ク
ラス１００の環境下で専用の洗浄機によりバッチ方式で
洗浄され、ハンドリングにより乾燥機に挿入されて乾燥
されている。その後、クラス１００の環境下で良品・不
良品の選別が行われ包装されている。なお、この手袋は
使い捨てのものであり、洗浄機による洗浄の際には、表
面が主に洗浄される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近時、
環境汚染等の観点からこのような手袋のリサイクルが検
討されているため、上述のような使い捨てに適した洗浄
方法ではなくリサイクルに適した方法が要望されてい
る。上述の従来の洗浄方法では、作業員による工程が多
いため、そのままリサイクルに適用した場合には、手袋
１個当たりの価格と比して、そのリサイクルに必要とさ
れる人件費が極めて高くなるという問題点がある。

【０００５】このため、オンライン化により人件費を抑
えることが必要となるが、リサイクルの場合、手袋の内
側も汚染されているので、手袋の外側だけでなく内側を
もクラス１０の清浄度まで洗浄する必要がある。

【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、無塵手袋の外側及び内側をクラス１０の清
浄度までコストを低減しながら洗浄することができる手
袋の洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る手袋の洗浄
装置は、コンベアと、このコンベアに手袋をその口を広
げて固定する複数個の手袋固定治具と、前記コンベアが
通過し清浄度がクラス１００の第１のクリーンルーム
と、この第１のクリーンルームに隣接して前記コンベア
の下流側に設けられ清浄度がクラス１０の第２のクリー
ンルームと、を有し、前記第１のクリーンルームは、前
記コンベアに固定された手袋が含浸する水張り水槽及び
この水張り水槽内に気泡を発生する気泡発生手段を備え
た洗浄部と、この洗浄部に対して前記コンベアの下流側
に設けられ前記手袋に３０℃以上の水を噴出するすすぎ
部と、を有し、前記第２のクリーンルームは、前記手袋
に超純水を噴出する純水リンス部と、この純水リンス部
に対して前記コンベアの下流側に設けられ前記手袋に温
風を吹き付けることにより前記手袋を乾燥する温風乾燥
部と、を有することを特徴とする。

【０００８】本発明においては、手袋固定治具により手
袋がその口を広げて固定される。そして、この状態で第
１及び第２のクリーンルーム内で所定の処理が行われ
る。従って、手袋の表裏面の処理がオンライン上で一括
して行われるので、手袋が使用済みであっても、容易に
その表裏面がクラス１０の清浄度まで洗浄される。

【０００９】本発明においては、前記気泡発生手段は、
１００ｃｃ／分以上の速度で粒径が５０ｍｍ以下の気泡
を発生することが望ましく、前記すすぎ部は、４０℃以
上の水を１０Ｎ／ｃｍ²以上の水圧で噴出することが望
ましい。また、前記超純水の抵抗値は、１３ＭΩ以上で
あることが望ましく、前記温風乾燥部における前記手袋
の表面の温度は、８０℃以上であることが望ましい。

【００１０】更に、前記コンベアには前記手袋固定治具
が設けられた位置に孔が形成されており、前記手袋はそ
の口が前記孔に整合するようにして前記手袋固定治具に
固定されてもよい。

【００１１】本発明に係る手袋の洗浄方法は、清浄度が
クラス１００の第１のクリーンルーム内で気泡が発生し
ている水張り水槽内に手袋をその口を広げて含浸する工
程と、前記第１のクリーンルーム内で前記手袋にその口
を広げて３０℃以上の水を噴出する工程と、清浄度がク
ラス１０の第２のクリーンルーム内で前記手袋にその口
を広げて超純水を噴出する工程と、前記第２のクリーン
ルーム内で前記手袋にその口を広げて温風を吹き付ける
ことにより前記手袋を乾燥する工程と、を有することを
特徴とする。

【００１２】なお、前記各工程において前記手袋をコン
ベアに固定して搬送することができる。また、前記コン
ベアには孔が形成されており、前記手袋を水張り水槽内
に含浸する工程の前に前記手袋をその口が前記孔に整合
するようにして前記コンベアに固定する工程を有しても
よい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例に係る手袋
の洗浄装置について、添付の図面を参照して具体的に説
明する。図１は本発明の実施例に係る手袋の洗浄装置に
おける第１のクリーンルーム１の構成を示す模式図であ
り、図２は本発明の実施例に係る手袋の洗浄装置におけ
る第２のクリーンルーム２の構成を示す模式図である。
また、図３は図１及び２におけるベルトコンベア３をそ
の表面側から見た平面図であり、図４は図１及び２にお
ける手袋固定治具３１への手袋の固定方法を示す斜視図
である。図５は第１のクリーンルーム１と第２のクリー
ンルーム２との関係を示す模式図である。

【００１４】本実施例には、清浄度がクラス１００のク
リーンルーム（第１のクリーンルーム）１及び清浄度が
クラス１０のクリーンルーム（第２のクリーンルーム）
２が設けられており、これらのクリーンルームはビニー
ルカーテン４により仕切られている。そして、クリーン
ルーム１及び２内には、相互間で循環する環状のベルト
コンベア３が設けられている。

【００１５】クラス１００のクリーンルーム１には、図
１に示すように、ベルトコンベア３の移動方法の上流側
から順に手袋固定部１１、仕分部１２、ガス温水洗浄部
１３及びすすぎ部１４が設けられている。

【００１６】手袋固定部１１において、ベルトコンベア
３の表面に設けられた手袋固定治具３１に使用済みでリ
サイクルされる手袋が固定される。

【００１７】仕分部１２において、手袋の表裏を確認
し、裏面が外側に出ている場合には表面が外側に出るよ
うに統一する。また、手袋の破損状況をみて、ピンホー
ル等の欠陥があるのものを廃却する。更に、手袋の汚れ
も観察し、汚れが激しいものは廃却する。その後、再度
治具３１ａに手袋を装着する。

【００１８】ガス温水洗浄部１３には、水中をベルトコ
ンベア３が通過するガス洗浄漕１３ａが配設されてい
る。ガス洗浄漕１３ａには、気泡発生装置１３ｂがベル
トコンベア３の下方に配置されており、この気泡発生装
置１３ｂにガスを供給するガス供給部１３ｃが気泡発生
装置１３ｂに連結されている。また、ガス洗浄漕１３ａ
の外部には、ガス洗浄漕１３ａから溢れ出た水を受ける
排水漕１３ｄが設けられている。排水漕１３ｄには、排
水口１３ｅが設けられている。

【００１９】すすぎ部１４の入口には、ビニールカーテ
ン１４ａが設けられており、その出口にビニールカーテ
ン４が設けられている。すすぎ部１４のビニールカーテ
ン１４ａ及び４により挟まれた空間内には、手袋固定治
具３１に固定された手袋にその上方及び下方から、例え
ば温度が３０℃以上の温水１４ｅを噴出するジェットシ
ャワー器１４ｂが設けられている。更に、手袋固定治具
３１に固定された手袋に噴出され落下した温水を受ける
排水受部１４ｃが設けられている。排水受部１４ｃに
は、排水口１４ｄが設けられている。

【００２０】クラス１０のクリーンルーム２には、図２
に示すように、ベルトコンベア３の移動方法の上流側か
ら順に純水リンス部２１、温風乾燥部２２、冷まし部２
３及び手袋取外部２４が設けられている。

【００２１】純水リンス部２１の入口にビニールカーテ
ン４が設けられており、その出口には、ビニールカーテ
ン２１ａが設けられている。純水リンス部２１のビニー
ルカーテン４及び２１ａにより挟まれた空間内には、手
袋固定治具３１に固定された手袋にその上方及び下方か
ら、例えば抵抗値が１３ＭΩ以上の超純水２１ｅを噴出
するジェットシャワー器２１ｂが設けられている。更
に、手袋固定治具３１に固定された手袋に噴出され落下
した超純水を受ける排水受部２１ｃが設けられている。
排水受部２１ｃには、排水口２１ｄが設けられている。

【００２２】温風乾燥部２２の入口には、ビニールカー
テン２１ａが設けられており、その出口には、ビニール
カーテン２２ａが設けられている。温風乾燥部２２のビ
ニールカーテン２１ａ及び２２ａにより挟まれた空間内
には、ベルトコンベア３を上下方向から挟むようにダク
ト２２ｂが配置されている。ダクト２２ｂ内には、温風
ラジエータ２２ｃが設けられており、温風ラジエータ２
２ｃとベルトコンベア３との間には、フィルタ２２ｄが
配置されている。温風ラジエータ２２ｃにより暖められ
た空気が手袋固定治具３１に固定された手袋に、例えば
その表面で温度が８０℃となるように吹き付けられる。

【００２３】冷まし部２３には、ベルトコンベア３を上
下方向から挟むようにフィルタ２３ａが配置されてい
る。この冷まし部２３では、手袋に直接的な処理は行わ
れず、温風乾燥部２２での乾燥により加熱された手袋の
自然冷却が行われる。

【００２４】そして、手袋取外部２４において、手袋固
定治具３１に固定された手袋が取り外される。

【００２５】また、手袋固定治具３１は、図２に示すよ
うに、例えば４行でベルトコンベア３の表面に等間隔で
配置されている。手袋固定治具３１は、例えば４本の棒
３１ａから構成されている。棒３１ａは、例えば金属製
又は樹脂製であり、その長さは、例えば１２０ｍｍであ
る。４本の棒３１ａはベルトコンベア３の表面で、例え
ば対角線の長さが８０ｍｍとなる正方形をなすように配
置されているが、図４に示すように、相互間の間隔はベ
ルトコンベア３の表面から離れるに連れて大きくなり、
それらの先端部は、例えば対角線の長さが１００ｍｍと
なる正方形をなす。

【００２６】更に、ベルトコンベア３の表面には、手袋
固定治具３１の４本の棒３１ａの内側に、例えば直径が
８０ｍｍの円形孔３２が形成されている。

【００２７】なお、第２のクリーンルーム２には、第１
のクリーンルーム１の外部に連通する通気口５が設けら
れている。

【００２８】次に、上述のように構成された本実施例の
洗浄装置の動作について説明する。

【００２９】先ず、クリーンルーム１の手袋固定部１１
において、図３に示すように、手袋１０の口を広げ４本
の棒３１ａをその中に挿入するようにして、手袋１０を
手袋固定治具３１に固定する。手袋１０は、例えば天然
ゴム３０重量％、ＰＶＣ等の塩化ビニル系樹脂５０重量
％及びニトリルゴム２０重量％から構成される。

【００３０】ベルトコンベア３は手袋固定治具３１に固
定された手袋１０を仕分部１２まで搬送する。そして、
手袋１０の表裏を確認し、裏面が外側に出ている場合に
は表面が外側に出るように統一する。また、手袋１０の
破損状況をみて、ピンホール等の欠陥があるのものを廃
却する。更に、手袋１０の汚れも観察し、汚れが激しい
ものは廃却する。その後、再度治具３１ａに手袋１０を
装着する。

【００３１】次いで、ベルトコンベア３は手袋１０をガ
ス温水洗浄部１３まで搬送する。これにより、手袋１０
はガス洗浄漕１３ａの水中に含浸される。このとき、気
泡発生装置１３ｂは、例えば１００ｃｃ／分以上の速度
で粒径が５０ｍｍ以下の気泡１３ｆを発生する。この気
泡ｆにより手袋１０の表裏面が洗浄される。手袋１０が
ガス洗浄部１２を通過するために要する時間は、例えば
１５分程度である。

【００３２】なお、手袋１０の内部に気泡１３ｆにより
上方への力が作用するが、棒３１ａが相互に開くように
延びているので、手袋１０は手袋固定治具３１からは外
れない。

【００３３】また、ガス洗浄漕１３ａから溢れ出た水は
排水漕１３ｄに受けられた後、排水口１３ｅから外部へ
と排出される。

【００３４】次に、ベルトコンベア３は手袋１０をすす
ぎ部１４まで搬送する。すすぎ部１４では、ジェットシ
ャワー器１４ｂが、例えば１０Ｎ／ｃｍ²以上の水圧で
好ましくは４０℃以上の温水１４ｅを手袋１０にその上
下方向から噴出する。この温水１４ｅにより手袋１０の
表裏面のすすぎが行われる。手袋１０がすすぎ部１４を
通過するために要する時間は、例えば５分程度である。
このすすぎ部１４から排出される手袋１０の清浄度はク
ラス１００を満たしている。

【００３５】なお、手袋１０の内部に温水１４ｅにより
上方への力が作用するが、棒３１ａが相互に開くように
延びているので、手袋１０は手袋固定治具３１からは外
れない。また、ビニールカーテン１４ａ及び４により、
温水１４ｅの外部への飛散が防止される。

【００３６】また、使用済みの温水１４ｅは排水受部１
４ｃに受けられた後、排水口１４ｄから外部へと排出さ
れる。

【００３７】その後、ベルトコンベア３は手袋１０をク
リーンルーム２内の純水リンス部２１まで搬送する。純
水リンス部２１では、ジェットシャワー器２１ｂが、例
えば抵抗値が１３ＭΩ以上の超純水２１ｅを手袋１０に
その上下方向から噴出する。この温水１４ｅにより手袋
１０の表裏面に超純水リンス効果が発現する。手袋１０
が純水リンス部２１を通過するために要する時間は、例
えば５分程度である。

【００３８】なお、手袋１０の内部に超純水２１ｅによ
り上方への力が作用するが、棒３１ａが相互に開くよう
に延びているので、手袋１０は手袋固定治具３１からは
外れない。また、ビニールカーテン４及び２１ａによ
り、超純水２１ｅの外部への飛散が防止される。

【００３９】また、使用済みの超純水２１ｅは排水受部
２１ｃに受けられた後、排水口２１ｄから外部へと排出
される。

【００４０】続いて、ベルトコンベア３は手袋１０を温
風乾燥部２２まで搬送する。温風乾燥部２２では、温風
ラジエータ２２ｃがダクト２２ｂから送られた空気を加
熱して手袋１０に吹き付ける。この温風により手袋１０
の表裏面が乾燥する。手袋１０が温風乾燥部２２を通過
するために要する時間は、例えば３分程度である。

【００４１】温風ラジエータ２２ｃとベルトコンベア３
との間にはフィルタ２２ｄが配置されているので、空気
中に浮遊する微粒子は手袋１０に付着する前に除去され
る。温風の温度は、例えば手袋１０の表面で８０℃以上
であるが、手袋１０が変質しない程度であれば、特に限
定されない。また、温風の供給量は、例えば６０００ｍ
³／時程度である。

【００４２】なお、手袋１０の内部に温風により上方へ
の力が作用するが、棒３１ａが相互に開くように延びて
いるので、手袋１０は手袋固定治具３１からは外れな
い。また、ビニールカーテン２１ａ及び２２ａにより、
温風の外部への拡散が防止される。

【００４３】次に、ベルトコンベア３は手袋１０を冷ま
し部２３まで搬送する。冷まし部２３では、手袋１０が
自然冷却される。手袋１０が冷まし部２３を通過するた
めに要する時間は、例えば５分程度である。この冷まし
部２３から排出される手袋１０の清浄度はクラス１０を
満たしている。なお、フィルタ２３ａはクラス１０の清
浄度を確認するために設けられたものである。

【００４４】そして、ベルトコンベア３は手袋を手袋取
外部２４まで搬送する。手袋取外部２４において、手袋
１０を手袋固定治具３１から取り外す。

【００４５】このように、本実施例によれば、オンライ
ン化により作業員による作業が著しく低減されるので、
人件費を抑制することが可能である。また、作業員の手
による汚染を低減することが可能である。更に、ベルト
コンベア３には、手袋１０が固定される位置に円形孔３
２が形成されているので、手袋１０の裏面の洗浄等を表
面の処理と同等の効率で行うことが可能である。従っ
て、手袋１０の表裏面の処理を一括して行うことが可能
である。この結果、表裏面を個別の工程で処理する場合
と比して、工程数を半減することが可能である。

【００４６】なお、本実施例においては、円形孔３２
は、手袋１０が固定される位置に形成されているが、ベ
ルトコンベアの他の位置にも形成されていてもよい。

【００４７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
手袋はクラス１００の第１のクリーンルーム内で処理し
た後にクラス１０の第２のクリーンルーム内で処理し、
その際に手袋の口は広げられているので、手袋の表裏面
の処理をオンライン上で一括して行うことができる。こ
のため、手袋が使用済みであっても、容易にその表裏面
をクラス１０の清浄度まで洗浄することができる。この
結果、コストを削減することができる。このように、従
来は手袋の表裏面を洗浄するためには、シート状の部材
を洗浄する場合と比して２倍の時間が必要とされていた
が、本発明によれば、表裏面を一括して洗浄することが
できるので、工程数及び所要時間を著しく短縮すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る手袋の洗浄装置における
第１のクリーンルーム１の構成を示す模式図である。

【図２】本発明の実施例に係る手袋の洗浄装置における
第２のクリーンルーム２の構成を示す模式図である。

【図３】図１及び２におけるベルトコンベア３をその表
面側から見た平面図である。

【図４】図１及び２における手袋固定治具３１への手袋
の固定方法を示す斜視図である。

【図５】第１のクリーンルーム１と第２のクリーンルー
ム２との関係を示す模式図である。

【符号の説明】

１、２；クリーンルーム３；ベルトコンベア４；ビニールカーテン５；通気口１０；手袋１１；手袋固定部１２；仕分部１３；ガス洗浄部１４；すすぎ部２１；純水リンス部２２；温風乾燥部２３；冷まし部２４；手袋取外部３１；手袋固定治具３２；円形孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲ひばり▼野悦男兵庫県西脇市鹿野町県営住宅38号Ｆターム(参考） 3B201 AA46 AB14 AB42 BB04 BB21 BB82 BB88 BB90 BB92 BB93 CB15 CC01 CC12 CC21

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】コンベアと、このコンベアに手袋をその
口を広げて固定する複数個の手袋固定治具と、前記コン
ベアが通過し清浄度がクラス１００の第１のクリーンル
ームと、この第１のクリーンルームに隣接して前記コン
ベアの下流側に設けられ清浄度がクラス１０の第２のク
リーンルームと、を有し、前記第１のクリーンルーム
は、前記コンベアに固定された手袋が含浸する水張り水
槽及びこの水張り水槽内に気泡を発生する気泡発生手段
を備えた洗浄部と、この洗浄部に対して前記コンベアの
下流側に設けられ前記手袋に３０℃以上の水を噴出する
すすぎ部と、を有し、前記第２のクリーンルームは、前
記手袋に超純水を噴出する純水リンス部と、この純水リ
ンス部に対して前記コンベアの下流側に設けられ前記手
袋に温風を吹き付けることにより前記手袋を乾燥する温
風乾燥部と、を有することを特徴とする手袋の洗浄装
置。
【請求項２】前記気泡発生手段は、１００ｃｃ／分以
上の速度で粒径が５０ｍｍ以下の気泡を発生することを
特徴とする請求項１に記載の手袋の洗浄装置。
【請求項３】前記すすぎ部は、４０℃以上の水を１０
Ｎ／ｃｍ²以上の水圧で噴出することを特徴とする請求
項１又は２に記載の手袋の洗浄装置。
【請求項４】前記超純水の抵抗値は、１３ＭΩ以上で
あることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に
記載の手袋の洗浄装置。
【請求項５】前記温風乾燥部における前記手袋の表面
の温度は、８０℃以上であることを特徴とする請求項１
乃至４のいずれか１項に記載の手袋の洗浄装置。
【請求項６】前記コンベアには前記手袋固定治具が設
けられた位置に孔が形成されており、前記手袋はその口
が前記孔に整合するようにして前記手袋固定治具に固定
されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項
に記載の手袋の洗浄装置。
【請求項７】清浄度がクラス１００の第１のクリーン
ルーム内で気泡が発生している水張り水槽内に手袋をそ
の口を広げて含浸する工程と、前記第１のクリーンルー
ム内で前記手袋にその口を広げて３０℃以上の水を噴出
する工程と、清浄度がクラス１０の第２のクリーンルー
ム内で前記手袋にその口を広げて超純水を噴出する工程
と、前記第２のクリーンルーム内で前記手袋にその口を
広げて温風を吹き付けることにより前記手袋を乾燥する
工程と、を有することを特徴とする手袋の洗浄方法。
【請求項８】前記各工程において前記手袋をコンベア
に固定して搬送することを特徴とする請求項７に記載の
手袋の洗浄方法。
【請求項９】前記コンベアには孔が形成されており、
前記手袋を水張り水槽内に含浸する工程の前に前記手袋
をその口が前記孔に整合するようにして前記コンベアに
固定する工程を有することを特徴とする請求項８に記載
の手袋の洗浄方法。