JP2001156425A - プリント基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プリント基板の各種項目を短時間で検査で
き、特にプリント基板上の変位量を精度良く検出するこ
とができること。 【解決手段】 センサヘッド２０は、所定の走査範囲で
レーザビームをプリント基板に照射して変位量を測定す
る。センサヘッド２０は、Ｚ軸移動手段２９により高さ
方向に移動自在であり、プリント基板Ｐの半田の突起に
応じて常時一定間隔となるよう移動する。Ｘ軸移動手段
２８はセンサヘッド２０をレーザビームの走査方向に沿
ってこのレーザビームの走査範囲の間隔で移動させる。
Ｙ軸移動手段は、センサヘッド２０のレーザビームの走
査方向と直交する方向にプリント基板Ｐを移動させる。
これにより、プリント基板Ｐの全面を短時間で測定で
き、この際プリント基板Ｐの反りに影響を受けずに測定
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板を検
査するプリント基板検査装置に係り、特に、基板表面の
各種状態を高速に検査できるプリント基板検査装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板製造時には、プリント基板
の半田付け状態や、部品の搭載状態を検査装置で検査す
るようになっている。この基板の製造ラインは、例えば
半田印刷機〜検査装置〜部品搭載機で構成されている。
上記ライン上での検査装置には、前段の半田印刷機で半
田が印刷されたプリント基板が搬入され、このプリント
基板に印刷された半田の状態を検査して後段の部品搭載
機に搬出する。部品搭載機ではプリント基板に電子部品
を実装する。

【０００３】検査装置では、前段の半田印刷機で半田印
刷された箇所を搬送装置の上部に配置されたＣＣＤやレ
ーザ変位計等の検査手段で検出し、半田印刷の状態（欠
損の有無等）を検査するようになっている。この検査手
段は、プリント基板上を走査して各半田を検出するよう
になっている。

【０００４】図６は、レーザ変位計５０による変位量の
検出原理を示す概要図である。光源５１からのレーザビ
ームをプリント基板Ｐの基板面に照射し、その照射点Ｓ
の反射光による像を結像レンズ５３によって受光素子５
４の受光面５４ａに結像させる構成である。

【０００５】これにより、プリント基板Ｐが高さ方向Ｚ
に移動すると（半田等の突起があると）、照射点Ｓが
Ｓ’あるいはＳ”に移動し、対応して受光素子５４の受
光面５４ａの結像点Ｋの位置がＫ’あるいはＫ”に移動
する。受光素子５４は、この結像点Ｋの位置に対応した
検出信号を出力し、この信号の変化量に基づきプリント
基板Ｐ上の突起（半田）の変位量（高さや外形）を出力
する。レーザ変位計が検出可能な検出範囲は、図示の如
く所定の範囲を有している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】検査手段として非接触
のレーザ変位計を用いると、半田の高さを検出でき、面
積と高さから体積を得ることができる。しかしながら、
従来の検査装置に用いたレーザ変位計は、プリント基板
Ｐに対してレーザビームを１点の照射点Ｓに照射する構
成であるため、この検査手段をプリント基板Ｐに対し相
対的に縦横方向（Ｘ，Ｙ軸）に走査移動させねばならな
かった。

【０００７】一方、検査手段に直線状のＣＣＤを用いた
場合、このＣＣＤを搬送方向と直交する方向に（Ｙ軸に
沿って）配置すれば、ＣＣＤはプリント基板の搬送方向
（Ｘ軸）にのみ移動させれば検査できる。しかし、ＣＣ
Ｄは半田の外形しか検出できず高さ、及び体積を求める
ことができず、プリント基板Ｐの検査項目を増やすこと
ができなかった。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、プリント基板の各種項目を短時間で検
査でき、特にプリント基板上の変位量を精度良く検出す
ることができるプリント基板検査装置の提供を目的とし
ている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプリント基板検査装置は、プリント基板の
表面状態を検査するプリント基板検査装置において、前
記プリント基板に対向配置され、該プリント基板にレー
ザビームを照射する光源と、該光源から出射されたレー
ザビームをプリント基板上で走査させる偏向手段と、前
記プリント基板の反射光の検出位置に基づきプリント基
板上の突起の変位量を前記走査範囲で連続的に検出する
受光素子からなる非接触型のセンサヘッドと、前記セン
サヘッドを前記突起の変位方向に移動自在なＺ軸移動手
段と、前記センサヘッドから出力された変位量の検出信
号に基づき、前記Ｚ軸移動手段を駆動して前記センサヘ
ッドを前記プリント基板に対して常時測定可能な所定間
隔となるよう制御する処理手段と、を備えたことを特徴
とする。

【００１０】また、前記処理手段は、前記センサヘッド
から出力される１走査期間中における所定ポイントの変
位量の平均値を演算する平均化手段と、前記センサヘッ
ドの検出範囲に対応して前記Ｚ軸移動手段を移動制御す
るための設定範囲が設定される範囲設定手段と、前記平
均化手段で平均化された変位量が前記範囲設定手段の設
定範囲を超える場合に前記センサヘッドと前記プリント
基板との間隔が一定な所定間隔となるよう前記Ｚ軸移動
手段を所定の移動量だけ駆動制御する移動量算出手段
と、によって構成することができる。

【００１１】また、前記センサヘッドから出射されるレ
ーザビームの走査方向と直交する方向に相対的に前記Ｚ
軸移動手段を移動させるＹ軸移動手段を備えた構成とし
てもよい。

【００１２】また、前記センサヘッドから出射されるレ
ーザビームの走査方向に沿って前記プリント基板を搬出
入する搬送手段と、前記センサヘッドから出射されるレ
ーザビームの走査方向と直交する方向に前記搬送手段を
移動させるＹ軸移動手段と、前記Ｚ軸移動手段を前記プ
リント基板の搬送方向に沿って移動させるＸ軸移動手段
とを備え、前記センサヘッドは、前記搬送手段の搬送方
向中途位置に設けられており、該中途位置で停止される
プリント基板を検査するものであり、前記プリント基板
の検査時は、前記Ｙ軸移動手段により前記プリント基板
を搬送方向と直交する方向に移動させ、また、前記Ｘ軸
移動手段により前記センサヘッドを搬送方向に沿って移
動させることにより基板面全体の検査を実行させる構成
としてもよい。

【００１３】また、前記Ｘ軸移動手段は、前記プリント
基板上に照射されるレーザビームの走査範囲の間隔で前
記センサヘッドを前記搬送方向に移動させる構成にもで
きる。

【００１４】上記構成によれば、センサヘッド２０はレ
ーザビームを所定の走査範囲でプリント基板Ｐに照射さ
せ、この走査範囲の変位量を連続的に出力する。処理手
段３２は、平均化手段３３が１走査期間中の所定ポイン
トの変位量の平均値を演算する。移動量算出手段３５
は、変位量の平均値が範囲設定手段３４に設定された所
定範囲内に納まっているか否かを判断する。所定範囲を
超える場合、Ｚ軸移動手段２９を駆動し、センサヘッド
２０とプリント基板Ｐの間の距離が一定な距離になるよ
う制御する。これにより、センサヘッド２０は、プリン
ト基板Ｐ上の反りや傾きに対応して高さ方向に移動しな
がら変位量を測定していき常時測定可能にする。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明のプリント基板検査装置の
実施形態を説明する。図１は、プリント基板検査装置の
側面図、図２は同平面図である。検査装置１の筐体内部
には、搬送手段２が設けられプリント基板Ｐを図中Ｘ軸
方向に搬送させる。この搬送方向手前側には前段装置の
搬出部が設けられ、搬送方向後端側には後段装置の搬入
部が設けられている。

【００１６】搬送手段２は、図２中Ｙ軸方向に所定幅を
有して配置された一対のレール３（３ａ，３ｂ）及びベ
ルト４（４ａ，４ｂ）を有する。このＹ軸はＸ軸（搬送
方向）と直交する方向である。一方は固定レール３ａで
あり、ベルト４ａはこの固定レール３ａ上を移動する無
端状に形成される。他方は固定レール３ａと平行な可動
レール３ｂであり、同様に無端状のベルト４ｂを有す
る。ベルト４ａ，４ｂはそれぞれ両端が回転軸５で軸支
され、モータ６の回転でプリント基板ＰをＸ軸方向に搬
送移動させる。

【００１７】これら固定レール３ａと可動レール３ｂ
は、Ｙ軸テーブル７上に設けられている。Ｙ軸テーブル
７は、Ｙ軸方向に延びる複数の支軸、ボールネジ、及び
モータ等からなるＹ軸移動手段８によってＹ軸方向に移
動自在である。このＹ軸テーブル７上には、支軸、ボー
ルネジ、及びモータ等からなるＷ軸移動手段１０が設け
られ、可動レール３ｂをＷ軸方向に移動自在に支持して
いる。Ｗ軸はＹ軸と同方向である。これにより、可動レ
ール３ｂは固定レール３ａに対してＹ軸方向に移動し、
互いの間隔が可変自在であり、搬送するプリント基板Ｐ
の幅に対応することができる。なお、不図示であるが、
固定レール３ａ、及び可動レール３ｂには側部位置にそ
れぞれプリント板Ｐを案内する側板が設けられている。

【００１８】Ｙ軸テーブル７の上方位置には、プリント
基板Ｐを検査する検査手段１２が設けられている。この
検査手段１２にはレーザ変位計が用いられ、プリント基
板Ｐの表面側の状態を検出する。例えば前段装置が半田
印刷機であれば半田の突起（高さ方向Ｚの変位量を検出
する。この検査手段１２は、Ｘ，Ｙ軸方向に移動走査さ
れ、プリント基板Ｐの３次元データを出力する。検査手
段１２の検出信号は処理手段３２に出力される。

【００１９】検査手段１２は、レーザ変位計のセンサヘ
ッド２０と走査移動手段２７を備えている。走査移動手
段２７は、Ｘ軸移動手段２８と、Ｚ軸移動手段２９で構
成され、Ｚ軸移動手段２９にセンサヘッド２０が設けら
れている。Ｘ軸移動手段２８は、プリント基板Ｐの検査
位置上部においてＸ軸方向に沿って水平な支軸、ボール
ネジ、及びモータ等で構成されている。このＸ軸方向の
長さはプリント基板Ｐの長さ程度である。

【００２０】Ｚ軸移動手段２９は、Ｘ軸移動手段２８の
モータによってＸ軸方向に移動自在な移動体２９ａと、
移動体２９ａの上下方向（Ｚ軸方向）に設けられた支
軸、ボールネジ、及びモータ等で構成されている。この
移動体２９ａはボールネジに螺合しており、ボールネジ
の回転によって上下動自在である。これにより、センサ
ヘッド２０は、プリント基板Ｐの搬送方向（Ｘ軸方向）
に走査移動自在である。ここで、Ｚ軸移動手段２９は、
プリント基板Ｐと所定の間隔を維持した状態で変位量を
測定する倣い計測を行うため、センサヘッド２０を高さ
方向に移動させる。

【００２１】上記のセンサヘッド２０の構成を図３の斜
視図に示す。このセンサヘッド２０の投光系では、光源
２１から放射されるレーザビームを振動ミラー型等の偏
向装置２２によって一定角度内の範囲で偏向させ、この
偏向されたビームをレンズ２３によってその光軸が一平
面上で平行に移動するビームにする。そして、このビー
ムをプリント基板Ｐの表面に所定の入射角度により照射
し、その照射点Ｓを直線的に往復走査又は片道走査す
る。

【００２２】照射点Ｓを直線的に走査されたビームは、
入射角度と同じ角度で正反射され、その照射点Ｓの像を
第１の円筒面レンズ（シリンドリカルレンズ）２４及び
第２の円筒面レンズ２５によって受光素子２６の受光面
２６ａに結像される。上記走査によりプリント基板Ｐ上
の半田突起の高さに対応した検出信号が受光素子２６か
ら出力される。そして、上記走査により半田突起の高さ
を一方向に渡って連続的に測定する。ここで、センサヘ
ッド２０による走査範囲を図２中ｘＡで示す。この走査
方向は、プリント基板Ｐの搬送方向Ｘに沿った方向であ
る。

【００２３】図４は、装置の電気的構成を示すブロック
図である。処理手段３２は、センサヘッド２０から出力
される高さデータを含む検出信号に基づき、プリント基
板Ｐ上の半田の面積、体積等を演算して求め、予め記憶
されている座標形式の各半田のデータベースと照合し各
半田の状態（欠損等）を検査する。なお、この検査を実
行する構成は図示していない。

【００２４】図４には、走査時における倣い制御にかか
る構成のみを抽出してある。図示のように、センサヘッ
ド２０の検出信号（高さデータ）は、平均化手段３３で
平均化される。範囲設定手段３４には、高さ方向に関す
る所定の設定範囲が設定されている。移動量算出手段３
５は、平均化手段３３の高さの平均値が、範囲設定手段
３４に設定された設定範囲内に納まっているか否かを判
断し、納まっているときには、Ｚ軸移動手段２９の高さ
制御を実行しない。一方納まっていないときには、納ま
る方向にＺ軸移動手段２９を高さ制御する。範囲設定手
段に設定する設定範囲は、センサヘッド２０の高さ方向
の検出範囲（図５参照）に対応して設定される。少なく
とも、設定範囲はセンサヘッドの検出範囲に対して十分
に狭い範囲に設定する。

【００２５】次に、上記構成による装置の動作を説明す
る。プリント基板Ｐは、搬送手段２のモータ６が回転に
よりベルト４ａ，４ｂ上をＸ軸方向に移動する。略中央
部の検査位置には固定用のストッパ１３が突出してお
り、プリント基板Ｐがこの検査位置にて停止するように
なっている。プリント基板Ｐは位置検出センサ（不図
示）により検査位置に達したことが検出された後、モー
タ６の停止で検査手段１２の直下に位置する。この状態
でプリント基板Ｐは不図示の矯正機構により搬送方向の
反りが矯正される。具体的には、レール３ａ，３ｂは、
この長さ方向に渡ってプリント基板Ｐの両端部を挟持
し、この両端部は長さ方向の反りが矯正される。

【００２６】この状態で検査手段１２による検査が実行
される。センサヘッド２０は、プリント基板Ｐ上の変位
量（半田突起）をＸ，Ｙ軸方向に走査して行う。うちＸ
軸方向の走査は走査移動手段２７によりセンサヘッド２
０を移動制御して行う。また、Ｙ軸方向の走査は、搬送
装置１のＹ軸テーブル７を移動制御して行うようになっ
ている。

【００２７】具体的には、図２の平面図に記載の如く、
センサヘッド２０によるレーザビームの照射点Ｓをプリ
ント基板Ｐの４隅部分（位置Ｔ１）から開始し、同時に
モータを駆動してＹ軸テーブル７をこのプリント基板Ｐ
の幅Ｄに対応した距離だけＹ１方向に移動させて（同Ｙ
軸方向を主走査方向とする）、連続的に半田突起の変位
量を検出していく。このＹ軸テーブル７の移動時、固定
レール３ａ及び可動レール３ｂの間隔は不変であるため
プリント基板Ｐは、同Ｙ１方向に移動する。レーザビー
ムの照射点Ｓがプリント基板Ｐの他端側（位置Ｔ２）ま
で移動すると、モータ８ｂの駆動を停止させる。

【００２８】この後、走査移動手段２７のＸ軸移動手段
２８のモータを駆動してセンサヘッド２０をＸ軸方向に
所定量（位置Ｔ３）まで移動（副走査）させる。このＸ
軸方向への移動量は、センサヘッド２０の走査範囲ｘＡ
に対応している。図２記載のように、センサヘッド２０
がレーザビームをＸ軸方向に図中ｘＡの幅で走査する場
合、この走査幅ｘＡに対応した所定量だけセンサヘッド
２０をＸ軸方向に移動させる。

【００２９】副走査後、Ｙ軸テーブル７をＹ２方向に移
動させて連続的に半田突起の変位量を検出していく。こ
の後、走査移動手段２７のＸ軸移動手段２８のモータを
駆動してセンサヘッド２０をＸ軸方向に所定量（位置Ｔ
４まで）移動（副走査）させる。以上のようなＸ，Ｙ軸
への移動走査の繰返しでプリント基板Ｐ上の半田突起の
変位量を連続的に検出していく。

【００３０】このように、搬送手段２がＹ軸方向に移動
可能な構成であることを利用して、プリント基板Ｐの検
査処理時に、センサヘッド２０側はＸ軸方向にのみ移動
制御するようになっている。

【００３１】上記のように、センサヘッド２０をプリン
ト基板Ｐに対して相対的にＸ，Ｙ軸方向に走査すること
によって、センサヘッド２０からは連続的にプリント基
板Ｐ上の半田の突起に対応した高さデータ（検出信号）
を連続出力する。この際、処理手段３０は倣い制御を実
行する。センサヘッド２０が走査範囲ｘＡを１回走査し
た際に得られた複数ポイントの高さデータは、平均化手
段３３で平均化処理される。例えば、１回の走査で１５
００ポイントの高さデータが得られるが、平均化手段３
３は所定ポイント間隔で複数、例えば１０ポイントの高
さデータを抽出して抽出した１０ポイントの高さデータ
の平均値を求める。

【００３２】移動量算出手段３５は、得られた高さデー
タの平均値が範囲設定手段３４に設定されている範囲
（α±β）内にあるか否かを判断する。高さデータの平
均値が設定範囲（α±β）内に納まっている時には、次
回のセンサヘッド２０による走査時におけるＺ軸移動手
段２９の高さ制御を実行せず、プリント基板Ｐとセンサ
ヘッド２０の間隔が一定な状態で走査を実行させる。

【００３３】一方、高さデータの平均値が設定範囲（α
±β）から外れた場合には、次回のセンサヘッド２０に
よる走査時にＺ軸移動手段２９の高さ制御を実行する。
例えば、プリント基板Ｐが傾いていて、センサヘッド２
０との間隔が以前に比して短くなった場合（＋γ：γ＞
β）、一定間隔（Ｌ）を保持するためにセンサヘッド２
０を（−γ）分だけ離す方向（上方向）にＺ軸移動手段
２９を移動制御する。また、センサヘッド２０との間隔
が以前に比して長くなった場合（−γ：γ＞β）、一定
間隔（Ｌ）を保持するためにセンサヘッド２０を（＋
γ）分だけ近づける方向（下方向）にＺ軸移動手段２９
を移動制御する。このように、プリント基板Ｐ上の突起
の形状に対応して、センサヘッド２０がこの突起と常に
一定距離を保つよう制御する。

【００３４】図５は、設定範囲の設定を示す図である。
（ａ）に示すように、センサヘッド２０は所定の作動距
離Ｌ（センサヘッド２０筐体からプリント基板Ｐまでの
間の物理的最短距離）を有し、この作動距離Ｌを中心と
して検出範囲±Ｂを有している。したがって、平均値が
常時作動距離Ｌのほぼ中心に位置するよう（α＝０）、
設定範囲α±βを検出範囲±Ｂの範囲内に設定すればよ
い。これに限らず、図５（ｂ）に示すように、検出範囲
±Ｂの範囲内であれば、作動距離Ｌから離れた位置を基
準（α≠０）として設定範囲α±βを設定することもで
きる。図示の例では、設定範囲α±βを作動距離Ｌの上
方位置にやや偏位させた状態である。但し、設定範囲α
±βは、検出範囲±Ｂの範囲内に設定する必要がある。

【００３５】上記の倣い制御を実行することにより、プ
リント基板Ｐの反りや傾きの影響を除去した変位データ
（検出信号）を得ることができるようになる。即ち、プ
リント基板Ｐが反っていても、この反りに沿ってセンサ
ヘッド２０が高さ移動し、このプリント基板Ｐ上の半田
の変位量を測定できるようになる。処理手段３２は、プ
リント基板Ｐ上に形成された大部分を占めるレジスト面
を高さの基準データとして取込み、センサヘッド２０が
このレジスト面の高さを測定後、半田の高さを測定する
ことにより、直前のレジスト面を基準として半田の高さ
を補正する。

【００３６】上記実施の形態の平均化手段３３は、セン
サヘッド２０の走査速度が高速であることから、１走査
中で間引きした変位量の平均を演算する構成としたが、
平均化演算が高速に行えるのであれば、１走査全ての変
位量の平均を演算する構成とすることもできる。

【００３７】上記の倣い制御により検査手段１２がプリ
ント基板Ｐの検査を終了した後は、ストッパ１３が退避
してモータ６の駆動によりプリント板ＰはＸ軸方向の後
段装置に搬出される。

【００３８】上記の実施形態では、Ｘ軸方向にセンサヘ
ッド２０を移動させ、Ｙ軸方向にプリント基板Ｐを移動
させる構成を説明したが、これに限らず相対的に移動す
る構成であればよい。例えば、プリント基板Ｐ側が固定
でセンサヘッド２０側がＸ，Ｙ軸いずれにも移動する構
成にもできる。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、プリント基板に対しレ
ーザビームを走査させるため、プリント基板を高速に検
査することができる。この際プリント基板の突起の変位
量を検出でき、面積、高さ、体積等の各種項目を検査で
きるようになる。また、プリント基板の反りや傾きに応
じてＺ軸移動手段を駆動させセンサヘッドをこの変位方
向に移動させる構成であるため、プリント基板の反りや
傾きの影響を受けずに基板面に対する突起の変位量を正
確に測定できるようになる。また、センサヘッドから出
力される１走査期間中における所定ポイントの変位量の
平均値を設定範囲と比較して平均化された変位量が設定
範囲を超える場合にセンサヘッドと前記プリント基板と
の間隔が一定となるようセンサヘッドを移動制御するこ
とにより、突起の状態が変化しても常時この突起の変位
量を正確に測定できるようになる。また、Ｙ軸移動手段
によりセンサヘッドをレーザビームの走査方向と直交す
る方向に相対的に移動させることにより、センサヘッド
の走査範囲の幅で直交する方向に渡る面積の変位量を短
時間で検査できるようになる。また、Ｙ軸移動手段でプ
リント基板側をＹ軸に移動させ、Ｘ軸移動手段でセンサ
ヘッドをＸ軸方向に移動させることにより、プリント基
板の基板面全体の検査を短時間で行えるようになる。こ
の際、Ｘ軸移動手段は、前記プリント基板上に照射され
るレーザビームの走査範囲に対応してセンサヘッドを搬
送方向に移動させることにより、プリント基板の検査を
最も効率的に行えるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプリント基板検査装置の実施の形態を
示す側面図。

【図２】同装置の平面図。

【図３】センサヘッドの構成を示す斜視図。

【図４】装置の電気的構成を示すブロック図。

【図５】倣いの範囲設定を説明するための図。

【図６】レーザ変位計の測定原理を示す概要図。

【符号の説明】

２…搬送手段、３…レール、４…ベルト、７…Ｙ軸テー
ブル、８…Ｙ軸移動手段、１２…検査手段、２０…セン
サヘッド、２８…Ｘ軸移動手段、２９…Ｚ軸移動手段、
３２…処理手段、３３…平均化手段、３４…範囲設定手
段、３５…移動量算出手段、Ｐ…プリント基板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中道 泰久 東京都港区南麻布五丁目10番27号 アンリ ツ株式会社内 (72)発明者 加島 史夫 東京都港区南麻布五丁目10番27号 アンリ ツ株式会社内 (72)発明者 高橋 秀昭 東京都港区南麻布五丁目10番27号 アンリ ツ株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA24 AA51 AA58 AA59 CC01 DD06 FF01 FF44 FF67 GG04 HH04 HH12 JJ03 JJ08 JJ26 KK01 LL08 LL13 LL62 MM03 MM07 MM16 PP04 PP15 QQ25 QQ42 RR06 TT07 2G051 AA65 AB02 AB14 BA10 BB09 BC06 CA03 CC09 CD04 DA06 EC03

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プリント基板の表面状態を検査するプリ
   ント基板検査装置において、 前記プリント基板に対向配置され、該プリント基板にレ
   ーザビームを照射する光源と、該光源から出射されたレ
   ーザビームをプリント基板上で走査させる偏向手段と、
   前記プリント基板の反射光の検出位置に基づきプリント
   基板上の突起の変位量を前記走査範囲で連続的に検出す
   る受光素子からなる非接触型のセンサヘッドと、 前記センサヘッドを前記突起の変位方向に移動自在なＺ
   軸移動手段と、 前記センサヘッドから出力された変位量の検出信号に基
   づき、前記Ｚ軸移動手段を駆動して前記センサヘッドを
   前記プリント基板に対して測定可能な所定間隔となるよ
   う制御する処理手段と、を備えたことを特徴とするプリ
   ント基板検査装置。
2. 【請求項２】 前記処理手段は、前記センサヘッドから
   出力される１走査期間中における所定ポイントの変位量
   の平均値を演算する平均化手段と、 前記センサヘッドの検出範囲に対応して前記Ｚ軸移動手
   段を移動制御するための設定範囲が設定される範囲設定
   手段と、 前記平均化手段で平均化された変位量が前記範囲設定手
   段の設定範囲を超える場合に前記センサヘッドと前記プ
   リント基板との間隔が一定な所定間隔となるよう前記Ｚ
   軸移動手段を所定の移動量だけ駆動制御する移動量算出
   手段と、からなる請求項１記載のプリント基板検査装
   置。
3. 【請求項３】 前記センサヘッドから出射されるレーザ
   ビームの走査方向と直交する方向に相対的に前記Ｚ軸移
   動手段を移動させるＹ軸移動手段を備えた請求項１記載
   のプリント基板検査装置。
4. 【請求項４】 前記センサヘッドから出射されるレーザ
   ビームの走査方向に沿って前記プリント基板を搬出入す
   る搬送手段と、 前記センサヘッドから出射されるレーザビームの走査方
   向と直交する方向に前記搬送手段を移動させるＹ軸移動
   手段と、 前記Ｚ軸移動手段を前記プリント基板の搬送方向に沿っ
   て移動させるＸ軸移動手段とを備え、 前記センサヘッドは、前記搬送手段の搬送方向中途位置
   に設けられており、該中途位置で停止されるプリント基
   板を検査するものであり、 前記プリント基板の検査時は、前記Ｙ軸移動手段により
   前記プリント基板を搬送方向と直交する方向に移動さ
   せ、また、前記Ｘ軸移動手段により前記センサヘッドを
   搬送方向に沿って移動させることにより基板面全体の検
   査を実行させる構成とされた請求項１記載のプリント基
   板検査装置。
5. 【請求項５】 前記Ｘ軸移動手段は、前記プリント基板
   上に照射されるレーザビームの走査範囲の間隔で前記セ
   ンサヘッドを前記搬送方向に移動させる構成とした請求
   項４記載のプリント基板の検査装置。