KR100301690B1 - 칼라음극선관의제조에사용되는노광장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 칼라음극선관의 형광면을 형성할 때 사용되는 노광 장치에 관한 것으로서, 음극선관의 형광체 스크린을 노광하는 노광 장치는 광원부(54)가 가늘고 긴 광원 램프(4)와, 상기 램프에 대향하여 설치된 차광부재(20)를 구비하고 있고, 차광부재에는 램프로부터의 광이 투과하는 슬릿(22)이 형성되어 있으며, 슬릿은 광원램프를 향하여 볼록이 되는 V자 형상으로 형성되어 있고 차광부재는 광원 램프의 관축을 따른 방향의 단면이 슬릿의 개구 가장자리로부터 관축 방향단을 향해서 두께가 증가하는 쐐기 형상을 이루고 있음과 동시에, 슬릿의 위치에서 관축과 직교하는 방향을 따른 횡단면이 균일한 두께를 갖도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

칼라 음극선관의 제조에 사용되는 노광장치{EXPOSURE DEVICE FOR MANUFACTURING COLOR PICTURE TUBE}

본 발명은 칼라음극선관의 형광면을 형성할 때 사용되는 노광장치에 관한 것이다. 칼라음극선관의 제조에서, 페이스 패널의 내면에 형광면을 형성하는 경우, 페이스 패널 내면에 형성한 감광성 수지막을 적, 녹, 청의 형광체 도트 패턴에 따라 노광하는 공정이 있다. 통상, 페이스 패널의 내면에 형광체 도트 형성부가 홀 형상으로 이루어진 블랙 매트릭스라고 하는 광흡수층을 형성한 후, 이들 도트 형성부에 3색의 형광체 도트를 형성하고 있다. 상기 패터닝된 블랙 매트릭스나 형광체 도트를 형성할 때에는 이하와 같은 노광장치가 사용된다.

즉, 노광 장치는 노광 램프로서의 초고압 롱아크(long arc) 수은 램프를 구비한 램프 하우스, 상기 램프 하우스에 대향하여 설치된 광학 렌즈, 광학 렌즈에 대향하여 설치된 배광(配光) 필터를 구비하고 있다. 그리고, 수은 램프로부터 발사된 노광 광선은 광학 렌즈에 의해 굴절됨으로써 광의 궤도가 전자빔의 궤도와 동일해지도록 보정된 후, 배광 필터를 투과하여, 섀도우 마스크의 열린 구멍을 통하여 페이스 패널의 내면에 조사된다. 이에 의해, 페이스 패널 내면에 도포된 감광성 형광면 피막을 섀도우마스크의 열린 구멍 패턴에 맞추어 인화한다. 또한, 배광 필터는 그 표면에 소정 패턴으로 증착막을 형성한 유리 필터이고, 페이스 패널의 내면에서의 광의 조도분포를 보정한다.

램프 하우스는 그 상부(페이스 패널측)에 광투과성 창부로서의 창유리가 배치되고, 내부에 직관형의 롱아크 수은램프가 고정 배치되어 있다. 그리고, 램프 하우스 내에 냉각수를 순환시킴으로써 수은램프를 냉각하는 구조로 이루어져 있다. 또한, 램프 하우스 내부에서 광원 램프의 위쪽에는 소정 간격을 두고 V자형 슬릿을갖는 차광 플레이트가 배치되어 있다. 이 경우, 차광 플레이트는 램프의 길이 방향과 슬릿의 길이 방향이 직교하도록 배치되어 있다. 그리고, 차광 플레이트는 상기 슬릿 위치 결정 구멍에 램프 하우스의 위치 결정 돌기를 끼워 맞추고, V자형 슬릿 위쪽에 창유리를 대향 배치한 상태에서 O링과 잠금링에 의해 눌려 붙여짐으로써 램프 하우스에 고정되어 있다.

종래의 차광 플레이트는 예를 들면 판 두께 0.1㎜∼0.3㎜의 얇은 철재에 흑화처리한 것이 사용되고, 슬릿을 갖는 영역을 V자 형상으로 절곡 프레스 가공하여 형성하고 있다. 상기 V자형의 슬릿의 형상은 적용하는 칼라음극선관에 따라서 다르고, 통상 V자의 2개의 변이 이루는 구부러짐 각도는 80°∼180°, 슬릿 길이(V자의 한 변의 길이)는 3㎜∼10㎜, 슬릿폭은 0.5㎜∼2.5㎜로 되어 있다.

이상과 같은 구성의 램프 하우스를 구비하는 노광 장치에 의하면 노광 램프로부터 나온 노광 광선은 V자형 슬릿을 통과한 후, 섀도우마스크의 열린 구멍을 통하여 패널 내면의 감광성 형광면 피막을 노광한다. 그 때, 노광 광선이 V자형 슬릿을 통과하는 위치가 외관상의 광원의 위치로 되어 있다.

이와 같이, 직관형의 광원 램프에 슬릿을 V자 형으로 구부려 이루어진 차광 플레이트를 대향 배치하는 것으로 점광원처럼 보이게 한 램프 하우스를 사용하는 노광 장치에서는 노광 램프와 차광 플레이트의 V자형 바닥부의 거리 및 차광 램프의 구부러짐 각도에 의해 노광 램프의 투사광의 지향성이 크게 변화된다.

일반적으로 램프 하우스 내는 냉각수로 냉각되어 있지만, 노광 램프에는 고출력의 수은램프가 사용되고 있으므로, 복사열에 의한 차광 플레이트의 가열은 피할 수 없다. 한편, 차광 플레이트는 박판을 절곡 가공하여 형성되어 있으므로, 그 기계적 강도가 약하고 장시간에 걸치는 램프 발광시의 발열에 의해 열 팽창하여 변형된다. 그리고, 차광 플레이트의 변형, 즉 V자형 슬릿의 각도나 높이의 변화에 의해, 노광 램프와 슬릿의 위치 관계가 변화하고, 섀도우마스크로의 노광 광선의 입사각도가 변화한다. 이와 같은 상태에서 형광면의 제조를 실시해도 감광성 형광면 피막의 노광 위치가 소정 위치로부터 벗어나고, 형광면의 노광 불량을 일으킨다.

또한, 차광 플레이트의 고정은 램프 하우스 내벽에 설치된 위치 결정 돌기를 차광 플레이트의 위치 결정 구멍에 끼우는 형태이므로, 위치 어긋남이 발생하기 쉬운 것이다. 그리고, 차광 플레이트가 위치 어긋난 경우에도, 상기와 동일하게 형광면의 노광 불량을 일으킨다.

본 발명은 이상의 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 광원부의 열변형, 위치 어긋남을 방지하고 형광면 품질이 양호한 칼라음극선관을 안정 생산할 수 있는 노광 장치를 제공하는 데에 있다.

도 1 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 노광 장치를 도시한 도면,

도 1은 상기 노광 장치 전체를 도시한 단면도,

도 2a는 상기 노광 장치의 광원부를 도시한 평면도,

도 2b는 도 2a의 선 ⅡB-ⅡB에 따른 단면도,

도 2c는 도 2a의 선 ⅡC-ⅡC에 따른 단면도,

도 3은 상기 광원부에서의 차광부재를 도시한 사시도,

도 4는 도 3의 선 Ⅲ-Ⅲ에 따른 단면도,

도 5는 도 3의 선Ⅳ-Ⅳ에 따른 단면도 및

도 6은 상기 광원부의 스테이지를 도시한 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

3: 램프 하우스 4: 수은 램프

5: 광학 렌즈 6: 배광 필터

7: 섀도우마스크 7a: 섀도우마스크의 열린 구멍

8: 페이스 패널 11: 창유리

12: O링 13: 잠금링

14: 냉각수 도입관 20: 차광부재

20a: 상면(차광부재) 20b: 측면(차광부재)

20c: 하면(차광부재) 21: 슬릿 형성부

22: 슬릿(차광부재) 23: 틀부

24: 투과 구멍 27: 제 1 벽부(틀부)

28: 제 2 벽부(틀부) 29: 오목부(제 2 벽부)

30: 스테이지 31: 바닥벽

32a, 32b: 부분원통벽 33: 개구(바닥벽)

34: 오목부(바닥벽) 35: 나사 구멍(바닥벽)

36: 돌기(스테이지 외부 둘레면) 50: 하우징

52: 천정판 53: 개구

54: 광원부 55: 감광성 형광면 피막

60: 바닥이 있는 계단식 구멍(stepped hole)

60a: 소직경부(바닥이 있는 구멍)

60b: 대직경부(바닥이 있는 구멍)

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 노광 장치는 관축을 갖는 가늘고 긴 광원, 상기 광원에 대향하여 설치되어 있고, 또한 상기 광원으로부터의 광이통과하는 슬릿을 구비한 판 형상의 차광부재, 상기 차광부재에 대향하여 설치된 광투과성 창 및 상기 광원, 차광부재 및 광투과성 창을 지지한 램프 하우스를 구비하고 있다.

상기 차광부재의 슬릿은 상기 광원의 관축과 직교하는 방향으로 연장되어 있고, 또한 상기 광원을 향하여 볼록한 V자형을 갖고, 상기 차광부재는 상기 광원의 관축과 직교하는 방향을 따른 횡단면이 상기 슬릿의 위치에서 균일한 두께를 갖고, 상기 광원의 관축과 평행인 방향을 따른 단면형상이 상기 슬릿의 개구 가장자리로부터 상기 관축 방향단(方向端)을 향하여 두께가 증가하는 쐐기 형상을 갖고 있다.

상기와 같은 차광부재의 단면형상을 얻기 위해, 차광부재의 상기 광투과성 창측의 표면에는 대략 사각추 형상의 오목부가 설치되고, 상기 오목부의 능선을 따라서 슬릿이 형성되어 있다.

또한, 본 발명이 노광 장치에 의하면, 램프 하우스는 상기 차광부재가 고정되는 스테이지를 갖고, 차광부재는 그 측면 및 바닥면이 스테이지와 접한 상태로 고정되어 있다.

상기와 같이 구성된 노광 장치에 의하면, 차광부재를 상기 단면형상을 갖도록 형성함으로써, 슬릿 이외의 부분을 두껍게 할 수 있어, 슬릿이 형성된 박판을 절곡 가공하여 이루어진 종래의 차광 플레이트에 비해 기계적 강도가 높아진다. 따라서, 광원의 발열에 따라 차광부재가 가열된 경우에도, 차광부재의 열변형을 감소시켜 슬릿의 위치를 안정시킬 수 있다. 여기에서 두껍다라는 것은 부재를 절곡 가공하지 않고, 대략 V자 형상의 슬릿을 형성할 수 있을 정도로 충분히 두꺼운 것을 말한다.

또한, 상기 노광 장치에 의하면 차광부재는 그 측면 및 바닥면이 스테이지와 접촉한 상태로 고정되어 있으므로, 위치 어긋남을 일으키기 어려운 구조로 되어 있다. 또한, 차광부재와 스테이지에 광원이 걸어 맞추어지는 오목부를 형성함으로써 슬릿에 대한 광원의 위치 어긋남을 방지할 수 있다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시예에 따른 칼라음극선관용 노광 장치에 대해서 상세하게 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 노광 장치는 거의 직사각형 상자형상의 하우징(50)을 구비하고 있다. 하우징(50)의 천정판(52)에는 직사각형의 개구(53)가 형성되어 있다. 천정판(52)은 음극선관의 페이스 패널(8)을 설치하기 위한 지지판으로서 기능한다. 즉, 노광 조작시, 페이스 패널(8)이 개구(53)와 대향한 상태에서 천정판(52) 상에 설치된다. 이 경우, 페이스 패널(8)의 내면에는 감광성 형광면 피막(55)이 형성되어 있고, 또한 페이스 패널 내면과 대향하여 섀도우마스크(7)가 장착된다.

하우징(50) 내에서, 하우징의 바닥면 상에는 광원으로서의 초고압 롱아크 수은 램프(4)를 구비한 광원부(54)가 배치되어 있음과 동시에, 광원부(54)와 개구(53) 사이에는 광학 렌즈(5) 및 배광(配光) 필터(6)가 차례로 배치되어 있다.

수은 램프(4)에서 발사된 노광 광선은 광의 궤도가 전자빔 궤도와 동일해지도록 보정하는 광학 렌즈(5)에서 굴절되고, 배광 필터(6)를 투과한 후, 섀도우마스크(7)의 열린 구멍(7a)을 통하여 페이스 패널(8)의 내면에 조사한다. 그에 의해,페이스 패널(8) 내면에 도포된 감광성 형광면 피막(55)을 섀도우마스크(7)의 열린 구멍 패턴에 맞추어 인화한다. 또한, 배광 필터(6)는 그 표면에 소정 패턴으로 증착막을 형성한 유리 필터로 구성되고, 페이스 패널(8)의 내면에 조사되는 광의 조도(照度)분포를 보정한다.

도 2a 내지 도 2c에 도시한 바와 같이 광원부(54)는 직사각형 블럭 형상의 램프 하우스(3)를 구비하고, 상기 램프 하우스의 상부(페이스 패널측)에 광투과성 창으로서의 창유리(11)가 배치되고, 내부에는 직관형의 롱아크 수은 램프(4)가 고정배치되어 있다. 그리고, 램프 하우스(3)내에 냉각수를 순환시켜 수은 램프(4)를 냉각하는 구조로 이루어져 있다.

상세하게 서술하면, 램프 하우스(3)에는 바닥이 있는 계단식 구멍(60)이 형성되고, 바닥이 있는 구멍의 소직경부(60a)에는 후술하는 원통형의 스테이지(30) 및 차광부재(20)가 끼워져 있다. 바닥이 있는 계단식 구멍(60)의 대직경부(60b)에는 원반형상의 창유리(11)가 장착되고 O링(12) 및 잠금링(13)을 사용하여 창유리가 고정되어 있다.

또한, 램프 하우스(3) 및 스테이지(30)에는 수은 램프(4)를 삽입하는 공간이 설치되어 있고, 수은 램프(4)는 램프 하우스(3) 외부로부터 스테이지(30)를 관통한 상태로 배치되어 있다. 또한, 램프 하우스(3)에는 램프를 냉각하는 냉각수를 순환시키기 위한 유통로(58)가 형성되고, 이 유통로에는 냉각수 도입관(14)이 접속되어 있다.

도 2a 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 차광부재(20)는 두꺼운(예를 들어 1㎜∼7㎜) 직사각형 판재를 절삭 가공함으로써 형성되어 있다. 차광부재(20)는 직사각형의 평탄한 상면(20a)을 갖고, 상기 상면의 중앙부에는 대략 사각추형상의 오목부로 이루어진 슬릿 형성부(21)가 형성되어 있다. 차광부재(20)의 둘레 가장자리부는 두껍게 형성되어, 슬릿 형성부(21)를 둘러싼 직사각형의 틀부(23)를 구성하고 있다.

슬릿형성부(21)에는 오목부의 수은 램프(4)의 관축(X)과 직교하는 방향으로 연장하는 능선을 따라서 일정폭의 슬릿(22)이 형성되어 있다. 또한, 차광부재(20)의 4개의 각부(角部)에는 고정용 나사를 삽입 통과시키기 위한 투과 구멍(24)이 형성되어, 슬릿 형성부(21)를 둘러싸며 위치하고 있다.

차광부재(20)의 슬릿 형성부(21)는 도 4에 도시한 바와 같이, 관축(X) 방향의 단면이 슬릿(22) 개구 가장자리로부터 관축(X) 방향단부를 향하여 두께가 증가하는 쐐기 형상이 되도록 형성되어, 슬릿형성부(21)의 둘레 가장자리로부터 두꺼운 틀부(23)가 연결되어 있다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같이 슬릿형성부(21)의 슬릿(22) 부분에서, 관축(X)과 직교하는 방향의 단면은 슬릿(22) 부분이 V자 형상이 되고, 균일한 두께로 형성되어 있으며, 또한 슬릿의 단부로부터 두꺼운 틀부(23)가 연결되어 있다.

슬릿(22)의 V자의 2개의 변이 이루는 구부러짐 각도(α)는 80°∼180°, 슬릿 길이(V자의 한 변의 길이)는 3㎜∼10㎜, 슬릿폭은 0.5㎜∼2.5㎜로 설정되어 있다.

또한, 슬릿 형성부에서 도 4에 도시한 단면과 도 5에 도시한 단면 사이의 영역에는 슬릿(22)을 입체적으로 형성해야하고, 수은 램프측에서부터 보았을 때 오목하게 되는 부분이 적절한 형상으로 형성되어 있다.

틀부(23)는 수은 램프(4)의 관축(X)방향과 평행으로 연장되는 한쌍의 제 1 벽부(27)와, 관축(X)에 직교하는 방향으로 연장되어 있고, 또한 제 1 벽부(27)에 비해 두꺼운 제 2 벽부(28)를 구비하고 있다. 제 1 벽부(27)는 관축(X)과 직교하는 방향을 따른 차광부재(20) 단부의 강도를 높이고 있다.

또한, 각 제 2 벽부(28)에는 수은 램프(4)가 걸어 맞추어지는 거의 반원 형상의 오목부(29)가 설치되어 있다. 이들의 오목부(29)와 후술하는 스테이지(30)에 설치된 오목부에 의해 형성되는 원주(圓柱) 형상의 공간에 수은 램프(4)가 삽입 통과 및 유지된다.

또한, 제 1 벽부(27)의 높이는 제 2 벽부(28)의 오목부(29)를 제외한 부분의 높이 보다 낮게 이루어져 있다. 이것은 제 1 벽부(27)와 스테이지(30) 사이에 형성되는 틈을 이용하여 냉각수를 흘리기 위한 것이다.

상기와 같은 구성을 갖는 차광부재(20)는 예를 들어 방전 절삭 가공에 의해 형성할 수 있다.

다음에, 차광부재(20)가 설치되는 원통형의 스테이지(30)에 대해서 설명한다. 도 2a 내지 도 2c 및 도 6에 도시한 바와 같이 스테이지(30)는 램프 하우스(3)에 설치된 바닥이 있는 구멍(60)의 소직경부(60a)와 거의 동등한 직경을 갖는 원주형상으로 형성되어 있다. 또한, 스테이지(30)의 중앙부는 차광부재(20)와 거의 동등한 폭으로 절삭되어, 원반형상의 바닥벽(31)에 대향하는 2개의 부분원통벽(32a, 32b)이 세워 설치된 형상으로 이루어져 있다. 바닥벽(31)의 중앙부분에는 개구(33)가 형성되고, 개구 이외의 부분에는 한쌍의 반원 형상의 오목부(34)와 4개의 나사 구멍(35)이 형성되어 있다. 또한, 스테이지(30)의 외부 둘레면에는 스테이지를 램프 하우스(3)에 설치할 때의 위치 설정용의 돌기(36)가 설치되어 있다.

상기 스테이지(30)는 램프 하우스(3)의 소직경부(60a) 내에 끼워 맞추어져 오목부(34)가 수은 램프(4)의 관축(X)을 따라서 늘어서도록 위치결정되어 있다. 그리고, 수은 램프(4)를 장착한 후, 차광부재(20)가 스테이지(30)의 대향하는 벽(32a, 32b) 사이에 설치된 공간부에 끼워지고, 도시하지 않은 4개의 나사에 의해 바닥벽(31)에 나사 고정되어 있다. 이 때, 차광부재(20)는 그 양 측면(20b) 및 하면(20c)이 스테이지(30)에 면접촉하고 있다. 차광부재(20)를 끼워 넣은 상태에서 차광부재의 하면에 설치된 오목부(29)와 스테이지(30)에 설치된 오목부(34)가 서로 대향하여 위치하고, 원주 형상의 공간을 규정하고 있다. 그리고, 수은 램프(4)는 이 공간에 수용된 상태에서 램프 하우스(3)에 유지되어 있다.

이에 의해, 차광부재(20)의 슬릿(22)은 수은 램프(4)를 향하여 볼록하게 배치되어 있다. 동시에, 슬릿(22)은 소정 간격(b)을 두고 수은 램프(4)와 대향하고, 또한 램프의 관축(X)과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 또한, 램프 하우스(3)의 대직경부(60b)에 창유리(11)를 장착하고, O링(12) 및 잠금링(13)으로 고정함으로써 창유리(11)는 소직경부(60a)의 상단 개구를 폐쇄하고, 또한 차광부재(20)와 대향하여 유지된다. 또한, 수은램프(20)는 오목부(29)와 걸어 맞추어짐으로써 차광부재(20)에 대해서 위치 결정되어 있다.

그리고, 수은램프(4)로부터 출사된 광은 슬릿(22)을 지나 광학렌즈(5)에 입사하고, 또한 배광 필터(6) 및 섀도우마스크(7)를 통하여 감광성 형광면 피막(55)을 노광한다.

또한, 본 발명은 상술한 실시예 한정되지 않고 본 발명의 범위내에서 여러 가지로 변형 가능하다. 예를 들어, 상기 설명에서는 차광부재를 방전 절삭 가공에 의해 형성했지만, 입체적으로 슬릿을 형성하는 방법은 이에 한정되지 않고 여러 가지 방법을 적용할 수 있다.

또한, 상기 설명에서는 차광부재를 설치하는 스테이지는 떼어 낼 수 있는 원통형 스테이지로 했지만, 차광부재와 접하는 면을 갖는 스테이지 부분을 램프 하우스 내에 형성하도록 해도 좋다.

이상과 같이 구성된 노광 장치에 의하면, 노광 동작시, 광원부(54)의 차광부재(20)는 장시간 노광시의 수은 램프(4)로부터의 열복사에 의해 가열된다. 그러나, 차광부재(20)는 슬릿형성부(21)에서 관축(X)방향을 따른 단면이 슬릿(22)으로부터 관축 방향단을 향하여 서서히 두께가 증가하도록 형성되어 있고, 또한 슬릿형성부의 주위에는 두꺼운 틀부(23)가 일체적으로 형성되어 있다. 그 때문에, 차광부재(20)는 종래에 비교하여 슬릿 형성부(21)의 기계적 강도가 향상하고, 열변형을 대폭 감소시킬 수 있다. 또한, 차광부재(22)는 그 바닥면 및 양 측면이 스테이지(30)에 면접촉한 상태에서 스테이지에 고정되어 있으므로, 차광부재의 위치 어긋남을 방지하고, 차광부재의 위치 결정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

그 결과, 차광부재(20)의 슬릿(22)과 수은 램프(4)의 위치 관계를 일정하게 유지한 상태에서 노광 동작을 실시할 수 있고, 감광성 형광면 피막(55)을 소정 패턴으로 노광할 수 있다. 따라서, 상기 노광 장치를 사용함으로써 안정된 품질의 칼라음극선관을 제조할 수 있다.

Claims (7)

1. 칼라음극선관의 형광체 스크린을 노광하는 노광장치에 있어서,

   관축을 갖는 가늘고 긴 광원,

   상기 광원에 대향하여 설치되어 있고, 또한 상기 광원으로부터의 광이 통과하는 슬릿을 구비한 판 형상의 차광부재,

   상기 차광부재에 대향하여 설치된 광투과성 창 및

   상기 광원, 차광부재 및 광투과성 창을 지지한 램프 하우스를 구비하고,

   상기 차광부재의 슬릿은 상기 광원의 관축과 직교하는 방향으로 연장되어 있고, 또한 상기 광원을 향하여 볼록한 V자형을 갖고,

   상기 차광부재는 상기 광원의 관축과 직교하는 방향을 따른 횡단면이 상기 슬릿의 위치에서 균일한 두께를 갖고, 상기 광원의 관축과 평행인 방향을 따른 단면형상이 상기 슬릿의 개구 가장자리로부터 상기 관축 방향단을 향하여 두께가 증가하는 쐐기 형상을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 차광부재는 거의 판형상으로 형성되어 있고, 또한 상기 광투과성 창측의 표면에 형성된 거의 사각추형상의 오목부를 갖고, 상기 슬릿은 상기 오목부의 상기 광원의 관축과 직교하여 연장되는 능선을 따라 형성되어 있는 것을 특징으로하는 노광 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 차광부재는 그 둘레 가장자리부에 상기 오목부를 둘러싸며 설치된 틀부를 일체로 갖고 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 틀부는 상기 광원의 관축방향을 따라 연장된 한쌍의 제 1 벽부와, 상기 관축과 거의 직교하는 방향으로 연장되어 있고, 또한 제 1 벽부보다 두꺼운 한쌍의 제 2 벽부를 갖고, 상기 제 2 벽부는 각각 상기 광원이 걸어 맞추어지는 오목부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 램프 하우스는 상기 차광부재가 고정된 스테이지를 갖고,

   상기 차광부재는 상기 스테이지에 접촉한 측면 및 바닥면을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 차광부재는 두꺼운 판 형상부재를 절삭 가공함으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 램프 하우스에 대향한 개구가 형성되어 있고, 또한 음극선관의 페이스 패널이 배치되는 지지부를 구비하고 있는, 상기 램프 하우스를 수용한 하우징,

   상기 하우징 내에서 상기 개구와 램프 하우스 사이에 배치되고, 상기 슬릿을 통과한 광의 궤도를 보정하는 광학렌즈 및

   상기 하우징 내에서 상기 광학렌즈와 개구 사이에 배치되고, 상기 광학렌즈를 통과한 광의 상기 페이스 패널에 대한 조도 분포를 보정하는 배광 필터를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.