JP2001185029A - カラー陰極線管用露光装置 - Google Patents
カラー陰極線管用露光装置Info
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- JP2001185029A JP2001185029A JP37324099A JP37324099A JP2001185029A JP 2001185029 A JP2001185029 A JP 2001185029A JP 37324099 A JP37324099 A JP 37324099A JP 37324099 A JP37324099 A JP 37324099A JP 2001185029 A JP2001185029 A JP 2001185029A
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- ray tube
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フェ−スパネル内面における照度分布を均一
にでき、加工精度の良いテーパ部を具備したマスキング
プレートにより、露光での精度UPによるパネル品位の
向上、露光での精度UPによるパネル品位の向上、コス
トUPを軽減することのできるカラー陰極線管用露光装
置を提供する。 【解決手段】 7はマスキングプレート8に設けられて
直管状水銀ランプ6の長手方向と直交する方向に延びて
その幅は周辺にゆくに従って中心よりも狭いスリット、
W1は第2のマスキングプレート8aにおけるスリット
7の開孔幅、W2は第1のマスキングプレート8bにお
けるスリット7の開孔幅で、開孔幅W1は開孔幅W2より
も大きく形成されている。
にでき、加工精度の良いテーパ部を具備したマスキング
プレートにより、露光での精度UPによるパネル品位の
向上、露光での精度UPによるパネル品位の向上、コス
トUPを軽減することのできるカラー陰極線管用露光装
置を提供する。 【解決手段】 7はマスキングプレート8に設けられて
直管状水銀ランプ6の長手方向と直交する方向に延びて
その幅は周辺にゆくに従って中心よりも狭いスリット、
W1は第2のマスキングプレート8aにおけるスリット
7の開孔幅、W2は第1のマスキングプレート8bにお
けるスリット7の開孔幅で、開孔幅W1は開孔幅W2より
も大きく形成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は蛍光面タイプのカラ
ー陰極線管の蛍光面焼付に用いるカラー陰極線管用露光
装置に関するものである。
ー陰極線管の蛍光面焼付に用いるカラー陰極線管用露光
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、カラー陰極線管の蛍光面をパネル
内面に形成するにはシャドウマスクをパターンとして、
写真印刷の技術を基本としたカラー陰極線管用露光装置
が用いられている。この手法は、偏向された電子ビーム
の経路と偏向中心に置かれた光源からの光の経路とがほ
ぼ同じであることを利用したものである。まず、陰極線
管のパネル内面に光を感光して硬化する蛍光体懸濁液を
塗布し、乾燥後シャドウマスクを装着し、偏向中心に露
光用偏向装置(ランプハウス)を置いて蛍光体懸濁液か
らなる感光剤層を露光する。次に、シャドウマスクを外
して現像をすると、カラー陰極線管用露光装置からシャ
ドウマスクの円形状開孔を介して光が照射された部分の
みに蛍光体が残る。この工程を各色の蛍光体について行
うことによって、カラー陰極線管の蛍光面が完成する。
また、パネル内面に光吸収層であるブラックマトリクス
層を形成する場合には、蛍光面の形成の前に形成する。
内面に形成するにはシャドウマスクをパターンとして、
写真印刷の技術を基本としたカラー陰極線管用露光装置
が用いられている。この手法は、偏向された電子ビーム
の経路と偏向中心に置かれた光源からの光の経路とがほ
ぼ同じであることを利用したものである。まず、陰極線
管のパネル内面に光を感光して硬化する蛍光体懸濁液を
塗布し、乾燥後シャドウマスクを装着し、偏向中心に露
光用偏向装置(ランプハウス)を置いて蛍光体懸濁液か
らなる感光剤層を露光する。次に、シャドウマスクを外
して現像をすると、カラー陰極線管用露光装置からシャ
ドウマスクの円形状開孔を介して光が照射された部分の
みに蛍光体が残る。この工程を各色の蛍光体について行
うことによって、カラー陰極線管の蛍光面が完成する。
また、パネル内面に光吸収層であるブラックマトリクス
層を形成する場合には、蛍光面の形成の前に形成する。
【0003】図9は特開平2−260351号公報に開
示されたカラー陰極線管の蛍光面焼き付けに用いるカラ
ー陰極線管用露光装置である。図において、2は露光装
置本体、5は露光装置本体2内に設置されたランプハウ
ス、6はランプハウス5内にある露光用の直管状水銀ラ
ンプ、4は直管状水銀ランプ6から光を屈折させる光学
系、11は陰極線管のフェースパネル、9はフェースパ
ネル11の固定された色選定電極であるシャドウマス
ク、10はシャドウマスク9の孔である。上記構成によ
って、直管状水銀ランプ6からの光線は、光学系4で屈
折されて、孔10を介してフェースパネル11の内面に
あらかじめ塗布された蛍光体懸濁液からなる感光剤層を
露光する。
示されたカラー陰極線管の蛍光面焼き付けに用いるカラ
ー陰極線管用露光装置である。図において、2は露光装
置本体、5は露光装置本体2内に設置されたランプハウ
ス、6はランプハウス5内にある露光用の直管状水銀ラ
ンプ、4は直管状水銀ランプ6から光を屈折させる光学
系、11は陰極線管のフェースパネル、9はフェースパ
ネル11の固定された色選定電極であるシャドウマス
ク、10はシャドウマスク9の孔である。上記構成によ
って、直管状水銀ランプ6からの光線は、光学系4で屈
折されて、孔10を介してフェースパネル11の内面に
あらかじめ塗布された蛍光体懸濁液からなる感光剤層を
露光する。
【0004】図10は、ランプハウス5を表した図であ
り、(a)は上面図、(b)は正面断面図、(c)は右
側断面図である。図において、5aは冷却水を循環させ
て直管状水銀ランプ6を冷却する冷却水注排孔、8は直
管状水銀ランプ6と一定間隔をおいて上に位置するV字
型マスキングプレート、8gはマスキングプレート8の
位置決め孔、5bは位置決め孔8gを嵌合するランプハ
ウス5の位置決め突起、12は位置決め突起5bに嵌め
込んでマスキングプレート8を固定する嵌め込みOリン
グ、13はマスキングプレート8の上部に位置する採光
用窓ガラス、14はロックリング、15はOリングであ
る。
り、(a)は上面図、(b)は正面断面図、(c)は右
側断面図である。図において、5aは冷却水を循環させ
て直管状水銀ランプ6を冷却する冷却水注排孔、8は直
管状水銀ランプ6と一定間隔をおいて上に位置するV字
型マスキングプレート、8gはマスキングプレート8の
位置決め孔、5bは位置決め孔8gを嵌合するランプハ
ウス5の位置決め突起、12は位置決め突起5bに嵌め
込んでマスキングプレート8を固定する嵌め込みOリン
グ、13はマスキングプレート8の上部に位置する採光
用窓ガラス、14はロックリング、15はOリングであ
る。
【0005】図11は露光状態を表す図である。図にお
いて、ランプハウス5内部の直管状水銀ランプ6から放
射された光が、マスキングプレート8のスリット7を通
過し、シャドウマスク9の孔10を通過し、フェ−スパ
ネル11の内面に塗布された蛍光体懸濁液の塗布層37
に照射される。また、フェ−スパネル36の内面に円形
の光照射部38(実線の円)が形成されるように、ラン
プハウス5自体を軌道Eに沿って公転させる。
いて、ランプハウス5内部の直管状水銀ランプ6から放
射された光が、マスキングプレート8のスリット7を通
過し、シャドウマスク9の孔10を通過し、フェ−スパ
ネル11の内面に塗布された蛍光体懸濁液の塗布層37
に照射される。また、フェ−スパネル36の内面に円形
の光照射部38(実線の円)が形成されるように、ラン
プハウス5自体を軌道Eに沿って公転させる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本来、露光により塗布
層37に照射される光の相対照度は、フェ−スパネル1
1の内面の位置に関係なく均一であり、また、光照射部
38の形状(ブラックマトリックスホ−ル形状でもあ
る。)は、フェ−スパネル11の内面の位置に関係なく
均一であることが望ましい。
層37に照射される光の相対照度は、フェ−スパネル1
1の内面の位置に関係なく均一であり、また、光照射部
38の形状(ブラックマトリックスホ−ル形状でもあ
る。)は、フェ−スパネル11の内面の位置に関係なく
均一であることが望ましい。
【0007】しかし、従来のカラー陰極線管露光装置に
よるフェ−スパネル11の内面における照度分布を測定
すると、図12に示されるように、Y軸方向(図11に
示されるように、スリット7の長手方向であり、通常は
フェ−スパネル11の短辺方向である。)にはほぼ一様
な照度分布を示すが、X軸方向(図11に示されるよう
に、スリット7の幅方向であり、通常はフェ−スパネル
11の長辺方向である。)及びフェ−スパネル11の対
角軸方向(図11に示されるD方向であり、ほぼ四角形
であるフェ−スパネル11の対角線の方向である。)に
おいてはフェ−スパネル11の端部に近づくほど照度が
低下するという結果が得られた。また、フェ−スパネル
11の内面における光照射部38の径(ブラックマトリ
ックスホ−ルのサイズ(μm))を測定すると、図13
に示されるように、Y軸方向にほぼ一様なサイズを示す
が、X軸方向及び対角軸方向においてはフェ−スパネル
36の端部に近づくほどサイズが小さくなる。
よるフェ−スパネル11の内面における照度分布を測定
すると、図12に示されるように、Y軸方向(図11に
示されるように、スリット7の長手方向であり、通常は
フェ−スパネル11の短辺方向である。)にはほぼ一様
な照度分布を示すが、X軸方向(図11に示されるよう
に、スリット7の幅方向であり、通常はフェ−スパネル
11の長辺方向である。)及びフェ−スパネル11の対
角軸方向(図11に示されるD方向であり、ほぼ四角形
であるフェ−スパネル11の対角線の方向である。)に
おいてはフェ−スパネル11の端部に近づくほど照度が
低下するという結果が得られた。また、フェ−スパネル
11の内面における光照射部38の径(ブラックマトリ
ックスホ−ルのサイズ(μm))を測定すると、図13
に示されるように、Y軸方向にほぼ一様なサイズを示す
が、X軸方向及び対角軸方向においてはフェ−スパネル
36の端部に近づくほどサイズが小さくなる。
【0008】上記した照度分布の不均一を緩和するため
にフェ−スパネル11と直管状水銀ランプ6との間に特
殊補正フィルタ−を備える対策もあるが、特殊補正フィ
ルタ−は透過光量を減少させることによって照度分布の
均一化を図るものであるから、フェ−スパネル11に到
達する光を弱めている点及び光照射部38の形状を悪く
する点から好ましいものではない。
にフェ−スパネル11と直管状水銀ランプ6との間に特
殊補正フィルタ−を備える対策もあるが、特殊補正フィ
ルタ−は透過光量を減少させることによって照度分布の
均一化を図るものであるから、フェ−スパネル11に到
達する光を弱めている点及び光照射部38の形状を悪く
する点から好ましいものではない。
【0009】また、上記スリット7にテーパをつけた対
策では、マスキングプレート8がV字型のために最終工
程で上記スリット7にテーパを取り付けるのが困難であ
り、平板の状態でテーパ部を取り付けてV字型に加工し
た場合は加工処理前時点での寸法のため、加工精度が悪
く、ワイヤーカッター処理でのバリ等も生じやすい。そ
のため、従来のテーパ部を具備しないマスキングプレー
トよりも良品率が大幅に悪化して、マスキングプレ−ト
8自体のコストが大幅に上がってしまうと言う問題もあ
る。
策では、マスキングプレート8がV字型のために最終工
程で上記スリット7にテーパを取り付けるのが困難であ
り、平板の状態でテーパ部を取り付けてV字型に加工し
た場合は加工処理前時点での寸法のため、加工精度が悪
く、ワイヤーカッター処理でのバリ等も生じやすい。そ
のため、従来のテーパ部を具備しないマスキングプレー
トよりも良品率が大幅に悪化して、マスキングプレ−ト
8自体のコストが大幅に上がってしまうと言う問題もあ
る。
【0010】本発明は、上記したような課題を解決する
ためになされたものであり、その目的とするところは、
フェ−スパネル内面における照度分布を均一にでき、フ
ェ−スパネル内面における良好な光照射部形状を実現す
ることができ、また、従来のマスキングプレ−トのスリ
ットにテーパ部を取り付けるワイヤーカッター等の加工
は不要になり、加工精度の良いテーパ部を具備したマス
キングプレートにより、露光での精度UPによるパネル
品位の向上、コストUPを軽減することのできるカラー
陰極線管用露光装置を提供する。
ためになされたものであり、その目的とするところは、
フェ−スパネル内面における照度分布を均一にでき、フ
ェ−スパネル内面における良好な光照射部形状を実現す
ることができ、また、従来のマスキングプレ−トのスリ
ットにテーパ部を取り付けるワイヤーカッター等の加工
は不要になり、加工精度の良いテーパ部を具備したマス
キングプレートにより、露光での精度UPによるパネル
品位の向上、コストUPを軽減することのできるカラー
陰極線管用露光装置を提供する。
【0011】
【課題を解決するための手段】この発明に係るカラー陰
極線管用露光装置においては、直管ランプの長手方向と
直交する方向に延びてその幅が周辺にゆくに従って中心
よりも狭いスリットを有し、該スリットに沿う断面で見
て前記直管ランプ側に凸であるV字型をしている第1の
マスキングプレートと、上記第1のマスキングプレート
より幅が広いスリットを有して上記ランプ側で上記第1
のマスキングプレートと接している第2のマスキングプ
レートとを具備するものである。
極線管用露光装置においては、直管ランプの長手方向と
直交する方向に延びてその幅が周辺にゆくに従って中心
よりも狭いスリットを有し、該スリットに沿う断面で見
て前記直管ランプ側に凸であるV字型をしている第1の
マスキングプレートと、上記第1のマスキングプレート
より幅が広いスリットを有して上記ランプ側で上記第1
のマスキングプレートと接している第2のマスキングプ
レートとを具備するものである。
【0012】また、第1のマスキングプレートのスリッ
ト上部内辺と第2のマスキングプレートのスリット上部
内辺を結ぶ直線の前記ランプの長手方向となす角をαと
し、露光するカラー陰極線管の有効画面の短軸における
偏向角度をθ3、有効画面の対角軸における偏向角度を
θ2とするとき、90°−θ2/2≦α≦90°−θ3
/2を満たすものである。
ト上部内辺と第2のマスキングプレートのスリット上部
内辺を結ぶ直線の前記ランプの長手方向となす角をαと
し、露光するカラー陰極線管の有効画面の短軸における
偏向角度をθ3、有効画面の対角軸における偏向角度を
θ2とするとき、90°−θ2/2≦α≦90°−θ3
/2を満たすものである。
【0013】
【発明の実施の形態】実施の形態1.図1は、カラ−陰
極線管のフェ−スパネル内面に蛍光面を形成するための
露光装置であって、本発明の実施の形態1による露光光
源装置を組み込んだものを概略的に示す平面図である。
また、図2は、図1に示すX軸上のS2−S2線で切る断
面図であり、図3は、図1に示すy軸上のS3―S3線で
切る断面図である。
極線管のフェ−スパネル内面に蛍光面を形成するための
露光装置であって、本発明の実施の形態1による露光光
源装置を組み込んだものを概略的に示す平面図である。
また、図2は、図1に示すX軸上のS2−S2線で切る断
面図であり、図3は、図1に示すy軸上のS3―S3線で
切る断面図である。
【0014】図において、1はカラー陰極線管用露光装
置、2は露光装置本体、3は露光光源装置、5は露光装
置本体2内に設置されたランプハウス、6はランプハウ
ス5内にあってX軸方向に伸びた露光用の直管ランプで
ある直管状水銀ランプ、4は直管状水銀ランプ6から光
を屈折させる光学系、8は直管状水銀ランプ6の光を制
限するマスキングプレート、8aはマスキングプレート
8を構成する第2のマスキングプレート、8bはマスキ
ングプレート8を構成して第1のマスキングプレート8
aと貼り合わされた第2のマスキングプレート、11は
カラー陰極線管用露光装1での露光対象である陰極線管
のフェースパネル、9はフェースパネル11の固定され
た色選定電極であるシャドウマスク、10はシャドウマ
スク9の孔、θは、直管状水銀ランプ6からフェースパ
ネル11内面に照射される光の照射角θである。ここ
で、フェースパネル1は長辺をX軸と平行、短辺をY軸
と平行でありD軸は対角方向を表す。
置、2は露光装置本体、3は露光光源装置、5は露光装
置本体2内に設置されたランプハウス、6はランプハウ
ス5内にあってX軸方向に伸びた露光用の直管ランプで
ある直管状水銀ランプ、4は直管状水銀ランプ6から光
を屈折させる光学系、8は直管状水銀ランプ6の光を制
限するマスキングプレート、8aはマスキングプレート
8を構成する第2のマスキングプレート、8bはマスキ
ングプレート8を構成して第1のマスキングプレート8
aと貼り合わされた第2のマスキングプレート、11は
カラー陰極線管用露光装1での露光対象である陰極線管
のフェースパネル、9はフェースパネル11の固定され
た色選定電極であるシャドウマスク、10はシャドウマ
スク9の孔、θは、直管状水銀ランプ6からフェースパ
ネル11内面に照射される光の照射角θである。ここ
で、フェースパネル1は長辺をX軸と平行、短辺をY軸
と平行でありD軸は対角方向を表す。
【0015】上記構成において、カラー陰極線管用露光
装置1は、当該装置の外壁を構成すると共に、その上に
露光対象となるカラ−陰極線管のフェ−スパネル11
(シャドウマスク9を備えている。)が置かれる露光装
置本体2と、この本体2の中に備えられた露光用光源装
置3と、本体2の内部であって、露光用光源装置3から
放射されフェ−スパネル11に向かう光の光路を補正す
る光学系4とを具備する。
装置1は、当該装置の外壁を構成すると共に、その上に
露光対象となるカラ−陰極線管のフェ−スパネル11
(シャドウマスク9を備えている。)が置かれる露光装
置本体2と、この本体2の中に備えられた露光用光源装
置3と、本体2の内部であって、露光用光源装置3から
放射されフェ−スパネル11に向かう光の光路を補正す
る光学系4とを具備する。
【0016】また、露光用光源装置3は、ランプハウス
5内に、直管状水銀ランプ6と、スリット7を備えた第
2のマスキングプレート8a及び第1のマスキングプレ
ート8bで構成されたマスキングプレ−ト8を有する。
また、露光装置1には、従来の露光用光源装置と同様
に、ランプハウス5を公転させる(図11の軌道Eに沿
って公転させる)ための機構(図示せず)が備えられて
いる。また、第2のマスキングプレート8a及び第1の
マスキングプレート8bは鉄材に黒ツヤ消しメッキを施
したものであるが、光を遮蔽することができる剛性の材
料であれば、他の材料で形成してもよい。また、水銀ラ
ンプ6は直径約2mmであり、マスキングプレ−ト8か
ら離れて配置されている。
5内に、直管状水銀ランプ6と、スリット7を備えた第
2のマスキングプレート8a及び第1のマスキングプレ
ート8bで構成されたマスキングプレ−ト8を有する。
また、露光装置1には、従来の露光用光源装置と同様
に、ランプハウス5を公転させる(図11の軌道Eに沿
って公転させる)ための機構(図示せず)が備えられて
いる。また、第2のマスキングプレート8a及び第1の
マスキングプレート8bは鉄材に黒ツヤ消しメッキを施
したものであるが、光を遮蔽することができる剛性の材
料であれば、他の材料で形成してもよい。また、水銀ラ
ンプ6は直径約2mmであり、マスキングプレ−ト8か
ら離れて配置されている。
【0017】図4は図1乃至図3に示された直管状水銀
ランプ6とマスキングプレ−ト8を拡大して示すもので
あり、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)を
y軸方向S4b−S4b線で切る断面図であり、同図(c)
は、同図(a)X軸方向S4c―S4c線で切る断面図であ
る。また、図5は、図4(b)において直管状水銀ラン
プの長手方向であるX軸と平行かつ第2のマスキングプ
レート8aと第1のマスキングプレート8bにおけるV
字型の凸面と垂直な平面であるS5―S5線で切る拡大断
面図である。
ランプ6とマスキングプレ−ト8を拡大して示すもので
あり、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)を
y軸方向S4b−S4b線で切る断面図であり、同図(c)
は、同図(a)X軸方向S4c―S4c線で切る断面図であ
る。また、図5は、図4(b)において直管状水銀ラン
プの長手方向であるX軸と平行かつ第2のマスキングプ
レート8aと第1のマスキングプレート8bにおけるV
字型の凸面と垂直な平面であるS5―S5線で切る拡大断
面図である。
【0018】図において、7はマスキングプレート8に
設けられて直管状水銀ランプ6の長手方向と直交する方
向に延びてその幅は周辺にゆくに従って中心よりも狭い
スリット、8cは直管状水銀ランプ6側に凸であるV字
型をしているマスキングプレート8に設けられた折曲
部、8dは第2のマスキングプレート8aにあるスリッ
ト7の上部内辺、8eは第2のマスキングプレート8a
にあるスリット7の上部内辺、W1は第2のマスキング
プレート8aにおけるスリット7の開孔幅、W2は第1
のマスキングプレート8bにおけるスリット7の開孔
幅、t2は第2のマスキングプレート8a厚さ、t1は
第1のマスキングプレート8b厚さである。ここで、開
孔幅W1は開孔幅W2よりも大きく、開孔幅W1、W2を変
化させることにより、上部内辺8dと上部内辺8eとを
結ぶ直線によって、擬似的なテ−パ部形成する。
設けられて直管状水銀ランプ6の長手方向と直交する方
向に延びてその幅は周辺にゆくに従って中心よりも狭い
スリット、8cは直管状水銀ランプ6側に凸であるV字
型をしているマスキングプレート8に設けられた折曲
部、8dは第2のマスキングプレート8aにあるスリッ
ト7の上部内辺、8eは第2のマスキングプレート8a
にあるスリット7の上部内辺、W1は第2のマスキング
プレート8aにおけるスリット7の開孔幅、W2は第1
のマスキングプレート8bにおけるスリット7の開孔
幅、t2は第2のマスキングプレート8a厚さ、t1は
第1のマスキングプレート8b厚さである。ここで、開
孔幅W1は開孔幅W2よりも大きく、開孔幅W1、W2を変
化させることにより、上部内辺8dと上部内辺8eとを
結ぶ直線によって、擬似的なテ−パ部形成する。
【0019】直管状水銀ランプ6は、スリット7を通し
てフェ−スパネル11の内面に向けて光を照射する。水
銀ランプ6はスリット7の幅よりも長い形状を持ち、ス
リット7を通してフェ−スパネル11の内面の全域に光
を照射できる形状であれば他の形状であっても良い。
てフェ−スパネル11の内面に向けて光を照射する。水
銀ランプ6はスリット7の幅よりも長い形状を持ち、ス
リット7を通してフェ−スパネル11の内面の全域に光
を照射できる形状であれば他の形状であっても良い。
【0020】例えば、17インチカラ−陰極線管用のマ
スキングプレ−トにおいては、折曲部8cの先端の角度
を100°、折曲部8cにおけるV字状の1辺の長さを
4.6mm、スリット7の最大幅を1.5mm、スリッ
ト7の最小幅を1.1mmとしている。
スキングプレ−トにおいては、折曲部8cの先端の角度
を100°、折曲部8cにおけるV字状の1辺の長さを
4.6mm、スリット7の最大幅を1.5mm、スリッ
ト7の最小幅を1.1mmとしている。
【0021】図5において、直管状水銀ランプ6から光
が出射する場合、まずスリット上部では、スリット7を
通過し、シャドウマスク9に形成された孔10を通過し
て、フェ−スパネル11に向かい、スリット7を通過す
る光は開口幅W2である。一方、X方向にずれた位置で
は、光の通過幅は幅W3となり、開口幅がW2である場合
の幅W4より大きく、開口幅W2に近づいて、フェ−スパ
ネル11内面における中央と端部の照度分布の均一化を
図ることができる。
が出射する場合、まずスリット上部では、スリット7を
通過し、シャドウマスク9に形成された孔10を通過し
て、フェ−スパネル11に向かい、スリット7を通過す
る光は開口幅W2である。一方、X方向にずれた位置で
は、光の通過幅は幅W3となり、開口幅がW2である場合
の幅W4より大きく、開口幅W2に近づいて、フェ−スパ
ネル11内面における中央と端部の照度分布の均一化を
図ることができる。
【0022】図6は、カラー陰極線管を各軸上面から見
た上面図を表したものであり、(a)はX軸上面図、
(b)は対角軸上面図、(c)はY軸上面図である。θ
1は露光するカラー陰極線管の有効画面の長軸における
偏向角度、θ2は露光するカラー陰極線管の有効画面の
対角軸における偏向角度、θ3は露光するカラー陰極線
管の有効画面の短軸における偏向角度である。
た上面図を表したものであり、(a)はX軸上面図、
(b)は対角軸上面図、(c)はY軸上面図である。θ
1は露光するカラー陰極線管の有効画面の長軸における
偏向角度、θ2は露光するカラー陰極線管の有効画面の
対角軸における偏向角度、θ3は露光するカラー陰極線
管の有効画面の短軸における偏向角度である。
【0023】ここで、照射角θは上記偏向角度と等し
く、スリット上部内辺8dとスリット上部内辺8eを結
ぶ直線の前記ランプの長手方向となす角をαとすると
き、90°−θ2/2≦α≦90°−θ3/2で表すこ
とができる。
く、スリット上部内辺8dとスリット上部内辺8eを結
ぶ直線の前記ランプの長手方向となす角をαとすると
き、90°−θ2/2≦α≦90°−θ3/2で表すこ
とができる。
【0024】例えば、偏向角θ1〜θ3は適用されるカ
ラ−陰極線管の偏向角度等によって異なるが、偏向角9
0°の17インチカラ−陰極線管の場合、X軸方向では
偏向角θ1=約78°、対角軸方向では偏向角θ2=約
90°、Y軸方向では偏向角θ3=約60°である。し
かし、照射角θはパネル内面の各座標によって異なるた
め、角αを、90°−θ2/2≦α≦90°−θ3/2
を満たす範囲内で照度分布のバラツキを最小に出来る最
適値に設定し、スリット上部内辺8dとスリット上部内
辺8eを形成する。例えば、偏向角90°の17インチ
カラ−陰極線管の場合、αを45゜とする。
ラ−陰極線管の偏向角度等によって異なるが、偏向角9
0°の17インチカラ−陰極線管の場合、X軸方向では
偏向角θ1=約78°、対角軸方向では偏向角θ2=約
90°、Y軸方向では偏向角θ3=約60°である。し
かし、照射角θはパネル内面の各座標によって異なるた
め、角αを、90°−θ2/2≦α≦90°−θ3/2
を満たす範囲内で照度分布のバラツキを最小に出来る最
適値に設定し、スリット上部内辺8dとスリット上部内
辺8eを形成する。例えば、偏向角90°の17インチ
カラ−陰極線管の場合、αを45゜とする。
【0025】また、本実施の形態のマスキングプレート
を密着させて有することにより、第1のマスキングプレ
ート8bに要求される機械的強度は極めて低く、第1の
マスキングプレート8bの厚さを極めて薄くすることが
可能になる。例えば、偏向角90°の17インチカラ−
陰極線管の場合、従来方式のマスキングプレートの厚さ
は0.20[mm]であり、露光用光源装置に取り付け
た時の機械的強度及び寿命の面で、厚さt1≦厚さt2
を満たすように形成することにより、図5に示すよう
に、水銀ランプ7から放射されスリット7を通過する光
線の幅W4からW3へ増加させることができる。尚、第2
のマスキングプレート8a、第1のマスキングプレート
8bを構成する材料としては、光を遮蔽することができ
る材質であれば金属等、種々のものを選択することがで
きる。
を密着させて有することにより、第1のマスキングプレ
ート8bに要求される機械的強度は極めて低く、第1の
マスキングプレート8bの厚さを極めて薄くすることが
可能になる。例えば、偏向角90°の17インチカラ−
陰極線管の場合、従来方式のマスキングプレートの厚さ
は0.20[mm]であり、露光用光源装置に取り付け
た時の機械的強度及び寿命の面で、厚さt1≦厚さt2
を満たすように形成することにより、図5に示すよう
に、水銀ランプ7から放射されスリット7を通過する光
線の幅W4からW3へ増加させることができる。尚、第2
のマスキングプレート8a、第1のマスキングプレート
8bを構成する材料としては、光を遮蔽することができ
る材質であれば金属等、種々のものを選択することがで
きる。
【0026】さらに、第2のマスキングプレート8a、
第1のマスキングプレート8bにおける熱膨張係数は、
ランプハウス5内部で直管状水銀ランプ6を冷却するた
めに冷却水を循環させているので、特に2枚のマスキン
グプレート8内側にある第1のマスキングプレート8b
の熱膨張係数を変更する必要はない。
第1のマスキングプレート8bにおける熱膨張係数は、
ランプハウス5内部で直管状水銀ランプ6を冷却するた
めに冷却水を循環させているので、特に2枚のマスキン
グプレート8内側にある第1のマスキングプレート8b
の熱膨張係数を変更する必要はない。
【0027】図7は本実施の形態におけるフェ−スパネ
ル11の中心からの距離に対する相対照度(%)であ
り、フェ−スパネル11の全体で一様になっていること
がわかる。
ル11の中心からの距離に対する相対照度(%)であ
り、フェ−スパネル11の全体で一様になっていること
がわかる。
【0028】また、図8は、ブラックマトリックスホ−
ルのサイズ(図11における符号38に相当する。)を
測定した結果を示すものであり、一点鎖線で示したシャ
ドウマスク9の孔10のサイズ(100μm)に近接し
て、実施の形態1のカラー陰極線管露光装置によれば、
各軸方向でほぼ一様の照度分布が得られ、測定されたブ
ラックマトリックスホ−ルのサイズ(μm)も均一化さ
れていることがわかる。
ルのサイズ(図11における符号38に相当する。)を
測定した結果を示すものであり、一点鎖線で示したシャ
ドウマスク9の孔10のサイズ(100μm)に近接し
て、実施の形態1のカラー陰極線管露光装置によれば、
各軸方向でほぼ一様の照度分布が得られ、測定されたブ
ラックマトリックスホ−ルのサイズ(μm)も均一化さ
れていることがわかる。
【0029】例えば、フェ−スパネル11の中心から1
20[mm]の位置について図8(実施の形態1)と図
13(従来例)を比較すると、シャドウマスク9の孔1
0のサイズとブラックマトリックスホ−ルのサイズとの
違いが、実施の形態1の場合には面積比(図8に示され
る値は長さであるので、図8の2乗の比)で3%程度で
あり、従来の場合には面積比(図13に示される値は長
さであるので、図13の2乗の比)で12%である。
20[mm]の位置について図8(実施の形態1)と図
13(従来例)を比較すると、シャドウマスク9の孔1
0のサイズとブラックマトリックスホ−ルのサイズとの
違いが、実施の形態1の場合には面積比(図8に示され
る値は長さであるので、図8の2乗の比)で3%程度で
あり、従来の場合には面積比(図13に示される値は長
さであるので、図13の2乗の比)で12%である。
【0030】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に示すような効果を奏する。
れているので、以下に示すような効果を奏する。
【0031】第1のマスキングプレートより幅が広いス
リットを有して上記ランプ側で上記第1のマスキングプ
レートと接している第2のマスキングプレートとを具備
するために、露光用光源装置からフェースパネルへ向か
う光量を均一にできるので、フェースパネル内面におけ
る照度分布の均一化、そしてフェースパネル内面におけ
る光照射部形状の均一化を図ることができる。このた
め、フェースパネル内面に形成される蛍光体の均一化を
実現することができ、カラー陰極線管における画像ムラ
や色ズレを軽減することができる。
リットを有して上記ランプ側で上記第1のマスキングプ
レートと接している第2のマスキングプレートとを具備
するために、露光用光源装置からフェースパネルへ向か
う光量を均一にできるので、フェースパネル内面におけ
る照度分布の均一化、そしてフェースパネル内面におけ
る光照射部形状の均一化を図ることができる。このた
め、フェースパネル内面に形成される蛍光体の均一化を
実現することができ、カラー陰極線管における画像ムラ
や色ズレを軽減することができる。
【0032】また、第1のマスキングプレートのスリッ
ト上部内辺と第2のマスキングプレートのスリット上部
内辺を結ぶ直線の前記ランプの長手方向となす角をαと
し、露光するカラー陰極線管の有効画面の短軸における
偏向角度をθ3、有効画面の対角軸における偏向角度を
θ2するとき、90°−θ2/2≦α≦90°−θ3/
2を満たすもののために、従来のマスキングプレートの
成形技術により容易に対応できる。
ト上部内辺と第2のマスキングプレートのスリット上部
内辺を結ぶ直線の前記ランプの長手方向となす角をαと
し、露光するカラー陰極線管の有効画面の短軸における
偏向角度をθ3、有効画面の対角軸における偏向角度を
θ2するとき、90°−θ2/2≦α≦90°−θ3/
2を満たすもののために、従来のマスキングプレートの
成形技術により容易に対応できる。
【図1】 本発明の実施の形態1によるカラー陰極線管
露光装置を示す図である。
露光装置を示す図である。
【図2】 図1をS2−S2線で切る断面図である。
【図3】 図1をS3−S3線で切る断面図である。
【図4】 本発明の実施の形態1による露光用光源装置
の水銀ランプとマスキングプレ−トを示すものであり、
(a)は平面図、(b)は同図(a)S4b−S4b線で切
る断面図、(c)は同図(a)S4c−S4c線で切る断面
図である。
の水銀ランプとマスキングプレ−トを示すものであり、
(a)は平面図、(b)は同図(a)S4b−S4b線で切
る断面図、(c)は同図(a)S4c−S4c線で切る断面
図である。
【図5】 図4(b)をS5−S5線で切る拡大断面図で
ある。
ある。
【図6】 カラー陰極線管の各軸上面から見た上面図を
表したものであり、(a)はX軸上面図、(b)は対角
軸上面図、(c)はY軸上面図である。
表したものであり、(a)はX軸上面図、(b)は対角
軸上面図、(c)はY軸上面図である。
【図7】 本発明のカラー陰極線管露光装置におけるフ
ェ−スパネル内面の各位置における相対照度(%)を測
定した結果を示すグラフである。
ェ−スパネル内面の各位置における相対照度(%)を測
定した結果を示すグラフである。
【図8】 本発明のカラー陰極線管露光装置により形成
されるブラックマトリックスホ−ルのサイズをフェ−ス
パネル内面の各位置において測定した結果を示すグラフ
である。
されるブラックマトリックスホ−ルのサイズをフェ−ス
パネル内面の各位置において測定した結果を示すグラフ
である。
【図9】 従来の露光用光源装置において、蛍光面焼き
付けに用いる露光装置の概略図である。
付けに用いる露光装置の概略図である。
【図10】 従来の露光用光源装置によるランプハウス
を三角図法で表したものであり(a)は上面図、(b)
は正面断面図、(c)は右側断面図
を三角図法で表したものであり(a)は上面図、(b)
は正面断面図、(c)は右側断面図
【図11】 従来の露光用光源装置において、水銀ラン
プから放射された光がマスキングプレ−トのスリット及
びシャドウマスクの孔を通過し、フェ−スパネル内面に
照射される様子を概略的に示す説明図である。
プから放射された光がマスキングプレ−トのスリット及
びシャドウマスクの孔を通過し、フェ−スパネル内面に
照射される様子を概略的に示す説明図である。
【図12】 従来の露光用光源装置によりフェ−スパネ
ル内面に光を照射したときのフェ−スパネル内面の各位
置における相対照度(%)を測定した結果を示すグラフ
である。
ル内面に光を照射したときのフェ−スパネル内面の各位
置における相対照度(%)を測定した結果を示すグラフ
である。
【図13】 従来の露光用光源装置により形成されるブ
ラックマトリックスホ−ルのサイズ(μm)をフェ−ス
パネル内面の各位置において測定した結果を示すグラフ
である。
ラックマトリックスホ−ルのサイズ(μm)をフェ−ス
パネル内面の各位置において測定した結果を示すグラフ
である。
1 カラー陰極線管露光装置、 2 露光装置本体、
3 露光用光源装置、4 光学系、 5 ランプハウ
ス、 6 直管状水銀ランプ、 7 スリット、 8
マスキングプレ−ト、 8a 第2のマスキングプレ−
ト、 8b第1のマスキングプレート、 8c 折曲
部, 8d スリット上部内辺、8eスリット上部内
辺、9 シャドウマスク、 10 孔、 11 フェー
スパネル、 12 嵌め込みOリング、 13 採光用
窓ガラス、 14 ロックリング、 15 Oリング。
3 露光用光源装置、4 光学系、 5 ランプハウ
ス、 6 直管状水銀ランプ、 7 スリット、 8
マスキングプレ−ト、 8a 第2のマスキングプレ−
ト、 8b第1のマスキングプレート、 8c 折曲
部, 8d スリット上部内辺、8eスリット上部内
辺、9 シャドウマスク、 10 孔、 11 フェー
スパネル、 12 嵌め込みOリング、 13 採光用
窓ガラス、 14 ロックリング、 15 Oリング。
Claims (2)
- 【請求項1】 ドットタイプ蛍光面のカラー陰極線管用
露光装置において、 直管ランプと、該直管ランプの長手方向と直交する方向
に延びてその幅が周辺にゆくに従って中心よりも狭いス
リットを有し、該スリットに沿う断面で見て前記直管ラ
ンプ側に凸であるV字型をしている第1のマスキングプ
レートと、 上記第1のマスキングプレートより幅が広いスリットを
有して上記ランプ側で上記第1のマスキングプレートと
接している第2のマスキングプレートとを具備すること
を特徴とするカラー陰極線管用露光装置。 - 【請求項2】 上記ランプの長手方向と平行かつ上記第
1のマスキングプレートと上記第2のマスキングプレー
トにおけるV字型の凸面と垂直な平面での断面におい
て、 上記第1のマスキングプレートのスリット上部内辺と上
記第2のマスキングプレートのスリット上部内辺を結ぶ
直線の前記ランプの長手方向となす角をαとし、 露光するカラー陰極線管の有効画面の短軸における偏向
角度をθ3、有効画面の対角軸における偏向角度をθ2
とするとき、 90°−θ2/2≦α≦90°−θ3/2 であることを特徴とする請求項1に記載のカラー陰極線
管用露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP37324099A JP2001185029A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | カラー陰極線管用露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP37324099A JP2001185029A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | カラー陰極線管用露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001185029A true JP2001185029A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=18501829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP37324099A Pending JP2001185029A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | カラー陰極線管用露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001185029A (ja) |
-
1999
- 1999-12-28 JP JP37324099A patent/JP2001185029A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040629 |