KR101746922B1 - 전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 장치 및 방법 - Google Patents

전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 시스템 및 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 구조물을 스캔하면서 레이저 빔을 방사하여 구조물에 초음파를 생성하고 구조물에서 두께 방향으로 전파되는 초음파를 동시 센싱하여 두께방향 초음파전파영상을 생성한다. 이에 의해, 전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화를 통해 구조물의 전영역에서 두께 방향으로의 손상정보를 가시화할 수 있게 된다.

Description

전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 장치 및 방법{Apparatus and method for full-field pulse-echo laser ultrasonic propagation imaging}
본 발명은 영상화 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저 초음파전파영상화 장치 및 방법에 관한 것이다.
구조의 손상 탐지 기법 중 초음파 탐상 기법을 통한 결과로써 C-스캔은 구조 손상 탐지에 탁월한 결과를 제시하고 있어 많은 산업에서 사용되어지고 있다. 그러나 기존 초음파 탐상 기법은 커플런트 사용과 접촉식 트랜스듀서를 사용함에 따라 많은 시간이 소요되며 또한 최근 공기 접촉식 트랜스듀서를 통해 비접촉식 초음파 탐상 검사를 진행하지만 검사 거리가 수 센티미터로써 검사에 한계가 있다.
최근에는 열탄성 메커니즘의 레이저 초음파 생성기를 통해 구조물 표면에서 광대역의 초음파를 발생시키고 구조물에 발생한 초음파를 사용한 연구가 활발히 진행되고 있다.
현재까지의 연구와 기술은, 단일지점을 초음파 소스로 하고 있어 면내 방향을 전파하는 초음파를 활용하기 때문에 면내 손상이나 결함탐지에서도 정확도가 높지 않으며 두께 방향으로의 손상정보를 제공치 못한다.
이에, 전영역에서 두께 방향으로의 손상정보를 가시화하기 위한 방안의 모색이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 전영역에서 두께 방향으로의 손상정보를 가시화하기 위한 방안으로, 전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 장치 및 방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른, 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 레이저 빔을 방사하여 구조물에 초음파를 생성하는 생성기; 상기 구조물에서 두께 방향으로 전파되는 초음파를 센싱하는 수신기; 및 상기 생성기와 상기 수신기로 상기 구조물을 동시 스캔하면서 초음파를 생성하여 센싱한 결과를 이용하여, 초음파전파영상을 생성하는 영상 생성장치;를 포함한다.
그리고, 상기 초음파의 생성 지점과 상기 초음파의 센싱 지점은 동일하거나인접할 수 있다.
또한, 상기 수신기는, 비접촉식으로 상기 레이저 초음파를 수신할 수 있다.
그리고, 상기 초음파전파영상은, 상기 구조물의 두께 방향으로 상기 초음파의 전파 과정을 시간의 경과에 따라 나타낸 영상일 수 있다.
또한, 상기 초음파전파영상은, 스캔을 통해 획득한 센싱 결과들이, 시간 영역에서 배열된 동영상 혹은 영상일 수 있다.
또한, 상기 초음파전파영상은, 스캔을 통해 획득한 센싱 결과들이, 주파수(frequency), 파수(wavenumber) 혹은 파장(wavelength) 영역에서 배열된 동영상 혹은 영상일 수 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 신호대잡음비가 기준 이하이면, 상기 생성기와 상기 수신기에 의한 상기 구조물 스캔이 반복되도록 제어하는 컨트롤러;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 상기 생성기에서 방사되는 가진 레이저 빔을 투과시켜 상기 구조물로 전달하며, 하기 반사 거울에서 반사되는 센싱 레이저 빔을 반사하여 상기 구조물로 전달하는 필터 거울; 및 상기 수신기에서 생성된 센싱 레이저 빔을 상기 필터 거울로 반사시키는 반사 거울;을 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 생성기는, Q-switched 레이저 빔을 방사하여, 상기 구조물에 초음파를 생성할 수 있다.
또한, 상기 수신기는, 연속파 레이저 간섭계로 상기 전파되는 초음파를 센싱할 수 있다.
그리고, 상기 생성기와 상기 수신기로 상기 구조물의 한 표면을 스캔하면서 초음파를 생성하여 센싱할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른, 초음파전파영상화 방법은, 레이저 빔을 방사하여 구조물에 초음파를 생성하는 단계; 상기 구조물에서 두께 방향으로 전파되는 초음파를 센싱하는 단계; 및 상기 구조물을 스캔하면서 상기 생성단계와 상기 센싱단계를 수행한 결과를 이용하여, 초음파전파영상을 생성하는 단계;를 포함한다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른, 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 레이저 빔을 방사하여 구조물에 초음파를 생성하는 생성기; 상기 구조물에서 두께 방향으로 전파되는 초음파를 센싱하는 수신기; 및 상기 수신기의 센싱 결과를 이용하여, 초음파전파영상을 생성하는 영상 생성장치;를 포함하고, 상기 생성기에 의한 상기 초음파의 생성 지점과 상기 수신기에 의한 상기 초음파의 센싱 지점은 동일하거나 인접하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따르면, 전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화를 통해 구조물의 전영역에서 두께 방향으로의 손상정보를 가시화할 수 있게 된다.
특히, 본 발명의 실시예들에 따르면, 초음파 발생 레이저빔과 수진 레이저빔이 동시에 스캐닝을 수행하여 스캐닝 영역 크기에 해당되는 넓은 초음파 장이 만들어 지면 그 초음파장이 두께 방향으로 전파되어 돌아오는 신호는 시간영역, 주파수영역, 파수영역, 파장영역에서 3차원 초음파전파영상화 기법을 통해 구성하여 매우 높은 정확도와 감도를 가지고 구조물의 결함과 손상을 가시화할 수 있다.
아울러, 본 발명의 실시예들에 따르면, 신호대잡음비가 부족할 경우 반복스캐닝을 통해 지속적으로 향상시킬 수 있어 두껍고 감쇠가 심한 구조에서도 결함을 성공적으로 가시화할 수 있을 뿐만 아니라 두께 방향으로 손상이나 결함 위치를 한쪽면만 접근가능한 경우에도 제공할 수 있는 혁신점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 시스템의 외관을 도시한 도면,
도 2는, 도 1에 도시된 전영역 초음파전파영상화 시스템의 상세 구조를 도시한 도면,
도 3은 두께 방향 초음파전파 모드 수집의 개념을 나타낸 도면,
도 4는 두께 방향 초음파 기반 펄스-에코 초음파전파영상화 기법의 설명에 제공되는 도면,
도 5는 GFRP 허니콤 샌드위치 시편,
도 6은 도 5에 도시된 시편에 대한 실험결과,
도 7은 CFRP 허니콤 샌드위치 시편,
도 8은 도 7에 도시된 시편에 대한 실험결과,
도 9는 CFRP 시편,
도 10은 도 9에 도시된 시편에 대한 실험결과,
도 11은 알루미늄 허니콤 샌드위치 시편,
도 12는 도 11에 도시된 시편에 대한 실험결과,
도 13은 알루미늄-알루미늄 접착 시편,
도 14는 도 13에 도시된 시편에 대한 실험결과,
도 15는 알루미늄 허니콤 샌드위치 패널 시편,
도 16은 도 15에 도시된 시편에 대한 실험결과,
도 17은 수송기의 수직 꼬리 날개 검사, 그리고,
도 18은 발사체 구조 품질평가를 도시한 도면이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 시스템의 외관을 도시한 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 '전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 시스템'(이하, '전영역 초음파전파영상화 시스템'으로 약칭)은, 레이저 초음파 생성기를 통한 초음파의 생성 지점과 비접촉 레이저 초음파 수신기를 통한 초음파 센싱 지점이 동일하거나 인접하며, 두께 방향으로 전파하는 초음파를 수집한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 초음파 발생을 위한 가진 레이저 빔과 수진 레이저 빔이 동시에 구조물의 한 표면에 대해 스캐닝을 수행하여 스캐닝 영역 크기에 해당되는 넓은 초음파 장이 만들어 지면 그 초음파장이 두께 방향으로 전파되어 돌아오는 신호는 3차원 초음파전파영상화 기법을 통해 구성하여 매우 높은 정확도와 감도를 가지고 구조물의 결함과 손상을 가시화 할 수 있다.
아울러, 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 신호대잡음비가 부족할 경우 반복 스캐닝을 통해 지속적으로 향상시킬 수 있어 두껍고 감쇠가 심한 구조에서도 결함을 성공적으로 가시화할 수 있을 뿐만 아니라 두께 방향으로 손상이나 결함 위치를 제공할 수 있다.
도 2에는, 도 1에 도시된 전영역 초음파전파영상화 시스템의 상세 구조를 도시하였다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 초음파 생성 레이저(110), 초음파 수신 레이저(120), 수직 선형 스테이지(130), 수평 선형 스테이지(140), 필터 거울(151), 반사 거울(152), 가진 레이저 컨트롤러(161), 수신 레이저 컨트롤러(162), 인라인 밴드패스 필터(170), PC(180) 및 선형 스테이지 시스템 컨트롤러(190)를 포함한다.
초음파 생성 레이저(110)는 가진 레이저 빔을 방사하여 구조물에 초음파를 생성하는 레이저 초음파 생성기이다. 초음파 생성 레이저(110)는 Q-switched 레이저로 구현할 수 있다. 초음파 생성 레이저(110)는 가진 레이저 컨트롤러(161)에 의해 제어된다.
초음파 수신 레이저(120)는 구조물에서 두께 방향으로 전파되는 초음파를 LDV를 이용하여 센싱하는 비접촉 레이저 초음파 수신기이다. 초음파 수신 레이저(120)는 연속파 레이저 간섭계, LDV(Laser Doppler Vibrometer) 센서 등으로 구현가능하다. 초음파 수신 레이저(120)는 수신 레이저 컨트롤러(162)에 의해 제어된다.
초음파 생성 레이저(110)에서 생성된 가진 레이저 빔은 필터 거울(151)을 투과하여 구조물로 방사된다. 초음파 수신 레이저(120)에서 생성된 수진 레이저 빔은 반사 거울(152)과 필터 거울(151)에서 반사되어 구조물로 전달되고, 역 경로로 센싱이 이루어진다.
도 3은 두께 방향 초음파전파 모드 수집의 개념을 나타낸 도면이다. 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템은, 초음파 생성 레이저(110)에서 가진되는 수에서 수십 나노 초의 레이저빔 펄스가 구조물 표면에 조사됨과 동시에 급격한 열팽창과 함께 열탄성파(Thermoelastic wave)를 발생시키고 다양한 모드 중 두께 방향으로 전파되는 초음파를 초음파 수신 레이저(120)를 통해 실시간으로 센싱한다.
수직 선형 스테이지(130)과 수평 선형 스테이지(140)는 두 레이저 빔을 공간적으로 이동시키기 위한 2축 선형 스테이지 시스템으로, 구조물 표면 상의 스캔 영역 내에서 두 레이저 빔을 동시에 스캐닝한다.
수직 선형 스테이지(130)와 수평 선형 스테이지(140)는 선형 스테이지 시스템 컨트롤러(190)에 의해 제어된다.
인라인 밴드패스 필터(170)는 초음파 수신 레이저(120)에 의한 센싱 결과를 필터링한다.
PC(180)는 두 레이저 빔이 구조물을 스캔하면서 초음파를 생성하여 센싱한 결과를 인라인 밴드패스 필터(170)를 통해 전달받아 초음파전파영상을 생성하는 영상 생성장치의 일종이다.
PC(180)에 의해 생성되는 초음파전파영상은, 구조물의 두께 방향으로 초음파의 전파 과정을 시간의 경과에 따라 나타낸 영상이다. 즉, 초음파전파영상은 스캔을 통해 획득한 센싱 결과들이, 시간 동기화되어 배열된 동영상 혹은 정지영상에 해당한다. 또한 전파시간과 전파속도로부터 결함 혹은 손상의 두께방향의 위치를 계산해 낸다. 또한 PC(180)는 센싱 결과는 주파수, 파수, 파장 영역에서 더 신호처리되어 동영상 혹은 영상으로 제시한다.
도 4는 두께 방향 초음파 기반 펄스-에코 초음파전파영상화 기법의 설명에 제공되는 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 스캔 결과로서 시편에서 획득된 두께 방향 초음파를 기반으로 펄스-에코 초음파전파영상화 기법을 통해 시편 내 결함을 가시화한다. 스캔을 통해 수집된 1차원 초음파 신호들은 3차원 배열 정렬 후 시간 축으로 이미지를 생성하고 순차적으로 동영상화 할 경우 스캔 전영역에 걸쳐 균일한 초음파가 두께 방향으로 어떻게 전파하는 지를 가시화 할 수 있게 된다.
이에 의해, 레이저 유도 초음파 중 두께 방향 전파 모드를 센싱 레이저를 통해 수집 후 전영역 펄스-에코 초음파전파영상을 획득하여 구조물의 결함을 가시화한다.
한편, PC(180)에 의해 신호대잡음비가 기준 이하로 판명되면, 컨트롤러(161,162,190)는 초음파 생성 레이저(110)와 초음파 수신 레이저(120)에 의한 구조물 스캔이 반복되도록 제어한다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템을 이용한 결함 가시화 실험 결과에 대해 설명한다.
결함 검출을 위해 도 5와 같이 GFRP 허니콤 샌드위치 시편을 사용하였으며 시편 내에는 결함이 포함되어 있다. 스캔 영역을 1 kHz 의 펄스 반복 속도 및 5.52 mJ의 펄스 에너지에서 0.52 mm의 공간 스캔 간격으로 546 × 130 mm2의 스캔영역을 검사하였다.
GFRP 허니콤 샌드위치 구조 스캔 결과로서 생성된 전영역 초음파의 두께 방향 전파에서 도 6과 같이 5.122 μs 시점에서 뒷면 패널과 코어 사이의 접착분리결함을 가시화하였다. 본 실험 이전에 도 5에서 점선 타원으로 표시된 접착분리는 C-scan으로 확인되었으며 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템 역시 도 6에서 보는 바와 같이 유사 결과를 제시하였다.
또한, 도 7과 같이 패널과 알루미늄 코어 사이 접착분리 결함을 포함한 CFRP 허니콤 샌드위치 시편을 사용하여 결함 검출을 진행하였다. 스캔 영역을 1 kHz의 펄스 반복 속도 및 4.14 mJ의 펄스 에너지에서 0.52 mm의 공간 스캔 간격으로 각각 앞면과 뒷면 195 × 169 mm2의 스캔 영역을 검사하였다.
CFRP 허니콤 샌드위치 구조 스캔 결과로서 생성된 전영역 초음파의 두께 방향 전파에서 도 8(a)-(b)와 같이 4.785 μs 및 29.6 μs 시점에서 앞면 패널과 코어 사이의 접착분리결함을 가시화하였다. 또한 도 8(c)와 같이 뒷면 스캔 결과 29.3 μs 시점에서 뒷면 패널과 코어 사이의 접착분리결함을 가시화하였다.
도 9는 단차가 있는 CFRP 시편으로써 각 단차마다 결함을 포함하고 있다. 1 kHz 의 펄스 반복 속도 및 4.14 mJ의 펄스 에너지에서 0.52 mm의 공간 스캔 간격으로 286 × 65 mm2의 스캔영역을 검사하여 결함 검출을 진행하였다.
단차가 있는 CFRP 구조 스캔 결과로서 생성된 전영역 초음파의 두께 방향 전파에서 도 10(a)-(b)와 같이 각각 6.015 μs 및 7.144 μs 시점에서 스캔영역에서 구조 안에 포함된 결함을 가시화하였다.
도 11은 패널과 알루미늄 코어 사이 접착분리 결함을 포함한 알루미늄 허니콤 샌드위치 시편이다. 1 kHz 의 펄스 반복 속도 및 4.14 mJ의 펄스 에너지에서 0.52 mm의 공간 스캔 간격으로 169 × 65 mm2의 스캔영역을 검사하였다.
알루미늄 허니콤 샌드위치 구조 스캔 결과로서 생성된 전영역 초음파의 두께 방향 전파에서 도 12와 같이 29.4 μs 시점에서 패널과 코어 사이의 접착분리결함을 가시화하였다.
도 13은 알루미늄-알루미늄 접착 시편으로서 접착 부분에 접착분리의 결함을 포함하고 있다. 1 kHz 의 펄스 반복 속도 및 5.52 mJ의 펄스 에너지에서 0.52 mm의 공간 스캔 간격으로 195 × 65 mm2의 스캔영역을 검사하였다.
알루미늄-알루미늄 접착 시편 스캔 결과로서 생성된 전영역 초음파의 두께 방향 전파에서 도 14와 같이 4.701 μs 시점에서 두 알루미늄 패널 사이 접착분리 결함을 가시화하였다.
도 15는 알루미늄 허니콤 샌드위치 패널(Al Honeycomb sandwich panel) 시편으로서 일부분에 결함을 포함하고 있다. 알루미늄 허니콤 샌드위치 패널 시편 결과로서 생성된 전영역 초음파의 두께 방향 전파에서 도 16과 같이 결함을 가시화하였다.
지금까지, 전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 시스템 및 방법에 대해 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였다.
본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템은 다양한 응용이 가능하다. 예를 들어, 도 17에 도시된 바와 같이, 수송기의 수직 꼬리 날개 검사와 도 18에 도시된 바와 같이 발사체 구조 품질평가가 가능함은 물론, 그 밖의 다른 구조물의 비파괴 검사에도 본 발명의 실시예에 따른 전영역 초음파전파영상화 시스템이 이용될 수 있음은 물론이다.
또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.
110 : 초음파 생성 레이저
120 : 초음파 수신 레이저
130 : 수직 선형 스테이지
140 : 수평 선형 스테이지
151 : 필터 거울
152 : 반사 거울
180 : PC

Claims (12)

  1. 레이저 빔을 방사하여 구조물에 초음파를 비접촉으로 생성하는 생성기;
    상기 구조물에서 두께 방향으로 전파되는 초음파를 비접촉으로 센싱하는 수신기;
    상기 생성기와 상기 수신기로 상기 구조물을 동시 스캔하면서 초음파를 생성하여 센싱한 결과를 이용하여, 초음파전파영상을 생성하는 영상 생성장치;
    상기 생성기와 상기 수신기를 수평 축을 따라 함께 이동시키기 위한 수평 선형 스테이지;
    상기 생성기와 상기 수신기를 수직 축을 따라 함께 이동시키기 위한 수직 선형 스테이지; 및
    상기 생성기와 상기 수신기가 상기 구조물을 함께 스캔할 수 있도록 상기 수평 선형 스테이지와 상기 수직 선형 스테이지를 제어하는 컨트롤러;를 포함하고,
    상기 생성기와 상기 수신기는 빔 축이 평행하게 적층되어 있으며,
    상기 생성기와 상기 수신기 중 하나의 빔 경로가 반사 거울과 필터 거울에 의해 변경 되어, 다른 하나의 빔 경로와 일치하게 되고,
    상기 컨트롤러는,
    신호대잡음비가 기준 이하이면, 상기 생성기와 상기 수신기에 의한 상기 구조물 스캔이 반복되도록 제어하며,
    상기 수평 선형 스테이지에 의해 상기 생성기와 상기 수신기가 이동하게 되는 수평 축과 상기 수직 선형 스테이지에 의해 상기 생성기와 상기 수신기가 이동하게 되는 수직 축은,
    상기 구조물을 스캔하는 표면에 평행한 것을 특징으로 하는 전영역 초음파전파영상화 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 초음파의 생성 지점과 상기 초음파의 센싱 지점은 동일 또는 인접한 것을 특징으로 하는 전영역 초음파전파영상화 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 수신기는,
    비접촉식으로 상기 초음파를 수신하는 것을 특징으로 하는 전영역 초음파전파영상화 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 초음파전파영상은,
    상기 구조물의 두께 방향으로 상기 초음파의 전파 과정을 시간의 경과에 따라 나타낸 영상인 것을 특징으로 하는 전영역 초음파전파영상화 시스템.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 초음파전파영상은,
    스캔을 통해 획득한 센싱 결과들이, 시간, 주파수, 파수, 파장 영역에서 배열된 동영상 또는 영상인 것을 특징으로 하는 전영역 초음파전파영상화 시스템.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 생성기는,
    Q-switched 레이저 빔을 방사하여, 상기 구조물에 초음파를 비접촉식으로 생성하는 것을 특징으로 하는 전영역 초음파전파영상화 시스템.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 수신기는,
    연속파 레이저 간섭계로 상기 전파되는 초음파를 센싱하는 것을 특징으로 하는 전영역 초음파전파영상화 시스템.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 레이저 빔을 방사하여 구조물에 초음파를 생성하는 생성기;
    상기 구조물에서 두께 방향으로 전파되는 초음파를 센싱하는 수신기;
    상기 수신기의 센싱 결과를 이용하여, 초음파전파영상을 생성하는 영상 생성장치;
    상기 생성기와 상기 수신기를 수평 축을 따라 함께 이동시키기 위한 수평 선형 스테이지;
    상기 생성기와 상기 수신기를 수직 축을 따라 함께 이동시키기 위한 수직 선형 스테이지; 및
    상기 생성기와 상기 수신기가 상기 구조물을 함께 스캔할 수 있도록 상기 수평 선형 스테이지와 상기 수직 선형 스테이지를 제어하는 컨트롤러;를 포함하고,
    상기 생성기에 의한 상기 초음파의 생성 지점과 상기 수신기에 의한 상기 초음파의 센싱 지점은 동일하거나 인접하며,
    상기 생성기와 상기 수신기는 빔 축이 평행하게 적층되어 있으며,
    상기 생성기와 상기 수신기 중 하나의 빔 경로가 반사 거울과 필터 거울에 의해 변경 되어, 다른 하나의 빔 경로와 일치하게 되고,
    상기 컨트롤러는,
    신호대잡음비가 기준 이하이면, 상기 생성기와 상기 수신기에 의한 상기 구조물 스캔이 반복되도록 제어하며,
    상기 수평 선형 스테이지에 의해 상기 생성기와 상기 수신기가 이동하게 되는 수평 축과 상기 수직 선형 스테이지에 의해 상기 생성기와 상기 수신기가 이동하게 되는 수직 축은,
    상기 구조물을 스캔하는 표면에 평행한 것을 특징으로 하는 전영역 초음파전파영상화 시스템.
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